JP2011154005A - Encoder - Google Patents

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JP2011154005A
JP2011154005A JP2010017371A JP2010017371A JP2011154005A JP 2011154005 A JP2011154005 A JP 2011154005A JP 2010017371 A JP2010017371 A JP 2010017371A JP 2010017371 A JP2010017371 A JP 2010017371A JP 2011154005 A JP2011154005 A JP 2011154005A
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light
encoder
sensor
light source
pattern
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Katsura Abe
桂 阿部
Yasushi Ono
康 大野
Kiyoshige Shibazaki
清茂 芝崎
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Nikon Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an encoder which can improve reliability when operating at high temperatures. <P>SOLUTION: The encoder (1) includes a code disk (10) having a pattern, a light source (20) for irradiating the code disk (10) with light, a sensor (30) having a plurality of light receiving elements for detecting the pattern, and an arithmetic processing part (90) using a first sensor signal obtained from the sensor (30) in a first state when at least part of the plurality of light receiving elements do not receive the light to correct a second sensor signal obtained from the sensor (30) in a second state when the light receiving elements detect the pattern. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、位置検出を行うエンコーダに関する。   The present invention relates to an encoder that performs position detection.

移動体の移動位置や回転体の回転角度位置を光学的に検出する光学式エンコーダでは、フォトダイオードアレイを有するフォトICやイメージセンサを利用して、位置を検知する。エンコーダは、該位置の検出精度を確保するために、エンコーダ内部に設けた温度センサによって動作環境の温度を検出している。特に、その温度センサは、高温度の動作環境に適用されたり、異常な温度上昇を検出したりして、エンコーダの故障や、検出精度の低下を未然に防いでいる(例えば、特許文献1参照)。   In an optical encoder that optically detects a moving position of a moving body and a rotation angle position of a rotating body, the position is detected using a photo IC or an image sensor having a photodiode array. The encoder detects the temperature of the operating environment by a temperature sensor provided in the encoder in order to ensure the detection accuracy of the position. In particular, the temperature sensor is applied to a high-temperature operating environment or detects an abnormal temperature rise to prevent an encoder failure and a decrease in detection accuracy (see, for example, Patent Document 1). ).

特開2006−50710号公報JP 2006-50710 A

ところで、近年、上記のようなエンコーダは、その用途の拡大により、より小型化が望まれている。
しかしながら、例えば特許文献1のように、動作環境の温度を管理するためにエンコーダ内部に温度センサを設けた場合では、その温度センサは、エンコーダを小型化することに対する制約条件となる可能性がある。一方で、温度センサを設けない場合では、エンコーダは、動作温度範囲内にあることを識別できず、異常な温度上昇の発生も検出できず、エンコーダ本体及び検出される位置情報の信頼性を確保できない可能性があるという問題がある。
By the way, in recent years, the encoders as described above are desired to be further downsized due to the expansion of their applications.
However, when a temperature sensor is provided inside the encoder to manage the temperature of the operating environment as in Patent Document 1, for example, the temperature sensor may be a limiting condition for downsizing the encoder. . On the other hand, when the temperature sensor is not provided, the encoder cannot identify that it is within the operating temperature range, cannot detect the occurrence of abnormal temperature rise, and ensures the reliability of the encoder body and detected position information. There is a problem that it may not be possible.

本発明は、上記問題を解決すべくなされたもので、その目的は、動作温度範囲内における信頼性を向上できるエンコーダを提供することにある。   The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide an encoder capable of improving the reliability within the operating temperature range.

上記問題を解決するために、本発明の一態様はパターンを有する符号板と、前記符号板に光を照射する光源と、複数の受光素子を有し、前記パターンを検出するセンサと、前記複数の受光素子のうち少なくとも一部が前記光を受光していない第1状態において前記センサから得られる第1のセンサ信号を用いて、前記受光素子が前記パターンを検出する第2状態において前記センサから得られる第2のセンサ信号に対して補正を行う演算処理部とを備えることを特徴とするエンコーダである。   In order to solve the above problems, an embodiment of the present invention includes a code plate having a pattern, a light source that irradiates light to the code plate, a plurality of light receiving elements, a sensor that detects the pattern, and the plurality From the sensor in the second state in which the light receiving element detects the pattern using a first sensor signal obtained from the sensor in a first state in which at least some of the light receiving elements are not receiving the light. An encoder comprising: an arithmetic processing unit that performs correction on the obtained second sensor signal.

本発明によれば、動作温度範囲内における信頼性向上が可能となる。   According to the present invention, it is possible to improve the reliability within the operating temperature range.

本発明の一実施形態によるエンコーダの構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the encoder by one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態による符号板10に設けられるパターンの一形態を示す図である。It is a figure which shows one form of the pattern provided in the code | symbol plate 10 by one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態による符号板10、光源20及びセンサ30の配置を示す側面図である。It is a side view which shows arrangement | positioning of the code | symbol board 10, the light source 20, and the sensor 30 by one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態によるセンサ30の受光面31を示す上面図である。It is a top view which shows the light-receiving surface 31 of the sensor 30 by one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態によるセンサ30の受光面31を示す拡大図である。It is an enlarged view which shows the light-receiving surface 31 of the sensor 30 by one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態による符号板10、光源20及びセンサ30の断面図である。It is sectional drawing of the code | symbol plate 10, the light source 20, and the sensor 30 by one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態による符号板10、光源20及びセンサ30の断面図である。It is sectional drawing of the code | symbol plate 10, the light source 20, and the sensor 30 by one Embodiment of this invention.

以下、本発明の一実施形態について、図面を参照して説明する。
本実施形態に示す光学式のエンコーダでは、イメージセンサの暗電流を監視することにより、イメージセンサの温度変化を検出することができる。これにより、エンコーダは、検出した光信号の誤判定を防止することができ、検出した位置情報の信頼性を向上させることができる。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
In the optical encoder shown in the present embodiment, the temperature change of the image sensor can be detected by monitoring the dark current of the image sensor. Accordingly, the encoder can prevent erroneous determination of the detected optical signal, and can improve the reliability of the detected position information.

