JP2011154343A - Photosensitive resin composition, overcoating layer for color filter and photosensitive resin adhesive - Google Patents

Photosensitive resin composition, overcoating layer for color filter and photosensitive resin adhesive Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide: a photosensitive resin composition having such properties as high translucency, heat resistance, acid resistance, alkali resistance and thermal discoloration resistance; an overcoating layer for a color filter; and a photosensitive resin adhesive. <P>SOLUTION: The photosensitive resin composition comprises (A) a graft acrylic alkali-soluble resin adhesive having carboxylic acid groups and olefin units into which acryloyloxy groups have been introduced by epoxy groups, (B) a compound containing a photopolymerizable ethylenically unsaturated group, (C) a photoinitiator, (D) an organic acid anhydride, (E) a compound containing at least two epoxy groups in the molecule, and (F) an organic solution. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

この発明は、感光性樹脂組成物、カラーフィルターの保護膜および感光性樹脂粘着剤に関し、特に、高い透光度、耐熱性、耐酸性、耐アルカリ性および耐熱変色性などの特性を有する感光性樹脂組成物、カラーフィルターの保護膜および感光性樹脂粘着剤(Adhesive)に関する。   The present invention relates to a photosensitive resin composition, a protective film for a color filter, and a photosensitive resin pressure sensitive adhesive, and in particular, a photosensitive resin having characteristics such as high light transmittance, heat resistance, acid resistance, alkali resistance, and heat discoloration. The present invention relates to a composition, a color filter protective film, and a photosensitive resin adhesive.

一般的に言って、液晶ディスプレイパネルのカラーフィルターの製作方法は、先ずガラス基板上に多数個のブラックマトリックス(black matrix)を形成してから、隣接するブラックマトリックス間に順番に赤、緑、青のカラー層を画素(pixel)として形成して、光線が画素を通過する時に、色彩(カラー)を出現させる。   Generally speaking, a method for manufacturing a color filter for a liquid crystal display panel is to first form a large number of black matrices on a glass substrate, and then sequentially arrange red, green and blue between adjacent black matrices. The color layer is formed as a pixel, and a color appears when a light ray passes through the pixel.

また、カラーフィルターの製作が完了した後、次に透明電極を形成してブラックマトリックスおよびカラー層を被覆する。通常、カラーフィルターと透明電極との間に更に保護膜(overcoating layer)を形成してカラーフィルターの表面を平坦にし、透明電極の製造を助けるとともに、カラーフィルターが後工程の影響を受けないようにする。一般的に言って、上記した保護膜は、高い透光度、付着性、耐熱性、耐酸性、耐アルカリ性を備えなければならない。   In addition, after the fabrication of the color filter is completed, a transparent electrode is then formed to cover the black matrix and the color layer. Normally, an overcoating layer is formed between the color filter and the transparent electrode to flatten the surface of the color filter, helping to manufacture the transparent electrode, and to prevent the color filter from being affected by subsequent processes. To do. Generally speaking, the above-described protective film must have high light transmittance, adhesion, heat resistance, acid resistance, and alkali resistance.

米国特許第6582862号明細書US Pat. No. 6,582,862 米国特許第7097959号明細書US Patent No. 7097959 国際公開第2006/129924号パンフレットInternational Publication No. 2006/129924 Pamphlet

幾つかの文献中、カラーフィルターの保護膜の関連技術が提案されており、例えば、US 6582862とUS 7097959とWO 2006/129924などの特許文献がそうである。これらの文献中、カラーフィルターの保護膜が、アルカリ可溶性樹脂接合剤(allkali dissolvable resin binder)と光重合化合物(photopolymerization compound)と光重合性開始剤(photopolymerization initiator)と溶剤とを含むネガティブ型フォトレジスト組成物(negative photoresist composition)であることが開示されている。しかし、これらの文献中に提出された組成物の耐アルカリ性、耐酸性、耐熱変色性などの特性は、いずれも比較的劣っている。   In some literatures, related technologies for color filter protective films have been proposed, for example, patent documents such as US 6582862, US 7097959, and WO 2006/129924. In these documents, a negative type photoresist in which the protective film of the color filter includes an alkali-soluble resin binder, a photopolymerization compound, a photopolymerization initiator, and a solvent. It is disclosed that it is a negative photoresist composition. However, the properties such as alkali resistance, acid resistance, and heat discoloration properties of the compositions submitted in these documents are relatively inferior.

従って、カラーフィルターの保護膜に使用される組成物の研究開発、その特性の向上が産業界発展の重大な課題の1つとなっている。   Therefore, research and development of the composition used for the protective film of the color filter and improvement of its characteristics are one of the important issues for industrial development.

そこで、この発明の目的は、高い透光度、耐熱性、耐酸性、耐アルカリ性および耐熱変色性などの特性を有する感光性樹脂組成物を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition having characteristics such as high translucency, heat resistance, acid resistance, alkali resistance and heat discoloration.

この発明の別な目的は、カラーフィルターを有効に保護できるカラーフィルターの保護膜を提供することにある。   Another object of the present invention is to provide a color filter protective film capable of effectively protecting the color filter.

この発明の更に別な目的は、高い透光度、耐熱性、耐酸性、耐アルカリ性および耐熱変色性などの特性を有する感光性樹脂粘着剤を提供することにある。   Still another object of the present invention is to provide a photosensitive resin pressure-sensitive adhesive having characteristics such as high light transmittance, heat resistance, acid resistance, alkali resistance and heat discoloration.

この発明は、(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤と(B)光重合型エチレン性不飽和基を含む化合物と(C)光重合性開始剤と(D)有機酸無水物と(E)分子中に少なくとも2個のエポキシ基を含む化合物と(F)有機溶液とを含む感光性樹脂組成物を提供する。(A)アルカリ樹脂可溶性粘着剤は、構造式(1)で表される重合物であり、

Figure 2011154343
そのうち、x = 1〜10モルパーセント、y = 29〜59モルパーセント、a + b =40〜60モルパーセント、a = 5〜40モルパーセント、b = 5〜25モルパーセント、Rがベンジル基、フェニル基、CNまたはC(O)OR2であり、そのうち、R2がC1〜C15の直鎖または環状アルキル基、フェニル基、ベンジル基またはアリル基であり、R1がHまたはC1〜C4のアルキル基である。 This invention includes (A) an alkali-soluble resin adhesive, (B) a compound containing a photopolymerizable ethylenically unsaturated group, (C) a photopolymerizable initiator, (D) an organic acid anhydride, and (E) in the molecule. A photosensitive resin composition comprising a compound containing at least two epoxy groups and (F) an organic solution is provided. (A) The alkali resin-soluble pressure-sensitive adhesive is a polymer represented by the structural formula (1),
Figure 2011154343
Among them, x = 1-10 mole percent, y = 29-59 mole percent, a + b = 40-60 mole percent, a = 5-40 mole percent, b = 5-25 mole percent, R is benzyl group, phenyl group, CN or C (O) oR @ 2, of which a straight-chain or cyclic alkyl group of R2 is C1 to C15, a phenyl group, a benzyl group or an allyl group, R 1 is an alkyl group of H or C1~C4 is there.

この発明の実施形態に係る感光性樹脂組成物は、上記(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤の重量平均分子量が例えば3000〜300000の間の範囲である。   In the photosensitive resin composition according to the embodiment of the present invention, the weight average molecular weight of the alkali-soluble resin pressure-sensitive adhesive (A) is in the range of, for example, 3000 to 300000.

この発明の実施形態に係る感光性樹脂組成物は、上記(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤の固形分含有量が例えば10〜50%の間の範囲である。   In the photosensitive resin composition according to the embodiment of the present invention, the solid content of the (A) alkali-soluble resin pressure-sensitive adhesive is in the range of, for example, 10 to 50%.

この発明の実施形態に係る感光性樹脂組成物は、上記(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤の酸価が例えば10〜400mgKOH/gの間の範囲である。   In the photosensitive resin composition according to the embodiment of the present invention, the acid value of the (A) alkali-soluble resin pressure-sensitive adhesive is in the range of, for example, 10 to 400 mgKOH / g.

この発明の実施形態に係る感光性樹脂組成物は、(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤100重量部に基づいて、(B)光重合型エチレン性不飽和基を含む化合物の含有量が例えば1〜250重量部の間の範囲である。   In the photosensitive resin composition according to the embodiment of the present invention, based on (A) 100 parts by weight of the alkali-soluble resin pressure-sensitive adhesive, the content of the compound containing (B) a photopolymerizable ethylenically unsaturated group is, for example, 1 to The range is between 250 parts by weight.

この発明の実施形態に係る感光性樹脂組成物は、(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤100重量部に基づいて、(C)光重合性開始剤の含有量が例えば0.1〜100重量部の間の範囲である。   The photosensitive resin composition according to the embodiment of the present invention is based on (A) 100 parts by weight of the alkali-soluble resin pressure-sensitive adhesive, and the content of (C) the photopolymerizable initiator is, for example, between 0.1 and 100 parts by weight. It is a range.

