JP2011135466A - 超音波センサ - Google Patents

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Abstract

【課題】ケースの開口部における不要振動モードを抑制することができる超音波センサを提供することを目的とする。
【解決手段】
底部1aと側壁部1bとを有するケース1と、ケース1の内側に位置する底部1aに設けられた圧電振動子2と、圧電振動子2と電気的に接続された端子4とを備える超音波センサにおいて、ケース1の側壁部1bの開口部側に、側壁部の外周に沿ってフランジ部1cが形成されており、フランジ部1cの外周部には3個所以上の直線部が形成されている。この直線部は、環状のフランジ部1cの外周部を接線方向に平行にカットすることにより形成されている。
【選択図】 図2

Description

本発明は超音波センサに関するものであり、特に自動車のバックソナー、コーナーソナー、パーキングスポットセンサ等に用いられる超音波センサに関するものである。
超音波センサは、超音波を利用してセンシングを行うものであり、圧電振動素子から超音波パルス信号を間欠的に送信し、周囲に存在する障害物からの反射波を圧電振動子で受信することにより物体を検知するものである。
一般的な超音波センサは、底部と側壁部とを有する有底筒状のケースと、有底筒状ケースの内底部に貼りつけられた圧電振動子と、圧電振動子に電気的に接続されている端子とを有している。
このような超音波センサの場合、振動面となるケースの底部だけでなくケースの側壁部も振動してしまい、側壁部に不要振動が発生する。場合によっては、基本波がうち消されてしまう恐れがある。これに対して、特許文献1では、ケースの開口部近辺において、安定リングを設けることが開示されている。これにより、ケースに大きな剛性が得られるため、ケースの底部が主に振動することになり、基本波のみを有利に用いることができるとしている。
特表2002−507370
しかしながら、特許文献1の構成では、ケースの開口部周辺の側壁部の振動を十分に抑制することができないことがわかった。ケースの側壁部に生じる不要振動には様々な不要振動モードが存在するが、特に、超音波の指向性に異方性(扁平性)を発現させるために、圧電振動子により振動される振動面が、長軸方向と短軸方向とで異なる長さを有する超音波センサの場合、振動面の振動がケースの開口部付近に波及してしまい、ケースの開口部付近において以下のような不要振動モードが生じることがある。すなわち、ケースの開口部付近のうち、長軸方向に位置するケースの側壁部が広がる方向へ変位した際に、短軸方向に位置するケースの側壁部は狭まる方向へ変位し、長軸方向に位置するケースの側壁部が狭まる方向へ変位した際には、短軸方向に位置するケースの側壁部が広がる方向へ変位し、これらが交互に繰り返される不要振動モードである。上記のような不要振動が生じた場合、本来、圧電振動子が受信するべき超音波に重畳してしまい、大きな残響が生じるという課題がある。
本発明の目的は、長軸方向と短軸方向とに位置するケース開口部付近の側壁部の位相が反転して交互に振動する不要振動モードを抑制することができる超音波センサを提供することにある。
前記目的を達成するため、本発明の超音波センサは、底部と側壁部とからなる有底筒状のケースと、ケースの内底部に設けられた圧電振動子と、圧電振動子と電気的に接続された端子と、を有し圧電振動子によって振動する振動面が、長軸と短軸とを有し、ケースの開口部側にケースの外周に沿ってフランジ部が形成されており、フランジ部の外周部分に、3個所以上の直線部を設けたことを特徴とする。
一般的に、特許文献1のように、ケースの外周に沿って形成されたフランジ部は均等に形成され、フランジ部の外周部分は同軸対称となるように設計した方が、質量バランスが得られる。このため、特許文献1のような構造の方が、不要振動を抑制しやすいと考えられる。しかしながら、本発明者らは鋭意検討を重ねた結果、フランジ部の外周部分に敢えて3個所以上の直線部を設けた方が、上述した長軸方向と短軸方向とに位置するケース開口部付近の側壁部の位相が反転して交互に振動する不要振動モードを抑制できるという新たな知見を得た。この新たな知見に基づいて本発明を成すに至ったのである。
また、フランジ部の外周部分に、4個所以上8個所以下の直線部を設けることが好ましい。フランジ部の外周部分に4個所以上8個所以下の直線部を設けた場合、ケースの側壁部の開口部側の変位が最大となった時の変位量が、直線部を設けない場合に比べて、70%以上減少し、より不要振動を抑制することができる。
