JP2011152727A - 圧電アクチュエータの駆動装置、及び、インクジェットプリンタ - Google Patents

Abstract

【課題】電荷のリークが生じる活性部の挙動を正常な活性部に近づけることが可能な、圧電アクチュエータの駆動装置を提供することである。
【解決手段】圧電アクチュエータを駆動するドライバＩＣ４７は、圧電アクチュエータの複数の活性部４６のそれぞれに接続された複数の充電経路５５、及び、複数の放電経路５６と、複数の充電経路５５を介して前記複数の活性部４６とそれぞれ接続された充電側定電流源５０と、複数の放電経路５６を介して前記複数の活性部４６とそれぞれ接続された放電側定電流源５１と、複数の充電経路５５に対してそれぞれ設けられ、対応する充電経路５５を別の充電経路５５と接続して両充電経路５５の間で充電電流を融通し合う、複数の電流融通回路５７を備えている。
【選択図】 図５

Description

本発明は、圧電アクチュエータを駆動する駆動装置、及び、インクジェットプリンタに関する。

従来から、圧電層の圧電変形（圧電歪ともいう）を利用して対象を駆動する圧電アクチュエータが、様々な技術分野で広く用いられている。その中でも、本願と出願人が同一の出願である特許文献１には、インクジェットヘッド用の圧電アクチュエータが開示されている。

この特許文献１の圧電アクチュエータは、複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を備えた流路ユニットに設けられ、各圧力室内のインクにそれぞれ圧力を付与して、ノズルからインクの液滴を噴射させるものである。より具体的には、特許文献１の圧電アクチュエータは、流路ユニットの複数の圧力室を覆うように配置された圧電層と、この圧電層の両面にそれぞれ設けられた２種類の電極（複数の個別電極と共通電極）とを有する。複数の個別電極は複数の圧力室とそれぞれ対向して設けられ、また、共通電極は圧電層を挟んで複数の個別電極と共通に対向している。そして、駆動装置（ドライバＩＣ）から個別電極と共通電極間に電圧が印加されたときに、複数の個別電極と共通電極とに挟まれた複数の圧電層部分（以下、活性部という）に圧電変形が生じることで、圧力室内のインクに圧力が付与される。

ところで、特許文献１には詳細には記載されていないが、この従来の圧電アクチュエータを駆動する駆動装置（ドライバＩＣ）は、各活性部を挟む２種類の電極を一定電圧の電源に接続することで、電極間に電位差を発生させるように構成されていた。しかし、本願発明者らの検討により、前述した従来構成においては、以下のような問題が生じることが分かった。

圧電層の複数の活性部の各々は、２種類の電極間に電圧が印加されたときには電荷を蓄え（充電）、２種類の電極間の電圧印加が解除されたときには蓄えていた電荷を放出（放電）する、ある静電容量を有するコンデンサとして作用する。そして、複数の活性部が一定電圧の電源に接続されると、これら複数の活性部の各々は電源から供給される充電電流によって瞬時にフル充電される。また、このときの複数の活性部の電圧は全て一定になる。

ところで、複数の活性部の間で静電容量の値がばらつくことがよくある。その要因としては、電極面積のばらつき、活性部の厚みばらつき、製造工程で生じた応力のばらつき、及び、圧電材料の面内不均一に起因する圧電定数のばらつき等が考えられる。このように、複数の活性部で静電容量がばらつく場合に、複数の活性部にそれぞれ同じ電圧が印加されると、活性部の変形量が、静電容量に応じてばらついてしまう。例えば、厚みが小さい（静電容量が大きい）活性部においては変形量が大きくなり、厚みが大きい（静電容量が小さい）活性部においては変形量が小さくなってしまう。そして、上記インクジェットヘッド用の圧電アクチュエータであれば、複数の活性部間で変形量がばらつくと、複数の圧力室間でインクに付与される圧力がばらつき、その結果、複数のノズルから噴射される液滴の速度が異なってしまうことになる。

そこで、本願発明者らは、複数の活性部間で静電容量がばらついても活性部の変形量が等しくなるような、圧電アクチュエータの駆動方式を検討している。複数の活性部の変形量を等しくするためには、静電容量が大きい活性部に対しては印加電圧を小さくし、静電容量が小さい活性部に対しては印加電圧を大きくすればよい。ここで、コンデンサの静電容量（Ｃ）、印加電圧（Ｖ）、蓄えられる電荷量（Ｑ）の間にＱ＝ＣＶの関係が成立することがよく知られている。従って、Ｃ（大）のときにＶ（小）、Ｃ（小）のときにＶ（大）にするためには、複数の活性部で電荷量（Ｑ）が一定になるようにすればよい。具体的には、定電流源を用いて活性部への充電電流を一定に保ち、さらに、複数の活性部にそれぞれ蓄えられる電荷量が同じになるように充電時間を等しく制御する。

これに関連して、特許文献２には、圧電素子への充電電流を一定に維持する充電側定電流回路と、圧電素子からの放電電流を一定に維持する放電側定電流回路とを備えた、インクジェットヘッド用圧電アクチュエータの駆動回路が開示されている。

特開２００６−２５６３１７号公報 特開２００１−１５０６６６号公報

ところで、圧電層は脆性材料であるセラミックスからなるために、製造時において圧電層にクラックが生じることがある。ここで、このクラックが、２種類の電極に挟まれた圧電層の活性部に存在すると、この活性部において電荷（電流）のリークが生じる。そのため、この活性部においては、正常な活性部と同じ時間充電してもその一部がリークするために蓄えられる電荷が少なくなり、また、放電時には蓄えられた電荷が短い時間で放電されてしまうなど、充放電時における電荷量の変化（即ち、それに伴う印加電圧の変化）が正常な活性部と異なってしまい、その結果、活性部の挙動（圧電変形態様）に違いが生じてしまう。以上の理由から、従来は、活性部にクラックが生じた圧電層は使用せずに廃棄しており、歩留まりが低くなっていた。

尚、特許文献２には一定の充電電流で圧電素子（活性部）を充電する駆動回路が開示されているものの、上述の、活性部にクラックが存在するときの課題、及び、その解決手段については何ら記載されていない。

本発明の目的は、電荷のリークが生じる活性部の挙動を正常な活性部に近づけることが可能な、圧電アクチュエータの駆動装置を提供することである。

第１の発明の圧電アクチュエータの駆動装置は、圧電層とこの圧電層に設けられた複数の第１電極及び複数の第２電極を有し、前記複数の第１電極と前記複数の第２電極とに挟まれた圧電層部分からなりコンデンサとして作用する複数の活性部を備えた、圧電アクチュエータを駆動する駆動装置であって、
前記複数の活性部のそれぞれに接続された複数の充電経路、及び、複数の放電経路と、前記複数の充電経路を介して前記複数の活性部とそれぞれ接続された充電側定電流源と、前記複数の放電経路を介して前記複数の活性部とそれぞれ接続された放電側定電流源と、前記複数の充電経路に対してそれぞれ設けられ、対応する充電経路を別の充電経路と接続して両充電経路の間で充電電流を融通し合う、複数の電流融通回路とを備えていることを特徴とするものである。

