JP2011153858A - Display processing apparatus for x-ray analysis - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、電子線プローブマイクロアナライザ、走査電子顕微鏡、蛍光Ｘ線分析装置等、電子線やＸ線などを励起線として試料から放出されるＸ線を検出するＸ線分析装置において、マッピング分析の結果を表示するための表示処理装置に関する。 The present invention relates to an X-ray analyzer for detecting X-rays emitted from a sample by using an electron beam or an X-ray as an excitation ray, such as an electron probe microanalyzer, a scanning electron microscope, or a fluorescent X-ray analyzer. The present invention relates to a display processing device for displaying a result.
電子線プローブマイクロアナライザ（以下、「ＥＰＭＡ」と称す）では、マッピング分析を行うことにより、試料上の２次元領域内の微小領域毎に含有元素の種類と量とを調べることができる（特許文献１など参照）。マッピング分析で得られた結果を解析する際には、２元素又は３元素についての特性Ｘ線強度又はその強度から計算される元素濃度の散布図を作成し、その図上のプロット点の分布から、試料に含まれる化合物の種類や含有割合を確認する手法、即ち、相解析（相分析も同義）が頻繁に用いられる。 With an electron probe microanalyzer (hereinafter referred to as “EPMA”), by performing mapping analysis, the type and amount of contained elements can be examined for each minute region in a two-dimensional region on a sample (Patent Literature). 1 etc.). When analyzing the results obtained by mapping analysis, create a scatter plot of the characteristic X-ray intensity for two or three elements or the element concentration calculated from the intensity, and from the distribution of the plot points on that figure A method of confirming the type and content ratio of a compound contained in a sample, that is, phase analysis (synonymous with phase analysis) is frequently used.
図１０は一般的な２元散布図の表示例であり、横軸にＡｌの特性Ｘ線強度、縦軸にＣａの特性Ｘ線強度を割り当てている。図上の１つのデータ点は試料上の測定対象である２次元領域内の或る１箇所の微小領域に対応している。ここでは、Ａｌ、Ｃａの２元素の少なくともいずれか一方を含む化合物が試料に複数含まれることで、データ点の密度が高い領域が２元散布図に複数現れている。 FIG. 10 is a display example of a general binary scatter diagram, in which the characteristic X-ray intensity of Al is assigned to the horizontal axis and the characteristic X-ray intensity of Ca is assigned to the vertical axis. One data point on the drawing corresponds to one minute region in the two-dimensional region to be measured on the sample. Here, a plurality of compounds containing at least one of the two elements of Al and Ca are included in the sample, so that a plurality of regions where the density of data points is high appear in the binary scatter diagram.
図１１は３元散布図（３元系状態図とも呼ばれる）の表示例とその説明図である（特許文献２、非特許文献１など参照）。図１１（ｂ）に示すように、３元散布図は正三角形状のグラフの各辺をそれぞれ異なる元素の強度軸（Ａ軸、Ｂ軸、Ｃ軸）に割り当てたもので、マッピング分析における或る微小領域のデータを対応する強度位置にプロットする。このプロット位置を一意に定めるためには、データ点毎に３元素の強度の合計を規格化する必要がある。そこで、３元素の強度の合計が１００％になるように各元素の強度を規格化する。即ち、Ａ軸、Ｂ軸、Ｃ軸の強度軸はそれぞれ０〜１００％の範囲を表し、３元素の強度をそれぞれＩ1、Ｉ2、Ｉ3、３元素の強度の和をＩsumとすると、データ点のプロット位置は（Ｉ1/Ｉsum、Ｉ2/Ｉsum、Ｉ3/Ｉsum）である。 FIG. 11 is a display example of a ternary scatter diagram (also referred to as a ternary system state diagram) and an explanatory diagram thereof (see Patent Document 2, Non-Patent Document 1, etc.). As shown in FIG. 11 (b), the ternary scatter diagram is obtained by assigning each side of the equilateral triangular graph to the intensity axes (A axis, B axis, C axis) of different elements. And plot the data of the minute region at the corresponding intensity position. In order to uniquely determine the plot position, it is necessary to standardize the total strength of the three elements for each data point. Therefore, the strength of each element is normalized so that the total strength of the three elements is 100%. That is, the A-axis, B-axis, and C-axis intensity axes each range from 0 to 100%, and the intensity of the three elements is I 1 , I 2 , I 3 , and the sum of the intensity of the three elements is I sum. The plot positions of the data points are (I 1 / I sum , I 2 / I sum , I 3 / I sum ).
試料上の２次元領域内の各微小領域で得られたデータ点を３元散布図中に位置付けると、例えば図１１（ａ）に示すようになる。３元散布図でも２元散布図と同様に、１つのデータ点は試料上の或る１箇所の微小領域に対応している。ここでは、Ａｌ、Ｓｉ、Ｃａの３元素の少なくともいずれかを含む化合物が試料に複数含まれることで、データ点の密度が高い領域が３元散布図に複数現れている。 When the data points obtained in each minute region in the two-dimensional region on the sample are positioned in the ternary scatter diagram, for example, as shown in FIG. In the ternary scatter diagram, similarly to the binary scatter diagram, one data point corresponds to a certain minute region on the sample. Here, a plurality of compounds containing at least one of the three elements of Al, Si, and Ca appear in the ternary scatter diagram because a plurality of compounds are included in the sample, and thus the density of data points is high.
２元散布図、３元散布図のいずれでも、図上でデータ点が集中する領域における２元素又は３元素の含有比率に基づいて、化合物を推定することができる。しかしながら、試料に４以上の元素が含まれる場合には、相解析では、４以上の元素のうちの異なる２元素又は３元素の組み合わせの２元散布図又は３元散布図に対応した複数の元素分布図（元素マッピング図）を見比べて、４以上の元素の組み合わせが試料上で存在する位置を調べる必要がある。このため、相解析の作業は煩雑で面倒であり、効率が悪いのみならず、正確な解析には或る程度の経験や熟練が必要であった。 In any of the two-way scatter diagram and the three-way scatter diagram, the compound can be estimated based on the content ratio of the two elements or the three elements in the region where the data points are concentrated on the drawing. However, if the sample contains 4 or more elements, the phase analysis uses a plurality of elements corresponding to a binary scatter diagram or a ternary scatter diagram of different two or three elements of the four or more elements. It is necessary to examine the positions where combinations of four or more elements exist on the sample by comparing the distribution diagrams (element mapping diagrams). For this reason, the work of phase analysis is complicated and troublesome, not only is efficiency low, but also requires some experience and skill for accurate analysis.
