JP2011196694A - オプティカル・コヒーレンス・トモグラフィー装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】光遅延器による光路長の微調節を必要としないOCT装置を提供すること。
【解決手段】時間と共に波長が変化する可変波長光を発生する可変波長光発生ユニットと、前記可変波長光を参照光と測定光に分岐し、前記測定光を測定対象に照射して後方散乱光を発生させ、前記後方散乱光と前記参照光を結合して干渉光を生成する干渉計ユニットと、前記干渉光の強度を測定し、測定した前記強度と前記波長の関係に基づいて前記測定対象の断層像を導出する断層像導出ユニットとを有するオプティカル・コヒーレンス・トモグラフィー装置において、前記干渉計ユニットは、前記可変波長光の波長に基づいて前記参照光の位相を変調することで、前記干渉光の強度を、前記参照光の光路長を変化させた場合の前記干渉光の強度にする光位相変調ユニットを有するオプティカル・コヒーレンス・トモグラフィー装置。
【選択図】 図1

Description

本発明は、オプティカル・コヒーレンス・トモグラフィー装置に関する。
オプティカル・コヒーレンス・トモグラフィー(Optical Coherence Tomography; OCT)装置は、光の干渉現象を利用して人の眼等の断層像を撮影する装置である。
OCT装置は、光源と、光源に接続された干渉計と、干渉計の出力光強度を測定して断層像を導出する断層像導出ユニットとを有している。OCT装置による断層像の撮影手順は、以下の通りである。まず、測定対象を、干渉計の一方のアーム(以下、計測アームと呼ぶ)に配置する。次に、干渉計の他方のアーム(以下、参照アームと呼ぶ)に設けた光遅延器を調節して、参照アームと計測アームの光路長が略等しくなるようにする。その後、光源の波長を変化させながら、干渉計の出力光強度を測定して、その測定結果に基づいて断層像を導出する。
特開2006−201087号公報
ところで、参照アームに設ける光遅延器は、光の進行方向に反射鏡を前後させて、その光路長を微調節する装置である。光遅延器は、このように反射鏡の機械的運動により光路長を調節するので、その操作性は必ずしも高くない。このため光遅延器は、OCT装置の操作性向上を妨げる一因になっている。又、光遅延器は精密な光学部品・機械部品で構成されるため高価であり、OCTシステムのコストアップの一因となっている。
そこで、本発明の目的は、光遅延器による光路長の微調節を必要としないOCT装置を提供することである。
上記の目的を達成するために、本発明の第1の観点によれば、時間と共に波長が変化する可変波長光を発生する可変波長光発生ユニットと、前記可変波長光を参照光と測定光に分岐し、前記測定光を測定対象に照射して後方散乱光を発生させ、前記後方散乱光と前記参照光を結合して干渉光を生成する干渉計ユニットと、前記干渉光の強度を測定し、測定した前記強度と前記波長の関係に基づいて前記測定対象の断層像を導出する断層像導出ユニットとを有するオプティカル・コヒーレンス・トモグラフィー装置において、前記干渉計ユニットは、前記可変波長光の波長に基づいて前記参照光の位相を変調することで、前記干渉光の強度を、前記参照光の光路長を変化させた場合の前記干渉光の強度にする光位相変調ユニットを有するオプティカル・コヒーレンス・トモグラフィー装置が提供される。
本発明によれば、光遅延器による光路長の微調節を必要としないOCT装置を提供することができる。
実施の形態のOCT装置の構成を説明する概略図である。 可変波長光発生ユニットが生成する可変波長光の波数の時間変化を説明する図である 変調前と変調後の参照光の位相差φと可変波長光の波数kの変化の関係を説明する図である。
以下、図面にしたがって本発明の実施の形態について説明する。但し、本発明の技術的範囲はこれらの実施の形態に限定されず、特許請求の範囲に記載された事項とその均等物まで及ぶものである。尚、図面が異なっても対応する部分には同一の符号を付し、その説明は省略する。
図1は、本実施の形態のOCT装置2の構成を説明する概略図である。図1に示した実線は、下記各光学部材を接続する光ファイバーである。尚、本実施の形態は、1次元断層像を撮影するOCT装置に関するものであるが、本実施の形態を2次元断層像又は3次元画像を撮影するOCT装置に拡張することは容易である。このためには、例えば、後述する光照射/補足ユニット26にガルバノミラー等の光走査装置を設ければよい。