(第1実施形態)
図1は、本実施形態によるエンコーダの構成を示すブロック図である。
この図に示されるエンコーダ1は、符号板10、光源20、センサ30(イメージセンサ)、光源駆動部40、センサ駆動部50、増幅部60、記憶部(メモリ)70、及び、演算処理部90を備える。本実施形態に示すエンコーダ1は、回転体の回転軸の角度位置情報を検出する一態様を示す。
符号板10は、回転体の回転軸に固定され、その回転体とともに転回自在に設けられる。符号板10には、回転角度の位置を示す指標であるパターンが配置される。そのパターンの配置において、絶対角度位置を検出するための絶対角度位置パターンが配置されるアブソリュート・トラック、又は、相対角度位置を検出するための相対角度位置パターンが配置されるインクリメンタル・トラックのうち少なくとも一方のトラックが設けられる。符号板10に設けられるトラックは、回転軸に対してそれぞれ一定の距離に配置され、すなわち、それぞれ異なる半径の円周上に設けられる。
(First embodiment)
FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of the encoder according to the present embodiment.
The encoder 1 shown in this figure includes a code plate 10, a light source 20, a sensor 30 (image sensor), a light source drive unit 40, a sensor drive unit 50, an amplification unit 60, a storage unit (memory) 70, and an arithmetic processing unit 90. Is provided. The encoder 1 shown in this embodiment shows an aspect for detecting angular position information of the rotating shaft of the rotating body.
The code plate 10 is fixed to the rotating shaft of the rotating body and is provided so as to be rotatable together with the rotating body. On the code plate 10, a pattern that is an index indicating the position of the rotation angle is arranged. At least one of an absolute track in which an absolute angular position pattern for detecting an absolute angular position is arranged and an incremental track in which a relative angular position pattern for detecting a relative angular position is arranged in the arrangement of the pattern. One track is provided. The tracks provided on the code plate 10 are arranged at a fixed distance with respect to the rotation axis, that is, provided on the circumferences having different radii.

図2は、符号板10に設けられるパターンの一形態を示す図である。
図2に示される符号板10は、パターン11を含んだアブソリュート・トラックと、パターン12を含んだインクリメンタル・トラックの双方のトラックを備える。アブソリュート・トラックに含まれるパターン11は、センサ30と符号板10との位置関係を絶対位置として示す位置情報を符号化して示すものである。また、インクリメンタル・トラックに含まれるパターン12は、同一の形状の指標を等間隔に配置したものである。
符号板10の各トラックに設けられるパターン11と12は、光源20からの光を反射する反射型のパターンである。パターン11と12は、そのパターンが示す情報に応じて反射量が異なるように、例えば、異なる反射率を有する状態に表面処理が施される。この図では、反射率が低い領域を濃い色で、反射率が高い領域を白で示す。
また、パターン11とパターン12が符号板10上に並べて設けられ、回転軸を基準として各パターンがそれぞれ半径の異なる同周上に設けることにより、局所的に並行するパターンになる。各パターンの幅と回転軸からの半径を適当に設けて、2つのパターンが重ならないように隙間を設けて配置する。
FIG. 2 is a diagram illustrating one form of a pattern provided on the code plate 10.
The code plate 10 shown in FIG. 2 includes both an absolute track including the pattern 11 and an incremental track including the pattern 12. The pattern 11 included in the absolute track is obtained by encoding position information indicating the positional relationship between the sensor 30 and the code plate 10 as an absolute position. Further, the pattern 12 included in the incremental track is obtained by arranging indexes of the same shape at equal intervals.
Patterns 11 and 12 provided on each track of the code plate 10 are reflective patterns that reflect light from the light source 20. The patterns 11 and 12 are subjected to surface treatment, for example, in a state having different reflectances so that the amount of reflection differs according to the information indicated by the patterns. In this figure, regions with low reflectivity are shown in dark colors, and regions with high reflectivity are shown in white.
In addition, the patterns 11 and 12 are provided side by side on the code plate 10, and each pattern is provided on the same circumference having different radii with reference to the rotation axis. The width of each pattern and the radius from the rotation axis are appropriately provided, and a gap is provided so that the two patterns do not overlap.

図1に戻り、光源20は、符号板10のトラックに設けられたパターンの検出に必要とされる光を照射する。光源20は、光源駆動部40から供給される制御信号に応じて点灯状態が制御される。
センサ30は、符号板10のトラックに設けられたパターンを検出する。センサ30の受光面は、符号板10のトラックが設けられた面と対向して配置される。センサ30の受光面には、2次元の格子上に配置された光検出素子(受光素子)が設けられる。そして、その光検出素子は、符号板10に設けられたトラックの接線方向と平行、又は、そのトラックに沿って、符号板10のトラックが配置された位置と対向するように設けられる。なお、センサ30は、例えば、CCD(Charge Coupled Device)、C−MOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)センサなどが適用できる。
センサ30の各光検出素子は、受光量に応じた光電変換を行い、それぞれの光量に対応した電圧によって示されるアナログ信号に変換する。各光検出素子には、例えば、C−MOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)センサなどが適用できる。C−MOSセンサの場合における光検出素子は、フォトダイオード、電荷電圧変換部、セレクタスイッチなどを含んで構成される。センサ30の各光検出素子は、光源駆動部40から供給される制御信号に応じて選択され、選択された光検出素子が出力する情報から受光した光量を検出できる。
Returning to FIG. 1, the light source 20 emits light necessary for detecting a pattern provided on the track of the code plate 10. The lighting state of the light source 20 is controlled according to a control signal supplied from the light source driving unit 40.
The sensor 30 detects a pattern provided on the track of the code plate 10. The light receiving surface of the sensor 30 is disposed to face the surface of the code plate 10 on which the tracks are provided. The light receiving surface of the sensor 30 is provided with a light detecting element (light receiving element) arranged on a two-dimensional lattice. The light detection element is provided so as to be parallel to the tangential direction of the track provided on the code plate 10 or to face the position where the track of the code plate 10 is arranged along the track. As the sensor 30, for example, a charge coupled device (CCD), a complementary metal oxide semiconductor (C-MOS) sensor, or the like can be applied.
Each light detection element of the sensor 30 performs photoelectric conversion according to the amount of received light, and converts it into an analog signal indicated by a voltage corresponding to each light quantity. For example, a C-MOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) sensor can be applied to each light detection element. In the case of the C-MOS sensor, the light detection element includes a photodiode, a charge voltage conversion unit, a selector switch, and the like. Each light detection element of the sensor 30 is selected according to a control signal supplied from the light source driving unit 40, and can detect the amount of light received from information output from the selected light detection element.

