JP2011147555A - クリーンルームの殺菌洗浄装置 - Google Patents

Abstract

【課題】クリーンルームの殺菌洗浄装置において、薬液をクリーンルームの内部に適正に供給することで殺菌及び洗浄性能の向上を図る。
【解決手段】クリーンルーム１１の内部に食品包装機械１２を配置し、殺菌洗浄装置として、薬液を霧化する薬液霧化装置２４と、この薬液霧化装置２４により霧化された薬液ミストをクリーンルーム１１内に噴射する噴射装置２６とを設ける。
【選択図】図１

Description

本発明は、例えば、食品包装機械などを収容するクリーンルーム内を殺菌及び洗浄するクリーンルームの殺菌洗浄装置に関するものである。

例えば、ミネラルウォーター、お茶、コーヒーなどの飲み物がペットボトルに充填されたペットボトル飲料が製造されている。このペットボトル飲料は、一般的に、クリーンルーム内に配置された食品包装機械により製造されている。即ち、ペットボトルは、旋回台のグリッパにより把持されて搬送され、所定の旋回位置で内部に液体が充填され、所定の回転位置でキャップが固定されて排出される。

このような食品包装機械は、複雑な構造の充填機やキャップをつける装置などを配置する必要から、これら装置を定期的に殺菌及び洗浄する必要がある。従来のクリーンルームの殺菌洗浄装置は、薬液をスプリンクラーによりクリーンルーム内に散布するものとしている。なお、クリーンルーム内の殺菌洗浄装置としては、例えば、下記特許文献１に記載されたものがある。

特許文献１に記載されたクリーンルームの洗浄滅菌システムでは、クリーンルーム内に殺菌、洗浄液及びリンス液を供給する配管と、この配管の所定の位置に取付けられて殺菌、洗浄液及びリンス液を噴射する複数のノズルとを設け、配管を内側管及びその内側管の周方向を囲む外側管とからなる二重構造とし、内側管と外側管との間に蒸気を通して内側管内と外側管の外周とを加熱、殺菌するようにしている。

特開２００４−１８８１１１号公報

上述した従来のクリーンルームの殺菌洗浄装置にあっては、薬液をクリーンルーム内に散布するものであるが、このクリーンルーム内に配置される食品包装機械が複雑な構造であることから、細部まで十分に薬液を供給することが困難となり、殺菌、洗浄不足になるおそれがある。

本発明は、上述した課題を解決するものであり、薬液をクリーンルームの内部に適正に供給することで殺菌及び洗浄性能の向上を図るクリーンルームの殺菌洗浄装置を提供することを目的とする。

上記の目的を達成するための本発明のクリーンルームの殺菌洗浄装置は、内部に産業装置が配置されたクリーンルーム内を殺菌及び洗浄するクリーンルームの殺菌洗浄装置であって、薬液を霧化する薬液霧化装置と、該薬液霧化装置により霧化された薬液ミストを前記クリーンルーム内に噴射する噴射装置と、を備えることを特徴とするものである。

本発明のクリーンルームの殺菌洗浄装置では、前記噴射装置は、前記クリーンルーム内の天井部一面に配置されることを特徴としている。

本発明のクリーンルームの殺菌洗浄装置では、前記噴射装置は、薬液ミストが充填される噴霧タンクと、該噴霧タンクの少なくとも下面に形成された多数の噴射ノズルとを有することを特徴としている。

本発明のクリーンルームの殺菌洗浄装置では、前記噴射装置は、薬液ミストが流動する複数の噴霧配管と、該噴霧配管に形成された多数の噴射ノズルとを有することを特徴としている。

本発明のクリーンルームの殺菌洗浄装置では、前記噴射ノズルは、球形または円筒形のハウジングに多数の噴射口が形成されて構成されることを特徴としている。

本発明のクリーンルームの殺菌洗浄装置では、前記噴射装置から噴射された薬液ミストを帯電させる帯電装置を設けることを特徴としている。

本発明のクリーンルームの殺菌洗浄装置によれば、薬液を霧化する薬液霧化装置と、この薬液霧化装置により霧化された薬液ミストをクリーンルーム内に噴射する噴射装置とを設けている。従って、噴射装置により薬液ミストをクリーンルーム内の全域に、空間的にほぼ均一に供給することができ、薬液をクリーンルームの内部に適正に供給することで殺菌及び洗浄性能の向上を図ることができる。また、薬液ミストをクリーンルーム内に供給することで、殺菌及び洗浄に使用する薬液の量を減少してコストの低減を可能とすることができる。