この発明の実施形態に係る感光性樹脂組成物は、(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤100重量部に基づいて、(D)有機酸無水物の含有量が例えば0.1〜100重量部の間の範囲である。   The photosensitive resin composition according to the embodiment of the present invention is based on (A) 100 parts by weight of the alkali-soluble resin adhesive, and (D) the content of the organic acid anhydride is, for example, in the range of 0.1 to 100 parts by weight. It is.

この発明の実施形態に係る感光性樹脂組成物は、(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤100重量部に基づいて、(E)分子中に少なくとも2個のエポキシ基を含む化合物の含有量が例えば0.1〜100重量部の間の範囲である。   In the photosensitive resin composition according to the embodiment of the present invention, based on (A) 100 parts by weight of the alkali-soluble resin pressure-sensitive adhesive, (E) the content of the compound containing at least two epoxy groups in the molecule is, for example, 0.1. The range is between ~ 100 parts by weight.

この発明の実施形態に係る感光性樹脂組成物は、(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤100重量部に基づいて、(F)有機溶液の含有量が例えば10〜2500重量部の間の範囲である。   In the photosensitive resin composition according to the embodiment of the present invention, based on (A) 100 parts by weight of the alkali-soluble resin pressure-sensitive adhesive, (F) the content of the organic solution is in the range of, for example, 10 to 2500 parts by weight. .

この発明の実施形態に係る感光性樹脂組成物は、上記感光性樹脂組成物の粘度が1〜200cpsの間の範囲である。   In the photosensitive resin composition according to the embodiment of the present invention, the viscosity of the photosensitive resin composition is in the range of 1 to 200 cps.

この発明は、また、上記感光性樹脂組成物を重合してなるカラーフィルターの保護膜を提出する。   The present invention also provides a color filter protective film obtained by polymerizing the photosensitive resin composition.

この発明は、さらに、(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤を含む感光樹脂粘着剤を提出する。   The present invention further provides (A) a photosensitive resin adhesive containing an alkali-soluble resin adhesive.

作用Action

上記に基づいて、この発明の感光性樹脂組成物は、高い透光度、耐熱性、耐酸性、耐アルカリ性および耐熱変色性などの特性を備えるので、この発明の感光性樹脂組成物を重合してなるカラーフィルターの保護膜は、有効にカラーフィルターを保護することができ、素子の機能効果を向上させる。   Based on the above, the photosensitive resin composition of the present invention has characteristics such as high translucency, heat resistance, acid resistance, alkali resistance, and heat discoloration, so the photosensitive resin composition of the present invention is polymerized. Thus, the color filter protective film can effectively protect the color filter and improve the functional effect of the element.

つまり、この発明のアルカリ可溶性樹脂粘着剤は、高い比率の官能基aと官能基bとを合成することに成功し、より優れた耐熱性および耐アルカリ性を獲得することができるため、この発明の感光性樹脂組成物は、高い透光度、耐熱性、耐酸性、耐アルカリ性および耐熱変色性などの特性を備え、かつ、この発明の感光性樹脂組成物を重合してなるカラーフィルターの保護膜は、有効にカラーフィルターを保護することができる。また、この発明のアルカリ可溶性樹脂粘着剤を備える感光樹脂粘着剤もまた同様に高い透光度、耐熱性、耐酸性、耐アルカリ性および耐熱変色性などの特性を備える。   In other words, the alkali-soluble resin pressure-sensitive adhesive of the present invention has succeeded in synthesizing a high ratio of functional group a and functional group b, and can acquire superior heat resistance and alkali resistance. The photosensitive resin composition has characteristics such as high light transmittance, heat resistance, acid resistance, alkali resistance and heat discoloration, and is a protective film for a color filter obtained by polymerizing the photosensitive resin composition of the present invention. Can effectively protect the color filter. The photosensitive resin adhesive provided with the alkali-soluble resin adhesive of the present invention also has characteristics such as high translucency, heat resistance, acid resistance, alkali resistance and heat discoloration.

以下、この発明を実施するための形態を化学構造式に基づいて説明する。   Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described based on chemical structural formulas.

この発明は、感光性樹脂組成物を提出する。この感光樹脂組成物は、高い透光度、耐熱性、耐酸性、耐アルカリ性および耐熱変色性などの特性を備えるため、この感光性樹脂組成物を重合してなるカラーフィルターの保護膜は、有効にカラーフィルターを保護することができる。   This invention submits the photosensitive resin composition. Since this photosensitive resin composition has characteristics such as high light transmittance, heat resistance, acid resistance, alkali resistance and heat discoloration, a protective film for a color filter obtained by polymerizing this photosensitive resin composition is effective. The color filter can be protected.

この発明は、また、下記の(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤を含む感光樹脂粘着剤を提出する。   This invention also submits the photosensitive resin adhesive containing the following (A) alkali-soluble resin adhesive.

この発明の感光性樹脂組成物は、(A)アルカリ樹脂可溶性粘着剤と(B)光重合型エチレン性不飽和基を含む化合物と(C)光重合性開始剤と(D)有機酸無水物と(E)分子中に少なくとも2個のエポキシ基を含む化合物と(F)有機溶液とを含む。また、粘着剤中またはフォトレジスト調製時に、いずれも好ましくは生物に対する安全性が高いプロロピレングリコールメチルエーテルアセテート(propylene glycol methyl ether acetate = PGMEA)、3-メトキシブチルアセテート(3-methoxy butyl asetate = MBA)、3-エトキシエチルプロピオネート(3-ethoxy ethyl propinate = EEPA)などの溶剤を使用する。   The photosensitive resin composition of the present invention comprises (A) an alkali resin-soluble adhesive, (B) a compound containing a photopolymerizable ethylenically unsaturated group, (C) a photopolymerizable initiator, and (D) an organic acid anhydride. And (E) a compound containing at least two epoxy groups in the molecule and (F) an organic solution. In addition, in the adhesive or at the time of preparing the photoresist, it is preferable that propylene glycol methyl ether acetate (PGMEA), 3-methoxybutyl acetate (3-methoxy butyl asetate = MBA) ), A solvent such as 3-ethoxy ethyl propinate (EEPA).

(A)アルカリ樹脂可溶性粘着剤:
(A)アルカリ樹脂可溶性粘着剤は、構造式(1)で表わされる重合物とPGMEA、MBA、EEPAなどの溶剤により組成された溶液であり、

Figure 2011154343
そのうち、x = 1〜10モルパーセント、y = 29〜59モルパーセント、a + b =40〜60モルパーセント、a = 5〜40モルパーセント、b = 5〜25モルパーセント、Rがベンジル基、フェニル基、CNまたはC(O)OR2であり、そのうち、R2がC1〜C15の直鎖または環状アルキル基、フェニル基、ベンジル基またはアリル基であり、R1がHまたはC1〜C4のアルキル基である。(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤の重量平均分子量は、例えば3000〜300000の間の範囲であり;固形分含有量は、例えば10〜50%であり;酸価は、例えば10〜400mgKOH/gの間の範囲である。 (A) Alkaline resin soluble adhesive:
(A) The alkali resin-soluble adhesive is a solution composed of a polymer represented by the structural formula (1) and a solvent such as PGMEA, MBA, and EEPROM.
Figure 2011154343
Among them, x = 1-10 mole percent, y = 29-59 mole percent, a + b = 40-60 mole percent, a = 5-40 mole percent, b = 5-25 mole percent, R is benzyl group, phenyl group, CN or C (O) oR @ 2, of which a straight-chain or cyclic alkyl group of R2 is C1 to C15, a phenyl group, a benzyl group or an allyl group, R 1 is an alkyl group of H or C1~C4 is there. (A) The weight average molecular weight of the alkali-soluble resin pressure-sensitive adhesive is, for example, in the range of 3000 to 300000; the solid content is, for example, 10 to 50%; and the acid value is, for example, 10 to 400 mgKOH / g. The range between.

(B)光重合型エチレン性不飽和基を含む化合物:
(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤100重量部に基づき、(B)光重合型エチレン性不飽和基を含む化合の含有量は、例えば1〜250重量部の間の範囲であり、好ましくは20〜60重量部の間の範囲である。
(B) Compound containing photopolymerizable ethylenically unsaturated group:
(A) Based on 100 parts by weight of the alkali-soluble resin pressure-sensitive adhesive, the content of the compound containing (B) a photopolymerizable ethylenically unsaturated group is, for example, in the range of 1 to 250 parts by weight, preferably 20 to The range is between 60 parts by weight.

