JP2011153838A - 半導体物理量センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】可動部と固定部との間の間隙部の断面形状がテーパ状になった場合にも、その間隙部の干渉部分が破損するのを抑制できる半導体物理量センサを得る。
【解決手段】断面テーパ状となった間隙部δ3の幅狭となる側の端部に、当該間隙部δ3の対向壁部Twが干渉した際に面接触する面接触部8を形成する。
【選択図】図4
【解決手段】断面テーパ状となった間隙部δ3の幅狭となる側の端部に、当該間隙部δ3の対向壁部Twが干渉した際に面接触する面接触部8を形成する。
【選択図】図4
Description
本発明は、半導体物理量センサに関する。
加速度センサや振動センサなどの半導体物理量センサでは、半導体基板として用いられるシリコン基板に、公知の半導体プロセスにより間隙部を形成することで、物理量の入力により相対変位する可動部と固定部とを形成するようになっている。
そして、このようにシリコン基板に間隙部を形成する技術として、異方性エッチングにより直線状にエッチングする工程と、等方性エッチングによりテーパ状にエッチングする工程と、を備えたものが知られている(例えば、特許文献1参照)。
ところで、半導体物理量センサのシリコン基板に設けられる可動部と固定部との間の間隙部は極狭い幅で形成され、その狭い間隙部を加工するには直線の加工性に優れた異方性エッチングが用いられる。ところが、極狭い間隙部をプラズマなどによる異方性エッチングで加工する際、側壁を保護しつつエッチングしていくのであるが、保護膜の形成の具合などによるコンディションによって間隙部の断面形状がテーパ状になってしまうことがある。このテーパ状は、加工をしていく手前側が幅狭になる場合と奥側が幅狭になる場合がある。
このように、隙間を設けた間隙部の幅狭となる側の端部は相手側に互いに近づく方向に突出した状態となる。すると、入力される物理量が過大である場合に、可動部と固定部とが相対変位した際に幅狭となる端部どうしが衝撃力をもって干渉し、場合によってはその干渉部分が破損してしまう虞がある。
このことは、特許文献1に開示された加工技術を、上述した可動部と固定部との間の間隙部に適用した場合にも、直線状部分がテーパー状に形成されてしまうことで角部が形成されてしまい、その角部どうしが衝撃力をもって干渉し、同様の不具合がもたらされる。
そこで、本発明は、可動部と固定部との間の間隙部の断面形状がテーパ状になった場合にも、その間隙部の干渉部分が破損するのを抑制できる半導体物理量センサを得ることを目的とする。
請求項1の発明にあっては、半導体基板にエッチングにより間隙部を形成することで、物理量の入力により相対変位する可動部と固定部とを形成するとともに、前記間隙部の断面がテーパー状に形成される半導体物理量センサにおいて、断面テーパ状となった前記間隙部の幅狭となる側の端部に、当該間隙部の対向壁部が干渉した際に面接触する面接触部を形成したことを特徴とする。
請求項1の発明によれば、エッチングにより可動部と固定部との間の間隙部が断面テーパ状に形成された場合に、その断面テーパ状となった間隙部の幅狭となる側の端部に面接触部が形成されているので、入力される物理量が過大であって間隙部の対向壁部どうしが干渉する場合にも、干渉した際の衝撃力を上記面接触部が広い面積をもって受け止めることができるため、接触部分の破損を抑制することができる。
以下、本発明の実施形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。
図1〜図4は、本発明にかかる半導体物理量センサの一実施形態を示し、本実施形態では半導体物理量センサを加速度センサ1、とりわけ、互いに直角となるX軸およびY軸方向の加速度を検出できる二軸方向検出型の加速度センサ1を例にとって説明するものとする。
本実施形態の加速度センサ1は、絶縁層としての図示せぬ2枚のガラス基板と、これら2枚のガラス基板間に挟まれる半導体基板としてのシリコン基板3と、を備えている。これらガラス基板とシリコン基板3とは、最終的に陽極接合などによって接合されるようになっており、これらの接合面に形成された凹部(図示せぬ)によって、シリコン基板3各部の絶縁性や可動部5の動作性の確保が図られている。
シリコン基板3は、図1に示すように、ドライエッチングにより複数の異なる幅の間隙部δ1〜δ4をもって可動部5と固定部6とを加工し、それら可動部5と固定部6とが物理力である加速度の入力により相対変位して、後述する可動櫛歯状電極51、52と固定櫛歯状電極61、62との間の間隔が変化することにより、それら両電極間の静電容量の変化から入力された加速度を検出するようになっている。
すなわち、本実施形態では、可動部5は、図1に示すように、それの主体部分が全体としてほぼ矩形状を成し、それの対向する2辺の内側部分にX軸方向(図中左右方向)の加速度を検出する一対のX軸方向検出部7Xが配置されるとともに、残りの対向する2辺の内側部分にY軸方向(図中上下方向)の加速度を検出する一対のY軸方向検出部7Yが配置されている。