本発明のクリーンルームの殺菌洗浄装置によれば、噴射装置をクリーンルーム内の天井部一面に配置するので、クリーンルームの上部に薬液ミストを噴射することで、その自重により落下し、薬液ミストをクリーンルーム内の全域に供給することができる。

本発明のクリーンルームの殺菌洗浄装置によれば、噴射装置として、薬液ミストが充填される噴霧タンクと、噴霧タンクの少なくとも下面に形成された多数の噴射ノズルとを設けるので、構造の簡素化、小型軽量化を可能とすることができる。

本発明のクリーンルームの殺菌洗浄装置によれば、噴射装置として、薬液ミストが流動する複数の噴霧配管と、噴霧配管に形成された多数の噴射ノズルとを設けるので、構造の簡素化、小型軽量化を可能とすることができる。

本発明のクリーンルームの殺菌洗浄装置によれば、噴射ノズルを、球形または円筒形のハウジングに多数の噴射口を形成して構成したので、クリーンルームの殺菌及び洗浄性能を向上することができる。

本発明のクリーンルームの殺菌洗浄装置によれば、噴射装置から噴射された薬液ミストを帯電させる帯電装置を設けるので、薬液ミストを前方向に向かって噴射することができ、帯電装置により薬液ミストを帯電させることで、特に、産業機械の細部まで薬液ミストを供給することができる。

図１は、本発明の実施例１に係るクリーンルームの殺菌洗浄装置を表す概略構成図である。 図２は、実施例１のクリーンルームの殺菌洗浄装置が配置されたクリーンルームの概略図である。 図３は、実施例１のクリーンルームの殺菌洗浄装置における噴霧タンクを表す概略図である。 図４は、実施例１のクリーンルームの殺菌洗浄装置における噴霧タンクの変形例を表す概略図である。 図５は、食品包装機械の概略平面図である。 図６は、食品包装機械における旋回台の要部概略図である。 図７は、本発明の実施例２に係るクリーンルームの殺菌洗浄装置が配置されたクリーンルームの概略図である。 図８は、実施例２のクリーンルームの殺菌洗浄装置における噴霧配管の断面図である。 図９は、本発明の実施例３に係るクリーンルームの殺菌洗浄装置が配置されたクリーンルームの概略図である。 図１０は、実施例３のクリーンルームの殺菌洗浄装置の変形例を表すクリーンルームの概略図である。 図１１は、実施例３のクリーンルームの殺菌洗浄装置の変形例を表すクリーンルームの概略図である。 図１２は、実施例３のクリーンルームの殺菌洗浄装置の変形例を表すクリーンルームの概略図である。 図１３は、本発明の実施例４に係るクリーンルームの殺菌洗浄装置に使用される噴射ノズルを表す概略図である。 図１４は、実施例４のクリーンルームの殺菌洗浄装置に使用される噴射ノズルの変形例を表す概略図である。

以下に添付図面を参照して、本発明に係るクリーンルームの殺菌洗浄装置の好適な実施例を詳細に説明する。なお、この実施例により本発明が限定されるものではない。

図１は、本発明の実施例１に係るクリーンルームの殺菌洗浄装置を表す概略構成図、図２は、実施例１のクリーンルームの殺菌洗浄装置が配置されたクリーンルームの概略図、図３は、実施例１のクリーンルームの殺菌洗浄装置における噴霧タンクを表す概略図、図４は、実施例１のクリーンルームの殺菌洗浄装置における噴霧タンクの変形例を表す概略図、図５は、食品包装機械の概略平面図、図６は、食品包装機械における旋回台の要部概略図である。

実施例１のクリーンルームの殺菌洗浄装置は、図１に示すように、クリーンルーム１１内に産業機械としての食品包装機械１２が配置され、このクリーンルーム１１内を殺菌及び洗浄するものである。実施例１のクリーンルームの殺菌洗浄装置は、薬液を貯留する薬液タンク２１と、この薬液タンク２１内の薬液を送給する薬液配管２２及び薬液ポンプ２３と、薬液ポンプ２３により薬液配管２２を通して送給された薬液を霧化（ミスト化）する薬液霧化装置２４と、薬液霧化装置２４により霧化された薬液ミストが配管２５を通して送られて充填されると共に薬液ミストをクリーンルーム１１内に噴射する噴射装置２６とから構成されている。