本実施の形態のOCT装置2は、図1に示すように、時間と共に波長が変化する可変波長光6を発生する可変波長光発生ユニット4を有している。また、OCT装置2は、可変波長光6を参照光8と測定光10に分岐し、測定光10を測定対象18に照射して後方散乱光12を発生させ、後方散乱光12と参照光8を結合して干渉光14a, 14bを生成する干渉計ユニット16を有している。また、OCT装置2は、干渉光14a, 14bの強度を測定し、測定した強度と可変波長光6の波長の関係に基づいて測定対象18の断層像を導出する断層像導出ユニット20を有している。
そして、干渉計ユニット16は、可変波長光6の波長に基づいて参照光8の位相を変調することで、干渉光14a,14bの強度を、参照光6の光路長を変化させた場合の干渉光14a,14bの強度に実質的に等しくする光位相変調ユニット22を有している。
図2は、可変波長光発生ユニット4が生成する可変波長光6の波数(=2π/波長)の時間変化を説明する図である。図2の横軸は時間である。図2の縦軸は波数である。
可変波長光6の波数は、図2に示すように、時間と共に連続的に変化する。このような可変波長光を発生する可変波長光発生ユニット4としては、例えば、共振器長が時間と共に変化するファイバーリング共振器と光利得媒体を有する波長スイープ光源がある。
干渉計ユニット16は、図1に示すように、可変波長光6を測定光6と参照光8に分岐する光分岐器24(例えば、方向性結合器)を有している。また、干渉計ユニット16は、測定光10を測定対象18に照射し且つ測定光10が測定対象18により後方散乱されて発生した後方散乱光12を補足する光照射/補足ユニット26を有している。また、干渉計ユニット6は、参照光8と後方散乱光12を結合して第1の干渉光14aと第2の干渉光14bを出射する光結合器28(例えば、分岐比が1:1の方向性結合器)を有している。ここで、第1の干渉光14aと第2の干渉光14bの強度は可変波長光6の波数に対して周期的に変化し、その位相はπずれている。
光照射/補足ユニット26は、図1に示すように、光分岐器24により分岐されその光入射口aに入射した測定光10を、光入出射口bから出射させる光サーキュレータ46を有している。また、光照射/補足ユニット26は、光サーキュレータ46の光入出射口bから出射した測定光を平行光線に変換するコリメータレンズ60を有している。また、光照射/補足ユニット26は、この平行光線を集光して測定対象18に照射するフォーカシングレンズ62を有している。
測定対象18に照射された測定光10は、測定対象18により後方散乱されて後方散乱光12になる。この後方散乱光12は、測定光が進行して来た光路を逆行して光サーキュレータ46の光入出射口bに入射し、光サーキュレータ46の光出射口cから出射する。
また、断層像導出ユニット20は、図1に示すように、第1の干渉光14aを受光してその光強度に対応する信号(例えば、光電流)を出力する第1の光検知器30(例えば、pinフォトダイオード)と、第2の干渉光14bを受光してその光強度に対応する信号(例えば、光電流)を出力する第2の光検知器32(例えば、pinフォトダイオード)とを有している。また、断層像導出ユニット20は、第1の光検知器30の出力と第2の光検知器32の出力の差を増幅する差動増幅器34を有している。また、断層像導出ユニット20は、差動増幅器34の出力をアナログデジタル変換するAD変換器36を有している。以上の構成により、断層像導出ユニット20は、第1の干渉光14aと第2の干渉光14bの強度の差を測定する。
また、断層像導出ユニット20は、AD変換器36の出力を得て、第1の干渉光14aの強度I+と第2の干渉光14bの強度I-の差を可変波長光6の波数に関してフーリエ変換し、その絶対値(または、その2乗)を算出する演算制御装置38を有している。上記絶対値は測定光の進行方向に沿った位置座標の関数であり、測定対象の後方散乱光強度の深さ方向の分布すなわち1次元断層像に対応している。
演算制御装置38は、例えば、OCT装置2の動作を制御し且つ断層像を導出するプログラムがロードされたコンピュータであり、CPU(Central Processing Unit)40と主メモリ42(例えば、Random Access Memory)と補助メモリ44(例えば、磁気ディスク)を有している。