X軸方向検出部7Xは、可動部5から互いに離反する方向に突出する可動櫛歯状電極51と、固定部6から互いの対向方向に向かって突出する固定櫛歯状電極61と、を備える。それら可動櫛歯状電極51と固定櫛歯状電極61とは、間隙部δ1、δ2(δ1>δ2)をもって互いに噛合される。それら両電極51、61は、可動部5のX軸方向の変位に伴ってそれぞれの間隙部δ1、δ2の幅が変化する方向に相対移動が可能となっている。
Y軸方向検出部7Yは、X軸方向検出部7Xと同様に、可動部5から互いに離反する方向に突出する可動櫛歯状電極52と、固定部6から互いの対向方向に向かって突出する固定櫛歯状電極62と、を備える。それら可動櫛歯状電極52と固定櫛歯状電極62とは、上述した間隙部δ1、δ2(δ1>δ2)をもって互いに噛合される。それら両電極52、62は、可動部5のY軸方向の変位に伴って、それぞれの間隙部δ1、δ2の幅が変化する方向に相対移動が可能となっている。
なお、本実施形態ではX軸方向検出部7XおよびY軸方向検出部7Yのそれぞれの両電極51、61および52、62の間隙幅は、それぞれδ1、δ2としてX軸−Y軸方向で等しくしたが、これに限ることなくX軸方向とY軸方向とでそれぞれの間隙幅を異ならせることもできる。
可動部5は、それぞれの四隅部分から隣接する2辺を取り囲むように延在する4本のL字状ビーム53を介して、可動部5の外周を囲繞するフレーム接合部54に連結され、それらL字状ビーム53の撓み変形により可動部5がX軸、Y軸に沿った方向の変位が許容されるようになっている。
固定櫛歯状電極61、62は、アンカー部63を介してガラス基板(図示せぬ)に固定される。このとき、アンカー部63とフレーム接合部54とは相互に絶縁されており、フレーム接合部54に外部取出し用の一方の電極5Eが設けられるとともに、アンカー部63に他方の電極6E1、6E2が設けられる。
そして、X軸方向の加速度(物理量)の入力により、可動櫛歯状電極51と固定櫛歯状電極61との間の隙間δ1、δ2が変化した際の静電容量変化を、電極5E、6E1から取り出して処理することにより、X軸方向の加速度を検出することができる。また、Y軸方向の加速度の入力により可動櫛歯状電極52と固定櫛歯状電極62との間の隙間δ1、δ2が変化した際の静電容量変化を、電極5E、6E2から取り出して処理することにより、Y軸方向の加速度を検出することができる。
また、アンカー部63の側方に隣接してストッパー用の副アンカー部64が設けられ、その副アンカー部64も固定部6としてガラス基板(図示せぬ)に接合される。その副アンカー部64には、図2に示すように、X軸方向およびY軸方向にストッパー部64aが可動部5に対向して突設されている。これにより、過大な加速度の入力により可動部5が大きく変位してストッパー部64aの先端に突き当たることにより、可動部5のそれ以上の変位を阻止し、ひいては、可動櫛歯状電極51、52と固定櫛歯状電極61、62とが干渉して破損されるのを防止できるようになっている。
したがって、ストッパー部64aと可動部5との間の間隙部δ3が、上述した間隙部δ1、δ2よりも小さく設定される。また、可動部5とL字状ビーム53との間、L字状ビーム53どうしの間およびL字状ビーム53とフレーム接合部54との間にそれぞれ間隙部δ4が設けられるが、本実施形態ではストッパー部64aの間隙部δ3が、可動部5と固定部6との間で最も幅狭の間隙部となっている。
図3は、ストッパー部64aと可動部5との間の間隙部δ3を拡大して示し、この間隙部δ3、および上述した可動部5と固定部6とを分離する間隙部δ1、δ2、δ4は、IPCエッチングを用いた異方性ドライエッチングで加工されるようになっている。この異方性エッチングは、面垂直方向の加工に優れているのであるが、いろんなコンディションが原因して、図3に示したように、隙間を設けた間隙部δ3の断面形状がテーパ状になることがある。なお、同図では、加工面側(図中上方)が幅狭となるテーパ形状で示してあるが、これとは逆に反対側が幅狭となるテーパ形状となる場合もある。
このように、間隙部δ3がテーパ状になると、その間隙部δ3の対向壁部Twは、図3に示した場合は加工面側に幅狭となる突出部分Tpが設けられ、過大な加速度が入力されてストッパー部64aと可動部5が突き当たる場合は、まず、突出部分Tpが互いに干渉し合うことになる。
ここで、本実施形態では、間隙部δ3の対向壁部Twに設けられる突出部分Tp、つまり、断面テーパ状となった間隙部δ3の幅狭となる側の端部に、その間隙部δ3の対向壁部Twが干渉した際に面接触する面接触部8を形成してある。このとき、図3では、間隙部δ3の断面形状が加工面側で幅狭となるテーパ形状である場合を示した関係上、面接触部8は間隙部δ3の加工面側に設けた場合を示したが、加工面とは反対側が幅狭となるテーパ形状である場合は、面接触部8は間隙部δ3の加工面とは反対側に設けられることになる。
面接触部8は、可動部5がシリコン基板3の面方向に変位することから、本実施形態では、シリコン基板3の面方向に対して平坦な垂直面8aとして形成してある。この垂直面8aは、シリコン基板3の面方向に対して垂直方向に所定幅wをもって形成され、その垂直面8aの面積を広く確保できるようになっている。したがって、図4(a)、(b)、(c)に示すように、可動部5がストッパー部64aに突き当たる際には、(b)中D部で示すように、対向した面接触部8どうしが広い面積をもって干渉するようになっている。