また、ケースは、底部と側壁部とを有する外側ケースと、外側ケースよりも剛性が高い内側ケースとを有し、内側ケースの開口部側に内側ケースの外周に沿ってフランジ部が形成されており、内側ケースのフランジ部は、外側ケースの側壁部の外周よりも外側へ延びるように形成され、フランジ部の外周部分に、3個所以上の直線部を有することが好ましい。このように、外側ケースよりも剛性が高い内側ケースの外周部にフランジ部を設け、内側ケースのフランジ部の外周部分に3個所以上の直線部を有した場合に、外側ケースの側壁に伝わる振動を、剛性の高い内側ケースにより内側から固定することにより、外側ケースの振動部の振動自体が外側ケースの側壁を伝わって外部へ漏洩することを防ぐとともに、長軸方向と短軸方向とに位置するケース開口部付近の側壁部の位相が反転して交互に振動する不要振動を抑制することができる。
ケースの開口部側にケースの外周に沿ってフランジ部が形成されており、フランジ部の外周部分に、3個所以上の直線部を設けたことにより、ケースの開口部の長軸方向と短軸方向とに位置するケース開口部付近の側壁部の位相が反転して交互に振動する不要振動モードを抑制することができる。
本発明に係る超音波センサの第1実施形態の横断面図である。 (a)本発明に係る超音波センサの第1実施形態のケース1の平面図である。(b)本発明に係る超音波センサの第1実施形態のケース1の斜視図である。 本発明に係る超音波センサの第1実施形態に用いられるケース1の変形例の斜視図である。 比較例1の超音波センサのケースの斜視図である。 比較例2の超音波センサのケースの斜視図である。 本発明の第1の実施形態における実験例1の超音波センサのケースの斜視図である。 本発明の第1の実施形態における実験例2の超音波センサのケースの斜視図である。 本発明の第1の実施形態における実験例3の超音波センサのケースの斜視図である。 フランジ部に設けられた直線部の数と、ケースの側壁部の振動面側と開口部側とにおける変位量との関係を示すグラフである。 フランジ部に設けられた直線部の数と、ケースの側壁部の開口端面における最大振動変位量との関係を示したグラフである。 本発明に係る超音波センサの第2実施形態の横断面図である。
以下に、本発明の好ましい実施形態を説明する。
〔第1実施形態〕
図1は本発明にかかる超音波センサ10の第1実施形態を示す。図2の(a)は、本発明に係る超音波センサの第1実施形態のケース1の平面図であり、(b)は本発明にかかる超音波センサ10の第1実施形態のケースの斜視図である。この超音波センサは、底部1aと側壁部1bとを有するケース1と、ケース1の内底部1aに設けられた圧電振動子2と、圧電振動子2とリード端子3a,3bを介して接続されている端子4a,4bと、圧電振動子2と所定の距離を離間して配置された吸音材5と、ケース1の内部を充填している充填材6と、で形成されている。
ケース1は、例えばアルミニウム等の金属板を有底筒状に成形されたものであり、その底部1aの内側に円板状の圧電振動子2が貼り付けられている。圧電振動子2は圧電セラミック板の表裏面に外部電極(図示せず)が形成されおり、これらの電極間に電圧を印加することにより、広がり振動または厚み縦振動を発生するものである。リード端子3aは圧電振動子2に形成された外部電極にはんだ又は導電性接着剤等の接着手段で接続されており、リード端子3aは端子4aと接続されている。リード端子3bはケース1に接続されており、ケース1は金属等の導電材により形成されているため、リード端子3aは実質的にケース1の側壁部1b及び底部1aを介して圧電素子1の振動面側の外部電極に電気的に接続されている。
ケース1の底部1aからケース1の開口部へ向かって円筒状の側壁部1bが形成されている。ケース1は、図2(a)で示されるように、圧電振動子2の振動面に長軸と短軸とを有するように、底部1aが長軸及び短軸を有する形状、ここでは楕円形状を有しており、振動面の形状が底部1bと一致している。これに伴い、ケース1の側壁部1cの厚みは、長軸方向Lの厚みが薄く、短軸方向Sの厚みが厚くなるように設定されており、ケース1の開口部も楕円形状を有している。
ケース1の側壁部1bの開口部側に、側壁部の外周に沿ってフランジ部1cが形成されている。フランジ部1cは、側壁部の直径よりも大きな直径を有する環状のつば部であり、図2(a)に示されるように、フランジ部1cの外周部には4個所の直線部が形成されている。この直線部は、環状のフランジ部1cの外周部を接線方向に平行にカットし、切り欠くことによって形成される。ここでは、フランジ部1cの外周部のうち、ケース1の振動面の長軸方向Lに平行に2個所カットされており、短軸方向Sに平行に2個所カットされて、合計4個所の直線部が形成されている。
ここで、例えば、図3に示されるように、フランジ部1cの外周部のうち、ケースの振動面の長軸方向Lと短軸方向Lに対して45度傾けた位置をそれぞれカットしてもよく、種々の変形例が考えられる。
