JP2011173082A - 振動発生器 - Google Patents

Abstract

【課題】ストローク端付近において大きな磁気推力を得る。
【解決手段】コイル２１を巻いた円柱形状の中央ヨーク２５の両端面にカップ状のバックヨーク２６Ａを結合することで固定子を形成し、永久磁石３０を有する可動子と固定子を弾性体で連結する。バックヨーク２６Ａは、永久磁石３０のＮ極面と対向する対向面を有し、該対向面に溝６０Ａが設けられる。可動子が振動中心付近に位置するときには、溝６０Ａの持つ高い磁気抵抗が障壁となってコイル２１の鎖交磁束量が抑制される。可動子が上方に移動して溝６０Ａの部分を越えると、溝６０Ａの上方側に磁路３１３ａが形成されるため、可動子の変位量に対する鎖交磁束の変化量が大きくなって、大きな磁気推力が得られる。
【選択図】図１７

Description

本発明は、携帯機器などに搭載される振動発生器に関する。

携帯電話機等の携帯機器には、携帯機器そのもの又は携帯機器の付属品内に振動発生器を収納しておき、この振動発生器を振動させることで人体に着信を感知させるものがある。

例えば、図２３に示されるような断面構造を有する振動発生器９０１が提案されている（下記特許文献１参照）。振動発生器９０１は、多角形状の外ヨーク９０４と、この外ヨーク９０４の内側に位置する筒状の内ヨーク９０３と、この内ヨーク９０３の中央部分に巻かれた巻き線であるコイル部９０２と、外ヨーク９０４の内周側に設けられたマグネット部９０５と、を備える。内ヨーク９０３は中心にシャフト９０８を有しており、このシャフト９０８は内ヨーク９０３の底面から突出している。振動発生器９０１における固定子は、少なくとも内ヨーク９０３を含んで形成される。内ヨーク９０３は、シャフト９０８の突出部と基台９０９の凹部との嵌合により位置決めされ、基台９０９上に固定される。基台９０９と内ヨーク９０３との間に板バネ９０６が挟まれている。コイル部９０２は、基台９０９の底面から伸びたランド９１１と電気的に結合しており、このランド９１１から給電される。外蓋９０７は、内ヨーク９０３及び外ヨーク９０４を覆う蓋であり、基台９０９に設けられた蓋カシメ部９１０を用いて基台９０９に固定されている。

板バネ９０６は、外ヨーク９０４がつりあい点より下方向に動いたときに外ヨーク９０４を上方向に移動させる力（機械推力）を与え、外ヨーク９０４がつりあい点より上方向に動いたときに外ヨーク９０４を下方向に移動させる力（機械推力）を与える。ランド９１１を介してコイル部９０２に電流を供給することで、マグネット部９０５及び外ヨーク９０４から成る可動子を上下方向に振動させる振動磁界が発生する。この振動磁界による磁気推力と板バネ９０６による機械推力を利用して、可動子を振動させることができる。

特開２００３−１８１３７６号公報

携帯機器の小型化に伴い、携帯機器に用いられる振動発生器の小型化も要求される。一方で、ユーザへの振動体感を低下させないため振動量の低下は許容されがたい。しかしながら、振動発生器を小型化すると、部品寸法の制約から固定子に磁気飽和が生じやすくなり、結果、ストローク端における推力が低下する。ストローク端とは、可動子の振動中心（上記つりあい点に相当）からの変位量が最大となる位置を指す。

所望の振動量を得るべく、振動発生器を形成する部品の機械的特性及びコイルへの供給電流の特性などには、満たすべき一定の仕様条件が定められる。例えば、可動子と固定子を連結する弾性体（板バネ９０６に相当）の共振周波数を（ｆ_O−Δｆ）以上且つ（ｆ_O＋Δｆ）以下に収めなければならないという仕様条件が定められる。ｆ_Oは共振周波数の設計値であり、Δｆは許容誤差である。ストローク端における推力の低下は、このような仕様条件を厳しくする方向に作用する。つまり例えば、許容誤差Δｆを小さくする方向に作用する。許容誤差Δｆが小さくなれば、大量生産される振動発生器の歩留まりが低くなる、或いは、歩留まりの低下を避けるために特別な製造的配慮を成す必要が生じてくる。

尚、磁気飽和がストローク端における推力低下を招く理由、及び、ストローク端における推力低下が上記仕様条件を厳格化させる理由については、後に設けた説明からも明らかとなる。

本発明は、ストローク端付近において比較的高い推力を得ることのできる振動発生器を提供することを目的とする。

本発明に係る振動発生器は、永久磁石を有する可動子と、前記可動子を振動させるための磁界を発生するコイル、前記コイルが巻かれた磁性体から成る第１ヨーク部、及び、前記第１ヨーク部の両端に位置する磁性体から成る第２ヨーク部を有する固定子と、前記可動子が振動可能なように前記固定子と前記可動子を連結する弾性体と、を備えた振動発生器において、前記第２ヨーク部は、前記永久磁石の一方の磁極面に対向する対向面を持つ対向ヨーク部を有し、前記永久磁石による前記コイルの鎖交磁束を抑制するための磁気抵抗部を前記対向ヨーク部に設けたことを特徴とする。

可動子の振動方向における可動子の移動はコイルの鎖交磁束を変化させ、コイルの鎖交磁束の変化は可動子に磁気推力を発生させる。一方、可動子の振動過程において、鎖交磁束の増大を無条件に認めたならば固定子のヨーク部分が容易に磁気飽和しやすくなり、磁気飽和が発生すると可動子の変位に対する磁気推力の発生量が低下する。これを考慮し、鎖交磁束を抑制するための磁気抵抗部を対向ヨーク部に設ける。これにより、磁気抵抗部が磁束通過の障壁となって磁気飽和の発生がおこりにくくなり、磁気飽和が比較的おこりやすい条件化においても（例えば、可動子がストローク端付近に位置しているときにおいても）、比較的大きな磁気推力を得ることが可能となる。

具体的には例えば、前記磁気抵抗部は、前記可動子の振動方向における前記可動子の振動範囲の両端位置よりも前記可動子の振動中心側に設けられる。

これにより、可動子が振動中心に近い部分に位置しているときには、磁気抵抗部の影響で鎖交磁束の増大が比較的低く抑えられ、磁気飽和の発生に至るまでの磁束増大許容量が温存される。一方で、磁気抵抗部が可動子の振動範囲の両端位置よりも可動子の振動中心側に設けられているため、可動子がストローク端（可動子の振動範囲の両端）付近に位置しているときには、磁気抵抗部の影響が弱くなる。また、上述の如く磁気飽和の発生に至るまでの磁束増大許容量も温存されているため、可動子がストローク端付近に位置しているときには、可動子の変位に対する鎖交磁束の変化量を大きくすることができ、結果、比較的大きな磁気推力を得ることが可能となる。

具体的には例えば、前記可動子の振動方向に直交する平面に沿った、前記対向ヨーク部の磁性体の断面積を、部分的に小さくすることで前記磁気抵抗部が形成される。

また具体的には例えば、前記対向ヨーク部の磁性体に溝又は穴が設けられ、空気、又は、前記対向ヨーク部の磁性体よりも比透磁率の小さい部材が、前記溝又は前記穴に配置されることで前記磁気抵抗部が形成される。

本発明に係る他の振動発生器は、永久磁石を有する可動子と、前記可動子を振動させるための磁界を発生するコイル、前記コイルが巻かれた磁性体から成る第１ヨーク部、及び、前記第１ヨーク部の両端に位置する磁性体から成る第２ヨーク部を有する固定子と、前記可動子が振動可能なように前記固定子と前記可動子を連結する弾性体と、を備えた振動発生器において、前記第２ヨーク部は、前記永久磁石の一方の磁極面に対向する対向面を持つ対向ヨーク部を有し、前記対向ヨーク部の磁性体に溝又は穴が設けられ、前記溝又は前記穴は、前記可動子の振動方向において前記可動子の振動範囲の両端位置よりも前記可動子の振動中心側に設けられる。

可動子の振動方向における可動子の移動はコイルの鎖交磁束を変化させ、コイルの鎖交磁束の変化は可動子に磁気推力を発生させる。一方、可動子の振動過程において、鎖交磁束の増大を無条件に認めたならば固定子のヨーク部分が容易に磁気飽和しやすくなり、磁気飽和が発生すると可動子の変位に対する磁気推力の発生量が低下する。これを考慮し、溝又は穴を対向ヨーク部に設ける。これにより、溝又は穴が磁束通過の障壁となって磁気飽和の発生がおこりにくくなり、磁気飽和が比較的おこりやすい条件化においても（例えば、可動子がストローク端付近に位置しているときにおいても）、比較的大きな磁気推力を得ることが可能となる。

可動子が振動中心に近い部分に位置しているときには、溝又は穴による磁気抵抗の影響で鎖交磁束の増大が比較的低く抑えられ、磁気飽和の発生に至るまでの磁束増大許容量が温存される。一方で、溝又は穴が可動子の振動範囲の両端位置よりも可動子の振動中心側に設けられているため、可動子がストローク端（可動子の振動範囲の両端）付近に位置しているときには、溝又は穴による磁気抵抗の影響が弱くなる。また、上述の如く磁気飽和の発生に至るまでの磁束増大許容量も温存されているため、可動子がストローク端付近に位置しているときには、可動子の変位に対する鎖交磁束の変化量を大きくすることができ、結果、比較的大きな磁気推力を得ることが可能となる。