本発明は上記課題を解決するために成されたものであり、その目的とするところは、４以上の元素が含まれる試料に対し相解析による含有化合物の推定やその分布の検証などを行う際に、分析者の作業の負担を軽減するとともに正確な結果を導出できるように適切な支援を行うことができるＸ線分析用表示処理装置を提供することである。 The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and the object of the present invention is to perform estimation of contained compounds by phase analysis and verification of their distribution on a sample containing four or more elements. Another object of the present invention is to provide an X-ray analysis display processing apparatus capable of reducing the burden on an analyst's work and providing appropriate support so that an accurate result can be derived.
上記課題を解決するために成された本発明は、試料上で励起線の照射位置を２次元的に移動させつつ励起線照射部位から放出されたＸ線を順次検出することにより、試料中の各元素のマッピング分析が可能なＸ線分析装置にあって、試料上の２次元領域内の多数の微小領域からそれぞれ得られたＸ線強度データを処理して表示部に表示するＸ線分析用表示処理装置において、
a)２次元領域内の微小領域毎に２元素又は３元素のＸ線強度や元素濃度又はその割合をそれぞれ点としてプロットして得られる散布図とその２次元領域内の元素の分布を示す分布図とを同一画面内に表示する描画処理手段と、
b)分析者の指示に応じて、前記描画処理手段により表示される散布図を任意の２元素又は３元素に対応したものに切り替える散布図切替手段と、
c)前記描画処理手段により表示される散布図上で分析者が任意の範囲を指定するための範囲指定手段と、
を備え、前記描画処理手段は、前記範囲指定手段により指定された散布図上の範囲に存在するプロット点を範囲毎に異なる所定の色で示すとともに、該散布図と同一画面内に表示される分布図上で散布図上の各プロット点に対応する微小領域の位置をプロット点と同色で表示し、さらに、前記散布図切替手段により散布図が切り替えられたときに、その切り替え後の散布図上の各プロット点を前記分布図上の対応する微小領域の位置に与えられている色で表示することを特徴としている。
The present invention, which has been made to solve the above-mentioned problems, sequentially detects X-rays emitted from the excitation beam irradiation site while moving the irradiation position of the excitation beam on the sample in a two-dimensional manner. An X-ray analysis apparatus capable of mapping analysis of each element, for processing X-ray intensity data obtained from a large number of minute regions in a two-dimensional region on a sample and displaying them on a display unit In the display processing device,
a) A scatter diagram obtained by plotting the X-ray intensity, element concentration, or ratio of two or three elements for each minute region in the two-dimensional region as a point, and a distribution indicating the distribution of elements in the two-dimensional region Drawing processing means for displaying a figure on the same screen;
b) Scatter chart switching means for switching the scatter chart displayed by the drawing processing means to one corresponding to any two or three elements according to an instruction from the analyst;
c) Range specifying means for the analyzer to specify an arbitrary range on the scatter diagram displayed by the drawing processing means;
The drawing processing means indicates plot points existing in the range on the scatter diagram designated by the range designating means in a predetermined color different for each range and is displayed on the same screen as the scatter diagram. The position of the minute area corresponding to each plot point on the scatter diagram is displayed in the same color as the plot point on the distribution diagram, and when the scatter diagram is switched by the scatter diagram switching means, the scatter diagram after the switching Each of the above plot points is displayed in the color given to the position of the corresponding minute region on the distribution map.
本発明に係るＸ線分析用表示処理装置は、コンピュータにインストールされた専用のソフトウエアが該コンピュータ上で動作することにより具現化されるものであり、通常、表示部はコンピュータ本体に接続されるモニタ、範囲指定手段はコンピュータ本体に接続されるマウス等のポインティングデバイスやキーボードなどである。 The display processing apparatus for X-ray analysis according to the present invention is realized by operating dedicated software installed in a computer on the computer, and usually the display unit is connected to the computer body. The monitor and range designation means are a pointing device such as a mouse or a keyboard connected to the computer main body.
また散布図と分布図とが「同一画面内」に表示されるとは、１つのウインドウ内の異なる領域に散布図と分布図とが表示される場合と、同時に開かれる２つのウインドウ内の一方に散布図が他方に分布図が表示される場合と、を含む。一般にウインドウは表示画面上で任意の位置に移動可能であるから、後者の場合、２つのウインドウは並べて配置される場合もあれば一部又は全部が重なった状態である場合もある。 In addition, a scatter chart and a distribution chart are displayed “in the same screen” when a scatter chart and a distribution chart are displayed in different areas in one window, and in one of two windows opened simultaneously. Includes a case where a scatter diagram is displayed on the other side and a distribution diagram is displayed on the other side. In general, since the window can be moved to an arbitrary position on the display screen, in the latter case, the two windows may be arranged side by side or may be partially or entirely overlapped.
本発明に係るＸ線分析用表示処理装置では、試料上の測定対象である２次元領域内の各微小領域から得られるＸ線強度データに基づいて作成される散布図と分布図（元素マッピング図）とが同一画面内に表示される。散布図上の或る１点は、或る微小領域における２元素（２元散布図の場合）又は３元素（３元散布図の場合）のＸ線強度や濃度そのもの（絶対値）又は強度や濃度の割合（相対値）を示す。一方、分布図上の或る１点は、２次元領域内の微小領域の位置を示す。したがって、散布図上の点（プロット点）と分布図上の点（画素）とは一対一に対応している。 In the display processing apparatus for X-ray analysis according to the present invention, a scatter diagram and a distribution diagram (element mapping diagram) created based on X-ray intensity data obtained from each minute region in a two-dimensional region to be measured on a sample. ) Are displayed on the same screen. One point on the scatter diagram is the X-ray intensity, concentration itself (absolute value) or intensity of two elements (in the case of a ternary scatter diagram) or three elements (in the case of a ternary scatter diagram) in a certain minute region. The concentration ratio (relative value) is shown. On the other hand, a certain point on the distribution map indicates the position of a minute region in the two-dimensional region. Therefore, the points (plot points) on the scatter diagram and the points (pixels) on the distribution diagram have a one-to-one correspondence.