(B)光重合型エチレン性不飽和基を含む化合物は、少なくとも1個のエチレン性不飽和基を含むエチレン性不飽和化合物である。(B)光重合型エチレン性不飽和基を含む化合物は、例えば、エチレングリコールジメチアクリレート(ethylene glycol di(meth)acrylate)、2〜14個のエチレンオキシド基(ethyleneoxide group)を有するポリエチレングリコールジメチアクリレート(polyethylene glycol di(meth)acrylate)、トリメチロールプロパンジメチアクリレート(trimethylol propane di(meth)acrylate)、トリメチロールプロパントリメチアクリレート(trimethylol propane tri(meth)acrylate)、ペンタエリスリトールトリメチアクリレート(pentaerythritol tri(meth)acryrlate)、ペンタエリスリトールテトラメチアクリレート(pentaerythritol tetra(meth)acryrlate)、2〜14個のプロピレンオキシド基(propyleneoxide group)を有するプロピレングリコールジメチアクリレート(propyleneglycol di(meth)acrylate)、ジペンタエリストールペンタメチアクリレート(dipentaerythritol penta(meth)acrylate)、ジペンタエリストールヘキサメチアクリレート(dipentaerythritol hexa(meth)acrylate = DPHA)、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルアクリックアシド添加剤(trimethylolpropanetrigylcidylether acrylic acid additives)、ビスフェノールAジグリシジルエーテルアクリックアシド添加剤(bisphenol A diglycidylether acrylic acid additives)、フタラートジエステルのβ-ヒドロキシエチル(メチ)アクリレート(β-hydroxyethyl(meth)acrylate of phthalate diesters)、トルエンジイソサイアネイト添加剤のβ-ヒドロキシエチル(メチ)アクリレート(β-hydroxyethyl(meth)acrylate of toluene diisocyanate additives)またはエチレン性不飽和結合(ethylenically unsaturated bond)を有する重合性化合物(polymeric compound)であり、そのうち、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物は、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート(ditrimethylol propanetetraacrylate)、トリ(2-アクリロキシエチル)イソシアヌレート(tris(2-acryloxyethyl)isocyanurate)、エトキシ基を含むペンタエリスリトールテトラアクリレート(ethoxylated pentaerylthritoltetraacrylate)(EO 4 mol)、ペンタエリスリトールテトラアクリレート(pentaerylthritoltetraacrylate)(EO 35 mol)、エトキシ基を含むトリメチロールプロパントリアクリレート(ethoxylated trimethlolpropanetriacrylate)(EO 9 mol)、エトキシ基を含むトリメチロールプロパンテトラアクリレート(EO 3 mol)、プロポキシル基を含むペンタエリスリトールテトラアクリレート(propoxylated pentaerylthritoltetraacrylate)(EO 4 mol)、ノナエチレングリコールジアクリレート(nonaethylene glycol diacrylate)、ジペンタエリスリトールアクリレート変性カプロラクトン(di pentaerylthritoltetraacrylate-modified caprolactone)およびトリメチロールプロパンプロポキシレイトトリアクリレート(trimethylolpropanepropoxylate triacrylate)よりなるグループから選択されたものであり、そのうち、好ましくは、ジペンタエリストールヘキメチサアクリレート(dipentaerythritol hexa(meth)acrylate = DPHA)である。   (B) The compound containing a photopolymerizable ethylenically unsaturated group is an ethylenically unsaturated compound containing at least one ethylenically unsaturated group. (B) The compound containing a photopolymerization type ethylenically unsaturated group is, for example, ethylene glycol dimethacrylate (ethylene glycol di (meth) acrylate), polyethylene glycol dimethacrylate having 2 to 14 ethyleneoxide groups (ethyleneoxide group) ( polyethylene glycol di (meth) acrylate), trimethylol propane di (meth) acrylate, trimethylol propane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate ) acryrlate), pentaerythritol tetra (meth) acryrlate, propylene glycol di (meth) acrylate having 2 to 14 propylene oxide groups, dipentaerystol pen Methyl acrylate (dipentaerythritol penta (meth) acrylate), dipentaerythritol hexa (meth) acrylate (DPHA), trimethylolpropane triglycidyl ether acyclic acid additive (trimethylolpropanetrigylcidylether acrylic acid additives), bisphenol A diacid Bisphenol A diglycidylether acrylic acid additives, β-hydroxyethyl (meth) acrylate of phthalate diesters, β of toluene diisocyanate additive -A polymeric compound having an ethylenically unsaturated bond or β-hydroxyethyl (meth) acrylate of toluene diisocyanate additives, Polymeric compounds having a sum bond include ditrimethylol propanetetraacrylate, tris (2-acryloxyethyl) isocyanurate, and ethoxylated pentaerylthritoltetraacrylate. ) (EO 4 mol), pentaerythritol tetraacrylate (EO 35 mol), ethoxylated trimethlolpropanetriacrylate (EO 9 mol), trimethylolpropane tetraacrylate (EO 9 mol) 3 mol), propoxylated pentaerylthritoltetraacrylate (EO 4 mol), nonaethylene glycol diacrylate , Dipentaerythritol acrylate-modified caprolactone and trimethylolpropanepropoxylate triacrylate, preferably dipentaerystole heximesa acrylate (Dipentaerythritol hexa (meth) acrylate = DPHA).

(C)光重合性開始剤:
(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤100重量部に基づき、(C)光重合性開始剤の含有量は、例えば0.1〜100重量部の間の範囲であり、好ましくは0.5〜10重量部の間の範囲である。
(C) Photopolymerizable initiator:
(A) Based on 100 parts by weight of the alkali-soluble resin pressure-sensitive adhesive, the content of (C) the photopolymerizable initiator is, for example, in the range of 0.1 to 100 parts by weight, preferably between 0.5 to 10 parts by weight. It is a range.

(C)光重合性開始剤は、例えば、酸化ホスフィン(phosphine oxide)系化合物、カルボニル(carbonyl)系化合物、アミノカルボニル(aminocarbonyl)系化合物、トリアジン(triazine)系化合物あるいはオキシム系化合物であり、かつ共光重合性開始剤(co-photoinitiator)と組み合わせて使用できるものである。共光重合性開始剤は、アミン(amine)系化合物、アルコキシアントラセン(alloxyanthracene)系化合物またはチオキサントン(thioxanthone)系化合物である。   (C) The photopolymerizable initiator is, for example, a phosphine oxide compound, a carbonyl compound, an aminocarbonyl compound, a triazine compound, or an oxime compound, and It can be used in combination with a co-photoinitiator. The co-photopolymerizable initiator is an amine compound, an alkoxy compound (alloxyanthracene) compound, or a thioxanthone compound.

酸化ホスフィン系化合物は、例えば、アリルホスフィン酸化物(arylphosphine oxide)、アシルホスフィン酸化物(acylphosphine oxide)、ビスアシルホスフィン酸化物(bis acylphosphine oxide)、2,4,6-トリメチルベンゾイル-ジフェニルホスフィン酸化物(2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenylphosphine oxide = TPO)、2,6-ジエチルベンゾイル-ジフェニルホスフィン酸化物(2,6-diethylbenzoyl-diphenylphosphine oxide)、2,6-ジメトキシトリメチルベンゾイル-ジフェニルホスフィン酸化物(2,6-dimethoxybenzoyl-diphenylphosphine oxide )、2,6-ジクロロベンゾイルジフェニルホスフィン酸化物(2,6-dichloro-diphenylphosphine oxide)、2,3,5,6-テトラメチルベンゾイルジフェニルホスフィン酸化物(2,3,5,6-tetramethylbenzoyl-diphenylphosphine oxide)、ベンゾイルジ(2,6-ジメチルフェニル)ホスホネイト(benzoyldi(2,6-dimethylphenyl)phosphonate)、2,4,6-トリメチルベンゾイルエトキシフェニルホスフィン酸化物(2,4,6- trimethylbenzoylethoxyphenylphosphine oxide)、ビス(2,4,6-トリメチルベンゾイル)フェニルホスフィン(bis(2,4,6-trimethylbenzoyl) phenylphosphine)(I-819)またはビス(2,6-ジメトキシベンゾイル)-2,4,4-トリメチルペンチルホスフィン酸化物(bis(2,6-dimethoxybenzoyl) -2,4,4-trimethylpentylphosphine oxide))である。   Examples of phosphine oxide compounds include arylphosphine oxide, acylphosphine oxide, bisacylphosphine oxide, 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenylphosphine oxide. (2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenylphosphine oxide = TPO), 2,6-diethylbenzoyl-diphenylphosphine oxide, 2,6-dimethoxytrimethylbenzoyl-diphenylphosphine oxide ( 2,6-dimethoxybenzoyl-diphenylphosphine oxide), 2,6-dichlorobenzoyldiphenylphosphine oxide, 2,3,5,6-tetramethylbenzoyldiphenylphosphine oxide (2,3 , 5,6-tetramethylbenzoyl-diphenylphosphine oxide), benzoyldi (2,6-dimethylpheny) l) phosphonate), 2,4,6-trimethylbenzoylethoxyphenylphosphine oxide, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) phenylphosphine (bis (2,4,6 -trimethylbenzoyl) phenylphosphine) (I-819) or bis (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,4,4-trimethylpentylphosphine oxide )).