ある活性部にクラックが存在して電荷（電流）のリークが発生する場合に、電流融通回路により、その活性部に対応する充電経路に対して、他の活性部の充電経路から電流を融通供給することができる。これにより、リーク分の電荷を他の充電経路から補填することが可能になり、充放電時における電荷量の変化（即ち、それに伴う印加電圧の変化）を正常な活性部に近づけることができる。従って、圧電層の一部の活性部にクラックが存在する場合でも圧電アクチュエータに使用できるようになり、歩留まりが向上する。

第２の発明の圧電アクチュエータの駆動装置は、前記第１の発明において、前記複数の電流融通回路の各々は、対応する充電経路を別の充電経路に繋ぐ融通経路と、前記融通経路に設けられた第１スイッチと、前記融通経路と前記活性部との間に設けられた第２スイッチとを有することを特徴とするものである。

充電時に、リークが生じる活性部に対応する電流融通回路の第１スイッチがＯＮにされると、その活性部へ、他の充電経路からも充電電流が供給されるため、その活性部へ供給される充電電流が大きくなり、一定時間充電した後の電荷量が他の正常な活性部に近づく。また、放電時に、前記リークが生じる活性部に対応する第１スイッチ及び第２スイッチがＯＮにされると、他の充電経路からの充電電流によってリークする電荷が補填されるため、放電時間が正常な活性部に近づく。

第３の発明の圧電アクチュエータの駆動装置は、前記第２の発明において、前記電流融通回路の前記第１スイッチと前記第２スイッチのＯＮ／ＯＦＦ制御を行う制御回路を備え、
前記制御回路は、所定の活性部の充電時に、その活性部の充電経路と繋がる前記融通経路に設けられた前記第１スイッチをＯＮにし、前記所定の活性部の放電時には、その活性部の充電経路と繋がる前記融通経路に設けられた前記第１スイッチをＯＮにするとともに、その活性部と前記融通経路との間の前記第２スイッチをＯＮにし、一定時間経過後に、再び前記第２スイッチをＯＦＦにすることを特徴とするものである。

制御回路により、充電時に、リークが生じる活性部に対応する電流融通回路の第１スイッチがＯＮにされると、その活性部へ、他の充電経路からも充電電流が供給される。また、放電時に、前記リークが生じる活性部に対応する第１スイッチ及び第２スイッチがＯＮにされると、他の充電経路からの充電電流によってリークする電荷が補填される。また、放電開始してから一定時間経過して、他の充電経路から、リークが生じる活性部に対してある程度の電荷が補填されると、第２スイッチをＯＦＦにして電荷の補填を止め、正常な活性部とほぼ同じ時間で放電を完了させる。

第４の発明の圧電アクチュエータの駆動装置は、前記第３の発明において、前記制御回路には、前記複数の活性部のそれぞれについてのリーク電流の程度を示すリーク電流情報が入力され、前記制御回路は、前記所定の活性部の充電時に、その活性部についてのリーク電流情報に基づいて、その活性部の充電経路と繋がる前記融通経路に設けられた前記第１スイッチのうち、ＯＮにする前記第１スイッチの数を決定し、他の充電経路から融通する充電電流の量を制御することを特徴とするものである。

本発明によれば、電流のリークが生じる活性部の充電を行う際に、そのリーク電流の程度に応じてＯＮにする第１スイッチの数を決定することで、他の充電経路から供給する充電電流の量を段階的に制御することができる。

第５の発明の圧電アクチュエータの駆動装置は、前記第１の発明において、前記充電経路を別の充電経路と接続して両充電経路の間で充電電流を融通し合うように、前記電流融通回路を制御する、制御回路を備えていることを特徴とするものである。

ある活性部にクラックが存在して電荷（電流）のリークが発生する場合に、制御回路は、電流融通回路を制御して、前記リークが生じる活性部の充電経路と別の充電経路とを接続し、その活性部の充電経路に対して、他の充電経路から電流を融通させる。

第６の発明のインクジェットプリンタは、被印刷媒体に対して複数のノズルからインクの液滴を噴射して印刷を行うインクジェットプリンタであって、
圧電層とこの圧電層に設けられた複数の第１電極及び複数の第２電極とを有し、前記複数の第１電極と前記複数の第２電極とに挟まれた圧電層部分からなりコンデンサとして作用する複数の活性部を備え、これら複数の活性部によって前記複数のノズルからそれぞれインクの液滴を噴射させる圧電アクチュエータと、前記圧電アクチュエータを駆動する前記第３〜第５の何れかの発明の駆動装置と、前記複数の活性部のそれぞれについてのリーク電流の程度を、正常レベル、第１異常レベル、及び、前記第１異常レベルよりもリーク電流が多い第２異常レベルの、少なくとも３段階で示す、リーク電流情報を記憶する記憶部を備え、
前記駆動装置の前記制御回路は、低画質印刷指令が入力されたときには、前記リーク電流情報が前記第２異常レベルである活性部についてのみ、前記電流融通回路により他の充電経路からの充電電流の融通供給を行い、前記低画質印刷指令よりも高い画質が要求される高画質印刷指令が入力されたときには、前記リーク電流情報が前記第２異常レベルである活性部だけでなく、前記第１異常レベルである活性部についても、前記電流融通回路により他の充電経路からの充電電流の融通供給を行うように制御することを特徴とするものである。

リークが発生する活性部への電流融通を行うには、印刷用のデータとは別に、その電流融通を行うためのデータ（リークが発生する活性部を特定するためのデータや、リーク電流の程度を示すデータ）が必要になり、データ転送や処理に時間がかかるため、印刷時間が長くなる。そこで、本発明においては、画質よりも印刷速度を重視する低画質印刷時においては、リークが生じる異常な活性部の中でも、リーク電流が比較的小さい、第１異常レベルと判定されているものについては、他の充電経路からの電流融通は行わない。

本発明によれば、電荷（電流）のリークが発生する活性部に対して、他の活性部の充電経路から電荷を補填することが可能になり、充放電時における電荷量の変化（即ち、それに伴う印加電圧の変化）を正常な活性部に近づけることができる。従って、圧電層の一部の活性部にクラックが存在する場合でも圧電アクチュエータに使用できるようになり、歩留まりが向上する。

