JP2011109409A - Package, piezoelectric vibrator, oscillator, electronic apparatus, and radio-controlled clock - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a package allowing vacuum sealing to be surely performed, and a piezoelectric vibrator using the same. <P>SOLUTION: This package 1 includes: an airtight terminal 5 including lead terminals 45, 45 for connecting an electronic component 2 thereto, and a plug body 4 fixed to a middle part of the lead terminals 45, 45; and a bottomed tubular case 3 for housing the electronic component 2; wherein an opening of the case 3 is pressed in and fixed to an outer peripheral surface 43 of the plug body 4. In the package, recessed parts 3a or projecting parts 3b extending in an axis C direction of the case 3 are formed. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&amp;INPIT

Description

この発明は、パッケージ、圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計に関するものである。   The present invention relates to a package, a piezoelectric vibrator, an oscillator, an electronic device, and a radio timepiece.

近年、携帯電話や携帯情報端末機器には、時刻源や制御信号のタイミング源、リファレンス信号源等として水晶等を利用した圧電振動子が用いられている。この種の圧電振動子は、様々なものが提供されているが、その1つとして、筒状に形成されたシリンダタイプのパッケージを備えた圧電振動子が知られている。   In recent years, a piezoelectric vibrator using a crystal or the like is used as a time source, a timing source of a control signal, a reference signal source, or the like in a mobile phone or a portable information terminal device. Various piezoelectric vibrators of this type are provided, and one of them is a piezoelectric vibrator having a cylinder type package formed in a cylindrical shape.

このパッケージの圧電振動子は、気密端子と、音叉型の圧電振動片と、圧電振動片を内部に収容する有底筒状のケースと、を備えている。
気密端子は、圧電振動片が接続される一対のリード端子と、リード端子の中間部に固着されたプラグ本体とを備えている。さらに、プラグ本体は、金属製の円環状の金属リングと、金属リングの内側を封止するガラス部材とを備えている。そして、プラグ本体の外周面にケースの開口部を圧入固定することにより、ケース内部に圧電振動片が封止されている。
The piezoelectric vibrator of this package includes an airtight terminal, a tuning-fork type piezoelectric vibrating piece, and a bottomed cylindrical case that accommodates the piezoelectric vibrating piece inside.
The hermetic terminal includes a pair of lead terminals to which the piezoelectric vibrating piece is connected and a plug body fixed to an intermediate portion of the lead terminals. The plug body further includes a metal annular metal ring and a glass member that seals the inside of the metal ring. The piezoelectric vibrating piece is sealed inside the case by press-fitting and fixing the opening of the case to the outer peripheral surface of the plug body.

ここで、特許文献1に記載されているように、圧電振動片の発振周波数特性やインピーダンス特性等の電気的特性は、空間が真空状態のほうが良い。したがって、ケース内部を真空状態にして圧電振動片を真空封止するため、プラグ本体の外周面にケースの開口部を圧入固定してケース内部に圧電振動片を封止する工程は、真空槽(真空チャンバ)の中で行われる。具体的には、まず、ケースの開口部をプラグ本体の金属リングに載置する。その後、真空チャンバの中で真空引きを行い、ケース内部を真空状態とする。そして、プラグ本体の外周面にケースの開口部を圧入により固定して、真空状態のケース内部に圧電振動片を封止する。   Here, as described in Patent Document 1, electrical characteristics such as oscillation frequency characteristics and impedance characteristics of the piezoelectric vibrating piece are better when the space is in a vacuum state. Therefore, in order to vacuum seal the piezoelectric vibrating piece with the inside of the case in a vacuum state, the process of sealing the piezoelectric vibrating piece inside the case by press-fitting and fixing the opening of the case to the outer peripheral surface of the plug body is performed in a vacuum chamber ( In a vacuum chamber). Specifically, first, the opening of the case is placed on the metal ring of the plug body. Thereafter, evacuation is performed in a vacuum chamber, and the inside of the case is evacuated. Then, the opening of the case is fixed to the outer peripheral surface of the plug body by press-fitting, and the piezoelectric vibrating piece is sealed inside the vacuum case.

特開平11−145757号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-145757

ところが、ケースの開口部をプラグ本体の金属リングに載置した状態で真空引きを行う際に、ケースの開口部における内周縁部と、プラグ本体の金属リングにおける外周縁部とが全周にわたって線接触する場合がある。この場合には、真空チャンバの中を真空引きする際に、ケース内部の空気をケース外部に放出するための通路が十分に確保できない。その結果、ケース内部に空気が残存したままケース内部に圧電振動片が封止され、圧電振動片を真空封止できない虞がある。これにより、圧電振動片の発振周波数特性やインピーダンス特性等の電気的特性が悪化し、結果として圧電振動子の性能が悪化する。   However, when evacuation is performed with the case opening placed on the metal ring of the plug body, the inner peripheral edge of the case opening and the outer peripheral edge of the metal ring of the plug main body are lined up over the entire circumference. May come into contact. In this case, when the inside of the vacuum chamber is evacuated, a sufficient passage for discharging the air inside the case to the outside of the case cannot be secured. As a result, there is a possibility that the piezoelectric vibrating piece is sealed inside the case while air remains in the case, and the piezoelectric vibrating piece cannot be vacuum sealed. As a result, the electrical characteristics such as the oscillation frequency characteristics and impedance characteristics of the piezoelectric vibrating piece deteriorate, and as a result, the performance of the piezoelectric vibrator deteriorates.

そこで本発明は、真空封止を確実に行うことができるパッケージおよびこのパッケージを用いた圧電振動子の提供を課題とする。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a package capable of reliably performing vacuum sealing and a piezoelectric vibrator using the package.

上記の課題を解決するため、本発明のパッケージは、電子部品が接続されるリード端子と、前記リード端子の中間部に固着されたプラグ本体と、を備えた気密端子と、前記電子部品を収容する有底筒状のケースと、を備え、前記ケースの開口部が前記プラグ本体の外周面に圧入固定されたパッケージであって、前記ケースの開口端面における内周縁部には、前記ケースの軸方向に伸びる凹部または凸部が形成されていることを特徴とする。
本発明によれば、ケースの軸方向に伸びる凹部または凸部が形成されているので、ケースの開口部をプラグ本体に載置する際に、隣接する凹部の間または凸部先端とプラグ本体とが当接する。そして、凹部自体または隣接する凸部の間に、ケースの内外を連通するガス通路が形成されるので、ケース内の真空引きを行うと、前記ガス通路を通してケース内部のガスをケース外部に放出することができる。その後、ケースの開口部をプラグ本体の外周面に圧入固定して前記ガス通路を閉塞することで、真空封止を確実に行うことができる。
In order to solve the above-described problems, a package of the present invention accommodates the electronic component, a hermetic terminal including a lead terminal to which an electronic component is connected, a plug body fixed to an intermediate portion of the lead terminal, and the electronic component. A bottomed cylindrical case, wherein the opening of the case is press-fitted and fixed to the outer peripheral surface of the plug body, and an inner peripheral edge of the opening end surface of the case has a shaft of the case A concave portion or a convex portion extending in the direction is formed.
According to the present invention, since the concave portion or the convex portion extending in the axial direction of the case is formed, when the opening portion of the case is placed on the plug body, between the adjacent concave portions or the tip of the convex portion and the plug main body, Abut. A gas passage that communicates the inside and outside of the case is formed between the concave portion itself or the adjacent convex portion. Therefore, when the inside of the case is evacuated, the gas inside the case is released to the outside of the case through the gas passage. be able to. Thereafter, the opening of the case is press-fitted and fixed to the outer peripheral surface of the plug body, and the gas passage is closed, so that the vacuum sealing can be reliably performed.

また、前記ケースの開口端面の内周縁部には、前記凹部が形成され、前記ケースの軸方向における前記凹部の深さは、前記ケースの軸方向における前記プラグ本体への圧入長さよりも短いことを特徴とする。
本発明によれば、ケースの軸方向における凹部の深さは、ケースの軸方向におけるプラグ本体への圧入長さよりも短いので、ケースをプラグ本体の外周面に圧入するだけで、ケースの内外を連通するガス通路が塞がれる。これにより、真空封止を簡単かつ確実に行うことができる。
Further, the recess is formed in the inner peripheral edge of the opening end surface of the case, and the depth of the recess in the axial direction of the case is shorter than the press-fitting length into the plug body in the axial direction of the case. It is characterized by.
According to the present invention, since the depth of the concave portion in the axial direction of the case is shorter than the press-fitting length into the plug body in the axial direction of the case, the case can be formed by simply press-fitting the case into the outer peripheral surface of the plug body. The communicating gas passage is blocked. Thereby, vacuum sealing can be performed easily and reliably.

また、前記ケースの開口端面の内周縁部には前記凸部が少なくとも3個形成されており、
前記ケースの中心軸は、複数の前記凸部の先端を前記ケースの周方向に沿って順に直線で結んだ多角形の内側に配置されていることを特徴とする。
本発明によれば、ケースの中心軸が複数の凸部を結ぶ多角形の内側に配置されているので、圧入固定時にプラグ本体上にケースを載置するとき、ケースを複数の凸部で支持してケースが傾倒するのを防止することができる。
Further, at least three of the convex portions are formed on the inner peripheral edge of the opening end surface of the case,
The center axis of the case is arranged inside a polygon in which the tips of the plurality of convex portions are connected in a straight line in order along the circumferential direction of the case.
According to the present invention, since the central axis of the case is disposed inside the polygon connecting the plurality of convex portions, the case is supported by the plurality of convex portions when the case is placed on the plug body during press-fitting and fixing. Thus, the case can be prevented from tilting.

