JP2011100222A - 画像処理装置および画像処理方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】外れ値の影響を全く受けることなく検査対象を検出可能としながらも、検査対象の検出精度を高くする。
【解決手段】前処理手段は、エッジ点Peを用いてロバスト推定により仮想線101を求める。推定手段は、画像上において、仮想線101の中心からの距離が仮想線101の半径±許容値となる範囲に円環状の有効領域A1を設定し、有効領域A1内にあるエッジ点Peについては有効なものとみなし、有効領域A1内にないエッジ点Peについては無効な外れ値とみなして、外形線102を求める際のデータから除外する。推定手段は、各エッジ点Peについて有効か否かの判断を行った後、有効と判断されたエッジ点Peのみを用いて、最小二乗法により外形線102を求める。
【選択図】図1

Description

本発明は、画像から円形や直線等の既知の形状を有する検査対象を検出することができる画像処理装置および画像処理方法に関するものである。
従来、画像からたとえば円形状の検査対象を検出する場合、当該検査対象上の複数のエッジ点の座標(以下、「エッジ座標」という)から、最小二乗法により検査対象のエッジに相当する外形線の中心座標および半径を求める画像処理方法が一般に用いられている。ただし、この方法では、画像にノイズ成分が含まれている場合、あるいは検査対象の円形状に歪みがあったり検査対象のエッジ上に発生するバリや凹みなどがあったりする場合に、精度よく外形線を求めることができない問題がある。つまり、たとえば画像に含まれるノイズ成分が、検査対象のエッジから大きく外れた位置でエッジ点として検出されることがあり、このようなノイズ成分(外れ値)の影響で最小二乗法にて求まる外形線は検査対象のエッジからずれることがある。
そこで、最小二乗法に代えてロバスト推定という手法を用いることにより、外形線を精度よく求めることが考えられている。ロバスト推定とは、外形線を求める際に、上述したような外れ値の影響が小さくなるようにする手法である。具体的には、最小二乗法で外形線を一旦設定した後に、各エッジ点ごとに外形線からの誤差を計算して、当該誤差が大きいエッジ点ほど重みを小さくするように重み付けを行い、当該重みを考慮して再度外形線を求める方法である。このようなロバスト推定による外形線の修正処理を複数回繰り返すことにより、外れ値の影響をあまり受けずに、精度よく外形線を求めることができる。
一方、外れ値の影響を受けないようにするために、重み付けの段階で誤差の大きいエッジ点は無効(異常ポイント)とし、無効とされたエッジ点を以降の外形線を求める処理で使用しないようにすることも考えられている(たとえば特許文献1参照)。この方法では、外れ値の影響を受けずに外形線を求めることも可能である。
特開2004−174263号公報
しかし、特許文献1記載の画像処理装置では、一旦無効と判断されたエッジ点は以降の処理で使用されないため、外形線が検査対象のエッジからずれた形状に収束する可能性がある。すなわち、ロバスト推定の初期段階で、外形線自体が検査対象のエッジからずれていたために検査対象のエッジから大きく外れていないエッジ点が外れ値として一旦無効にされてしまうと、当該エッジ点を用いずに最終的に検査対象が検出されるため、検査対象の検出精度が低くなる。
本発明は上記事由に鑑みて為されたものであって、外れ値の影響を受けることなく検査対象を検出可能としながらも、検査対象の検出精度を高くすることができる画像処理装置および画像処理方法を提供することを目的とする。
請求項1の発明は、画像から既知の形状を有する検査対象を検出する画像処理装置であって、検査対象上の複数のエッジ点を抽出するエッジ抽出部と、抽出された複数のエッジ点から検査対象に相当する形状の外形線を求める対象検出部とを備え、対象検出部が、複数のエッジ点を用いて仮想線を求める前処理手段と、前処理手段で求めた仮想線の周囲に有効領域を設定し、エッジ抽出部で抽出された複数のエッジ点のうち有効領域内にあるエッジ点を有効、有効領域外にあるエッジ点を無効と評価することにより、無効と評価されたエッジ点は外れ値として除外し、残りの有効と評価されたエッジ点から外形線を求める推定手段とを有することを特徴とする。
この構成によれば、推定手段が、前処理手段で求めた仮想線の周囲に有効領域を設定し、エッジ抽出部で抽出された複数のエッジ点のうち有効領域内にあるエッジ点を有効、有効領域外にあるエッジ点を無効と評価することにより、無効と評価されたエッジ点は外れ値として除外し、残りの有効と評価されたエッジ点から外形線を求めるので、外れ値の影響を受けることなく外形線を検出することが可能となる。しかも、前処理手段で求める仮想線は、直接、外形線を決定するものではなく、推定手段で外形線を求める際に用いるエッジ点の有効、無効を決定するために用いられるだけであるから、検出対象の検出精度が高くなる。