本実施形態に係るインクジェットプリンタを概略的に示す平面図である。 インクジェットヘッドの平面図である。 図２の一部拡大図である。 図３のIV-IV線断面図である。 ドライバＩＣ（充電時）の回路図である。 ドライバＩＣ（放電時）の回路図である。 インクジェットプリンタの制御系を示すブロック図である。

次に、本発明の実施の形態について説明する。本実施形態は、記録用紙に対してインクの液滴を噴射するインクジェットヘッドを備えたインクジェットプリンタに本発明を適用した一例である。

まず、本実施形態のインクジェットプリンタ１の概略構成について説明する。図１は、本実施形態のインクジェットプリンタの概略平面図である。この図１に示すように、プリンタ１は、所定の走査方向（図１の左右方向）に沿って往復移動可能に構成されたキャリッジ２と、このキャリッジ２に搭載されたインクジェットヘッド３と、被印刷媒体である記録用紙Ｐを、走査方向と直交する搬送方向に搬送する搬送機構４等を備えている。

キャリッジ２は、走査方向（図１の左右方向）に平行に延びる２本のガイド軸１７に沿って往復移動可能に構成されている。また、キャリッジ２には、無端ベルト１８が連結されており、キャリッジ駆動モータ１９によって無端ベルト１８が走行駆動されたときに、キャリッジ２は、無端ベルト１８の走行に伴って走査方向に移動するようになっている。尚、プリンタ１には、走査方向に間隔を空けて配列された多数の透光部（スリット）を有するリニアエンコーダ１０が設けられている。一方、キャリッジ２には、発光素子と受光素子とを有する透過型のフォトセンサ１１が設けられている。そして、プリンタ１は、キャリッジ２の移動中にフォトセンサ１１が検出したリニアエンコーダ１０の透光部の計数値（検出回数）から、キャリッジ２の走査方向に関する現在位置を認識できるようになっている。

このキャリッジ２には、インクジェットヘッド３が搭載されている。インクジェットヘッド３は、その下面（図１の紙面向こう側の面）に多数のノズル３０（図２〜図４参照）を備えている。このインクジェットヘッド３は、搬送機構４により図１の下方（搬送方向）に搬送される記録用紙Ｐに対して、図示しないインクカートリッジから供給されたインクを多数のノズル３０から噴射するように構成されている。

搬送機構４は、インクジェットヘッド３よりも搬送方向上流側に配置された給紙ローラ１２と、インクジェットヘッド３よりも搬送方向下流側に配置された排紙ローラ１３とを有する。給紙ローラ１２と排紙ローラ１３は、それぞれ、給紙モータ１４と排紙モータ１５により回転駆動される。そして、この搬送機構４は、給紙ローラ１２により、記録用紙Ｐを図１の上方からインクジェットヘッド３へ搬送するとともに、排紙ローラ１３により、インクジェットヘッド３によって画像や文字等が記録された記録用紙Ｐを図１の下方へ排出する。

次に、インクジェットヘッド３について説明する。図２はインクジェットヘッドの平面図、図３は図２の一部拡大図、図４は図３のIV-IV線断面図である。図２〜図４に示すように、インクジェットヘッド３は、ノズル３０や圧力室２４を含むインク流路が形成された流路ユニット６と、圧力室２４内のインクに圧力を付与する圧電アクチュエータ７とを備えている。

まず、流路ユニット６について説明する。図４に示すように、流路ユニット６はキャビティプレート２０、ベースプレート２１、マニホールドプレート２２、及びノズルプレート２３を備えており、これら４枚のプレート２０〜２３が積層状態で接合されている。このうち、キャビティプレート２０、ベースプレート２１及びマニホールドプレート２２は、それぞれ、ステンレス鋼等の金属材料からなる平面視で略矩形状の板である。そのため、これら３枚のプレート２０〜２２に、後述するマニホールド２７や圧力室２４等のインク流路をエッチングにより容易に形成することができるようになっている。また、ノズルプレート２３は、例えば、ポリイミド等の高分子合成樹脂材料により形成され、マニホールドプレート２２の下面に接着剤で接合される。あるいは、このノズルプレート２３も、他の３枚のプレート２０〜２２と同様にステンレス鋼等の金属材料で形成されていてもよい。

図２〜図４に示すように、４枚のプレート２０〜２３のうち、最も上方に位置するキャビティプレート２０には、平面に沿って配列された複数の圧力室２４がプレート２０を貫通する孔により形成されている。また、複数の圧力室２４は、搬送方向（図２の上下方向）に千鳥状に２列に配列されている。また、図４に示すように、複数の圧力室２４は上下両側から後述の振動板４０及びベースプレート２１によりそれぞれ覆われている。さらに、各圧力室２４は、平面視で走査方向（図２の左右方向）に長い、略楕円形状に形成されている。

図３、図４に示すように、ベースプレート２１の、平面視で圧力室２４の長手方向両端部と重なる位置には、それぞれ連通孔２５，２６が形成されている。また、マニホールドプレート２２には、平面視で、２列に配列された圧力室２４の連通孔２５側の部分と重なるように、搬送方向に延びる２つのマニホールド２７が形成されている。これら２つのマニホールド２７は、後述の振動板４０に形成されたインク供給口２８に連通しており、図示しないインクタンクからインク供給口２８を介してマニホールド２７へインクが供給される。さらに、マニホールドプレート２２の、平面視で複数の圧力室２４のマニホールド２７と反対側の端部と重なる位置には、それぞれ、複数の連通孔２６に連なる複数の連通孔２９も形成されている。

さらに、ノズルプレート２３の、平面視で複数の連通孔２９にそれぞれ重なる位置には、複数のノズル３０が形成されている。図２に示すように、複数のノズル３０は、搬送方向に沿って２列に配列された複数の圧力室２４の、マニホールド２７と反対側の端部とそれぞれ重なるように配置され、２列のノズル列を構成している。

そして、図４に示すように、マニホールド２７は連通孔２５を介して圧力室２４に連通し、さらに、圧力室２４は、連通孔２６，２９を介してノズル３０に連通している。このように、流路ユニット６内には、マニホールド２７から圧力室２４を経てノズル３０に至る個別インク流路３１が複数形成されている。

尚、図２においては、説明の簡単のため、１つのインク供給口２８に連なる１種類の流路構造（マニホールド２７、圧力室２４、ノズル３０等）のみが描かれているが、インクジェットヘッド３が、図２に示されている流路構造が走査方向に複数並べて設けられた構成を備え、複数色（例えば、ブラック、イエロー、シアン、マゼンタの４色）のインクをそれぞれ噴射可能な、カラーインクジェットヘッドであってもよい。