本発明に係るＸ線分析用表示処理装置においては、同時に表示される散布図と分布図とで対応する点が同一の色で表示され、その散布図が異なる元素の組み合わせのものに切り替えられた場合でも、更新される散布図上の各プロット点の色は分布図上の色分けに対応したものとなる。一般的な相解析では、分析者は任意の元素組み合わせに対する散布図上でプロット点が集中している部分が同一の化合物である可能性が高いと判断し、その集中しているプロット点を囲むように範囲指定手段により１乃至複数の範囲を指定する。すると、指定された範囲に含まれるプロット点が着色され、それぞれ対応した分布図上の点が同色になる。したがって、分布図上では指定された２元素又は３元素を同程度の割合で含む部分毎に色分けがされる。 In the display processing apparatus for X-ray analysis according to the present invention, corresponding points are displayed in the same color in the scatter chart and the distribution chart displayed at the same time, and the scatter chart is switched to a combination of different elements. Even in this case, the color of each plot point on the scatter diagram to be updated corresponds to the color classification on the distribution diagram. In a general phase analysis, the analyst determines that there is a high possibility that the portion where the plotted points are concentrated on the scatter diagram for any combination of elements is the same compound, and surrounds the concentrated plotted points As described above, one or more ranges are designated by the range designation means. Then, the plot points included in the designated range are colored, and the corresponding points on the distribution map have the same color. Therefore, color distribution is performed for each portion including the specified two or three elements at a similar rate on the distribution diagram.
この状態で、分析者の指示に応じて散布図切替手段が表示される散布図を別の元素組み合わせの散布図に変更すると、その散布図上の各プロット点も分布図上の色分けに対応して着色される。このため、例えば切り替え前が元素Ａ、Ｂの２元散布図、切り替え後が元素Ｃ、Ｄの２元散布図である場合、元素Ａ、Ｂが或る割合で存在するような微小領域に、元素Ｃ、Ｄがどの程度含まれているのか、或いは含まれていないのか、を分析者が視覚的に知ることができる。また、分布図により、それが２次元領域内でどのように分布しているのかも併せて知ることができる。 In this state, when the scatter plot switching means is changed to a scatter plot with a different element combination according to the analyst's instructions, each plot point on the scatter plot also corresponds to the color coding on the distribution plot. Colored. For this reason, for example, when the binary scatter diagram of the elements A and B is before the switching and the binary scatter diagram of the elements C and D is after the switching, in a minute region where the elements A and B exist in a certain ratio, The analyst can visually know how much the elements C and D are contained or not. In addition, it is possible to know how the distribution is distributed in the two-dimensional region from the distribution chart.
このように本発明に係るＸ線分析用表示処理装置によれば、同じ微小領域に含まれる元素を、異なる元素組み合わせの複数の散布図上で容易に確認することができる。そのため、４以上の元素が試料に含まれる場合であっても、分析者が相解析を行うのに有用な情報を簡単な操作によって提供することができ、相解析の作業の効率を向上させることができる。また、相解析における分析者の作業負荷が軽減され、経験や熟練の不足を補った正確性の高い解析が可能となる。 As described above, according to the display processing apparatus for X-ray analysis according to the present invention, elements contained in the same minute region can be easily confirmed on a plurality of scatter diagrams of different element combinations. Therefore, even when four or more elements are included in the sample, it is possible to provide information useful for the analyst to perform the phase analysis by a simple operation, and to improve the efficiency of the phase analysis work. Can do. In addition, the workload of the analyst in the phase analysis is reduced, and a highly accurate analysis that compensates for lack of experience and skill is possible.
本発明に係る表示処理装置を用いたＥＰＭＡの一実施例について、添付図面を参照して説明する。図１は本実施例によるＥＰＭＡの概略構成図である。 An embodiment of EPMA using a display processing apparatus according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an EPMA according to the present embodiment.
図１において、電子線照射部１は電子銃２や図示しない偏向コイル等を含み、微小径の電子線を試料ステージ４上に載置された試料３に照射する。電子線を受けて、試料３の表面から元素に特有の波長を有する特性Ｘ線が放出される。この特性Ｘ線は分光結晶５で波長分散され、特定の波長の回折Ｘ線がＸ線検出器６で検出される。例えば試料３上の電子線照射位置と分光結晶５とＸ線検出器６とは常にローランド円上に位置しており、図示しない駆動機構により分光結晶５は直線的に移動しつつ傾斜され、この移動に連動してＸ線検出器６は回動される。これにより、ブラックの回折条件を満たすように、つまり分光結晶５に対する特性Ｘ線の入射角と回折Ｘ線の出射角とが等しい状態が維持されつつ分析対象のＸ線の波長走査が達成される。Ｘ線検出器６によるＸ線強度の検出信号はデータ処理部９に入力され、データ処理部９は、波長走査に応じたＸ線スペクトルを作成する。 In FIG. 1, an electron beam irradiation unit 1 includes an electron gun 2, a deflection coil (not shown), and the like, and irradiates a sample 3 placed on a sample stage 4 with a minute diameter electron beam. Upon receiving the electron beam, characteristic X-rays having a wavelength characteristic of the element are emitted from the surface of the sample 3. This characteristic X-ray is wavelength-dispersed by the spectral crystal 5, and a diffracted X-ray having a specific wavelength is detected by the X-ray detector 6. For example, the electron beam irradiation position on the sample 3, the spectroscopic crystal 5 and the X-ray detector 6 are always located on the Roland circle, and the spectroscopic crystal 5 is inclined while moving linearly by a drive mechanism (not shown). The X-ray detector 6 is rotated in conjunction with the movement. Thus, wavelength scanning of the X-ray to be analyzed is achieved so as to satisfy the black diffraction condition, that is, while maintaining the state where the incident angle of the characteristic X-ray with respect to the spectral crystal 5 is equal to the emission angle of the diffracted X-ray. . The detection signal of the X-ray intensity by the X-ray detector 6 is input to the data processing unit 9, and the data processing unit 9 creates an X-ray spectrum corresponding to the wavelength scanning.
試料ステージ４は試料ステージ駆動部７によりｘ軸、ｙ軸の二軸方向に移動可能であり、この移動により試料３上での電子線照射位置は走査される。分析制御部８は試料３に対する分析を実行するために、試料ステージ駆動部７、分光結晶５やＸ線検出器６を移動させる駆動機構、データ処理部９などの動作を制御する。中央制御部１０には、分析者（オペレータ）が指示を与えるためのキーボードやマウス（又はそれ以外のポインティングデバイス）を含む操作部１２や、分析者に分析結果等の情報を提供する表示部１３が接続され、分析条件の設定などを行うとともに分析結果などを出力する機能を有する。通常、中央制御部１０、分析制御部８、及びデータ処理部９の全て又は一部は、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）により構成され、ＰＣにインストールされた専用の制御／処理ソフトウエアを実行することでそれぞれの機能が達成される。 The sample stage 4 can be moved in the x-axis and y-axis directions by the sample stage drive unit 7, and the electron beam irradiation position on the sample 3 is scanned by this movement. The analysis control unit 8 controls operations of the sample stage driving unit 7, the driving mechanism that moves the spectroscopic crystal 5 and the X-ray detector 6, the data processing unit 9, and the like in order to execute the analysis on the sample 3. The central control unit 10 includes an operation unit 12 including a keyboard and a mouse (or other pointing device) for an analyzer (operator) to give instructions, and a display unit 13 that provides information such as analysis results to the analyst. Is connected, and it has a function of setting analysis conditions and outputting analysis results. Normally, all or part of the central control unit 10, the analysis control unit 8, and the data processing unit 9 are configured by a personal computer (PC), and by executing dedicated control / processing software installed in the PC. Each function is achieved.
