JP2011171396A - 基板乾燥装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板乾燥装置1は、基板Wを回転させる回転機構10と、基板Wにリンス液流Rfを供給するリンス液ノズル20と、リンス液Rの表面張力を低下させる物質を含有する乾燥気体流Gfを供給する乾燥気体ノズル30と、リンス液ノズル20及び乾燥気体ノズル30を移動させる移動機構40とを備える。乾燥気体流Gfは、表面WAを投影面とする投影面上において乾燥気体ノズル30から吐出された位置よりも基板Wに衝突した位置の方がノズル移動方向Dnの下流側に位置しつつ、三次元空間において乾燥気体流Gfの軸線Gaと基板Wの垂線Wpとのなす角αが接触角の半分の角度である半分接触角以上かつ90°から半分接触角を差し引いた角度以下の範囲で傾斜するように、乾燥気体ノズル30が設けられている。
【選択図】図1
Description
10 回転機構
20 リンス水ノズル(リンス液ノズル)
30 乾燥気体ノズル
36 追加乾燥気体ノズル
40 移動機構
Dn ノズル移動方向
Dr 基板回転方向
Gf 乾燥気体流
Gft、Gst リンス水に乾燥気体の作用を実質的に及ぼすことができる範囲
Gfv、Gsv 乾燥気体流が乾燥気体ノズルから吐出された位置
Gfw、Gsw 乾燥気体流が基板に衝突した位置
R リンス水(リンス液)
Rf リンス水流(リンス液流)
Rt リンス水衝突範囲(リンス液衝突範囲)
W 基板
WA 表面
Wc 回転中心
Wp 垂線
α 傾斜角
β 旋回角
θ 接触角
Claims (5)
- リンス液に対する接触角が90°以下の表面を持つ基板を水平面内で回転させる回転機構と;
回転している前記基板の表面に前記リンス液の流れであるリンス液流を供給するリンス液ノズルと;
前記リンス液ノズルを、回転している前記基板の回転中心側から外周側へ向かうノズル移動方向に移動させるリンス液ノズル移動機構と;
回転している前記基板の前記リンス液流が供給される位置よりも、前記基板の回転に伴って前記リンス液が流れる方向である基板回転方向の下流側かつ前記基板の回転中心側に、前記リンス液の表面張力を低下させる物質を含有する乾燥気体流を供給する乾燥気体ノズルと;
前記乾燥気体ノズルを前記ノズル移動方向に移動させる乾燥気体ノズル移動機構とを備え;
前記乾燥気体流が、前記基板の表面を投影面としたときに前記投影面上において前記ノズル移動方向成分が前記乾燥気体ノズルから吐出された位置よりも前記基板に衝突した位置の方が前記ノズル移動方向の下流側に位置しつつ、三次元空間において前記乾燥気体流の軸線と前記基板の垂線とのなす角が前記接触角の半分の角度である半分接触角以上かつ90°から前記半分接触角を差し引いた角度以下の範囲で傾斜するように、前記乾燥気体ノズルが設けられている;
基板乾燥装置。 - 前記リンス液流が前記基板に衝突する範囲であるリンス液衝突範囲に前記乾燥気体ノズルから供給された乾燥気体が実質的に作用する範囲内において、前記ノズル移動方向に延びる仮想線を境界として前記基板回転方向の上流側よりも下流側の方が前記乾燥気体が多く供給されるように構成された;
請求項1に記載の基板乾燥装置。 - 前記基板の表面を投影面としたときの前記投影面上における前記乾燥気体流が、前記乾燥気体ノズルから吐出された位置よりも前記基板に衝突した位置の方が前記基板回転方向の下流側に位置するように、前記乾燥気体ノズルが設けられている;
請求項2に記載の基板乾燥装置。 - 回転している前記基板に前記乾燥気体流を供給する、前記乾燥気体ノズルとは異なる追加乾燥気体ノズルであって、前記基板の表面を投影面としたときの前記投影面上における前記乾燥気体流の前記基板回転方向成分が、前記追加乾燥気体ノズルから吐出された位置よりも前記基板に衝突した位置の方が前記基板回転方向の下流側に位置するように設けられた追加乾燥気体ノズルを備える;
請求項2に記載の基板乾燥装置。 - 基板を水平面内で回転させる回転機構と;
回転している前記基板にリンス液流を供給するリンス液ノズルと;
前記リンス液ノズルを、回転している前記基板の回転中心側から外周側へ向かうノズル移動方向に移動させるリンス液ノズル移動機構と;
回転している前記基板の前記リンス液流が供給される位置よりも、前記基板の回転に伴って前記リンス液が流れる方向である基板回転方向の下流側かつ前記基板の回転中心側に、前記リンス液の表面張力を低下させる物質を含有する乾燥気体流を供給する乾燥気体ノズルと;
前記乾燥気体ノズルをノズル移動方向に移動させる乾燥気体ノズル移動機構とを備え;
前記乾燥気体流が、前記基板の面を投影面としたときに前記投影面上において前記乾燥気体ノズルから吐出された位置よりも前記基板に衝突した位置の方が前記ノズル移動方向成分は前記ノズル移動方向の下流側に位置しつつ前記基板回転方向成分は前記基板回転方向の下流側に位置した状態で前記乾燥気体流の軸線と前記ノズル移動方向とのなす角が所定の旋回角に構成され、三次元空間において前記乾燥気体流の軸線と前記基板の垂線とのなす角が所定の傾斜角で傾斜するように、前記乾燥気体ノズルが設けられている;
基板乾燥装置。
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