JP2011189669A - Detector for advancing quantity of paper member, screen printing machine, method for detecting advancing quantity of paper member, and screen printing method - Google Patents

Detector for advancing quantity of paper member, screen printing machine, method for detecting advancing quantity of paper member, and screen printing method Download PDF

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Koji Okawa
浩二 大川
Akira Maeda
亮 前田
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Panasonic Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a detector for detecting an advancing quantity of a paper member which accurately detects an advancing quantity of the paper member that advances while being drawn out of a reel or taken up on the reel, and to provide a screen printing machine, a method for detecting an advancing quantity of the paper member, and a screen printing method. <P>SOLUTION: The detector includes: a rotary member 46a which is installed in contact with the outer peripheral surface of a roll type paper member 48 wound on a follower reel 44; a rotation speed detecting part 46b which detects the rotation speed of the rotary member 46a that rotates in accordance with the drawing-out of the paper member 48 from the follower reel 44; and an advancing quantity calculating part 46c which calculates the advancing quantity of the paper member 48 advanced while being drawn out of the follower reel 44. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、リールから引き出され若しくはリールにより巻き取られることによって進行するペーパー部材の進行量の検出を行うペーパー部材進行量検出装置、スクリーン印刷機、ペーパー部材進行量検出方法及びスクリーン印刷方法に関するものである。   The present invention relates to a paper member progress detection device, a screen printing machine, a paper member progress detection method, and a screen printing method for detecting the progress of a paper member that is advanced by being pulled out from or taken up by a reel. It is.

スクリーン印刷機は、基板の電極に対応するパターン孔を有したマスクと、マスクと平行な方向に移動自在なスキージとを備え、マスクのパターン孔が基板の電極と合致するように基板とマスクを接触させた状態でスキージをマスク上で摺動させ、マスク上に供給された半田ペースト等のペーストをマスク上で掻き寄せることにより、マスクのパターン孔を介して基板の電極にペーストを転写させる構成になっている。   The screen printing machine includes a mask having a pattern hole corresponding to the electrode of the substrate and a squeegee movable in a direction parallel to the mask, and the substrate and the mask are aligned so that the pattern hole of the mask matches the electrode of the substrate. A configuration in which the paste is transferred to the electrode of the substrate through the pattern hole of the mask by sliding the squeegee on the mask in a contact state and scraping the paste such as solder paste supplied on the mask on the mask It has become.

このようなスクリーン印刷機では、基板へのスクリーン印刷を終えた後、次に投入される基板に対して行うスクリーン印刷に備えるため、マスクの下面に付着したペーストを拭き取るマスククリーニング装置を備えている(例えば、特許文献1)。このマスククリーニング装置は、マスクの下方をマスクに対して平行に相対移動するベース部に、ベース部に対する上昇位置である張り出し位置とベース部に対する下降位置である格納位置との間で移動自在な押し当て部材と、ベース部に設けられた駆動側リール及び従動側リールを備えており、駆動側リールと従動側リールの間に掛け渡されたペーパー部材の一部を、張り出し位置に位置した押し当て部材によってマスクの下面に押し当て、この状態でベース部がマスクの下方をマスクに対して平行に相対移動することによって、ペーパー部材により、マスクの下面に付着したペーストを拭き取る。   Such a screen printing machine includes a mask cleaning device for wiping off the paste adhered to the lower surface of the mask in order to prepare for screen printing performed on the substrate to be loaded next after the screen printing on the substrate is finished. (For example, patent document 1). This mask cleaning device has a base portion that moves relative to the mask in the lower part of the mask in parallel, and is movable between an extended position that is a raised position relative to the base portion and a retracted position that is a lowered position relative to the base portion. A holding member, a driving reel and a driven reel provided in the base portion, and a part of the paper member that is stretched between the driving reel and the driven reel is pressed against the protruding position. The member is pressed against the lower surface of the mask, and in this state, the base portion moves relative to the lower side of the mask in parallel, whereby the paper member wipes off the paste adhered to the lower surface of the mask.

このようなスクリーン印刷機のマスククリーニング装置では、マスクを数枚クリーニングした後は、ペーパー部材の押し当て部材によって支持される部分(クリーニング領域)を更新させる必要があるが、この場合には、従動側リールの回転を規制するブレーキによって従動側リールの回転を規制した状態で駆動側リールをペーパー部材の巻き取り方向に回転駆動し、ブレーキによる規制力に抗して従動側リールを回転させることによって、従動側リールに巻き付けられたロール状のペーパー部材を所定量引き出すようにしていた。   In such a mask cleaning device of a screen printing machine, after cleaning several masks, it is necessary to update the portion (cleaning area) supported by the pressing member of the paper member. By rotating the driven reel in the winding direction of the paper member in a state where the rotation of the driven reel is regulated by the brake that regulates the rotation of the side reel, and rotating the driven reel against the regulating force by the brake The roll-shaped paper member wound around the driven reel is pulled out by a predetermined amount.

特開2007−144689号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2007-14489

しかしながら、従来のマスククリーニング装置では、従動側リールから引き出され若しくは駆動側リールにより巻き取られることによって進行するペーパー部材の進行量を、ペーパー部材が引き出されるときに回転する従動側リールの回転角度に基づいて検出するようにしていたため、従動側リールに巻き付けられたロール状のペーパー部材の半径方向の寸法によって検出精度のばらつきが生じ、ペーパー部材の進行量を正確に検出することができなかった。このため更新の前後で新旧のクリーニング領域がだぶってマスクのクリーニング時にマスクを汚したり、新旧のクリーニング領域の間隔が開き過ぎてペーパー部材に無駄が生じたりするなどの問題が生じていた。   However, in the conventional mask cleaning device, the amount of progress of the paper member that is advanced by being pulled out from the driven reel or wound by the driving reel is set to the rotation angle of the driven reel that rotates when the paper member is pulled out. Therefore, the detection accuracy varies depending on the radial dimension of the roll-shaped paper member wound around the driven reel, and the amount of progress of the paper member cannot be accurately detected. For this reason, there have been problems such as the old and new cleaning areas becoming dirty before and after the renewal, and the mask becoming dirty during cleaning of the mask, and the gap between the old and new cleaning areas being excessively wide and the paper member being wasted.

そこで本発明は、リールから引き出され若しくはリールにより巻き取られることによって進行するペーパー部材の進行量を正確に検出することができるペーパー部材進行量検出装置、スクリーン印刷機、ペーパー部材進行量検出方法及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。   Accordingly, the present invention provides a paper member progress detection device, a screen printing machine, a paper member progress detection method, and a paper member progress detection method capable of accurately detecting the progress of a paper member that is advanced by being pulled out of or taken up by a reel. An object is to provide a screen printing method.

請求項1に記載のペーパー部材進行量検出装置は、リールに巻き付けられたロール状のペーパー部材の外周面に接触して設けられた回転部材と、リールからのペーパー部材の引き出し若しくはリールによるペーパー部材の巻き取りに応じて回転した回転部材の回転数を検出する回転数検出部と、回転数検出部によって検出された回転部材の回転数に基づいて、リールから引き出され若しくはリールにより巻き取られることによって進行したペーパー部材の進行量の算出を行う進行量算出部とを備えた。   The paper member advance detection device according to claim 1 is a rotating member provided in contact with an outer peripheral surface of a roll-shaped paper member wound around a reel, and a paper member drawn out of the reel or a paper member by a reel. A rotation number detection unit that detects the rotation number of the rotating member that has rotated in response to the winding of the rotation member, and is drawn from or wound by the reel based on the rotation number of the rotation member detected by the rotation number detection unit And a progress amount calculation unit that calculates the progress amount of the paper member that has progressed through the above step.

請求項2に記載のスクリーン印刷機は、基板の電極に対応するパターン孔を有し、基板の電極とパターン孔が合致するように基板に接触されるマスクと、基板に接触されたマスク上を摺動し、マスク上に供給されたペーストをマスク上で掻き寄せることにより、マスクのパターン孔を介して基板の電極にペーストを転写させるスキージと、マスクの下方をマスクに対して平行に相対移動するベース部と、ベース部に設けられた押し当て部材と、ベース部に設けられた駆動側リール及び従動側リールと、駆動側リールと従動側リールの間に掛け渡され、押し当て部材の上面に位置するクリーニング領域が押し当て部材によってマスクの下面に押し当てられるペーパー部材と、従動側リール若しくは駆動側リールに巻き付けられたロール状のペーパー部材の外周面に接触して設けられた回転部材と、従動側リールからのペーパー部材の引き出し若しくは駆動側リールによるペーパー部材の巻き取りに応じて回転した回転部材の回転数を検出する回転数検出部と、回転数検出部により検出された回転部材の回転数に基づいて、従動側リールから引き出され若しくは駆動側リールにより巻き取られることによって進行したペーパー部材の進行量の算出を行う進行量算出部と、進行量算出部により算出されたペーパー部材の進行量に基づいて、ペーパー部材の新たなクリーニング領域を押し当て部材の上面に位置させるクリーニング領域更新動作制御手段と、ペーパー部材の新たなクリーニング領域を押し当て部材によってマスクの下面に押し当てた状態でベース部をマスクに対して相対移動させてマスクの下面に付着したペーストを拭き取るペースト拭き取り動作制御手段と、下面に付着したペーストが拭き取られたマスクを基板に接触させ、マスク上でスキージを摺動させることによって基板の電極にペーストを転写させるスクリーン印刷実行制御手段とを備えた。   The screen printer according to claim 2 has a pattern hole corresponding to the electrode of the substrate, and a mask that is in contact with the substrate so that the electrode of the substrate and the pattern hole coincide with each other, and a mask that is in contact with the substrate. A squeegee that slides and pastes the paste supplied on the mask on the mask to transfer the paste to the electrode of the substrate through the pattern hole of the mask, and the lower part of the mask moves relative to the mask in parallel. Base portion, a pressing member provided on the base portion, a driving reel and a driven reel provided on the base portion, and an upper surface of the pressing member that is spanned between the driving reel and the driven reel. A paper member that is pressed against the lower surface of the mask by the pressing member, and a roll-shaped page wound around the driven reel or the driving reel. -Number of rotations to detect the number of rotations of the rotating member provided in contact with the outer peripheral surface of the member and the rotating member rotated in accordance with the withdrawal of the paper member from the driven reel or the winding of the paper member by the driving reel Based on the number of rotations of the rotation member detected by the detection unit and the number of rotations detection unit, the amount of progress for calculating the amount of progress of the paper member that is advanced by being pulled out of the driven reel or wound by the drive side reel Based on the progress amount of the paper member calculated by the calculation portion, the progress amount calculation portion, a cleaning area update operation control means for positioning the new cleaning area of the paper member on the upper surface of the pressing member, and a new paper member The base moves relative to the mask with the cleaning area pressed against the lower surface of the mask by the pressing member. Paste wiping operation control means for wiping off the paste adhered on the lower surface of the mask and the mask on which the paste adhered on the lower surface is wiped in contact with the substrate and sliding the squeegee on the mask to paste onto the substrate electrode Screen printing execution control means for transferring the image.

請求項3に記載のペーパー部材進行量検出方法は、リールに巻き付けられたロール状のペーパー部材の外周面に接触して設けられた回転部材が、リールからのペーパー部材の引き出し若しくはリールによるペーパー部材の巻き取りに応じて回転した回転数を検出する工程と、検出した回転部材の回転数に基づいて、リールから引き出され若しくはリールにより巻き取られることによって進行したペーパー部材の進行量の算出を行う工程とを含む。   The paper member advance detection method according to claim 3, wherein the rotating member provided in contact with the outer peripheral surface of the roll-shaped paper member wound around the reel is a paper member drawn out of the reel or a paper member by the reel. Based on the detected number of rotations of the rotating member and the detected number of rotations of the rotating member, the amount of progress of the paper member that has been pulled out or taken up by the reel is calculated based on the detected number of rotations of the rotating member. Process.