本発明の圧電振動子は、前記パッケージの内部に、前記電子部品として圧電振動片が収容されていることを特徴とする。
本発明によれば、真空封止を確実に行ったパッケージのケース内部に圧電振動片が収容されているので、良好な電気的特性が得られる圧電振動子を提供することができる。
The piezoelectric vibrator of the present invention is characterized in that a piezoelectric vibrating piece is accommodated as the electronic component in the package.
According to the present invention, since the piezoelectric vibrating piece is accommodated in the case of the package that is surely vacuum-sealed, it is possible to provide a piezoelectric vibrator capable of obtaining good electrical characteristics.

本発明の発振器は、上述した圧電振動子が、発振子として集積回路に電気的に接続されていることを特徴とする。
本発明の電子機器は、上述した圧電振動子が、計時部に電気的に接続されていることを特徴とする。
本発明の電波時計は、上述した圧電振動子が、フィルタ部に電気的に接続されていることを特徴とする。
The oscillator according to the present invention is characterized in that the above-described piezoelectric vibrator is electrically connected to an integrated circuit as an oscillator.
The electronic apparatus according to the present invention is characterized in that the above-described piezoelectric vibrator is electrically connected to a time measuring unit.
The radio-controlled timepiece of the present invention is characterized in that the above-described piezoelectric vibrator is electrically connected to a filter unit.

本発明にかかる発振器、電子機器および電波時計によれば、真空封止を確実に行うことにより、良好な電気的特性が得られる圧電振動子を備えているので、製品の性能の向上を図ることができる。   According to the oscillator, the electronic device, and the radio timepiece according to the present invention, since the piezoelectric vibrator having good electrical characteristics can be obtained by reliably performing vacuum sealing, the performance of the product can be improved. Can do.

本発明によれば、ケースの軸方向に伸びる凹部または凸部が形成されているので、ケースの開口部をプラグ本体に載置する際に、隣接する凹部の間または凸部先端とプラグ本体とが当接する。そして、凹部自体または隣接する凸部の間に、ケースの内外を連通するガス通路が形成されるので、ケース内の真空引きを行うと、ガス通路を通してケース内部のガスをケース外部に放出することができる。その後、ケースの開口部をプラグ本体の外周面に圧入固定してガス通路を閉塞することで、真空封止を確実に行うことができる。   According to the present invention, since the concave portion or the convex portion extending in the axial direction of the case is formed, when the opening portion of the case is placed on the plug body, between the adjacent concave portions or the tip of the convex portion and the plug main body, Abut. And since the gas passage which connects the inside and outside of the case is formed between the concave portion itself or the adjacent convex portion, the gas inside the case is released to the outside of the case through the gas passage when the inside of the case is evacuated. Can do. Then, vacuum sealing can be performed reliably by press-fitting and fixing the opening of the case to the outer peripheral surface of the plug body to close the gas passage.

本発明の実施形態における圧電振動片の正面図である。It is a front view of the piezoelectric vibrating piece in the embodiment of the present invention. 本発明の実施形態における圧電振動片の背面図である。It is a rear view of the piezoelectric vibrating piece in the embodiment of the present invention. パッケージの正面図である。It is a front view of a package. 気密端子の斜視図である。It is a perspective view of an airtight terminal. 第1実施形態におけるケースの説明図であり、図5(a)は側面断面図であり、図5(b)は底面図である。It is explanatory drawing of the case in 1st Embodiment, Fig.5 (a) is side sectional drawing, FIG.5 (b) is a bottom view. 図3のA−A線における断面図である。It is sectional drawing in the AA of FIG. 真空封止工程の説明図であり、図7(a)はセット工程の説明図であり、図7(b)は真空引き工程の説明図であり、図7(c)はケース圧入工程の説明図である。FIG. 7A is an explanatory diagram of a setting process, FIG. 7B is an explanatory diagram of a evacuation process, and FIG. 7C is an explanatory diagram of a case press-fitting process. FIG. ガス通路の説明図であり、図8(a)はケースをプラグ本体に載置したときの凹部付近の側面断面図であり、図8(b)は圧入後における凹部付近の側面断面図である。FIG. 8A is a side sectional view of the vicinity of the recess when the case is placed on the plug body, and FIG. 8B is a side sectional view of the vicinity of the recess after press-fitting. . 第2実施形態におけるケースの説明図であり、図9(a)は側面断面図であり、図9(b)は底面図である。It is explanatory drawing of the case in 2nd Embodiment, Fig.9 (a) is side sectional drawing, FIG.9 (b) is a bottom view. 複数の凸部と中心軸との関係を表す説明図である。It is explanatory drawing showing the relationship between a some convex part and a central axis. 本発明に係る発振器の一実施形態を示す構成図である。It is a block diagram which shows one Embodiment of the oscillator which concerns on this invention. 本発明に係る電子機器の一実施形態を示す構成図である。It is a block diagram which shows one Embodiment of the electronic device which concerns on this invention. 本発明に係る電波時計の一実施形態を示す構成図である。It is a block diagram which shows one Embodiment of the radio timepiece which concerns on this invention.

以下、本発明の実施形態につき図面を参照して説明する。
(第1実施形態、圧電振動片)
まず、第1実施形態の圧電振動子における圧電振動片の一実施形態について説明する。
図1は本発明の実施形態における圧電振動片の正面図である。
図2は本発明の実施形態における圧電振動片の背面図である。
本実施形態の圧電振動子は、パッケージの内部に、電子部品として圧電振動片2が収容されている。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
(First embodiment, piezoelectric vibrating piece)
First, an embodiment of a piezoelectric vibrating piece in the piezoelectric vibrator of the first embodiment will be described.
FIG. 1 is a front view of a piezoelectric vibrating piece according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a rear view of the piezoelectric vibrating piece according to the embodiment of the present invention.
In the piezoelectric vibrator of this embodiment, a piezoelectric vibrating piece 2 is accommodated as an electronic component inside a package.

図1および図2に示すように、圧電振動片2は、水晶、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウム等の圧電材料から形成された音叉型の振動片であり、所定の電圧が印加されたときに振動するものである。
この圧電振動片2は、平行に配置された一対の振動腕部10,11と、振動腕部10,11の基端側を一体的に固定する基部12と、振動腕部10,11の外表面上に形成されて振動腕部10,11を振動させる第1の励振電極13と第2の励振電極14とからなる励振電極15と、第1の励振電極13および第2の励振電極14に電気的に接続されたマウント電極17,18とを有している。
As shown in FIGS. 1 and 2, the piezoelectric vibrating piece 2 is a tuning fork type vibrating piece formed of a piezoelectric material such as quartz crystal, lithium tantalate or lithium niobate, and when a predetermined voltage is applied. It vibrates.
The piezoelectric vibrating piece 2 includes a pair of vibrating arm portions 10 and 11 arranged in parallel, a base portion 12 that integrally fixes the proximal end sides of the vibrating arm portions 10 and 11, and an outer side of the vibrating arm portions 10 and 11. An excitation electrode 15 formed of a first excitation electrode 13 and a second excitation electrode 14 which is formed on the surface and vibrates the vibrating arm portions 10 and 11, and the first excitation electrode 13 and the second excitation electrode 14 It has the mount electrodes 17 and 18 electrically connected.

また、本実施形態の圧電振動片2は、振動腕部10,11の両主面上に、振動腕部10,11の長手方向Xに沿ってそれぞれ形成された溝部20を備えている。この溝部20は、振動腕部10,11の基端側から略中間付近まで形成されている。
第1の励振電極13と第2の励振電極14とからなる励振電極15は、振動腕部10,11を互いに接近又は離間する方向に所定の共振周波数で振動させる電極であり、振動腕部10,11の外表面に、それぞれ電気的に切り離された状態でパターニングされて形成されている。具体的には、第1の励振電極13が、一方の振動腕部10の溝部20上と、他方の振動腕部11の両側面上とに主に形成され、第2の励振電極14が、一方の振動腕部10の両側面上と他方の振動腕部11の溝部20上とに主に形成されている。
In addition, the piezoelectric vibrating piece 2 of the present embodiment includes groove portions 20 formed along the longitudinal direction X of the vibrating arm portions 10 and 11 on both main surfaces of the vibrating arm portions 10 and 11. The groove portion 20 is formed from the proximal end side of the vibrating arm portions 10 and 11 to the vicinity of the middle.
The excitation electrode 15 including the first excitation electrode 13 and the second excitation electrode 14 is an electrode that vibrates the vibrating arm portions 10 and 11 at a predetermined resonance frequency in a direction approaching or separating from each other. 11 are patterned and formed on the outer surface of each of the outer surfaces. Specifically, the first excitation electrode 13 is mainly formed on the groove portion 20 of one vibration arm portion 10 and on both side surfaces of the other vibration arm portion 11, and the second excitation electrode 14 is It is mainly formed on both side surfaces of one vibrating arm portion 10 and on the groove portion 20 of the other vibrating arm portion 11.

第1の励振電極13および第2の励振電極14は、図1および図2に示すように、基部12の両主面上において、それぞれ引き出し電極21,22を介してマウント電極17,18に電気的に接続されている。そして圧電振動片2は、このマウント電極17,18を介して電圧が印加されるようになっている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the first excitation electrode 13 and the second excitation electrode 14 are electrically connected to the mount electrodes 17 and 18 via the extraction electrodes 21 and 22, respectively, on both main surfaces of the base portion 12. Connected. A voltage is applied to the piezoelectric vibrating piece 2 via the mount electrodes 17 and 18.