次に、圧電アクチュエータ７について説明する。図２〜図４に示すように、圧電アクチュエータ７は、複数の圧力室２４を覆うように流路ユニット６（キャビティプレート２０）の上面に配置された振動板４０と、この振動板４０の上面に、複数の圧力室２４と対向するように配置された圧電層４１と、圧電層４１の上面に配置された複数の個別電極４２とを備えている。

振動板４０は、平面視で略矩形状の金属板であり、例えば、ステンレス鋼等の鉄系合金、銅系合金、ニッケル系合金、あるいは、チタン系合金などからなる。この振動板４０は、キャビティプレート２０の上面に複数の圧力室２４を覆うように配設された状態で、キャビティプレート２０に接合されている。また、導電性を有する振動板４０の上面は、圧電層４１の下面側に配置されることによって、上面の複数の個別電極４２との間で圧電層４１に厚み方向の電界を生じさせる、共通電極を兼ねている。この共通電極としての振動板４０は、圧電アクチュエータ７を駆動するドライバＩＣ４７のグランド配線に接続されて、常にグランド電位に保持される。

圧電層４１は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との固溶体であり強誘電体であるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とする圧電材料からなる。図２に示すように、この圧電層４１は、振動板４０の上面において、複数の圧力室２４に跨って連続的に形成されている。また、この圧電層４１は、少なくとも圧力室２４と対向する領域において厚み方向に分極されている。

圧電層４１の上面の、複数の圧力室２４と対向する領域には、複数の個別電極４２がそれぞれ配置されている。各々の個別電極４２は圧力室２４よりも一回り小さい略楕円形の平面形状を有し、圧力室２４の中央部と対向している。また、複数の個別電極４２の端部からは、ドライバＩＣ４７を実装したフレキシブル配線基板（図示省略）と接続される、複数の接点部４５が個別電極４２の長手方向に沿ってそれぞれ引き出されている。尚、上述した複数の個別電極４２が本願における複数の第１電極に相当し、また、共通電極としての振動板４０のうちの、複数の個別電極４２とそれぞれ対向して圧電層４１を挟む複数の部分が、本願における複数の第２電極に相当する。

また、複数の個別電極４２と共通電極としての振動板４０とに挟まれた、複数の圧電層部分（活性部４６）は、予め、その厚み方向に分極されている。そして、個別電極４２と振動板４０との間に電位差（電圧）が発生したときには、活性部４６には圧電変形（圧電歪み）が発生し、この変形によって、その活性部４６と対向する圧力室２４内のインクに圧力が付与されることになる。

以上の圧電アクチュエータ７には、この圧電アクチュエータ７を駆動するドライバＩＣ４７（駆動装置）を実装した、図示しないフレキシブル配線基板（ＦＰＣ）が接続され、ＦＰＣ上の配線を介してドライバＩＣ４７と複数の個別電極４２、及び、共通電極としての振動板４０が電気的に接続される。

後ほど詳述するが、圧電アクチュエータ７を駆動するドライバＩＣ４７は、圧電アクチュエータ７の複数の活性部４６に対して一定の充電電流を供給し、複数の活性部４６間で蓄えられる電荷量を等しくすることにより、各活性部４６（個別電極４２−共通電極（振動板４０）の間）にその静電容量に応じた電圧を発生させる。また、一定の放電電流で活性部４６に蓄えられた電荷を放電することにより、各活性部４６の電圧を０にする。この充放電によって活性部４６への電圧印加とその解除とを繰り返し、活性部４６を駆動する。このドライバＩＣ４７の具体的な回路構成については、後ほど説明する。

次に、インク噴射時における圧電アクチュエータ７の作用について説明する。個別電極４２と共通電極としての振動板４０とに挟まれた、各々の活性部４６において、電荷が蓄えられていない状態では、個別電極４２の電位が振動板４０と同じグランド電位となっている。このとき、活性部４６に電界が作用しておらず、圧電歪みは生じていない。

この状態から、ある活性部４６に対して、ドライバＩＣ４７から一定の充電電流が所定時間供給されると、その活性部４６に所定量の電荷が蓄えられるとともに、個別電極４２の電位がグランド電位の振動板４０に対して高くなる。従って、この活性部４６を挟む個別電極４２と振動板４０との間に、活性部４６の静電容量（Ｃ）と、蓄えられた電荷量（Ｑ）によって定まる、電圧（Ｖ＝Ｑ／Ｃ）が印加されることになり、活性部４６には厚み方向の電界が作用する。この電界の方向は圧電層４１の分極方向と平行であるから、活性部４６が厚み方向と直交する面方向に収縮する。ここで、圧電層４１の下側の振動板４０はキャビティプレート２０に固定されているため、この振動板４０の上面に位置する圧電層４１が面方向に収縮するのに伴って、振動板４０の圧力室２４を覆う部分が圧力室２４側に凸となるように変形する（ユニモルフ変形）。このとき、圧力室２４内の容積が減少するために圧力室２４内のインク圧力が上昇し、この圧力室２４に連通するノズル３０からインクが噴射される。

また、活性部４６に所定量の電荷が蓄えられた状態から、ドライバＩＣ４７によって一定の放電電流で電荷が放電されると、個別電極４２の電位が再びグランド電位となり、活性部４６には電界が作用しなくなることから、活性部４６の変形状態が解消され、振動板４０は、元の状態（キャビティプレート１０と平行な状態）に戻る。

次に、ドライバＩＣ４７の具体的な構成について説明する。図５、図６は、ドライバＩＣ４７の回路図であり、図５は活性部への充電時、図６は活性部からの放電時をそれぞれ示す。また、個別電極４２と共通電極としての振動板４０とに挟まれた、圧電層４１の複数の活性部４６は、それぞれ、両電極間の電圧印加によって電荷を蓄えるコンデンサ（容量成分）として作用するものであるから、図５では活性部４６をコンデンサの記号で示してある。図５、図６に示すように、ドライバＩＣ４７は、電源電圧（ＶＤＤ）に接続された２つの定電流源（充電側定電流源５０、放電側定電流源５１）と、充電側定電流源５０と複数の活性部４６とを接続する複数の充電経路５５と、放電側定電流源５１と複数の活性部４６とを接続する複数の放電経路５６と、充電経路５５に設けられた充電スイッチＳＷａと、放電経路５６に設けられた放電スイッチＳＷｂと、複数の充電スイッチＳＷａ及び複数の放電スイッチＳＷｂの切り換えを制御する充放電制御回路５２とを備えている。

充電側定電流源５０と放電側定電流源５１は、それぞれ、ＭＯＳＦＥＴ型トランジスタＴａと、トランジスタＴａのソースに接続された抵抗Ｒと、複数の活性部４６にそれぞれ対応した複数のＭＯＳＦＥＴ型トランジスタＴｂとを有する。各々の定電流源５０，５１のトランジスタＴａのドレインは電源（ＶＤＤ）と接続され、ソースは抵抗Ｒを介してグランドと接続されている。