請求項4に記載のスクリーン印刷方法は、基板の電極に対応するパターン孔を有し、基板の電極とパターン孔が合致するように基板に接触されるマスクと、基板に接触されたマスク上を摺動し、マスク上に供給されたペーストをマスク上で掻き寄せることにより、マスクのパターン孔を介して基板の電極にペーストを転写させるスキージと、マスクの下方をマスクに対して平行に相対移動するベース部と、ベース部に設けられた押し当て部材と、ベース部に設けられた駆動側リール及び従動側リールと、駆動側リールと従動側リールの間に掛け渡され、押し当て部材の上面に位置するクリーニング領域が押し当て部材によってマスクの下面に押し当てられるペーパー部材とを備えたスクリーン印刷機によるスクリーン印刷方法であって、従動側リール若しくは駆動側リールに巻き付けられたロール状のペーパー部材の外周面に接触して設けられた回転部材が、従動側リールからのペーパー部材の引き出し若しくは駆動側リールによるペーパー部材の巻き取りに応じて回転した回転数を検出する工程と、検出した回転部材の回転数に基づいて、従動側リールから引き出され若しくは駆動側リールにより巻き取られることによって進行したペーパー部材の進行量の算出を行う工程と、算出したペーパー部材の進行量に基づいて、ペーパー部材の新たなクリーニング領域を押し当て部材の上面に位置させる工程と、ペーパー部材の新たなクリーニング領域を押し当て部材によってマスクの下面に押し当てた状態でベース部をマスクに対して相対移動させてマスクの下面に付着したペーストを拭き取る工程と、下面に付着したペーストが拭き取られたマスクを基板に接触させ、マスク上でスキージを摺動させることによって基板の電極にペーストを転写させる工程とを含む。   The screen printing method according to claim 4 has a pattern hole corresponding to the electrode of the substrate, a mask that is in contact with the substrate so that the electrode of the substrate matches the pattern hole, and a mask that is in contact with the substrate. A squeegee that slides and pastes the paste supplied on the mask on the mask to transfer the paste to the electrode of the substrate through the pattern hole of the mask, and the lower part of the mask moves relative to the mask in parallel. Base portion, a pressing member provided on the base portion, a driving reel and a driven reel provided on the base portion, and an upper surface of the pressing member that is spanned between the driving reel and the driven reel. A screen printing method by a screen printing machine comprising a paper member having a cleaning region located on the bottom surface of the mask pressed by a pressing member The rotating member provided in contact with the outer peripheral surface of the roll-shaped paper member wound around the reel or the driving side reel is adapted to pull out the paper member from the driven side reel or take up the paper member by the driving side reel. A step of detecting the number of rotations, and a step of calculating the amount of progress of the paper member that has been advanced by being pulled out of the driven reel or wound by the drive side reel, based on the detected number of rotations of the rotating member. Based on the calculated amount of progress of the paper member, the step of positioning a new cleaning region of the paper member on the upper surface of the pressing member, and the new cleaning region of the paper member was pressed against the lower surface of the mask by the pressing member Paste attached to the lower surface of the mask by moving the base part relative to the mask in the state And a step of wiping, a mask paste is wiped adhered to the lower surface is brought into contact with the substrate, and a step of transferring the paste to the electrode of the substrate by sliding a squeegee on the mask.

本発明では、リールに巻き付けられたロール状のペーパー部材の外周面に接触して設けられた回転部材の回転数によってリールから引き出され若しくはリールにより巻き取られることによって進行するペーパー部材の進行量の算出を行うようにしているので、リールに巻き付けられたロール状のペーパー部材の半径方向の寸法によらず、ペーパー部材の進行量を正確に検出することができる。   In the present invention, the amount of progress of the paper member that is advanced by being drawn from the reel or wound by the reel by the number of rotations of the rotating member provided in contact with the outer peripheral surface of the roll-shaped paper member wound around the reel. Since the calculation is performed, the amount of progress of the paper member can be accurately detected regardless of the radial dimension of the roll-shaped paper member wound around the reel.

本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の平面図The top view of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の正面図The front view of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の側面図The side view of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスクの平面図The top view of the mask with which the screen printing machine in one embodiment of this invention is equipped 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスククリーニング装置の斜視図The perspective view of the mask cleaning apparatus with which the screen printer in one embodiment of this invention is provided. (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスククリーニング装置の側面図(A) (b) The side view of the mask cleaning apparatus with which the screen printer in one embodiment of this invention is provided 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスククリーニング装置の一部断面側面図The partial cross section side view of the mask cleaning apparatus with which the screen printer in one embodiment of this invention is provided 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスククリーニング装置によりマスクのクリーニングをしている状態を示す図The figure which shows the state which is cleaning the mask with the mask cleaning apparatus with which the screen printer in one embodiment of this invention is provided. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図The block diagram which shows the control system of the screen printer in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるペーパー部材進行量検出装置の構成を示す図The figure which shows the structure of the paper member progress amount detection apparatus with which the screen printer in one embodiment of this invention is provided. 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷動作の実行手順を示すフローチャートThe flowchart which shows the execution procedure of the screen printing operation by the screen printer in one embodiment of this invention (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図(A) (b) Operation | movement explanatory drawing of the screen printer in one embodiment of this invention (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図(A) (b) Operation | movement explanatory drawing of the screen printer in one embodiment of this invention (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図(A) (b) Operation | movement explanatory drawing of the screen printer in one embodiment of this invention (a)(b)(c)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図(A) (b) (c) Operation explanatory diagram of the screen printer in one embodiment of the present invention (a)(b)(c)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図(A) (b) (c) Operation explanatory diagram of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が行うマスククリーニング動作の実行手順を示すフローチャートThe flowchart which shows the execution procedure of the mask cleaning operation | movement which the screen printer in one embodiment of this invention performs (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスククリーニング装置のクリーニング領域の更新動作の説明図(A) (b) Explanatory drawing of the update operation | movement of the cleaning area | region of the mask cleaning apparatus with which the screen printer in one embodiment of this invention is provided. (a)(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスククリーニング装置のクリーニング領域の更新動作の説明図(A) (b) Explanatory drawing of the update operation | movement of the cleaning area | region of the mask cleaning apparatus with which the screen printer in one embodiment of this invention is provided.

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1、図2及び図3に示すスクリーン印刷機1は、実装基板生産用の電子部品実装ラインを構成する電子部品実装用装置の一種であり、基板2を搬入してその基板2の表面に設けられた電極3上に半田ペーストや導電性ペースト等のペーストPst(図3参照)を転写するスクリーン印刷を行った後、その基板2を下流側の電子部品実装機(図示せず)等に搬出する動作を連続実行するものである。以下、説明の便宜上、このスクリーン印刷機1における基板2の搬送方向をX軸方向(図1の紙面左右方向)、X軸方向と直交する水平面内方向をY軸方向(図1の紙面上下方向)とし、上下方向をZ軸方向とする。また、Y軸方向をスクリーン印刷機1の前後方向、X軸方向をスクリーン印刷機1の横方向とする。更に、前後方向のうち、スクリーン印刷機1のオペレータOP(図1)がスクリーン印刷機1に対して作業を行う側(図1の紙面下方)をスクリーン印刷機1の前方、その反対側(図1の紙面上方)をスクリーン印刷機1の後方とする。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. A screen printing machine 1 shown in FIGS. 1, 2 and 3 is a kind of electronic component mounting apparatus constituting an electronic component mounting line for mounting substrate production. A substrate 2 is carried in and placed on the surface of the substrate 2. After performing screen printing for transferring a paste Pst (see FIG. 3) such as a solder paste or a conductive paste onto the provided electrode 3, the substrate 2 is transferred to an electronic component mounting machine (not shown) on the downstream side. The operation to carry out is executed continuously. Hereinafter, for convenience of explanation, the transport direction of the substrate 2 in the screen printing machine 1 is the X axis direction (left and right direction in FIG. 1), and the horizontal direction perpendicular to the X axis direction is the Y axis direction (up and down direction in FIG. 1). ) And the vertical direction is the Z-axis direction. The Y-axis direction is the front-rear direction of the screen printing machine 1 and the X-axis direction is the horizontal direction of the screen printing machine 1. Further, in the front-rear direction, the operator OP (FIG. 1) of the screen printing machine 1 performs the operation on the screen printing machine 1 (below the paper surface in FIG. 1) is the front side of the screen printing machine 1, and the opposite side (see FIG. 1). 1) is the rear side of the screen printer 1.

図1、図2及び図3において、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1は、基台11上に設けられた基板保持移動ユニット12、基板保持移動ユニット12の上方に設けられたプレート状のマスク13、前後一対のスキージ14、カメラユニット15及びマスククリーニング装置16を備えている。   1, 2, and 3, the screen printing machine 1 according to the present embodiment includes a substrate holding / moving unit 12 provided on a base 11, and a plate-like mask provided above the substrate holding / moving unit 12. 13, a pair of front and rear squeegees 14, a camera unit 15, and a mask cleaning device 16.

図2及び図3において、基板保持移動ユニット12は、水平移動部21、昇降部22、コンベア部23及び基板保持部24から成る。   2 and 3, the substrate holding / moving unit 12 includes a horizontal moving unit 21, a lifting / lowering unit 22, a conveyor unit 23, and a substrate holding unit 24.

水平移動部21は、Yテーブル駆動モータMyの作動によって基台11に対してY軸方向に移動するYテーブル21a、Xテーブル駆動モータMxの作動によってYテーブル21aに対してX軸方向に移動するXテーブル21b、Xテーブル21bに対してZ軸回りに回転するθテーブル21c、θテーブル21cの上面に固定されたベーステーブル21d及びベーステーブル21dの上面から上方に延びて設けられた複数の昇降テーブルガイド21eから成る。   The horizontal moving unit 21 moves in the X-axis direction with respect to the Y table 21a by the operation of the Y table 21a that moves in the Y-axis direction with respect to the base 11 by the operation of the Y-table drive motor My, and the operation of the X-table drive motor Mx. X table 21b, θ table 21c rotating around Z axis with respect to X table 21b, base table 21d fixed to the upper surface of θ table 21c, and a plurality of lifting tables provided extending upward from the upper surface of base table 21d It consists of a guide 21e.

昇降部22は、水平移動部21の複数の昇降テーブルガイド21eにガイドされてベーステーブル21dに対して昇降する昇降テーブル22a及び昇降テーブル22aの上面から上方に延びて設けられた複数の下受けユニット昇降ガイド22bから成る。   The elevating unit 22 is guided by a plurality of elevating table guides 21e of the horizontal moving unit 21 and elevates with respect to the base table 21d. The elevating unit 22a extends upward from the upper surface of the elevating table 22a. It consists of a lifting guide 22b.

図3において、コンベア部23は昇降テーブル22aとともにベーステーブル21dに対して昇降する前後一対のコンベア機構23aから成る。各コンベア機構23aは、X軸方向に延びて設けられ、下受けユニット昇降ガイド22bの上端に取り付けられたベルトコンベア支持部材31と、ベルトコンベア支持部材31に支持されてX軸方向に延びるベルトコンベア32から成り、これら前後のコンベア機構23aが(ベルトコンベア32が)同期して作動することにより、基板2のX軸方向への搬送がなされる。   In FIG. 3, the conveyor unit 23 includes a pair of front and rear conveyor mechanisms 23a that move up and down with respect to the base table 21d together with the lift table 22a. Each conveyor mechanism 23a extends in the X-axis direction, and is provided with a belt conveyor support member 31 attached to the upper end of the receiving unit lifting guide 22b, and a belt conveyor supported by the belt conveyor support member 31 and extending in the X-axis direction. 32, and the front and rear conveyor mechanisms 23a operate synchronously (the belt conveyor 32), thereby transporting the substrate 2 in the X-axis direction.