カルボニル系化合物、アミノカルボニル系化合物、トリアジン(triazine)系化合物、オキシム系化合物など系列化合物は、例えば、アセトフェノン(acetophenone)、ベンゾフェノン(benzophenone)、ビフェニルケトン(bihenylketone)、1-ヒドロキシ-1-シクロヘキサン(1-hydoroxy-1-benzoylcyclohexane(I-184))、ベンゾルジメチルケタール2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニルエタン-1-ケトン(benzoyldimethylketal2,2-dimethoxy-1,2-diethane-1-one(I-651))、1-ベンジル-1-ジメチルアミノ-1-(4-モルホリン-ベンゾイル)プロパン(1-benzyl-1-dimethylamino-1-(4-morpholine-benzoyl)propane(I-136)、2-モルフォリン-2-(4-メチルメルカプト)ベンゾルイプロパン(2-morpholyl-2-(4-methylmercapto)benzoylpropane(I-907))、エチルアントラキノン(ethylantraquinone)、4-ベンゾイル-4-メチルジフェニルスルフィド(4-benzoyl-4-methyldiphenylsulfide)、ベンゾインブチルエーテル(benzoinbuthylether)、2-ヒドロキシ-2-ベンゾルイプロパン(2- hydoroxybenzoylpropane)、2-ヒドロキシ-2-(4-イソプロピル)ベンゾルプロパン(2- hydoroxy-2-(isopropropyl) benzoylpropane)、4-ブチルベンゾイルトリクロロメタン(4-butylbenzoyltrichloromethane)、4-フェノキシベンゾイルジクロロメタン(4-phenoxybenzoyldichloromethane)、ベンゾイルメチル蟻酸エステル(benzoylmethylformate)、1,7-ビス(9-アクリジニル)ヘプタン(1,7-bis(9-acridinyl)heptane)、9-n-ブチル-3,6-ビス(2-モルフォリン-イソブチロイル)カルバゾール)(9-n-butyl-3,6-bis(2-morpholine-isobutyloyl)carbzole)、10-ブチル-2-クロロアクリドン(10-butyl-2-chloroacydone)、2-[2-(4-メトキシ-フェニル)-ビニル]-4,6-ビス-トリクロロメチル-[1,3,5]トリアジン(2-[2-(4-methoxy-phenyl)-vinyl] -4,6-bis-trichloromethyl-[1,3,5]triazine)、2-(4-メトキシ-ナフタレン-1-基)]-4,6-ビス-トリクロロメチル-[1,3,5]トリアジン(2-(4-methoxy-naphtahlene-1-yl)-4,6-bis-trichloromethyl-[1,3,5]triazine)、2-ベンゾ[1,3]ジオキソール-5-基-4,6-ビス-トリクロロメチル-[1,3,5]トリアジン(2-benzo[1,3]dioxole-5-yl-4,6-bis-trichloromethyl-[1,3,5]triazine)、2-メチル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン(2-methyl-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine)、2-フェニル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン(2-phenyl-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine)または2-ナフチル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン(2-naphthyl-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine)である。   Series compounds such as carbonyl compounds, aminocarbonyl compounds, triazine compounds, and oxime compounds include, for example, acetophenone, benzophenone, bihenylketone, 1-hydroxy-1-cyclohexane ( 1-hydoroxy-1-benzoylcyclohexane (I-184)), benzoyldimethylketal 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-ketone (benzoyldimethylketal2,2-dimethoxy-1,2-diethane-1-one) (I-651)), 1-benzyl-1-dimethylamino-1- (4-morpholine-benzoyl) propane (I-136) 2-morpholyl-2- (4-methylmercapto) benzoylpropane (I-907), ethylantraquinone, 4-benzoyl-4-methyl Diphenyl sulfide (4-benzoyl-4-methyld iphenylsulfide), 2-hydroxy-2-benzoylpropane, 2-hydroxy-2- (4-isopropyl) benzoylpropane (2-hydoroxy-2- (isopropropyl) benzoylpropane) , 4-butylbenzoyltrichloromethane, 4-phenoxybenzoyldichloromethane, benzoylmethylformate, 1,7-bis (9-acridinyl) heptane (1,7-bis ( 9-acridinyl) heptane), 9-n-butyl-3,6-bis (2-morpholine-isobutyroyl) carbazole) (9-n-butyl-3,6-bis (2-morpholine-isobutyloyl) carbzole), 10-butyl-2-chloroacydone, 2- [2- (4-methoxy-phenyl) -vinyl] -4,6-bis-trichloromethyl- [1,3,5 ] Triazine (2- [2- (4-methoxy-phenyl) -vinyl] -4,6-bis-tr ichloromethyl- [1,3,5] triazine), 2- (4-methoxy-naphthalene-1-group)]-4,6-bis-trichloromethyl- [1,3,5] triazine (2- (4- methoxy-naphtahlene-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl- [1,3,5] triazine), 2-benzo [1,3] dioxol-5-group-4,6-bis-trichloromethyl- [1,3,5] triazine (2-benzo [1,3] dioxole-5-yl-4,6-bis-trichloromethyl- [1,3,5] triazine), 2-methyl-4,6-bis (Trichloromethyl) -s-triazine (2-methyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine), 2-phenyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine (2-phenyl-4) , 6-bis (trichloromethyl) -s-triazine) or 2-naphthyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine (2-naphthyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine) .

アミノ系化合物は、例えば、トリエタノラミン(triethanolamine)、メチルジエタノラミン(methyldiethanolamine)、トリイソプロピルアミン(triisopropylamine)、4-ジメチルアミノメチルベンゾアート(4-dimethylaminomethyl benzoate)、4-ジメチルアミノエチルベンゾアート(4-dimethylaminoethyl benzoate)、4-ジメチルアミノイソアミルベンゾアート(4-dimethylaminoisoamyl benzoate)、2-メチルアミノエチルベンゾアート(2-methylaminoethyl benzoate)、4-ジメチルアミノ-2-エチルヘキシルベンゾアート(4-dimethylamino-2-ethylhexyl benzoate)、N,N-メチルパラトルイジン(N,N-methylparatoluidine)、4,4'-ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(4,4'-bis(dimetylamino)benzophenone)、4,4'-ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(4,4'-bis(dietylamino)benzophenone)または4,4'-ビス(エチルメチルアミノ)ベンゾフェノン(4,4'-bis(ethylmethylamino)benzophenone)である。   Amino compounds include, for example, triethanolamine, methyldiethanolamine, triisopropylamine, 4-dimethylaminomethyl benzoate, 4-dimethylaminoethyl benzoate (4 -dimethylaminoethyl benzoate), 4-dimethylaminoisoamyl benzoate, 2-methylaminoethyl benzoate, 4-dimethylamino-2-ethylhexyl benzoate (4-dimethylamino-2-benzoate) ethylhexyl benzoate), N, N-methylparatoluidine, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone (4,4'-bis (dimetylamino) benzophenone), 4,4'-bis ( Diethylamino) benzophenone (4,4'-bis (dietylamino) benzophenone) or 4,4'-bis (ethylmethylamino) benzo It is phenone (4,4'-bis (ethylmethylamino) benzophenone).

アルコキシアントラセン系化合物は、例えば、9,10-ジメトキシアントラセン(9,10-dimethoxyanthracene)、9,10-ジエトキシアントラセン(9,10-diethoxyanthracene)、2-エチル-9,10-ジメトキシアントラセン(2-ethyl-9,10- dimethoxyanthracene)または2-エチル-9,10-ジメトキシアントラセン(2-ethyl-9,10- diethoxyanthracene)である。   Alkoxyanthracene compounds include, for example, 9,10-dimethoxyanthracene, 9,10-diethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-dimethoxyanthracene (2- ethyl-9,10-dimethoxyanthracene) or 2-ethyl-9,10-diethoxyanthracene.

チオキサントン系化合物は、例えば、2-イソプロピルチオキサントン(2-isoproplythioxanthone)、4-イソプロピルチオキサントン(4-isoproplythioxanthone = IPTX)、2,4-ジエチルチオキサントン(2,4-diethyl isoproplythioxanthone = DETX)、2,4-トリクロロチオキサントン(2,4-trichlorothioxanthone)または1-クロロ-4-プロキシチオキサントン(1-chloro- proplythioxanthone)である。   Examples of thioxanthone compounds include 2-isopropylthioxanthone (2-isoproplythioxanthone), 4-isopropylthioxanthone (4-isoproplythioxanthone = IPTX), 2,4-diethylthioxanthone (2,4-diethyl isoproplythioxanthone = DETX), 2,4- It is trichlorothioxanthone (2,4-trichlorothioxanthone) or 1-chloro-4-proxythioxanthone.

(D)有機酸無水物:
(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤100重量部に基づいて、(D)有機酸無水物の含有量は、例えば0.1〜100重量部の間の範囲である。
(D) Organic acid anhydride:
(A) Based on 100 parts by weight of the alkali-soluble resin pressure-sensitive adhesive, the content of (D) the organic acid anhydride is, for example, in the range of 0.1 to 100 parts by weight.

