JP2011180426A - 分光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】小型でアライメントが容易であり、光の利用効率の向上を図ることが可能となる入射光を色分解する分光装置を提供する。
【解決手段】入射光を色分解する分光装置であって、
導波層の上層に形成された、前記入射光における特定の波長の光に対応する第1の回折格子と、
前記導波層の下層における前記第1の回折格子との対向位置と異なる位置に形成された、前記特定の波長の光に対応するプラズモン共鳴を励起する金属微粒子構造を備えた第2の回折格子と、を備え、
前記第1の回折格子に入射し、前記第2の回折格子から取り出される前記入射光における特定の波長の光と、
前記第1の回折格子に入射し、前記導波層で導波光に変換されずにそのまま透過する前記入射光における特定の波長の光以外の波長の光と、
の混色を、前記プラズモン共鳴による選択的な反射によって抑制し、前記入射光を色分解する構成とする。
【選択図】 図1
【解決手段】入射光を色分解する分光装置であって、
導波層の上層に形成された、前記入射光における特定の波長の光に対応する第1の回折格子と、
前記導波層の下層における前記第1の回折格子との対向位置と異なる位置に形成された、前記特定の波長の光に対応するプラズモン共鳴を励起する金属微粒子構造を備えた第2の回折格子と、を備え、
前記第1の回折格子に入射し、前記第2の回折格子から取り出される前記入射光における特定の波長の光と、
前記第1の回折格子に入射し、前記導波層で導波光に変換されずにそのまま透過する前記入射光における特定の波長の光以外の波長の光と、
の混色を、前記プラズモン共鳴による選択的な反射によって抑制し、前記入射光を色分解する構成とする。
【選択図】 図1
Description
本発明は、入射光を色分解する分光装置に関する
従来、イメージセンサやイメージプロジェクタにおいて、可視光を色分解し、あるいは色合成する手段として、ダイクロイックミラーやプリズムが用いられてきた(特許文献1)。
また、イメージセンサにおいて、平面内で色分解を行う手段として、カラーフィルタアレイが用いられてきた(特許文献2)。
また、イメージセンサにおいて、平面内で色分解を行う手段として、カラーフィルタアレイが用いられてきた(特許文献2)。
しかしながら、上記した従来例の色分解や色合成する手段はつぎのような課題を有している。
例えば、色分解や色合成に特定の波長の光を選択的に反射するようにしたダイクロイック膜とプリズムを組み合わせたダイクロイックプリズムによる場合には、プリズムの大きさによって装置が大型化することとなる。
また、高い精度が要求されるために、製造コストが高くなる。
また、カラーフィルタアレイを用いた場合には、光の利用効率が低下するという点に問題がある。
例えば、色分解や色合成に特定の波長の光を選択的に反射するようにしたダイクロイック膜とプリズムを組み合わせたダイクロイックプリズムによる場合には、プリズムの大きさによって装置が大型化することとなる。
また、高い精度が要求されるために、製造コストが高くなる。
また、カラーフィルタアレイを用いた場合には、光の利用効率が低下するという点に問題がある。
本発明は、上記課題に鑑み、小型でアライメントが容易であり、光の利用効率の向上を図ることが可能となる入射光を色分解する分光装置の提供を目的とする。
本発明は、つぎのように構成した分光装置を提供するものである。
本発明の分光装置は、入射光を色分解する分光装置であって、
導波層の上層に形成された、前記入射光における特定の波長の光に対応する第1の回折格子と、
前記導波層の下層における前記第1の回折格子との対向位置と異なる位置に形成された、前記特定の波長の光に対応するプラズモン共鳴を励起する金属微粒子構造を備えた第2の回折格子と、を備え、
前記第1の回折格子に入射し、前記第2の回折格子から取り出される前記入射光における特定の波長の光と、
前記第1の回折格子に入射し、前記導波層で導波光に変換されずにそのまま透過する前記入射光における特定の波長の光以外の波長の光と、
の混色を、前記プラズモン共鳴による選択的な反射によって抑制し、前記入射光を色分解することを特徴とする。
本発明の分光装置は、入射光を色分解する分光装置であって、
導波層の上層に形成された、前記入射光における特定の波長の光に対応する第1の回折格子と、
前記導波層の下層における前記第1の回折格子との対向位置と異なる位置に形成された、前記特定の波長の光に対応するプラズモン共鳴を励起する金属微粒子構造を備えた第2の回折格子と、を備え、