このＥＰＭＡにおいてマッピング分析を行う際には、分析制御部８の制御の下に、試料３上の任意の（分析者により指定された）２次元領域内で電子線照射位置を走査しつつ特性Ｘ線の検出を繰り返すことにより、その２次元領域内に設定された微小領域毎にＸ線スペクトルを作成する。各種元素はそれぞれ特有の波長（エネルギー）の特性Ｘ線を放出するから、Ｘ線スペクトル上で特定波長のピークを検出し、そのピーク強度を求めることにより、特定の元素の強度（濃度）が得られる。これにより、２次元領域内の微小領域毎に、含有元素のＸ線強度又は濃度データを取得することができ、それがデータ処理部９内のデータ保存部９０に格納される。 When mapping analysis is performed in this EPMA, the characteristic X is scanned while scanning the electron beam irradiation position in an arbitrary two-dimensional region (specified by the analyst) on the sample 3 under the control of the analysis control unit 8. By repeating the detection of the line, an X-ray spectrum is created for each minute region set in the two-dimensional region. Since each element emits characteristic X-rays with a specific wavelength (energy), the intensity (concentration) of a specific element can be obtained by detecting the peak of a specific wavelength on the X-ray spectrum and obtaining the peak intensity. It is done. Thereby, the X-ray intensity or concentration data of the contained element can be acquired for each minute region in the two-dimensional region, and is stored in the data storage unit 90 in the data processing unit 9.
中央制御部１０にその機能の一部として含まれる表示処理部１１は、分析者による操作部１２の操作に応じて、データ保存部９０に格納されているＸ線強度又は濃度データを利用して散布図や分布図（元素マッピング図）などを作成し、表示部１３の画面上に表示する。以下、分析者が相解析を実行する際に、表示処理部１１を中心に行われる描画処理について詳述する。 The display processing unit 11 included as a part of the function in the central control unit 10 uses the X-ray intensity or concentration data stored in the data storage unit 90 according to the operation of the operation unit 12 by the analyst. A scatter diagram, a distribution diagram (element mapping diagram), and the like are created and displayed on the screen of the display unit 13. Hereinafter, the drawing process performed mainly by the display processing unit 11 when the analyst performs the phase analysis will be described in detail.
分析者が相解析を行うべく操作部１２で所定の操作を行って相解析プログラムを起動させると、表示処理部１１は、図２に示すような相解析画面（ウインドウ）２０を表示部１３の画面上に表示する。相解析画面２０には、分布図表示領域２１と散布図表示領域２２とが設けられている。設定によるが、この例では初期的に、分布図表示領域２１にＳＥＭ画像などの表面観察画像が表示され、散布図表示領域２２には所定の２元素の散布図（２元散布図）が表示されている。 When the analyst performs a predetermined operation on the operation unit 12 to perform the phase analysis and starts the phase analysis program, the display processing unit 11 displays a phase analysis screen (window) 20 as shown in FIG. Display on the screen. The phase analysis screen 20 is provided with a distribution chart display area 21 and a scatter chart display area 22. Depending on the setting, in this example, initially, a surface observation image such as an SEM image is displayed in the distribution chart display area 21, and a scatter chart (two-way scatter chart) of two predetermined elements is displayed in the scatter chart display area 22. Has been.
散布図表示領域２２には、予め定められた複数の元素のうちの任意の２元素の組み合わせによる２元散布図、又は任意の３元素の組み合わせによる３元散布図の１つが切り替え可能に表示される。表示される散布図の元素組み合わせの変更は、所定のアイコン又はボタンをクリック操作することで現れる、図３に示す散布図元素選択画面３０において行うことができる。即ち、この散布図元素選択画面３０には２元散布図と３元散布図との指定ボタンが設けられ、各散布図の元素組み合わせがラジオボタンにより行えるようになっている。 In the scatter diagram display area 22, one of a binary scatter diagram based on a combination of arbitrary two elements among a plurality of predetermined elements or a ternary scatter diagram based on a combination of arbitrary three elements is displayed in a switchable manner. The The element combination of the displayed scatter diagram can be changed on the scatter diagram element selection screen 30 shown in FIG. 3 that appears when a predetermined icon or button is clicked. That is, the scatter diagram element selection screen 30 is provided with a designation button for a binary scatter diagram and a ternary scatter diagram, and element combinations of each scatter diagram can be performed by radio buttons.
図３の例では、２元散布図の２元素はＡｌとＣａであり、３元散布図の３元素はＡｌ、Ｃａ、Ｃである（なお、図３において、Ｘ、Ｙは２元散布図の横軸及び縦軸、Ａ、Ｂ、Ｃは３元散布図のＡ軸、Ｂ軸、Ｃ軸に対応する（図１１（ｂ）参照））。分析者がラジオボタンで元素の組み合わせを適宜変更して［２元散布図］［３元散布図］の一方のボタンをマウス等でクリックすると、この操作を受けて表示処理部１１は、Ｘ線強度又は濃度データを用い、指定されている元素組み合わせに対応した２元散布図又は３元散布図を作成し、これを散布図表示領域２２に表示する。つまり、その直前に散布図表示領域２２に表示されている散布図が更新される。なお、散布図表示領域２２に表示される散布図の切り替え操作、散布図元素選択画面３０上のほか、後述するような３次元散布図を用いても行うことができる。 In the example of FIG. 3, the two elements in the binary scatter diagram are Al and Ca, and the three elements in the ternary scatter diagram are Al, Ca, and C (in FIG. 3, X and Y are binary scatter diagrams). The horizontal and vertical axes, A, B, and C correspond to the A, B, and C axes in the ternary scatter diagram (see FIG. 11B). When the analyst changes the combination of elements with radio buttons as appropriate and clicks one of the buttons of the [two-way scatter diagram] and [three-way scatter diagram] with a mouse or the like, the display processing unit 11 receives the operation and the X-ray Using the intensity or concentration data, a binary scatter diagram or a ternary scatter diagram corresponding to the specified element combination is created and displayed in the scatter diagram display area 22. That is, the scatter diagram displayed in the scatter diagram display area 22 immediately before is updated. In addition to the scatter diagram switching operation displayed on the scatter diagram display area 22, on the scatter diagram element selection screen 30, it can also be performed using a three-dimensional scatter diagram as described later.