また具体的には例えば、上記の何れかの振動発生器において、前記対向ヨーク部は、前記コイルの外周側に位置する筒形状の磁性体であり、前記対向面は、前記永久磁石よりも前記コイル側に位置するとともに前記筒形状の磁性体の外周面であり、前記永久磁石からの磁束は、前記対向面及び前記対向ヨーク部を経由して前記第１ヨーク部を通ることで前記コイルを鎖交し、前記筒形状の磁性体の内周面若しくは外周面に前記溝が設けられる、又は、前記内周面及び前記外周面間に前記穴が設けられる。

本発明によれば、ストローク端付近において比較的高い推力を得ることのできる振動発生器を提供することが可能である。

本発明の意義ないし効果は、以下に示す実施の形態の説明により更に明らかとなろう。ただし、以下の実施の形態は、あくまでも本発明の一つの実施形態であって、本発明ないし各構成要件の用語の意義は、以下の実施の形態に記載されたものに制限されるものではない。

本発明の実施形態に係る振動発生器の外観斜視図である。 図１の振動発生器を２つに割った時の外観斜視図である。 図１の振動発生器の断面図である。 図１の振動発生器の分解図である。 図１の振動発生器に設けられた固定子ヨークを形成する中央ヨーク及びバックヨークの外観斜視図（ａ）及び（ｂ）と、中央ヨークのＺ断面図（ｃ）である。 コイルが巻かれた中央ヨークと２つのバックヨークとの結合方法を示す図である。 図１の振動発生器に設けられた永久磁石の、Ｘ軸に沿った断面図である。 図１の振動発生器における振動動作を説明するための図である。 ＸＺ座標面の第１象限内における、基本構造の固定子ヨークのＺ断面図（ａ）と、該基本構造に係る固定子ヨークの形状を説明するための図（ｂ）である。 可動子が上方ストローク端及び下方ストローク端に位置している時における、可動子及び固定子のＺ断面図である。 第１特殊構造に係る固定子ヨークのＺ断面図である。 第２特殊構造に係る固定子ヨークのＺ断面図である。 第３特殊構造に係る固定子ヨークのＺ断面図である。 第４特殊構造に係る固定子ヨークのＺ断面図である。 第５特殊構造に係る固定子ヨークのＺ断面図（ａ）（ｄ）と、第５特殊構造に係る固定子ヨークの側面図（ｂ）と、第５特殊構造に係るバックヨークのＱ−Ｑ’断面図である。 基本構造において形成される磁路を説明するための図である。 第１特殊構造において形成される磁路を説明するための図である。 可動子の変位量と永久磁石によるコイルの鎖交磁束との関係を示す図である。 可動子の変位量と推力定数との関係を示す図である。 コイルに供給する交流電流の周波数と可動子の振動加速度との関係を示す図である。 可動子の変位量と推力定数との関係を示すグラフに、コイルに供給する交流電流（励磁電流）の波形例を重畳した図である。 可動子の永久磁石の変形構造を示す図である。 従来の振動発生器の断面構造を示す図である。

以下、本発明の実施の形態につき、図面を参照して具体的に説明する。参照される各図において、同一の部分には同一の符号を付し、同一の部分に関する重複する説明を原則として省略する。

図１は、本発明の実施形態に係る振動発生器１の外観斜視図である。振動発生器１は、ボタン電池のような高さの比較的低い円柱形状の外形を有している。その円柱の中心軸に沿って振動発生器１を２つに切って得られる片方の部材（振動発生器１の半分）の外観斜視図を図２に示す。また、その片方の部材を側面から見た平面図、即ち、上記中心軸に沿った面を断面とする、振動発生器１の断面図を図３に示す。図４は、振動発生器１の構成部材の分解図である。振動発生器１は、例えば、携帯電話機のような携帯機器の内部又は該携帯機器の付属品内部に設けられる。それら以外の任意の機器（例えばゲーム機器）に振動発生器１を搭載することも可能である。

振動発生器１は、内部に空洞を有する円柱形状のケース１０と、磁性材料にて形成された固定子ヨーク２０と、固定子ヨーク２０に巻かれたコイル２１と、円筒形状を有する永久磁石３０と、永久磁石３０の外周側に設けられた円筒形状の重量体３１と、弾性体であるバネ材４１及び４２とを有する。図４に示す如く、ケース１０は、円盤状のケース部材１１とカップ状のケース部材１２を接合することで形成される。尚、図示の便宜上、図２においてコイル２１の図示を省略しており、図４においてコイル２１並びにバネ材４１及び４２の図示を省略している。

固定子ヨーク２０及びコイル２１によって固定子が形成され、永久磁石３０及び重量体３１によって可動子が形成される。固定子及び可動子並びにバネ材４１及び４２は、ケース１０内部に収容される。固定子をケース１０に固定する一方で、バネ材４１及び４２を用いて可動子をケース１０内で振動可能なように配置することで振動発生器１が形成される。尚、溝などで形成される磁気抵抗部を固定子ヨーク２０に設けることができるが、磁気抵抗部の詳細については後述することとし、磁気抵抗部を持たない構造を先に説明する（従って、図２等では磁気抵抗部が示されていない）。

コイル２１の中心軸をＺ軸と定義する。そうすると、図３は、Ｚ軸に沿った平面を断面とする、振動発生器１の断面図に相当する。可動子の振動方向はＺ軸と平行である。以下、Ｚ軸に沿った断面をＺ断面と呼ぶと共にＺ断面を断面とする断面図をＺ断面図と呼ぶ。また、Ｚ断面図上において、Ｚ軸に直交する軸をＸ軸と定義する。Ｘ軸に沿った断面をＸ断面と呼ぶと共にＸ断面を断面とする断面図をＸ断面図と呼ぶ。Ｘ軸とＺ軸は、固定子ヨーク２０の中心点と一致する原点Ｏにて交差する。更に、Ｘ軸とＺ軸を座標軸とする二次元直交座標面をＸＺ座標面と呼ぶ。また、特に断りなき限り、以下の説明における第１〜第４象限とは、ＸＺ座標面における第１〜第４象限を指す。

ケース１０内に配置された固定子ヨーク２０、永久磁石３０及び重量体３１は、全て、Ｚ軸を回転軸とする回転体であると言える。ＸＺ座標面において、ケース１０内に配置された固定子ヨーク２０は、Ｚ軸及びＸ軸の夫々に対して線対称の構造を有している。ＸＺ座標面において、永久磁石３０及び重量体３１は、Ｚ軸に対して線対称の構造を有していると共に可動子の振動停止時においてはＸ軸に対しても線対称の構造を有している。

図５（ａ）及び（ｂ）は、固定子ヨーク２０の構成部材である中央ヨーク（第１ヨーク部）２５及びバックヨーク（第２ヨーク部）２６の外観斜視図であり、図５（ｃ）は、中央ヨーク２５のＺ断面図である。図６は、コイル２１が巻かれた中央ヨーク２５と２つのバックヨーク２６との結合方法を示す図である。

中央ヨーク２５は、円柱形状のヨーク（棒状のヨーク）であり、中央ヨーク２５の外周面に沿ってコイル２１が巻かれる。中央ヨーク２５の外形形状である円柱の中心軸は、コイル２１の中心軸であるＺ軸に一致する。バックヨーク２６は、上面及び下面の内、一方の面にのみ磁性材料の底面を有する円筒形状のヨークであり、カップ状の外形を有している。バックヨーク２６の内周半径は、中央ヨーク２５の外周半径よりも大きい。中央ヨーク２５の円柱の両端面の夫々には突出部が存在し（図５（ｃ）参照）、バックヨーク２６の底面の中央には穴が開いている。図６に示す如く、中央ヨーク２５にコイル２１を巻いた後、中央ヨーク２５の上面の突出部を第１のバックヨーク２６の穴に嵌め込むことで中央ヨーク２５の上面と第１のバックヨーク２６の底面を密着させて中央ヨーク２５及び第１のバックヨーク２６を結合し、且つ、中央ヨーク２５の下面の突出部を第２のバックヨーク２６の穴に嵌め込むことで中央ヨーク２５の下面と第２のバックヨーク２６の底面を密着させて中央ヨーク２５及び第２のバックヨーク２６を結合する。これにより、コイル２１が巻かれた固定子ヨーク２０が形成される。尚、固定子ヨーク２０の形状を示す図面（図２〜図４並びに後述する図８（ａ）及び（ｂ）等）において、上記の突出部がバックヨーク２６の底面からはみ出していないが、そのはみ出しが発生するような突出部を中央ヨーク２５に設けるようにしても構わない。

永久磁石３０及び重量体３１の夫々は、上述したように、Ｚ軸を中心軸とする円筒形状（輪形状）の外形を有する。従って、図７に示す如く、永久磁石３０は、Ｘ断面図において、内周と内周よりも半径の大きい外周とを有する輪状図形を描く。重量体３１も同様である。永久磁石３０の外周面と重量体３１の内周面が接するように永久磁石３０と重量体３１が結合されることによって可動子が形成される。重量体３１は、可動子の質量を所望の質量に設定するための重りである。中央ヨーク２５及びバックヨーク２６は磁性体から成る。永久磁石３０の比透磁率は１に近い値（例えば、１．１）を有する一方で、中央ヨーク２５及びバックヨーク２６を形成する磁性体の比透磁率は十分に大きな値（例えば、数百〜数万）を有する。重量体３１の比透磁率は任意である。本明細書において、磁性体と磁性材料は同義である。

本実施形態では、永久磁石３０の内周側がＮ極、永久磁石３０の外周側がＳ極であると想定する（勿論、それらを逆にすることも可能である）。従って、永久磁石３０の内周面及び外周面はそれぞれＮ極面及びＳ極面であり、永久磁石３０のＮ極面はコイル２１の外周面に対向している（図３等参照）。