光源駆動部40は、符号板10のトラックに設けられたパターンの検出に必要とされる光を、光源20によって照射させるための制御信号を供給する。
センサ駆動部50は、演算処理部90からの指示により、センサ30の受光面において選択された領域に含まれる光検出素子の受光量を検出するための制御信号及びタイミング信号をセンサ30に供給する。
センサ駆動部50は、選択された領域に対応する範囲に含まれる光検出素子に対して、受光量に応じて蓄積された電荷量に応じた信号電圧を順に出力する。
増幅部60は、センサ30における光検出素子によって検出された受光量に応じた信号を増幅する。増幅部60は、センサ30が出力した信号レベルに応じて、適当な信号レベルとなるように増幅率が調整される。
The light source driving unit 40 supplies a control signal for causing the light source 20 to emit light necessary for detecting a pattern provided on the track of the code plate 10.
The sensor driving unit 50 supplies the sensor 30 with a control signal and a timing signal for detecting the amount of light received by the photodetecting elements included in the selected region on the light receiving surface of the sensor 30 in accordance with an instruction from the arithmetic processing unit 90. .
The sensor driving unit 50 sequentially outputs a signal voltage corresponding to the amount of charge accumulated according to the amount of received light to the light detection elements included in the range corresponding to the selected region.
The amplifying unit 60 amplifies a signal corresponding to the amount of received light detected by the light detection element in the sensor 30. The amplification unit 60 adjusts the amplification factor according to the signal level output from the sensor 30 so as to obtain an appropriate signal level.

記憶部(メモリ)70は、外部から供給された動作モードの指定情報、判定処理に用いる基準値、センサ30の状態に応じた設定情報などを変数領域に記憶する。記憶部70は、半導体メモリ素子に限らず、状態を記憶するラッチ回路などであってもよい。
演算処理部90は、エンコーダ1における各種設定を行い、動作時には各部への制御指示を出力し、センサ30において検出された光量に基づいて検出した位置情報を生成して出力する。演算処理部90は、入出力部91、光源制御部92、センサ制御部93、信号検出部94及び位置検出部95を備える。
入出力部91は、外部から供給される設定情報に応じて、エンコーダ1の動作を定める初期値、閾値などの設定情報を受け、メモリ70に記録する。また、入出力部91は、外部から設定状態などを参照する指示が供給されると、該当する情報を参照し出力する。
光源制御部92は、入出力部91からの指示に基づき光源20の発光状態を制御する制御信号を光源駆動部40に供給する。
センサ制御部93は、入出力部91からの指示に基づきセンサ30から出力させる情報を選択する制御信号をセンサ駆動部50に供給する。
信号検出部94は、センサ30によって検出された信号に基づいた情報が、増幅部60を経て供給される。信号検出部94は、その情報に対して信号変換処理を行う。信号変換処理としては、例えば、フィルタリング処理、アナログデジタル変換処理などがある。
位置検出部95は、信号処理部94によって処理された結果に基づいて、判定処理を行う。判定処理としては、予め定められた基準値と比較する判定処理などがある。
The storage unit (memory) 70 stores operation mode designation information supplied from the outside, a reference value used for determination processing, setting information according to the state of the sensor 30, and the like in a variable area. The storage unit 70 is not limited to a semiconductor memory element, and may be a latch circuit that stores a state.
The arithmetic processing unit 90 performs various settings in the encoder 1, outputs a control instruction to each unit during operation, and generates and outputs position information detected based on the amount of light detected by the sensor 30. The arithmetic processing unit 90 includes an input / output unit 91, a light source control unit 92, a sensor control unit 93, a signal detection unit 94, and a position detection unit 95.
The input / output unit 91 receives setting information such as an initial value and a threshold for determining the operation of the encoder 1 according to setting information supplied from the outside, and records it in the memory 70. Further, when an instruction to refer to a setting state or the like is supplied from the outside, the input / output unit 91 refers to and outputs corresponding information.
The light source control unit 92 supplies a control signal for controlling the light emission state of the light source 20 to the light source driving unit 40 based on an instruction from the input / output unit 91.
The sensor control unit 93 supplies a control signal for selecting information to be output from the sensor 30 to the sensor driving unit 50 based on an instruction from the input / output unit 91.
The signal detection unit 94 is supplied with information based on the signal detected by the sensor 30 via the amplification unit 60. The signal detection unit 94 performs signal conversion processing on the information. Examples of signal conversion processing include filtering processing and analog-digital conversion processing.
The position detection unit 95 performs determination processing based on the result processed by the signal processing unit 94. Examples of the determination process include a determination process for comparing with a predetermined reference value.