いま、相解析画面２０の散布図表示領域２２に図４（ａ）左に示すような２元散布図が表示されているものとする。この２元散布図上の各プロット点はそれぞれ分布図上の或る位置の点（微小領域）に対応している。初期的には、２元散布図上の各プロット点の表示色は標準色（例えば黒色）である。 Now, it is assumed that a binary scatter diagram as shown on the left of FIG. 4A is displayed in the scatter diagram display area 22 of the phase analysis screen 20. Each plot point on the binary scatter diagram corresponds to a point (a minute region) at a certain position on the distribution map. Initially, the display color of each plot point on the binary scatter diagram is a standard color (for example, black).
一般に、試料に含まれる化合物の種類やその含有割合に応じて、２元散布図上にはプロット点の集まり（クラスター）がいくつか出現する。１つのクラスターは、指定されている２又は３元素（図４（ａ）の例では元素Ａ、Ｂ）をほぼ一定の割合で含有している試料上の部位を示していると考えられるから、相解析の際には、同一クラスターが試料上でどのように分布しているのかを調べることが有用である。そこで、分析者はマウス等の操作により散布図上でカーソルを移動させて所望の範囲を囲み線により指定する。この囲み線は複数設定でき、各囲み線の色はそれぞれ異なる（この表示色は別途設定可能である）。 In general, several collections (clusters) of plot points appear on the binary scatter diagram according to the type of compound contained in the sample and the content ratio. One cluster is considered to indicate a site on the sample containing the specified 2 or 3 elements (elements A and B in the example of FIG. 4A) at a substantially constant ratio. In the phase analysis, it is useful to examine how the same cluster is distributed on the sample. Therefore, the analyst moves the cursor on the scatter diagram by operating the mouse or the like and designates a desired range with a surrounding line. A plurality of surrounding lines can be set, and the colors of the surrounding lines are different (this display color can be set separately).
図４（ａ）右に示すように、散布図上で矩形又はそのほかの任意の形状の囲み線ａ、ｂ、ｃで所望の範囲が指定されると、表示処理部１１は、１つの範囲に属する複数のプロット点が１つのグループであると認識する。そして、１つ範囲に含まれる複数のプロット点の表示色をその範囲の囲み線の色に変更する。図４では３つの囲み線ａ、ｂ、ｃの各範囲内のプロット点の色の相違を十分に表現できないので、図４（ａ）右の右方に示す塗りつぶしで各プロット点が表されているものとする。いずれの囲み線にも含まれないプロット点の表示色は変化せず、初期色（例えば黒）のままである。 As shown on the right side of FIG. 4A, when a desired range is designated by a rectangle or any other shape of the surrounding lines a, b, and c on the scatter diagram, the display processing unit 11 becomes one range. A plurality of plot points to which it belongs are recognized as one group. Then, the display color of a plurality of plot points included in one range is changed to the color of the enclosing line in the range. In FIG. 4, the difference in color of the plot points within the respective ranges of the three enclosing lines a, b, and c cannot be expressed sufficiently, so that each plot point is represented by the fill shown on the right side of FIG. It shall be. The display color of the plot points not included in any of the encircled lines does not change and remains the initial color (for example, black).
表示処理部１１は囲み線の指定に伴って上述のように散布図上のプロット点の表示色を変更すると同時に、表示色が変更された各プロット点に対応した分布図上での位置に関する情報を取得する。そして、分布図表示領域２１に表示されている分布図上でその位置の点（画素）に、対応するプロット点と同じ色を与え、分布図上にその色の画素を重ねて表示する。したがって、散布図上で囲み線ａで囲まれた範囲のプロット点に対応した分布図上の部位は色Ｍａで塗りつぶされ、散布図上で囲み線ｂで囲まれた範囲のプロット点に対応した分布図上の部位は色Ｍｂで塗りつぶされ、散布図上で囲み線ｃで囲まれた範囲のプロット点に対応した分布図上の部位は色Ｍｃで塗りつぶされる。一方、散布図上で囲み線ａ、ｂ、ｃで囲まれる範囲のいずれにも入らないプロット点に対応した分布図上の部位は元の観察像がそのまま露出した状態Ｍｅとなる。
これにより、分布図表示領域２１に表示される分布図は、図４（ｂ）に示すように、散布図上で分析者により指定された１乃至複数のクラスターに対応して色分けがなされた分布図となる。
The display processing unit 11 changes the display color of the plot points on the scatter diagram as described above in accordance with the designation of the enclosing line, and at the same time, information on the position on the distribution map corresponding to each plot point whose display color has been changed. To get. Then, on the distribution map displayed in the distribution map display area 21, a point (pixel) at that position is given the same color as the corresponding plot point, and the pixel of that color is superimposed on the distribution map. Therefore, the part on the distribution map corresponding to the plot points in the range surrounded by the encircled line a on the scatter diagram is filled with the color Ma, and corresponds to the plot points in the range surrounded by the encircled line b on the scatter diagram. The part on the distribution diagram is filled with the color Mb, and the part on the distribution diagram corresponding to the plot points in the range enclosed by the encircling line c on the scatter diagram is filled with the color Mc. On the other hand, the portion on the distribution map corresponding to the plot point that does not fall within any of the ranges surrounded by the surrounding lines a, b, and c on the scatter diagram is in a state Me where the original observation image is exposed as it is.
As a result, as shown in FIG. 4B, the distribution map displayed in the distribution map display area 21 is a distribution that is color-coded according to one or more clusters designated by the analyst on the scatter diagram. It becomes a figure.