図2及び図3において、基板保持部24は、コンベア部23が備える前後一対のベルトコンベア支持部材31それぞれの上部にY軸方向に移動自在に設けられた前後一対のクランプ部材24a(図1も参照)、コンベア部23の下方において、下受けユニット昇降ガイド22bにガイドされて昇降する下受けユニット支持テーブル24b及び下受けユニット支持テーブル24bの上面に設けられた下受けユニット24cから成る。下受けユニット24cは、下受けユニット支持テーブル24bとともに昇降テーブル22aに対して昇降することにより、コンベア部23上の基板2を下方から支持する。前後のクランプ部材24aは、前後のベルトコンベア32によって両端部が支持され、下受けユニット24cによって下面が支持された基板2のY軸方向の両側部を基板2の外方から挟んでクランプする。   2 and 3, the substrate holding part 24 is a pair of front and rear clamp members 24a (also shown in FIG. 1) provided on the upper portions of the pair of front and rear belt conveyor support members 31 provided in the conveyor part 23 so as to be movable in the Y-axis direction. The lower receiving unit support table 24b is moved up and down by being guided by the lower receiving unit lifting guide 22b, and the lower receiving unit 24c provided on the upper surface of the lower receiving unit supporting table 24b. The lower receiving unit 24c supports the substrate 2 on the conveyor unit 23 from below by moving up and down with respect to the lifting table 22a together with the lower receiving unit support table 24b. The front and rear clamping members 24a are clamped by sandwiching both sides in the Y-axis direction of the substrate 2 supported at both ends by the front and rear belt conveyors 32 and supported at the lower surface by the lower receiving unit 24c from the outside of the substrate 2.

図1及び図2において、基板保持移動ユニット12を構成するコンベア部23のX軸方向の両側(基板2の搬送方向の上流側と下流側)の位置には、スクリーン印刷機1の外部(図1及び図2の紙面左側)から投入された基板2を搬送(搬入)してコンベア部23に受け渡す基板搬入コンベア25と、コンベア部23から受け渡された基板2をスクリーン印刷機1の外部(図1及び図2の紙面右側)に搬送(搬出)する基板搬出コンベア26が備えられている。基板搬入コンベア25及び基板搬出コンベア26はそれぞれ、コンベア部23と同様に前後一対のコンベア機構(図1では符号を25a及び26aとする)から成っている。   In FIGS. 1 and 2, at the positions on both sides in the X-axis direction (upstream side and downstream side in the conveyance direction of the substrate 2) of the conveyor unit 23 that constitutes the substrate holding and moving unit 12, the screen printing machine 1 (see FIG. 1 and the substrate loading conveyor 25 that conveys (loads) the substrate 2 that has been loaded from the left side of the sheet of FIG. 2 and delivers it to the conveyor unit 23, and the substrate 2 that has been delivered from the conveyor unit 23 to the outside of the screen printer 1 A substrate carry-out conveyor 26 for carrying (carrying out) is provided (on the right side in FIG. 1 and FIG. 2). The substrate carry-in conveyor 25 and the substrate carry-out conveyor 26 are each composed of a pair of front and rear conveyor mechanisms (indicated by reference numerals 25a and 26a in FIG. 1), like the conveyor unit 23.

図1及び図4において、マスク13は平面視において矩形の枠状部材から成るマスク枠13wによって四辺が支持されており、マスク枠13wによって囲まれた矩形の領域には、基板2上の複数の電極3に対応した多数のパターン孔13aが設けられている。すなわちマスク13は、基板2の電極3の配置に応じて形成された多数のパターン孔13aを有したものとなっている。   In FIG. 1 and FIG. 4, the mask 13 is supported by a mask frame 13w made of a rectangular frame-like member in plan view, and a rectangular region surrounded by the mask frame 13w has a plurality of areas on the substrate 2. A large number of pattern holes 13 a corresponding to the electrodes 3 are provided. That is, the mask 13 has a large number of pattern holes 13 a formed according to the arrangement of the electrodes 3 on the substrate 2.

図1において、基板2の対角位置には2つ一組の基板側位置決め用マークmkが設けられている。一方、図4において、マスク13には、基板側位置決め用マークmkに対応して配置された2つ一組のマスク側位置決め用マークMKが設けられている。これら基板側位置決め用マークmkとマスク側位置決め用マークMKが上下に合致する状態で基板2をマスク13に接触させると、基板2の電極3とマスク13のパターン孔13aは上下に合致した状態となる。   In FIG. 1, two sets of substrate-side positioning marks mk are provided at diagonal positions of the substrate 2. On the other hand, in FIG. 4, the mask 13 is provided with a pair of mask side positioning marks MK arranged corresponding to the substrate side positioning marks mk. When the substrate 2 is brought into contact with the mask 13 with the substrate-side positioning mark mk and the mask-side positioning mark MK aligned vertically, the electrode 3 of the substrate 2 and the pattern hole 13a of the mask 13 are aligned vertically. Become.

マスク13は、オペレータOPがこのマスク13の両端部を両手で把持してスクリーン印刷機1の前方から基板保持移動ユニット12の上方をY軸方向に延びて設けられた一対のマスク支持レール27(図1及び図4)の間に挿入し、マスク枠13wの先頭部がマスク支持レール27上に設けられたストッパ27a(図1及び図4)に当接するまで後方に押し込むことによって、所定の位置に設置される。   The mask 13 is provided with a pair of mask support rails 27 (provided by the operator OP holding both ends of the mask 13 with both hands and extending in the Y-axis direction from the front of the screen printing machine 1 to above the substrate holding and moving unit 12. 1 and FIG. 4), and is pushed backward until the leading portion of the mask frame 13w comes into contact with a stopper 27a (FIGS. 1 and 4) provided on the mask support rail 27, so that a predetermined position is obtained. Installed.

図1及び図2において、基台11上には基板搬入コンベア25及び基板搬出コンベア26をそれぞれY軸方向に跨ぐ一対の門型フレーム28が設けられており、これら一対の門型フレーム28にはX軸方向に延びたX軸ステージ29aの両端部がY軸方向にスライド自在に支持されている。X軸ステージ29a上にはカメラ支持ステージ29bがX軸方向に移動自在に設けられており、カメラ支持ステージ29bには前述のカメラユニット15が取り付けられている。カメラユニット15は、撮像視野を下方に向けた第1カメラ15aと撮像視野を上方に向けた第2カメラ15bを備えている(図3)。   In FIG. 1 and FIG. 2, a pair of gate-shaped frames 28 are provided on the base 11 so as to straddle the substrate carry-in conveyor 25 and the substrate carry-out conveyor 26 in the Y-axis direction. Both end portions of the X-axis stage 29a extending in the X-axis direction are supported so as to be slidable in the Y-axis direction. A camera support stage 29b is provided on the X-axis stage 29a so as to be movable in the X-axis direction. The camera unit 15 is attached to the camera support stage 29b. The camera unit 15 includes a first camera 15a whose imaging field is directed downward and a second camera 15b whose imaging field is directed upward (FIG. 3).

図1において、上記一対の門型フレーム28にはX軸方向に延びたスキージベース40の両端が支持されており、スキージベース40は門型フレーム28に沿ってY軸方向に往復移動自在となっている。このスキージベース40には前述の前後一対のスキージ14がY軸方向に対向して設けられている。各スキージ14はX軸方向に延びた「へら」状の部材から成り、それぞれスキージベース40に対して昇降自在に取り付けられている。   In FIG. 1, both ends of a squeegee base 40 extending in the X-axis direction are supported by the pair of portal frames 28, and the squeegee base 40 can reciprocate in the Y-axis direction along the portal frame 28. ing. The squeegee base 40 is provided with the pair of front and rear squeegees 14 facing each other in the Y-axis direction. Each squeegee 14 is made of a “spar” -like member extending in the X-axis direction, and is attached to the squeegee base 40 so as to be movable up and down.

図5及び図6(a),(b)において、スクリーン印刷機1が備えるマスククリーニング装置16は、全体が水平面内方向(ここではY軸内方向)に移動自在に設けられており、上記X軸ステージ29aに取り付けられてマスク13の下方をマスク13に対して平行に相対移動するベース部41に、押し当て部材としてのノズル42、一対のリール(駆動側リール43及び従動側リール44)、複数のテンションローラ45及びペーパー部材進行量検出装置46が設けられた構成となっている。   5 and 6 (a) and 6 (b), the entire mask cleaning device 16 provided in the screen printer 1 is provided so as to be movable in the horizontal plane direction (here, the Y-axis internal direction). A base portion 41 attached to the shaft stage 29a and relatively moving in parallel with the mask 13 below the mask 13, a nozzle 42 as a pressing member, a pair of reels (a driving reel 43 and a driven reel 44), A plurality of tension rollers 45 and a paper member advance detection device 46 are provided.

ノズル42は全体としてX軸方向に延びた長方形枠形状を有しており、ベース部41に対して昇降自在に設けられている。ノズル42はベース部41のシリンダ取り付け部41aに上下方向に延びて取り付けられたノズル昇降シリンダ47によって、ベース部41に対する上昇位置である張り出し位置(図6(a))と下降位置である格納位置(図6(b))との間で移動(昇降)させることができる。   The nozzle 42 as a whole has a rectangular frame shape extending in the X-axis direction, and is provided so as to be movable up and down with respect to the base portion 41. The nozzle 42 is extended to the cylinder mounting portion 41a of the base portion 41 so as to extend in the vertical direction, and is extended to the base portion 41 (FIG. 6 (a)) and retracted position is the lowering position. (FIG. 6B) can be moved (lifted).

図5及び図6(a),(b)において、駆動側リール43と従動側リール44はベース部41に設けられた2つの平行な水平軸(軸部材43a,44a)に回転自在に取り付けられており、複数のテンションローラ45もこれら軸部材43a,44aと水平な軸部材に取り付けられている。駆動側リール43と従動側リール44の間には、複数のテンションローラ45を介してペーパー部材48が掛け渡されている。   5 and 6 (a) and 6 (b), the driving side reel 43 and the driven side reel 44 are rotatably attached to two parallel horizontal shafts (shaft members 43a and 44a) provided in the base portion 41. The plurality of tension rollers 45 are also attached to the shaft members 43a and 44a and a horizontal shaft member. A paper member 48 is suspended between the driving reel 43 and the driven reel 44 via a plurality of tension rollers 45.

駆動側リール43はベース部41に設けられたリール駆動モータ50によってペーパー部材48を巻き取る方向に駆動することができる。一方、従動側リール44はペーパー部材48が引き出されたときにペーパー部材48により回転させられるが、従動側リール44の回転を規制するブレーキ51(図5及び図6(a),(b))を作動させることにより、従動側リール44からペーパー部材48が引き出されないようにすることができる。   The drive side reel 43 can be driven in a direction in which the paper member 48 is taken up by a reel drive motor 50 provided in the base portion 41. On the other hand, the driven-side reel 44 is rotated by the paper member 48 when the paper member 48 is pulled out, but the brake 51 that restricts the rotation of the driven-side reel 44 (FIGS. 5 and 6A, 6B). By operating the, the paper member 48 can be prevented from being pulled out from the driven reel 44.

図6(a),(b)において、ペーパー部材進行量検出装置46は、従動側リール44の回転軸44aと平行な軸部材回りに回転自在な円筒状の回転部材46aを備えており、この回転部材46aは、ベース部41のシリンダ取り付け部41aに設けられた回転部材付勢機構52によって付勢されて、円筒状の外周面が従動側リール44に巻き付けられたロール状のペーパー部材48の外周面に接触されるようになっている。ペーパー部材進行量検出装置46は、回転部材46aの回転数に基づいて、従動側リール44から引き出されることによって進行するペーパー部材48の進行量(ここでは引き出し量)の検出を行う。   6 (a) and 6 (b), the paper member progress amount detection device 46 includes a cylindrical rotating member 46a that is rotatable around an axis member parallel to the rotating shaft 44a of the driven reel 44. The rotating member 46 a is urged by a rotating member urging mechanism 52 provided in the cylinder mounting portion 41 a of the base portion 41, and the cylindrical outer peripheral surface of the roll-shaped paper member 48 wound around the driven reel 44. It comes in contact with the outer peripheral surface. The paper member advancing amount detection device 46 detects the advancing amount (here, the drawing amount) of the paper member 48 that is advanced by being pulled out from the driven reel 44 based on the number of rotations of the rotating member 46a.