なお、上述した励振電極15、マウント電極17,18および引き出し電極21,22は、例えば、クロム(Cr)、ニッケル(Ni)、アルミニウム(Al)やチタン(Ti)等の導電性膜(電極膜)の被膜により形成されたものである。   The excitation electrode 15, the mount electrodes 17 and 18, and the extraction electrodes 21 and 22 described above are, for example, conductive films (electrode films) such as chromium (Cr), nickel (Ni), aluminum (Al), and titanium (Ti). ).

また、一対の振動腕部10,11の先端には、自身の振動状態を所定の周波数の範囲内で振動するように調整(周波数調整)を行うための重り金属膜23が形成されている。なお、この重り金属膜23は、周波数を粗く調整する際に使用される粗調膜23aと、微小に調整する際に使用される微調膜23bとに分かれている。これら粗調膜23aおよび微調膜23bを利用して周波数調整を行うことで、振動腕部10,11の周波数をデバイスの公称周波数の範囲内に収めることができる。   Further, a weight metal film 23 for adjusting (frequency adjustment) so as to vibrate its own vibration state within a predetermined frequency range is formed at the tips of the pair of vibrating arm portions 10 and 11. The weight metal film 23 is divided into a coarse adjustment film 23a used when the frequency is roughly adjusted and a fine adjustment film 23b used when the frequency is finely adjusted. By adjusting the frequency using the coarse adjustment film 23a and the fine adjustment film 23b, the frequencies of the vibrating arm portions 10 and 11 can be kept within the range of the nominal frequency of the device.

(凹部が形成されたケースを有するパッケージ)
次に、本発明のパッケージの一実施形態について説明する。以下の説明では、ケースの中心軸Cに沿う方向において、有底筒状のケースの開口端部側を−Z側、閉塞端部側を+Z側とする。
(Package having a case with a recess)
Next, an embodiment of the package of the present invention will be described. In the following description, in the direction along the center axis C of the case, the open end side of the bottomed cylindrical case is defined as the −Z side, and the closed end side is defined as the + Z side.

図3はパッケージの正面図である。
図3に示すように、本実施形態のパッケージ1は、電子部品2が接続されるリード端子45,45と、リード端子45,45の中間部に固着されたプラグ本体4と、を備えた気密端子5と、電子部品2を収容する有底筒状のケース3と、を備え、ケース3の開口部31がプラグ本体4の外周面43に圧入固定されたパッケージ1であって、ケース3の軸C方向に伸びる凹部3aが形成されている。
FIG. 3 is a front view of the package.
As shown in FIG. 3, the package 1 of the present embodiment includes an airtight structure including lead terminals 45 and 45 to which the electronic component 2 is connected, and a plug body 4 fixed to an intermediate portion of the lead terminals 45 and 45. A package 1 including a terminal 5 and a bottomed cylindrical case 3 that accommodates an electronic component 2, and an opening 31 of the case 3 is press-fitted and fixed to the outer peripheral surface 43 of the plug body 4. A recess 3a extending in the direction of the axis C is formed.

図4は気密端子の斜視図である。
本実施形態のパッケージは気密端子5を備えており、図4に示すように、気密端子5は、電子部品(不図示)が接続されるリード端子45,45と、リード端子45,45の中間部に固着されたプラグ本体4と、を備えている。
FIG. 4 is a perspective view of the hermetic terminal.
The package of the present embodiment includes an airtight terminal 5, and as shown in FIG. 4, the airtight terminal 5 is an intermediate between the lead terminals 45 and 45 to which electronic components (not shown) are connected and the lead terminals 45 and 45. And a plug body 4 fixed to the portion.

リード端子45,45は、コバール(FeNiCo合金)等の金属からなる円柱状の部材であり、所定間隔離間した状態で、後述するプラグ本体4を貫通するように2本平行に配置されている。リード端子45,45の直径は、例えば約0.12mmである。また、リード端子45,45の表面には、めっきの被膜が形成されている。めっきの材質としては、下地膜に銅(Cu)めっき等が用いられ、仕上膜に融点が例えば300℃程度の高融点ハンダめっき(錫と鉛の合金で、その重量比が1:9)が用いられる。例えば、下地膜であるCuめっきが約2μm〜5μmの膜厚で形成されている。続いて、仕上膜である高融点ハンダめっきが約8μm〜15μmの膜厚で形成されている。   The lead terminals 45, 45 are columnar members made of metal such as Kovar (FeNiCo alloy), and are arranged in parallel so as to penetrate a plug body 4 described later in a state of being spaced apart by a predetermined distance. The diameter of the lead terminals 45, 45 is, for example, about 0.12 mm. A plating film is formed on the surfaces of the lead terminals 45 and 45. As the plating material, copper (Cu) plating or the like is used for the base film, and high-melting-point solder plating with a melting point of, for example, about 300 ° C. (tin / lead alloy, the weight ratio is 1: 9) is used for the finish film. Used. For example, Cu plating as a base film is formed with a film thickness of about 2 μm to 5 μm. Subsequently, a high melting point solder plating as a finish film is formed with a film thickness of about 8 μm to 15 μm.

リード端子45,45は、プラグ本体4を挟んで+Z側は電子部品が接続されるインナーリード45a,45aとなっており、−Z側は外部と電気的に接続されるアウターリード45b,45bとなっている。   The lead terminals 45, 45 are inner leads 45a, 45a to which electronic components are connected on the + Z side with the plug body 4 interposed therebetween, and outer leads 45b, 45b electrically connected to the outside on the −Z side. It has become.

図4に示すとおり、プラグ本体4は、ケースを密閉する金属リング41と、金属リング41の内側に充填され、プラグ本体4をリード端子45の中間部に固着させる絶縁材47とで構成されている。   As shown in FIG. 4, the plug body 4 includes a metal ring 41 that seals the case, and an insulating material 47 that fills the inside of the metal ring 41 and fixes the plug body 4 to an intermediate portion of the lead terminal 45. Yes.

金属リング41は、鉄ニッケル合金等の金属材料を円環状に形成したものであり、プレス加工等により形成される。また、金属リング41の外周面にはめっきの被膜が形成されており、前述のリード端子45,45に形成されているめっきの被膜と同材料のめっきの被膜が略同一の膜厚で形成されている。   The metal ring 41 is formed by forming a metal material such as an iron-nickel alloy into an annular shape, and is formed by pressing or the like. Further, a plating film is formed on the outer peripheral surface of the metal ring 41, and a plating film of the same material as the plating film formed on the lead terminals 45, 45 is formed with substantially the same film thickness. ing.

絶縁材47は、例えばホウ珪酸ガラスからなり、円環状に形成された金属リング41の内側に充填することで、金属リング41とリード端子45,45とを固着させる。具体的には、予めリング状に焼結された絶縁材47を金属リング41の内部にセットすると共に、絶縁材47を貫通するように2本のリード端子45,45を所定間隔を空けてセットする。その後、加熱炉内に入れて1000℃前後の温度雰囲気で焼成を行う。これにより、絶縁材47とリード端子45,45との間、絶縁材47と金属リング41との間が完全に封着され、確実に真空封止をすることができる。   The insulating material 47 is made of, for example, borosilicate glass, and the metal ring 41 is fixed to the lead terminals 45 and 45 by filling the inside of the annular metal ring 41. Specifically, the insulating material 47 sintered in a ring shape in advance is set inside the metal ring 41, and the two lead terminals 45, 45 are set at a predetermined interval so as to penetrate the insulating material 47. To do. Then, it puts in a heating furnace and performs baking by the temperature atmosphere of about 1000 degreeC. Thereby, between the insulating material 47 and the lead terminals 45, 45, and between the insulating material 47 and the metal ring 41 are completely sealed, and vacuum sealing can be surely performed.

図3に戻り、本実施形態のパッケージ1は、圧電振動片2を収容する有底筒状のケース3を備えている。
ケース3は、銅やニッケル、亜鉛等の合金である洋白の平板部材を深絞り加工することにより有底筒状に形成される。そして、前述のとおり圧電振動片2をケース3内部に収容した状態で、圧入によりプラグ本体4の外周面43にケース3の内周面37が固定される。なお、ケース3の軸C方向の長さや内径等を、平板部材の限界絞り以上に形成する場合、クラックの発生を防止するため、複数回に分けて深絞り加工を行うのが望ましい。
Returning to FIG. 3, the package 1 of the present embodiment includes a bottomed cylindrical case 3 that accommodates the piezoelectric vibrating piece 2.
The case 3 is formed into a bottomed cylindrical shape by deep drawing a white flat plate member made of an alloy such as copper, nickel, or zinc. As described above, the inner peripheral surface 37 of the case 3 is fixed to the outer peripheral surface 43 of the plug body 4 by press-fitting with the piezoelectric vibrating reed 2 housed inside the case 3. In addition, when forming the length of the case 3 in the direction of the axis C, the inner diameter, or the like to be larger than the limit drawing of the flat plate member, it is desirable to perform deep drawing in a plurality of times in order to prevent cracks.

図5は第1実施形態におけるケースの説明図であり、図5(a)は側面断面図であり、図5(b)は底面図である。
図5に示すように、本実施形態のパッケージは、ケース3の開口端面31の内周縁部33において、ケース3の軸C方向に伸びる凹部3aを備えている。
FIG. 5 is an explanatory view of the case in the first embodiment, FIG. 5 (a) is a side sectional view, and FIG. 5 (b) is a bottom view.
As shown in FIG. 5, the package of this embodiment includes a recess 3 a that extends in the direction of the axis C of the case 3 at the inner peripheral edge 33 of the opening end surface 31 of the case 3.