前記第1の回折格子に入射し、前記第2の回折格子から取り出される前記入射光における特定の波長の光と、
前記第1の回折格子に入射し、前記導波層で導波光に変換されずにそのまま透過する前記入射光における特定の波長の光以外の波長の光と、
の混色を、前記プラズモン共鳴による選択的な反射によって抑制し、前記入射光を色分解することを特徴とする。
本発明によれば、小型でアライメントが容易であり、光の利用効率の向上を図ることができ、イメージセンサやイメージプロジェクタに適用可能な入射光を色分解する分光装置を実現することができる。
導波路に光を入射させる方法として、回折格子を用いる方法が知られている。
入射光は回折格子によって様々な方向に散乱されるが、周期配列のために、ある波長に対して特定の方向へ散乱される光のみが強め合う。
それらの光のうち、導波路内で定在波を形成できる方向を持った光が導波モードに結合される。
これは、1次元の導波路に限らず、2次元の面内導波路に光を入射させることも可能である。
本発明は、このような原理を用いて、入射光を色分解する分光装置を構成したものである。
入射光は回折格子によって様々な方向に散乱されるが、周期配列のために、ある波長に対して特定の方向へ散乱される光のみが強め合う。
それらの光のうち、導波路内で定在波を形成できる方向を持った光が導波モードに結合される。
これは、1次元の導波路に限らず、2次元の面内導波路に光を入射させることも可能である。
本発明は、このような原理を用いて、入射光を色分解する分光装置を構成したものである。
以下に、本実施形態における分光装置の構成例を、図1を用いて説明する。
図1には光が上面から入射する場合について示されている。入射光101が導波層105の上層に形成された回折格子102、103、104に入射する。
一例として、例えば入射光101が第1の回折格子を構成する回折格子103に入射し、Gの光を受光する画素の上の構造で説明する。
その際、入射光101は、R、Bの光を導波モードに結合する回折格子103に入射し、R、Bの光は導波光107、108となる。
導波層105の下層には、プラズモン共鳴体を兼ねる回折格子からなる109、110、111が形成されている。
導波層内の導波光は、第1の回折格子との対向位置と異なる位置に形成された、第2の回折格子を構成するBを取り出す回折格子109によって、Bの光112として下側に取り出される。
あるいは、第1の回折格子との対向位置と異なる位置に形成された、第2の回折格子を構成するRを取り出す回折格子111によってRの光114として、下側に取り出される。
これに対して、上記のR、Bの光以外の光であるGの光113は、上面の回折格子で導波光に変換されずにそのまま透過する。
以上ではGの光を受光する画素上の構造で説明したが、これらはRの光を受光する場合や、Bの光を受光する場合についても同様である。
図1には光が上面から入射する場合について示されている。入射光101が導波層105の上層に形成された回折格子102、103、104に入射する。
一例として、例えば入射光101が第1の回折格子を構成する回折格子103に入射し、Gの光を受光する画素の上の構造で説明する。
その際、入射光101は、R、Bの光を導波モードに結合する回折格子103に入射し、R、Bの光は導波光107、108となる。
導波層105の下層には、プラズモン共鳴体を兼ねる回折格子からなる109、110、111が形成されている。
導波層内の導波光は、第1の回折格子との対向位置と異なる位置に形成された、第2の回折格子を構成するBを取り出す回折格子109によって、Bの光112として下側に取り出される。
あるいは、第1の回折格子との対向位置と異なる位置に形成された、第2の回折格子を構成するRを取り出す回折格子111によってRの光114として、下側に取り出される。
これに対して、上記のR、Bの光以外の光であるGの光113は、上面の回折格子で導波光に変換されずにそのまま透過する。
以上ではGの光を受光する画素上の構造で説明したが、これらはRの光を受光する場合や、Bの光を受光する場合についても同様である。
以上に述べたような動作によって、入射光をモザイク状のカラーフィルタで色分解する際に、隣接する画素へ入射した光の利用効率を高めることが可能となる。
なお、上面の回折格子で、所望の波長の光を高い結合効率で導波モードに結合できない場合もある。その場合、Gの光の信号中にRやBの光が混じることになり、色分解の精度が低下する恐れがある。