ノズル42が張り出し位置(図6(a))又は格納位置(図6(b))に位置した状態では、従動側リール44はブレーキ51によってその回転作動が規制されるとともに、リール駆動モータ50に微弱な電流が供給されて駆動側リール43にペーパー部材48の巻き取り方向への駆動力が与えられ、ペーバー部材48に弛みが生じないように一定のテンションが付与される。   In a state where the nozzle 42 is located at the overhang position (FIG. 6A) or the storage position (FIG. 6B), the rotation of the driven reel 44 is restricted by the brake 51 and the reel drive motor 50 is A weak current is supplied to apply a driving force in the winding direction of the paper member 48 to the driving reel 43, and a constant tension is applied so that the paver member 48 is not slackened.

図6(a)及び図7において、ペーパー部材48の、ノズル42が張り出し位置に位置した状態でノズル42の上面に位置している(ノズル42によって支持されている)部分は、ノズル42によって、下面にペーストPst(ペーストPstの残り滓)が付着したマスク13の下面に押し当てられるクリーニング領域48aである(図8も参照)。   6A and 7, the portion of the paper member 48 that is located on the upper surface of the nozzle 42 (supported by the nozzle 42) in a state where the nozzle 42 is located at the protruding position is supported by the nozzle 42. This is the cleaning region 48a pressed against the lower surface of the mask 13 with the paste Pst (the remaining residue of the paste Pst) attached to the lower surface (see also FIG. 8).

図7において、マスククリーニング装置16のノズル42の内部は上下に貫通する空気吸引管路42aとなっており、この空気吸引管路42a内に真空圧を供給することにより、ペーパー部材48のクリーニング領域48aを介して空気吸引管路42a内に空気を吸引することができる。   In FIG. 7, the inside of the nozzle 42 of the mask cleaning device 16 is an air suction conduit 42a penetrating vertically. By supplying a vacuum pressure into the air suction conduit 42a, the cleaning region of the paper member 48 is obtained. Air can be sucked into the air suction pipe line 42a through 48a.

このスクリーン印刷機1において、基板2の搬送を行う基板搬送路としての基板搬入コンベア25、基板保持移動ユニット12のコンベア部23及び基板搬出コンベア26の各動作は、制御装置60(図9)が図示しないアクチュエータ等から成る基板搬送路作動機構61(図9)の作動制御を行うことによってなされ、クランプ部材24aによる基板2のクランプ動作は、制御装置60が図示しないアクチュエータ等から成るクランプ部材作動機構62(図9)の作動制御を行うことによってなされる。   In this screen printing machine 1, the control device 60 (FIG. 9) performs each operation of the substrate carry-in conveyor 25 as a substrate carrying path for carrying the substrate 2, the conveyor unit 23 of the substrate holding and moving unit 12, and the substrate carry-out conveyor 26. The substrate transport path operating mechanism 61 (FIG. 9) including an actuator (not shown) is controlled to perform the clamping operation of the substrate 2 by the clamp member 24a. The control device 60 includes a clamp member operating mechanism including an actuator (not shown). This is done by performing the operation control 62 (FIG. 9).

基台11に対するYテーブル21aのY軸方向への移動、Yテーブル21aに対するXテーブル21bのX軸方向への移動、Xテーブル21bに対するθテーブル21cの(すなわちベーステーブル21dの)Z軸回りの回転、ベーステーブル21dに対する昇降テーブル22aの昇降、昇降テーブル22aに対する下受けユニット支持テーブル24bの(すなわち下受けユニット24cの)昇降の各動作は、制御装置60がYテーブル駆動モータMyやXテーブル駆動モータMxを含むアクチュエータ等から成る基板保持移動ユニット作動機構63(図9)の作動制御を行うことによってなされる。   Movement of the Y table 21a relative to the base 11 in the Y-axis direction, movement of the X table 21b relative to the Y table 21a in the X-axis direction, rotation of the θ table 21c relative to the X table 21b (ie, the base table 21d) around the Z axis The control device 60 operates the Y table drive motor My and the X table drive motor for the operations of raising and lowering the elevation table 22a relative to the base table 21d and raising and lowering the lower support unit support table 24b relative to the elevation table 22a (that is, lower support unit 24c). This is done by controlling the operation of the substrate holding / moving unit operating mechanism 63 (FIG. 9) including an actuator including Mx.

カメラユニット15の水平面内での移動動作、すなわち一対の門型フレーム28に対するX軸ステージ29aのY軸方向への移動動作及びX軸ステージ29aに対するカメラ支持ステージ29bのX軸方向への移動動作の各制御は、制御装置60が図示しないアクチュエータから成るカメラユニット移動機構64(図9)の作動制御を行うことによってなされる。また、マスククリーニング装置16のマスク13に対する相対移動動作も、制御装置60がカメラユニット移動機構64の作動制御を行ってX軸ステージ29aをY軸方向に移動させることによってなされる。   Movement of the camera unit 15 in the horizontal plane, that is, movement of the X-axis stage 29a in the Y-axis direction with respect to the pair of portal frames 28 and movement of the camera support stage 29b in the X-axis direction with respect to the X-axis stage 29a Each control is performed when the control device 60 controls the operation of the camera unit moving mechanism 64 (FIG. 9) including an actuator (not shown). The relative movement of the mask cleaning device 16 with respect to the mask 13 is also performed when the control device 60 controls the operation of the camera unit moving mechanism 64 to move the X-axis stage 29a in the Y-axis direction.

前後のスキージ14をY軸方向に往復移動させるスキージベース40の作動制御は、制御装置60が図示しないアクチュエータ等から成るスキージ移動機構65(図9)の制御を行うことによってなされる。また、各スキージ14のスキージベース40に対する昇降動作は、制御装置60がスキージベース40の上部に取り付けられたスキージ昇降シリンダ66(図2、図3及び図9)の作動制御を行うことによってなされる。   The operation control of the squeegee base 40 for reciprocating the front and rear squeegees 14 in the Y-axis direction is performed by the control device 60 controlling a squeegee moving mechanism 65 (FIG. 9) including an actuator (not shown). Further, the raising / lowering operation of each squeegee 14 with respect to the squeegee base 40 is performed by the control device 60 controlling the operation of a squeegee raising / lowering cylinder 66 (FIGS. 2, 3 and 9) attached to the upper part of the squeegee base 40. .

カメラユニット15を構成する第1カメラ15aは、制御装置60に制御されて、基板保持移動ユニット12が備える基板保持部24によって保持された基板2の基板側位置決め用マークmkの撮像を行い、第2カメラ15bは、制御装置60に制御されて、マスク13に設けられたマスク側位置決め用マークMKの撮像を行う。第1カメラ15aの撮像によって得られた画像データと第2カメラ15bの撮像によって得られた画像データはともに制御装置60に入力される(図9)。   The first camera 15a constituting the camera unit 15 is controlled by the control device 60 to image the substrate side positioning mark mk of the substrate 2 held by the substrate holding unit 24 included in the substrate holding and moving unit 12, The two camera 15b is controlled by the control device 60 and images the mask side positioning mark MK provided on the mask 13. Both the image data obtained by imaging with the first camera 15a and the image data obtained by imaging with the second camera 15b are input to the control device 60 (FIG. 9).

マスククリーニング装置16のベース部41に対するノズル42の昇降作動制御は、制御装置60が前述のノズル昇降シリンダ47の作動制御を行うことによってなされる(図9)。また、マスククリーニング装置16の駆動側リール43の回転作動によるペーパー部材48の巻き取り動作は、制御装置60が前述のリール駆動モータ50の作動制御を行うことによってなされ(図9)、従動側リール44の回転規制は、制御装置60が前述のブレーキ51の作動制御を行うことによってなされる(図9)。   Control of raising and lowering the nozzle 42 with respect to the base portion 41 of the mask cleaning device 16 is performed by the control device 60 performing operation control of the nozzle raising and lowering cylinder 47 described above (FIG. 9). Further, the winding operation of the paper member 48 by the rotation operation of the driving side reel 43 of the mask cleaning device 16 is performed by the control device 60 performing the operation control of the reel driving motor 50 (FIG. 9), and the driven side reel. The rotation restriction of 44 is performed by the control device 60 performing the operation control of the brake 51 described above (FIG. 9).

図6(a),(b)において、ペーパー部材進行量検出装置46は、従動側リール44に巻き付けられたロール状のペーパー部材48の外周面に接触して設けられ、ペーパー部材48が従動側リール44から引き出されたときに従動側リール44とは反対の方向に回転する前述の回転部材46aのほか、従動リール44からのペーパー部材48の引き出しに応じて回転した回転部材46aの回転数を検出する回転数検出部46b(図9)と、回転数検出部46bによって検出された回転部材46aの回転数に基づいて、従動側リール44から引き出されることによって進行したペーパー部材48の進行量の算出を行う進行量算出部46cを備えて成り、進行量算出部46cにおいて算出されたペーパー部材48の進行量の情報は、制御装置60に入力される(図9)。   6 (a) and 6 (b), the paper member progress detection device 46 is provided in contact with the outer peripheral surface of a roll-shaped paper member 48 wound around the driven reel 44, and the paper member 48 is on the driven side. In addition to the above-described rotating member 46a that rotates in the opposite direction to the driven reel 44 when pulled out from the reel 44, the number of rotations of the rotating member 46a that is rotated in accordance with the withdrawal of the paper member 48 from the driven reel 44 is set. Based on the number of rotations detected by the rotation number detection unit 46b (FIG. 9) and the number of rotations of the rotation member 46a detected by the number of rotations detection unit 46b, the amount of progress of the paper member 48 that has been advanced by being pulled out from the driven reel 44 is measured. The progress amount calculation unit 46c that performs the calculation is provided, and the information on the progress amount of the paper member 48 calculated by the progress amount calculation unit 46c is the control device 6. Is input (FIG. 9).

ペーパー部材進行量検出装置46によりペーパー部材48の進行量を検出する構成は任意であるが、例えば、図10に示すように、回転部材46aの円筒状の外周面に、回転部材46aの回転軸と平行な方向(ここではX軸方向)に延びた複数のスリットSLを回転部材46aの回転方向に等間隔に設ける(例えば、18°間隔で20個のスリットを設ける)とともに、回転数検出部46bとしての発光素子F1と受光素子F2をそれぞれ回転部材46aの外部と内部に設けた構成とすることができる。このような構成のペーパー部材進行量検出装置46では、従動側リール44を回転させながら従動側リール44からペーパー部材48が引き出されたときには(図10中に示す矢印A)、これに伴って回転部材46aが回転し(図10中に示す矢印B)、受光素子F2が受光する発光素子F1からの検査光Lの断続回数に基づいて回転部材46aの回転角度θを求めることができ、その回転部材46aの回転角度θに基づいて、ペーパー部材48の進行量を検出(算出)することができる。ここで、例えば、回転部材46aに、円周方向に18度間隔で20個のスリットSLが設けられており、ペーパー部材48の引き出しに応じて検出した検査光の断続回数がN回であった場合には、回転部材46aはN/20回転したといえ、したがって回転部材46aの半径がrである場合には、このときのペーパー部材48の従動側リール44からのペーパー部材48の進行量(引き出し量)Mは、進行量算出部46cにおいてM=2π×r×N/20と算出され、その情報が制御装置60に入力される。   Although the structure which detects the amount of progress of the paper member 48 by the paper member progress amount detection device 46 is arbitrary, for example, as shown in FIG. 10, the rotating shaft of the rotating member 46 a is arranged on the cylindrical outer peripheral surface of the rotating member 46 a. A plurality of slits SL extending in a direction parallel to the direction (here, the X-axis direction) are provided at equal intervals in the rotation direction of the rotating member 46a (for example, 20 slits are provided at intervals of 18 °), and a rotation speed detection unit The light emitting element F1 and the light receiving element F2 as 46b may be provided outside and inside the rotating member 46a, respectively. In the paper member advance detection device 46 having such a configuration, when the paper member 48 is pulled out from the driven reel 44 while rotating the driven reel 44 (arrow A shown in FIG. 10), the paper member progress amount detecting device 46 rotates accordingly. When the member 46a rotates (arrow B shown in FIG. 10), the rotation angle θ of the rotating member 46a can be obtained based on the number of intermittent times of the inspection light L from the light emitting element F1 received by the light receiving element F2. Based on the rotation angle θ of the member 46a, the progress amount of the paper member 48 can be detected (calculated). Here, for example, 20 slits SL are provided in the rotation member 46a at intervals of 18 degrees in the circumferential direction, and the number of intermittent inspection lights detected according to the withdrawal of the paper member 48 is N times. In this case, it can be said that the rotation member 46a has rotated N / 20, and therefore when the radius of the rotation member 46a is r, the amount of advancement of the paper member 48 from the driven reel 44 of the paper member 48 at this time ( The amount of withdrawal) M is calculated as M = 2π × r × N / 20 by the progress amount calculation unit 46 c, and the information is input to the control device 60.