凹部3aは、平板部材を深絞り加工してケース3を成型する際に同時に金型によって成型する。具体的には、深絞り加工時に開口端面31における内周縁部33を潰すことにより成型する。
凹部3aは、開口端面31を−Z側から+Z方向に凹ませることで形成される。凹部3aは、開口端面31をケース3の内周面37から外周面35に渡って凹ませて形成してもよいし、図5(a)に示すように、開口端面31の内周面37側のみを凹ませて形成してもよい。また、凹部3aは、ケース3の開口端面31の内周縁部33に少なくとも1箇所形成する。ケース3の開口端面31の内周縁部33に凹部3aを形成することにより、ケース3をプラグ本体に固定する前に、プラグ本体の+Z側にケース3を載置した場合において、ケース3の内外を連通するガス通路が形成される。
The recess 3a is molded by a mold at the same time when the case 3 is molded by deep drawing a flat plate member. Specifically, molding is performed by crushing the inner peripheral edge 33 of the opening end face 31 during deep drawing.
The recess 3a is formed by recessing the opening end surface 31 in the + Z direction from the −Z side. The recess 3a may be formed by denting the opening end surface 31 from the inner peripheral surface 37 of the case 3 to the outer peripheral surface 35, or as shown in FIG. 5A, the inner peripheral surface 37 of the opening end surface 31. You may form by denting only the side. Further, at least one recess 3 a is formed in the inner peripheral edge 33 of the opening end surface 31 of the case 3. When the case 3 is placed on the + Z side of the plug body before the case 3 is fixed to the plug body by forming the recess 3a in the inner peripheral edge 33 of the opening end surface 31 of the case 3, the inside and outside of the case 3 A gas passage that communicates with each other is formed.

また、詳細は後述のパッケージの製造方法におけるケース圧入工程の中で述べるが、ケース3の軸C方向における開口端面31からの凹部3aの深さは、ケース3の軸C方向におけるプラグ本体4への圧入長さよりも短く形成する。これにより、プラグ本体4の外周面43にケース3の開口部を圧入するだけで、簡単かつ確実に真空封止を行うことができる。   Although details will be described in a case press-fitting step in the package manufacturing method described later, the depth of the concave portion 3a from the opening end surface 31 in the axis C direction of the case 3 extends to the plug body 4 in the axis C direction of the case 3. It is formed shorter than the press-fitting length. Thus, vacuum sealing can be performed easily and reliably by simply press-fitting the opening of the case 3 into the outer peripheral surface 43 of the plug body 4.

(圧電振動子)
図6は図3のA−A線における断面図である。
図6に示すように、電子部品として圧電振動片2がパッケージ1の内部に収容され、インナーリード45a,45aの先端に圧電振動片2が接続されることにより、圧電振動子1が形成されている。具体的には、プラグ本体4から+Z側に突出しているインナーリード45a,45aと、圧電振動片2のマウント電極17,18とがハンダE等を介して実装される。即ち、ハンダE等を介してインナーリード45a,45aとマウント電極17,18とが機械的に接合されていると同時に、インナーリード45a,45aとマウント電極17,18とが電気的に接続されている。
(Piezoelectric vibrator)
6 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG.
As shown in FIG. 6, the piezoelectric vibrating reed 2 is housed inside the package 1 as an electronic component, and the piezoelectric vibrating reed 2 is connected to the tips of the inner leads 45a and 45a, whereby the piezoelectric vibrator 1 is formed. Yes. Specifically, the inner leads 45a and 45a protruding from the plug body 4 to the + Z side and the mount electrodes 17 and 18 of the piezoelectric vibrating piece 2 are mounted via solder E or the like. That is, the inner leads 45a and 45a and the mount electrodes 17 and 18 are mechanically joined via the solder E or the like, and at the same time, the inner leads 45a and 45a and the mount electrodes 17 and 18 are electrically connected. Yes.

このように構成された圧電振動子1を作動させる場合には、2本のリード端子45,45のアウターリード45b,45bに対して、所定の駆動電圧を印加する。これにより、インナーリード45a,45a、ハンダE、マウント電極17,18及び引き出し電極21,22を介して、第1の励振電極及び第2の励振電極からなる励振電極15に電圧を印加することができ、一対の振動腕部10,11を接近・離間させる方向に所定の周波数で振動させることができる。そして、この一対の振動腕部10,11の振動を利用して、時刻源、制御信号のタイミング源やリファレンス信号源等として利用することができる。   When the piezoelectric vibrator 1 configured as described above is operated, a predetermined drive voltage is applied to the outer leads 45b and 45b of the two lead terminals 45 and 45. Thus, a voltage can be applied to the excitation electrode 15 including the first excitation electrode and the second excitation electrode via the inner leads 45a and 45a, the solder E, the mount electrodes 17 and 18, and the extraction electrodes 21 and 22. The pair of vibrating arm portions 10 and 11 can be vibrated at a predetermined frequency in a direction in which the pair of vibrating arm portions 10 and 11 are approached and separated. The vibration of the pair of vibrating arm portions 10 and 11 can be used as a time source, a control signal timing source, a reference signal source, and the like.

(パッケージの製造方法、真空封止工程)
次に、本実施形態のパッケージの製造方法のうち真空封止工程について説明する。
図7は真空封止工程の説明図であり、図7(a)はセット工程の説明図であり、図7(b)は真空引き工程の説明図であり、図7(c)はケース圧入工程の説明図である。
図8は、ガス通路の説明図であり、図8(a)はケースをプラグ本体に載置したときの凹部付近の側面断面図であり、図8(b)は圧入後における凹部付近の側面断面図である。
本実施形態のパッケージの真空封止工程は、プラグ本体4を治具に配置してケース3をプラグ本体4に載置するセット工程S1と、真空引きを行う真空引き工程S2と、ケース3をプラグ本体4に圧入するケース圧入工程S3と、を備えている。なお、セット工程S1は不図示の真空チャンバの外で行われ、真空引き工程S2およびケース圧入工程S3は真空チャンバの中で行われる。
(Package manufacturing method, vacuum sealing process)
Next, a vacuum sealing process in the package manufacturing method of the present embodiment will be described.
7 is an explanatory diagram of the vacuum sealing process, FIG. 7A is an explanatory diagram of the setting process, FIG. 7B is an explanatory diagram of the vacuuming process, and FIG. 7C is a case press-fitting. It is explanatory drawing of a process.
FIG. 8 is an explanatory view of the gas passage, FIG. 8A is a side sectional view of the vicinity of the recess when the case is placed on the plug body, and FIG. 8B is a side view of the vicinity of the recess after press-fitting. It is sectional drawing.
The package vacuum sealing process of the present embodiment includes a setting process S1 in which the plug body 4 is placed on a jig and the case 3 is placed on the plug body 4, a vacuuming process S2 in which vacuuming is performed, and a case 3 A case press-fitting step S3 for press-fitting the plug main body 4. The setting step S1 is performed outside a vacuum chamber (not shown), and the evacuation step S2 and the case press-fitting step S3 are performed in the vacuum chamber.

真空封止工程に使用する治具は、ケース3を支持する上治具60と、プラグ本体4を支持する下治具62と、ケース3を圧入するために押し込む圧入治具64と、で構成されている。ケース3の中心軸Cをプラグ本体4の中心軸に沿わせつつケース3をプラグ本体4の+Z側に載置できるように、上治具60と下治具62とは、不図示の凹凸を嵌合するなどして互いの水平方向の位置決めをしている。上治具60、下治具62および圧入治具64は、複数のパッケージを格子状に配置しうるように形成されており、同時に複数のパッケージを真空封止できるようになっている。   The jig used for the vacuum sealing process is composed of an upper jig 60 that supports the case 3, a lower jig 62 that supports the plug body 4, and a press-fitting jig 64 that is pressed to press-fit the case 3. Has been. The upper jig 60 and the lower jig 62 have irregularities (not shown) so that the case 3 can be placed on the + Z side of the plug body 4 while keeping the center axis C of the case 3 along the center axis of the plug body 4. They are positioned in the horizontal direction by fitting or the like. The upper jig 60, the lower jig 62, and the press-fitting jig 64 are formed so that a plurality of packages can be arranged in a lattice shape, and the plurality of packages can be vacuum-sealed at the same time.

最初に、図7(a)に示すように、プラグ本体4およびケース3を治具にセットするセット工程S1を行う。具体的には、まず、アウターリードを−Z側に向けてプラグ本体4を下治具62に配置する。その後、ケース3の開口端面31を−Zに向けて、ケース3を上治具60の挿入孔60aに挿入する。これにより、ケース3の中心軸Cをプラグ本体4の中心軸に沿わせて、ケース3の開口端面31をプラグ本体4の+Z側に載置することができる。そして、ケース3の開口端面31における隣接する凹部3aの間とプラグ本体4とが当接することにより、凹部3a自体にケース3の内外を連通するガス通路が形成される。   First, as shown in FIG. 7A, a setting step S1 for setting the plug body 4 and the case 3 on a jig is performed. Specifically, first, the plug body 4 is arranged on the lower jig 62 with the outer lead directed to the −Z side. Thereafter, the case 3 is inserted into the insertion hole 60 a of the upper jig 60 with the opening end surface 31 of the case 3 facing −Z. As a result, the opening end face 31 of the case 3 can be placed on the + Z side of the plug body 4 with the center axis C of the case 3 aligned with the center axis of the plug body 4. And between the adjacent recessed parts 3a in the opening end surface 31 of case 3 and the plug main body 4 contact | abut, the gas channel which connects the inside and outside of case 3 to the recessed part 3a itself is formed.