次に、図を参照し、上記した各構成の配置を説明する。
図3は、符号板10、光源20及びセンサ30の配置を示す側面図である。
この図3に示される符号板10には、下側の面に図2に示したパターン11と12とが設けられたトラックが配置される。センサ30の受光面31は、パターン11と12とが配置された面と平行で且つ対向する状態で配置される。光源20は、光軸を符号板10の方に向けて、センサ30の受光面31上に配置される。光源20から射出される光は、符号板10に向けて照射され、符号板10のパターン11と12とを介した各反射光が、センサ30の受光面31にそれぞれ照射される。
Next, with reference to the drawings, the arrangement of each component described above will be described.
FIG. 3 is a side view showing the arrangement of the code plate 10, the light source 20 and the sensor 30.
The code plate 10 shown in FIG. 3 is provided with a track provided with the patterns 11 and 12 shown in FIG. 2 on the lower surface. The light receiving surface 31 of the sensor 30 is arranged in a state parallel to and facing the surface on which the patterns 11 and 12 are arranged. The light source 20 is disposed on the light receiving surface 31 of the sensor 30 with the optical axis directed toward the code plate 10. Light emitted from the light source 20 is irradiated toward the code plate 10, and each reflected light through the patterns 11 and 12 of the code plate 10 is applied to the light receiving surface 31 of the sensor 30.

図4は、センサ30の受光面31を示す上面図である。
この図4は、パターン11、12からの反射光を検出するための光検出素子が選択された領域32と33、及び、受光面31上に照射される光によって生じる光量の変化を模式的に示す。
例えば、反射率が低い部分で反射した光は、符号板10に設けられたパターン11、12によって吸収され、反射光によって受光面31上に照射される光量が低下する。この図4では、反射率の低いパターンに応じて四角い領域で示された影が形成される。
パターン11とパターン12とは、符号板10の回転軸を基準として各パターンがそれぞれ半径の異なる同周上に設けられることにより、符号板10上に並行するパターンになる。光源20は、パターン11とパターン12との間に形成される隙間部分と対向する受光面31上に、配置される。光源20の光軸は、符号板10の回転軸と平行であり、パターン11とパターン12との間に形成される隙間部分を通るように設ける。すなわち、光源20は、並行して設けられるパターン11とパターン12との間の隙間と対向する位置に設けられる。光源20をそのような位置に配置すると、図に示されるように受光面31において、光源20を挟んでパターン11とパターン12との影が投影される。
FIG. 4 is a top view showing the light receiving surface 31 of the sensor 30.
FIG. 4 schematically shows the change in the amount of light caused by the light irradiated on the light receiving surface 31 and the regions 32 and 33 where the light detection elements for detecting the reflected light from the patterns 11 and 12 are selected. Show.
For example, light reflected by a portion having a low reflectance is absorbed by the patterns 11 and 12 provided on the code plate 10, and the amount of light irradiated on the light receiving surface 31 by the reflected light is reduced. In FIG. 4, a shadow indicated by a square area is formed in accordance with a pattern having a low reflectance.
The patterns 11 and 12 are parallel patterns on the code plate 10 by providing each pattern on the same circumference with different radii with the rotation axis of the code plate 10 as a reference. The light source 20 is disposed on the light receiving surface 31 that faces the gap formed between the pattern 11 and the pattern 12. The optical axis of the light source 20 is parallel to the rotation axis of the code plate 10 and is provided so as to pass through a gap formed between the pattern 11 and the pattern 12. That is, the light source 20 is provided at a position facing the gap between the pattern 11 and the pattern 12 provided in parallel. When the light source 20 is arranged at such a position, as shown in the figure, the shadow of the pattern 11 and the pattern 12 is projected on the light receiving surface 31 with the light source 20 interposed therebetween.

図5は、本実施形態におけるセンサ30の受光面31を示す拡大図である。
また、図6は、符号板10、光源20及びセンサ30の断面図である。光源20が発光している状態を示す。
センサ30の受光面31において、光検出素子が2次元に配列されている。
また、本実施形態における受光面31は、光が受光できない遮光領域310と、光を受光できる領域320とを有する。遮光領域310は、センサ30の受光面31に透過性のない遮光膜を設けることによって形成できる。その結果、センサ30の受光面31に配置される光検出素子のうち、受光できない光検出素子311と、受光できる光検出素子321と、を受光面31に設けることができる。この光検出素子311と光検出素子312とは、同じセンサ30として形成された同等の特性を有するものであるが、受光面31上に設けられた遮光領域310の遮光膜によって、遮光されるか否かが異なる。
光源20は、遮光領域310と、光を受光できる領域320との間に配置される。このような配置とすることにより、光源20に給電する配線を遮光領域上に設けることが可能となる。また、光源20を配置した場所は遮光領域310となる。
FIG. 5 is an enlarged view showing the light receiving surface 31 of the sensor 30 in the present embodiment.
FIG. 6 is a cross-sectional view of the code plate 10, the light source 20, and the sensor 30. A state in which the light source 20 emits light is shown.
On the light receiving surface 31 of the sensor 30, the light detection elements are two-dimensionally arranged.
In addition, the light receiving surface 31 in the present embodiment includes a light shielding region 310 where light cannot be received and a region 320 where light can be received. The light shielding region 310 can be formed by providing a light-shielding film that does not transmit light on the light receiving surface 31 of the sensor 30. As a result, among the light detecting elements arranged on the light receiving surface 31 of the sensor 30, the light detecting element 311 that cannot receive light and the light detecting element 321 that can receive light can be provided on the light receiving surface 31. The light detection element 311 and the light detection element 312 have the same characteristics formed as the same sensor 30, but are shielded by the light shielding film of the light shielding region 310 provided on the light receiving surface 31. No is different.
The light source 20 is disposed between the light shielding region 310 and the region 320 that can receive light. With such an arrangement, it is possible to provide a wiring for supplying power to the light source 20 on the light shielding region. The place where the light source 20 is arranged is a light shielding region 310.