そのため、下面の回折格子109、110、111を、照射される光の波長以下の大きさの金属微粒子(ドット)や細線(グリット)によるプラズモン共鳴を励起する金属微粒子構造を備えた構成とする。
これにより、プラズモン共鳴による選択的な反射が生じ、導波層との結合効率を高めつつ混色を抑制ことが可能となる。
プラズモン共鳴とは、金属中の自由電子のプラズマ振動と光が、金属の界面で結合することで生じる共鳴現象であり、その共鳴は、構造によって決まる特定の波長に対して生じる。
金属ドットに光が入射すると、共鳴波長の光は金属ドットから再放射される結果として、選択的に反射される。
そのため、金属ドットは透過光に対してバンドエリミネーションフィルタとして用いることができる。
なお、上面の回折格子で、所望の波長の光を高い結合効率で導波モードに結合できない場合もある。その場合、Gの光の信号中にRやBの光が混じることになり、色分解の精度が低下する恐れがある。
そのため、下面の回折格子109、110、111を、照射される光の波長以下の大きさの金属微粒子(ドット)や細線(グリット)によるプラズモン共鳴を励起する金属微粒子構造を備えた構成とする。
これにより、プラズモン共鳴による選択的な反射が生じ、導波層との結合効率を高めつつ混色を抑制ことが可能となる。
プラズモン共鳴とは、金属中の自由電子のプラズマ振動と光が、金属の界面で結合することで生じる共鳴現象であり、その共鳴は、構造によって決まる特定の波長に対して生じる。
金属ドットに光が入射すると、共鳴波長の光は金属ドットから再放射される結果として、選択的に反射される。
そのため、金属ドットは透過光に対してバンドエリミネーションフィルタとして用いることができる。
以下に、本発明の実施例について説明する。
[実施例1]
実施例1として、本発明を適用した分光装置の構成例を、図2および図3を用いて説明する。
図2および図3には、上面から見て、画素のフォトダイオードの位置に対応してR、G、Bの光を分解する構造(201、202、203)がモザイク状に配列された構成が示されている。
中央のR−G−Rとなる破線の部分での断面を下に示す。Gの画素に対応する構造に入射した、R、G、B全てを含む入射光204は、上面の構造205に入射する。
上面の構造は図3の301に示すように、X方向とY方向が、特定の複数の波長の光であるRの光とBの光を導波層206の導波モードに結合するピッチをなしている。
例えば、導波層を厚さ500nmのSiO2(n=1.46)、導波層の上下を空気(n=1)とした場合、つぎのような回折格子のピッチもとでの波長の光が、導波光に結合されるものと見積もられる。
すなわち、回折格子のピッチが318nmで波長450nmの光と、回折格子のピッチが393nmで波長550nmの光と、回折格子のピッチが470nmで波長650nmの光が、導波光に結合されるものと見積もられる。
そのため、Rの光207はX方向への導波モードへ結合され、Bの光208はY方向への導波モードに結合される。
このような上面の構造205は、正方格子状に配列された回折格子、あるいは三角格子状に配列された回折格子よって構成することができる。
R、Bの光以外の、Gの光209はそのまま直進する。RやBの光のうち、0次光やP偏光成分は導波モードへの結合効率が低い。
そのため、Gの光の中にRとBの光が混入し、色分解の精度が低下する恐れがある。
[実施例1]
実施例1として、本発明を適用した分光装置の構成例を、図2および図3を用いて説明する。
図2および図3には、上面から見て、画素のフォトダイオードの位置に対応してR、G、Bの光を分解する構造(201、202、203)がモザイク状に配列された構成が示されている。
中央のR−G−Rとなる破線の部分での断面を下に示す。Gの画素に対応する構造に入射した、R、G、B全てを含む入射光204は、上面の構造205に入射する。
上面の構造は図3の301に示すように、X方向とY方向が、特定の複数の波長の光であるRの光とBの光を導波層206の導波モードに結合するピッチをなしている。
例えば、導波層を厚さ500nmのSiO2(n=1.46)、導波層の上下を空気(n=1)とした場合、つぎのような回折格子のピッチもとでの波長の光が、導波光に結合されるものと見積もられる。
すなわち、回折格子のピッチが318nmで波長450nmの光と、回折格子のピッチが393nmで波長550nmの光と、回折格子のピッチが470nmで波長650nmの光が、導波光に結合されるものと見積もられる。
そのため、Rの光207はX方向への導波モードへ結合され、Bの光208はY方向への導波モードに結合される。
