JP2011200934A - レーザ加工装置およびレーザ加工方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】発電層内のダングリングボンドの生成を抑制させ、微結晶領域を充分に酸化、絶縁物化することで、被加工物である半導体装置におけるリーク電流の抑制、発電効率の向上を実現するためのレーザ加工装置およびレーザ加工方法を得ること。
【解決手段】被処理基板5に塗布された半導体材料の一部をレーザ加工により除去するレーザ加工装置であって、被処理基板5のうちレーザ加工を施す部分を含む領域に赤橙色光を照射する赤橙色光源22を有する。
【選択図】図1
【解決手段】被処理基板5に塗布された半導体材料の一部をレーザ加工により除去するレーザ加工装置であって、被処理基板5のうちレーザ加工を施す部分を含む領域に赤橙色光を照射する赤橙色光源22を有する。
【選択図】図1
Description
本発明は、レーザ加工装置およびレーザ加工方法、特に、半導体装置の製造のためのレーザ加工装置に関する。
太陽電池は、より一層の普及のために、製造コストの削減がきわめて重要な課題となっている。大型パネルの配線のパターニングには、リソグラフィーやエッチング等の高コストな方法を採用することは現実的ではないことから、レーザ照射により必要な部分だけを取り除くレーザ加工が用いられている。
ガラス基板を用いたスーパーストレイト構造の薄膜太陽電池の場合、アモルファスシリコン(a−Si)膜、もしくはアモルファスシリコンゲルマニウム(a−SiGe)膜等からなる発電層と、透明導電膜層とをライン状に除去する工程が必要となる。可視光を透過させ赤外(IR)光を吸収する透明導電膜層は、IRレーザが照射されると光吸収により急激に加熱され、昇華する(アブレーション)ことにより基板上から除去される。
水素原子(H)を含有するa−Si膜やa−SiGe膜等の発電層は、可視光を吸収し、HとSiの結合が切断される。発電層は、気体水素(H2)が急激に膜中に発生することで爆発的な作用(この作用を、以下「マイクロエクスプロージョン」と称する)により基板上から除去される。マイクロエクスプロージョンは、発電層を除去する他に、残存部分の温度上昇も引き起こす。a−Si膜やa−SiGe膜は、残存部分のうち除去された部分に近い部分で、温度上昇による微結晶化が生じることとなる。微結晶化したSiやSiGeは、a−Siやa−SiGeよりも導電率が高いため、リークパスとして働く。これが太陽電池セルのリーク電流を増加させ、太陽電池の発電効率を低下させる原因となる。
この問題に関して、例えば特許文献1には、発電効率の向上を目的として、微結晶化した部分を酸化により絶縁物化させる技術が提案されている。かかる技術によると、レーザ加工の後、酸素(O2)雰囲気中における深紫外(Deep Ultraviolet(DUV))レーザの照射によって、励起状態の酸素原子(Excited state oxygen radical)O(1D)と、基底状態の酸素原子(Ground state oxygen radical)O(3P)とに、O2を分解する。O(3P)と、反応性の高いO(1D)とにより、微結晶化した部分を酸化し、絶縁物化することにより、リーク電流を抑制し、発電効率を向上させる。
かかる先行技術には、以下のような問題がある。O2をO(1D)とO(3P)とに解離するには、波長175nm以下(光子エネルギー7.08eV以上)のDUVレーザを要する。このDUVレーザは極めてエネルギーが高いことから、基板や透明導電膜層で散乱した光が発電層内に侵入すると、Si−Si、Si−H、Si−Ge、Ge−H等の結合が容易に切断される。このため、Siダングリングボンド、もしくはGeダングリングボンドが生成され、膜中に多量のキャリアトラップセンターが生成されることとなる。キャリアトラップセンターは、光子の吸収によって生成したキャリア(電子やホール)を捕獲するため、発電効率の低下を引き起こす。したがって、微結晶層の絶縁物化によりリーク電流が低減可能であっても、ダングリングボンドでのキャリアの捕獲によって発電効率が低下するため、全体として大きな効果を得ることができない。