センサ30は、光検出素子が光を受光している状態(第2状態)及び受光していない状態(第1状態)においても暗電流が生じて、その暗電流によって検出信号のレベルが変化する。この暗電流の大きさは、センサ30の温度に依存し、高温になるほど高くなる。その暗電流の変化率を温度係数(温度勾配)で示すと、例えば、CCDであれば、温度が8℃変化すると暗電流の値が2倍になり、CMOSセンサあれば、温度が5から6℃変化すると暗電流の値が2倍になる。適応する温度範囲が広い場合には、暗電流の値が大きく変化する。
エンコーダ1は、このような暗電流による影響を回避して、受光している状態(第2状態)と受光していない状態(第1状態)とを正しく判定する必要がある。
そこで、広範囲な温度範囲に適応させるためには、センサ30からの信号を所定の基準値と比較する方法で判定すると、ノイズマージンが低下して誤検出が生じる確率が高まる。そのため、センサ30によって生成された信号から、温度によって変化する暗電流によるオフセット電圧を減算する補正を行うことにより、その温度における暗電流の影響を低減させて、検出信号を得ることができる。つまり、本実施形態におけるエンコーダ1は、暗電流によって生じるオフセット電圧を基準とする補正を行い、受光量に応じて検出される検出信号を得ることとする。従って、本実施形態におけるエンコーダ1は、複数の光検出素子(受光素子)のうち少なくとも一部が、光を受光していない第1状態において、センサ30から得られる第1のセンサ信号を用いて、光検出素子321がパターンを検出する第2状態においてセンサ30から得られる第2のセンサ信号に対して補正を行う。
The sensor 30 generates a dark current even when the light detection element receives light (second state) and does not receive light (first state), and the level of the detection signal changes due to the dark current. . The magnitude of the dark current depends on the temperature of the sensor 30 and increases as the temperature increases. When the change rate of the dark current is expressed by a temperature coefficient (temperature gradient), for example, in the case of a CCD, when the temperature changes by 8 ° C., the value of the dark current is doubled, and in the case of a CMOS sensor, the temperature is 5 to 6 When the temperature changes, the dark current value doubles. When the applicable temperature range is wide, the value of dark current changes greatly.
The encoder 1 needs to avoid the influence of such dark current and correctly determine the state of receiving light (second state) and the state of not receiving light (first state).
Therefore, in order to adapt to a wide temperature range, if the signal from the sensor 30 is determined by a method of comparing with a predetermined reference value, the noise margin decreases and the probability of erroneous detection increases. Therefore, by performing correction by subtracting the offset voltage due to the dark current that varies with temperature from the signal generated by the sensor 30, it is possible to reduce the influence of the dark current at that temperature and obtain a detection signal. That is, the encoder 1 in the present embodiment performs correction based on the offset voltage generated by the dark current, and obtains a detection signal that is detected according to the amount of received light. Therefore, the encoder 1 according to the present embodiment uses the first sensor signal obtained from the sensor 30 in the first state where at least some of the plurality of light detection elements (light receiving elements) are not receiving light. The second sensor signal obtained from the sensor 30 is corrected in the second state in which the light detection element 321 detects the pattern.

また、センサ30の暗電流を検出して、その検出値を標準温度の場合の標準暗電流の値と比較することにより、温度に応じた暗電流の値から標準暗電流の値を減算して得られた暗電流の差を暗電流偏差とする。その暗電流偏差の値から、標準温度からの温度差を算出することができる。この演算処理によって算出される温度差に基づいて、推定動作温度を算出する。
得られた暗電流偏差に基づいて、標準温度からの温度差を算出する処理は、線形演算で定義された演算式、或いは、対応関係が定められたテーブルを参照して行うことができる。暗電流偏差と、標準温度からの温度差との相互の対応関係を定めたテーブルは、予めメモリ70に記憶しておき、演算処理部90が、暗電流偏差の値をキーとして参照し、温度差の値を得る。
Also, by detecting the dark current of the sensor 30 and comparing the detected value with the standard dark current value at the standard temperature, the value of the standard dark current is subtracted from the dark current value according to the temperature. The obtained dark current difference is defined as dark current deviation. The temperature difference from the standard temperature can be calculated from the dark current deviation value. An estimated operating temperature is calculated based on the temperature difference calculated by this calculation process.
The process of calculating the temperature difference from the standard temperature based on the obtained dark current deviation can be performed with reference to an arithmetic expression defined by a linear operation or a table in which a correspondence relationship is determined. A table that defines the correspondence between the dark current deviation and the temperature difference from the standard temperature is stored in the memory 70 in advance, and the arithmetic processing unit 90 refers to the value of the dark current deviation as a key to determine the temperature. Get the difference value.

以上に示した処理により、エンコーダ1は、センサ30における暗電流を検出して、動作温度に応じて変化する暗電流の影響を低減することができる。また、そのときの動作温度を暗電流の値に基づいて導くことができるため、個別の温度センサを設けることなく温度検出が可能となる。そして、エンコーダ1は、動作温度範囲を超える状態などの異常状態を検出することが可能となり、高温動作時の信頼性を向上させることができる。   Through the processing described above, the encoder 1 can detect the dark current in the sensor 30 and reduce the influence of the dark current that changes according to the operating temperature. Further, since the operating temperature at that time can be derived based on the value of the dark current, the temperature can be detected without providing a separate temperature sensor. The encoder 1 can detect an abnormal state such as a state exceeding the operating temperature range, and can improve reliability during high-temperature operation.