このような上面の構造205は、正方格子状に配列された回折格子、あるいは三角格子状に配列された回折格子よって構成することができる。
R、Bの光以外の、Gの光209はそのまま直進する。RやBの光のうち、0次光やP偏光成分は導波モードへの結合効率が低い。
そのため、Gの光の中にRとBの光が混入し、色分解の精度が低下する恐れがある。
図3の302に示すように、導波層下面の構造210は金属ドットからなるプラズモン共鳴体としての性質を持たせることで、選択的な反射が生じ、導波層への結合効率を高めつつ混色を防ぐことができる。
このような金属ドットは、例えば、240×120nmの長方形Auドットは長軸、短軸方向にそれぞれ960nm、680nm付近にプラズモン共鳴に起因するピークをもつことが知られている。これらは非特許文献であるプラズモンナノ材料の設計と応用技術 シーエムシー出版(2006)に、詳細に開示されている。
この共鳴ピーク波長は構造によって変化する。回折格子の形状を工夫することによっても、P偏光の結合効率を高めることができる。
導波モードと結合したRの光は導波層内のX方向へ伝搬するが、隣接する領域の、下側の構造がRの光を外部に取り出す構造となる領域において下方に取り出される。
同様に、導波モードと結合したBの光はY方向へ伝播するが、隣接する領域の、下側の回折格子がBの光を外部に取り出す構造となる領域において、下方に取り出される。
必要に応じて、回折格子よりも入射側にマイクロレンズ212を配置してもよい。
本実施例の構成によれば、、アライメントが容易かつ小型で、光を有効利用することができるイメージセンサやイメージプロジェクタの実現が可能となる。
このような金属ドットは、例えば、240×120nmの長方形Auドットは長軸、短軸方向にそれぞれ960nm、680nm付近にプラズモン共鳴に起因するピークをもつことが知られている。これらは非特許文献であるプラズモンナノ材料の設計と応用技術 シーエムシー出版(2006)に、詳細に開示されている。
この共鳴ピーク波長は構造によって変化する。回折格子の形状を工夫することによっても、P偏光の結合効率を高めることができる。
導波モードと結合したRの光は導波層内のX方向へ伝搬するが、隣接する領域の、下側の構造がRの光を外部に取り出す構造となる領域において下方に取り出される。
同様に、導波モードと結合したBの光はY方向へ伝播するが、隣接する領域の、下側の回折格子がBの光を外部に取り出す構造となる領域において、下方に取り出される。
必要に応じて、回折格子よりも入射側にマイクロレンズ212を配置してもよい。
本実施例の構成によれば、、アライメントが容易かつ小型で、光を有効利用することができるイメージセンサやイメージプロジェクタの実現が可能となる。
[実施例2]
実施例2として、実施例1と異なる形態の分光装置の構成例を、図4、図5を用いて説明する。
図4、図5には、上面から見て、画素のフォトダイオードの位置に対応してR、G、Bの光を分解する構造(401、402、403)がモザイク状に配列された構成が示されている。
中央のR−G−Rとなる破線の部分での断面を下に示す。Gの画素に対応する構造に入射した、R、G、B全てを含む入射光404は、上導波層上面の構造406に入射する。
上導波路層上面の構造は図5の501に示すように、X方向とY方向が、それぞれRの光とBの光を上導波層406の導波モードに結合するピッチをなしている。
そのために、主としてS偏光のRの光408はX方向への導波モードへ結合され、主としてS偏光のBの光409はY方向への導波モードに結合される。
Gの光はP偏光のR光と、P偏光のB光とは導波モードに結合することなくそのまま直進する。また、各色の0次光も直進する。
実施例2として、実施例1と異なる形態の分光装置の構成例を、図4、図5を用いて説明する。
図4、図5には、上面から見て、画素のフォトダイオードの位置に対応してR、G、Bの光を分解する構造(401、402、403)がモザイク状に配列された構成が示されている。
中央のR−G−Rとなる破線の部分での断面を下に示す。Gの画素に対応する構造に入射した、R、G、B全てを含む入射光404は、上導波層上面の構造406に入射する。
上導波路層上面の構造は図5の501に示すように、X方向とY方向が、それぞれRの光とBの光を上導波層406の導波モードに結合するピッチをなしている。
そのために、主としてS偏光のRの光408はX方向への導波モードへ結合され、主としてS偏光のBの光409はY方向への導波モードに結合される。