また、O2からO(1D)とO(3P)とへの分解は、酸化すべき微結晶領域から離れた場所で生じる一方、分解状態を維持できる期間が極めて短い(例えば10−7秒程度)。O(1D)は、微結晶領域に到達する前に大部分が失活し、O(3P)に変化してしまう。O(3P)は、別のO(3P)との衝突によるO2への変化や、O2との衝突によるO3への変化などで、さらに安定な分子へと変化してしまう。O3は、300℃以上では、活性なO(3P)と安定なO2分子に熱分解するが、300℃以下では安定な分子であってそれ自体の反応性は高くない。発電層や透明導電膜層におけるDUV光の吸収率は高くないため、温度上昇は小さいことから、一旦安定なO3へ変化すると、再び活性なO(3P)やO(1D)を生成することはない。このため、微結晶領域に到達するO(1D)やO(3P)は比較的少量でしかないことになる。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、発電層内のダングリングボンドの生成を抑制させ、微結晶領域を充分に酸化、絶縁物化することで、被加工物である半導体装置におけるリーク電流の抑制、発電効率の向上を実現するためのレーザ加工装置およびレーザ加工方法を得ることを目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、被処理基板に塗布された半導体材料の一部をレーザ加工により除去するレーザ加工装置であって、前記被処理基板のうち前記レーザ加工を施す部分を含む領域に赤橙色光を照射する赤橙色光源を有することを特徴とする。
O3は、レーザ加工により加熱された微結晶領域に接触しない限り熱分解せず、微結晶領域に到達して初めてO(3P)を生成する。O(3P)は、微結晶領域で赤橙色光により励起され、O(1D)を生成する。O(1D)は、微結晶領域に到達する以前で失活することは無く、非常に効率良く微結晶領域へ供給され、微結晶領域を酸化する。また、エネルギーが極めて高いDUV光やUV光を用いないため、発電層内におけるダングリングボンド等の欠陥の生成も抑制される。これにより、新たな欠陥を生成せずに微結晶領域を酸化させ、リーク電流の抑制、発電効率の向上を実現できる。
以下に、本発明にかかるレーザ加工装置およびレーザ加工方法の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。本発明にかかるレーザ加工装置およびレーザ加工方法は、微結晶領域の酸化方法における、特に以下の(1)から(5)の事項を特徴とする。
(1)DUV光やUV光を用いない。
(2)580nmから630nmの波長の赤橙色光を用いる。
(3)レーザ加工と同時に微結晶領域の酸化を行う。
(4)オゾン(O3)ガスを用いる。
(5)O(1D)およびO(3P)を微結晶領域表面もしくは内部で生成する。
(1)DUV光やUV光を用いない。
(2)580nmから630nmの波長の赤橙色光を用いる。
(3)レーザ加工と同時に微結晶領域の酸化を行う。
(4)オゾン(O3)ガスを用いる。
(5)O(1D)およびO(3P)を微結晶領域表面もしくは内部で生成する。
レーザ加工装置は、O3の熱分解と、それによって生成されたO(3P)の赤橙色光励起の2段階によって、O(1D)を生成する。O3の熱分解効率は、図4に示すように、300℃以上で上昇する。また、O(3P)は、図5に示すように、約1.97eV程度の光を吸収することにより、O(1D)へと励起される。1.97eVは629.3nmに相当する。また、580nmから630nmの波長の光は、例えば、「橙色寄りの波長域の赤色光」、「橙色光」、あるいは「橙色に非常に近い波長域の黄色光」に相当するものとされるが、色と色との境界は明確ではなく、厳密には波長で定義されるべきものである。ここでは、580nmから630nmの波長の光を総称して「赤橙色光」と呼ぶこととする。
実施の形態1.