次に、図7(b)に示すように、真空引きを行いケース3内部のガスを抜く真空引き工程S2を行う。図7(b)および図8(a)に示すように、プラグ本体4の+Z側にケース3を載置した状態で、ケース3の開口端面31における隣接する凹部3aの間とプラグ本体4とが当接することにより、凹部3a自体がケース3の内外を連通するガス通路Gとして機能する。そして、真空チャンバ内の真空引きを行うことにより、ガス通路Gを通してケース3内部のガスをケース3外部に放出することができる。なお、真空封止する前に、ケースやプラグ本体4等の各部材を十分に加熱して、表面吸着水分等を各部材から脱離させておくことが望ましい。   Next, as shown in FIG. 7B, a vacuuming step S <b> 2 is performed in which vacuuming is performed to remove the gas inside the case 3. As shown in FIGS. 7B and 8A, in a state where the case 3 is placed on the + Z side of the plug body 4, between the adjacent recesses 3a on the opening end surface 31 of the case 3, the plug body 4 and , The recess 3 a itself functions as a gas passage G that communicates the inside and outside of the case 3. Then, by evacuating the vacuum chamber, the gas inside the case 3 can be released to the outside of the case 3 through the gas passage G. In addition, before vacuum-sealing, it is desirable to sufficiently heat each member such as the case and the plug body 4 so that surface adsorbed moisture and the like are desorbed from each member.

最後に、図7(c)に示すように、ケース3をプラグ本体4に圧入するケース圧入工程S3を行う。具体的には、圧入治具64を用いて、ケース3に対し−Z方向に所定の荷重を加えながら、ケース3の開口部をプラグ本体4の外周面43に圧入する。セット工程S1において、ケース3の中心軸Cをプラグ本体の中心軸に沿わせてケース3を配置しているので、ケース3が傾倒した状態で圧入されるのを防止することができる。   Finally, as shown in FIG. 7C, a case press-fitting step S3 for press-fitting the case 3 into the plug body 4 is performed. Specifically, the press-fitting jig 64 is used to press-fit the opening of the case 3 into the outer peripheral surface 43 of the plug body 4 while applying a predetermined load to the case 3 in the −Z direction. In the setting step S1, since the case 3 is arranged with the central axis C of the case 3 along the central axis of the plug body, the case 3 can be prevented from being press-fitted in a tilted state.

ここで、図8(b)に示すように、凹部3aの深さHは圧入長さLよりも短く設定されている。これにより、ケース3を圧入すると、凹部3a自体で構成されていたガス通路Gが塞がれ、ケース3の内周面37とプラグ本体4の外周面43とが全周に渡って当接する。このように、ケース3を圧入する前にケース3の内外を連通していたガス通路Gを、プラグ本体4の外周面43にケース3の開口部を圧入するだけで塞ぐことができるので、簡単かつ確実に真空封止を行うことができる。なお、プラグ本体4の外周面43に形成されている下地膜および仕上膜からなるめっき層は、柔らかく変形しやすい特性を有しているので、めっき層を介在させながらプラグ本体4の外周面43にケース3の開口部を圧入することにより、確実に真空封止することができる。   Here, as shown in FIG. 8B, the depth H of the recess 3 a is set to be shorter than the press-fit length L. As a result, when the case 3 is press-fitted, the gas passage G constituted by the recess 3 a itself is closed, and the inner peripheral surface 37 of the case 3 and the outer peripheral surface 43 of the plug body 4 abut over the entire periphery. As described above, the gas passage G communicating with the inside and outside of the case 3 before press-fitting the case 3 can be closed by simply press-fitting the opening of the case 3 into the outer peripheral surface 43 of the plug body 4. And vacuum sealing can be performed reliably. Since the plating layer made of the base film and the finish film formed on the outer peripheral surface 43 of the plug body 4 has a soft and easy-to-deform characteristic, the outer peripheral surface 43 of the plug body 4 with the plating layer interposed. By press-fitting the opening of the case 3 into the case, it can be surely vacuum-sealed.

本実施形態によれば、図8に示すように、ケース3の軸C方向に伸びる凹部3aが形成されているので、ケース3の開口部をプラグ本体4に載置する際に、隣接する凹部3aの間とプラグ本体4とが当接する。そして、凹部3a自体にケース3の内外を連通するガス通路Gが形成されるので、ケース3内の真空引きを行うと、ガス通路Gを通してケース3内部のガスをケース3外部に放出することができる。その後、ケース3の開口部をプラグ本体4の外周面に圧入固定してガス通路Gを閉塞することで、真空封止を確実に行うことができる。   According to this embodiment, as shown in FIG. 8, the recess 3 a extending in the direction of the axis C of the case 3 is formed, so that when the opening of the case 3 is placed on the plug body 4, the adjacent recess Between 3a and the plug main body 4 contact | abut. Since the gas passage G that communicates the inside and outside of the case 3 is formed in the recess 3a itself, when the inside of the case 3 is evacuated, the gas inside the case 3 can be released to the outside of the case 3 through the gas passage G. it can. Thereafter, the opening of the case 3 is press-fitted and fixed to the outer peripheral surface of the plug body 4 to close the gas passage G, whereby the vacuum sealing can be reliably performed.

(第2実施形態、凸部が形成されたケースを有するパッケージ)
第2実施形態として、ケースの開口端面に凸部が形成されているパッケージについて図を用いて説明する。
図9は第2実施形態におけるケースの説明図であり、図9(a)は側面断面図であり、図9(b)は底面図である。
図5に示す第1実施形態のケース3の開口端面31には凹部3aが形成されていたが、図9に示す第2実施形態のケース3の開口端面31には凸部3bが形成されている点で第1実施形態と異なっている。なお、第1実施形態と同様の構成の部分については、詳細な説明を省略する。
(Second embodiment, a package having a case in which convex portions are formed)
As a second embodiment, a package in which convex portions are formed on the opening end face of the case will be described with reference to the drawings.
FIG. 9 is an explanatory view of a case in the second embodiment, FIG. 9A is a side sectional view, and FIG. 9B is a bottom view.
Although the recessed part 3a was formed in the opening end surface 31 of the case 3 of 1st Embodiment shown in FIG. 5, the convex part 3b was formed in the opening end surface 31 of the case 3 of 2nd Embodiment shown in FIG. This is different from the first embodiment. Detailed description of the same configuration as in the first embodiment will be omitted.

図9に示すように、本実施形態のパッケージは、ケース3の開口端面31の内周縁部33において、ケース3の軸C方向に伸びる凸部3bを備えている。
凸部3bは、前述の凹部と同様に平板部材を深絞り加工してケース3を成型する際に同時に金型によって成型する。具体的には、深絞り加工時に開口端面31における内周縁部33を潰すことにより成型する。凸部3bの形状に関し、ケース3の内周縁部33からケース3の−Z側に伸びて形成されている限り、図9(a)における径方向から視て尖塔形状、矩形状、円弧形状等いずれの形状でもよい。
また、ケース3の軸C方向における凸部3bの長さH(換言すれば凸部と凸部との間に形成された凹部の深さH)は、ケース3の軸C方向におけるプラグ本体への圧入長さよりも短く形成する。これにより、第1実施形態と同様に、プラグ本体の外周面にケース3の開口部を圧入するだけで、簡単かつ確実に真空封止を行うことができる。
As shown in FIG. 9, the package of the present embodiment includes a convex portion 3 b that extends in the axis C direction of the case 3 at the inner peripheral edge portion 33 of the opening end surface 31 of the case 3.
The convex portion 3b is molded by a mold at the same time when the case 3 is molded by deep drawing a flat plate member in the same manner as the concave portion described above. Specifically, molding is performed by crushing the inner peripheral edge 33 of the opening end face 31 during deep drawing. Regarding the shape of the convex portion 3b, as long as it is formed extending from the inner peripheral edge 33 of the case 3 to the -Z side of the case 3, the spire shape, rectangular shape, arc shape, etc. as viewed from the radial direction in FIG. Any shape is acceptable.
Further, the length H of the convex portion 3b in the axis C direction of the case 3 (in other words, the depth H of the concave portion formed between the convex portion and the convex portion) is set to the plug body in the axis C direction of the case 3. It is formed shorter than the press-fitting length. Thereby, similarly to 1st Embodiment, vacuum sealing can be performed easily and reliably only by press-fitting the opening part of case 3 in the outer peripheral surface of a plug main body.