バネ材４１はＺ軸方向が伸張方向となるように、その一端がケース１０の上方側の内面（ケース部材１２の内面）に固定されると共に、その他端が可動子の上面に結合されている。バネ材４２はＺ軸方向が伸張方向となるように、その一端がケース１０の下方側の内面（ケース部材１１）に固定されると共に、その他端が可動子の下面に結合されている。このため、可動子を上方向に移動させる力を加えれば、Ｚ軸方向にバネ材４１が縮む一方でバネ材４２が伸び、可動子を下方向に移動させる力を加えれば、Ｚ軸方向にバネ材４１が伸びる一方でバネ材４２が縮む。ここで、上方向はＺ軸の正側の方向に対応し、下方向はＺ軸の負側の方向に対応している。

図１及び図６を含む各図面には示されていないが、固定子ヨーク２０及びケース１０に設けられた穴などを介して、コイル２１の両端に電気的に接続された一対のリード線がケース１０の外側に引き出されている。この一対のリード線に交流電圧を印加することでコイル２１に交流電流が流れ、該交流電流に応じた磁界が固定子ヨーク２０に現れる。

コイル２１に電流を流しておらず、可動子の振動が停止している時、バネ材４１及び４２による推力（以下、機械推力という）が均衡して、Ｚ軸方向における可動子の中心はＸ軸上に位置する。コイル２１に交流電流を流すことで磁界が発生し、これによって可動子をＺ軸方向に振動させる磁気による推力（以下、磁気推力という）が発生して、磁気推力と機械推力に従い可動子がＺ軸方向に振動する。

コイル２１に第１方向の電流を流した時には、図８（ａ）に示す如く、固定子ヨーク２０の上側及び下側が夫々Ｎ極及びＳ極になり、永久磁石３０のＮ極と固定子ヨーク２０の上側磁極（Ｎ極）とが反発しあう一方で永久磁石３０のＮ極と固定子ヨーク２０の下側磁極（Ｓ極）とが吸引しあうため、可動子を下方向（Ｚ軸の負側）に向かわせる磁気推力が発生する。一方、コイル２１に第１方向とは逆の第２方向の電流を流した時には、図８（ｂ）に示す如く、固定子ヨーク２０の上側及び下側が夫々Ｓ極及びＮ極になり、永久磁石３０のＮ極と固定子ヨーク２０の下側磁極（Ｎ極）とが反発しあう一方で永久磁石３０のＮ極と固定子ヨーク２０の上側磁極（Ｓ極）とが吸引しあうため、可動子を上方向（Ｚ軸の正側）に向かわせる磁気推力が発生する。

尚、固定子はケース１０に固定されていると共にバネ材４１及び４２の各一端もケース１０に固定されているため、バネ材４１及び４２は、ケース１０を介して固定子と可動子を連結する弾性体であると言える。或いは、ケース１０自体も固定子の構成部材に含まれる、と考えることもできる。また、可動子がＺ軸方向に振動可能となるように、ケース１０を介することなく固定子と可動子を直接的に弾性体にて連結するようにしてもよい。

図９（ａ）は、ＸＺ座標面上の、固定子ヨーク２０、永久磁石３０及び重量体３１を表している。但し、図示の煩雑化防止のため、図９（ａ）には、ＸＺ座標面の第１象限内のそれらの形状のみを示している。ＸＺ座標面における注目点の位置を（ｘ，ｚ）にて表し、位置（ｘ，ｚ）に配置された点を点（ｘ，ｚ）と表記する。注目点に対するｘ及びｚは、夫々、注目点のＸ座標値（Ｘ軸上の座標値）及びＺ座標値（Ｚ軸上の座標値）を表している。

ＸＺ座標面の第１象限において、固定子ヨーク２０は、第１〜第３四角形を連結した図形を成す（図９（ｂ）も参照）。第１四角形は、点（０，０）と一致する原点Ｏ、点（ｘ₁，０）、点（ｘ₁，ｚ₃）及び点（０，ｚ₃）を４頂点とする長方形であり、第２四角形は、点（ｘ₁，ｚ₂）、点（ｘ₂，ｚ₂）、点（ｘ₂，ｚ₃）及び点（ｘ₁，ｚ₃）を４頂点とする長方形であり、第３四角形は、点（ｘ₂，ｚ₁）、点（ｘ₃，ｚ₁）、点（ｘ₃，ｚ₃）及び点（ｘ₂，ｚ₃）を４頂点とする長方形である。固定子ヨーク２０の内、この第３四角形を描くヨーク部分を、対向ヨーク部５０と呼ぶ。固定子ヨーク２０の内、第２及び第３四角形を描くヨーク部分はバックヨーク２６に含まれる。第１四角形を描くヨーク部分の大半は中央ヨーク２５に含まれるが、第１四角形を描くヨーク部分の内、第２四角形に隣接する一部分のみはバックヨーク２６に含まれる。

ＸＺ座標面の第１象限において、永久磁石３０は、点（ｘ₄，０）、点（ｘ₅，０）、点（ｘ₅，ｚ_Q）及び点（ｘ₄，ｚ_Q）を４頂点とする長方形を成し、重量体３１は、点（ｘ₅，０）、点（ｘ₆，０）、点（ｘ₆，ｚ_Q）及び点（ｘ₅，ｚ_Q）を４頂点とする長方形を成す。ここで、０＜ｘ₁＜ｘ₂＜ｘ₃＜ｘ₄＜ｘ₅＜ｘ₆、且つ、０＜ｚ₁＜ｚ₂＜ｚ₃、である。

Ｘ軸方向におけるバックヨーク２６の外周面（即ち固定子ヨーク２０の外周面）は、永久磁石３０の内面面（即ちＮ極面）と空隙５２を介して対向している。Ｘ軸方向におけるバックヨーク２６の外周面を符号５１によって表し、それを対向面と呼ぶ。対向面５１は対向ヨーク部５０の外周面でもある。対向面５１と永久磁石３０との間の空隙５２の厚み方向はＸ軸方向であり、空隙５２の厚みは（ｘ₄−ｘ₃）によって表される。

Ｚ軸方向における永久磁石３０の上端位置を表すＺ座標値をｚ_Qで表す（上述したように、上方向はＺ軸の正側の方向に対応し、下方向はＺ軸の負側の方向に対応している）。Ｚ座標値ｚ_Qは、可動子の振動過程において様々な値をとるが、Ｚ座標値ｚ_Qの下限値及び上限値は夫々ｚ_QL及びｚ_QUであるとする。即ち、図１０（ａ）に示す如くｚ_Q＝ｚ_QUとなる位置と、図１０（ｂ）に示す如くｚ_Q＝ｚ_QLとなる位置との間を、可動子はＺ軸方向に沿って往復運動する。ｚ_QL＜ｚ_QUであり、且つ、０＜ｚ_QUである。ｚ_Q＝ｚ_QLであるとき、Ｚ軸方向における永久磁石３０の下端位置を表すＺ座標値は（−ｚ_QL）となる（但し、誤差などを無視）。コイル２１に電流を流しておらず可動子の振動が停止している時、Ｚ軸方向における可動子の中心はＸ軸上に位置し、ｚ_Q＝（ｚ_QU＋ｚ_QL）／２となる。従って、Ｘ軸は、可動子の振動中心線又は振動中心と呼べる。

Ｚ座標値ｚ_Qがｚ_QUとなる可動子の位置を上方ストローク端と呼び、Ｚ座標値ｚ_Qがｚ_QLとなる可動子の位置を下方ストローク端と呼ぶ。上方ストローク端及び／又は下方ストローク端を、単にストローク端と呼ぶこともある。

上述してきた振動発生器１の構造を基本構造と呼ぶ。基本構造においては、本実施形態の特徴部である磁気抵抗部が設けられていない。磁気抵抗部は、対向ヨーク部５０（図９（ａ）参照）に設けられ、可動子がストローク端近辺の或る範囲に位置しているときにおいて、中央ヨーク２５を通ってコイル２１を鎖交する、永久磁石３０による磁束の量を抑制するように作用する。以下、基本構造に磁気抵抗部を設けた構造の例を、第１〜第６特殊構造として説明する。各特殊構造の説明において、特に述べられない事項に関しては、矛盾無き限り上述の基本構造の説明が各特殊構造に適用され、この適用の際、共通の名称を有する複数の部材間の符号の相違は適宜無視される。例えば、基本構造のバックヨークに対する記載を第１特殊構造に適用する際、基本構造のバックヨークの符号である“２６”と第１特殊構造のバックヨークの符号である“２６Ａ”との相違は、無視される。基本構造の説明と各特殊構造の説明との間に矛盾が生じる場合、各特殊構造の説明が優先される。

［第１特殊構造］
第１特殊構造を説明する。図１１（ａ）及び（ｂ）は、第１特殊構造に係る固定子ヨーク２０ＡのＺ断面図である。但し、図１１（ｂ）には、ＸＺ座標面の第１象限内における、固定子ヨーク２０ＡのＺ断面のみが示されている。第１特殊構造では、固定子ヨーク２０Ａ、バックヨーク２６Ａ、対向ヨーク部５０Ａ及び対向面５１Ａが、それぞれ固定子ヨーク２０、バックヨーク２６、対向ヨーク部５０及び対向面５１として機能し、溝６０Ａが磁気抵抗部として機能する。

固定子ヨーク２０Ａは、中央ヨーク２５とバックヨーク２６Ａから形成され、バックヨーク２６Ａは対向面５１Ａを有する対向ヨーク部５０Ａを備える。基本構造におけるバックヨーク２６及び対向ヨーク部５０に溝６０Ａを設けることで、バックヨーク２６Ａ及び対向ヨーク部５０Ａが形成される。溝６０Ａの存否を除き、第１特殊構造と基本構造は同じである。

基本構造と同様、固定子ヨーク２０ＡはＺ軸を回転軸とする回転体であって、ＸＺ座標面において、固定子ヨーク２０ＡはＺ軸及びＸ軸の夫々に対して線対称の構造を有している（後述の固定子ヨーク２０Ｂ、２０Ｃ及び２０Ｄにおいても同様）。