充電側定電流源５０の複数のトランジスタＴｂのドレインは電源（ＶＤＤ）と接続されている。また、放電側定電流源５１の複数のトランジスタＴｂのソースはグランドと接続されている。さらに、充電側定電流源５０の複数のトランジスタＴｂのソースと放電側定電流源５１の複数のトランジスタＴｂのドレインとがそれぞれ接続され、前述した複数の活性部４６へ充電を行うための複数の充電経路５５と、複数の活性部４６からの放電を行うための複数の放電経路５６が構成されている。また、充電経路５５と放電経路５６の接続点Ｐ１からは、活性部４６の個別電極４２と接続される接続経路５４が分岐している。

また、各々の定電流源５０，５１において、トランジスタＴａ，Ｔｂのゲート端子は互いに接続されるとともに、これらゲート端子には電源電圧（ＶＤＤ）が印加されており、トランジスタＴａ，Ｔｂはカレントミラー回路を構成している。これにより、トランジスタＴａのドレイン−ソース間には抵抗Ｒによって定まる一定の電流が流れる一方で、トランジスタＴａとそれぞれカレントミラー回路を構成する、複数のトランジスタＴｂのドレイン−ソース間にもトランジスタＴａと同じ一定の電流が流れることになる。これにより、活性部４６への充電時には充電側定電流源５０から充電経路５５を介して活性部４６へ供給される充電電流（図５の矢印Ａ）が一定に保たれ、また、活性部４６からの放電時には、活性部４６から放電経路５６を介して流れ出る放電電流（図６の矢印Ｂ）が放電側定電流源５１によって一定に保たれる。

充電経路５５（接続点Ｐ１と充電側定電流源５０との間）と放電経路５６（接続点Ｐ１と放電側定電流源５１との間）には、ＭＯＳＦＥＴ型のトランジスタからなる、充電スイッチＳＷａと放電スイッチＳＷｂがそれぞれ設けられている。充電スイッチＳＷａは、ＯＮのときに充電側定電流源５０と活性部４６とを接続して、活性部４６への充電を行う。また、放電スイッチＳＷｂは、ＯＮのときに放電側定電流源５１と活性部４６とを接続して、活性部４６の放電を行う。

充放電制御回路５２は、充電経路５５と放電経路５６に設けられた、充電スイッチＳＷａを構成するトランジスタと放電スイッチＳＷｂを構成するトランジスタの、それぞれのゲート端子にゲート電圧を印加して、充電スイッチＳＷａ及び放電スイッチＳＷｂのＯＮ／ＯＦＦを切り換える。より具体的には、充放電制御回路５２は、活性部４６に電圧を印加して活性部４６に圧電変形を生じさせる際には、充電スイッチＳＷａをＯＮにするとともに放電スイッチＳＷｂをＯＦＦにし、充電側定電流源５０と活性部４６とを接続して、図５中矢印Ａで示す経路で活性部４６に一定の充電電流を供給する。また、活性部４６の電圧を０にして活性部４６の変形を元に戻す際には、充電スイッチＳＷａをＯＦＦにするとともに放電スイッチＳＷｂをＯＮにし、図６中矢印Ｂで示す経路で活性部４６に蓄えられた電荷を、一定の放電電流で放電する。

ここで、各圧力室２４内のインクに付与される圧力（即ち、ノズル３０から噴射される液滴に与えられるエネルギー）は、各活性部４６に電圧（個別電極４２と共通電極としての振動板４０との電位差）が印加されたときの圧電変形量によって定まる。しかし、複数の活性部４６間で静電容量にばらつきが存在する場合には、同じ電圧が印加されても静電容量の大きさによって圧電変形量が異なる。例えば、厚みが小さい（静電容量が大きい）活性部４６においては変形量が大きくなり、厚みが大きい（静電容量が小さい）活性部４６においては変形量が小さくなってしまう。

そこで、充放電制御回路５２は、複数の活性部４６の充放電される電荷量が等しくなるように充電スイッチＳＷａ及び放電スイッチＳＷｂの切り換えタイミング（即ち、充電時間及び放電時間）を制御する。これにより、Ｑ＝ＣＶの関係においてＱが一定とすることで、静電容量が大きい活性部４６への印加電圧は小さく、逆に、静電容量が小さい活性部４６への印加電圧は大きくなることから、複数の活性部４６間での圧電変形量のばらつきが抑えられる。

上記内容について、より具体的に説明する。各活性部４６の充電電流と放電電流は、充電側定電流源５０と放電側定電流源５１によってそれぞれ一定に保たれる。尚、本実施形態では、充電側定電流源５０と放電側定電流源５１の構成が同一であるため充電電流と放電電流は同じ値となるが、充電電流と放電電流が異なる値となるように、充電側定電流源５０と放電側定電流源５１の構成（例えば、抵抗Ｒの電気抵抗値等）が異なっていてもよい。

このように、充電電流と放電電流はそれぞれ一定であることから、所定の電荷量Ｑを充放電するための、各活性部４６の充電時間Ｔ１と放電時間Ｔ２は、充電電流をＩ１、放電電流をＩ２とすると、Ｔ１＝Ｑ／Ｉ１、Ｔ２＝Ｑ／Ｉ２となる。そこで、充放電制御回路５２は、まず、充電スイッチＳＷａがＯＮ（充電側定電流源５０と活性部４６の接続状態）で、且つ、放電スイッチＳＷｂがＯＦＦ（放電側定電流源５１と活性部４６との遮断状態）となる時間がＴ１になるように、充電スイッチＳＷａと放電スイッチＳＷｂの切り換えタイミングを制御する。次に、充電スイッチＳＷａがＯＦＦ（充電側定電流源５０と活性部４６の遮断状態）で、且つ、放電スイッチＳＷｂがＯＮ（放電側定電流源５１と活性部４６との接続状態）となる時間がＴ２になるように、充電スイッチＳＷａと放電スイッチＳＷｂの切り換えタイミングを制御する。

ところで、複数の活性部４６の全てが、クラックが存在しない正常な活性部４６であれば問題はないのであるが、何れかの活性部４６においてクラックが生じている場合には、この活性部４６において電荷（電流）のリークが生じる。そのため、充電時においては、一定の充電電流を上述した所定時間Ｔ１だけ供給しても、異常な活性部４６に蓄えられる電荷量は、電荷のリークが生じる分だけ正常の活性部４６と比べて少なくなる。また、放電時においては、一定の放電電流で放電される分に加えてリークによっても電荷が減少するため、正常な場合の放電時間Ｔ２よりも短い時間で放電が終了してしまう。従って、クラックの存在する活性部４６では、充放電時における電荷量の変化（即ち、印加電圧の変化）が正常な活性部４６と異なり、挙動（圧電変形）も異なってしまう。