(D)有機酸無水物は、例えば、マレイン酸無水物(maleic anhydride =MA)、イタコン酸無水物(itaconic anhydride)、テトラヒドロフタル酸無水物(tetrahydrophtalic anhydride)、シトラコン酸無水物(citaraconic anhydride)またはメサコン酸無水物(mesaconic anhydride)であり、そのうち、好ましくはマレイン酸無水物である。上記した有機酸無水物は、単独で使用または数種類を混合して使用することができる。   (D) The organic acid anhydride is, for example, maleic anhydride (MA), itaconic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, citaraconic anhydride or Mesaconic anhydride, preferably maleic anhydride. The above organic acid anhydrides can be used alone or in combination of several kinds.

(E)分子中に少なくとも2個のエポキシ基を含む化合物:
(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤100重量部に基づいて、(E)分子中に少なくとも2個のエポキシ基を含む化合物の含有量は、例えば0.1〜100重量部の間の範囲であり、好ましくは、2〜10重量部の間の範囲である。
(E) Compound containing at least two epoxy groups in the molecule:
(A) Based on 100 parts by weight of the alkali-soluble resin pressure-sensitive adhesive, (E) the content of the compound containing at least two epoxy groups in the molecule is, for example, in the range of 0.1 to 100 parts by weight, preferably , In the range between 2 and 10 parts by weight.

(E)分子中に少なくとも2個のエポキシ基を含む化合物は、例えば、ビスフェノールA型エポキシ(bisphenol A type epoxy)樹脂化合物、ビスフェノールS型エポキシ(bisphenol S type epoxy)樹脂化合物、フルオレン-9-ビスフェノールジグリシジルエーテル(fluorene-9-bisphenol diglycidyl Ether =FBDE)、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(bisphenol A type epoxy resin)(例えば:油化シェルエポキシ(Shell Epoxy)社製、商品名Epikote 824,1001,1002,1004など)、ビスフェノールA型エポキシ樹脂のアルコール性ヒドロキシル(alcoholic hydroxyl)とエピクロヒドリン(epichlorohydrin)とが反応して得られたエポキシ樹脂(例えば:日本化薬社製、商品名NER-1302、エポキシ当量323、軟化点76℃)、ビスフェノールF型樹脂(bisphenol F type epoxy resin)(例えば:油化シェルエポキシ社製、商品名Epikote807,4001,4002,4004など)、ビスフェノールF型樹脂のアルコール性ヒドロキシル(alcoholic hydroxyl)とエピクロヒドリン(epichlorohydrin)とが反応して得られたエポキシ樹脂(例えば:日本化薬社製、商品名NER-7406、エポキシ当量350、軟化点66℃)、ビフェニルグリシジルエーテル(biphenyl glycidly ether)(例えば:油化シェルエポキシ社製、商品名Epikote YX4000)、フェノールノボラック型エポキシ樹脂(phenol novolac type epoxy resin)(例えば:日本化薬社製、商品名EPPN-201;油化シェルエポキシ社製、商品Epikote 152,154,157S65,157S70;ダウケミカル社製、商品名DEN-438)、クレゾールビフェニルノボラック型エポキシ樹脂(cresol novolac type epoxy resin)(例えば:日本化薬社製、商品名EOCN-102S,1020,104S)、トリグリシジルイソシアヌレート(triglycidyl isocyanulate)(例えば:日産化学社製、商品名TEPIC)、トリフェノールメタン型エポキシ樹脂(triphenol methane type epoxy resin)(例えば:日本化薬社製、商品名EPPN-501,502,503)、フルオレン型エポキシ樹脂(fluorene type epoxy resin)(例えば:新日鐵化学社製、商品名ESF-300)、脂環式エポキシ樹脂(例えば:ダイセル(Daicel)化学工業社製、商品名Celloxide 2021P,EHPE)、エポキシ化ポリブタジエン(epxidized polybutadiene)(例えば:Daicel化学工業社製、商品名Eplead PB3600)であり、そのうち、好ましくは、フルオレン-9-ビスフェノールジグリシジルエーテルである。上記した分子中に少なくとも2個のエポキシ基を含む化合物は、単独で使用または数種類を混合して使用することができる。   (E) Compounds containing at least two epoxy groups in the molecule include, for example, bisphenol A type epoxy resin compounds, bisphenol S type epoxy resin compounds, and fluorene-9-bisphenol. Diglycidyl ether (fluorene-9-bisphenol diglycidyl Ether = FBDE), bisphenol A type epoxy resin (for example, product name: Epikote 824,1001,1002, manufactured by Shell Epoxy) 1004), an epoxy resin obtained by the reaction of alcoholic hydroxyl of bisphenol A type epoxy resin and epichlorohydrin (for example: Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name NER-1302, epoxy equivalent 323) , Softening point 76 ° C), bisphenol F type epoxy resin (for example, manufactured by Yuka Shell Epoxy, Epoxyte 807, 4001, 4002, 4004, etc.), epoxy resin obtained by the reaction of alcoholic hydroxyl of bisphenol F type resin and epichlorohydrin (for example: Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name NER) -7406, epoxy equivalent 350, softening point 66 ° C), biphenyl glycidly ether (for example, Epikote YX4000, manufactured by Yuka Shell Epoxy Co., Ltd.), phenol novolac type epoxy resin ( For example: Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name EPPN-201; Yuka Shell Epoxy Co., Ltd., product Epikote 152,154,157S65,157S70; Dow Chemical Co., Ltd., trade name DEN-438), Cresol biphenyl novolac type epoxy resin (cresol novolac type epoxy resin (for example, trade name EOCN-102S, 1020,104S, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), triglycidyl isocyanulate ) (Eg: Nissan Chemical Co., Ltd., trade name TEPIC), triphenol methane type epoxy resin (eg: Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name: EPPN-501,502,503), fluorene type epoxy resin (fluorene type epoxy resin) (eg: Nippon Steel Chemical Co., Ltd., trade name ESF-300), alicyclic epoxy resin (eg: Daicel Chemical Industries, trade name: Celloxide 2021P, EHPE), epoxidized polybutadiene (epxidized) polybutadiene) (for example: trade name Eplead PB3600, manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), of which fluorene-9-bisphenol diglycidyl ether is preferable. The above compounds containing at least two epoxy groups in the molecule can be used alone or in combination of several kinds.

(F)有機溶液:
(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤100重量部に基づいて、(F)有機溶液の含有量は、例えば10〜2500重量部の間の範囲であり、好ましくは、80〜250重量部の間の範囲である。
(F) Organic solution:
(A) Based on 100 parts by weight of the alkali-soluble resin pressure-sensitive adhesive, the content of the organic solution (F) is, for example, in the range of 10 to 2500 parts by weight, and preferably in the range of 80 to 250 parts by weight. It is.

(F)有機溶液は、例えば、PGMEA、 MBAまたはEEPAである。上記した有機溶液は、単独で使用または数種類を混合して使用することができる。   (F) The organic solution is, for example, PGMEA, MBA or EEPROM. The above organic solutions can be used alone or in combination of several kinds.

また、カラーフィルターの保護膜として、この発明の感光性樹脂組成物は、主要に(A)アルカリ樹脂可溶性粘着剤と(B)光重合型エチレン性不飽和基を含む化合物と(C)光重合性開始剤と(D)有機酸無水物と(E)分子中に少なくとも2個のエポキシ基を含む化合物とを主成分とする。もちろん、実際の必要に応じて、必要時には、以下の各種添加物を加えることができる。   As a protective film for a color filter, the photosensitive resin composition of the present invention mainly comprises (A) an alkali resin-soluble pressure-sensitive adhesive, (B) a compound containing a photopolymerizable ethylenically unsaturated group, and (C) photopolymerization. The main component is a sex initiator, (D) an organic acid anhydride, and (E) a compound containing at least two epoxy groups in the molecule. Of course, according to actual needs, the following various additives can be added when necessary.