―光位相変調ユニット―
光位相変調ユニット22は、図1に示すように、光位相変調器48とその制御ユニット50を有している。光位相変調器48は、制御ユニット50の出力信号52にしたがって入射光の位相を変調して出射する。光位相変調器48は、例えば、強誘電体結晶ニオブ酸リチウム(LiNbO3:LN)等の光学結晶からなる光導波路を有している。光位相変調器48は、このような光導波路に電圧を印加することでその屈折率を変化させ、出射光の位相を変調する。
制御ユニット50は、演算制御装置38の命令にしたがって、上記出力信号52を光位相変調器48に供給する。
光位相変調ユニット22は、参照光8の光路(参照光アーム56)に配置され、上述したように、可変波長光6の波長の変化に基づいて参照光8の位相を変調して、干渉光14a,14bの強度を、参照光8の光路長を変化させた場合の強度にする。
図3は、光位相変調ユニット22による変調前と変調後の参照光8の位相差φ(すなわち、位相変調量)と、可変波長光6の波数k(=2π/波長)の変化との関係を説明する図である。ここで、変調前の位相とは、ある位置(例えば、光変調器48の光出射口)における、光位相変調器48に電圧を印加する前の参照光8の電界強度の位相φである。また、変調後の位相とは、同じ位置における、光位相変調器48に電圧を印加した後の参照光8の電界強度の位相φである。そして、変調前と変調後の参照光8の位相差φとは、φとφの差φ−φである。
図3の縦軸は上記位相差φである。横軸は、可変波長光6の波数kである。尚、図3の破線は、可変波長光発生ユニット4が生成しない波長範囲の波数に対応する位相差φである。
光位相変調ユニット22は、図3に示すように、変調前と変調後の参照光8の(電界強度の)位相差φを、波数kに比例し2π(rad)に達すると0(rad)に戻る値になるように、参照光8を変調する。或いは、光位相変調ユニット22は、位相差φが、可変波長光6の波長λの波数k(=2π/λ)に比例し−2π(rad)に達すると0(rad)に戻る値になるように、参照光8を変調する。従って、位相差φは、次式で表すことができる。
Figure 2011196694
ここで、nは整数である。
ところで、上述したように、測定対象の断層像は、第1の干渉光14aの強度I+と第2の干渉光14bの強度I-の差ΔI(=I+−I-)を波数に関してフーリエ変換し得られる関数の絶対値(又は、その2乗)である。この干渉光強度の差ΔIは、次式で表されることが知られている(例えば、特許文献1)。但し、測定対象18は、反射面を一つだけ有するとする。
Figure 2011196694
ここで、I及びIsは、夫々、後方散乱12及び参照光8の強度である。また、Lは、測定光10と後方散乱光12が走行する光路(計測アーム54)の光学長である。Lは、参照光8が走行する光路(参照アーム56)の光学長である。
実際の測定対象は多数の反射面を有し、夫々の反射面が測定光を後方散乱する。そして、断層像導出ユニット20が導出する分布は、夫々の反射面からの後方散乱光のフーリエ変換の絶対値(又は、その2乗)の重ね合わせである。従って、式(2)を検討することにより、本OCT装置2の断層像を説明することができる。
ここで、測定対象18において、測定光10の進路に沿った座標軸を考える。そして、測定対象18の反射面の位置座標をxとする。また、上記座標軸の原点に対応するLをLとする。すると、上記反射面の位置座標xに対応するLは、L+2xになる。従って、式(2)は、以下のようになる。
Figure 2011196694
従来のOCT装置2は、光位相変調ユニット22を有していない。したがって、φは0(rad)になる。従来のOCT装置では、このようなΔIに対してL−Lが略零になるように、参照アーム56の光学長Lを光遅延器で調節する。このようにL−Lを略零にしないと、波数kの係数が大きくなり過ぎて、ΔIが波数kに対して短周期で振動する。その結果、フーリエ変換の精度が低下する。
本実施の形態では、参照アーム56の光学長Lを調節する代わりに、参照光8の位相を式(1)にしたがって変化させる。この場合、式(3)は以下のようになる。
Figure 2011196694
