JP2011187257A - 加熱ヒータおよびそれを搭載した装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明のヒータユニットは、被処理物を載置する載置面を有する載置台と、該載置台の前記載置面とは反対側の面もしくは載置台の内部に少なくとも1層以上の発熱体層を有するヒータユニットであって、前記発熱体層に電力を供給するための配線が接続されており、該配線は前記接続箇所以外の箇所で前記発熱体層もしくは載置台と接触していることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
2 発熱体層
3 給電配線
5 支持板
6 貫通孔
7 接触部分
10 冷却ブロック
21 発熱体
22 絶縁層
Claims (3)
- 被処理物を載置する載置面を有する載置台と、該載置台の前記載置面とは反対側の面もしくは載置台の内部に少なくとも1層以上の発熱体層を有するヒータユニットであって、前記発熱体層に電力を供給するための配線が接続されており、該配線は前記接続箇所以外の箇所で前記発熱体層もしくは載置台と接触していることを特徴とするヒータユニット。
- 被処理物を載置する載置面を有する載置台と、該載置台を支持するための支持板と、前記載置台と前記支持板の間に少なくとも1層以上の発熱体層を有するヒータユニットであって、前記発熱体層には電力を供給するための配線が接続されており、該配線は前記支持板の厚み方向に挿通されて前記ヒータユニットの系外に取り出される構成であって、前記接続箇所と前記挿通箇所が前記発熱体層の面方向に対して重複していないことを特徴とするヒータユニット。
- 前記配線は前記支持板の前記載置台とは反対側の面に少なくとも1ヶ所以上接触させたことを特徴とする請求項2に記載のヒータユニット。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR20220147512A (ko) | 2021-04-27 | 2022-11-03 | 스미토모덴키고교가부시키가이샤 | 웨이퍼 가열 장치 |
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2010
- 2010-03-08 JP JP2010050083A patent/JP5338720B2/ja active Active
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