そこで、本実施形態のドライバＩＣ４７は、電荷のリークが生じる異常な活性部４６に対して、他の活性部４６の充電経路５５から電流を融通してリークした分の電荷を補填できるように構成されている。即ち、図５、図６に示すように、ドライバＩＣ４７は、複数の充電経路５５に対してそれぞれ設けられ、対応する充電経路５５を別の充電経路５５と接続して両充電経路５５の間で充電電流を融通し合う、複数の電流融通回路５７を備えている。

電流融通回路５７の回路構成を具体的に説明する。複数の電流融通回路５７の各々は、対応する充電経路５５を別の充電経路５５に繋ぐ融通経路５８と、融通経路５８に設けられた第１スイッチＳＷ１と、融通経路５８と活性部４６との間に設けられた第２スイッチＳＷ２とを有する。尚、第１スイッチＳＷ１と第２スイッチＳＷ２は、ともに、ＭＯＳＦＥＴ型のトランジスタで構成されている。これにより、１つの活性部４６の充電経路５５は、その活性部４６に対応する電流融通回路５７の融通経路５８によって、隣の活性部４６の充電経路５５と接続されることとなり、この隣の活性部４６の充電経路５５を流れる充電電流の一部を融通してもらうことが可能となる。

充放電制御回路５２は、先に述べた充電スイッチＳＷａと放電スイッチＳＷｂのＯＮ／ＯＦＦ制御の他、電荷のリークが生じる異常な活性部４６が存在する場合には、その活性部４６の充放電時に、電流融通回路５７の第１スイッチＳＷ１と第２スイッチＳＷ２のＯＮ／ＯＦＦを制御して、他の充電経路５５からの活性部４６への電荷の補填を行わせる。

以下の説明では、図５、図６に示されている３つの活性部４６ａ，４６ｂ，４６ｃのうち、中央に位置する活性部４６ｂが電流のリークが生じる異常な活性部４６であるとする。尚、後述するプリンタ１の制御装置８から充放電制御回路５２に対して、複数の活性部４６のそれぞれが正常か異常かを示す情報（リーク電流情報）が送られ、この情報を基に、充放電制御回路５２は、どの活性部４６に対して電流融通を行えばよいのかを判断する。

充電時においては、図５に示すように、３つの活性部４６ａ，４６ｂ，４６ｃのそれぞれの充電経路５５において充電スイッチＳＷａがＯＮ（放電スイッチＳＷｂはＯＦＦ）であり、矢印Ａに示すように充電経路５５を介して活性部４６ａ，４６ｂ，４６ｃにそれぞれ充電電流が供給されている。ここで、異常な活性部４６ｂは、この活性部４６ｂに対応する電流融通回路５７の融通経路５８によって右側の活性部４６ｃの充電経路５５と接続されている。さらに、活性部４６ｂは、左側の活性部４６ａに対応する電流融通回路５７の融通経路５８によって活性部４６ａの充電経路５５とも接続されている。

そこで、充放電制御回路５２は、活性部４６ｂに接続された２つの融通経路５８の第１スイッチＳＷ１をそれぞれＯＮにすることで、図中矢印αに示すように、活性部４６ａの充電経路５５と活性部４６ｃの充電経路５５から、活性部４６ｂの充電経路５５に対して充電電流の一部を供給（融通）させる。これにより、活性部４６ｂに供給される充電電流が本来の電流値よりも大きくなり、活性部４６ｂでリークする分の電荷が補填され、活性部４６ｂに蓄えられる電荷量が正常な活性部４６ａ，４６ｃに近づく。

また、放電時においては、図６に示すように、３つの活性部４６ａ，４６ｂ，４６ｃのそれぞれの放電経路５６において放電スイッチＳＷｂがＯＮ（充電スイッチＳＷａはＯＦＦ）であり、矢印Ｂで示すように３つの活性部４６ａ，４６ｂ，４６ｃからそれぞれの放電経路５６を介して放電電流が流れ出す。このとき、充放電制御回路５２は、異常な活性部４６ｂに繋がった融通経路５８の第１スイッチＳＷ１をＯＮにするとともに、この融通経路５８と活性部４６ｂとの間の第２スイッチＳＷ２もＯＮにする。これにより、矢印βで示すように、正常な活性部４６ｃの充電経路５５から、融通経路５８を介して活性部４６ｂに充電電流が供給される。尚、図５の充電時と違って第１スイッチＳＷ１だけでなく、第２スイッチＳＷ２もＯＮにする理由は、放電時には充電スイッチＳＷａがＯＦＦであるため、第１スイッチＳＷ１をＯＮにするだけでは活性部４６ｂへ充電電流を供給できないためである。

尚、他の充電経路５５からの充電電流の供給が継続したままであると、活性部４６ｂの放電が終わらなくなってしまうため、放電を開始してから一定時間経過して、他の充電経路５５から、リークが生じている活性部４６ｂに対してある程度の電荷が補填された段階で、第２スイッチＳＷ２をＯＦＦにして電荷の補填を止める。このように、放電初期に、他の充電経路５５から異常な活性部４６ｂに対してリークする分の電荷が補填されるため、活性部４６ｂの放電時間が長くなり、正常な活性部４６ａ，４６ｃに近づく。

このように、電荷（電流）のリークが発生する活性部４６ｂに対して、他の活性部４６ａ，４６ｃの充電経路５５から電荷を補填することで、充放電時における電荷量の変化（即ち、それに伴う印加電圧の変化）を正常な活性部４６ａ，４６ｃに近づけることができる。従って、圧電層４１の中に、リークが生じる異常な活性部４６が存在する場合であっても、この圧電層４１を圧電アクチュエータ７に使用できるようになり、歩留まりが向上する。

尚、ある活性部４６にクラックが存在して電流がリークする場合に、クラックの状態（大きさや長さ等）によってリークする電流の程度は変わる。そこで、充放電制御回路５２は、活性部４６のリーク電流の程度に応じて、異常な活性部４６に融通する充電電流の量を制御することが好ましい。具体的には、後述するプリンタ１の制御装置８から、活性部４６のリーク電流の程度を示す情報（リーク電流情報）が入力され、その情報に基づいて、充放電制御回路５２は活性部４６に供給（融通）する充電電流の量を制御する。