図1は、本発明の実施の形態1にかかるレーザ加工装置の概略構成図である。被処理基板5は、本実施の形態にかかるレーザ加工装置による加工対象であって、例えばスーパーストレイト型太陽電池基板である。レーザ加工装置は、被処理基板5に塗布された半導体材料の一部をレーザ加工により除去する。
図1は、本発明の実施の形態1にかかるレーザ加工装置の概略構成図である。被処理基板5は、本実施の形態にかかるレーザ加工装置による加工対象であって、例えばスーパーストレイト型太陽電池基板である。レーザ加工装置は、被処理基板5に塗布された半導体材料の一部をレーザ加工により除去する。
処理室1は、レーザ加工を実施するための空間をなす筐体であって、被処理基板5を収容可能に形成されている。処理室1は、所定条件下でのレーザ加工のために、内部空間を装置外部から隔絶し、内部の雰囲気および圧力を維持する。また、処理室1は、内部で発生するレーザ光やその他の光が外部に漏れないように遮断する機能を有する。
ゲートバルブ2は、被処理基板5を処理室1に導入する際に開かれ、被処理基板5が処理室1に導入された後に閉じられる。ゲートバルブ3は、処理室1から被処理基板5を導出する際に開かれ、処理室1から被処理基板5が導出された後に閉じられる。ゲートバルブ2、3は、閉じられることにより処理室1を密閉し、処理室1内の雰囲気および圧力の維持、レーザ光等の外部への漏れ防止の機能を果たす。
搬送コンベア4は、処理前の被処理基板5を処理室1内に搬入し、処理後の被処理基板5を処理室1外へ搬出する。また、搬送コンベア4は、処理室1内において被処理基板5を支持する。オゾン発生器6は、O3を発生し、O3とO2との混合ガスを処理室1内に供給する機能を有する。オゾン発生器6によって供給される混合ガスは、O3が例えば5%から15%含まれている。
排気ポンプ7は、オゾン発生器6によって処理室1内へ供給された混合ガスと同量のガスを処理室1から排気することで、処理室1内の圧力を一定に維持する機能を有する。また、排気ポンプ7は、有害なO3をほぼ完全に分解し、無害なO2に変化させてから外部に放出する機能を有する。処理室1内の圧力は、例えば、1×102Paから2×105Paの範囲内で一定の値に制御される。
可視光レーザ21は、被処理基板5のうち加工を施す部分に集光させたレーザ光を照射する機能を有する。可視光レーザ21は、例えば、YAG(Y3Al5O12)レーザの第二高調波(波長532nm(緑色))を射出する。なお、図1には、可視光レーザ21からのレーザ光を被処理基板5の下側から照射するものとして示しているが、上側から照射するものとしても良い。また、可視光レーザ21は、被処理基板5の任意の位置にレーザ光を照射できるように、処理室1内を移動可能に構成されている。被処理基板5の任意の位置を加工するには、可視光レーザ21を移動する他、可視光レーザ21を固定し被処理基板5を移動することとしても良く、可視光レーザ21および被処理基板5の双方を移動することとしても良い。
赤橙色光源22は、580nmから630nmの範囲内の波長の赤橙色光であるレーザ光を、被処理基板5のうち加工を施す部分とその周辺領域に照射する機能を有する。赤橙色光源22は、加工位置から例えば100μm以上までの領域に赤橙色光を照射する。赤橙色光源22は、可視光レーザ21に固定され一体として処理室1内を移動可能、もしくは可視光レーザ21と同期して処理室1内を移動可能に構成されている。なお、図1には、赤橙色光源22からの赤橙色光を被処理基板5の下側から照射するものとして示しているが、上側から照射するものとしても良い。
図2は、被処理基板5のうち加工を施す部分とその周辺の断面模式図である。被処理基板5は、スーパーストレイト型太陽電池基板である場合、一般に、ガラス基板41の上に、透明電極42、発電層43、反射電極44が形成された構造をしている。発電層43は、a−Si、a−SiGe等のアモルファス半導体を少なくとも1つ含む半導体層から構成されている。本発明は、レーザ加工における発電層43への作用を特徴とするものであって、少なくとも発電層43を備える被処理基板の加工に適用可能である。本発明は、透明電極42や反射電極44が設けられていない被処理基板の加工に適用しても良い。
可視光レーザ21からのレーザ光を被処理基板5に照射すると、発電層43は、マイクロエクスプロージョンによって、その上層の反射電極44を伴ってガラス基板41上から脱離する。このとき、発電層43の下層の透明電極42は除去されず、ガラス基板41上に残る。レーザ光が照射されなかった領域の発電層43および反射電極44は、除去されずガラス基板41上に残る。残された発電層43のうち、除去された部分に近い部分は、レーザ光の照射によって温度が少なくとも500℃以上にまで上昇し、微結晶化が起きる。微結晶化によって形成された微結晶領域45は、発電層43のうち微結晶化していない部分よりも導電率が高いことから、反射電極44と透明電極42との間のリークパスとして働くことになる。