また、直線部が形成されていれば、円周部分が残っていてもよいし、外周部の全てが直線部で形成され、フランジ部の外周が多角形状となるように構成されてもよい。特に、円筒状のケース1の中心軸を通り、ケースの振動面の短手方向を通る中心線に対して線対称となるように直線部を設けた方が、前記中心線の左右で質量バランスが取れるため、さらなる不要振動が生じないため好ましい。また、フランジ部1cにおける直線部は3個所以上であれば何個所形成されていてもよいが、後述するシミュレーション結果から4個所以上8個所以下が好ましい。また、フランジ部1cと側壁部1bとは一体構造で形成されているが、別体であってもよい。また、フランジ部1cは必ずしも側壁部の開口部側の端面に位置している必要はなく、開口部側に位置していれば、開口側の端面よりも若干離れている位置に設けられていてもよい。
また、本発明の超音波センサ10は製造工程においても有利な点がある。製造工程時の部品搬送時にロボットハンドによりケース1の側壁部1bの外周を挟持することになるが、フランジ部1cの外周部に直線部を設けることによって、ロボットハンドによってフランジ部1cの直線部を挟持することができるので、搬送が安定的に行える。また、例えば鋳造製法、射出成型等を用いてケース1を作製する際には、直線部を射出するゲートに用いることができ、量産性を高めることができる。
なお、このフランジ部1cは、超音波センサ10を筺体等へ取り付ける際に、筺体等に設けられた孔部に嵌合して安定して固定させることができ、超音波センサ10の取り付け性を向上させることができる。
ケース1の内部には、圧電振動子2と対向する位置に離間してスポンジ等の吸音材5が設けられている。本発明において、吸音材5を設けることは必須ではないが、吸音材5を設けることによって、圧電振動子3の振動面からケース1の内部側へ放出された不要な超音波を吸収することができる。また、ケース1の内部であって、吸音材5よりもケース1の開口部側の領域には、充填材6が形成されている。充填材6としては、シリコン樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂等の樹脂材料を用いることができる。本発明において、充填材6は必須ではないが、充填材6が側壁部1bの不要振動を吸収する効果を有するため、充填材6を設けた方がより好ましい。
〔実験例1〕
続いて、フランジ部1cの外周部に設けられた直線部の数と、ケース1の側壁部の振動面側と開口部側とにおける変位量との関係を説明する。比較対象として、図4〜図8で示されるケース1の試料をそれぞれ用意した。図4で示される、フランジ部1cがケース1の開口部の端面からそのまま延びるように形成されており、フランジ部1cの外周部に直線部が形成されていない構成を比較例1とした。図5で示される、フランジ部1cが形成される位置は図4と同じであるが、フランジ部1cの外周部に直線部が2個所形成されている構成を比較例2とした。図6で示される、フランジ部1cが形成される位置は図4と同じであるが、フランジ部1cの外周部に直線部が4個所形成されている構成を実験例1とした。図7で示される、フランジ部1cが形成される位置は図4と同じであるが、フランジ部1cの外周部に直線部が8個所形成されている構成を実験例2とした。図8で示される、フランジ部1cが形成される位置は図4と同じであるが、フランジ部1cの外周部に直線部が16個所形成されている構成を実験例3とした。
図9は、フランジ部の外周部に設けられた直線部の数と、ケース1の側壁部1bの振動面側と開口部側とにおける変位量との関係を示すシミュレーション結果である。フランジ部1cの形状以外のケース1の構成は、第1の実施形態に用いたケース1cと同一である。図9の横軸は、ケース1の側壁部1cのうち長軸方向において最も振動しやすい部分(最も側壁部の厚みが薄い部分)における、側壁部1bの開口側と側壁部1bの振動面側との位置を示しており、開口部端面の位置が0に相当し、ケース1の外底面が9に相当する。また、図9の縦軸は図4に示される比較例1の開口端面における変位を1とした場合の、ケース1の側壁部1bのそれぞれの位置における変位量を示している。なお、図9に示されるグラフは、開口部側の変位が最大となった時の変位量の大きさを相対値で示している。図8に示されるように、フランジ部1cの外周部に直線部が設けられていない比較例1では、ケース1の側壁部の振動面側に比べれば、開口部が広がる方向へ大きく変位していることがわかる。また、フランジ部1cの外周部に直線部が2個所形成されている比較例2に関しては、比較例1に比べて、開口部が広がる方向へより大きく変位していることがわかる。比較例2における直線部が、ケース1の振動面の長軸方向と平行に形成されており、比較例2のフランジ部にはこのような直線部しか形成されていないことから、ケース1の側壁部1bが薄いため、振動しやすい長軸方向に広がる変位を助長してしまったものと思われる。一方、本発明である実験例1〜実験例3については、比較例1に比べて開口部が変位しにくくなっていることがわかる。特に、実験例1及び実験例2については、ケース1の側壁部の振動面側に比べてもさほど広がらず、長軸方向と短軸方向とに位置するケース開口部付近の側壁部の位相が反転して交互に振動する不要振動モードを十分に抑制できていることがわかる。