図10は複数の凸部と中心軸との関係を表す説明図である。
本実施形態のパッケージでは、図10に示すように、ケース3の開口端面31の内周縁部33には凸部3bが少なくとも3個形成されており、ケース3の中心軸Cは、複数の凸部3bの先端をケース3の周方向に沿って順に直線で結んだ多角形Tの内側に配置されている。これにより、ケース3の自重によるモーメントが、各凸部3bの先端を支点としてつり合うことになる。このため、ケース3は傾倒することなく、複数の凸部3bでケース3を安定支持することができる。これにより、ケース3の中心軸Cをプラグ本体の中心軸に沿わせて載置することができるので、ケース3が傾いた状態でプラグ本体の外周面に圧入固定されることがない。したがって、ケース3とプラグ本体との圧入面においてかじりが発生することなく、スムーズにプラグ本体へ圧入することができる。
FIG. 10 is an explanatory diagram showing the relationship between the plurality of convex portions and the central axis.
In the package of the present embodiment, as shown in FIG. 10, at least three convex portions 3 b are formed on the inner peripheral edge portion 33 of the opening end surface 31 of the case 3, and the central axis C of the case 3 has a plurality of convex portions. The tip of the part 3 b is arranged inside a polygon T that is connected in a straight line in order along the circumferential direction of the case 3. Thereby, the moment by the dead weight of case 3 balances with the front-end | tip of each convex part 3b as a fulcrum. For this reason, the case 3 can be stably supported by the plurality of convex portions 3b without tilting. Thereby, since the center axis C of the case 3 can be placed along the center axis of the plug body, the case 3 is not press-fitted and fixed to the outer peripheral surface of the plug body with the case 3 tilted. Therefore, it is possible to smoothly press-fit the plug body without causing galling on the press-fitting surfaces of the case 3 and the plug body.

(パッケージの製造方法、真空封止工程)
次に、第2実施形態のパッケージの製造方法における真空封止工程について説明する。
第1実施形態のパッケージの製造方法における真空封止工程では、凹部自体にガス通路が形成されていたが、第2実施形態のパッケージの製造方法における真空封止工程では、凸部の間にガス通路が形成されている点で第1実施形態と異なっている。なお、第1実施形態のパッケージの製造方法における真空封止工程と同様の構成の部分については、詳細な説明を省略する。
(Package manufacturing method, vacuum sealing process)
Next, the vacuum sealing process in the manufacturing method of the package of 2nd Embodiment is demonstrated.
In the vacuum sealing process in the manufacturing method of the package of the first embodiment, the gas passage is formed in the recess itself. However, in the vacuum sealing process in the manufacturing method of the package of the second embodiment, a gas is formed between the protrusions. This is different from the first embodiment in that a passage is formed. In addition, detailed description is abbreviate | omitted about the part of the structure similar to the vacuum sealing process in the manufacturing method of the package of 1st Embodiment.

本実施形態の真空封止工程の真空引き工程において、図9に示すケース3の開口端面31における凸部3bとプラグ本体とが当接することにより、隣接する凸部3bの間にケース3の内外を連通するガス通路Gが形成される。そして、プラグ本体の+Z側にケース3を載置した状態でケース3内の真空引きを行うことにより、ガス通路Gを通してケース3内部のガスをケース3外部に放出することができる。
また、本実施形態の真空封止工程のケース圧入工程において、前述のとおり、凸部3bの長さHが圧入長さよりも低く設定されている。これにより、ケース3を圧入すると、凸部3bの間に形成されていたガス通路Gが塞がれ、ケース3の内周面とプラグ本体の外周面とが全周に渡って当接することができる。
In the evacuation process of the vacuum sealing process of the present embodiment, the protrusion 3b on the opening end surface 31 of the case 3 and the plug body shown in FIG. Is formed. Then, by evacuating the case 3 with the case 3 placed on the + Z side of the plug body, the gas inside the case 3 can be released to the outside of the case 3 through the gas passage G.
Further, in the case press-fitting step of the vacuum sealing step of the present embodiment, as described above, the length H of the convex portion 3b is set lower than the press-fitting length. As a result, when the case 3 is press-fitted, the gas passage G formed between the convex portions 3b is closed, and the inner peripheral surface of the case 3 and the outer peripheral surface of the plug body may come into contact over the entire periphery. it can.

本実施形態によれば、図9(a)に示すように、ケース3の軸C方向に伸びる凸部3bが形成されているので、ケース3の開口部をプラグ本体に載置する際に、凸部3b先端とプラグ本体とが当接する。そして、隣接する凸部3bの間にケース3の内外を連通するガス通路Gが形成されるので、ケース3内の真空引きを行うと、ガス通路Gを通してケース3内部のガスをケース3外部に放出することができる。その後、ケース3の開口部をプラグ本体の外周面に圧入固定してガス通路を閉塞することで、真空封止を確実に行うことができる。また、図10に示すように、ケース3の中心軸Cはケース3の周方向に隣接する凸部3bの先端を順に直線で結んだ多角形Tの内側に配置されているので、圧入固定時にプラグ本体上にケース3を載置するとき、ケース3を複数の凸部3bで支持してケース3が傾倒するのを防止することができる。   According to the present embodiment, as shown in FIG. 9A, the convex portion 3b extending in the direction of the axis C of the case 3 is formed. Therefore, when the opening of the case 3 is placed on the plug body, The tip of the protrusion 3b comes into contact with the plug body. And since the gas passage G which connects the inside and outside of the case 3 is formed between the adjacent convex parts 3b, when the inside of the case 3 is evacuated, the gas inside the case 3 is brought out of the case 3 through the gas passage G. Can be released. Thereafter, the opening of the case 3 is press-fitted and fixed to the outer peripheral surface of the plug main body to close the gas passage, whereby the vacuum sealing can be reliably performed. Further, as shown in FIG. 10, the central axis C of the case 3 is arranged inside a polygon T in which the tips of the convex portions 3b adjacent to the circumferential direction of the case 3 are connected in a straight line in order, When the case 3 is placed on the plug body, the case 3 can be supported by the plurality of convex portions 3b and the case 3 can be prevented from tilting.

(発振器)
次に、本発明に係る発振器の一実施形態について、図11を参照しながら説明する。
本実施形態の発振器110は、図11に示すように、パッケージ(圧電振動子)1を、集積回路111に電気的に接続された発振子として構成したものである。この発振器110は、コンデンサ等の電子素子部品112が実装された基板113を備えている。基板113には、発振器用の前記集積回路111が実装されており、この集積回路111の近傍に、圧電振動子1の圧電振動片2が実装されている。これら電子素子部品112、集積回路111及び圧電振動子1は、図示しない配線パターンによってそれぞれ電気的に接続されている。なお、各構成部品は、図示しない樹脂によりモールドされている。
(Oscillator)
Next, an embodiment of an oscillator according to the present invention will be described with reference to FIG.
As shown in FIG. 11, the oscillator 110 according to the present embodiment is configured by configuring a package (piezoelectric vibrator) 1 as an oscillator electrically connected to an integrated circuit 111. The oscillator 110 includes a substrate 113 on which an electronic element component 112 such as a capacitor is mounted. An integrated circuit 111 for an oscillator is mounted on the substrate 113, and the piezoelectric vibrating piece 2 of the piezoelectric vibrator 1 is mounted in the vicinity of the integrated circuit 111. The electronic element component 112, the integrated circuit 111, and the piezoelectric vibrator 1 are electrically connected by a wiring pattern (not shown). Each component is molded with a resin (not shown).

このように構成された発振器110において、圧電振動子1に電圧を印加すると、圧電振動子1内の圧電振動片2が振動する。この振動は、圧電振動片2が有する圧電特性により電気信号に変換されて、集積回路111に電気信号として入力される。入力された電気信号は、集積回路111によって各種処理がなされ、周波数信号として出力される。これにより、圧電振動子1が発振子として機能する。
また、集積回路111の構成を、例えば、RTC(リアルタイムクロック)モジュール等を要求に応じて選択的に設定することで、時計用単機能発振器等の他、当該機器や外部機器の動作日や時刻を制御したり、時刻やカレンダー等を提供したりする機能を付加することができる。
In the oscillator 110 configured as described above, when a voltage is applied to the piezoelectric vibrator 1, the piezoelectric vibrating piece 2 in the piezoelectric vibrator 1 vibrates. This vibration is converted into an electric signal by the piezoelectric characteristics of the piezoelectric vibrating piece 2 and input to the integrated circuit 111 as an electric signal. The input electrical signal is subjected to various processes by the integrated circuit 111 and output as a frequency signal. Thereby, the piezoelectric vibrator 1 functions as an oscillator.
In addition, by selectively setting the configuration of the integrated circuit 111, for example, an RTC (real-time clock) module or the like as required, the operation date and time of the device or external device in addition to a single-function oscillator for a clock, etc. A function for controlling the time, providing a time, a calendar, and the like can be added.

このような本実施形態の発振器110によれば、真空封止を確実に行うことにより、良好な電気的特性が得られる圧電振動子を備えているので、高性能の発振器を提供することができる。   According to the oscillator 110 of the present embodiment as described above, since the piezoelectric vibrator capable of obtaining good electrical characteristics by reliably performing vacuum sealing is provided, a high-performance oscillator can be provided. .

(電子機器)
次に、本発明に係る電子機器の一実施形態について、図12を参照して説明する。なお電子機器として、前述した圧電振動子1を有する携帯情報機器120を例にして説明する。
始めに本実施形態の携帯情報機器120は、例えば、携帯電話に代表されるものであり、従来技術における腕時計を発展、改良したものである。外観は腕時計に類似し、文字盤に相当する部分に液晶ディスプレイを配し、この画面上に現在の時刻等を表示させることができるものである。また、通信機として利用する場合には、手首から外し、バンドの内側部分に内蔵されたスピーカ及びマイクロフォンによって、従来技術の携帯電話と同様の通信を行うことが可能である。しかしながら、従来の携帯電話と比較して、格段に小型化及び軽量化されている。
(Electronics)
Next, an embodiment of an electronic apparatus according to the present invention will be described with reference to FIG. Note that a portable information device 120 having the above-described piezoelectric vibrator 1 will be described as an example of the electronic device.
First, the portable information device 120 of this embodiment is represented by, for example, a mobile phone, and is a development and improvement of a wrist watch in the prior art. The appearance is similar to that of a wristwatch, and a liquid crystal display is arranged in a portion corresponding to a dial so that the current time and the like can be displayed on this screen. Further, when used as a communication device, it is possible to perform communication similar to that of a conventional mobile phone by using a speaker and a microphone that are removed from the wrist and incorporated in the inner portion of the band. However, it is much smaller and lighter than conventional mobile phones.