このように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1が備えるペーパー部材進行量検出装置46は、リール(従動側リール44)から引き出されることによって進行するペーパー部材48の進行量の検出を行うペーパー部材進行量検出方法を実行するものであり、従動側リール44に巻き付けられたロール状のペーパー部材48の外周面に接触して設けられた回転部材46aが、従動側リール44からのペーパー部材48の引き出しに応じて回転した回転数を検出する工程と、検出した回転部材46aの回転数に基づいて、従動側リール44から引き出されることによって進行したペーパー部材48の進行量の算出を行う工程を含むものとなっている。   As described above, the paper member advance amount detection device 46 included in the screen printing machine 1 according to the present embodiment detects the advance amount of the paper member 48 that advances by being pulled out from the reel (driven reel 44). The amount of progress detection method is executed, and a rotating member 46 a provided in contact with the outer peripheral surface of the roll-shaped paper member 48 wound around the driven-side reel 44 is provided with the rotation of the paper member 48 from the driven-side reel 44. A step of detecting the number of rotations rotated according to the drawer, and a step of calculating the amount of progress of the paper member 48 that has been advanced by being pulled out from the driven reel 44 based on the detected number of rotations of the rotating member 46a. It has become a thing.

また、マスククリーニング装置16のペーパー部材48(クリーニング領域48a)を介して行う空気の吸引動作は、制御装置60が図示しないアクチュエータ等から成る吸引機構67(図9)の作動制御を行って、ノズル42の空気吸引管路42a内に真空圧を供給することによってなされる。   The air suction operation performed through the paper member 48 (cleaning region 48a) of the mask cleaning device 16 is controlled by the control device 60 by controlling the operation of a suction mechanism 67 (FIG. 9) including an actuator (not shown). This is done by supplying a vacuum pressure into 42 air suction lines 42a.

次に、図11のフローチャート及び図12〜図16の説明図を加えてスクリーン印刷機1の動作手順を説明する。スクリーン印刷機1の制御装置60は、昇降テーブル22aをベーステーブル21dに対する下降位置に位置させるとともに、下受けユニット24cを昇降テーブル22aに対する下降位置に位置させた状態で(図12(a))、図示しない検知手段によってスクリーン印刷機1の上流側に設置された他の装置等(図示せず)から基板搬入コンベア25に基板2が投入されたことを検知した場合には、基板搬入コンベア25とコンベア部23を連動作動させてスクリーン印刷機1内に基板2を搬入し(図12(a)中に示す矢印C)、更に、図示しない検知手段により、コンベア部23が搬入する基板2が所定の搬送停止位置に到達したことを検知したところでコンベア部23の作動を停止させて、基板2を静止させる(図12(b)。図11のステップST1に示す基板搬入工程)。   Next, the operation procedure of the screen printing machine 1 will be described with reference to the flowchart of FIG. 11 and the explanatory diagrams of FIGS. The control device 60 of the screen printing machine 1 places the lifting table 22a in the lowered position with respect to the base table 21d and the lower receiving unit 24c in the lowered position with respect to the lifting table 22a (FIG. 12A). When it is detected by a detection means (not shown) that the substrate 2 has been loaded into the substrate carry-in conveyor 25 from another device or the like (not shown) installed on the upstream side of the screen printing machine 1, The conveyor unit 23 is operated in conjunction to carry the substrate 2 into the screen printing machine 1 (arrow C shown in FIG. 12A), and the substrate 2 into which the conveyor unit 23 is loaded is determined by a detection means (not shown). When it is detected that the transport stop position is reached, the operation of the conveyor unit 23 is stopped and the substrate 2 is stopped (FIG. 12B). Substrate loading step shown in step ST1 of).

制御装置60は、基板2の搬入が終わったら、昇降テーブル22aをベーステーブル21dに対する下降位置に位置させたまま、下受けユニット24cを(下受けユニット支持テーブル24bを)昇降テーブル22aに対して上昇させ(図13(a)中に示す矢印D1)、下受けユニット24cの上端が基板2の下面に接触したところで下受けユニット24cの上昇を停止させる(図13(a))。そして、クランプ部材24aを作動させ(図13(b)中に示す矢印E1)、コンベア部23上の基板2の両側部を前後のクランプ部材24aによりクランプする(図13(b))。   When the loading of the substrate 2 is finished, the control device 60 raises the lower receiving unit 24c (with the lower receiving unit support table 24b) with respect to the lifting table 22a while keeping the lifting table 22a at the lowered position with respect to the base table 21d. When the upper end of the lower receiving unit 24c comes into contact with the lower surface of the substrate 2, the raising of the lower receiving unit 24c is stopped (FIG. 13 (a)). Then, the clamp member 24a is operated (arrow E1 shown in FIG. 13B), and both sides of the substrate 2 on the conveyor portion 23 are clamped by the front and rear clamp members 24a (FIG. 13B).

制御装置60は、前後のクランプ部材24aにより基板2をクランプしたら、昇降テーブル22aをベーステーブル21dに対する下降位置に位置させたまま、下受けユニット24cを更に昇降テーブル22aに対して上昇させて、下受けユニット24cで基板2を押し上げる(図14(a)。図中に示す矢印D2)。これにより基板2はY軸方向の両端をクランプ部材24aに対して摺動させながら上昇し(基板2はコンベア部23の両ベルトコンベア32から上方に離間する)、下受けユニット24cが昇降テーブル22aに対する上昇位置に位置して基板2の上面が両クランプ部材24aの上面とほぼ同じ高さになったところで、下受けユニット24cの押し上げを停止させる。これにより基板保持部24によって基板2が保持された状態となる(図14(a)。図11のステップST2に示す基板保持工程)。   After clamping the substrate 2 with the front and rear clamping members 24a, the control device 60 further raises the lower receiving unit 24c with respect to the lifting table 22a while keeping the lifting table 22a in the lowered position with respect to the base table 21d. The substrate 2 is pushed up by the receiving unit 24c (FIG. 14 (a), arrow D2 shown in the figure). As a result, the substrate 2 is raised while sliding both ends in the Y-axis direction with respect to the clamp member 24a (the substrate 2 is separated upward from both the belt conveyors 32 of the conveyor unit 23), and the receiving unit 24c is moved to the lifting table 22a. When the upper surface of the substrate 2 is almost at the same height as the upper surfaces of the clamp members 24a, the push-up of the lower receiving unit 24c is stopped. As a result, the substrate 2 is held by the substrate holding unit 24 (FIG. 14A) (substrate holding step shown in step ST2 of FIG. 11).

制御装置60は、上記のようにして基板保持部24により基板2を保持したら、カメラユニット移動機構64の作動制御を行い(X軸ステージ29aをY軸方向に移動させるとともに、カメラ支持ステージ29bをX軸方向に移動させ)、第1カメラ15aを基板2に設けられた基板側位置決め用マークmkの直上に位置させて、第1カメラ15aに基板側位置決め用マークmkの撮像を行わせる一方、第2カメラ15bをマスク13に設けられたマスク側位置決め用マークMKの直下に位置させて、第2カメラ15bにマスク側位置決め用マークMKの撮像を行わせる。そして、制御装置60は、得られた基板側位置決め用マークmkの画像データから基板2の位置を把握するとともに、得られたマスク側位置決め用マークMKの画像データからマスク13の位置を把握し、基板保持移動ユニット12が備える水平移動部21の作動制御を行って基板保持部24を(したがって基板2を)水平面内方向に移動させ、基板側位置決め用マークmkとマスク側位置決め用マークMKが上下に対向するようにして、マスク13に対する基板2の水平面内方向の位置決めを行う(図11のステップST3に示す位置決め工程)。   After holding the substrate 2 by the substrate holding unit 24 as described above, the control device 60 controls the operation of the camera unit moving mechanism 64 (the X-axis stage 29a is moved in the Y-axis direction and the camera support stage 29b is moved). The first camera 15a is positioned immediately above the substrate-side positioning mark mk provided on the substrate 2 to cause the first camera 15a to image the substrate-side positioning mark mk, The second camera 15b is positioned immediately below the mask side positioning mark MK provided on the mask 13, and the second camera 15b is caused to image the mask side positioning mark MK. Then, the control device 60 grasps the position of the substrate 2 from the obtained image data of the substrate-side positioning mark mk, grasps the position of the mask 13 from the obtained image data of the mask-side positioning mark MK, The horizontal holding unit 21 provided in the substrate holding / moving unit 12 is controlled to move the substrate holding unit 24 (and hence the substrate 2) in the horizontal plane, and the substrate side positioning mark mk and the mask side positioning mark MK are moved up and down. The substrate 2 is positioned with respect to the mask 13 in the horizontal plane direction (positioning step shown in step ST3 of FIG. 11).

制御装置60は、上記基板2とマスク13の水平面内方向の位置決めが終わったら、昇降テーブル22aをベーステーブル21dに対して上昇させ(図14(b)中に示す矢印F1)、基板2の被印刷面である上面をマスク13に下方から接触させる(図14(b)。図11のステップST4に示す接触工程)。これによりマスク13のパターン孔13aと基板2上の電極3とが上下方向に合致した状態となる。   When the positioning of the substrate 2 and the mask 13 in the horizontal plane direction is finished, the control device 60 raises the lifting table 22a with respect to the base table 21d (arrow F1 shown in FIG. 14B), and the substrate 2 is covered. The upper surface, which is the printing surface, is brought into contact with the mask 13 from below (FIG. 14B). The contact process shown in step ST4 of FIG. As a result, the pattern hole 13a of the mask 13 and the electrode 3 on the substrate 2 are aligned in the vertical direction.

制御装置60は、基板2をマスク13に接触させたら、スクリーン印刷機1の動作を一時中断したうえで、図示しないディスプレイ装置による画像表示等を介して、オペレータOPにペーストPstの供給を促す。オペレータOPは、現在マスク13上に残っているペーストPstの量に基づいて、ペーストPstの供給(補充)を行うべきかどうかの判断を行い、ペーストPstの供給を行うべきと判断したときには、別途用意したペースト供給シリンジ70(図15(a))により、マスク13上にペーストPstの供給を行う。そして、ペーストPstの供給が終わったら、図示しない動作再開ボタンの操作を行う。オペレータOPは、ペーストPstの供給が不要と判断した場合においても、動作再開ボタンの操作を行う。   When the control device 60 brings the substrate 2 into contact with the mask 13, the operation of the screen printing machine 1 is temporarily interrupted, and the operator OP is prompted to supply the paste Pst via an image display or the like by a display device (not shown). The operator OP determines whether or not to supply (supplement) the paste Pst based on the amount of the paste Pst currently remaining on the mask 13, and determines that the supply of the paste Pst should be performed separately. The paste Pst is supplied onto the mask 13 by the prepared paste supply syringe 70 (FIG. 15A). Then, when the supply of the paste Pst is finished, an operation restart button (not shown) is operated. The operator OP operates the operation restart button even when it is determined that the supply of the paste Pst is unnecessary.