図１１（ｂ）を参照して、ＸＺ座標面上における、第１象限内の溝６０Ａの形状を説明する。溝６０Ａは、対向ヨーク部５０Ａの外周面側に設けられる。ＸＺ座標面の第１象限内において、溝６０Ａは、点（ｘ_A，ｚ_A1）、点（ｘ₃，ｚ_A1）、点（ｘ₃，ｚ_A2）及び点（ｘ_A，ｚ_A2）を４頂点とする長方形を描く。ここで、少なくとも不等式「ｘ₂＜ｘ_A＜ｘ₃」及び「ｚ₁＜ｚ_A1＜ｚ_A2＜ｚ₃」が成立する。ｚ_A1及びｚ_A2とｚ₂との大小関係は任意である。即ち、図１１（ｂ）に示す例では、ｚ₂＜ｚ_A1＜ｚ_A2となっているが、ｚ_A1＜ｚ₂＜ｚ_A2であっても良いし、ｚ_A1＜ｚ_A2＜ｚ₂であっても良い。また、ｚ_A1＝ｚ₂、又は、ｚ_A2＝ｚ₂であっても良い。

可動子の振動過程において永久磁石３０の上端位置が溝６０ＡのＺ座標値部分を横切るような位置に溝６０Ａが設けられる。即ち、溝６０Ａは「ｚ_QL＜ｚ_A1＜ｚ_A2＜ｚ_QU」となるように設けられる（図１０（ａ）及び（ｂ）も参照）。また、望ましくは、可動子の中心が振動中心に位置するとき（即ち、永久磁石３０の上端のＺ座標値ｚ_Qが（ｚ_QL＋ｚ_QU）／２であるとき）において、永久磁石３０の上端位置が溝６０Ａの下端位置（ｚ_A1）よりも下方側に位置するように振動発生器１を形成すると良い。即ち、「（ｚ_QL＋ｚ_QU）／２＜ｚ_A1」となるように溝６０Ａを設けることが望ましい。磁気抵抗部としての溝６０Ａの働きについては後述することとし、先に、磁気抵抗部の他の例を説明する。

［第２特殊構造］
第２特殊構造を説明する。図１２（ａ）及び（ｂ）は、第２特殊構造に係る固定子ヨーク２０ＢのＺ断面図である。但し、図１２（ｂ）には、ＸＺ座標面の第１象限内における、固定子ヨーク２０ＢのＺ断面のみが示されている。第２特殊構造では、固定子ヨーク２０Ｂ、バックヨーク２６Ｂ、対向ヨーク部５０Ｂ及び対向面５１Ｂが、それぞれ固定子ヨーク２０、バックヨーク２６、対向ヨーク部５０及び対向面５１として機能し、溝６０Ｂが磁気抵抗部として機能する。

固定子ヨーク２０Ｂは、中央ヨーク２５とバックヨーク２６Ｂから形成され、バックヨーク２６Ｂは対向面５１Ｂを有する対向ヨーク部５０Ｂを備える。基本構造におけるバックヨーク２６及び対向ヨーク部５０に溝６０Ｂを設けることで、バックヨーク２６Ｂ及び対向ヨーク部５０Ｂが形成される。溝６０Ｂの存否を除き、第２特殊構造と基本構造は同じであり、第１特殊構造に係るバックヨーク２６Ａの溝６０Ａを溝６０Ｂに置き換えることでバックヨーク２６Ｂが形成される。

図１２（ｂ）を参照して、ＸＺ座標面上における、第１象限内の溝６０Ｂの形状を説明する。溝６０Ｂは、対向ヨーク部５０Ｂの外周面側に設けられる。ＸＺ座標面の第１象限内において、溝６０Ｂは、点（ｘ_B，ｚ_B2）、点（ｘ₃，ｚ_B1）及び点（ｘ₃，ｚ_B3）を３頂点とする三角形を描く。ここで、少なくとも不等式「ｘ₂＜ｘ_B＜ｘ₃」及び「ｚ₁＜ｚ_B1＜ｚ_B2＜ｚ_B3＜ｚ₃」が成立する（但し、ｚ_B1＝ｚ_B2又はｚ_B2＝ｚ_B3であっても構わない）。ｚ_B1〜ｚ_B3とｚ₂との大小関係は任意である。即ち、図１２（ｂ）に示す例では、ｚ_B1＜ｚ₂＜ｚ_B2＜ｚ_B3となっているが、ｚ_B1≧ｚ₂であっても良いし、ｚ_B2≦ｚ₂であっても良いし、ｚ_B3≦ｚ₂であっても良い。

可動子の振動過程において永久磁石３０の上端位置が溝６０ＢのＺ座標値部分を横切るような位置に溝６０Ｂが設けられる。即ち、溝６０Ｂは「ｚ_QL＜ｚ_B1＜ｚ_B2＜ｚ_B3＜ｚ_QU」となるように設けられる。また、望ましくは、可動子の中心が振動中心に位置するとき（即ち、永久磁石３０の上端のＺ座標値ｚ_Qが（ｚ_QL＋ｚ_QU）／２であるとき）、永久磁石３０の上端位置が溝６０Ｂの下端位置（ｚ_B1）よりも下方側に位置するように振動発生器１を形成すると良い。即ち、「（ｚ_QL＋ｚ_QU）／２＜ｚ_B1」となるように溝６０Ｂを設けることが望ましい。

［第３特殊構造］
第３特殊構造を説明する。図１３（ａ）及び（ｂ）は、第３特殊構造に係る固定子ヨーク２０ＣのＺ断面図である。但し、図１３（ｂ）には、ＸＺ座標面の第１象限内における、固定子ヨーク２０ＣのＺ断面のみが示されている。第３特殊構造では、固定子ヨーク２０Ｃ、バックヨーク２６Ｃ、対向ヨーク部５０Ｃ及び対向面５１Ｃが、それぞれ固定子ヨーク２０、バックヨーク２６、対向ヨーク部５０及び対向面５１として機能し、溝６０Ｃが磁気抵抗部として機能する。

固定子ヨーク２０Ｃは、中央ヨーク２５とバックヨーク２６Ｃから形成され、バックヨーク２６Ｃは対向面５１Ｃを有する対向ヨーク部５０Ｃを備える。基本構造におけるバックヨーク２６及び対向ヨーク部５０に溝６０Ｃを設けることで、バックヨーク２６Ｃ及び対向ヨーク部５０Ｃが形成される。溝６０Ｃの存否を除き、第３特殊構造と基本構造は同じであり、第１特殊構造に係るバックヨーク２６Ａの溝６０Ａを溝６０Ｃに置き換えることでバックヨーク２６Ｃが形成される。

図１３（ｂ）を参照して、ＸＺ座標面上における、第１象限内の溝６０Ｃの形状を説明する。溝６０Ｃは、対向ヨーク部５０Ｃの内周面側に設けられる。従って、対向面５１Ｃは基本構造における対向面５１と同じである。ＸＺ座標面の第１象限内において、溝６０Ｃは、点（ｘ₂，ｚ_C1）、点（ｘ_C，ｚ_C1）、点（ｘ_C，ｚ_C2）及び点（ｘ₂，ｚ_C2）を４頂点とする長方形を描く。ここで、少なくとも不等式「ｘ₂＜ｘ_C＜ｘ₃」及び「ｚ₁＜ｚ_C1＜ｚ_C2≦ｚ₂」が成立する。図１３（ｂ）に示す例では、ｚ_C2＜ｚ₂となっているが、ｚ_C2＝ｚ₂であっても良い。

可動子の振動過程において永久磁石３０の上端位置が溝６０ＣのＺ座標値部分を横切るような位置に溝６０Ｃが設けられる。即ち、溝６０Ｃは「ｚ_QL＜ｚ_C1＜ｚ_C2＜ｚ_QU」となるように設けられる。また、望ましくは、可動子の中心が振動中心に位置するとき（即ち、永久磁石３０の上端のＺ座標値ｚ_Qが（ｚ_QL＋ｚ_QU）／２であるとき）、永久磁石３０の上端位置が溝６０Ｃの下端位置（ｚ_C1）よりも下方側に位置するように振動発生器１を形成すると良い。即ち、「（ｚ_QL＋ｚ_QU）／２＜ｚ_C1」となるように溝６０Ｃを設けることが望ましい。

［第４特殊構造］
第４特殊構造を説明する。図１４（ａ）及び（ｂ）は、第４特殊構造に係る固定子ヨーク２０ＤのＺ断面図である。但し、図１４（ｂ）には、ＸＺ座標面の第１象限内における、固定子ヨーク２０ＤのＺ断面のみが示されている。第４特殊構造では、固定子ヨーク２０Ｄ、バックヨーク２６Ｄ、対向ヨーク部５０Ｄ及び対向面５１Ｄが、それぞれ固定子ヨーク２０、バックヨーク２６、対向ヨーク部５０及び対向面５１として機能し、溝６０Ｄが磁気抵抗部として機能する。

固定子ヨーク２０Ｄは、中央ヨーク２５とバックヨーク２６Ｄから形成され、バックヨーク２６Ｄは対向面５１Ｄを有する対向ヨーク部５０Ｄを備える。基本構造におけるバックヨーク２６及び対向ヨーク部５０に溝６０Ｄを設けることで、バックヨーク２６Ｄ及び対向ヨーク部５０Ｄが形成される。溝６０Ｄの存否を除き、第４特殊構造と基本構造は同じであり、第１特殊構造に係るバックヨーク２６Ａの溝６０Ａを溝６０Ｄに置き換えることでバックヨーク２６Ｄが形成される。