(第2実施形態)
次に、図に基づいて、暗電流の検出方法における別の実施態様を説明する。図1から図6と同じ構成は、同じ符号を付す。
図7は、符号板10、光源20及びセンサ30の断面図であり、光源20が消灯している状態を示す。すなわち、センサ30の受光面に設けられた各光検出素子は、遮光膜などによって受光面を覆うことなく、受光しない状態(第1状態)となる。
本実施形態におけるエンコーダ1は、光源を消灯している期間に、センサ30の出力信号(第1のセンサ信号)を検出することにより、暗電流を検出できる。
光源20は、光源制御部92からの指示に基づいて、光源駆動部40から断続的な点灯を繰り返すように駆動される。したがって、演算処理部90は、光源20を消灯している期間のセンサ30の信号を検出し、光源20を発光させた期間に検出されたセンサ30の信号(第2のセンサ信号)の補正を行う。
演算処理部90は、光源20を消灯している期間のセンサ30の信号を検出することにより、暗電流の値を検出可能である。また、光源20を発光させた状態(第2状態)の検出に用いるセンサ30の光検出素子321を暗電流の検出にも用いることができる。同じ光検出素子321を用いて、暗電流を測定できることから素子の違いによる検出誤差を低減させることができる。
(Second Embodiment)
Next, another embodiment of the dark current detection method will be described with reference to the drawings. The same components as those in FIGS. 1 to 6 are denoted by the same reference numerals.
FIG. 7 is a cross-sectional view of the code plate 10, the light source 20, and the sensor 30, and shows a state where the light source 20 is turned off. That is, each light detection element provided on the light receiving surface of the sensor 30 is in a state (first state) in which no light is received without covering the light receiving surface with a light shielding film or the like.
The encoder 1 in the present embodiment can detect the dark current by detecting the output signal (first sensor signal) of the sensor 30 during the period when the light source is turned off.
The light source 20 is driven to repeat intermittent lighting from the light source driving unit 40 based on an instruction from the light source control unit 92. Therefore, the arithmetic processing unit 90 detects the signal of the sensor 30 during the period when the light source 20 is turned off, and corrects the signal (second sensor signal) of the sensor 30 detected during the period when the light source 20 is caused to emit light. Do.
The arithmetic processing unit 90 can detect the value of the dark current by detecting the signal of the sensor 30 during the period when the light source 20 is turned off. Further, the light detection element 321 of the sensor 30 used for detecting the state where the light source 20 emits light (second state) can also be used for detecting the dark current. Since the dark current can be measured using the same light detection element 321, detection errors due to differences in elements can be reduced.

なお、光源20は、発光と消灯とを繰り返し動作させて用いることにより、消灯期間内に暗電流を検出する期間を設けることができ、センサ30に特別な処理を行うことなく実施可能である。
暗電流の検出期間tdcを、光源20の発光時間tONと同じ長さ(tdc=tON)とすることにより、光源20の発光時間に影響を受ける暗電流の量を相殺することができる。
Note that the light source 20 can be used by repeatedly operating light emission and extinction to provide a period for detecting a dark current within the extinction period, and can be implemented without performing special processing on the sensor 30.
By setting the dark current detection period t dc to the same length as the light emission time t ON of the light source 20 (t dc = t ON ), the amount of dark current affected by the light emission time of the light source 20 can be offset. it can.

(第3実施形態)
次に、暗電流の検出方法における別の実施態様を説明する。図1から図7と同じ構成は、同じ符号を付す。
光源20の発光期間tONを短くすることにより、センサ30に対して符号板10の移動によるブレの量を少なくできることから、発光期間tONは消灯期間tOFFに対して充分短い時間が選択される。そして、暗電流の検出期間tdcを、光源20の発光時間tONのN倍(ただし、Nは、(N×tON)<tOFF)の長さとして、検出された暗電流の値に1/Nを乗算することにより、発光期間と同じ時間に相当する暗電流の影響を算出することができる。算出されたその値を用いて、光源20の発光時間に影響を受ける暗電流の量と相殺することができる。このような処理を行うことにより、暗電流検出期間に混入する雑音の影響を低減することが可能となる。ただし、暗電流の検出期間tdcを、光源20の発光時間tONをN倍の長さとしても回路上の飽和は生じないものとする。
(Third embodiment)
Next, another embodiment of the dark current detection method will be described. The same components as those in FIGS. 1 to 7 are denoted by the same reference numerals.
By shortening the emission time t ON of the light source 20, because it can reduce the amount of blur due to the movement of the code plate 10 to the sensor 30, the light emission period t ON is sufficiently short time is selected for the light-off period t OFF The The dark current detection period t dc is set to a length of N times the light emission time t ON of the light source 20 (where N is (N × t ON ) <t OFF ), and the detected dark current value is set. By multiplying by 1 / N, the influence of dark current corresponding to the same time as the light emission period can be calculated. The calculated value can be used to offset the amount of dark current that is affected by the light emission time of the light source 20. By performing such processing, the influence of noise mixed in the dark current detection period can be reduced. However, even if the dark current detection period t dc and the light emission time t ON of the light source 20 are set to N times as long, saturation on the circuit does not occur.

(第4実施形態)
次に、暗電流の検出方法における別の実施態様を説明する。図1から図7と同じ構成は、同じ符号を付す。
光源駆動部40は、演算処理部90からの制御にしたがって、各パターンの位置情報を検出する検出サイクルの周期に同期させて、光源20を発光させる期間と消灯させる期間との長さをそれぞれ変更する。これにより、繰り返して行われる各パターンの検出サイクルと暗電流判定のための消灯期間とが干渉しないことから、検出サイクルを中断することなく連続して行うことができる。そして、検出サイクルを切り替えるタイミングにあわせて、光源20の発光と消灯との期間を変更できる。
(Fourth embodiment)
Next, another embodiment of the dark current detection method will be described. The same components as those in FIGS. 1 to 7 are denoted by the same reference numerals.
The light source driving unit 40 changes the lengths of the period during which the light source 20 is turned on and the period during which the light source 20 is turned off in synchronization with the cycle of the detection cycle for detecting the position information of each pattern in accordance with the control from the arithmetic processing unit 90. To do. Thereby, since the detection cycle of each pattern performed repeatedly and the light extinction period for dark current determination do not interfere, it can carry out continuously without interrupting a detection cycle. And according to the timing which switches a detection cycle, the period of light emission and light extinction of the light source 20 can be changed.