制御装置60はステップST4の後、動作再開ボタンの操作が行われたかどうかの判断を行い(図11のステップST5に示す第1の判断工程)、動作再開ボタンの操作が行われたと判断した場合には、スクリーン印刷機1の動作中断を解除し、スキージ14を(スキージベース40を)Y軸方向に往復移動させて、マスク13のパターン孔13a内にペーストPstを充填させることによって、ペーストPstを基板2の電極3上に転写させる(図11のステップST6に示す転写工程)。   When the control device 60 determines whether or not the operation resumption button has been operated after step ST4 (first determination step shown in step ST5 in FIG. 11), and determines that the operation resumption button has been operated In this case, the operation interruption of the screen printing machine 1 is canceled, the squeegee 14 (the squeegee base 40) is reciprocated in the Y-axis direction, and the paste Pst is filled in the pattern hole 13a of the mask 13, whereby the paste Pst Is transferred onto the electrode 3 of the substrate 2 (transfer step shown in step ST6 of FIG. 11).

スキージ14によるペーストPstの基板2への転写動作では、先ず、前方のスキージ14(図15における紙面左側のスキージ14)を下降させてその下縁をマスク13の上面に接触(当接)させた後、スキージベース40をY軸方向の後方に移動させ、前方のスキージ14をマスク13上で摺動させることによって、後方のクランプ部材24aの上面領域までペーストPstを掻き寄せる(図15(b)中に示す矢印G1)。ペーストPstを後方のクランプ部材24aの上面領域まで掻き寄せたら、スキージベース40の移動を停止させたうえで、前方のスキージ14を上昇させてマスク13から離間させるとともに、後方のスキージ14(図15における紙面右側のスキージ14)を下降させてその下縁をマスク13の上面に接触(当接)させる。そして、スキージベース40を矢印G1とは反対の方向に移動させ、後方のスキージ14をマスク13上で摺動させることによって、前方のクランプ部材24aの上面領域までペーストPstを掻き寄せる(図15(c)中に示す矢印G2)。これによりマスク13のパターン孔13aを介して基板2の電極3上にペーストPstが転写される。   In the transfer operation of the paste Pst to the substrate 2 by the squeegee 14, first, the front squeegee 14 (the squeegee 14 on the left side in FIG. 15) is lowered and the lower edge thereof is brought into contact (contact) with the upper surface of the mask 13. Thereafter, the squeegee base 40 is moved rearward in the Y-axis direction, and the front squeegee 14 is slid on the mask 13 to scrape the paste Pst to the upper surface region of the rear clamp member 24a (FIG. 15B). Arrow G1) shown in the inside. When the paste Pst is scraped to the upper surface area of the rear clamp member 24a, the movement of the squeegee base 40 is stopped, the front squeegee 14 is lifted away from the mask 13 and the rear squeegee 14 (FIG. 15). The squeegee 14 on the right side of the paper is lowered and the lower edge thereof is brought into contact (contact) with the upper surface of the mask 13. Then, the squeegee base 40 is moved in the direction opposite to the arrow G1, and the rear squeegee 14 is slid on the mask 13 to scrape the paste Pst to the upper surface region of the front clamp member 24a (FIG. 15 ( c) Arrow G2) shown in the figure. As a result, the paste Pst is transferred onto the electrode 3 of the substrate 2 through the pattern hole 13 a of the mask 13.

制御装置60は、基板2の電極3上にペーストPstを転写させたら、昇降テーブル22aをベーステーブル21dに対して下降させ(図16(a)中に示す矢印F2)、マスク13から基板2を離間させる(図16(a))。これにより版離れが行われ、ペーストPstが基板2の電極3上に印刷された状態となる(図11のステップST7に示す版離れ工程)。   After transferring the paste Pst onto the electrode 3 of the substrate 2, the control device 60 lowers the lifting table 22a with respect to the base table 21d (arrow F2 shown in FIG. 16A), and removes the substrate 2 from the mask 13. They are separated (FIG. 16 (a)). As a result, plate separation is performed, and the paste Pst is printed on the electrode 3 of the substrate 2 (plate separation step shown in step ST7 of FIG. 11).

制御装置60は、基板2へのペーストPstの印刷が終了したら、クランプ部材24aを作動させて基板2のクランプを解除したうえで(図16(b)中に示す矢印E2)、下受けユニット24cを(下受けユニット支持テーブル24bを)昇降テーブル22aに対して下降させ(図16(c)中に示す矢印D3)、基板2をコンベア部23上に降ろす(図16(c))。これにより基板保持部24による基板2の保持が解除される(図11のステップST8に示す基板保持解除工程)。   When the printing of the paste Pst on the substrate 2 is finished, the control device 60 operates the clamp member 24a to release the clamp of the substrate 2 (arrow E2 shown in FIG. 16B), and then the receiving unit 24c. (The receiving unit support table 24b) is lowered with respect to the lifting table 22a (arrow D3 shown in FIG. 16C), and the substrate 2 is lowered onto the conveyor section 23 (FIG. 16C). Thereby, the holding of the substrate 2 by the substrate holding unit 24 is released (substrate holding releasing step shown in step ST8 of FIG. 11).

制御装置60は、基板2の保持を解除したら、基板保持移動ユニット12が備える水平移動部21を作動させ、基板搬出コンベア26に対するコンベア部23の位置調整を行ったうえで、コンベア部23と基板搬出コンベア26を連動作動させ、コンベア部23上の基板2を基板搬出コンベア26に受け渡してそのまま基板2をスクリーン印刷機1の外部に搬出する(図11のステップST9に示す基板搬出工程)。   When the holding of the substrate 2 is released, the control device 60 operates the horizontal moving unit 21 provided in the substrate holding and moving unit 12 to adjust the position of the conveyor unit 23 with respect to the substrate carry-out conveyor 26, and then the conveyor unit 23 and the substrate The carry-out conveyor 26 is operated in an interlocked manner, the substrate 2 on the conveyor unit 23 is transferred to the substrate carry-out conveyor 26, and the substrate 2 is directly carried out of the screen printer 1 (substrate carry-out process shown in step ST9 in FIG. 11).

制御装置60は、基板2を搬出したら、他にスクリーン印刷を施す基板2があるかどうかの判断を行う(図11のステップST10に示す第2の判断工程)。その結果、他にスクリーン印刷を施す基板2があった場合にはステップST1に戻って新たな基板2の搬入を行い、他にスクリーン印刷を施す基板2がなかった場合には一連のスクリーン印刷作業を終了する。   After unloading the substrate 2, the control device 60 determines whether there is another substrate 2 on which screen printing is to be performed (second determination step shown in step ST10 of FIG. 11). As a result, if there is another substrate 2 to be screen-printed, the process returns to step ST1 to carry in a new substrate 2, and if there is no other substrate 2 to be screen-printed, a series of screen printing operations. Exit.

本実施の形態におけるスクリーン印刷機1では、上記の手順によって基板2にペーストPstの印刷を施すが、スクリーン印刷機1の制御装置60は、基板2の数枚分についてのスクリーン印刷工程を終了したら、マスククリーニング装置16を用いてマスク13の下面のクリーニングを行う。以下、図17〜図19を加えてマスククリーニング装置16によるマスク13のクリーニングの動作手順を説明する。   In the screen printing machine 1 according to the present embodiment, the paste Pst is printed on the substrate 2 according to the above procedure. When the control device 60 of the screen printing machine 1 finishes the screen printing process for several sheets of the substrate 2. Then, the lower surface of the mask 13 is cleaned using the mask cleaning device 16. Hereinafter, an operation procedure for cleaning the mask 13 by the mask cleaning device 16 will be described with reference to FIGS.

マスク13のクリーニングでは、制御装置60は先ず、X軸ステージ29aを移動させてマスククリーニング装置16をマスク13の下方の所定のクリーニング開始位置に移動させ(図17のステップST11)、マスククリーニング装置16におけるクリーニング領域48aの更新が必要であるか否かの判断を行う(図17のステップST12)。この判断は例えば、現在のクリーニング領域48aにおいてクリーニングを行ったマスク13の枚数が予め定めた所定の枚数に達しているか否か等に基づいて行う。   In cleaning the mask 13, the control device 60 first moves the X-axis stage 29a to move the mask cleaning device 16 to a predetermined cleaning start position below the mask 13 (step ST11 in FIG. 17). It is determined whether or not the cleaning area 48a needs to be updated in step ST12 of FIG. This determination is made based on, for example, whether or not the number of masks 13 that have been cleaned in the current cleaning region 48a has reached a predetermined number.

制御装置60は、上記ステップST12において、クリーニング領域48aの更新が必要でないと判断したときには、ベース部41に対するノズル42の上昇を開始し(図17のステップST13)、ノズル42が張り出し位置まで上昇したところでノズル42の上昇を停止させる(図17のステップST14及びステップST15)。この間、従動側リール44はブレーキ51によりその回転が規制された状態にあり、ノズル42が格納位置にある状態で、ノズル42の上面よりも駆動側リール43の側に位置していた領域S1がノズル42の上面に移動してクリーニング領域48aとなる(図18(a))。また、ノズル42が張り出し位置まで上昇することにより、ノズル42に支持されたペーパー部材48のクリーニング領域48aがマスク13の下面に下方から押し当てられた状態となる(図8)。   When it is determined in step ST12 that the cleaning area 48a does not need to be updated, the control device 60 starts to raise the nozzle 42 with respect to the base portion 41 (step ST13 in FIG. 17), and the nozzle 42 rises to the overhang position. By the way, the raising of the nozzle 42 is stopped (step ST14 and step ST15 in FIG. 17). During this time, the driven reel 44 is in a state in which the rotation is restricted by the brake 51, and the region S1 that is located on the driving reel 43 side with respect to the upper surface of the nozzle 42 in a state where the nozzle 42 is in the retracted position. It moves to the upper surface of the nozzle 42 and becomes a cleaning region 48a (FIG. 18A). Further, when the nozzle 42 rises to the overhanging position, the cleaning region 48a of the paper member 48 supported by the nozzle 42 is pressed against the lower surface of the mask 13 from below (FIG. 8).

制御装置60は、ノズル42を張り出し位置まで上昇させてペーパー部材48をマスク13の下面に接触させたら、X軸ステージ29aをY軸方向に移動させてマスククリーニング装置16をマスク13に対して相対移動させ(図8中に示す矢印H)、マスク13の下面に付着していたペーストPst(ペーストPstの残り滓DS)をペーパー部材48のクリーニング領域48aにおいてクリーニングする(拭き取る)(図17のステップST16)。   When the control device 60 raises the nozzle 42 to the overhanging position to bring the paper member 48 into contact with the lower surface of the mask 13, the control device 60 moves the X-axis stage 29 a in the Y-axis direction to move the mask cleaning device 16 relative to the mask 13. The paste Pst (the remaining residue DS of the paste Pst) adhering to the lower surface of the mask 13 is cleaned (wiped off) in the cleaning region 48a of the paper member 48 (step of FIG. 17). ST16).

なお、制御装置60は、上記マスク13のクリーニングを行う際には吸引機構67の作動制御を行い、空気吸引管路42aからペーパー部材48のクリーニング領域48aを介して空気を真空吸引するようにする。これによりマスク13の下面に付着したペーストPstはペーパー部材48側に吸い出され、ペーストPstの除去が効果的に行われる。   The controller 60 controls the operation of the suction mechanism 67 when cleaning the mask 13 so that air is vacuum-sucked from the air suction line 42a through the cleaning region 48a of the paper member 48. . As a result, the paste Pst adhering to the lower surface of the mask 13 is sucked out to the paper member 48 side, and the paste Pst is effectively removed.