図１４（ｂ）を参照して、ＸＺ座標面上における、第１象限内の溝６０Ｄの形状を説明する。溝６０Ｄは、対向ヨーク部５０Ｄの内周面側に設けられる。従って、対向面５１Ｄは基本構造における対向面５１と同じである。ＸＺ座標面の第１象限内において、溝６０Ｄは、点（ｘ₂，ｚ_D1）、点（ｘ_D，ｚ_D2）及び点（ｘ₂，ｚ_D3）を３頂点とする三角形を描く。ここで、少なくとも不等式「ｘ₂＜ｘ_D＜ｘ₃」及び「ｚ₁＜ｚ_D1＜ｚ_D2＜ｚ_D3≦ｚ₂」が成立する（但し、ｚ_D1＝ｚ_D2又はｚ_D2＝ｚ_D3であっても構わない）。図１４（ｂ）に示す例では、ｚ_D3＜ｚ₂となっているが、ｚ_D3＝ｚ₂であっても良い。

可動子の振動過程において永久磁石３０の上端位置が溝６０ＤのＺ座標値部分を横切るような位置に溝６０Ｄが設けられる。即ち、溝６０Ｄは「ｚ_QL＜ｚ_D1＜ｚ_D2＜ｚ_D3＜ｚ_QU」となるように設けられる。また、望ましくは、可動子の中心が振動中心に位置するとき（即ち、永久磁石３０の上端のＺ座標値ｚ_Qが（ｚ_QL＋ｚ_QU）／２であるとき）、永久磁石３０の上端位置が溝６０Ｄの下端位置（ｚ_D1）よりも下方側に位置するように振動発生器１を形成すると良い。即ち、「（ｚ_QL＋ｚ_QU）／２＜ｚ_D1」となるように溝６０Ｄを設けることが望ましい。

［第５特殊構造］
第５特殊構造を説明する。図１５（ａ）〜（ｄ）を参照する。第５特殊構造に係る固定子ヨーク２０Ｅには複数の穴７０Ｅが設けられている。図１５（ａ）は、固定子ヨーク２０ＥのＺ断面図であり、図１５（ｂ）は、Ｚ軸に直交する方向から見た固定子ヨーク２０Ｅの側面図であり、図１５（ｃ）は、第５特殊構造に係るバックヨーク２６ＥのＱ−Ｑ’断面図であり、図１５（ｄ）は、ＸＺ座標面の第１象限内における固定子ヨーク２０ＥのＺ断面図である。但し、図１５（ａ）、（ｃ）及び（ｄ）の断面図における断面は、穴７０Ｅを横切る断面であるとする。Ｑ−Ｑ’断面図とは、Ｘ軸に平行な、図１５（ｂ）のＱ−Ｑ’線に沿った断面図である。尚、図１５（ｂ）ではコイル２１の図示を省略し、図面の煩雑化防止のため、図１５（ｂ）及び（ｃ）では、バックヨーク２６Ｅに設けられる全ての穴７０Ｅの内、一部の穴に対してのみ符号７０Ｅを付している

第５特殊構造では、固定子ヨーク２０Ｅ、バックヨーク２６Ｅ、対向ヨーク部５０Ｅ及び対向面５１Ｅが、それぞれ固定子ヨーク２０、バックヨーク２６、対向ヨーク部５０及び対向面５１として機能し、穴７０Ｅが磁気抵抗部として機能する。

固定子ヨーク２０Ｅは、中央ヨーク２５とバックヨーク２６Ｅから形成され、バックヨーク２６Ｅは対向面５１Ｅを有する対向ヨーク部５０Ｅを備える。基本構造におけるバックヨーク２６及び対向ヨーク部５０に複数の穴７０Ｅを設けることで、バックヨーク２６Ｅ及び対向ヨーク部５０Ｅが形成される。穴７０Ｅの存否を除き、第５特殊構造と基本構造は同じである。

ＸＺ座標面において、固定子ヨーク２０ＥはＺ軸及びＸ軸の夫々に対して線対称の構造を有している。また、穴７０Ｅの存在を無視すれば、固定子ヨーク２０ＥはＺ軸を回転軸とする回転体である。各々の穴７０Ｅは、Ｘ軸に平行な中心軸を有する円筒形状の穴である。例えば、図１５（ｃ）に示す如く、Ｑ−Ｑ’断面図上で、Ｚ軸を中心として２２．５°間隔で計１６個の穴７０Ｅが対向ヨーク部５０Ｅに設けられる。

図１５（ｄ）を参照して、ＸＺ座標面上における、第１象限内の穴７０Ｅの形状を説明する。穴７０Ｅは、対向ヨーク部５０Ｅの内周面と外周面を貫通する穴である。ＸＺ座標面の第１象限内において、穴７０Ｅは、点（ｘ₂，ｚ_E1）、点（ｘ₃，ｚ_E1）、点（ｘ₃，ｚ_E2）及び点（ｘ₂，ｚ_E2）を４頂点とする長方形を描く。ここで、「ｚ₁＜ｚ_E1＜ｚ_E2≦ｚ₂」である。但し、「ｚ_E1≦ｚ₂＜ｚ_E2＜ｚ₃」又は「ｚ₂≦ｚ_E1＜ｚ_E2＜ｚ₃」であっても良い。「ｚ_E1≦ｚ₂＜ｚ_E2＜ｚ₃」又は「ｚ₂≦ｚ_E1＜ｚ_E2＜ｚ₃」である場合、穴７０Ｅは、対向ヨーク部５０Ｅの内周面と外周面を貫通する穴ではなくなる。

可動子の振動過程において永久磁石３０の上端位置が穴７０ＥのＺ座標値部分を横切るような位置に穴７０Ｅが設けられる。即ち、穴７０Ｅは「ｚ_QL＜ｚ_E1＜ｚ_E2＜ｚ_QU」となるように設けられる。また、望ましくは、可動子の中心が振動中心に位置するとき（即ち、永久磁石３０の上端のＺ座標値ｚ_Qが（ｚ_QL＋ｚ_QU）／２であるとき）、永久磁石３０の上端位置が穴７０Ｅの下端位置（ｚ_E1）よりも下方側に位置するように振動発生器１を形成すると良い。即ち、「（ｚ_QL＋ｚ_QU）／２＜ｚ_E1」となるように穴７０Ｅを設けることが望ましい。

［第６特殊構造］
第６特殊構造を説明する。第６特殊構造では、上述の第１〜第５特殊構造に対して適用可能な変形技術などを説明する。

上述の第１〜第４特殊構造では、対向ヨーク部の外周面又は内周面にＺ断面形状が四角形又は三角形の溝が設けられているが、溝のＺ断面形状は四角形及び三角形以外であっても良く、例えば、溝のＺ断面形状に曲線が含まれていても良い。

上述の第５特殊構造において、Ｚ軸に平行な断面に沿った、穴７０Ｅの断面形状は円になっているが、その断面形状は円以外の形状（例えば、四角形や三角形）であっても良い。

第５特殊構造において、穴７０Ｅは対向ヨーク部５０Ｅの内周面及び外周面間を貫通しているが、この貫通は必須ではない。対向ヨーク部５０Ｅの内周面及び外周面間を貫通しない穴７０Ｅは、例えば、ＸＺ座標面上のＸ軸方向に沿って、対向ヨーク部５０Ｅの内周面から外周面に向かう深さ（ｘ₃−ｘ₂）未満の穴、又は、対向ヨーク部５０Ｅの外周面から内周面に向かう深さ（ｘ₃−ｘ₂）未満の穴であり、これらの穴も、対向ヨーク部５０Ｅの内周面及び外周面間に設けられた穴の一種である。

第１特殊構造に係る溝６０Ａには対向ヨーク部５０Ａを形成する磁性体は存在せず、溝６０Ａの内部には空気が配置される（溝６０Ｂ、６０Ｃ及び６０Ｄについても同様）。但し、対向ヨーク部５０Ａを形成する磁性体よりも比透磁率の小さい部材（非磁性体）を溝６０Ａの内部に配置するようにしても良い（溝６０Ｂ、６０Ｃ及び６０Ｄについても同様）。

第５特殊構造に係る穴７０Ｅには対向ヨーク部５０Ｅを形成する磁性体は存在せず、穴７０Ｅの内部には空気が配置される。但し、対向ヨーク部５０Ｅを形成する磁性体よりも比透磁率の小さい部材（非磁性体）を穴７０Ｅの内部に配置するようにしても良い。

［基本構造と特殊構造との機能対比］
次に、基本構造と各特殊構造との機能上の差異を説明する。説明の具体化のため、第１特殊構造に注目し、第１特殊構造を基本構造と比較する。図１６（ａ）〜（ｄ）の夫々は、基本構造に係る固定子ヨーク２０と永久磁石３０のＺ断面図であり、図１７（ａ）〜（ｄ）の夫々は、第１特殊構造に係る固定子ヨーク２０Ａと永久磁石３０のＺ断面図である。可動子の中心がＸ軸上に位置している状態を基準とする、可動子のＺ軸方向への移動量を変位量ｚ_CCと呼ぶ。変位量ｚ_CCがゼロである状態は、可動子の中心が振動中心に位置している状態であり、その状態を起点として可動子が上方向に移動すれば変位量ｚ_CCがゼロから増加し、その状態を起点として可動子が下方向に移動すれば変位量ｚ_CCがゼロから減少するものとする。

図１６（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は、夫々、ｚ_CC＝０、ｚ_CC＝Δｚ₁、ｚ_CC＝Δｚ₂、ｚ_CC＝Δｚ₃の状態における固定子ヨーク２０及び永久磁石３０のＺ断面図であり、図１７（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は、夫々、ｚ_CC＝０、ｚ_CC＝Δｚ₁、ｚ_CC＝Δｚ₂、ｚ_CC＝Δｚ₃の状態における固定子ヨーク２０Ａ及び永久磁石３０のＺ断面図である。但し、図１６（ａ）〜（ｄ）及び図１７（ａ）〜（ｄ）では、永久磁石３０の内、Ｘ軸の正側に位置する部分だけが示されており、また、重量体３１の図示は省略されている。