Gの光はP偏光のR光と、P偏光のB光とは導波モードに結合することなくそのまま直進する。また、各色の0次光も直進する。
図5の502に示すように、上導波層下面の構造は、X、Y方向とも、Gの光を取り出す構造となっている。
また、RとBの光を反射させるプラズモン共鳴体となっているために、RとBの光の0次光のうちY方向の偏光成分とS偏光を導波層内へと反射することで結合効率を高める。
上層の導波層の下には旋光素子412があり、上層導波層を抜けた光411は偏光方向が90度変換される。
その後、下導波層413上面の構造414に入射する。Gの画素に対応する構造に入射する光は、Gの光、主としてS偏光のRの光および主としてS偏光のBの光である。
下導波路層上面の構造を図6の601に示すような、上導波路層上側と同様の構造をもつ。
そのために、下導波路層上側に入射した光は、主としてS偏光のRの光415はX方向への導波モードへ結合され、主としてS偏光のBの光416はY方向への導波モードに結合される。ほぼGの光のみがそのまま直進する。
下導波層下側の構造を図6の602に示す。Gの光を導波層から取り出す構造となっていることで、隣接するRやBの画素に入射したGの光を取り出すことができる。
この構造が金属ドットからなり、プラズモン共鳴体としての性質を持たせることで、選択的な反射が生じ、混色を防ぐことで正確な色分解ができる。
本実施例の構成によれば、、アライメントが容易かつ小型で、光を有効利用することができるイメージセンサやイメージプロジェクタの実現が可能となる。
また、RとBの光を反射させるプラズモン共鳴体となっているために、RとBの光の0次光のうちY方向の偏光成分とS偏光を導波層内へと反射することで結合効率を高める。
上層の導波層の下には旋光素子412があり、上層導波層を抜けた光411は偏光方向が90度変換される。
その後、下導波層413上面の構造414に入射する。Gの画素に対応する構造に入射する光は、Gの光、主としてS偏光のRの光および主としてS偏光のBの光である。
下導波路層上面の構造を図6の601に示すような、上導波路層上側と同様の構造をもつ。
そのために、下導波路層上側に入射した光は、主としてS偏光のRの光415はX方向への導波モードへ結合され、主としてS偏光のBの光416はY方向への導波モードに結合される。ほぼGの光のみがそのまま直進する。
下導波層下側の構造を図6の602に示す。Gの光を導波層から取り出す構造となっていることで、隣接するRやBの画素に入射したGの光を取り出すことができる。
この構造が金属ドットからなり、プラズモン共鳴体としての性質を持たせることで、選択的な反射が生じ、混色を防ぐことで正確な色分解ができる。
本実施例の構成によれば、、アライメントが容易かつ小型で、光を有効利用することができるイメージセンサやイメージプロジェクタの実現が可能となる。
[実施例3]
実施例3として、上記各実施例と異なる形態の分光装置の構成例を、図7および図8を用いて説明する。
図7および図8には、上面から見て、画素のフォトダイオードの位置に対応して、R、Bの光を分解する構造(701、702)がモザイク状に配列された分光装置が示されている。
Wの画素は輝度の信号を受光する画素であり、その上部の構造は光学的な相互作用がなく透明である。
中央斜めのR−B−Rとなる破線の部分での断面を下に示す。Bの画素に対応する構造に入射した、R、G、B全てを含む入射光703は、導波層704の上面の構造705に入射する。
実施例3として、上記各実施例と異なる形態の分光装置の構成例を、図7および図8を用いて説明する。
図7および図8には、上面から見て、画素のフォトダイオードの位置に対応して、R、Bの光を分解する構造(701、702)がモザイク状に配列された分光装置が示されている。
Wの画素は輝度の信号を受光する画素であり、その上部の構造は光学的な相互作用がなく透明である。
中央斜めのR−B−Rとなる破線の部分での断面を下に示す。Bの画素に対応する構造に入射した、R、G、B全てを含む入射光703は、導波層704の上面の構造705に入射する。
図8の801に示すように、上導波路層上面の構造は同心円状の回折格子からなり、そのピッチはRの光を導波モードに結合させる大きさとなっている。
そのために、Rの光706は導波モードに結合され導波層内を伝播する。このとき、回折格子が同心円状となっているために、全ての方向の偏光が導波光へと変換することが可能となる。
GとBの光は導波モードに結合することなくそのまま直進する。