従って、位相変調量の傾きmを調整することにより、L−L+mを所望の値にすることができ、Lを変えずに波数kの係数を調整することができる。例えば、波数に対する位相差変化量の傾きmが、波長が0.1nm増加した場合に位相差φを2π増加させる場合、参照アーム56の光学長Lを24mm長くした場合と同じ効果を得ることができる。但し、可変波長光6の波長は1.55μmとする。尚、波数の増分Δkは、波長λの増分をΔλとすると、−2πΔλ/λで表すことができる。
ここで、mは位相変調量φの傾きなので、位相変調器48の制御ユニット50により電気的に容易に調節することができる。従って、本OCT装置2の操作性は、光遅延器を用いる光位相変調ユニット22より格段に優れている。
ところで、よく知られているように、余弦関数(cos(kx))のフーリエ変換の絶対値(又は、その2乗)は、余弦関数の変数kxに定数を加えても変化しない。すなわち、cos(kx)とcos(kx+c)のフーリエ変換の絶対値(又は、その2乗)は、同じ値になる(cは定数)。従って、位相変調量φは、以下の通りであってもよい。
Figure 2011196694
但し、cは定数である。
すなわち、光位相変調ユニットは、変調前と変調後の参照光8の(電界強度の)位相差が、可変波長光6の波長λの波数(=2π/λ)の一次関数として変化し、2π(rad)又は−2π(rad)に達すると0(rad)に戻る値になるように、参照光8を変調すればよい。従って、波数掃引の初期値kに対応する位相変調量φを自由に設定することができる。例えば、位相変調量φは、0(rad)であってもよい。
以上のように、本実施の形態によれば、光位相変調ユニット22により、参照アーム56の光学長を擬似的に調整することができるので、光遅延器による光路長の微調節を必要としないOCT装置を提供することができる。
(2)動 作
次に、OCT装置2の動作を説明する。
まず、可変波長光発生ユニット4が、断層像導出ユニット20の命令にしたがって、
時間と共に波長が連続的に変化する可変波長光6を発生する。波長の初期値は、例えば1530nmである。一方、波長の最終値は、例えば、1570nmである。
次に、光分岐器24が、この可変波長光6を参照光8aと測定光10に分岐する。
次に、光照射/補足ユニット26が、測定光10を測定対象18に照射して、後方散乱光12を発生させる。一方、光位相変調ユニット22は、上述したように、断層像導出ユニット20の命令にしたがって、可変波長光6の波長に基づいて参照光8aの位相を変調する。
次に、光結合器28は、変調された参照光8bと後方散乱光12とを結合して第1の干渉光14aと第2の干渉光14bを生成する。
次に、断層像導出ユニット20が、第1の干渉光14aの強度と第2の干渉光14bの強度を測定し、第1の干渉光14aと第2の干渉光14bの強度の差をフーリエ変換しその絶対値(または、絶対値の2乗)を求めることで、測定対象18の断層像を導出する。
ここで、参照光8aの位相変調量の変化率mを調整することにより、参照アーム56の光学長を微調整することができる。すなわち、断層像の原点を移動することができる。
本実施の形態では、上述したように、可変波長光発生ユニット4が、時間と共に波長が連続的に変化する可変波長光を発生する。しかし、可変波長光発生ユニット4は、時間と共に波長が離散的に変化する可変波長光(例えば、時間と共に波長がステップ状に変化する光)を発生してもよい。その場合、この波長変化に対応して、光位相変調ユニット22も、参照光8aの位相を離散的に変調する。更に、可変波長光発生ユニット4は、離散的に変化する各波長を中心として、波長が小さく振動する可変波長光を発生してもよい。この場合にも、この波長変化に対応して、光位相変調ユニット22は、離散的に変化する位相を中心として、参照光8aの位相を小さく振動させる。
また、以上の例では、干渉光の強度差をフーリエ変換しているが、一方の干渉光の強度を直接フーリエ変換してもよい。
2・・・OCT装置
4・・・可変波長光発生ユニット
16・・・干渉計ユニット
20・・・断層像導出ユニット
22・・・光位相変調ユニット

Claims (3)

  1. 時間と共に波長が変化する可変波長光を発生する可変波長光発生ユニットと、
    前記可変波長光を参照光と測定光に分岐し、前記測定光を測定対象に照射して後方散乱光を発生させ、前記後方散乱光と前記参照光を結合して干渉光を生成する干渉計ユニットと、