実施形態中、結合剤(coupling agent)を更に加えて、感光性樹脂組成物およびカラーフィルター間の付着性を増大させ、感光性樹脂組成物および透明電極間の付着性を増大させることができる。感光性樹脂組成物100重量部に基づいて、結合剤の使用量は、0.01〜30重量部の範囲であり、好ましくは、0.5〜3重量部の範囲である。結合剤は、例えば、エポキシ基を含む又はアミノ基を含むシリコン化合物であり、例えば、β-(3,4-エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン(β-(3,4-epoxycyclohexyl)ethy trimethoxysilane)、β-(3,4-エポキシシクロヘキシル)エチルトリエトキシシラン(β-(3,4-epoxycyclohexyl)ethy triethoxysilane)、γ-グリシドオキシプロピルトリメトキシシラン(γ-glycidoxypropyl trimethoxysilane = GTS)、γ-グリシドオキシプロピルメチルジメトキシシラン(γ-glycidoxypropyl methyldimethoxysilane)、γ-グリシドオキシプロピルジメトキシ(エトキシ)シラン(γ- glycidoxypropyl dimethoxy(ethoxy)silane)、γ-グリシドオキシプロピルジメトキシ(メトキシ)シラン(γ- glycidoxypropyl dimethoxy(methoxy)silane)、γ-グリシドオキシプロピルジメチル(エトキシ)シラン(γ- glycidoxypropyl dimethly(ethoxy)silane)、3,4-エポキシブチルトリメトキシシラン(3,4-epoxybutyltrimethoxysilane)、3,4-エポキシブチルトリエトキシシラン(3,4-epoxybutyltriethoxysilane)、N-(2-アミノエチル)-3-アミノプロピルジメトキシメチルシラン(N-(2-amonoethyl)-3-aminopropyldimethoxymethylsilane)、(3-アミノプロピル)トリメトキシシラン((3-aminopropyl)trimethoxysilane)、(3-アミノプロピル)トリメエキシシラン((3-aminopropyl)triethoxysilane)、(N,N-ジエチル-3-アミノプロピル)トリメトキシシラン((N,N-diethyl-3- aminopropyl) trimethoxysilane)またはN-β(アミノエチル)γ-アミノプロピルトリメエキシシラン(N-β(aminopropyl) γ-trimethoxysilane)である。上記した結合剤は、単独で使用または数種類を混合して使用することができる。   In embodiments, a coupling agent may be further added to increase adhesion between the photosensitive resin composition and the color filter, and to increase adhesion between the photosensitive resin composition and the transparent electrode. Based on 100 parts by weight of the photosensitive resin composition, the amount of binder used is in the range of 0.01 to 30 parts by weight, and preferably in the range of 0.5 to 3 parts by weight. The binder is, for example, a silicon compound containing an epoxy group or an amino group, such as β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane (β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethy trimethoxysilane), β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltriethoxysilane (β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethy triethoxysilane), γ-glycidoxypropyl trimethoxysilane (GTS), γ-glycid Γ-glycidoxypropyl dimethoxysilane, γ-glycidoxypropyl dimethoxy (ethoxy) silane, γ-glycidoxypropyl dimethoxysilane (γ-glycidoxypropyl dimethoxysilane) (methoxy) silane), γ-glycidoxypropyl dimethly (ethoxy) silane), 3,4-epoxybutyltrimethoxysilane, 3,4-epoxybutyltriethoxysilane, N- (2-aminoethyl) -3 -Aminopropyldimethoxymethylsilane (N- (2-amonoethyl) -3-aminopropyldimethoxymethylsilane), (3-aminopropyl) trimethoxysilane ((3-aminopropyl) trimethoxysilane), (3-aminopropyl) trimexisilane ((3 -aminopropyl) triethoxysilane), (N, N-diethyl-3-aminopropyl) trimethoxysilane (N, N-diethyl-3-aminopropyl) trimethoxysilane) or N-β (aminoethyl) γ-aminopropyltrimexisilane (N-β (aminopropyl) γ-trimethoxysilane). The above-mentioned binders can be used alone or in combination of several kinds.

実施形態中、更に界面活性剤(surfactant)を加えることができる。感光性樹脂組成物100重量部に基づき、界面活性剤の含有量は、例えば0.01-30重量部間の範囲であり、好ましくは、0.5-3重量部間の範囲である。界面活性剤は、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル(polyoxyethylene alkyl ethers)(例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル(polyoxyethylene lauryl ether)である)、ポリオキシエチレンステアリルエーテル(polyoxyethylene stearyl ether)、ポリオキシエチレンオレイルエーテル(polyoxyethylene oleyl ether)、ポリオキシエチレンアリールエーテル(polyoxyethylene aryl ethers)(例えば、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル(polyoxyethylene octyl phenyl ether)である)、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル(polyoxyethylene noyl phenyl ether)、ポリエチレングリコールジアルキルエーテル(poly ethylene glycol dialkyl ethers)(例えば、ポリオキシエチレグリコールジラウレート(polyoxyethylene glycol dilaurate))、ポリオキシエチレグリコールジステアレート(polyoxyethylene glycol distearate)、オルガノシロキサンポリマー(例えば、KP341(信越化学工業株式会社により製造)または(メチ)アクリック酸重合体((meth)acriylic acid polymer)(例えば、Polyflow No.75,90,95(光栄社油脂化学工業株式会社により製造))、Megafac F171,F172,F173,F475(大日本化学&インク株式会社=現在のDIC株式会社により製造)、Florand FC430,TC431(住友3M株式会社により製造)、Asahi Gard G710,Serflon S382, SC-101,SC-102, SC-103, SC-104, SC-105,SC-1068(旭硝子株式会社により製造)である。上記した界面活性剤は、単独で使用または数種類を混合して使用することができる。   In embodiments, additional surfactants can be added. Based on 100 parts by weight of the photosensitive resin composition, the content of the surfactant is, for example, in the range of 0.01-30 parts by weight, and preferably in the range of 0.5-3 parts by weight. Surfactants include, for example, polyoxyethylene alkyl ethers (for example, polyoxyethylene lauryl ether), polyoxyethylene stearyl ether, polyoxyethylene oleyl ether. (Polyoxyethylene oleyl ether), polyoxyethylene aryl ethers (for example, polyoxyethylene octyl phenyl ether), polyoxyethylene nonyl phenyl ether, polyethylene glycol Polyalkylene glycol dialkyl ethers (eg, polyoxyethylene glycol dilaurate), polyoxyethylene glycol dilaurate Polyoxyethylene glycol distearate, organosiloxane polymer (for example, KP341 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)) or (meth) acriylic acid polymer (for example, Polyflow No. 75,90 , 95 (manufactured by Koeisha Yushi Chemical Co., Ltd.)), Megafac F171, F172, F173, F475 (Dainippon Chemical & Ink Co., Ltd. = manufactured by DIC Corporation), Florand FC430, TC431 (Sumitomo 3M Co., Ltd.) Asahi Gard G710, Serflon S382, SC-101, SC-102, SC-103, SC-104, SC-105, SC-1068 (manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) It can be used alone or in combination of several kinds.

実施形態中、更に、その他の添加剤、例えば、消泡剤(deformer)、レベリング剤(leveling agent)、熱重合抑制剤(thrmal polymerizatin agent)などを加えることができる。   In the embodiment, other additives such as a defoaming agent, a leveling agent, a thermal polymerization inhibitor, and the like can be added.

この発明の感光性樹脂組成物の製作は、主要に上記した(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤と(B)光重合型エチレン性不飽和基を含む化合物と(C)光重合性開始剤と(D)有機酸無水物と(E)分子中に少なくとも2個のエポキシ基を含む化合物と(F)有機溶液とを攪拌器中で均一に混合して、粘度が1〜200cpsの間の範囲、好ましくは3〜25 cpsの間の範囲の溶液状態にする。   The production of the photosensitive resin composition of the present invention mainly comprises (A) an alkali-soluble resin pressure-sensitive adhesive, (B) a compound containing a photopolymerizable ethylenically unsaturated group, (C) a photopolymerizable initiator, D) An organic acid anhydride, (E) a compound containing at least two epoxy groups in the molecule, and (F) an organic solution are uniformly mixed in a stirrer, and the viscosity is in the range of 1 to 200 cps. Preferably, the solution is in the range between 3 and 25 cps.

この発明の感光性樹脂組成物は、回転塗布、流延塗布、流延-回転塗布などの方式により基板上に塗布することができる。塗布後に80℃で2分間プレベーク(prebake)し、溶液を除去する。そして、全面露光200mJ/cmする。現像を経て、230℃で20分間ポストベークし、1〜1.5μmの感光性樹脂層を形成して、カラーフィルターの保護膜とする。上記した基板は、例えば、液晶表示装置に使われる無塩ガラス、ソーダ石灰ガラス、硬質ガラス(パイレックス(登録商標)ガラス)、石英ガラスまたは固体撮像装置に使われる光電変換装置基板(例えばシリコン基板)などである。 The photosensitive resin composition of the present invention can be applied onto a substrate by a method such as spin coating, cast coating, and cast-spin coating. After application, prebake at 80 ° C. for 2 minutes to remove the solution. Then, the whole surface exposure is 200 mJ / cm 2 . After development, post-baking is performed at 230 ° C. for 20 minutes to form a photosensitive resin layer having a thickness of 1 to 1.5 μm, which is used as a protective film for the color filter. The substrate described above is, for example, a salt-free glass, soda-lime glass, hard glass (Pyrex (registered trademark) glass), quartz glass, or a photoelectric conversion device substrate (for example, a silicon substrate) used in a solid-state imaging device. Etc.

この発明の構造式(1)は、下記の(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤の構造式(2A)の合成例を例対照として説明するが、これに限定するものではない。そのうち、官能基a対照には官能基hが含まれ、官能基b対照には官能基Iが含まれ、官能基x対照には官能基cが含まれ、官能基y対照にはd,e,f,gが含まれる。   The structural formula (1) of the present invention will be described by way of an example of the synthesis of the structural formula (2A) of the following (A) alkali-soluble resin pressure-sensitive adhesive, but is not limited thereto. Among them, the functional group a control includes the functional group h, the functional group b control includes the functional group I, the functional group x control includes the functional group c, and the functional group y control includes d, e. , f, g are included.

