JP2011144235A - 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】(A)エポキシ樹脂、(B)フェノール樹脂系硬化剤、(C)無機充填材、(D)カーボンブラックを含み、前記カーボンブラック(D)が、比表面積が70m2/g以下のカーボンブラック(d1)と比表面積が100m2/g以上のカーボンブラック(d2)とを含むことを特徴とする半導体封止用エポキシ樹脂組成物、ならびに、この半導体封止用エポキシ樹脂組成物を用いて半導体素子を封止してなることを特徴とする半導体装置。
【選択図】図3
Description
面積が70m2/g以下で、かつDBP吸収量が120cm3/100g以下であるものを含むものとすることができる。
ることができる。本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物に用いる(B)フェノール樹脂系硬化剤とは、1分子内にフェノール性水酸基を2個以上有するモノマー、オリゴマー、ポリマー全般であり、その分子量、分子構造を特に限定するものではないが、例えばフェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ナフトールノボラック樹脂等のノボラック型樹脂;ジシクロペンタジエン変性フェノール樹脂、テルペン変性フェノール樹脂等の変性フェノール樹脂;トリフェノールメタン型フェノール樹脂等の多官能型フェノール樹脂;フェノールアラルキル樹脂(フェニレン骨格、ビフェニレン骨格等を有する)、ナフトールアラルキル樹脂(フェニレン骨格、ビフェニレン骨格等を有する)等のアラルキル型樹脂;ビスフェノールS等の硫黄原子含有型フェノール樹脂等が挙げられ、これらは1種類を単独で用いても2種類以上を併用しても差し支えない。
g以下のカーボンブラック(d1)と比表面積が100m2/g以上のカーボンブラック(d2)とを併用することにより、着色性とレーザーマーキング性を両立させることができることを確認した。尚、比表面積が70m2/g以下のカーボンブラック(d1)及び比表面積が100m2/g以上のカーボンブラック(d2)のそれぞれの成分については、1種類を単独で用いても2種類以上を併用しても差し支えない。
あることが好ましく、0.1質量%以上、0.7質量%以下であることがより好ましい。硬化促進剤の配合割合が上記範囲内であると、硬化性の低下や流動性の低下を引き起こす恐れが少ない。
1,3−ベンゼンジメタナン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、β−(3,4エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、メチルトリメトキシシランン、γ−ウレイドプロピルトリエトキシシラン、ビニルトリエトキシシランなどが挙げられ、これらは1種類を単独で用いても2種以上を併用しても構わない。これらのうち2級アミノシラン、メルカプトシランが好ましい。シランカップリング剤の配合量は、特に限定されないが、全エポキシ樹脂組成物中0.01質量%以上、1質量%以下が好ましく、より好ましくは0.05質量%以上、0.8質量%以下である。上記範囲内で
あると、マトリックス樹脂と無機充填材との密着性を向上させることができとともに、良好な粘度特性及び流動特性が得られ、また硬化性の低下を抑えることができる。また、これらシランカップリング剤は、予め水あるいは必要に応じて酸又はアルカリを添加して、加水分解処理して用いてもよく、また予め無機充填材に処理されていてもよい。
カーボンブラック1:比表面積29m2/g、DBP吸収量71cm3/100g
カーボンブラック2:比表面積56m2/g、DBP吸収量105cm3/100g
カーボンブラック3:比表面積36m2/g、DBP吸収量141cm3/100g
(比表面積が100m2/g以上のカーボンブラック(d2))
カーボンブラック4:比表面積141m2/g、DBP吸収量130cm3/100g
カーボンブラック5:比表面積110m2/g、DBP吸収量78cm3/100g
(その他のカーボンブラック)
カーボンブラック6:比表面積85m2/g、DBP吸収量109cm3/101g
770質量部
溶融球状シリカ2:(平均粒径0.5μm、比表面積5.9m2/g)
100質量部
カーボンブラック1 2質量部
カーボンブラック4 1質量部
硬化促進剤:トリフェニルホスフィン(ケイ・アイ化成(株)製、商品名PP−360) 3質量部
カップリング剤1:N−フェニルγ−アミノプロピルトリメトキシシラン(信越化学(株)製、商品名KBM−573) 2質量部
カップリング剤2:γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン(信越化学(株)製、商品名KBM−803) 2質量部
離型剤:モンタン酸エステル系ワックス(クラリアントジャパン(株)製、商品名リコルブWE−4) 2質量部
をミキサーにて混合し、熱ロールを用いて、95℃で8分間混練して冷却後粉砕し、エポキシ樹脂組成物を得た。得られたエポキシ樹脂組成物を、以下の方法で評価した。結果を表1に示す。
スパイラルフロー:低圧トランスファー成形機(コータキ精機(株)製、KTS−15)を用いて、EMMI−1−66に準じたスパイラルフロー測定用金型に、金型温度175℃、注入圧力6.9MPa、保圧時間120秒の条件で、エポキシ樹脂組成物を注入し
、流動長を測定した。スパイラルフローは、流動性のパラメータであり、数値が大きい方が、流動性が良好である。単位はcm。実施例1のエポキシ樹脂組成物では、115cmと良好な流動性を示した。
表1、2の配合に従い、実施例1と同様にしてエポキシ樹脂組成物を得て、実施例1と同様にして評価した。結果を表1、2に示す。
上述していない実施例1以外で用いた原材料を以下に示す。
エポキシ樹脂2:下記式(3)で表される成分を主成分とするビフェニル型エポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン(株)製、商品名YX−4000、エポキシ当量190、融点105℃)
2 ダイボンド材硬化体
3 ダイパッド
4 ボンディングワイヤ
5 リードフレーム
6 封止用樹脂組成物の硬化体
7 レジスト
8 基板
9 半田ボール
Claims (4)
- (A)エポキシ樹脂、
(B)フェノール樹脂系硬化剤、
(C)無機充填材、
(D)カーボンブラック
を含み、
前記カーボンブラック(D)が、比表面積が70m2/g以下のカーボンブラック(d1)と比表面積が100m2/g以上のカーボンブラック(d2)とを含むことを特徴とする半導体封止用エポキシ樹脂組成物。 - 前記カーボンブラック(d2)が、比表面積が100m2/g以上で、かつDBP吸収量が90cm3/100g以上であるものを含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
- 前記カーボンブラック(d1)が、比表面積が70m2/g以下で、かつDBP吸収量が120cm3/100g以下であるものを含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
- 請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物を用いて半導体素子を封止してなることを特徴とする半導体装置。
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2010
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