以上の構成により、本実施形態の加速度センサ1によれば、異方性エッチングにより可動部5と固定部6との間の間隙部δ3が断面テーパ状に形成される場合があるが、その断面テーパ状となった間隙部δ3の幅狭となる側の端部に面接触部8が形成されている。これにより、過大な加速度が入力されて可動部5がストッパー部64aに突き当たり、間隙部δ3の対向壁部Twどうしが干渉する場合に、広い面積を確保した面接触部8で互いに当接することになる。したがって、干渉した際の衝撃力を面接触部8が広い面積をもって受け止めることができるため、接触部分の破損を抑制することができる。
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で各種変更が可能である。例えば、上記実施形態では、ストッパー部64aと可動部5との間の間隙部δ3に面接触部8を設けたが、L字状ビーム53近傍の間隙部δ4が最も幅狭の間隙部となる場合には、当該間隙部δ4に面接触部を設けても勿論よい。
また、上記実施形態では、断面テーパ状となった間隙部δ3の幅狭となる側の端部に平坦な垂直面8aを設けることで面接触させるようにしたが、図5に示す変形例のように、曲率半径の大きな円弧面8bを形成して接触させるようにしても、接触部分の破損を抑制することができる。
なお、間隙部δ3は、異方性エッチングにより意図的に断面テーパ状にしてもよい。この場合、間隙部δ3の断面形状が加工面側で幅狭となるテーパ形状に構成すると、面接触部8や間隙部δ3の加工性を向上することができる。
また、加速度センサ1は、二軸方向検出型に限らず一軸方向検出型でもよく、さらには、加速度センサに限らず振動センサなどの半導体物理量センサであれば本発明を適用することができる。
1 加速度センサ(半導体物理量センサ)
3 シリコン基板(半導体基板)
5 可動部
6 固定部
8 面接触部
Tw 対向壁部
δ1〜δ4 間隙部
3 シリコン基板(半導体基板)
5 可動部
6 固定部
8 面接触部
Tw 対向壁部
δ1〜δ4 間隙部
Claims (1)
- 半導体基板にエッチングにより間隙部を形成することで、物理量の入力により相対変位する可動部と固定部とを形成するとともに、前記間隙部の断面がテーパー状に形成される半導体物理量センサにおいて、
断面テーパ状となった前記間隙部の幅狭となる側の端部に、当該間隙部の対向壁部が干渉した際に面接触する面接触部を形成したことを特徴とする半導体物理量センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010013955A JP2011153838A (ja) | 2010-01-26 | 2010-01-26 | 半導体物理量センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010013955A JP2011153838A (ja) | 2010-01-26 | 2010-01-26 | 半導体物理量センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2011153838A true JP2011153838A (ja) | 2011-08-11 |
Family
ID=44539933
Family Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2010013955A Pending JP2011153838A (ja) | 2010-01-26 | 2010-01-26 | 半導体物理量センサ |
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JP (1) | JP2011153838A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019535543A (ja) * | 2016-11-21 | 2019-12-12 | サフラン | Memsデバイスの可動質量体のための減衰システム |
-
2010
- 2010-01-26 JP JP2010013955A patent/JP2011153838A/ja active Pending
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JP2019535543A (ja) * | 2016-11-21 | 2019-12-12 | サフラン | Memsデバイスの可動質量体のための減衰システム |
JP6999669B2 (ja) | 2016-11-21 | 2022-01-18 | サフラン | Memsデバイスの可動質量体のための減衰システム |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A711 | Notification of change in applicant |
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