別の元素の組み合わせを調べるために、分析者が例えば上述した散布図元素選択画面３０において元素の組み合わせの変更を指示したものとする。表示処理部１１はこれを受けて、指定された元素に対応した散布図を作成して散布図表示領域２２に表示する（散布図を変更する）。このとき、新たな散布図上のプロット点に対し、分布図上の各点に与えられている色（Ｍａ、Ｍｂ、Ｍｃ）を与える。したがって、例えば元素Ｃ、Ｄの組み合わせを指示したとき、それに応じて作成・表示される２元散布図上の各プロット点の色は、Ｍａ、Ｍｂ、Ｍｃ又は初期色Ｍｅのいずれかとなる（図４（ｃ）参照）。この散布図は元素Ｃ、Ｄをそれぞれ所定割合で含む化合物の存在を示している。 In order to examine another combination of elements, it is assumed that the analyst instructs to change the combination of elements on the scatter diagram element selection screen 30 described above, for example. In response to this, the display processing unit 11 creates a scatter diagram corresponding to the designated element and displays it in the scatter diagram display area 22 (changes the scatter diagram). At this time, the colors (Ma, Mb, Mc) given to each point on the distribution map are given to the plot points on the new scatter diagram. Therefore, for example, when a combination of elements C and D is instructed, the color of each plot point on the binary scatter diagram created and displayed in accordance with the combination is Ma, Mb, Mc, or the initial color Me (see FIG. 4 (c)). This scatter diagram shows the presence of compounds each containing the elements C and D at a predetermined ratio.
また、この散布図上で先に使用した色Ｍａ、Ｍｂ、Ｍｃとは別の色Ｍｄの囲み線でクラスターを指定すると、分布図表示領域２１に表示されている図４（ｂ）に示すような分布図において、囲み線で囲まれる範囲に含まれるプロット点に対応する位置に色Ｍｄの点が重畳される。即ち、異なる元素組み合わせの散布図上でそれぞれ指定されたクラスターに対応した領域が、１つの分布図上に反映されることになる。これにより、元素Ａ、Ｂを所定割合で含む領域と、元素Ｃ、Ｄを所定割合で含む領域とが、分布図上で一目で確認できるようになる。また、分布図上で元素Ａ、Ｂを所定割合で含む部位において元素Ｃ、Ｄの含有割合がどのようになっているのかを、散布図上で一目で確認することができる。 In addition, when a cluster is designated by a surrounding line of a color Md different from the previously used colors Ma, Mb, and Mc on the scatter diagram, as shown in FIG. 4B displayed in the distribution diagram display area 21. In such a distribution diagram, a point of color Md is superimposed at a position corresponding to a plot point included in a range surrounded by a surrounding line. That is, regions corresponding to clusters designated on the scatter diagram of different element combinations are reflected on one distribution diagram. As a result, a region containing the elements A and B at a predetermined ratio and a region containing the elements C and D at a predetermined ratio can be confirmed at a glance on the distribution diagram. In addition, it is possible to confirm at a glance on the scatter diagram what the content ratios of the elements C and D are in the portion containing the elements A and B at a predetermined ratio on the distribution diagram.
上記説明では散布図を２元散布図としたが、分析者が３元散布図を選択した場合でも同様である。即ち、分析者が３元散布図を選択するために相解析画面２０上の散布図切替ボタン２３をクリックすると、表示処理部１１はその時点で指定されている３元素（図３の指定例ではＡｌ、Ｃａ、Ｃ）の３元散布図を作成し、散布図表示領域２２にこれを表示する。その際に、３元散布図上の各プロット点に対して、その時点で表示している分布図上の各点に与えられている色が与えられる。 In the above description, the scatter diagram is a binary scatter diagram. However, the same applies when the analyst selects a ternary scatter diagram. That is, when the analyst clicks the scatter diagram switching button 23 on the phase analysis screen 20 in order to select a ternary scatter diagram, the display processing unit 11 displays the three elements specified at that time (in the designation example of FIG. 3). A ternary scatter diagram of (Al, Ca, C) is created and displayed in the scatter diagram display area 22. At that time, for each plot point on the ternary scatter diagram, the color given to each point on the distribution diagram displayed at that time is given.
図５に実際の相解析画面２０の表示例を示す。（ａ）はＡｌ、Ｃａの２元散布図上で３つの囲み線を指定した後の状態を示す図である。散布図上の３つの囲み線５１、５２、５３は赤色、黄色、及び緑色であり、各囲み線５１〜５３内のプロット点も同色である。また、分布図上でプロット点に対応した位置も同色で表示される。（ｂ）は（ａ）の状態から元素の組み合わせをＳｉ、Ｃに変更した後の状態を示す図である。２元散布図は元素Ｓｉ、Ｃの組み合わせに変更されているが、散布図上の各プロット点は分布図上の各位置の色で示されている。ここでは、散布図上において青色の囲み線５４でクラスターを指定している。囲み線５４内のプロット点も同色であり、これらプロット点に対応した分布図上の位置も青色で示されている。（ｃ）は（ｂ）の状態から元素の組み合わせをＡｌ、Ｓｉ、Ｃａとした３元散布図に変更した後の状態を示す図である。散布図上の各プロット点は赤色、黄色、緑色、青色、又は黒色のいずれかであり、分布図上の部位との対応関係が明確になる。 FIG. 5 shows a display example of the actual phase analysis screen 20. (A) is a figure which shows the state after designating three surrounding lines on the binary scatter diagram of Al and Ca. The three surrounding lines 51, 52, and 53 on the scatter diagram are red, yellow, and green, and the plot points in the surrounding lines 51 to 53 are the same color. The positions corresponding to the plot points on the distribution map are also displayed in the same color. (B) is a figure which shows the state after changing the combination of an element into Si and C from the state of (a). The binary scatter diagram is changed to a combination of the elements Si and C, but each plot point on the scatter diagram is indicated by the color of each position on the distribution diagram. Here, a cluster is designated by a blue frame 54 on the scatter diagram. The plotted points in the encircled line 54 are also the same color, and the positions on the distribution map corresponding to these plotted points are also shown in blue. (C) is a figure which shows the state after changing the combination of an element from the state of (b) to the ternary scatter diagram which made Al, Si, and Ca. Each plot point on the scatter diagram is one of red, yellow, green, blue, or black, and the correspondence with the part on the distribution diagram becomes clear.
上記説明では、相解析画面２０の散布図表示領域２２に表示される散布図を切り替えるときの元素組合せを散布図元素選択画面３０上で指定するようにしていたが、次に説明するように、元素組合せをグラフィカルに指定することも可能である。 In the above description, the element combination when switching the scatter diagram displayed in the scatter diagram display area 22 of the phase analysis screen 20 is designated on the scatter diagram element selection screen 30, but as described next, It is also possible to specify element combinations graphically.