請求項2の発明は、請求項1の発明において、前記推定手段が、前記外形線を一旦求めた後、当該外形線の周囲に有効領域を設定し、エッジ抽出部で抽出された複数のエッジ点の有効か否かの評価を再度行い、当該評価において有効と判断されたエッジ点から外形線を求め直す処理を1回以上行うことを特徴とする。
この構成によれば、推定手段にて、エッジ点が有効か否かの評価と外形線を求める処理とが少なくとも1回は繰り返されることになるので、1回目の処理では外れ値とすべきエッジ点が有効と評価されたとしても、その後の処理で当該エッジ点を確実に無効とすることができ、最終的に求まる外形線の検出精度が高くなる。
請求項3の発明は、請求項1または請求項2の発明において、前記検査対象が円形状若しくは楕円形状であって、前記対象検出部が、前記仮想線として円形状若しくは楕円形状の外形線を求めることを特徴とする。
この構成によれば、円形状若しくは楕円形状の検査対象について、外れ値の影響を受けることなく検出可能となる。
請求項4の発明は、請求項1または請求項2の発明において、前記検査対象が直線状であって、前記対象検出部が、前記仮想線として直線状の外形線を求めることを特徴とする。
この構成によれば、直線状の検査対象について、外れ値の影響を受けることなく検出可能となる。
請求項5の発明は、画像から既知の形状を有する検査対象を検出する画像処理方法であって、検査対象上の複数のエッジ点を抽出するエッジ抽出過程と、エッジ抽出過程で抽出された複数のエッジ点を用いて最小二乗法により検査対象に相当する形状の仮想線を求めた後、各エッジ点ごとに仮想線との誤差が大きいものほど重みが小さくなるように重み付けを行った上で最小二乗法により仮想線を求め直す処理を1回以上行う前処理過程と、前処理過程で求めた仮想線の周囲に有効領域を設定し、エッジ抽出過程で抽出された複数のエッジ点のうち有効領域内にあるエッジ点を有効、有効領域外にあるエッジ点を無効と評価することにより、無効と評価されたエッジ点は外れ値として除外し、残りの有効と評価されたエッジ点から外形線を求める推定過程とを有することを特徴とする。
この発明によれば、前処理過程で求めた仮想線の周囲に有効領域を設定し、エッジ抽出部で抽出された複数のエッジ点のうち有効領域内にあるエッジ点を有効、有効領域外にあるエッジ点を無効と評価することにより、無効と評価されたエッジ点は外れ値として除外し、残りの有効と評価されたエッジ点から外形線を求めるので、外れ値の影響を受けることなく外形線を検出することが可能となる。しかも、前処理過程で求める仮想線は、直接、外形線を決定するものではなく、推定過程で外形線を求める際に用いるエッジ点の有効、無効を決定するために用いられるだけであるから、検出対象の検出精度が高くなる。
本発明は、前処理過程で求めた仮想線を用いて、エッジ抽出部で抽出された複数のエッジ点のうち有効領域内にあるエッジ点を有効と評価し、有効と評価されたエッジ点から外形線を求めるので、外れ値の影響を受けることなく検査対象を検出可能としながらも、検査対象の検出精度を高くすることができるという利点がある。
本発明の実施形態の画像処理装置を用いた画像処理の例を示す説明図である。 同上の画像処理装置の概略構成を示すブロック図である。 同上のエッジ抽出部で行われる処理を示す説明図である。 同上のエッジ抽出部で行われる処理を示す説明図である。 同上の画像処理装置の動作を示すフローチャートである。 同上の推定手段で行われる処理を示す説明図である。 同上の対象検出部の動作を示すフローチャートである。
本実施形態の画像処理装置は、円形状、楕円形状、直線状等の既知の形状を有する検査対象を含む画像から、当該検査対象の特徴量を抽出し、その良否を判定するものである。以下では、略円筒状あるいは略円柱状の物体を撮像することにより得られる略円形状の検査対象を例として説明する。
画像処理装置は、図2に示すように、画像から検査対象のエッジを抽出するエッジ抽出部10と、抽出されたエッジの座標に基づいて検査対象のエッジに相当する形状の外形線を求める対象検出部20と、求めた外形線を用いて検査対象の良否判定を行う良否判定部30とを備えている。
エッジ抽出部10は、周知のエッジ検出オペレータを用いて濃淡画像から急な濃淡変化を検出することで検査対象のエッジを抽出するとともに、当該検査対象上の複数のエッジ点を抽出する機能を有する。具体的には、図3に示すように検査対象40付近の検査領域50(破線で示す)と、検査領域50の中心から放射状に延びた複数本(ここでは周方向に等間隔で12本)の短冊状のセルCe1〜Ce12(以下、各々を特に区別しないときには単に「セルCe」とする)とを画像に設定し、各セルCe1〜Ce12で抽出したエッジ上でセルCe1〜Ce12の幅方向において中点となる点をそれぞれエッジ点Pe1〜Pe12(以下、各々を特に区別しないときには単に「エッジ点Pe」とする)とする。これにより、検査対象40のエッジ上には周方向に複数のエッジ点Pe1〜Pe12が抽出される。エッジ抽出部10では、上述したように定まる各エッジ点Pe1〜Pe12のそれぞれの座標(以下、「エッジ座標」という)を求め、これらをメモリ(図示せず)に記憶する。