(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤の構造式(2A)の合成例

Figure 2011154343
そのうち、c=1モルパーセント;d=19モルパーセント;e=3モルパーセント;f=2モルパーセント;g=30モルパーセント;h=15モルパーセント;I=30モルパーセント;h+1=45モルパーセント、40〜60モルパーセントの範囲内である。 (A) Synthesis example of structural formula (2A) of alkali-soluble resin adhesive
Figure 2011154343
Of which: c = 1 mole percent; d = 19 mole percent; e = 3 mole percent; f = 2 mole percent; g = 30 mole percent; h = 15 mole percent; I = 30 mole percent; h + 1 = 45 moles Percent, in the range of 40-60 mole percent.

この合成例の詳細な合成ステップを以下に説明する:   The detailed synthesis steps of this synthesis example are described below:

フラスコ中に9gの2,2'-アゾビスイソブチロニトリド(2,2'-azobisisobutyronitride = AIBN)と630gのPGMEA溶液と10gの連鎖移動剤(α-メチルスチレン二量体(α-methyl styrene dimer))とを入れるとともに、攪拌溶解する。そして、50.2gのジシクロペンタメタクリレイト(dicyclopentanylmethacrylate)と46.4gのメタクリック酸(methacrylic acid)と4.5gのアリルメタクレイト(allylmethacrylate)と1.6gのメタシクロニトリド(methacyclonitride)と37.5gのスチレン(styrene)と2.9gの2,2-ジメチル-1,3-プロピレングリコールジアクリレート(2,2-dimetyl-1,3-propylene glycoldiacrylate)とを加え、かつ窒素ガスを通気させるとともに、攪拌し80℃に加熱して2.5時間反応させる。次に、0.3gのAIBNを10gのPGMEA中に溶解させ、10分間だけ反応フラスコに滴下して12時間反応を継続する。その後、窒素ガスを止め、51.2gのグリシデルメタクリレート(glycidyi methacrylate)と2.5gの触媒(1-メチルイミダゾール(1-methlimidazole)と0.15gの抑制剤(4-メトキシフェノール(4-methoxyphenole))とを加えるとともに、空気中で攪拌して19時間反応させる。得られた産物の樹脂溶液は、固形分含有量が27.2wt%;粘度が110cps/25℃;酸価が57.3mgKOH/g;重量平均分子量が111867である。   9 g 2,2'-azobisisobutyronitride (AIBN), 630 g PGMEA solution and 10 g chain transfer agent (α-methyl styrene dimer) dimer)) and dissolve with stirring. 50.2 g of dicyclopentanylmethacrylate, 46.4 g of methacrylic acid, 4.5 g of allylmethacrylate, 1.6 g of metacyclonitride and 37.5 g of styrene (Styrene) and 2.9 g of 2,2-dimethyl-1,3-propylene glycol diacrylate, add nitrogen gas, and stir. Heat to ℃ and react for 2.5 hours. Next, 0.3 g of AIBN is dissolved in 10 g of PGMEA and added dropwise to the reaction flask for 10 minutes, and the reaction is continued for 12 hours. Then stop nitrogen gas, 51.2g glycidy methacrylate, 2.5g catalyst (1-methlimidazole and 0.15g inhibitor (4-methoxyphenole) and The resin solution of the resulting product has a solid content of 27.2 wt%, a viscosity of 110 cps / 25 ° C., an acid value of 57.3 mg KOH / g, a weight average The molecular weight is 111867.

<実施例1>
10重量部の下記構造式(2A)を有する(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤を使用

Figure 2011154343
そのうち、c=1モルパーセント;d=19モルパーセント;e=3モルパーセント;f=2モルパーセント;g=30モルパーセント;h=15モルパーセント;I=30モルパーセントである。2.7重量部のDPHAと0.5重量部のFBDEと0.25重量部のMAと0.2重量部のI-907と0.5重量部のIPTXと0.02重量部の密着剤GPSと4重量部の溶剤PGMEAをともに溶解混合させ、調製してカラーフィルター用の感光性樹脂組成物(表1)を得た。この感光性樹脂組成物を以下の各種測定評価方式を利用して評価し、得られた結果を表2に示す。 <Example 1>
Use 10 parts by weight of (A) alkali-soluble resin adhesive having the following structural formula (2A)
Figure 2011154343
Of these, c = 1 mole percent; d = 19 mole percent; e = 3 mole percent; f = 2 mole percent; g = 30 mole percent; h = 15 mole percent; I = 30 mole percent. 2.7 parts by weight DPHA, 0.5 parts by weight FBDE, 0.25 parts by weight MA, 0.2 parts by weight I-907, 0.5 parts by weight IPTX, 0.02 parts by weight adhesive GPS and 4 parts by weight solvent PGMEA are dissolved and mixed together. And a photosensitive resin composition for a color filter (Table 1) was obtained. This photosensitive resin composition was evaluated using the following various measurement evaluation methods, and the results obtained are shown in Table 2.

<比較例1>
10重量部の下記構造式(2R)を有する(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤を使用

Figure 2011154343
そのうち、c=1.4モルパーセント;d=23.5モルパーセント;e=3.8モルパーセント;f=2.6モルパーセント;g=38.7モルパーセント;h=15モルパーセントである。2.7重量部のDPHAと0.5重量部のFBDEと0.25重量部のMAと0.2重量部のI-907と0.5重量部のIPTXと0.020.5重量部の密着剤GPSと4重量部の溶剤TGMEAをともに攪拌溶解混合し、調製してカラーフィルター用の感光性樹脂組成物(表1)を得た。 <Comparative Example 1>
10 parts by weight of (A) alkali-soluble resin adhesive having the following structural formula (2R) is used
Figure 2011154343
Of these, c = 1.4 mole percent; d = 23.5 mole percent; e = 3.8 mole percent; f = 2.6 mole percent; g = 38.7 mole percent; h = 15 mole percent. 2.7 parts by weight DPHA, 0.5 parts by weight FBDE, 0.25 parts by weight MA, 0.2 parts by weight I-907, 0.5 parts by weight IPTX, 0.020.5 parts by weight adhesive GPS and 4 parts by weight solvent TGMEA The mixture was stirred, dissolved and mixed to obtain a photosensitive resin composition for color filters (Table 1).

この感光性樹脂組成物を以下の各種測定評価方式を利用して評価し、得られた結果を表2に示す。   This photosensitive resin composition was evaluated using the following various measurement evaluation methods, and the results obtained are shown in Table 2.

Figure 2011154343
Figure 2011154343

評価方式:
1.耐熱性
製作して得られたガラス基板上の感光性樹脂層を250℃で60分オーブン処理するとともに、profilter Tencor α-step500で処理前後の膜圧変化を計測した。
○:膜圧変化<6%
X:膜圧変化≧6%
Evaluation method:
1. Heat resistance The photosensitive resin layer on the glass substrate obtained by the production was oven-treated at 250 ° C. for 60 minutes, and the membrane pressure change before and after the treatment was measured by profilter Tencor α-step 500.
○: Membrane pressure change <6%
X: Membrane pressure change ≧ 6%

2.耐アルカリ性
製作して得られたガラス基板上の感光性樹脂層を25℃±2℃で10%のNaOH中に3時間浸けるとともに、profilter Tencor α-step500で処理前後の膜圧変化を計測した。
○:膜圧変化<1%
X:膜圧変化≧3%
2. Alkali Resistance The photosensitive resin layer on the glass substrate obtained by soaking was immersed in 10% NaOH at 25 ° C. ± 2 ° C. for 3 hours, and the change in membrane pressure before and after the treatment was measured with profilter Tencor α-step 500.
○: Change in membrane pressure <1%
X: membrane pressure change ≧ 3%

3.耐酸性
製作して得られたガラス基板上の感光性樹脂層を25℃±2℃で10%のHCl中に3時間浸けるとともに、profilter Tencor α-step500で処理前後の膜圧変化を計測した。
○:膜圧変化<1%
X:膜圧変化≧3%
3. Acid resistance The photosensitive resin layer on the glass substrate obtained by soaking was immersed in 10% HCl at 25 ° C. ± 2 ° C. for 3 hours, and the change in membrane pressure before and after the treatment was measured with profilter Tencor α-step 500.
○: Change in membrane pressure <1%
X: membrane pressure change ≧ 3%

4.耐溶剤性
製作して得られたガラス基板上の感光性樹脂層を25℃±2℃でNMP中に3時間浸けるとともに、profilter Tencor α-step500で処理前後の膜圧変化を計測した。
○:膜圧変化<1%
X:膜圧変化≧3%
4). Solvent resistance The photosensitive resin layer on the glass substrate obtained by soaking was immersed in NMP for 3 hours at 25 ° C. ± 2 ° C., and the change in membrane pressure before and after the treatment was measured with profilter Tencor α-step 500.
○: Change in membrane pressure <1%
X: membrane pressure change ≧ 3%