実施例１のクリーンルームの殺菌洗浄装置にて、噴射装置２６は、クリーンルーム１１内の天井部１１ａの一面に配置されている。また、噴射装置２６は、薬液ミストが充填される噴霧タンク２７と、この噴霧タンク２７の下面及び側面に形成された多数の噴射ノズル２８とを有している。

まず、食品包装機械１２について説明する。この食品包装機械１２は、図５に示すように、供給コンベア１０１と、割出スクリュー付転送ホイール１０２と、ウェイトフィラ１０３と、転送ホイール１０４と、キャッパ１０５と、排出ホイール１０６と、排出コンベア１０７とから構成されている。

この食品包装機械１２は、容器（ペットボトル）Ｐの頸部を把持しながら搬送できるように、割出スクリュー付転送ホイール１０２、ウェイトフィラ１０３、転送ホイール１０４、キャッパ１０５、排出ホイール１０６のそれぞれには、図６に示すように、グリッパ１１１を有している。即ち、旋回台１１２は、その外周部分に周方向に沿って等間隔で支持アーム１１３が装着されており、この支持アーム１１３の先端部にはグリッパ１１１が装着されている。このグリッパ１１１は、図示しない駆動装置によりペットボトルＰの頸部を把持及び解除可能となっており、割出スクリュー付転送ホイール１０２から排出ホイール１０６の間で、グリッパ１１１を作動させることで、ペットボトルＰを受け渡しながら搬送可能となっている。

従って、まず、供給コンベア１０１により搬送されてきたペットボトルＰは、所定の回転位置で割出スクリューにより割り出されてから転送ホイール１０２のグリッパ１１１により把持され、所定の位置まで搬送される。次に、ペットボトルＰは割出スクリュー付転送ホイール１０２からウェイトフィラ１０３に受け渡され、ウェイトフィラ１０３のグリッパ１１１により把持され、所定の位置まで搬送される。続いて、ペットボトルＰはこの位置から搬送される際に、重量が計測されながら液体が充填される。

そして、ペットボトルＰは、所定の位置でウェイトフィラ１０３から転送ホイール１０４に、更に、転送ホイール１０４からキャッパ１０５に、キャッパ１０５から排出ホイール１０６に、排出ホイール１０６から排出コンベア１０７に受け渡されて搬送される。このキャッパ１０５では、ペットボトルＰに蓋をするキャッピングが行われる。

噴射装置２６において、図２及び図３に示すように、噴霧タンク２７は、クリーンルーム１１の天井部１１ａに固定されている。噴霧タンク２７は、中空の箱型形状をなし、内部に薬液ミストが充填可能となっている。この噴霧タンク２７の下面及び側面には、多数の噴射ノズル２８が設けられている。この噴射ノズル２８は、小孔であって、内部の薬液ミストを下方及び側方に噴射可能であり、クリーンルーム１１内の全域にわたって薬液ミストを供給することができる。

なお、噴射装置２６は、この構成に限定されるものではない。例えば、図４に示すように、噴霧タンク２９を中空の箱型形状とし、内部に薬液ミストが充填可能とすると共に、その下面及び側面に、多数のスリット形状の噴射ノズル３０を形成してもよい。さらに、噴射ノズルを、小孔とスリットの組合せとしてもよい。

なお、図３及び図４は、噴霧タンク２７、２９を上下逆にして記載しており、図の上方が下面となっている。

従って、図１に示すように、食品包装機械１２が停止しているとき、例えば、定期検査やメンテナンス中に、薬液ポンプ２３を作動し、薬液タンク２１の内の薬液を薬液配管２２を通して薬液霧化装置２４に送給し、ここで薬液がミスト化され、薬液ミストが配管２５を通して噴射装置２６に送られる。すると、この噴射装置２６では、噴霧タンク２７内の薬液ミストが多数の噴射ノズル２８からクリーンルーム１１内に供給される。この薬液ミストは、クリーンルーム１１の上方から下方に向けて散布されることから、このクリーンルーム１１内に一様に、且つ、ほぼ均一に行き渡ることとなり、クリーンルーム１１の内面や底面、食品包装機械１２の細部にまで殺菌及び洗浄が行われる。

なお、本実施例では、薬液タンク２１の薬液を薬液霧化装置２４によりミスト化し、精製した薬液ミストを噴射装置２６に送って噴射ノズル２８から噴射している。この場合、薬液霧化装置２４は、例えば、超音波霧化装置である。但し、本発明の薬液霧化装置は、この構成に限定されるものではない。例えば、薬液霧化装置をベンチュリ管として噴射ノズルの近傍に設けてもよく、噴射ノズルの噴射口を所定形状とし、噴射ノズル自体を薬液霧化装置としてもよい。