ここで、０＜Δｚ₁＜Δｚ₂＜Δｚ₃であり、Δｚ₃は、可動子の振動振幅の半分であるとする。即ち、Δｚ₃＝（ｚ_QL＋ｚ_QU）／２であり、図１６（ｄ）及び図１７（ｄ）に対応するｚ_CC＝Δｚ₃の状態では、永久磁石３０の上端位置のＺ座標値ｚ_Qは上限値ｚ_QUと一致している。

図１６（ａ）等を参照し、可動子が振動中心を起点として上方向に移動する過程における、コイル２１の鎖交磁束の挙動を説明する。永久磁石３０によるコイル２１の鎖交磁束をφにて表す。φは、永久磁石３０が発生した磁束の内、コイル２１を鎖交する磁束の量を表している（従って、以下の説明文中における鎖交磁束φを鎖交磁束量φと読み替えてもよい）。Ｚ軸の正側からＺ軸の負側に向かう向きの磁束を正の磁束であると考える。

まず、基本構造における鎖交磁束の挙動について説明する。図１６（ａ）に示す如く可動子が振動中心に位置している状態（即ちｚ_CC＝０の状態）では、Ｘ軸を基準にして永久磁石３０及び固定子ヨーク２０は対称の構造を持つため、鎖交磁束φは、ゼロである或いは無視できる程度に小さい。可動子が振動中心を起点として上方向にΔｚ₁、Δｚ₂、Δｚ₃だけ移動すると、夫々、図１６（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示す如く、磁路３０１、３０２、３０３を経由して永久磁石３０の発生磁束がコイル２１を鎖交する。ここでは、ＸＺ座標面上における第１及び第４象限にのみ注目し、磁路３０１〜３０３の夫々は、第１及び第４象限内の磁路であるとする（後述の磁路３１１〜３１３についても同様）。

磁路３０１〜３０３の夫々は（図９（ａ）も参照）、永久磁石３０のＮ極面と、第１象限内の空隙５２、対向面５１及び対向ヨーク部５０とを経由して中央ヨーク部２５に至り、その中央ヨーク部２５から更に、第４象限内の対向ヨーク部５０、対向面５１及び空隙５２を経由して永久磁石３０に戻る磁路である。

図１８の破線３３０は、基本構造における鎖交磁束φと変位量ｚ_CCとの関係を表している。変位量ｚ_CCがゼロを起点として増大してゆくと、Ｘ軸を基準とした永久磁石３０の対称性が崩れて鎖交磁束φが増加してゆく。しかしながら、変位量ｚ_CCの増大に伴って鎖交磁束φが或る程度増加してくると、固定子ヨーク２０内部において所々で磁気飽和が発生し始めて変位量ｚ_CCの増大に対する鎖交磁束φの増加量が減少してゆき、最終的には、変位量ｚ_CCが増加しても鎖交磁束φはあまり変化しなくなる（或いは、殆ど変化しなくなる）。破線３３０の例では、Δｚ₁＜ｚ_CC≦Δｚ₂の範囲内におけるｄφ／ｄｚ_CCが０＜ｚ_CC≦Δｚ₁の範囲内におけるｄφ／ｄｚ_CCよりも小さく、且つ、Δｚ₂＜ｚ_CC≦Δｚ₃の範囲内におけるｄφ／ｄｚ_CCがΔｚ₁＜ｚ_CC≦Δｚ₂の範囲内におけるｄφ／ｄｚ_CCよりも小さくなっている。ｄφ／ｄｚ_CCは、ｚ_CCが単位量だけ変化した時のφの変化量を表す。

次に、第１特殊構造における鎖交磁束の挙動について説明する。図１７（ａ）に示す如く可動子が振動中心に位置している状態（即ちｚ_CC＝０の状態）では、Ｘ軸を基準にして永久磁石３０及び固定子ヨーク２０Ａは対称の構造を持つため、鎖交磁束φは、ゼロである或いは無視できる程度に小さい。可動子が振動中心を起点として上方向にΔｚ₁、Δｚ₂、Δｚ₃だけ移動すると、夫々、図１７（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示す如く、磁路３１１、３１２、３１３を経由して永久磁石３０の発生磁束がコイル２１を鎖交する。

磁路３１１〜３１３の夫々は（図９（ａ）及び図１１（ｂ）も参照）、永久磁石３０のＮ極面と、第１象限内の空隙５２、対向面５１Ａ及び対向ヨーク部５０Ａとを経由して中央ヨーク部２５に至り、その中央ヨーク部２５から更に、第４象限内の対向ヨーク部５０Ａ、対向面５１Ａ及び空隙５２を経由して永久磁石３０に戻る磁路である。図１７（ｄ）の磁路３１３ａについては後述する。

図１８の実線３３１は、第１特殊構造における鎖交磁束φと変位量ｚ_CCとの関係を表している。上方ストローク端における（即ち、ｚ_CC＝Δｚ₃における）鎖交磁束φは、基本構造及び第１特殊構造間において略同じとなる。第１特殊構造においても、基本構造と同様、変位量ｚ_CCの増大に伴って鎖交磁束φが或る程度増加してくると固定子ヨーク２０内部において所々で磁気飽和が発生し始め、変位量ｚ_CCの増大に対する鎖交磁束φの増加量が減少してゆく傾向がある。

しかしながら、第１特殊構造では、溝６０Ａが鎖交磁束φの増加を妨げる磁気抵抗として機能するため、可動子が振動中心の近くに位置しているときにおけるｄφ／ｄｚ_CCが基本構造よりも小さくなる。即ち、図１８に示す例では、第１特殊構造における０＜ｚ_CC≦Δｚ₁の範囲内のｄφ／ｄｚ_CCは基本構造のそれよりも小さく、第１特殊構造におけるφ［Δｚ₁］も基本構造のそれよりも小さい。φ［Δｚ₁］は、ｚ_CC＝Δｚ₁の時における鎖交磁束φを表す。

基本構造では、Δｚ₁＜ｚ_CC≦Δｚ₂の範囲内で固定子ヨーク２０の磁気飽和が発生し始めΔｚ₂＜ｚ_CC≦Δｚ₃の範囲内ではｄφ／ｄｚ_CCがゼロに近くなっているが、第１特殊構造では、溝６０Ａの存在により、可動子が振動中心の近くに位置しているときにおけるｄφ／ｄｚ_CCが比較的低く抑えられるため、ｚ_CCがΔｚ₃に至る近辺まで、或る程度の大きさのｄφ／ｄｚ_CCを確保することが可能である。つまり、第１特殊構造におけるΔｚ₂＜ｚ_CC≦Δｚ₃の範囲内のｄφ／ｄｚ_CCは、基本構造のそれよりも大きくなっている。

図１７（ｂ）に示す如く第１象限において、永久磁石３０の上端位置が溝６０Ａの下方側に位置しているとき、永久磁石３０のＮ極面からの磁束は主として溝６０Ａの下方側のヨーク部分を通過する。その後、図１７（ｃ）に示すように第１象限において、永久磁石３０の上端位置が溝６０ＡのＺ座標値部分に至った状態においても、溝６０Ａの有する高い磁気抵抗が障壁となって永久磁石３０のＮ極面からの磁束は主として溝６０Ａの下方側のヨーク部分を通過する。しかし、図１７（ｄ）に示すように、第１象限において、永久磁石３０の上端位置が溝６０Ａよりも上方に位置するようになると溝６０Ａの上方のヨーク部分を経由する磁路３１３ａが形成されるため（換言すれば、溝６０Ａの上方のヨーク部分を経由する磁路３１３ａが磁路３１３に含まれるようになるため）、溝６０Ａによる磁気抵抗の影響が小さくなり、比較的大きなｄφ／ｄｚ_CCを得ることが可能となる。これらの結果として、図１８の実線３３１のような特性が得られる。

上述のような作用を得るべく、溝６０Ａの位置が決定されている。即ち、第１特殊構造において述べたように、第１象限内の溝６０Ａに関して不等式「ｚ_QL＜ｚ_A1＜ｚ_A2＜ｚ_QU」が満たされる（図１１（ｂ）参照）。これにより、第１象限において、永久磁石３０の上端位置（ｚ_Q）が上方ストローク端に対応する上限値ｚ_QUに至る前に、図１７（ｄ）のような磁路が形成されて上述のような作用が得られるようになる。第１象限に注目して溝の配置位置や溝周辺の磁路等を説明したが、第４象限のそれらも同様であり、また、第２及び第３象限のそれらも同様である。溝６０Ａの配置位置を以下のように表現することができる。溝６０Ａは、可動子の振動方向において、可動子及び永久磁石３０の振動範囲の両端位置（即ち上方ストローク端及び下方ストローク端）よりも可動子の振動中心側に配置されている。

図１９において、破線３５０は基本構造における変位量ｚ_CC及び推力定数Ｋ_P間の関係を示し、実線３５１は第１特殊構造における変位量ｚ_CC及び推力定数Ｋ_P間の関係を示している。推力定数Ｋ_Pの単位は［Ｎ／Ａ］である。［Ｎ／Ａ］において、“Ｎ”はニュートンであり“Ａ”はアンペアである。推力定数Ｋ_Pはｄφ／ｄｚ_CCに比例することが知られている。即ち、ｄφ／ｄｚ_CCの絶対値が増大するに従って推力定数Ｋ_Pは増大する。