    前記干渉光の強度を測定し、測定した前記強度と前記波長の関係に基づいて前記測定対象の断層像を導出する断層像導出ユニットとを有するオプティカル・コヒーレンス・トモグラフィー装置において、
    前記干渉計ユニットは、前記可変波長光の波長に基づいて前記参照光の位相を変調して、前記干渉光の強度を、前記参照光の光路長を変化させた場合の前記干渉光の強度にする光位相変調ユニットを有することを
    特徴とするオプティカル・コヒーレンス・トモグラフィー装置。
  2. 請求項1に記載のオプティカル・コヒーレンス・トモグラフィー装置において、
    前記光位相変調ユニットは、
    変調前と変調後の前記参照光の位相差が、前記波長の波数の一次関数として変化し、2π(rad)又は−2π(rad)に達すると0(rad)に戻る値になるように、前記参照光を変調することを
    特徴とするオプティカル・コヒーレンス・トモグラフィー装置。
  3. 請求項1又は2に記載のオプティカル・コヒーレンス・トモグラフィー装置において、
    前記干渉計ユニットは、前記可変波長光を前記測定光と前記参照光に分岐する光分岐器と、前記測定光を測定対象に照射し且つ前記測定光が前記測定対象により後方散乱されて発生した後方散乱光を補足する光照射/補足ユニットと、前記参照光と前記後方散乱光を結合して前記干渉光を生成する光結合器とを有し、
    前記光位相変調ユニットは、前記光分岐器と前記光結合光の間に配置されていることを、
    特徴とするオプティカル・コヒーレンス・トモグラフィー装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3067657A1 (en) 2015-03-11 2016-09-14 Hitachi-LG Data Storage, Inc. Optical measurement apparatus and optical measurement method
CN116849626A (zh) * 2023-09-04 2023-10-10 北京理工大学 一种基于光计算的相位调制式光学相干层析成像系统

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3107914B2 (ja) * 1992-07-20 2000-11-13 浜松ホトニクス株式会社 散乱吸収体内部の吸収情報計測装置及び方法
JP2001091223A (ja) * 1999-09-24 2001-04-06 Olympus Optical Co Ltd 面間隔測定方法及び装置
JP3321468B2 (ja) * 1998-03-09 2002-09-03 オーティーエム テクノロジーズ リミテッド 並進運動の光学式測定
JP2002286631A (ja) * 2001-03-28 2002-10-03 Japan Science & Technology Corp 高速画像同期測定方法及びその装置
JP2003516531A (ja) * 1999-12-09 2003-05-13 オーティーアイ オフサルミック テクノロジーズ インク 可変奥行き解像力を有する光学マッピング装置
JP3474612B2 (ja) * 1993-12-03 2003-12-08 浜松ホトニクス株式会社 光検出装置
JP2006201087A (ja) * 2005-01-21 2006-08-03 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> オプティカル・コヒーレント・トモグラフィ装置
JP2007101262A (ja) * 2005-09-30 2007-04-19 Fujifilm Corp 光断層画像化装置
JP2009500856A (ja) * 2005-07-08 2009-01-08 ボード オブ トラスティーズ オブ ミシガン ステイト ユニバーシティ 超高速レーザーのための制御システム及び装置
JP2009031156A (ja) * 2007-07-27 2009-02-12 Kitasato Institute 広ダイナミックレンジ・オプティカル・コヒーレンス・トモグラフィー装置
JPWO2008029506A1 (ja) * 2006-09-04 2010-01-21 学校法人北里研究所 オプティカル・コヒーレンス・トモグラフィー装置
JP2010025922A (ja) * 2008-06-20 2010-02-04 Nikon Corp 干渉装置