図10は、図9で示された関係のうち、特に、フランジ部1cの直線部の数と、ケース1の側壁部1bの開口部のうち開口端面における最大振動変位量との関係を示したグラフである。フランジ部1cの直線部の数が0個所である比較例1を、相対比較の基準とし、1としている。これより、フランジ部1cの外周部に直線部が2個所形成された比較例2の場合、比較例1に比べて最大振動変位量が約1.2倍程度大きくなっている。一方、実験例1〜3に関しては、比較例1に比べて最大振動変位量が小さくなっており、特に、フランジ部1cの外周部に直線部が4個所以上8個所以下である実験例1及び実験例2については、最大振動変位量が約70%程度と小さくなっており、ケース1の開口部付近の変位が十分に小さいことがわかる。
〔第2実施形態〕
図11は本発明の実施の形態に係る超音波センサ20の第2実施形態を示す。この超音波センサは、ケース1の代わりに外側ケース21と、外側ケース21よりも剛性の高い内側ケース22と設け、内側ケース22の開口部付近にフランジ部22cを設けたものである。なお、第1実施形態と共通する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
外側ケース21は、底部21aと側壁部21bとを有し、例えばアルミニウム等の金属板を有底筒状に成形されたものであり、その底部1aの内側に円板状の圧電振動子2が貼り付けられている。外側ケース21の開口した側壁部21bの内部には、内側ケース22が接合固定されており、これらの外側ケース21と内側ケース22とでケース23を構成している。
内側ケース22は外側ケース21よりも剛性が高くなるように設計されている。具体的には、内側ケース22として外側ケース21よりも音響インピーダンスが大きな材料を選定することができる。例えば、外側ケース21としてアルミニウム材を用いる場合、内側ケース22としては亜鉛材、ステンレス鋼、タングステン材等の高比重、高剛性材を用いることで実現できる。また、内側ケース22に、外側ケース21と同じ材料を用いたとしても外側ケース21よりも厚みを格段に厚くし、剛性差を大きくすることにより実現することができる。
内側ケース22は円筒状または環状の側壁部22bとフランジ部22cとを有する。内側ケース22の側壁部22bのうち、外側ケース21の底部21aに接する部分22aが、長軸と短軸とを有する形状(例えば、楕円形状及び長円形状等)になっている。このような構成を有する内側ケース22を設けることによって、外側ケース21の底部21の振動面以外の部分の振動を抑え込むことができ、実質的に、長軸と短軸とが存在する領域のみが外側ケース21の振動部として機能する。これにより、外側ケース21の底部21aは円状であったとしても、超音波センサの指向性に異方性を発現させることができる。
なお、内側ケース22の側壁部22bのうち、外側ケース21の底部21aに接する部分22aの形状のみ、長軸と短軸とを有する形状に設計されていれば、内側ケース22の側壁部22bの開口形状は外側ケース21の円状の底部21aと同心円状であってもよい。
また、フランジ部22cは内側ケース22の側壁部22bの開口部側に側壁部22bの外周に沿って形成されている。フランジ部22cは、内側ケース22の側壁部22bの直径及び外側ケース21の側壁部21bよりも大きな直径を有する環状のつば部であり、フランジ部22cの外周部には4個所の直線部が形成されている。この直線部は、環状のフランジ部22cの外周部を、接線方向に平行にカットし、切り欠くことによって形成される。このような内側ケース22のフランジ部22cは外側ケース21の側壁部21bよりも外周側へ延びており、外側ケース21に内側ケース22が嵌合されることによって固定されている。このように内側ケース22にフランジ部22cを設けることによって、振動面(外側ケース21の底部22a)からの振動が、筺体への取り付け位置となる内側ケースのフランジ部22cに伝わりにくくなるため、車体又は筺体への取り付けによる特性変動をより防ぐことができる。具体的に説明すると、外側ケース21の底部21aには圧電振動子2が形成され振動部を構成しているが、この振動部における振動が外側ケース21の側壁部21bを伝わって、筺体へも伝わる恐れがある。