次に、本実施形態の携帯情報機器120の構成について説明する。この携帯情報機器120は、図12に示すように、圧電振動子1と、電力を供給するための電源部121とを備えている。電源部121は、例えば、リチウム二次電池からなっている。この電源部121には、各種制御を行う制御部122と、時刻等のカウントを行う計時部123と、外部との通信を行う通信部124と、各種情報を表示する表示部125と、それぞれの機能部の電圧を検出する電圧検出部126とが並列に接続されている。そして、電源部121によって、各機能部に電力が供給されるようになっている。   Next, the configuration of the portable information device 120 of this embodiment will be described. As shown in FIG. 12, the portable information device 120 includes the piezoelectric vibrator 1 and a power supply unit 121 for supplying power. The power supply unit 121 is made of, for example, a lithium secondary battery. The power supply unit 121 includes a control unit 122 that performs various controls, a clock unit 123 that counts time, a communication unit 124 that communicates with the outside, a display unit 125 that displays various information, and the like. A voltage detection unit 126 that detects the voltage of the functional unit is connected in parallel. Power is supplied to each functional unit by the power supply unit 121.

制御部122は、各機能部を制御して音声データの送信及び受信、現在時刻の計測や表示等、システム全体の動作制御を行う。また、制御部122は、予めプログラムが書き込まれたROMと、該ROMに書き込まれたプログラムを読み出して実行するCPUと、該CPUのワークエリアとして使用されるRAM等とを備えている。   The control unit 122 controls each function unit to control operation of the entire system such as transmission and reception of audio data, measurement and display of the current time, and the like. The control unit 122 includes a ROM in which a program is written in advance, a CPU that reads and executes the program written in the ROM, and a RAM that is used as a work area for the CPU.

計時部123は、発振回路、レジスタ回路、カウンタ回路及びインターフェース回路等を内蔵する集積回路と、圧電振動子1とを備えている。圧電振動子1に電圧を印加すると圧電振動片2が振動し、該振動が水晶の有する圧電特性により電気信号に変換されて、発振回路に電気信号として入力される。発振回路の出力は二値化され、レジスタ回路とカウンタ回路とにより計数される。そして、インターフェース回路を介して、制御部122と信号の送受信が行われ、表示部125に、現在時刻や現在日付或いはカレンダー情報等が表示される。   The timer unit 123 includes an integrated circuit including an oscillation circuit, a register circuit, a counter circuit, an interface circuit, and the like, and the piezoelectric vibrator 1. When a voltage is applied to the piezoelectric vibrator 1, the piezoelectric vibrating piece 2 vibrates, and the vibration is converted into an electric signal by the piezoelectric characteristics of the crystal and input to the oscillation circuit as an electric signal. The output of the oscillation circuit is binarized and counted by a register circuit and a counter circuit. Then, signals are transmitted to and received from the control unit 122 through the interface circuit, and the current time, current date, calendar information, and the like are displayed on the display unit 125.

通信部124は、従来の携帯電話と同様の機能を有し、無線部127、音声処理部128、切替部129、増幅部130、音声入出力部131、電話番号入力部132、着信音発生部133及び呼制御メモリ部134を備えている。
無線部127は、音声データ等の各種データを、アンテナ135を介して基地局と送受信のやりとりを行う。音声処理部128は、無線部127又は増幅部130から入力された音声信号を符号化及び複号化する。増幅部130は、音声処理部128又は音声入出力部131から入力された信号を、所定のレベルまで増幅する。音声入出力部131は、スピーカやマイクロフォン等からなり、着信音や受話音声を拡声したり、音声を集音したりする。
The communication unit 124 has functions similar to those of a conventional mobile phone, and includes a radio unit 127, a voice processing unit 128, a switching unit 129, an amplification unit 130, a voice input / output unit 131, a telephone number input unit 132, a ring tone generation unit. 133 and a call control memory unit 134.
The radio unit 127 exchanges various data such as audio data with the base station via the antenna 135. The audio processing unit 128 encodes and decodes the audio signal input from the radio unit 127 or the amplification unit 130. The amplifying unit 130 amplifies the signal input from the audio processing unit 128 or the audio input / output unit 131 to a predetermined level. The voice input / output unit 131 includes a speaker, a microphone, and the like, and amplifies a ringtone and a received voice or collects a voice.

また、着信音発生部133は、基地局からの呼び出しに応じて着信音を生成する。切替部129は、着信時に限って、音声処理部128に接続されている増幅部130を着信音発生部133に切り替えることによって、着信音発生部133において生成された着信音が増幅部130を介して音声入出力部131に出力される。
なお、呼制御メモリ部134は、通信の発着呼制御に係るプログラムを格納する。また、電話番号入力部132は、例えば、0から9の番号キー及びその他のキーを備えており、これら番号キー等を押下することにより、通話先の電話番号等が入力される。
In addition, the ring tone generator 133 generates a ring tone in response to a call from the base station. The switching unit 129 switches the amplifying unit 130 connected to the voice processing unit 128 to the ringing tone generating unit 133 only when an incoming call is received, so that the ringing tone generated by the ringing tone generating unit 133 passes through the amplifying unit 130. To the audio input / output unit 131.
Note that the call control memory unit 134 stores a program related to incoming / outgoing call control of communication. The telephone number input unit 132 includes, for example, number keys from 0 to 9 and other keys. By pressing these number keys and the like, a telephone number of a call destination is input.

電圧検出部126は、電源部121によって制御部122等の各機能部に対して加えられている電圧が、所定の値を下回った場合に、その電圧降下を検出して制御部122に通知する。このときの所定の電圧値は、通信部124を安定して動作させるために必要な最低限の電圧として予め設定されている値であり、例えば、3V程度となる。電圧検出部126から電圧降下の通知を受けた制御部122は、無線部127、音声処理部128、切替部129及び着信音発生部133の動作を禁止する。特に、消費電力の大きな無線部127の動作停止は、必須となる。更に、表示部125に、通信部124が電池残量の不足により使用不能になった旨が表示される。   The voltage detection unit 126 detects the voltage drop and notifies the control unit 122 when the voltage applied to each functional unit such as the control unit 122 by the power supply unit 121 falls below a predetermined value. . The predetermined voltage value at this time is a value set in advance as a minimum voltage necessary to stably operate the communication unit 124, and is, for example, about 3V. Upon receiving the voltage drop notification from the voltage detection unit 126, the control unit 122 prohibits the operations of the radio unit 127, the voice processing unit 128, the switching unit 129, and the ring tone generation unit 133. In particular, it is essential to stop the operation of the wireless unit 127 with high power consumption. Further, the display unit 125 displays that the communication unit 124 has become unusable due to insufficient battery power.

すなわち、電圧検出部126と制御部122とによって、通信部124の動作を禁止し、その旨を表示部125に表示することができる。この表示は、文字メッセージであっても良いが、より直感的な表示として、表示部125の表示面の上部に表示された電話アイコンに、×(バツ)印を付けるようにしても良い。
なお、通信部124の機能に係る部分の電源を、選択的に遮断することができる電源遮断部136を備えることで、通信部124の機能をより確実に停止することができる。
That is, the operation of the communication unit 124 can be prohibited by the voltage detection unit 126 and the control unit 122, and that effect can be displayed on the display unit 125. This display may be a text message, but as a more intuitive display, a x (X) mark may be attached to the telephone icon displayed at the top of the display surface of the display unit 125.
In addition, the function of the communication part 124 can be stopped more reliably by providing the power supply cutoff part 136 that can selectively cut off the power of the part related to the function of the communication part 124.

本実施形態の携帯情報機器120によれば、前述したように、真空封止を確実に行うことにより、良好な電気的特性が得られる圧電振動子を備えているので、高性能の携帯情報機器を提供することができる。   According to the portable information device 120 of this embodiment, as described above, since the piezoelectric vibrator capable of obtaining good electrical characteristics by reliably performing vacuum sealing is provided, a high-performance portable information device. Can be provided.

(電波時計)
次に、本発明に係る電波時計の一実施形態について、図13を参照して説明する。
本実施形態の電波時計140は、図13に示すように、フィルタ部141に電気的に接続された圧電振動子1を備えたものであり、時計情報を含む標準の電波を受信して、正確な時刻に自動修正して表示する機能を備えた時計である。
日本国内には、福島県(40kHz)と佐賀県(60kHz)とに、標準の電波を送信する送信所(送信局)があり、それぞれ標準電波を送信している。40kHz若しくは60kHzのような長波は、地表を伝播する性質と、電離層と地表とを反射しながら伝播する性質とを併せもつため、伝播範囲が広く、前述した2つの送信所で日本国内を全て網羅している。
(Radio watch)
Next, an embodiment of a radio timepiece according to the present invention will be described with reference to FIG.
As shown in FIG. 13, the radio-controlled timepiece 140 according to the present embodiment includes the piezoelectric vibrator 1 electrically connected to the filter unit 141. The radio-controlled timepiece 140 receives a standard radio wave including timepiece information and is accurate. It is a clock with a function of automatically correcting and displaying the correct time.
In Japan, there are transmitting stations (transmitting stations) that transmit standard radio waves in Fukushima Prefecture (40 kHz) and Saga Prefecture (60 kHz), each transmitting standard radio waves. Long waves such as 40 kHz or 60 kHz have both the property of propagating the ground surface and the property of propagating while reflecting the ionosphere and the ground surface, so the propagation range is wide, and the above two transmitting stations cover all of Japan. is doing.