制御装置60は、上記のようにしてマスク13のクリーニングを行ったら、ノズル42の下降(図18(b)中に示す矢印K1)と駆動側リール43によるペーパー部材48の巻き取り(図18(b)中に示す矢印P1)を開始し(図17のステップST17)、ノズル42が格納位置に達したところでノズル42の下降と駆動側リール43によるペーパー部材48の巻き取りを停止させる(図17のステップST18及びステップST19)。これによりペーパー部材48のうち、先ほどクリーニング領域48aとなっていた領域S1は駆動側リール43の側へ移動した状態となる(図18(b))。なお、このノズル42の下降時におけるペーパー部材48の巻き取り速度は、ペーパー部材48に弛みが生じない速度とする。   After cleaning the mask 13 as described above, the control device 60 lowers the nozzle 42 (arrow K1 shown in FIG. 18B) and winds up the paper member 48 by the drive-side reel 43 (FIG. 18 ( b) The arrow P1) is started (step ST17 in FIG. 17), and when the nozzle 42 reaches the storage position, the lowering of the nozzle 42 and the winding of the paper member 48 by the drive side reel 43 are stopped (FIG. 17). Step ST18 and Step ST19). As a result, the area S1 of the paper member 48 that has been the cleaning area 48a is moved to the drive reel 43 side (FIG. 18B). The winding speed of the paper member 48 when the nozzle 42 is lowered is set to a speed at which the paper member 48 does not slack.

制御装置60は、ノズル42を格納位置まで下降させたら、マスククリーニング装置16を所定の待機位置に移動させ、次のマスク13のクリーニングを行うまで待機状態に入る(図17のステップST20)。   When the control device 60 lowers the nozzle 42 to the storage position, it moves the mask cleaning device 16 to a predetermined standby position and enters a standby state until the next mask 13 is cleaned (step ST20 in FIG. 17).

一方、制御装置60は、前述のステップST12において、クリーニング領域48aの更新が必要であると判断したときには、ブレーキ51による従動側リール44の回転規制を解除したうえで(図17のステップST21)、ノズル42の上昇を開始する(図17のステップST22。図19(a)中に示す矢印K2)。このノズル42の上昇の間、ペーパー部材48はノズル42によって引っ張られ、従動側リール44は従動回転させられて(図19(a)中に示す矢印Q)、従動側リール44からペーパー部材48が引き出される(図19(a)及び図10中に示す矢印A)。この間、駆動側リール43は停止したままであるので、先ほどクリーニング領域48aとなっていた領域S1は更に駆動側リール43の側へ移動し、その領域S1に隣接する従動側リール44の側の領域S2が、ノズル42よりも駆動側リール43の側に移動する(図19(a))。   On the other hand, when determining that the cleaning area 48a needs to be updated in step ST12, the control device 60 cancels the rotation restriction of the driven reel 44 by the brake 51 (step ST21 in FIG. 17). The nozzle 42 starts to rise (step ST22 in FIG. 17; arrow K2 shown in FIG. 19A). During the ascent of the nozzle 42, the paper member 48 is pulled by the nozzle 42, the driven reel 44 is driven to rotate (arrow Q shown in FIG. 19A), and the paper member 48 is moved from the driven reel 44. It is pulled out (arrow A shown in FIG. 19A and FIG. 10). During this time, since the drive side reel 43 remains stopped, the area S1 that has been the cleaning area 48a moves further to the drive side reel 43 side, and is an area on the side of the driven reel 44 adjacent to the area S1. S2 moves to the drive side reel 43 side rather than the nozzle 42 (FIG. 19A).

制御装置60は、ブレーキ51による従動側リール44の回転規制を解除した状態でノズル42を上昇させている間、ペーパー部材進行量検出装置46の回転部材46aが従動側リール44とは反対の方向に回転する(図19(a)及び図10中に示す矢印B)することによって検出されるペーパー部材48の進行量の情報に基づいて、ペーパー部材48の進行量が予め定めた所定値に達したことを検知したときには、ブレーキ51により従動側リール44の回転を規制して(図17のステップST23及びステップST24)、従動側リール44からのペーパー部材48の引き出しを停止させる。これにより、以後のノズル42の上昇中(図19(b)中に示す矢印K3)、ノズル42により引っ張られるペーパー部材48によって駆動側リール43がペーパー部材48の巻き取り方向とは反対の方向に従動回転させられて(図19(b)中に示す矢印P2)、駆動側リール43からペーパー部材48が引き出される。   While the control device 60 raises the nozzle 42 in a state in which the rotation restriction of the driven reel 44 by the brake 51 is released, the rotation member 46a of the paper member advance amount detection device 46 is in the direction opposite to the driven reel 44. The amount of advancement of the paper member 48 reaches a predetermined value based on the information on the amount of advancement of the paper member 48 detected by rotating in the direction (arrow B shown in FIG. 19A and FIG. 10). When this is detected, the rotation of the driven reel 44 is restricted by the brake 51 (step ST23 and step ST24 in FIG. 17), and the drawing of the paper member 48 from the driven reel 44 is stopped. Thus, during the subsequent raising of the nozzle 42 (arrow K3 shown in FIG. 19B), the paper reel 48 pulled by the nozzle 42 causes the driving reel 43 to move in the direction opposite to the winding direction of the paper member 48. The paper member 48 is pulled out from the drive-side reel 43 by being driven to rotate (arrow P2 shown in FIG. 19B).

制御装置60は、従動側リール44の回転を規制した後、ノズル42が張り出し位置に達したところでノズル42の上昇を停止させる(図17のステップST14及びステップST15)。これにより、先ほどクリーニング領域48aとなっていた領域S1に隣接する従動側リール44の側の領域S2がノズル42の上面に移動してクリーニング領域48aとなって(図19(b))、ペーパー部材48のクリーニング領域48aの更新は完了し、以後はクリーニング領域48aの更新をしなかった場合と同様の手順により、マスク13の下面のクリーニングを行う(ステップST16〜ステップST20)。   After restricting the rotation of the driven reel 44, the control device 60 stops the ascent of the nozzle 42 when the nozzle 42 reaches the overhanging position (step ST14 and step ST15 in FIG. 17). As a result, the area S2 on the driven reel 44 side adjacent to the area S1 that has been the cleaning area 48a previously moves to the upper surface of the nozzle 42 to become the cleaning area 48a (FIG. 19B), and the paper member The update of the cleaning area 48a of 48 is completed, and thereafter, the lower surface of the mask 13 is cleaned by the same procedure as when the cleaning area 48a is not updated (steps ST16 to ST20).

なお、上記ペーパー部材48の進行量の「所定値」は、上記の手順によってノズル42を張り出し位置に位置させたときに、クリーニング領域48aが更新されるような値として任意に決定される。   The “predetermined value” of the advance amount of the paper member 48 is arbitrarily determined as a value that updates the cleaning area 48a when the nozzle 42 is positioned at the overhanging position by the above procedure.

このように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1では、制御装置60が、ノズル42が格納位置に位置した状態でブレーキ51による従動側リール44の回転規制を解除したうえで、ノズル42をベース部41に対して上昇させて従動側リール44よりペーパー部材48を引き出し、ペーパー部材進行量検出装置46により検出されるペーパー部材48の進行量に基づいて、従動側リール44より引き出すことによって進行したペーパー部材48の進行量が所定値に達したことが検出されたとき、ブレーキ51により従動側リール44の回転を規制したうえでノズル42を張り出し位置まで上昇させ、駆動側リール43をペーパー部材48の巻き取り方向とは反対の方向に従動回転させながら駆動側リール43よりペーパー部材48を引き出してペーパー部材48の新たなクリーニング領域48aをノズル42の上面に位置させる(すなわち、進行量算出部46cにより算出されたペーパー部材48の進行量に基づいて、ペーパー部材48の新たなクリーニング領域48aをノズル42の上面に位置させる)クリーニング領域更新動作制御手段として機能している。   As described above, in the screen printing machine 1 according to the present embodiment, the control device 60 cancels the rotation restriction of the driven-side reel 44 by the brake 51 in a state in which the nozzle 42 is positioned at the storage position, and then uses the nozzle 42 as a base. The paper member 48 is pulled out from the driven reel 44 by being lifted with respect to the portion 41, and the paper member 48 is pulled out from the driven reel 44 based on the amount of advancement of the paper member 48 detected by the paper member advance detection device 46. When it is detected that the amount of progress of the paper member 48 has reached a predetermined value, the brake 51 restricts the rotation of the driven reel 44 and then raises the nozzle 42 to the overhanging position, so that the driving reel 43 is moved to the paper member 48. The paper member 48 is moved from the drive side reel 43 while being driven and rotated in a direction opposite to the winding direction of The new cleaning area 48a of the paper member 48 is positioned on the upper surface of the nozzle 42 (that is, the new cleaning area 48a of the paper member 48 is calculated based on the progress amount of the paper member 48 calculated by the progress amount calculation unit 46c). 48a is positioned on the upper surface of the nozzle 42) and functions as a cleaning area update operation control means.

また、制御装置60は、ペーパー部材48の新たなクリーニング領域48aをノズル42によってマスク13の下面に押し当てた状態でベース部41をマスク13に対して相対移動させてマスク13の下面に付着したペーストPstを拭き取るペースト拭き取り動作制御手段としても機能している。   Further, the control device 60 adheres to the lower surface of the mask 13 by moving the base portion 41 relative to the mask 13 with the new cleaning region 48 a of the paper member 48 pressed against the lower surface of the mask 13 by the nozzle 42. It also functions as a paste wiping operation control means for wiping the paste Pst.

更に制御装置60は、下面に付着したペーストPstが拭き取られたマスク13を基板2に接触させ、マスク13上でスキージ14を摺動させることによって基板2の電極3にペーストPstを転写させるスクリーン印刷実行制御手段としても機能している。   Further, the control device 60 makes the mask 13 from which the paste Pst adhered to the lower surface is wiped contact the substrate 2 and slides the squeegee 14 on the mask 13 to transfer the paste Pst to the electrode 3 on the substrate 2. It also functions as a print execution control means.

このように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1では、押し当て部材であるノズル42を格納位置から張り出し位置へ上昇させる動作によって従動側リール44からペーパー部材48を引き出してペーパー部材48のクリーニング領域48aの更新を行うようにしており、この間、駆動側リール43は駆動させることがないので、リール駆動モータ50による駆動側リール43の回転駆動力が小さくてもペーパー部材48のクリーニング領域48aの更新を行うことができ、マスククリーニング装置16の小型化を図ることができる。   As described above, in the screen printing machine 1 according to the present embodiment, the paper member 48 is pulled out from the driven reel 44 by the operation of raising the nozzle 42 as the pressing member from the retracted position to the overhanging position, thereby cleaning the paper member 48. 48a is updated, and the driving side reel 43 is not driven during this time. Therefore, even if the rotational driving force of the driving side reel 43 by the reel driving motor 50 is small, the cleaning region 48a of the paper member 48 is updated. The mask cleaning device 16 can be downsized.

また、本実施の形態におけるスクリーン印刷機1が備えるペーパー部材進行量検出装置46では、従動側リール44に巻き付けられたロール状のペーパー部材48の外周面に接触して設けられた回転部材46aの回転数によって従動側リール44から引き出されるペーパー部材48の進行量の算出を行うようにしているので、従動側リール44に巻き付けられたロール状のペーパー部材48の半径方向の寸法によらず、ペーパー部材48の進行量を正確に検出することができる。したがって、このようなペーパー部材進行量検出装置46を備えたスクリーン印刷機1では、マスククリーニング装置16におけるクリーニング領域48aの正確な更新動作を行うことができ、更新の前後で新旧のクリーニング領域48aがだぶってマスク13のクリーニング時にマスク13を汚したり、新旧のクリーニング領域48aの間隔が開き過ぎてペーパー部材48に無駄が生じたりするようなことが起きにくい。   Further, in the paper member advance detection device 46 provided in the screen printing machine 1 in the present embodiment, the rotation member 46 a provided in contact with the outer peripheral surface of the roll-shaped paper member 48 wound around the driven reel 44. Since the amount of progress of the paper member 48 drawn from the driven reel 44 is calculated according to the number of rotations, the paper is not affected by the radial dimension of the roll-shaped paper member 48 wound around the driven reel 44. The amount of progress of the member 48 can be accurately detected. Therefore, in the screen printing machine 1 provided with such a paper member advance amount detection device 46, the cleaning area 48a in the mask cleaning device 16 can be accurately updated. It is unlikely that the mask 13 will be soiled during cleaning of the mask 13, or the paper member 48 will be wasted due to the gap between the old and new cleaning regions 48a being too wide.