このように実施例１のクリーンルームの殺菌洗浄装置にあっては、クリーンルーム１１の内部に食品包装機械１２を配置し、薬液を霧化する薬液霧化装置２４と、この薬液霧化装置２４により霧化された薬液ミストをクリーンルーム１１内に噴射する噴射装置２６とを設けている。

従って、噴射装置２６により薬液ミストをクリーンルーム１１内の全域に、空間的にほぼ均一に供給することができ、薬液をクリーンルーム１１の内部に適正に供給することで殺菌及び洗浄性能の向上を図ることができる。また、薬液ミストをクリーンルーム１１内に供給することで、殺菌及び洗浄に使用する薬液の量を減少してコストの低減を可能とすることができる。

また、実施例１のクリーンルームの殺菌洗浄装置では、噴射装置２６をクリーンルーム１１内の天井部１１ａの一面に配置している。従って、クリーンルーム１１の上部に薬液ミストを噴射することで、薬液ミストがその自重により落下し、この薬液ミストをクリーンルーム１１内の全域に供給することができる。

また、実施例１のクリーンルームの殺菌洗浄装置では、噴射装置２６として、薬液ミストが充填される噴霧タンク２７，２９と、噴霧タンク２７，２９の下面及び側面に形成された多数の噴射ノズル２８，３０とを設けている。従って、噴射装置２６の構造の簡素化、小型軽量化を可能とすることができる。

図７は、本発明の実施例２に係るクリーンルームの殺菌洗浄装置が配置されたクリーンルームの概略図、図８は、実施例２のクリーンルームの殺菌洗浄装置における噴霧配管の断面図である。なお、前述した実施例で説明したものと同様の機能を有する部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

実施例２のクリーンルームの殺菌洗浄装置は、図７及び図８に示すように、クリーンルーム１１内に食品包装機械１２（図１参照）が配置され、このクリーンルーム１１内を殺菌及び洗浄するものであり、薬液ミストを貯留すると共にこの薬液ミストをクリーンルーム１１内に噴射する噴射装置３１を有している。そして、この噴射装置３１は、クリーンルーム１１内の天井部１１ａの一面に配置されており、薬液ミストが充填される複数の噴霧配管３２と、この噴霧配管３２に形成された多数の噴射ノズル３３とを有している。

即ち、噴射装置３１において、噴霧配管３２は、クリーンルーム１１の天井部１１ａに格子状に複数固定され、全てが連通し、内部に薬液ミストが充填可能となっている。この噴霧配管３３には、多数の噴射ノズル３３が設けられている。この噴射ノズル３３は、小孔であって、内部の薬液ミストを上下方向、左右方向、斜め方向に向かって噴射可能であり、クリーンルーム１１内の全域にわたって薬液ミストを供給することができる。

なお、噴射装置３１は、この構成に限定されるものではない。例えば、噴霧配管３２をクリーンルーム１１の天井部１１ａだけでなく、周囲の壁面部や底面部、食品包装機械の周辺部に配置してもよい。また、噴射ノズルをスリット形状としてもよい。

従って、食品包装機械１２が停止しているとき、薬液ミストが噴射装置３１に送られると、この噴射装置３１では、各噴霧配管３２内の薬液ミストが多数の噴射ノズル３３からクリーンルーム１１内に供給される。この薬液ミストは、クリーンルーム１１の上方から下方に向けて散布されることから、このクリーンルーム１１内に一様に、且つ、ほぼ均一に行き渡ることとなり、クリーンルーム１１の内面や底面、食品包装機械１２の細部にまで殺菌及び洗浄が行われる。

このように実施例２のクリーンルームの殺菌洗浄装置にあっては、クリーンルーム１１の内部に食品包装機械１２を配置し、薬液を霧化する薬液霧化装置と、この薬液霧化装置により霧化された薬液ミストをクリーンルーム１１内に噴射する噴射装置３１とを設けている。

従って、噴射装置３１により薬液ミストをクリーンルーム１１内の全域に、空間的にほぼ均一に供給することができ、薬液をクリーンルーム１１の内部に適正に供給することで殺菌及び洗浄性能の向上を図ることができる。また、薬液ミストをクリーンルーム１１内に供給することで、殺菌及び洗浄に使用する薬液の量を減少してコストの低減を可能とすることができる。

