JP2011124035A - イオンビーム照射装置 - Google Patents
イオンビーム照射装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011124035A JP2011124035A JP2009279356A JP2009279356A JP2011124035A JP 2011124035 A JP2011124035 A JP 2011124035A JP 2009279356 A JP2009279356 A JP 2009279356A JP 2009279356 A JP2009279356 A JP 2009279356A JP 2011124035 A JP2011124035 A JP 2011124035A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion
- ion beam
- workpiece
- plasma source
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【解決手段】カメラ4は、イオンビームIが照射される被加工物Wの加工点Pを撮像する。イオン銃2は、プラズマを生成するプラズマ源21と、プラズマ源21からイオンビームIを引き出す引き出し電極22を有する。更にイオン銃2は、プラズマ源21から引き出し電極22に引き出されたイオンビームI、及びプラズマ源21からイオンビームIと共に放射された光のうち、イオンビームIを被加工物Wの方向に偏向するイオン偏向部23を有する。イオン偏向部23は、プラズマ源21から放射された光を遮光し、ハウジング27から光が洩れるのを抑制する。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の第1実施形態に係るイオンビーム照射装置の概略構成を示す説明図である。図1(a)に示すイオンビーム照射装置100は、被加工物Wが配置される真空チャンバー1と、被加工物Wに正イオンビームIを照射するイオン銃2と、被加工物Wに負の電位を持つ電子ビームEを照射して被加工物Wの中性化を行う電子銃3と、を備えている。また、イオンビーム照射装置100は、イオンビームIが照射される被加工物Wの加工点Pを撮像する撮像手段としてのカメラ4を備えている。
次に、本発明の第2実施形態に係るイオンビーム照射装置について、図2を参照しながら説明する。なお、上記第1実施形態と同様の構成については、同一符号を付してその説明を省略する。
3,3A 電子銃
21 プラズマ源
22 引き出し電極
23 イオン偏向部
23a,23b 偏向電極
28 黒色皮膜(光吸収部材)
31 フィラメント(電子源)
36,36A 電子偏向部
100,100A イオンビーム照射装置
Claims (5)
- イオン銃により被加工物にイオンビームを照射して被加工物の表面の加工を行うイオンビーム照射装置において、
イオンビームが照射される被加工物の加工点を撮像する撮像手段を備え、
前記イオン銃は、
プラズマを生成するプラズマ源と、
前記プラズマ源からイオンビームを引き出す引き出し電極と、
前記プラズマ源から前記引き出し電極に引き出されたイオンビーム、及び前記プラズマ源からイオンビームと共に放射された光のうち、イオンビームを被加工物の方向に偏向し、且つ前記プラズマ源から放射された光を遮光するイオン偏向部と、を有することを特徴とするイオンビーム照射装置。 - 前記イオン偏向部は、イオンビームを偏向する方向に湾曲して形成された一対の偏向電極を有し、
前記一対の偏向電極のうち、一方の偏向電極を、前記プラズマ源から放射される光の放射方向の延長上に配置したことを特徴とする請求項1に記載のイオンビーム照射装置。 - 前記イオン偏向部に光を吸収する光吸収部材を設けたことを特徴とする請求項1又は2に記載のイオンビーム照射装置。
- 前記イオン偏向部を、光を吸収する光吸収部材で形成したことを特徴とする請求項1又は2に記載のイオンビーム照射装置。
- 被加工物に電子ビームを照射して被加工物の中性化を行う電子銃を備え、
前記電子銃は、
電子と共に光が放出される電子源と、
前記電子源から放出された電子及び光のうち、電子を被加工物の方向に偏向する電子偏向部と、を有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のイオンビーム照射装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009279356A JP2011124035A (ja) | 2009-12-09 | 2009-12-09 | イオンビーム照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009279356A JP2011124035A (ja) | 2009-12-09 | 2009-12-09 | イオンビーム照射装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011124035A true JP2011124035A (ja) | 2011-06-23 |
Family
ID=44287740
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009279356A Pending JP2011124035A (ja) | 2009-12-09 | 2009-12-09 | イオンビーム照射装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2011124035A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101156184B1 (ko) * | 2011-10-21 | 2012-07-03 | 한국생산기술연구원 | 전자빔 및 이온빔을 이용한 피니싱 장치 및 방법 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63121234A (ja) * | 1986-11-11 | 1988-05-25 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | イオン源 |
JP2009264785A (ja) * | 2008-04-22 | 2009-11-12 | Canon Inc | 電子ビーム照射装置 |
-
2009
- 2009-12-09 JP JP2009279356A patent/JP2011124035A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63121234A (ja) * | 1986-11-11 | 1988-05-25 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | イオン源 |
JP2009264785A (ja) * | 2008-04-22 | 2009-11-12 | Canon Inc | 電子ビーム照射装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101156184B1 (ko) * | 2011-10-21 | 2012-07-03 | 한국생산기술연구원 | 전자빔 및 이온빔을 이용한 피니싱 장치 및 방법 |
WO2013058487A1 (ko) * | 2011-10-21 | 2013-04-25 | 한국생산기술연구원 | 전자빔 및 이온빔을 이용한 피니싱 장치 및 방법 |
JP2014514163A (ja) * | 2011-10-21 | 2014-06-19 | 韓国生産技術研究院 | 電子ビームおよびイオンビームを用いた仕上げ装置および方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10790110B2 (en) | Charged particle beam irradiation apparatus, charged particle beam image acquisition apparatus, and charged particle beam inspection apparatus | |
US9208988B2 (en) | Graphite backscattered electron shield for use in an X-ray tube | |
TWI803572B (zh) | 帶電粒子束裝置、試料加工觀察方法 | |
US10269531B2 (en) | Scanning electron microscope | |
EP2312609A1 (en) | Method and apparatus of pretreatment of an electron gun chamber | |
US8933415B2 (en) | Laser ion source and heavy particle beam therapy equipment | |
JP6637055B2 (ja) | イオンミリング装置 | |
US6452173B1 (en) | Charged particle apparatus | |
JP5458472B2 (ja) | X線管 | |
TWI470674B (zh) | 離子注入裝置、離子注入設備系統及離子注入方法 | |
JP4568768B2 (ja) | プラズマ生成装置及びプラズマ処理装置 | |
JP2011124035A (ja) | イオンビーム照射装置 | |
US11682536B2 (en) | Particle beam apparatus and composite beam apparatus | |
TW201635325A (zh) | 電漿離子源及帶電粒子束裝置 | |
JP2007080784A (ja) | プラズマ発生装置及び走査電子顕微鏡 | |
JP5283958B2 (ja) | 電子ビーム照射装置およびこれを備えた加工装置 | |
JP2005285485A (ja) | プラズマ発生装置及び低真空走査電子顕微鏡 | |
JP6178296B2 (ja) | 電子線放射管 | |
CN210535623U (zh) | X射线源和x射线成像设备 | |
CN218499329U (zh) | 一种x射线源 | |
JP5510830B2 (ja) | 電荷中和装置 | |
JP2001023556A (ja) | X線管 | |
JP2007165155A (ja) | 帯電中和電子の斜め照射法を用いた絶縁物試料観察用放射電子顕微鏡 | |
CN115346850A (zh) | 具有偏转单元的粒子束装置 | |
TW202211288A (zh) | 聚焦離子束裝置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20120203 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121207 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20130228 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130927 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131210 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140210 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140715 |