以下、電波時計140の機能的構成について詳細に説明する。
アンテナ142は、40kHz若しくは60kHzの長波の標準電波を受信する。長波の標準電波は、タイムコードと呼ばれる時刻情報を、40kHz若しくは60kHzの搬送波にAM変調をかけたものである。受信された長波の標準電波は、アンプ143によって増幅され、複数の圧電振動子1を有するフィルタ部141によって濾波、同調される。
本実施形態における圧電振動子1は、前記搬送周波数と同一の40kHz及び60kHzの共振周波数を有する水晶振動子部148、149をそれぞれ備えている。
Hereinafter, the functional configuration of the radio timepiece 140 will be described in detail.
The antenna 142 receives a long standard wave of 40 kHz or 60 kHz. The long-wave standard radio wave is obtained by subjecting time information called a time code to AM modulation on a 40 kHz or 60 kHz carrier wave. The received long standard wave is amplified by the amplifier 143 and filtered and tuned by the filter unit 141 having the plurality of piezoelectric vibrators 1.
The piezoelectric vibrator 1 according to this embodiment includes crystal vibrator portions 148 and 149 having resonance frequencies of 40 kHz and 60 kHz that are the same as the carrier frequency.

更に、濾波された所定周波数の信号は、検波、整流回路144により検波復調される。
続いて、波形整形回路145を介してタイムコードが取り出され、CPU146でカウントされる。CPU146では、現在の年、積算日、曜日、時刻等の情報を読み取る。読み取られた情報は、RTC148に反映され、正確な時刻情報が表示される。
搬送波は、40kHz若しくは60kHzであるから、水晶振動子部148、149は、前述した音叉型の構造を持つ振動子が好適である。
Further, the filtered signal having a predetermined frequency is detected and demodulated by the detection and rectification circuit 144.
Subsequently, the time code is taken out via the waveform shaping circuit 145 and counted by the CPU 146. The CPU 146 reads information such as the current year, accumulated date, day of the week, and time. The read information is reflected in the RTC 148, and accurate time information is displayed.
Since the carrier wave is 40 kHz or 60 kHz, the crystal vibrator portions 148 and 149 are preferably vibrators having the tuning fork type structure described above.

なお、前述の説明は、日本国内の例で示したが、長波の標準電波の周波数は、海外では異なっている。例えば、ドイツでは77.5KHzの標準電波が用いられている。従って、海外でも対応可能な電波時計140を携帯機器に組み込む場合には、さらに日本の場合とは異なる周波数の圧電振動子1を必要とする。   In addition, although the above-mentioned description was shown in the example in Japan, the frequency of the long standard wave is different overseas. For example, in Germany, a standard radio wave of 77.5 KHz is used. Therefore, when the radio timepiece 140 that can be used overseas is incorporated in a portable device, the piezoelectric vibrator 1 having a frequency different from that in Japan is required.

本実施形態の電波時計140によれば、前述したように、真空封止を確実に行うことにより、良好な電気的特性が得られる圧電振動子を備えているので、高性能の電波時計を提供することができる。   According to the radio-controlled timepiece 140 of the present embodiment, as described above, the high-performance radio-controlled timepiece is provided because it includes the piezoelectric vibrator that can obtain good electrical characteristics by reliably performing vacuum sealing. can do.

なお、この発明は上述した実施の形態に限られるものではない。
本実施形態1のパッケージではケースの開口端面の内周縁部には凹部が形成されており、本実施形態2のパッケージではケースの開口端面の内周縁部には凸部が形成されている。そして、凹部自体または隣接する凸部の間に、ケースの内外を連通するガス通路が形成される。しかし、例えば、ケース周面における開口端面から圧入長さよりも短い位置に、ケース内外を連通する貫通孔を形成してもよい。これにより、ケースの内外を連通するガス通路が形成され、ケース内部のガスをケース外部に放出することができるので、真空封止を簡単かつ確実に行うことができる。ただし、本実施形態1または2における凹部または凸部は筒部を成型する時には、同時に金型により成型できるのに対し、貫通孔を形成する場合には後加工で貫通孔を形成する必要がある。また、ケースの直径は数mm程度であるため、本実施形態に比較して加工しづらい。したがって、加工時間や加工の容易さといった点で本実施形態に優位性がある。
The present invention is not limited to the embodiment described above.
In the package of the first embodiment, a concave portion is formed on the inner peripheral edge portion of the opening end surface of the case, and in the package of the second embodiment, a convex portion is formed on the inner peripheral edge portion of the opening end surface of the case. A gas passage that communicates the inside and outside of the case is formed between the recesses themselves or adjacent protrusions. However, for example, a through hole that communicates the inside and outside of the case may be formed at a position shorter than the press-fitting length from the opening end surface of the case peripheral surface. As a result, a gas passage communicating between the inside and the outside of the case is formed, and the gas inside the case can be discharged to the outside of the case, so that vacuum sealing can be performed easily and reliably. However, the concave portion or the convex portion in the first or second embodiment can be molded by a mold at the same time when the cylindrical portion is molded, whereas when the through hole is formed, it is necessary to form the through hole by post-processing. . Further, since the diameter of the case is about several mm, it is difficult to process as compared with the present embodiment. Therefore, the present embodiment is superior in terms of processing time and ease of processing.

1・・・パッケージ(圧電振動子) 2・・・電子部品(圧電振動片) 3・・・ケース 3a・・・凹部 3b・・・凸部 4・・・プラグ本体 5・・・気密端子 31・・・ケースの開口端面 33・・・内周縁部 43・・・プラグ本体の外周面 45・・・リード端子 110・・・発振器 120・・・携帯情報機器(電子機器) 140・・・電波時計 C・・・ケースの軸 (ケースの中心軸) H・・・凹部の深さ(凸部の長さ) L・・・圧入長さ T・・・多角形 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Package (piezoelectric vibrator) 2 ... Electronic component (piezoelectric vibrating piece) 3 ... Case 3a ... Concave part 3b ... Convex part 4 ... Plug body 5 ... Airtight terminal 31 ... Open end face of case 33 ... Inner peripheral edge 43 ... Outer peripheral face of plug body 45 ... Lead terminal 110 ... Oscillator 120 ... Portable information device (electronic device) 140 ... Radio wave Timepiece C ... Case axis (Case central axis) H ... Depression depth (convex length) L ... Press-fit length T ... Polygon

Claims (7)

電子部品が接続されるリード端子と、前記リード端子の中間部に固着されたプラグ本体と、を備えた気密端子と、
前記電子部品を収容する有底筒状のケースと、
を備え、
前記ケースの開口部が前記プラグ本体の外周面に圧入固定されたパッケージであって、
前記ケースの開口端面における内周縁部には、前記ケースの軸方向に伸びる凹部または凸部が形成されていることを特徴とするパッケージ。
An airtight terminal comprising: a lead terminal to which an electronic component is connected; and a plug body fixed to an intermediate portion of the lead terminal;
A bottomed cylindrical case that houses the electronic component;
With
A package in which the opening of the case is press-fitted and fixed to the outer peripheral surface of the plug body,
A package characterized in that a concave or convex portion extending in the axial direction of the case is formed on an inner peripheral edge of the opening end surface of the case.
前記ケースの開口端面の内周縁部には前記凹部が形成され、
前記ケースの軸方向における前記凹部の深さは、前記ケースの軸方向における前記プラグ本体への圧入長さよりも短いことを特徴とする請求項1に記載のパッケージ。
The recess is formed in the inner peripheral edge of the opening end surface of the case,
The package according to claim 1, wherein a depth of the concave portion in the axial direction of the case is shorter than a press-fitting length into the plug body in the axial direction of the case.
前記ケースの開口端面の内周縁部には前記凸部が少なくとも3個形成されており、
前記ケースの中心軸は、複数の前記凸部の先端を前記ケースの周方向に沿って順に直線で結んだ多角形の内側に配置されていることを特徴とする請求項1に記載のパッケージ。
At least three projections are formed on the inner peripheral edge of the opening end surface of the case,
2. The package according to claim 1, wherein the central axis of the case is arranged inside a polygon in which tips of the plurality of convex portions are connected in a straight line in order along the circumferential direction of the case.
請求項1から3のいずれか1項に記載のパッケージの内部に、前記電子部品として圧電振動片が収容されていることを特徴とする圧電振動子。   A piezoelectric vibrator, wherein a piezoelectric vibrating piece is accommodated as the electronic component in the package according to any one of claims 1 to 3. 請求項4に記載の圧電振動子が、発振子として集積回路に電気的に接続されていることを特徴とする発振器。   An oscillator, wherein the piezoelectric vibrator according to claim 4 is electrically connected to an integrated circuit as an oscillator. 請求項4に記載の圧電振動子が、計時部に電気的に接続されていることを特徴とする電子機器。   5. An electronic apparatus, wherein the piezoelectric vibrator according to claim 4 is electrically connected to a time measuring unit. 請求項4に記載の圧電振動子が、フィルタ部に電気的に接続されていることを特徴とする電波時計。   A radio-controlled timepiece wherein the piezoelectric vibrator according to claim 4 is electrically connected to a filter portion.
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