また、実施例２のクリーンルームの殺菌洗浄装置では、噴射装置３１をクリーンルーム１１内の天井部１１ａの一面に配置し、薬液ミストが充填される複数の噴霧配管３２と、噴霧配管３２に形成された多数の噴射ノズル３３とを設けている。従って、クリーンルーム１１の上部に薬液ミストを噴射することで、薬液ミストがその自重により落下し、この薬液ミストをクリーンルーム１１内の全域に供給することができる。また、噴射ノズル３３を有する噴霧配管３２を固定するだけでよく、噴射装置３１の構造の簡素化、小型軽量化を可能とすることができると共に、噴霧配管３２の配置場所に応じて所望の領域に薬液ミストを供給することができる。

図９は、本発明の実施例３に係るクリーンルームの殺菌洗浄装置が配置されたクリーンルームの概略図、図１０乃至図１２は、実施例３のクリーンルームの殺菌洗浄装置の変形例を表すクリーンルームの概略図である。

実施例３のクリーンルームの殺菌洗浄装置は、図９に示すように、クリーンルーム１１内に食品包装機械１２（図１参照）が配置され、このクリーンルーム１１内を殺菌及び洗浄するものであり、薬液ミストを貯留すると共にこの薬液ミストをクリーンルーム１１内に噴射する噴射装置４１を有している。そして、この噴射装置４１は、クリーンルーム１１内の上部及び下部に配置されており、薬液ミストが充填される上下一対の噴霧配管４２，４３とを有している。

即ち、噴射装置４１において、噴霧配管４２は、先端部がクリーンルーム１１の天井部１１ａから内部に貫通し、噴霧配管４３は、先端部がクリーンルーム１１の底部から内部に貫通し、内部に薬液ミストが供給可能となっている。

また、本実施例のクリーンルームの殺菌洗浄装置は、噴射装置４１から噴射された薬液ミストを帯電させる帯電装置４４を設けている。この帯電装置４４において、クリーンルーム１１の一方の側壁部にはプラス電極４５が配置され、他方の壁面部にはマイナス電極４６が配置され、プラス電極４５とマイナス電極４６が対向するように位置している。そして、プラス電極４５とマイナス電極４６との間には、電源部４７が接続されている。

従って、食品包装機械１２が停止しているとき、薬液ミストが噴射装置４１に送られると、この噴射装置４１では、各噴霧配管４２，４３から薬液ミストがクリーンルーム１１内に供給される。このとき、電源部４７によりプラス電極４５とマイナス電極４６に電圧が印加されると、このプラス電極４５とマイナス電極４６の間を移動する薬液ミストの粒子が帯電され、この電極４５，４６間を移動する。その結果、薬液ミストは、クリーンルーム１１の上方、下方、側方に広がることから、このクリーンルーム１１内に一様に、且つ、ほぼ均一に行き渡ることとなり、クリーンルーム１１の内面や底面、食品包装機械１２の細部にまで殺菌及び洗浄が行われる。

この場合、各噴霧配管４２，４３を有する噴射装置４１に代えて、実施例１や実施例２における噴射装置２６，３１（図２及び図７参照）を、クリーンルーム１１内の上部及び下部に対向して配置してもよい。

なお、噴射装置４１及び帯電装置４４の構成は、この実施例に限定されるものではない。例えば、図１０に示すように、噴射装置５１として、噴霧配管５２をクリーンルーム１１の中央部に上下方向に沿って配置し、この噴霧配管５２に多数の噴射ノズル（小孔）５３を形成している。また、帯電装置５４として、クリーンルーム１１の四隅にプラス電極５５をそれぞれ配置し、クリーンルーム１１の中央部に配置された噴霧配管５２をマイナス電極としている。

また、図１１に示すように、帯電装置５６として、クリーンルーム１１の四隅に配置された各プラス電極５５を連結部材５７により連結してもよい。

このように構成することで、各プラス電極５５とマイナス電極としての噴霧配管５２の間を移動する薬液ミストの粒子が帯電され、この電極５５，５２間を移動する。その結果、薬液ミストは、クリーンルーム１１の上方、下方、側方に広がることから、このクリーンルーム１１内に一様に、且つ、ほぼ均一に行き渡ることとなり、クリーンルーム１１の内面や底面、食品包装機械１２の細部にまで殺菌及び洗浄が行われる。

更に、図１２に示すように、噴射装置２６をクリーンルーム１１の他方の側壁部に配置している。また、帯電装置４４として、クリーンルーム１１の一方の側壁部にプラス電極４５を配置し、他方の壁面部にマイナス電極４６が配置している。このように構成することで、クリーンルーム１１の全体にわたって薬液ミストを行き渡せことができる。