尚、図１９及び後述の図２０は、第１特殊構造に対するシミュレーション結果に基づいて作成されたものであるのに対し、図１８は、該シミュレーション結果に基づくことなく溝６０Ａの影響説明用に擬似的に作成されたものである。従って、図１９の破線３５０及び実線３５１は、図１８の破線３３０及び実線３３１から導かれたものではないことに留意すべきである（図２０の破線３７０及び実線３７１についても同様）。

図１９の破線３５０及び実線３５１から分かるように、また、図１８の破線３３０及び実線３３１からも分かるように、可動子が振動中心又は振動中心付近に位置しているとき（即ち、ｚ_CC＝０又はｚ_CC≒０のとき）における推力定数Ｋ_Pは、基本構造よりも第１特殊構造の方が小さくなる。第１特殊構造における溝６０Ａが、ｚ_CCの変化に対するφの変化を妨げるように作用するからである。一方、可動子がストローク端近辺に位置しているとき（例えば、ｚ_CC＝Δｚ₃のとき）における推力定数Ｋ_Pは、基本構造よりも第１特殊構造の方が大きくなる。これは、可動子が振動中心に近くに位置しているときにおいて溝６０Ａにより鎖交磁束φの変化が抑制されている分、第１特殊構造では磁束飽和の発生まで余裕があること、及び、可動子の端部が溝６０Ａの位置を越えたことで磁路３１３ａがｄφ／ｄｚ_CCに影響を与えたことに起因する。

磁気推力は、推力定数Ｋ_Pとコイル２１に流れる電流の値との積であるため、推力定数Ｋ_Pが増大すると磁気推力も増大する。従って、振動中心付近における磁気推力は第１特殊構造よりも基本構造の方が大きい一方でストローク端付近における磁気推力は第１特殊構造の方が基本構造よりも大きいことが、図１９の破線３５０及び実線３５１より理解される。

また、固定子ヨークの磁気飽和の影響により、可動子の位置が振動中心からストローク端に向かうほど推力定数Ｋ_Pは減少する傾向があるが、この傾向は基本構造の方が第１特殊構造よりも強い。可動子が振動中心付近に位置しているときの推力定数Ｋ_Pから見た、可動子がストローク端付近に位置しているときの推力定数Ｋ_Pの減少度合いを、便宜上、推力定数Ｋ_Pの減少度合いαと呼ぶ。上述の説明及び図１９から理解されるように、第１特殊構造における推力定数Ｋ_Pの減少度合いαは、基本構造におけるそれよりも小さい。この結果、第１特殊構造では、図２０に示すような振動加速度特性が得られる。

図２０は、コイル２１に供給する交流電流の周波数（以下、単に電流周波数という）と可動子の振動における加速度（以下、単に振動加速度という）との関係を表しており、破線３７０は基本構造における該関係を示し、実線３７１は第１特殊構造における該関係を示している。Ｖ_THは、所望の振動量を得るために定められた必要最小限の振動加速度である。

振動発生器１の可動子は、バネ材４１及び４２の共振を利用して振動し、振動発生器１の機構特性（バネ材４１及び４２の特性や重量体３１の重さ等を含む）から、その共振における周波数（以下、共振周波数という）は定まる。共振周波数は、例えば、人体が感知しやすい周波数（１５０Ｈｚ程度）に設定されている。電流周波数が共振周波数に一致するときに最大の振動加速度が得られ、電流周波数が共振周波数からずれるに従って得られる振動加速度は低下してゆく。これは、基本構造にも第１特殊構造にも当てはまる。

但し、電流周波数が共振周波数からずれたときの振動加速度の低下度合いは、基本構造よりも第１特殊構造の方が小さく、結果、Ｖ_TH以上の振動加速度を得ることのできる周波数帯域は基本構造よりも第１特殊構造の方が大きくなる。これは、第１特殊構造における推力定数Ｋ_Pの減少度合いαが、基本構造におけるそれよりも小さいことに起因する。この理由について、補足説明を加える。コイル２１に供給される交流電流を励磁電流とも呼ぶ。励磁電流は通常正弦波とされる。

振動発生器１の機構特性から定まる共振周波数の設計値をｆ_Oで表す。そうすると、ｆ_Oの電流周波数の励磁電流がコイル２１に供給され（今、説明の簡略化上、電流周波数の設計値からの誤差は無視する）、且つ、図２１（ａ）に示す如く変位量ｚ_CCがゼロとなる時点において励磁電流の絶対値が最大となるように励磁電流の位相が設定される。図２１（ａ）及び後述の図２１（ｂ）は、変位量ｚ_CCとの関係における励磁電流波形のイメージ図である。図２１（ａ）には、１周期分の励磁電流波形の半分しか示されていないが、残りの半分の波形も同様である（但し、前者と後者の間で、発生する磁気推力の方向が逆となる）。

磁気推力は推力定数Ｋ_Pと励磁電流との積であるため、共振周波数の実際値もｆ_Oであるならば、変位量ｚ_CCがゼロとなる時点において磁気推力が最大となる。つまり、共振周波数における実際値及び設計値間のずれがゼロであるならば、変位量ｚ_CCがゼロとなる時点で発生する磁気推力を主動力源として用いて可動子の振動が成されることになる（勿論、機械推力も利用される）。

しかし、共振周波数における実際値及び設計値間のずれがゼロでないと、図２１（ｂ）に示す如く励磁電流の絶対値が最大となるタイミングにおいて変位量ｚ_CCがゼロではなくなり、この場合には、変位量ｚ_CCがゼロでない時点で発生する磁気推力を主動力源として用いて可動子の振動が成されることになる（勿論、機械推力も利用される）。共振周波数のばらつき具合によってはストローク端付近で励磁電流の絶対値が最大になる場合もあり、この場合には、ストローク端付近で発生する磁気推力に頼って必要な振動加速度Ｖ_THを得る必要がある。

基本構造では、推力定数Ｋ_Pの減少度合いαが大きいため、ストローク端付近で励磁電流の絶対値が最大になるような共振周波数のずれ（設計値ｆ_Oからのずれ）が発生すると、得られる磁気推力が小さくなって必要な振動加速度Ｖ_THを得がたくなる。一方、第１特殊構造では推力定数Ｋ_Pの減少度合いαが小さく、ストローク端付近における推力定数Ｋ_Pが比較的大きいため、共振周波数のずれによりストローク端付近で励磁電流の絶対値が最大になったとしても必要な振動加速度Ｖ_THを得やすくなる。

振動発生器１の機構特性から定まる共振周波数が設計値ｆ_Oよりずれた場合の挙動について説明したが、励磁電流の電流周波数が設定値からずれた場合や、励磁電流の位相が設計値からずれた場合にも同様のことが言える。

このように、第１特殊構造によれば、ストローク端付近で比較的大きな磁気推力を発生させることができため、必要な振動加速度Ｖ_THが得られる周波数帯域を広げることが可能となる。この結果、基本構造との比較において第１特殊構造では、Ｖ_TH以上の振動加速度を得るという機能の達成が、製造ばらつきに影響されにくくなる。大量生産される振動発生器１の歩留まりが該機能の達成の如何に依存する場合、第１特殊構造を用いれば、振動発生器１の歩留まりが向上する。上記の製造ばらつきには、振動発生器１の機構上の部材のばらつきや、励磁電流の周波数及び位相のばらつきが含まれる。

説明の具体化のため、第１〜第６特殊構造の中から第１特殊構造のみを代表して抽出し、基本構造との対比において第１特殊構造の作用及び効果を説明したが、第２〜第６特殊構造を用いた場合でも第１特殊構造を用いた場合と同様の作用及び効果が得られる。第２〜第６特殊構造においても、第１特殊構造と同様、対向ヨーク部上の適切な位置に磁気抵抗部が設けられているからである。

第１〜第６特殊構造における磁気抵抗部は、可動子の振動方向に直交する平面Ｐに沿った、対向ヨーク部の磁性体の断面積Ｓを部分的に小さくすることによって形成されており、何れも鎖交磁束φを抑制するように作用する。
第１特殊構造において（図１１（ａ）及び（ｂ）参照）、対向ヨーク部５０Ａの磁性体の断面積Ｓは、平面Ｐが溝６０Ａを通るときに比較的小さくなり、平面Ｐが溝６０Ａを通らないときに比較的大きくなる。従って、対向ヨーク部５０Ａの磁性体の断面積Ｓは部分的に小さい、と言える。
同様に、第２〜第４特殊構造において（図１２（ａ）及び（ｂ）、図１３（ａ）及び（ｂ）並びに図１４（ａ）及び（ｂ）参照）、対向ヨーク部５０Ｂ、５０Ｃ及び５０Ｄの磁性体の断面積Ｓは、夫々、平面Ｐが溝６０Ｂ、６０Ｃ及び６０Ｄを通るときに比較的小さくなり、平面Ｐが溝６０Ｂ、６０Ｃ及び６０Ｄを通らないときに比較的大きくなる。従って、対向ヨーク部５０Ｂ、５０Ｃ及び５０Ｄの磁性体の断面積Ｓは部分的に小さい、と言える。
第５特殊構造において（図１５（ａ）〜（ｄ）参照）、対向ヨーク部５０Ｅの磁性体の断面積Ｓは、平面Ｐが穴７０Ｅを通るときに（即ち、平面Ｐが断面Ｑ−Ｑ’であるときに）比較的小さくなり、平面Ｐが穴７０Ｅを通らないときに比較的大きくなる。従って、対向ヨーク部５０Ｅの磁性体の断面積Ｓは部分的に小さい、と言える。

第１〜第６特殊構造では、溝又は穴を対向ヨーク部に設けることで磁気抵抗部を形成している。そして、第１特殊構造について既に述べたのと同様、第２〜第６特殊構造の磁気抵抗部としての溝又は穴も、可動子の振動方向において、可動子及び永久磁石３０の振動範囲の両端位置（即ち上方ストローク端及び下方ストローク端）よりも可動子の振動中心側に配置されている。このため、第２〜第６特殊構造によっても、第１特殊構造と同等の作用及び効果が得られる。