導波層下面の構造707が、802に示すように、画素の色に対応する波長の光を、すなわち、Bの画素に対応する導波層下側の構造は、Bの光を導波層から取り出す構造となっている。
これにより、R、Bの画素間において、それぞれの画素が利用しない光を隣接する画素に分配し、光の利用効率を向上させることができる。
また、Bの導波層下側の構造がプラズモン共鳴体となっていることで、選択的な反射が生じるために、導波層への結合効率を高めつつ混色を防ぐことができる。必要に応じて、回折格子よりも入射側にマイクロレンズ711を配置してもよい。
本実施例によれば、アライメントが容易かつ小型で、光を有効利用することができるイメージセンサやイメージプロジェクタの実現が可能となる。
そのために、Rの光706は導波モードに結合され導波層内を伝播する。このとき、回折格子が同心円状となっているために、全ての方向の偏光が導波光へと変換することが可能となる。
GとBの光は導波モードに結合することなくそのまま直進する。
導波層下面の構造707が、802に示すように、画素の色に対応する波長の光を、すなわち、Bの画素に対応する導波層下側の構造は、Bの光を導波層から取り出す構造となっている。
これにより、R、Bの画素間において、それぞれの画素が利用しない光を隣接する画素に分配し、光の利用効率を向上させることができる。
また、Bの導波層下側の構造がプラズモン共鳴体となっていることで、選択的な反射が生じるために、導波層への結合効率を高めつつ混色を防ぐことができる。必要に応じて、回折格子よりも入射側にマイクロレンズ711を配置してもよい。
本実施例によれば、アライメントが容易かつ小型で、光を有効利用することができるイメージセンサやイメージプロジェクタの実現が可能となる。
101:入射光
102:R、Gの光を導波モードに結合する回折格子
103:R、Bの光を導波モードに結合する回折格子
104:G、Bの光を導波モードに結合する回折格子
105:導波層
107:R、Bの光
108:R、Bの光
109:R、Gの波長に対応するプラズモン共鳴体からなる、Bを取り出す回折格子
110:R、Bの波長に対応するプラズモン共鳴体からなる、Gを取り出す回折格子
111:G、Bの波長に対応するプラズモン共鳴体からなる、Rを取り出す回折格子
112:Bの光
113:Gの光
114:Rの光
102:R、Gの光を導波モードに結合する回折格子
103:R、Bの光を導波モードに結合する回折格子
104:G、Bの光を導波モードに結合する回折格子
105:導波層
107:R、Bの光
108:R、Bの光
109:R、Gの波長に対応するプラズモン共鳴体からなる、Bを取り出す回折格子
110:R、Bの波長に対応するプラズモン共鳴体からなる、Gを取り出す回折格子
111:G、Bの波長に対応するプラズモン共鳴体からなる、Rを取り出す回折格子
112:Bの光
113:Gの光
114:Rの光
Claims (6)
- 入射光を色分解する分光装置であって、
導波層の上層に形成された、前記入射光における特定の波長の光に対応する第1の回折格子と、
前記導波層の下層における前記第1の回折格子との対向位置と異なる位置に形成された、前記特定の波長の光に対応するプラズモン共鳴を励起する金属微粒子構造を備えた第2の回折格子と、を備え、
前記第1の回折格子に入射し、前記第2の回折格子から取り出される前記入射光における特定の波長の光と、
前記第1の回折格子に入射し、前記導波層で導波光に変換されずにそのまま透過する前記入射光における特定の波長の光以外の波長の光と、
の混色を、前記プラズモン共鳴による選択的な反射によって抑制し、前記入射光を色分解することを特徴とする分光装置。 - 前記第1の回折格子が、特定の複数の波長の光に対応する回折格子であり、
前記第2の回折格子が、前記特定の複数の波長の光のうちの1つの波長の光に対応する回折格子であることを特徴とする請求項1に記載の分光装置。 - 前記第2の回折格子が、前記特定の複数の波長の光のうちの1つの波長の光以外の波長の光を反射させる構造を備えていることを特徴とする請求項2に記載の分光装置。
- 前記第1の回折格子が、同心円状に形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の分光装置。
- 前記第1の回折格子が、正方格子状に配列されていることを特徴とする請求項2に記載の分光装置。
- 前記第1の回折格子が、三角格子状に配列されていることを特徴とする請求項2に記載の分光装置。
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