このように実施例３のクリーンルームの殺菌洗浄装置にあっては、クリーンルーム１１内に薬液ミストを供給する噴射装置４１，５１を設けると共に、この噴射装置２６，４１，５１から噴射された薬液ミストを帯電させる帯電装置４４，５４，５６を設けている。

従って、噴射装置２６，４１，５１により薬液ミストは、帯電装置４４，５４，５６により帯電されてクリーンルーム１１内の全域に、空間的にほぼ均一に供給することができ、薬液をクリーンルーム１１の内部だけでなく、食品包装機械１２の細部にまで適正に供給することで殺菌及び洗浄性能の向上を図ることができる。

図１３は、本発明の実施例４に係るクリーンルームの殺菌洗浄装置に使用される噴射ノズルを表す概略図、図１４は、実施例４のクリーンルームの殺菌洗浄装置に使用される噴射ノズルの変形例を表す概略図である。

実施例４のクリーンルームの殺菌洗浄装置は、薬液ミストをクリーンルーム内に噴射する噴射装置にて、噴射ノズルの具体例を表している。即ち、図１３に示すように、噴射ノズル６１は、薬液ミストの供給配管６２に先端部に球形をなすハウジング６３が固定され、このハウジング６３に多数の噴射口６４が形成されて構成されている。

従って、供給配管６２からハウジング６３に供給された薬液ミストは、ハウジング６３に形成された多数の噴射口６４からほとんど全ての方向に噴射されることとなる。

また、図１４に示すように、噴射ノズル７１は、薬液ミストの供給配管７２に先端部に円筒形をなすハウジング７３が固定され、このハウジング７３の外周面に多数の噴射口７４が形成されて構成されている。

従って、供給配管７２からハウジング７３に供給された薬液ミストは、ハウジング７３に形成された多数の噴射口７４からその周囲に噴射されることとなる。

このように実施例４のクリーンルームの殺菌洗浄装置にあっては、噴射ノズル６１，７１を、球形または円筒形のハウジング６３，７３に多数の噴射口６４，７４を形成して構成している。従って、薬液ミストをクリーンルーム１１内のほとんど全ての領域に供給することができ、クリーンルーム１１の殺菌及び洗浄性能を向上することができる。

なお、上述した各実施例では、産業機械を食品包装機械として説明したが、これに限るものではなく、クリーンルームを用いて作業を行う機械であれば、他の機械であってもよい。

本発明に係るクリーンルームの殺菌洗浄装置は、薬液ミストをクリーンルーム内に噴射することで、薬液をクリーンルームの内部に適正に供給して殺菌及び洗浄性能の向上を図るものであり、いずれのクリーンルームにも適用することができる。

１１ クリーンルーム
１２ 食品包装機械（産業機械）
２１ 薬液タンク
２３ 薬液ポンプ
２４ 薬液霧化装置
２６，３１，４１，５１ 噴射装置
２７，２９ 噴霧タンク
２８，３０，３３，６１，７１ 噴射ノズル
３２ 噴霧配管
４４，５６ 帯電装置

Claims (6)

1. 内部に産業装置が配置されたクリーンルーム内を殺菌及び洗浄するクリーンルームの殺菌洗浄装置であって、
   薬液を霧化する薬液霧化装置と、
   該薬液霧化装置により霧化された薬液ミストを前記クリーンルーム内に噴射する噴射装置と、
   を備えることを特徴とするクリーンルームの殺菌洗浄装置。
2. 前記噴射装置は、前記クリーンルーム内の天井部一面に配置されることを特徴とする請求項１に記載のクリーンルームの殺菌洗浄装置。
3. 前記噴射装置は、薬液ミストが充填される噴霧タンクと、該噴霧タンクの少なくとも下面に形成された多数の噴射ノズルとを有することを特徴とする請求項１または２に記載のクリーンルームの殺菌洗浄装置。
4. 前記噴射装置は、薬液ミストが流動する複数の噴霧配管と、該噴霧配管に形成された多数の噴射ノズルとを有することを特徴とする請求項１または２に記載のクリーンルームの殺菌洗浄装置。
5. 前記噴射ノズルは、球形または円筒形のハウジングに多数の噴射口が形成されて構成されることを特徴とする請求項３または４に記載のクリーンルームの殺菌洗浄装置。
6. 前記噴射装置から噴射された薬液ミストを帯電させる帯電装置を設けることを特徴とする請求項１から５のいずれか一つに記載のクリーンルームの殺菌洗浄装置。

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