＜＜変形等＞＞
上述の説明文中に示した具体的な数値は、単なる例示であって、当然の如く、それらを様々な数値に変更することができる。上述の実施形態に適用可能な注釈事項として、以下に、注釈１〜注釈５を記す。各注釈に記載した内容は、矛盾なき限り、任意に組み合わせることが可能である。

［注釈１］
各特殊構造におけるバックヨークには折れ曲がり部分が存在する。折れ曲がり部分とは、図９（ａ）の第２四角形と第３四角形が接合する部分の内、振動中心に近い部分を指す。この折れ曲がり部分のなるだけ近くに、磁気抵抗部としての溝又は穴を設けると良い。折れ曲がり部分のなるだけ近くに磁気抵抗部を設けることで、上述したような作用及び効果が顕著に現れるからである。逆に例えば、図１１（ｂ）の溝６０Ａをバックヨーク２６Ａの上面ぎりぎりに設けると、図１７（ｄ）に示される磁路３１３ａの影響が殆ど生じなくなる。このことからも、折れ曲がり部分のなるだけ近くに磁気抵抗部を設けることの意義が理解される。

［注釈２］
基本構造及び各特殊構造において、永久磁石３０の内周面に円筒形状の磁性体（可動子ヨーク）を接合するようにしても良い。この場合、対向面（５１及び５１Ａ〜５１Ｅの何れか）は、空隙５２と該磁性体（可動子ヨーク）を介して、永久磁石３０の一方の磁極面に対向することとなる。

［注釈３］
上述の実施形態では、別々に形成された中央ヨーク２５とバックヨーク（２６及び２６Ａ〜２６Ｅの何れか）を接合することで固定子ヨーク（２０及び２０Ａ〜２０Ｅの何れか）を形成するようにしている。即ち、上述の説明では、中央ヨーク２５とバックヨーク（２６及び２６Ａ〜２６Ｅの何れか）が別々の部材となっているが、それらを１つの部材にて構成するようにしても良い。即ち、固定子ヨーク（２０及び２０Ａ〜２０Ｅの何れか）を１つの部材で形成するようにしても良い。何れにせよ、固定子ヨーク（２０及び２０Ａ〜２０Ｅの何れか）は、中央ヨーク２５と、中央ヨーク２５の両端に位置するバークヨーク（２６及び２６Ａ〜２６Ｅの何れか）と、を含んで形成される。

［注釈４］
上述の実施形態では、ラジアル着磁にて得られた永久磁石３０、即ち発生磁束の方向が径方向と一致する永久磁石３０を可動子の永久磁石として用いている。しかしながら、可動子の永久磁石の構成はこれに限定されない。即ち例えば、図２２（ａ）及び（ｂ）に示すような、Ｘ断面形状がＣ字型形状となる永久磁石３０ａを２つ組み合わせることで得た永久磁石３０’を、永久磁石３０の代わりに可動子の永久磁石として用いるようにしても良い。図２２（ａ）は、１つの永久磁石３０ａのＸ断面図であり、図２２（ｂ）は、Ｘ断面上における永久磁石３０’の分解図である。振動発生器１内における永久磁石３０’の配置位置は、永久磁石３０のそれと同様である。

永久磁石３０ａはパラレル着磁にて得た永久磁石であり、図２２（ａ）及び（ｂ）において、永久磁石３０ａの内部に示された矢印は、永久磁石３０ａ内における磁束の向きを示している。Ｘ断面における永久磁石３０ａの形状は、第１の半円から第２の半円を除いて得たＣ字型形状である（図２２（ｃ）参照）。ここで、第１の半円における半径は第２の半円における半径よりも大きく、且つ、第１及び第２の半円の中心は互いに一致しているものとする。図２２（ｃ）において、実線で示された半円が第１の半円であり、破線で示された半円が第２の半円である（図２２（ｃ）では、図示の便宜上、それらの中心を若干ずらして示している）。

永久磁石３０’を形成する第１の永久磁石３０ａがＸ軸の負側に配置され且つ永久磁石３０’を形成する第２の永久磁石３０ａがＸ軸の正側に配置されるように、可動子内における第１及び第２の永久磁石３０ａの位置を決定することで永久磁石３０’が構成される（図３も参照）。第１及び第２の永久磁石３０ａ内の任意の部位において、第１及び第２の永久磁石３０ａ内の磁束の方向はＸ軸と平行である。第１の永久磁石３０ａ内の磁束の向きはＸ軸の負側から正側へ向かう向きであり、第２の永久磁石３０ａ内の磁束の向きはＸ軸の正側から負側へ向かう向きである。

第１の永久磁石３０ａにおける第１の半円の弦と第２の永久磁石３０ａにおける第１の半円の弦とが互いに接触するように第１及び第２の永久磁石３０ａの位置を決定することができる。その場合、永久磁石３０’の外形は、永久磁石３０と同じくＺ軸を中心軸として持つ円筒形状となり、永久磁石３０’の内周側及び外周側に夫々Ｎ極及びＳ極が現れる。即ち、全体として、永久磁石３０’の内周面がＮ極面として機能し、永久磁石３０’の外周面がＳ極面として機能する。但し、それらの弦の間に、若干の隙間を設けるようにしても良い。また、永久磁石３０’の内周側及び外周側に夫々Ｓ極及びＮ極が現れるように、各永久磁石３０ａ内の磁束の向きを、上述したものの逆にするようにしても良い。

［注釈５］
上述の説明文中に表れる“円筒”を“筒”に読み替えても良い。即ち例えば、上述の実施形態では、対向ヨーク部（５０及び５０Ａ〜５０Ｅの何れか）が円筒形状の磁性体となっているが、対向ヨーク部（５０及び５０Ａ〜５０Ｅの何れか）を形成する磁性体の形状は円筒形状に限定されず、対向ヨーク部（５０及び５０Ａ〜５０Ｅの何れか）の内周面及び外周面の少なくとも一方に平面が含まれていても良い。この場合、対向ヨーク部を形成する磁性体の形状は、円筒形状に分類されない筒形状となる（当然であるが、円筒形状は筒形状の一種である）。可動子を形成する永久磁石（３０又は３０'）や重量体３１についても同様であり、それらの形状を円筒形状に分類されない筒形状とすることもできる。

１ 振動発生器
１０ ケース
１１、１２ ケース部材
２０、２０Ａ〜２０Ｅ 固定子ヨーク
２１ コイル
２５ 中央ヨーク
２６、２６Ａ〜２６Ｅ バックヨーク
３０、３０' 永久磁石
３１ 重量体
４１、４２ バネ材
５０、５０Ａ〜５０Ｅ 対向ヨーク部
５１、５１Ａ〜５１Ｅ 対向面
５２ 空隙

Claims (6)

1. 永久磁石を有する可動子と、
   前記可動子を振動させるための磁界を発生するコイル、前記コイルが巻かれた磁性体から成る第１ヨーク部、及び、前記第１ヨーク部の両端に位置する磁性体から成る第２ヨーク部を有する固定子と、
   前記可動子が振動可能なように前記固定子と前記可動子を連結する弾性体と、を備えた振動発生器において、
   前記第２ヨーク部は、前記永久磁石の一方の磁極面に対向する対向面を持つ対向ヨーク部を有し、
   前記永久磁石による前記コイルの鎖交磁束を抑制するための磁気抵抗部を前記対向ヨーク部に設けた
   ことを特徴とする振動発生器。
2. 前記磁気抵抗部は、前記可動子の振動方向における前記可動子の振動範囲の両端位置よりも前記可動子の振動中心側に設けられる
   ことを特徴とする請求項１に記載の振動発生器。
3. 前記可動子の振動方向に直交する平面に沿った、前記対向ヨーク部の磁性体の断面積を、部分的に小さくすることで前記磁気抵抗部が形成される
   ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の振動発生器。
4. 前記対向ヨーク部の磁性体に溝又は穴が設けられ、
   空気、又は、前記対向ヨーク部の磁性体よりも比透磁率の小さい部材が、前記溝又は前記穴に配置されることで前記磁気抵抗部が形成される
   ことを特徴とする請求項１〜請求項３の何れかに記載の振動発生器。
5. 永久磁石を有する可動子と、
   前記可動子を振動させるための磁界を発生するコイル、前記コイルが巻かれた磁性体から成る第１ヨーク部、及び、前記第１ヨーク部の両端に位置する磁性体から成る第２ヨーク部を有する固定子と、
   前記可動子が振動可能なように前記固定子と前記可動子を連結する弾性体と、を備えた振動発生器において、
   前記第２ヨーク部は、前記永久磁石の一方の磁極面に対向する対向面を持つ対向ヨーク部を有し、
   前記対向ヨーク部の磁性体に溝又は穴が設けられ、
   前記溝又は前記穴は、前記可動子の振動方向において前記可動子の振動範囲の両端位置よりも前記可動子の振動中心側に設けられる
   ことを特徴とする振動発生器。
6. 前記対向ヨーク部は、前記コイルの外周側に位置する筒形状の磁性体であり、
   前記対向面は、前記永久磁石よりも前記コイル側に位置するとともに前記筒形状の磁性体の外周面であり、
   前記永久磁石からの磁束は、前記対向面及び前記対向ヨーク部を経由して前記第１ヨーク部を通ることで前記コイルを鎖交し、
   前記筒形状の磁性体の内周面若しくは外周面に前記溝が設けられる、又は、前記内周面及び前記外周面間に前記穴が設けられる
   ことを特徴とする請求項４又は請求項５に記載の振動発生器。

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