その結果、残響の影響が大きくなる恐れがある。このため、従来は外側ケース21と筺体との間にゴム材等を設けることにより振動部からの振動の漏洩を防いでいた。しかしながら、本発明のように、外側ケース21よりも剛性が高い内側ケース22を用い、外側ケース21の側壁部21bを乗り越えるように内側ケース22の側壁部22bにフランジ部22cを設けて、このフランジ部22cを筺体に嵌合することにより、外側ケース21が直接筺体と接続されていないため、外側ケース21の振動部の振動は筺体に伝わりにくいばかりか、剛性の高い内側ケース22により減衰させられるため、振動が筺体へ漏洩することをより防ぐことができる。その結果、外側ケース21と筺体との間にゴム材等を設ける必要がなくなる。また、本発明のような、外側ケース21の他に制振性を有する内側ケース22を設けた構造であっても、外側ケース21の縦軸と横軸とを有する振動部における振動が、長軸方向と短軸方向とに位置するケース開口部付近の側壁部の位相が反転して交互に振動する不要振動モードの振動を生じさせてしまう。しかしながら、本発明の場合、内側ケース22のフランジ部22cの外周部に3個所以上の直線部が形成されているため、内側ケース22の開口部付近における上述の不要振動が抑制できているため、内側ケース22のフランジ部22cから筺体への不要振動の漏洩は防ぐことができる。
1 ケース
1a 底部
1b 側壁部
1c フランジ部
2 圧電振動子
3 リード端子
4 端子
5 吸音材
6 充填材
10 超音波センサ
20 超音波センサ
21 外側ケース
21a 底部
22b 側壁部
22 内側ケース
22b 側壁部
22c フランジ部
23 ケース

Claims (3)

  1. 底部と側壁部とを有する有底筒状のケースと、
    前記ケースの内底部に設けられた圧電振動子と、
    前記圧電振動子と電気的に接続された端子と、を有し
    前記圧電振動子によって振動する振動面が、長軸と短軸とを有し、
    前記ケースの開口部側に前記ケースの外周に沿ってフランジ部が形成されており、
    前記フランジ部の外周部分に、3個所以上の直線部を設けたことを特徴とする超音波センサ。
  2. 前記フランジ部の外周部分に4個所以上8個所以下の直線部を設けることを特徴とする請求項1に記載の超音波センサ。
  3. 前記ケースは、底部と側壁部とを有する外側ケースと、前記外側ケースよりも剛性が高い内側ケースとを有し、前記内側ケースの開口部側に前記内側ケースの外周に沿ってフランジ部が形成されており、
    前記内側ケースのフランジ部は、前記外側ケースの側壁部の外周よりも外側へ延びるように形成され、
    前記フランジ部の外周部分に、3個所以上の直線部を有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の超音波センサ。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015002536A (ja) * 2013-06-18 2015-01-05 日本セラミック株式会社 超音波送受波器
WO2022196078A1 (ja) * 2021-03-18 2022-09-22 株式会社村田製作所 超音波センサ

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002232993A (ja) * 2001-01-31 2002-08-16 Matsushita Electric Works Ltd 超音波送受波器
JP2007263246A (ja) * 2006-03-29 2007-10-11 Jtekt Corp 超音波センサ、センサ装置およびセンサ付き転がり軸受装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002232993A (ja) * 2001-01-31 2002-08-16 Matsushita Electric Works Ltd 超音波送受波器
JP2007263246A (ja) * 2006-03-29 2007-10-11 Jtekt Corp 超音波センサ、センサ装置およびセンサ付き転がり軸受装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015002536A (ja) * 2013-06-18 2015-01-05 日本セラミック株式会社 超音波送受波器
WO2022196078A1 (ja) * 2021-03-18 2022-09-22 株式会社村田製作所 超音波センサ

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