図3は、図2に示す微結晶領域45とその周辺を拡大して表し、微結晶領域45の側壁表面および内部で起きる反応を説明する図である。微結晶領域45の温度は少なくとも500℃以上に上昇するため、微結晶領域45に到達したO3はその熱を受けて熱分解する。以下に示す反応によって、O2とO(3P)が生成される。
O3+熱 → O2+O(3P)
O3+熱 → O2+O(3P)
図4は、O3が熱分解してO(3P)を発生する際のO(3P)生成能力の温度依存性を示すグラフである。O(3P)の生成能力は300℃以上において急激に上昇し、500℃以上では高濃度のO(3P)が微結晶領域45の側壁表面で生成されることを示している。O3は、レーザ加工により加熱された微結晶領域45に接触しない限り熱分解せず、微結晶領域45に到達して初めてO(3P)を生成する。
図5は、O2およびO3の、光吸収によるO(3P)やO(1D)への励起の様子を比較して示す図である。O2は、波長242.4nm以下(5.11eV以上)のDUV光を吸収して、O(3P)に励起される。また、O2は、波長175nm以下(7.08eV以上)のDUV光を吸収して、O(1D)に励起される。
一方、O3は、波長1181nm以下(1.05eV以上)のIR光を吸収して、O(3P)に励起される。また、O3は、波長410.5nm以下(3.02eV以上)のUV光を吸収して、O(1D)に励起される。なお、O(3P)は、波長629.3nm以下(1.97eV以上)の赤橙色光を吸収して、O(1D)に励起される。図3に示す微結晶領域45の側壁表面や側壁表面近傍の内部には、赤橙色光源22からの赤橙色光が照射されている。O3の熱分解によって生成したO(3P)は、この赤橙色光を吸収し、以下に示すようにO(1D)に励起される。
O(3P)+赤橙色光 → O(1D)
O(3P)+赤橙色光 → O(1D)
励起状態にあるO(1D)は反応性が非常に高いことから、微結晶領域45はO(1D)によって酸化され、酸化物へ変化する。例えば、a−Siからなる発電層43の場合、以下の反応によってSiO2が生成される。
O(1D)+Si → SiO2
O(1D)+Si → SiO2
このようにして、導電率の高い微結晶領域45を絶縁性の高い酸化物へ変化させることで、リーク電流を抑制させることが可能となる。O(1D)は、微結晶領域45に到達する以前で失活することは無く、非常に効率良く微結晶領域45へ供給される。また、エネルギーが極めて高いDUV光やUV光を用いないため、発電層43内におけるダングリングボンド等の欠陥発生も抑制される。これにより、新たな欠陥を生成せずに微結晶領域45を酸化させ、リーク電流の抑制、発電効率の向上を実現できる。高濃度のO3を供給することにより、多数のO(1D)を発生させ、導電率の高い微結晶領域45を絶縁性の高い酸化物へ効率的に変化させることができる。
レーザ加工装置は、O3とO2との混合ガスに、水蒸気を含ませることとしても良い。O3の熱分解により発生したO(3P)、あるいは赤橙色光で励起されて発生したO(1D)と、H2Oとが反応することにより、極めて反応性が高いOHラジカルが生成される。このOHラジカルによって、導電率の高い微結晶領域45を絶縁性の高い酸化物へ効率的に変化させることができる。
実施の形態2.
図6は、本発明の実施の形態2にかかるレーザ加工装置の概略構成図である。図7は、被処理基板5のうち加工を施す部分とその周辺の断面模式図である。本実施の形態では、実施の形態1の可視光レーザ21が赤橙色光レーザ23に置き換えられている。実施の形態1と同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
図6は、本発明の実施の形態2にかかるレーザ加工装置の概略構成図である。図7は、被処理基板5のうち加工を施す部分とその周辺の断面模式図である。本実施の形態では、実施の形態1の可視光レーザ21が赤橙色光レーザ23に置き換えられている。実施の形態1と同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
赤橙色光レーザ23は、例えば、Yb添加ファイバレーザ(波長580〜590nm)等である。赤橙色光レーザ23は、発電層43をマイクロエクスプロージョンにより除去する機能と、O3の熱分解により生成されたO(3P)をO(1D)に励起する機能とを兼ね備える。
本実施の形態も、実施の形態1と同様に、導電率の高い微結晶領域45(図3参照)を絶縁性の高い酸化物へ変化させ、リーク電流の抑制、発電効率の向上を実現できる。さらに、本実施の形態では、レーザ加工装置の構造を簡易化させることで、コストダウンやメンテナンスに要する時間の削減が可能となる。また、処理室1の容積を必要最小限にできることで、処理室1内の雰囲気や圧力の制御に要する時間を短縮でき、生産効率の向上を図ることができる。
実施の形態3.