本実施形態では、１つの活性部４６ｂは、２つの融通経路５８によって隣の２つの活性部４６ａ，４６ｂの充電経路５５とそれぞれ接続されている。さらに、右隣の活性部４６ｃの充電経路５５は、図示は省略されているが、さらに別の充電経路５５と融通経路５８で接続されている。即ち、複数の活性部４６にそれぞれ対応する複数の充電経路５５が、それらの間の融通経路５８を介して直列的に接続されている。従って、ある異常な活性部４６に対して他の充電経路５５から充電電流を供給する際に、その活性部４６に直列的に繋がる複数の融通経路５８にそれぞれ設けられた複数の第１スイッチＳＷ１のうち、ＯＮにする第１スイッチＳＷ１の数を調整すれば、異常な活性部４６に対して供給する充電電流の量を段階的に調整することができる。例えば、２つの第１スイッチＳＷ１をＯＮにすれば２つの充電経路５５から１つの活性部４６に対して充電電流が融通され、その融通電流量は、１つの第１スイッチＳＷ１がＯＮになっている場合のほぼ２倍となる。

次に、プリンタ１の制御系について、図７のブロック図を参照して説明する。プリンタ１の制御装置８は、中央処理装置であるＣＰＵ（Central Processing Unit）６０、ＲＯＭ（Read Only Memory）６１、ＲＡＭ（Random Access Memory）６２、及び、これらを接続するバス６３からなるマイクロコンピュータを有する。また、バス６３には、インクジェットヘッド３のドライバＩＣ４７、キャリッジ２を駆動するキャリッジ駆動モータ１９、搬送機構４の給紙モータ１４及び排紙モータ１５等を制御する、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）６４が接続されている。また、このＡＳＩＣ６４は、入出力インターフェイス（Ｉ／Ｆ）６８を介して外部装置であるＰＣ（パーソナルコンピュータ）６９とデータ通信可能に接続されている。

また、ＡＳＩＣ６４には、ＰＣ６９から入力された印刷データに基づいてインクジェットヘッド３のドライバＩＣ４７とキャリッジ駆動モータ１９をそれぞれ制御するヘッド制御回路７１と、同じく前記印刷データに基づいて搬送機構４の給紙モータ１４と排紙モータ１５をそれぞれ制御する搬送制御回路７２等が組み込まれている。

さらに、ヘッド制御回路７１は記憶部７３を備えており、この記憶部７３には、ドライバＩＣ４７等の制御に用いる様々なデータが記憶されている。その中でも、記憶部７３には、圧電アクチュエータ７の複数の活性部４６に関するデータが格納されている。

そのような活性部４６に関するデータとしては、複数の活性部４６のそれぞれについての、異常（リーク）の有無、及び、リーク電流の程度を示すリーク電流情報がある。このリーク電流情報は、複数の活性部４６で生じるリーク電流の大きさによって、複数の活性部４６を、正常レベル、第１異常レベル、第２異常レベルの、少なくとも３段階に区分する情報である。正常レベルの活性部４６では、リーク電流が非常に小さな値である、所定の第１閾値未満であり、リーク電流はほとんど生じない。また、第１異常レベルの活性部４６では、リーク電流が前記第１閾値以上、且つ、前記第１閾値よりも高い第２閾値未満であり、多少のリーク電流が生じる。さらに、第２異常レベルの活性部４６では、リーク電流が前記第２閾値以上であり、かなり大きなリーク電流が生じる。尚、このリーク電流情報は、インクジェットヘッド３の出荷前検査等における測定結果に応じて決定され、記憶部７３に記憶される。

また、ヘッド制御回路７１は充放電時間決定部７４を備えている。この充放電時間決定部７４は、複数の活性部４６に共通の充電電荷量Ｑを設定し、この電荷量Ｑから充電時間Ｔ１及び放電時間Ｔ２を決定する。そして、ヘッド制御回路７１は、充放電時間決定部７４で決定された充電時間Ｔ１及び放電時間Ｔ２と、記憶部７３に記憶された、複数の活性部４６のそれぞれについての前記リーク電流情報を、ドライバＩＣ４７へ送信する。

上記の入力信号に基づいて、前述したドライバＩＣ４７の充放電制御回路５２は、各活性部４６の充電時間及び放電時間が、充放電時間決定部７４で決定された時間Ｔ１、Ｔ２となるように、充電スイッチＳＷａ及び放電スイッチＳＷｂのＯＮ／ＯＦＦ切り換えを制御する。また、複数の活性部４６のリーク電流情報に基づいて、異常レベルの活性部４６の充放電時には電流融通回路５７を制御して他の充電経路５５から充電電流を補填する。さらに、活性部４６のリーク電流の程度によって（活性部４６の異常レベルが第１異常レベルか第２異常レベルかによって）、ＯＮにする第１スイッチＳＷ１の数を決定し、その活性部４６に対して他の充電経路５５から供給する充電電流の量を調整する。

次に、前記実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。但し、前記実施形態と同様の構成を有するものについては同じ符号を付して適宜その説明を省略する。

１］リークが発生する活性部４６への電流融通を行うには、印刷データとは別に、その電流融通のための行うためのデータ（前記実施形態ではリーク電流情報）が必要になり、ＰＣ６９等からプリンタ１へのデータ転送や処理に時間がかかるため、印刷時間が長くなる。ここで、従来から、テキスト印字を行う場合などに使用する低画質印刷モードと、画像を印刷する場合などに使用する高画質印刷モードとを使い分けるプリンタが知られているが、テキスト印字などではそれほど高い画質は要求されないために、いくつかの活性部４６にリーク電流が生じて性能（ノズル３０の噴射特性）が他の活性部４６と異なっていても、印刷にはそれほど影響はない。そこで、このようなプリンタにおいて、低画質印刷モード選択時には、異常な活性部４６への電流融通を制限するように構成されてもよい。

例えば、前記実施形態と同様に、複数の活性部４６のそれぞれについて３段階のリーク電流情報が設定されている場合に、ＰＣ６９から、画質よりも印刷速度を重視する低画質印刷の指令が入力されたときには、ドライバＩＣ４７の充放電制御回路５２は、リーク電流情報が第２異常レベルである活性部４６についてのみ、電流融通回路５７を制御して他の充電経路５５からの充電電流の融通供給を行わせ、リーク電流が比較的小さい、第１異常レベルと判定されているものについては、他の充電経路５５からの電流融通は行わない。一方、ＰＣ６９から、前記低画質印刷よりも高画質が要求される高画質印刷の指令が入力されたときには、ドライバＩＣ４７の充放電制御回路５２は、リーク電流情報が第２異常レベルである活性部４６だけでなく、第１異常レベルである活性部４６についても、電流融通回路５７を制御して、他の充電経路５５からの充電電流の融通供給を行わせる。