5.透光度
製作して得られたガラス基板上の感光性樹脂層を380-800nm波長の光で透光率を測定した。
○:透光率>97%
X:透光率<97%
5. Transmissivity The transmittance of the photosensitive resin layer on the glass substrate obtained by the production was measured with light having a wavelength of 380 to 800 nm.
○: Transmissivity> 97%
X: Transmissivity <97%

6.耐熱変色性
製作して得られたガラス基板上の感光性樹脂層を250℃で60分オーブン処理するとともに、380-800nm波長の光で透光率変化を測定した。
○:透光率変化5%以下
△:透光率変化5%〜10%
X:透光率変化10%以上
6). Heat-resistant color change The photosensitive resin layer on the glass substrate obtained by the manufacturing was oven-treated at 250 ° C. for 60 minutes, and the change in light transmittance was measured with light having a wavelength of 380 to 800 nm.
○: Light transmittance change 5% or less △: Light transmittance change 5% to 10%
X: Change in transmissivity of 10% or more

7.付着性
製作して得られたガラス基板上の感光性樹脂層をクロスカット(cross-cut)し、かつ粘着テープ(adhesive tape)により膜層を剥離することで試験した。
○:残留したフォトレジスト膜が98%以上
X:残留したフォトレジスト膜が98%未満
7). Adhesiveness The photosensitive resin layer on the glass substrate obtained by the production was cross-cut, and the film layer was peeled off by using an adhesive tape.
○: Residual photoresist film is 98% or more X: Residual photoresist film is less than 98%

Figure 2011154343
Figure 2011154343

以上のごとく、この発明を実施形態により開示したが、もとより、この発明を限定するためのものではなく、当業者であれば容易に理解できるように、この発明の技術思想の範囲内において、適当な変更ならびに修正が当然なされうるものであるから、その特許権保護の範囲は、特許請求の範囲および、それと均等な領域を基準として定めなければならない。   As described above, the present invention has been disclosed by the embodiments. However, the present invention is not intended to limit the present invention, and is within the scope of the technical idea of the present invention so that those skilled in the art can easily understand. Therefore, the scope of patent protection should be defined based on the scope of claims and the equivalent area.

Claims (14)

構造式(1)により表される重合物であり、
Figure 2011154343
(そのうち、x = 1〜10モルパーセント、y = 29〜59モルパーセント、a + b =40〜60モルパーセント、a = 5〜40モルパーセント、b = 5〜25モルパーセント、Rがベンジル基、フェニル基、CNまたはC(O)OR2であり、そのうち、R2がC1〜C15の直鎖または環状アルキル基、フェニル基、ベンジル基またはアリル基であり、R1がHまたはC1〜C4のアルキル基である)
(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤と;
(B)光重合型エチレン性不飽和基を含む化合物と;
(C)光重合性開始剤と;
(D)有機酸無水物と;
(E)分子中に少なくとも2個のエポキシ基を含む化合物と;
(F)有機溶液と
を含む感光性樹脂組成物。
A polymer represented by the structural formula (1),
Figure 2011154343
(Wherein x = 1-10 mole percent, y = 29-59 mole percent, a + b = 40-60 mole percent, a = 5-40 mole percent, b = 5-25 mole percent, R is a benzyl group, phenyl, CN or C (O) oR @ 2, of which a straight-chain or cyclic alkyl group of R2 is C1 to C15, a phenyl group, a benzyl group or an allyl group, an alkyl group of R 1 is H or C1~C4 Is)
(A) an alkali-soluble resin adhesive;
(B) a compound containing a photopolymerizable ethylenically unsaturated group;
(C) a photopolymerizable initiator;
(D) an organic acid anhydride;
(E) a compound containing at least two epoxy groups in the molecule;
(F) A photosensitive resin composition comprising an organic solution.
(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤の重量平均分子量が、3000〜300000の間の範囲である請求項1記載の感光性樹脂組成物。   (A) The photosensitive resin composition of Claim 1 whose weight average molecular weights of an alkali-soluble resin adhesive are the range between 3000-300000. (A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤の固形分含有量が、10〜50%の間の範囲である請求項1記載の感光性樹脂組成物。   (A) The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the solid content of the alkali-soluble resin pressure-sensitive adhesive is in the range of 10 to 50%. (A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤の酸価が、10〜400mgKOH/gの間の範囲である請求項1記載の感光性樹脂組成物。   (A) The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the acid value of the alkali-soluble resin pressure-sensitive adhesive is in the range of 10 to 400 mgKOH / g. (A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤100重量部に基づいて、(B)光重合型エチレン性不飽和基を含む化合物の含有量が、1〜250重量部の間の範囲である請求項1記載の感光性樹脂組成物。   The content of (B) a compound containing a photopolymerizable ethylenically unsaturated group is in the range of 1 to 250 parts by weight based on 100 parts by weight of (A) alkali-soluble resin pressure-sensitive adhesive. Photosensitive resin composition. (A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤100重量部に基づいて、(C)光重合性開始剤の含有量が、0.1
〜100重量部の間の範囲である請求項1記載の感光性樹脂組成物。
(A) Based on 100 parts by weight of the alkali-soluble resin pressure-sensitive adhesive, the content of (C) the photopolymerizable initiator is 0.1
The photosensitive resin composition of Claim 1 which is the range between -100 weight part.
(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤100重量部に基づいて、(D)有機酸無水物の含有量が、0.1〜100重量部の間の範囲である請求項1記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the content of (D) the organic acid anhydride is in the range of 0.1 to 100 parts by weight based on 100 parts by weight of the (A) alkali-soluble resin pressure-sensitive adhesive. (A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤100重量部に基づいて、(E)分子中に少なくとも2個のエポキシ基を含む化合物の含有量が、0.1〜100重量部の間の範囲である請求項2記載の感光性樹脂組成物。   The content of the compound containing (A) at least two epoxy groups in the molecule based on 100 parts by weight of (A) the alkali-soluble resin pressure-sensitive adhesive is in the range of 0.1 to 100 parts by weight. Photosensitive resin composition. (A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤100重量部に基づいて、(F)有機溶液の含有量が、10〜2500重量部の間の範囲である請求項1記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the content of the organic solution (F) is in the range of 10 to 2500 parts by weight based on 100 parts by weight of the (A) alkali-soluble resin adhesive. 前記感光性樹脂組成物の粘度が、1〜200cpsの間の範囲である請求項1記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the photosensitive resin composition has a viscosity in the range of 1 to 200 cps. 請求項1から10の何れか1項に記載された感光性樹脂組成物を重合してなるカラーフィルターの保護膜。   The protective film of the color filter formed by superposing | polymerizing the photosensitive resin composition as described in any one of Claim 1 to 10. 構造式(1)により表される重合物であり、
Figure 2011154343
(そのうち、x = 1〜10モルパーセント、y = 29〜59モルパーセント、a + b =40〜60モルパーセント、a = 5〜40モルパーセント、b = 5〜25モルパーセント、Rがベンジル基、フェニル基、CNまたはC(O)OR2であり、そのうち、R2がC1〜C15の直鎖または環状アルキル基、フェニル基、ベンジル基またはアリル基であり、R1がHまたはC1〜C4のアルキル基である)
(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤と;
(B)光重合型エチレン性不飽和基を含む化合物と;
(C)光重合性開始剤と;
(D)有機酸無水物と;
(E)分子中に少なくとも2個のエポキシ基を含む化合物と;
(F)有機溶液と
を含む感光性樹脂粘着剤。
A polymer represented by the structural formula (1),
Figure 2011154343
(Wherein x = 1-10 mole percent, y = 29-59 mole percent, a + b = 40-60 mole percent, a = 5-40 mole percent, b = 5-25 mole percent, R is a benzyl group, phenyl, CN or C (O) oR @ 2, of which a straight-chain or cyclic alkyl group of R2 is C1 to C15, a phenyl group, a benzyl group or an allyl group, an alkyl group of R 1 is H or C1~C4 Is)
(A) an alkali-soluble resin adhesive;
(B) a compound containing a photopolymerizable ethylenically unsaturated group;
(C) a photopolymerizable initiator;
(D) an organic acid anhydride;
(E) a compound containing at least two epoxy groups in the molecule;
(F) The photosensitive resin adhesive containing organic solution.
(A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤の重量平均分子量が、3000〜300000の間の範囲である請求項12記載の感光性樹脂粘着剤。   (A) The photosensitive resin adhesive of Claim 12 whose weight average molecular weights of an alkali-soluble resin adhesive are the range between 3000-300000. (A)アルカリ可溶性樹脂粘着剤の酸価が、10〜400mgKOH/gの間の範囲である請求項12記載の感光性樹脂粘着剤。   (A) The photosensitive resin pressure-sensitive adhesive according to claim 12, wherein the acid value of the alkali-soluble resin pressure-sensitive adhesive is in the range of 10 to 400 mgKOH / g.
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