図8は、本発明の実施の形態3にかかるレーザ加工装置の概略構成図である。図9は、被処理基板5のうち加工を施す部分とその周辺の断面模式図である。本実施の形態では、実施の形態1において可視光レーザ21とともに移動可能としていた赤橙色光源22が、被処理基板5の全体に赤橙色光を照射するように設置されている。実施の形態1と同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
図8は、本発明の実施の形態3にかかるレーザ加工装置の概略構成図である。図9は、被処理基板5のうち加工を施す部分とその周辺の断面模式図である。本実施の形態では、実施の形態1において可視光レーザ21とともに移動可能としていた赤橙色光源22が、被処理基板5の全体に赤橙色光を照射するように設置されている。実施の形態1と同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
可視光レーザ21が処理室1内のいずれの場所に移動しても、赤橙色光源22からの赤橙色光は常に被処理基板5の全面に照射している。なお、図8には、可視光レーザ21からのレーザ光を被処理基板5の下側から照射し、赤橙色光源22からの赤橙色光を被処理基板5の上側から照射するものとして示しているが、これに限られない。可視光レーザ21および赤橙色光源22は、被処理基板5の上下いずれの側に設置しても良い。赤橙色光源22からの赤橙色光は、レーザ光であっても良く、レーザ光以外の光であっても良い。
本実施の形態では、マイクロエクスプロージョンによる発電層43の除去後、可視光レーザ21の移動に関わらず、微結晶領域45への赤橙色光の照射を継続する。充分な時間、微結晶領域45に赤橙色光を照射することで、O(1D)の生成および微結晶領域45の酸化を充分に行うことが可能となる。これにより、導電率の高い微結晶領域45を絶縁性の高い酸化物へと高い効率で変化させ、リーク電流のさらなる抑制、発電効率のさらなる向上が可能となる。
以上のように、本発明にかかるレーザ加工装置およびレーザ加工方法は、太陽電池基板の配線パターンの形成に有用である。
1 処理室
2、3 ゲートバルブ
4 搬送コンベア
5 被処理基板
6 オゾン発生器
7 排気ポンプ
21 可視光レーザ
22 赤橙色光源
23 赤橙色光レーザ
41 ガラス基板
42 透明電極
43 発電層
44 反射電極
45 微結晶領域
2、3 ゲートバルブ
4 搬送コンベア
5 被処理基板
6 オゾン発生器
7 排気ポンプ
21 可視光レーザ
22 赤橙色光源
23 赤橙色光レーザ
41 ガラス基板
42 透明電極
43 発電層
44 反射電極
45 微結晶領域
Claims (10)
- 被処理基板に塗布された半導体材料の一部をレーザ加工により除去するレーザ加工装置であって、
前記被処理基板のうち前記レーザ加工を施す部分を含む領域に赤橙色光を照射する赤橙色光源を有することを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記赤橙色光の波長が、580nmから630nmの範囲内であることを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 前記赤橙色光がレーザ光であることを特徴とする請求項1または2に記載のレーザ加工装置。
- 前記赤橙色光が前記レーザ加工のためのレーザ光であることを特徴とする請求項3に記載のレーザ加工装置。
- 前記赤橙色光源は、前記被処理基板の全体に前記赤橙色光を照射することを特徴とする請求項1または2に記載のレーザ加工装置。
- オゾンを含む気体中において前記レーザ加工を実施することを特徴とする請求項1から5のいずれか一つに記載のレーザ加工装置。
- 前記オゾンと酸素とを混合させた気体中において前記レーザ加工を実施することを特徴とする請求項6に記載のレーザ加工装置。
- 前記オゾン、前記酸素および水蒸気を混合させた気体中において前記レーザ加工を実施することを特徴とする請求項7に記載のレーザ加工装置。
- 前記気体中における前記オゾンの濃度が5%から15%の範囲内であることを特徴とする請求項6から8のいずれか一つに記載のレーザ加工装置。
- 被処理基板に塗布された半導体材料の一部をレーザ加工により除去するレーザ加工方法であって、
前記被処理基板のうち前記レーザ加工を施す部分を含む領域に赤橙色光を照射する工程を含むことを特徴とするレーザ加工方法。
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CN104010759A (zh) * | 2011-10-21 | 2014-08-27 | 美国激光企业有限责任公司 | 配置为使用电磁辐射从基板移除涂层的系统 |
CN106735888A (zh) * | 2016-12-07 | 2017-05-31 | 深圳市海目星激光科技有限公司 | 一种臭氧辅助切割装置及方法 |
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2010
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