なお、上述の実施の形態におけるスクリーン印刷機1では、従動側リール44より引き出されることによって進行したペーパー部材48の進行量を算出(検出)することによって、マスククリーニング装置16のクリーニング領域48aの更新を行うようにしていたが、スクリーン印刷機1は必ずしも上記のような構成をとっていなくてもよく(特に、リール駆動モータ50による駆動側リール43の回転駆動量が十分大きい場合には)、単に、ペーパー部材進行量検出装置46によって検出(進行量算出部46cにより算出)されたペーパー部材48の進行量に基づいて、ペーパー部材48の新たなクリーニング領域48aをノズル42の上面に位置させる構成であってもよい。この場合には、ペーパー部材進行量検出装置46によって、駆動側リール43によるペーパー部材48の巻き取りに応じて回転した回転部材46aの回転数を検出し、その検出した回転部材46aの回転数に基づいて、駆動リール43により巻き取られることによって進行したペーパー部材48の進行量の算出を行う構成を採用することができる。   In the screen printing machine 1 according to the above-described embodiment, the cleaning region 48 a of the mask cleaning device 16 is updated by calculating (detecting) the amount of progress of the paper member 48 that has been advanced by being pulled out from the driven reel 44. However, the screen printing machine 1 does not necessarily have to have the above-described configuration (particularly, when the rotational drive amount of the drive-side reel 43 by the reel drive motor 50 is sufficiently large) A configuration in which a new cleaning region 48 a of the paper member 48 is simply positioned on the upper surface of the nozzle 42 based on the progress amount of the paper member 48 detected by the paper member progress amount detection device 46 (calculated by the progress amount calculation unit 46 c). It may be. In this case, the number of rotations of the rotating member 46a rotated in response to the winding of the paper member 48 by the drive side reel 43 is detected by the paper member advance amount detection device 46, and the detected number of rotations of the rotating member 46a is detected. Based on this, it is possible to employ a configuration that calculates the amount of progress of the paper member 48 that has been advanced by being wound by the drive reel 43.

リールから引き出され若しくはリールにより巻き取られることによって進行するペーパー部材の進行量を正確に検出することができるペーパー部材進行量検出装置、スクリーン印刷機、ペーパー部材進行量検出方法及びスクリーン印刷方法を提供する。   Provided are a paper member advance amount detection device, a screen printer, a paper member advance amount detection method, and a screen printing method that can accurately detect the advance amount of a paper member that is advanced by being pulled out of or taken up by a reel. To do.

1 スクリーン印刷機
2 基板
3 電極
13 マスク
13a パターン孔
14 スキージ
41 ベース部
42 ノズル(押し当て部材)
43 駆動側リール
44 従動側リール(リール)
46 ペーパー部材進行量検出装置
46a 回転部材
46b 回転数検出部
46c 進行量算出部
48 ペーパー部材
48a クリーニング領域
60 制御装置(クリーニング領域更新動作制御手段、ペースト拭き取り動作制御手段、スクリーン印刷実行制御手段)
Pst ペースト
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Screen printer 2 Board | substrate 3 Electrode 13 Mask 13a Pattern hole 14 Squeegee 41 Base part 42 Nozzle (pressing member)
43 Driving reel 44 Driven reel (reel)
46 Paper member progress detection device 46a Rotating member 46b Rotational speed detection unit 46c Progression amount calculation unit 48 Paper member 48a Cleaning area 60 Control device (cleaning area update operation control means, paste wiping operation control means, screen printing execution control means)
Pst paste

Claims (4)

リールに巻き付けられたロール状のペーパー部材の外周面に接触して設けられた回転部材と、
リールからのペーパー部材の引き出し若しくはリールによるペーパー部材の巻き取りに応じて回転した回転部材の回転数を検出する回転数検出部と、
回転数検出部によって検出された回転部材の回転数に基づいて、リールから引き出され若しくはリールにより巻き取られることによって進行したペーパー部材の進行量の算出を行う進行量算出部とを備えたことを特徴とするペーパー部材進行量検出装置。
A rotating member provided in contact with the outer peripheral surface of a roll-shaped paper member wound around a reel;
A rotational speed detection unit for detecting the rotational speed of the rotating member rotated in accordance with drawing of the paper member from the reel or winding of the paper member by the reel;
A progress amount calculation unit that calculates a progress amount of the paper member that is advanced by being pulled out of the reel or wound by the reel based on the rotation number of the rotation member detected by the rotation number detection unit; A paper member advancing amount detecting device.
基板の電極に対応するパターン孔を有し、基板の電極とパターン孔が合致するように基板に接触されるマスクと、
基板に接触されたマスク上を摺動し、マスク上に供給されたペーストをマスク上で掻き寄せることにより、マスクのパターン孔を介して基板の電極にペーストを転写させるスキージと、
マスクの下方をマスクに対して平行に相対移動するベース部と、
ベース部に設けられた押し当て部材と、
ベース部に設けられた駆動側リール及び従動側リールと、
駆動側リールと従動側リールの間に掛け渡され、押し当て部材の上面に位置するクリーニング領域が押し当て部材によってマスクの下面に押し当てられるペーパー部材と、
従動側リール若しくは駆動側リールに巻き付けられたロール状のペーパー部材の外周面に接触して設けられた回転部材と、
従動側リールからのペーパー部材の引き出し若しくは駆動側リールによるペーパー部材の巻き取りに応じて回転した回転部材の回転数を検出する回転数検出部と、
回転数検出部により検出された回転部材の回転数に基づいて、従動側リールから引き出され若しくは駆動側リールにより巻き取られることによって進行したペーパー部材の進行量の算出を行う進行量算出部と、
進行量算出部により算出されたペーパー部材の進行量に基づいて、ペーパー部材の新たなクリーニング領域を押し当て部材の上面に位置させるクリーニング領域更新動作制御手段と、
ペーパー部材の新たなクリーニング領域を押し当て部材によってマスクの下面に押し当てた状態でベース部をマスクに対して相対移動させてマスクの下面に付着したペーストを拭き取るペースト拭き取り動作制御手段と、
下面に付着したペーストが拭き取られたマスクを基板に接触させ、マスク上でスキージを摺動させることによって基板の電極にペーストを転写させるスクリーン印刷実行制御手段とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷機。
A mask having a pattern hole corresponding to the electrode of the substrate, the mask being in contact with the substrate so that the electrode of the substrate and the pattern hole are matched,
A squeegee that slides on the mask in contact with the substrate and scrapes the paste supplied on the mask onto the mask to transfer the paste to the electrode of the substrate through the pattern hole of the mask;
A base that moves relative to the mask in parallel below the mask;
A pressing member provided in the base portion;
A driving reel and a driven reel provided in the base,
A paper member that is spanned between the driving side reel and the driven side reel and the cleaning region located on the upper surface of the pressing member is pressed against the lower surface of the mask by the pressing member;
A rotating member provided in contact with the outer peripheral surface of a roll-shaped paper member wound around a driven-side reel or a driving-side reel;
A rotational speed detection unit for detecting the rotational speed of the rotating member rotated in accordance with drawing of the paper member from the driven reel or winding of the paper member by the driving reel;
A progress amount calculation unit that calculates a progress amount of the paper member that has been advanced by being pulled out of the driven reel or wound by the drive side reel, based on the rotation number of the rotating member detected by the rotation number detection unit;
A cleaning region update operation control means for positioning a new cleaning region of the paper member on the upper surface of the pressing member based on the progress amount of the paper member calculated by the progress amount calculating unit;
Paste wiping operation control means for wiping away the paste adhering to the lower surface of the mask by moving the base portion relative to the mask in a state where the new cleaning area of the paper member is pressed against the lower surface of the mask by the pressing member;
Screen printing execution control means for transferring a paste to an electrode of a substrate by bringing the mask from which the paste adhered to the lower surface has been wiped into contact with the substrate and sliding a squeegee on the mask Printer.
リールに巻き付けられたロール状のペーパー部材の外周面に接触して設けられた回転部材が、リールからのペーパー部材の引き出し若しくはリールによるペーパー部材の巻き取りに応じて回転した回転数を検出する工程と、
検出した回転部材の回転数に基づいて、リールから引き出され若しくはリールにより巻き取られることによって進行したペーパー部材の進行量の算出を行う工程とを含むことを特徴とするペーパー部材進行量検出方法。
A step of detecting the number of rotations of a rotating member provided in contact with the outer peripheral surface of a roll-shaped paper member wound around a reel, in response to the withdrawal of the paper member from the reel or the winding of the paper member by the reel. When,
And a step of calculating a progress amount of the paper member that has been advanced by being pulled out of the reel or wound up by the reel based on the detected number of rotations of the rotary member.
基板の電極に対応するパターン孔を有し、基板の電極とパターン孔が合致するように基板に接触されるマスクと、基板に接触されたマスク上を摺動し、マスク上に供給されたペーストをマスク上で掻き寄せることにより、マスクのパターン孔を介して基板の電極にペーストを転写させるスキージと、マスクの下方をマスクに対して平行に相対移動するベース部と、ベース部に設けられた押し当て部材と、ベース部に設けられた駆動側リール及び従動側リールと、駆動側リールと従動側リールの間に掛け渡され、押し当て部材の上面に位置するクリーニング領域が押し当て部材によってマスクの下面に押し当てられるペーパー部材とを備えたスクリーン印刷機によるスクリーン印刷方法であって、
従動側リール若しくは駆動側リールに巻き付けられたロール状のペーパー部材の外周面に接触して設けられた回転部材が、従動側リールからのペーパー部材の引き出し若しくは駆動側リールによるペーパー部材の巻き取りに応じて回転した回転数を検出する工程と、
検出した回転部材の回転数に基づいて、従動側リールから引き出され若しくは駆動側リールにより巻き取られることによって進行したペーパー部材の進行量の算出を行う工程と、
算出したペーパー部材の進行量に基づいて、ペーパー部材の新たなクリーニング領域を押し当て部材の上面に位置させる工程と、
ペーパー部材の新たなクリーニング領域を押し当て部材によってマスクの下面に押し当てた状態でベース部をマスクに対して相対移動させてマスクの下面に付着したペーストを拭き取る工程と、
下面に付着したペーストが拭き取られたマスクを基板に接触させ、マスク上でスキージを摺動させることによって基板の電極にペーストを転写させる工程とを含むことを特徴とするスクリーン印刷方法。
A mask that has a pattern hole corresponding to the electrode of the substrate, and that is in contact with the substrate so that the electrode of the substrate matches the pattern hole, and a paste that slides on the mask that is in contact with the substrate and is supplied onto the mask Squeegee on the mask, the squeegee for transferring the paste to the electrode of the substrate through the pattern hole of the mask, the base portion that moves relative to the mask in parallel below the mask, and the base portion. The pressing member, the driving-side reel and the driven-side reel provided in the base portion, and the cleaning area that is spanned between the driving-side reel and the driven-side reel and is located on the upper surface of the pressing member are masked by the pressing member. A screen printing method by a screen printing machine comprising a paper member pressed against the lower surface of
A rotating member provided in contact with the outer peripheral surface of a roll-shaped paper member wound around a driven reel or a driving reel is used to pull out the paper member from the driven reel or to wind the paper member by the driving reel. Detecting the number of rotations correspondingly,
A step of calculating a progress amount of the paper member that has been advanced by being pulled out of the driven-side reel or wound up by the driving-side reel, based on the detected number of rotations of the rotating member;
Based on the calculated amount of progress of the paper member, a step of positioning a new cleaning region of the paper member on the upper surface of the pressing member;
A process of wiping off the paste adhered to the lower surface of the mask by moving the base portion relative to the mask in a state where the new cleaning area of the paper member is pressed against the lower surface of the mask by the pressing member;
And a step of bringing the mask onto which the paste adhering to the lower surface is wiped into contact with the substrate and sliding the squeegee on the mask to transfer the paste to the electrode of the substrate.
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