あるいは、低画質印刷指令が入力されたときには、全ての異常な活性部４６について、充電電流の融通を行わず、高画質印刷指令が入力されたときにのみ、異常な活性部４６への充電電流の融通を行うように構成されてもよい。

２］前記実施形態の圧電アクチュエータ７では、圧電層４１の一方の面に複数の個別電極４２（第１電極）、圧電層４１の他方の面に共通電極としての振動板４０（第２電極）が配置されており、これら２種類の電極４２，４０によって厚み方向に挟まれた圧電層部分が活性部４６として作用するようになっている。しかし、本発明を適用可能な圧電アクチュエータは上記構成には限られない。

例えば、振動板４０が共通電極を兼ねている必要は必ずしもなく、共通電極が、複数の圧力室２４を覆う振動板４０とは別に、この振動板４０の上面に設けられてもよい。また、第２電極は、圧電層４１の広い領域にまたがって形成される共通電極、いわゆる、ベタ電極である必要もなく、複数の第１電極とそれぞれ対向する位置に複数の第２電極が互いに分離して設けられてもよい。

あるいは、圧電層４１の１つの面に２種類の電極の両方が配置され、これら２種類の電極によって面方向に挟まれた圧電層部分が、活性部４６として作用するものであってもよい。

３］ドライバＩＣの回路構成は前記実施形態のものには限られず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、電流融通回路が、３以上の充電経路間で電流を相互に融通できるように、融通経路による充電経路間の接続の仕方、あるいは、スイッチの設置位置等を適宜変更してもよい。

また、前記実施形態では、ＭＯＳＦＥＴ型のトランジスタで構成されていた、充電側定電流源、放電側定電流源、充電スイッチ、放電スイッチ、電流融通回路の第１スイッチ及び第２スイッチの少なくとも１つ、あるいは、全部が、バイポーラトランジスタで構成されていてもよい。

以上説明した実施形態は、インクジェットヘッド用の圧電アクチュエータの駆動装置に本発明を適用した一例であるが、本発明の適用対象は液体を扱う装置に使用される圧電アクチュエータには限られない。例えば、活性部に生じる圧電歪みによって固形の駆動対象を振動させるような圧電アクチュエータの駆動装置に対しても、本発明を適用できる。

７ 圧電アクチュエータ
４０ 振動板（第２電極）
４１ 圧電層
４２ 個別電極（第１電極）
４６ 活性部
４７ ドライバＩＣ
５０ 充電側定電流源
５１ 放電側定電流源
５２ 充放電制御回路
５５ 充電経路
５６ 放電経路
５７ 電流融通回路
５８ 融通経路
７３ 記憶部
ＳＷ１ 第１スイッチ
ＳＷ２ 第２スイッチ

Claims (6)

1. 圧電層とこの圧電層に設けられた複数の第１電極及び複数の第２電極を有し、前記複数の第１電極と前記複数の第２電極とに挟まれた圧電層部分からなりコンデンサとして作用する複数の活性部を備えた、圧電アクチュエータを駆動する駆動装置であって、
   前記複数の活性部のそれぞれに接続された複数の充電経路、及び、複数の放電経路と、
   前記複数の充電経路を介して前記複数の活性部とそれぞれ接続された充電側定電流源と、
   前記複数の放電経路を介して前記複数の活性部とそれぞれ接続された放電側定電流源と、
   前記複数の充電経路に対してそれぞれ設けられ、対応する充電経路を別の充電経路と接続して両充電経路の間で充電電流を融通し合う、複数の電流融通回路と、
   を備えていることを特徴とする圧電アクチュエータの駆動装置。
2. 前記複数の電流融通回路の各々は、
   対応する充電経路を別の充電経路に繋ぐ融通経路と、前記融通経路に設けられた第１スイッチと、前記融通経路と前記活性部との間に設けられた第２スイッチとを有することを特徴とする請求項１に記載の圧電アクチュエータの駆動装置。
3. 前記電流融通回路の前記第１スイッチと前記第２スイッチのＯＮ／ＯＦＦ制御を行う制御回路を備え、
   前記制御回路は、
   所定の活性部の充電時に、その活性部の充電経路と繋がる前記融通経路に設けられた前記第１スイッチをＯＮにし、
   前記所定の活性部の放電時には、その活性部の充電経路と繋がる前記融通経路に設けられた前記第１スイッチをＯＮにするとともに、その活性部と前記融通経路との間の前記第２スイッチをＯＮにし、一定時間経過後に、再び前記第２スイッチをＯＦＦにすることを特徴とする請求項２に記載の圧電アクチュエータの駆動装置。
4. 前記制御回路には、前記複数の活性部のそれぞれについてのリーク電流の程度を示すリーク電流情報が入力され、
   前記制御回路は、前記所定の活性部の充電時に、その活性部についてのリーク電流情報に基づいて、その活性部の充電経路と繋がる前記融通経路に設けられた前記第１スイッチのうち、ＯＮにする前記第１スイッチの数を決定し、他の充電経路から融通する充電電流の量を制御することを特徴とする請求項３に記載の圧電アクチュエータの駆動装置。
5. 前記充電経路を別の充電経路と接続して両充電経路の間で充電電流を融通し合うように、前記電流融通回路を制御する、制御回路を備えていることを特徴とする請求項１に記載の圧電アクチュエータの駆動装置。
6. 被印刷媒体に対して複数のノズルからインクの液滴を噴射して印刷を行うインクジェットプリンタであって、
   圧電層とこの圧電層に設けられた複数の第１電極及び複数の第２電極とを有し、前記複数の第１電極と前記複数の第２電極とに挟まれた圧電層部分からなりコンデンサとして作用する複数の活性部を備え、これら複数の活性部によって前記複数のノズルからそれぞれインクの液滴を噴射させる圧電アクチュエータと、
   前記圧電アクチュエータを駆動する請求項３〜５の何れかに記載の駆動装置と、
   前記複数の活性部のそれぞれについてのリーク電流の程度を、正常レベル、第１異常レベル、及び、前記第１異常レベルよりもリーク電流が多い第２異常レベルの、少なくとも３段階で示す、リーク電流情報を記憶する記憶部を備え、
   前記駆動装置の前記制御回路は、
   低画質印刷指令が入力されたときには、前記リーク電流情報が前記第２異常レベルである活性部についてのみ、前記電流融通回路により他の充電経路からの充電電流の融通供給を行い、
   前記低画質印刷指令よりも高い画質が要求される高画質印刷指令が入力されたときには、前記リーク電流情報が前記第２異常レベルである活性部だけでなく、前記第１異常レベルである活性部についても、前記電流融通回路により他の充電経路からの充電電流の融通供給を行うように制御することを特徴とするインクジェットプリンタ。
   

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