なお、本発明は、上記の各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で変更可能である。   The present invention is not limited to the above embodiments, and can be modified without departing from the spirit of the present invention.

なお、本実施形態におけるエンコーダ1の演算処理部90は、複数の光検出素子(受光素子)のうち少なくとも一部が、光を受光していない第1状態において、センサ30から得られる第1のセンサ信号を用いて、光検出素子321がパターンを検出する第2状態においてセンサ30から得られる第2のセンサ信号に対して補正を行う。   Note that the arithmetic processing unit 90 of the encoder 1 according to the present embodiment has a first state obtained from the sensor 30 in a first state where at least some of the plurality of light detection elements (light receiving elements) are not receiving light. Using the sensor signal, the second sensor signal obtained from the sensor 30 is corrected in the second state in which the light detection element 321 detects the pattern.

また、本実施形態におけるエンコーダ1は、複数の光検出素子は、第1状態として遮光される光検出素子311と、光検出素子311と同じ基板上に形成され、第2状態として前記パターンを検出する光検出素子321とを備える。   In the encoder 1 according to this embodiment, the plurality of light detection elements are formed on the same substrate as the light detection element 311 that is shielded as the first state, and detects the pattern as the second state. And a photodetecting element 321.

また、本実施形態におけるエンコーダ1は、光源20は、光検出素子311と光検出素子312との間に配置される。   In the encoder 1 according to this embodiment, the light source 20 is disposed between the light detection element 311 and the light detection element 312.

また、本実施形態におけるエンコーダ1は、演算処理部90は、光源20を消灯している期間の第1のセンサ信号を検出し、光源10を発光させた期間に検出された第2のセンサ信号の補正を行う。   In addition, in the encoder 1 according to the present embodiment, the arithmetic processing unit 90 detects the first sensor signal during the period when the light source 20 is turned off, and the second sensor signal detected during the period during which the light source 10 is caused to emit light. Perform the correction.

また、本実施形態におけるエンコーダ1は、光源20の発光と消灯とを繰り返させる光源駆動部は、パターンの検出に同期させて光源の発光と消灯との期間を変更する。   In the encoder 1 of the present embodiment, the light source driving unit that repeats light emission and extinction of the light source 20 changes the period of light emission and extinction of the light source in synchronization with pattern detection.

また、本実施形態におけるエンコーダ1は、パターンは、等間隔に配置された第1のパターンと、センサ30と符号板10との位置関係を絶対位置として示す位置情報を符号化した第2のパターンとを含んで形成される。   In the encoder 1 according to the present embodiment, the pattern is a first pattern that is arranged at equal intervals, and a second pattern that is encoded position information that indicates the positional relationship between the sensor 30 and the code plate 10 as an absolute position. And formed.

また、本実施形態におけるエンコーダ1は、光源20は、並行して設けられる第1のパターンと第2のパターンとに対向する位置に設けられる。   In the encoder 1 according to the present embodiment, the light source 20 is provided at a position facing the first pattern and the second pattern provided in parallel.

また、本実施形態におけるエンコーダ1は、光源20は、センサ30の受光面31上に配置される。   In the encoder 1 according to the present embodiment, the light source 20 is disposed on the light receiving surface 31 of the sensor 30.

また、本実施形態におけるエンコーダ1は、演算処理部90は、第1のセンサ信号の変化量に基づいて、周囲温度の変化を検出する。   In the encoder 1 according to the present embodiment, the arithmetic processing unit 90 detects a change in the ambient temperature based on the change amount of the first sensor signal.

また、本実施形態におけるエンコーダ1は、演算処理部90は、第1のセンサ信号に基づいて、前記第2のセンサ信号に含まれる暗電流成分を減算する。   In the encoder 1 according to the present embodiment, the arithmetic processing unit 90 subtracts the dark current component included in the second sensor signal based on the first sensor signal.

また、本実施形態におけるエンコーダ1は、演算処理部90は、第1のセンサ信号の増加に応じて、第2のセンサ信号に対する増幅率を高くする。   In the encoder 1 according to the present embodiment, the arithmetic processing unit 90 increases the amplification factor for the second sensor signal in accordance with the increase in the first sensor signal.

また、本実施形態におけるエンコーダ1は、第2のセンサ信号を判定する閾値レベルは、第1のセンサ信号の増加に応じて増加する値である。   In the encoder 1 according to the present embodiment, the threshold level for determining the second sensor signal is a value that increases as the first sensor signal increases.

また、本実施形態におけるエンコーダ1は、第1のセンサ信号と第2のセンサ信号とに基づいて異常情報を出力する。
本実施形態に示す光学式エンコーダは、例えば、光を検知するセンサにイメージセンサを利用する。そのイメージセンサ内の一部の画素或いは全ての画素の暗電流を監視することにより、光学式エンコーダの高温動作時の誤検出を防止するとともに、故障に繋がる異常動作を回避する。
また、これまで一般的に設けられていた温度センサは、本実施形態における温度検出には利用しないため、削除することが可能となる。エンコーダ本体に搭載する部品点数を削減し、小型化が可能となるとともに、部品点数削減による信頼度向上が行える。
In addition, the encoder 1 in the present embodiment outputs abnormality information based on the first sensor signal and the second sensor signal.
The optical encoder shown in this embodiment uses an image sensor as a sensor for detecting light, for example. By monitoring the dark current of some or all of the pixels in the image sensor, erroneous detection during high temperature operation of the optical encoder is prevented, and abnormal operation leading to failure is avoided.
In addition, the temperature sensor that has been generally provided so far is not used for temperature detection in the present embodiment, and thus can be deleted. The number of parts to be mounted on the encoder body can be reduced and the size can be reduced, and the reliability can be improved by reducing the number of parts.