図２に示すような相解析画面２０上で分析者が３次元散布図表示のための所定の操作を行うと、この指示を受けた表示処理部１１は図６に示すような３次元散布図画面（ウインドウ）４０を相解析画面２０の上に重ねて表示する。 When the analyst performs a predetermined operation for displaying the three-dimensional scatter diagram on the phase analysis screen 20 as shown in FIG. 2, the display processing unit 11 that has received this instruction displays the three-dimensional scatter diagram as shown in FIG. A screen (window) 40 is displayed over the phase analysis screen 20.
３次元散布図画面４０にはグラフ表示領域４１が設けられており、この領域４１に３次元散布図が表示される。３次元散布図には、ＸＹＺ表示、トライアングル表示、ピラミッド表示の３種のグラフがあり、これらはグラフ表示領域４１上部のグラフスタイル選択枠４２内に設けられた３つのボタンをマウスでクリックすることにより、択一的に選択可能である。図６はＸＹＺ表示グラフが選択された状態である。 The three-dimensional scatter diagram screen 40 is provided with a graph display region 41, and a three-dimensional scatter diagram is displayed in this region 41. The three-dimensional scatter diagram includes three types of graphs, XYZ display, triangle display, and pyramid display, which are clicked with the mouse on three buttons provided in the graph style selection frame 42 above the graph display area 41. It is possible to select alternatively. FIG. 6 shows a state in which the XYZ display graph is selected.
図８はＸＹＺ表示グラフの簡単な説明図である。ＸＹＺ表示グラフは、３次元空間内で互いに直交するｘ、ｙ、ｚの各軸について原点を始点とする＋ｘ、＋ｙ、＋ｚ、−ｘ、−ｙ、−ｚの６方向に、予め選択された最大６個の元素の優先順位に従って各元素の強度をとったグラフである。図６の例では、＋ｘ、＋ｙ、＋ｚ、−ｘ、−ｙ、−ｚの各方向にそれぞれ、Ａｌ、Ｃａ、Ｓｉ、Ｃ、Ｃｕ、Ｆｅの各元素の強度が対応付けられている。ｘ、ｙ、ｚの３軸によって、３次元空間は８個の３次元的な象限に区分される。各象限は上記６元素のうちのいずれかの３つの元素の強度軸から成る空間である。図８では＋ｘ、＋ｙ、＋ｚで囲まれる第１象限を模式的に直方体で示している。 FIG. 8 is a simple explanatory diagram of an XYZ display graph. The XYZ display graph is pre-selected in six directions of + x, + y, + z, −x, −y, and −z starting from the origin with respect to the x, y, and z axes orthogonal to each other in the three-dimensional space. It is the graph which took the intensity | strength of each element according to the priority of a maximum of 6 elements. In the example of FIG. 6, the intensity of each element of Al, Ca, Si, C, Cu, and Fe is associated with each direction of + x, + y, + z, -x, -y, and -z. The three-dimensional space is divided into eight three-dimensional quadrants by the three axes x, y, and z. Each quadrant is a space composed of the strength axes of any three of the six elements. In FIG. 8, the first quadrant surrounded by + x, + y, and + z is schematically shown as a rectangular parallelepiped.
ＸＹＺ表示グラフの空間内には、最大６元素で、それら元素の中で任意の３元素を抽出した８個の３元素組合せのデータが表示される。２次元的な散布図と同様に、１個のデータ点は、試料上の２次元領域内の或る１点（微小領域）における３元素の強度（又は濃度）を表す。例えば図８で示した第１象限に位置するデータ点は、２次元領域内の或る１点における＋ｘ、＋ｙ、＋ｚに対応付けられた３元素の強度を表す。全てのデータ点は象限毎に相違する色とされており、データ点がいずれの象限に存在するか、即ち、いずれの３元素組み合わせで表されるかの視認が容易である。 In the space of the XYZ display graph, data of a combination of eight three elements obtained by extracting arbitrary three elements among the elements with a maximum of six elements is displayed. Similar to the two-dimensional scatter diagram, one data point represents the intensity (or concentration) of the three elements at a certain point (micro region) in the two-dimensional region on the sample. For example, the data point located in the first quadrant shown in FIG. 8 represents the intensity of three elements associated with + x, + y, and + z at a certain point in the two-dimensional region. All data points have different colors for each quadrant, and it is easy to visually recognize in which quadrant the data points are present, that is, which three element combinations are used.
グラフ表示領域４１内に表示される３次元グラフは、縦方向及び横方向のスライダ４３の操作によりそれぞれ回転可能である。これにより、任意の視野方向（角度）から見たグラフを描出することができるから、例えば図６に示したグラフにおいて裏側に隠れている、例えばＳｉ、Ｃ、Ｃｕの３元素のＸ線強度データも容易に確認することができる。また、拡大・縮小ボタン４４をクリックすることで、グラフを拡大・縮小することもできる。 The three-dimensional graph displayed in the graph display area 41 can be rotated by operating the slider 43 in the vertical and horizontal directions. Thereby, since a graph viewed from an arbitrary viewing direction (angle) can be drawn, for example, the X-ray intensity data of, for example, three elements of Si, C, and Cu hidden behind the graph shown in FIG. Can also be easily confirmed. The graph can be enlarged or reduced by clicking the enlargement / reduction button 44.
例えば分析者がグラフスタイル選択枠４２内のボタン操作でピラミッド表示を指示すると、表示処理部１１は、グラフ表示領域４１内に表示されるグラフを図７に示すようなピラミッド表示に切り替える。図９はピラミッド表示グラフの簡単な説明図である。ピラミッド表示は、最大６元素の中で上記優先順位に従った４つの元素（ここではＥ１、Ｅ２、Ｅ３、Ｅ４）を正三角錐の各頂点に割り当て、その正三角錐の４つの面それぞれに、通常の平面的な３元散布図を表示したものである。 For example, when an analyst instructs the pyramid display by operating a button in the graph style selection frame 42, the display processing unit 11 switches the graph displayed in the graph display area 41 to the pyramid display as shown in FIG. FIG. 9 is a simple explanatory diagram of a pyramid display graph. In the pyramid display, four elements (here, E1, E2, E3, E4) according to the above priority among 6 elements at maximum are assigned to each vertex of the regular triangular pyramid, and each of the four faces of the regular triangular pyramid is usually Is a flat ternary scatter diagram.