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3107914B2 (ja) * 1992-07-20 2000-11-13 浜松ホトニクス株式会社 散乱吸収体内部の吸収情報計測装置及び方法
JP3474612B2 (ja) * 1993-12-03 2003-12-08 浜松ホトニクス株式会社 光検出装置
JP3321468B2 (ja) * 1998-03-09 2002-09-03 オーティーエム テクノロジーズ リミテッド 並進運動の光学式測定
JP2001091223A (ja) * 1999-09-24 2001-04-06 Olympus Optical Co Ltd 面間隔測定方法及び装置
JP2003516531A (ja) * 1999-12-09 2003-05-13 オーティーアイ オフサルミック テクノロジーズ インク 可変奥行き解像力を有する光学マッピング装置
JP2002286631A (ja) * 2001-03-28 2002-10-03 Japan Science & Technology Corp 高速画像同期測定方法及びその装置
JP2006201087A (ja) * 2005-01-21 2006-08-03 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> オプティカル・コヒーレント・トモグラフィ装置
JP2009500856A (ja) * 2005-07-08 2009-01-08 ボード オブ トラスティーズ オブ ミシガン ステイト ユニバーシティ 超高速レーザーのための制御システム及び装置
JP2007101262A (ja) * 2005-09-30 2007-04-19 Fujifilm Corp 光断層画像化装置
JPWO2008029506A1 (ja) * 2006-09-04 2010-01-21 学校法人北里研究所 オプティカル・コヒーレンス・トモグラフィー装置
JP2009031156A (ja) * 2007-07-27 2009-02-12 Kitasato Institute 広ダイナミックレンジ・オプティカル・コヒーレンス・トモグラフィー装置
JP2010025922A (ja) * 2008-06-20 2010-02-04 Nikon Corp 干渉装置

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
CSNJ200810005205; 牧野 弘治 Koji Makino: 電子情報通信学会2002年エレクトロニクスソサイエティ大会講演論文集1 PROCEEDINGS OF THE 2002 ELEC *
JPN6014026909; 牧野 弘治 Koji Makino: 電子情報通信学会2002年エレクトロニクスソサイエティ大会講演論文集1 PROCEEDINGS OF THE 2002 ELEC *

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3067657A1 (en) 2015-03-11 2016-09-14 Hitachi-LG Data Storage, Inc. Optical measurement apparatus and optical measurement method
CN105973845A (zh) * 2015-03-11 2016-09-28 日立乐金光科技株式会社 光学测量装置和光学测量方法
US10006755B2 (en) 2015-03-11 2018-06-26 Hitachi-Lg Data Storage, Inc. Optical measurement apparatus and optical measurement method
CN116849626A (zh) * 2023-09-04 2023-10-10 北京理工大学 一种基于光计算的相位调制式光学相干层析成像系统
CN116849626B (zh) * 2023-09-04 2024-01-16 北京理工大学 一种基于光计算的相位调制式光学相干层析成像系统

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