1 エンコーダ
10 符号板
20 光源
30 センサ
90 演算処理部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Encoder 10 Code | symbol plate 20 Light source 30 Sensor 90 Arithmetic processing part

Claims (13)

パターンを有する符号板と、
前記符号板に光を照射する光源と、
複数の受光素子を有し、前記パターンを検出するセンサと、
前記複数の受光素子のうち少なくとも一部が前記光を受光していない第1状態において前記センサから得られる第1のセンサ信号を用いて、前記受光素子が前記パターンを検出する第2状態において前記センサから得られる第2のセンサ信号に対して補正を行う演算処理部と
を備えることを特徴とするエンコーダ。
A sign plate having a pattern;
A light source for irradiating the code plate with light;
A sensor having a plurality of light receiving elements and detecting the pattern;
In a second state in which the light receiving element detects the pattern using a first sensor signal obtained from the sensor in a first state in which at least some of the plurality of light receiving elements do not receive the light. An encoder comprising: an arithmetic processing unit that performs correction on a second sensor signal obtained from the sensor.
請求項1に記載のエンコーダであって、
前記複数の受光素子は、
前記第1状態として遮光される第1の受光素子と
前記第1の受光素子と同じ基板上に形成され、前記第2状態として前記パターンを検出する第2の受光素子と、
を備えることを特徴とするエンコーダ。
The encoder according to claim 1, wherein
The plurality of light receiving elements are:
A first light-receiving element that is shielded from light as the first state; a second light-receiving element that is formed on the same substrate as the first light-receiving element and detects the pattern as the second state;
An encoder comprising:
請求項2に記載のエンコーダであって、
前記光源は、前記第1の受光素子と前記第2の受光素子との間に配置される
ことを特徴とするエンコーダ。
The encoder according to claim 2, wherein
The encoder is characterized in that the light source is disposed between the first light receiving element and the second light receiving element.
請求項1から請求項3のいずれかに記載のエンコーダであって、
前記演算処理部は、
前記光源を消灯している期間の前記第1のセンサ信号を検出し、前記光源を発光させた期間に検出された前記第2のセンサ信号の補正を行う
ことを特徴とするエンコーダ。
The encoder according to any one of claims 1 to 3,
The arithmetic processing unit includes:
An encoder that detects the first sensor signal during a period when the light source is turned off and corrects the second sensor signal detected during a period when the light source is caused to emit light.
請求項1から請求項4のいずれかに記載のエンコーダであって、
前記光源の発光と消灯とを繰り返させる光源駆動部を備え、
前記光源駆動部は、
前記パターンの検出に同期させて前記光源の発光と消灯との期間を変更する
ことを特徴とするエンコーダ。
The encoder according to any one of claims 1 to 4,
A light source driving unit that repeats light emission and extinction of the light source,
The light source driving unit is
An encoder that changes a period of light emission and extinction of the light source in synchronization with detection of the pattern.
請求項1から請求項5のいずれかに記載のエンコーダであって、
前記パターンは、
等間隔に配置された第1のパターンと、前記センサと前記符号板との位置関係を絶対位置として示す位置情報を符号化した第2のパターンとを含んで形成される
ことを特徴とするエンコーダ。
An encoder according to any one of claims 1 to 5,
The pattern is
An encoder comprising: a first pattern arranged at equal intervals; and a second pattern encoded with position information indicating a positional relationship between the sensor and the code plate as an absolute position. .
請求項6に記載のエンコーダであって、
前記光源は、
並行して設けられる前記第1のパターンと前記第2のパターンとに対向する位置に設けられる
ことを特徴とするエンコーダ。
The encoder according to claim 6, wherein
The light source is
An encoder, wherein the encoder is provided at a position facing the first pattern and the second pattern provided in parallel.
請求項1から請求項7のいずれかに記載のエンコーダであって、
前記光源は、前記センサの受光面上に配置される
ことを特徴とするエンコーダ。
The encoder according to any one of claims 1 to 7,
The encoder, wherein the light source is disposed on a light receiving surface of the sensor.
請求項1から請求項8のいずれかに記載のエンコーダであって、
前記演算処理部は、
前記第1のセンサ信号の変化量に基づいて、周囲温度の変化を検出する
ことを特徴とするエンコーダ。
The encoder according to any one of claims 1 to 8,
The arithmetic processing unit includes:
An encoder that detects a change in ambient temperature based on a change amount of the first sensor signal.
請求項1から請求項9のいずれかに記載のエンコーダであって、
前記演算処理部は、
前記第1のセンサ信号に基づいて、前記第2のセンサ信号に含まれる暗電流成分を減算する
ことを特徴とするエンコーダ。
An encoder according to any one of claims 1 to 9,
The arithmetic processing unit includes:
An encoder characterized by subtracting a dark current component contained in the second sensor signal based on the first sensor signal.
請求項1から請求項10のいずれかに記載のエンコーダであって、
前記演算処理部は、
前記第1のセンサ信号の増加に応じて、前記第2のセンサ信号に対する増幅率を高くする
ことを特徴とするエンコーダ。
The encoder according to any one of claims 1 to 10,
The arithmetic processing unit includes:
An encoder that increases an amplification factor for the second sensor signal in accordance with an increase in the first sensor signal.
請求項1から請求項11のいずれかに記載のエンコーダであって、
前記第2のセンサ信号を判定する閾値レベルは、前記第1のセンサ信号の増加に応じて増加する値である
ことを特徴とするエンコーダ。
The encoder according to any one of claims 1 to 11,
The threshold level for determining the second sensor signal is a value that increases with an increase in the first sensor signal.
請求項1から請求項12のいずれかに記載のエンコーダであって、
前記第1のセンサ信号と前記第2のセンサ信号とに基づいて異常情報を出力する
ことを特徴とするエンコーダ。
The encoder according to any one of claims 1 to 12,
An encoder that outputs abnormality information based on the first sensor signal and the second sensor signal.
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