図７の例は、Ａｌ、Ｃａ、Ｓｉ、Ｃという４元素を正三角錐の頂点に割り当てたもので、Ａｌ、Ｃａ、Ｓｉの３元散布図は裏側に隠れて見えない状態である。このピラミッド表示のグラフも上述したように縦方向及び横方向スライダ４３の操作により回転可能であるから、その操作によりＡｌ、Ｃａ、Ｓｉの３元散布図も確認することができる。 In the example of FIG. 7, four elements Al, Ca, Si, and C are assigned to the apex of the equilateral triangular pyramid, and the ternary scatter diagram of Al, Ca, and Si is hidden behind and cannot be seen. Since this pyramid display graph can also be rotated by operating the vertical and horizontal sliders 43 as described above, a three-way scatter diagram of Al, Ca, and Si can also be confirmed by the operation.
図６に示したＸＹＺ表示のグラフ又は図７に示したピラミッド表示のグラフにおいて、任意の位置をマウス等でクリックすると、表示処理部１１は、その位置に対応付けられた３元素を認識し、その３元素が指定されたものと判断して、相解析画面２０の散布図表示領域２２にその３元素に対応した３元散布図を表示する。例えばＸＹＺ表示のグラフにおいては仮想的に手前側に存在する象限のみを選択可能とし、その象限に対応付けられた３元素が指定されたものとみなせばよい。また、ピラミッド表示の場合には、画面に現れている面のいずれかが選択されたときに、その面に対応付けられた３元素が指定されたものとみなせばよい。 In the XYZ display graph shown in FIG. 6 or the pyramid display graph shown in FIG. 7, when an arbitrary position is clicked with a mouse or the like, the display processing unit 11 recognizes the three elements associated with the position, It is determined that the three elements are designated, and a ternary scatter diagram corresponding to the three elements is displayed in the scatter diagram display area 22 of the phase analysis screen 20. For example, in the XYZ display graph, only the quadrant virtually existing on the near side can be selected, and it can be regarded that three elements associated with the quadrant are designated. In the case of pyramid display, when any of the surfaces appearing on the screen is selected, it may be considered that the three elements associated with the surface are designated.
以上のように、本実施例のＥＰＭＡでは、相解析画面２０内に表示される散布図上のプロット点と分布図上の各部位とを対応付けて色表示するようにし、散布図が切り替えられたときにも同様にプロット点を色表示するようにしたので、相解析に有用な情報を分析者に提供することができる。 As described above, in the EPMA of the present embodiment, the plot points on the scatter diagram displayed in the phase analysis screen 20 and the respective parts on the distribution map are displayed in color so that the scatter diagrams can be switched. Similarly, since the plot points are displayed in color, information useful for phase analysis can be provided to the analyst.
なお、上記実施例はＥＰＭＡを例に挙げて説明したが、励起線は電子線に限らず、Ｘ線、イオン線など他の励起線を用いて試料上のマッピング分析が可能な様々なＸ線分析装置に適用することができる。 Although the above embodiment has been described by taking EPMA as an example, the excitation lines are not limited to electron beams, but various X-rays that can be used for mapping analysis on a sample using other excitation lines such as X-rays and ion beams. It can be applied to an analyzer.
１…電子線照射部
２…電子銃
３…試料
４…試料ステージ
５…分光結晶
６…Ｘ線検出器
７…試料ステージ駆動部
８…分析制御部
９…データ処理部
９０…データ保存部
１０…中央制御部
１１…表示処理部
１２…操作部
１３…表示部
２０…相解析画面
２１…分布図表示領域
２２…散布図表示領域
２３…散布図切替ボタン
３０…散布図元素選択画面
４０…３次元散布図画面
４１…グラフ表示領域
４２…グラフスタイル選択枠
４３…スライダ
４４…拡大・縮小ボタン
５１、５２、５３、５４…囲み線
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Electron beam irradiation part 2 ... Electron gun 3 ... Sample 4 ... Sample stage 5 ... Spectral crystal 6 ... X-ray detector 7 ... Sample stage drive part 8 ... Analysis control part 9 ... Data processing part 90 ... Data storage part 10 ... Central control section 11 ... display processing section 12 ... operation section 13 ... display section 20 ... phase analysis screen 21 ... distribution chart display area 22 ... scatter chart display area 23 ... scatter chart switch button 30 ... scatter chart element selection screen 40 ... 3D Scatter chart screen 41 ... graph display area 42 ... graph style selection frame 43 ... slider 44 ... enlargement / reduction buttons 51, 52, 53, 54 ... enclosing line
Claims (1)
a)２次元領域内の微小領域毎に２元素又は３元素のＸ線強度や元素濃度又はその割合をそれぞれ点としてプロットして得られる散布図とその２次元領域内の元素の分布を示す分布図とを同一画面内に表示する描画処理手段と、
b)分析者の指示に応じて、前記描画処理手段により表示される散布図を任意の２元素又は３元素に対応したものに切り替える散布図切替手段と、
c)前記描画処理手段により表示される散布図上で分析者が任意の範囲を指定するための範囲指定手段と、
とを備え、前記描画処理手段は、前記範囲指定手段により指定された散布図上の範囲に存在するプロット点を範囲毎に異なる所定の色で示すとともに、該散布図と同一画面内に表示される分布図上で散布図上の各プロット点に対応する微小領域の位置をプロット点と同色で表示し、さらに、前記散布図切替手段により散布図が切り替えられたときに、その切り替え後の散布図上の各プロット点を前記分布図上の対応する微小領域の位置に与えられている色で表示することを特徴とするＸ線分析用表示処理装置。 The X-ray analyzer is capable of mapping analysis of each element in a sample by sequentially detecting X-rays emitted from the site of excitation beam irradiation while moving the irradiation position of the excitation beam two-dimensionally on the sample. In the X-ray analysis display processing apparatus for processing X-ray intensity data respectively obtained from a large number of microscopic areas in a two-dimensional area on the sample and displaying them on the display unit,
a) A scatter diagram obtained by plotting the X-ray intensity, element concentration, or ratio of two or three elements for each minute region in the two-dimensional region as a point, and a distribution indicating the distribution of elements in the two-dimensional region Drawing processing means for displaying a figure on the same screen;
b) Scatter chart switching means for switching the scatter chart displayed by the drawing processing means to one corresponding to any two or three elements according to an instruction from the analyst;
c) Range specifying means for the analyzer to specify an arbitrary range on the scatter diagram displayed by the drawing processing means;
The drawing processing means indicates plot points existing in the range on the scatter diagram designated by the range designating means in a predetermined color different for each range, and is displayed on the same screen as the scatter diagram. The position of the minute area corresponding to each plot point on the scatter diagram is displayed in the same color as the plot point on the distribution diagram, and when the scatter diagram is switched by the scatter diagram switching means, A display processing apparatus for X-ray analysis, characterized in that each plot point on the figure is displayed in a color given at the position of a corresponding minute region on the distribution map.
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