対象検出部20は、エッジ抽出部10で求めたエッジ座標に基づき外形線の中心座標および半径を計算する。対象検出部20の構成および機能については、本実施形態の特徴となるので後に詳しく説明する。
ここにおいて、検査対象40が真円ではなく、たとえば自動車用部品、電子部品、各種成型品等で、その周縁の一部に凹凸を有するような形状の検査対象40の場合、凹凸を除く円を構成する部位のエッジ点のみから外形線を求めることが望ましい。たとえば図4に示すような突起41を有する形状の場合、この突起41部分を除いてエッジ点Peを求めることにより、外形線を精度よく求めることができる。
そこで、本実施形態では、検査領域50を設定した際に設定されるセルCe1〜Ce12の中から、エッジの検出を行わないセルを任意に選択可能な構成とする。図4の例では、周縁上の突起41部分に対応するセルCe1,Ce2をマスクする(エッジ検出を行わないセルとする)ことで、当該突起41部分のエッジ検出を行わないようにする。また、周縁に凹凸があるものだけでなく、円環の一部を切り欠いた略C字状の検査対象40などに対しても、当該切欠部分に対応するセルをマスクすることにより、切欠の影響を受けずに外形線の中心座標および半径を求めることができる。
ここに、画像処理装置は、画像の検査を行う検査モードの他、各種設定を行う設定モードでの動作が可能であり、当該設定モードにおいては上記検査領域50の設定等を行うことができる。設定モードにおいては、検査領域50の中心位置の設定、検査領域50のX方向(図3の横方向)の設定、Y方向(図3の縦方向)の幅の設定、セルCeのサイズの設定、マスクするセルCeの設定、セルCeの角度ピッチの設定等が、ユーザの操作により行われる。また、セルCeの形状は短冊状に限らず、直線状、扇形等、様々な形状を採用することができる。
一方、良否判定部30は、対象検出部20で求めた外形線のデータ(中心座標、半径あるいは直径等)から特徴量を抽出し、当該特徴量を閾値と比較することにより、検査対象40の良否を判定する。たとえば、エッジ抽出部10で抽出された各エッジ点Peから外形線の中心座標までの距離と外形線の半径との差、或いはその偏差が閾値以内であるか否かを判断し、閾値以内に収まっていれば良品と判定する。
次に、上述した構成の画像処理装置を用いた画像処理方法について、図5のフローチャートを参照して簡単に説明する。
まず、エッジ抽出部10にて、画像上に検査領域50を設定するとともに、エッジを抽出するためのセルCeの座標位置を決定する(S1)。その後、エッジ抽出部10は、各セルCe内のエッジをそれぞれエッジ点Peとして抽出する(S2)。エッジ点Peが抽出されると、その座標(エッジ座標)に基づき、対象検出部20が外形線の中心座標および半径を計算する(S3)。その後、良否判定部30では、対象検出部20で得られた結果(外形線の中心座標、半径)から、外形線の特徴量を求め(S4)、その結果から検査対象40の良否を判定する(S5)。
ところで、対象検出部20は、エッジ抽出部10で求めたエッジ座標について、ロバスト推定により仮想線を求める前処理手段21と、前処理手段21で求めた仮想線を用いて外形線を求める推定手段22とを有している。
ここで、理想的には、全てのエッジ点Peを通る仮想線が検査対象40のエッジと一致するはずであるが、通常、エッジ抽出部10で検出されるエッジ点は検査対象40のエッジに対してばらついている。たとえば画像にノイズが含まれている場合など、エッジ点の一部が仮想線から大きく外れた値(外れ値)となり、このような外れ値の影響で、単なる最小二乗法で求まる仮想線は検査対象40のエッジから大きくずれることがある。そこで、前処理手段21では、最小二乗法ではなくロバスト推定法(Biweight推定法)を用いることにより、ある程度の精度で仮想線を求めることを可能とする。以下、ロバスト推定を用いた前処理手段21での仮想線の設定処理について、図1を参照して説明する。
前処理手段21は、まず図1(a)に示すようにエッジ抽出部10で求めたエッジ座標を用いて最小二乗法にて仮想線候補100を推定する。推定される仮想線候補100は、その中心座標(a,b)と半径rとで表されるものとする。このとき、図1(a)のように、エッジ抽出部10にて求めたエッジ点Peのうち、いくつか(ここでは2点)のエッジ点Pe3,Pe4が検査対象40のエッジから大きく外れた外れ値を示すものと仮定すると、これらの外れ値の影響により、求まる仮想線候補100は実際のエッジから大きくずれることになる。
次に、前処理手段21は、上述のようにして推定した仮想線候補100に基づいて、より精度を高めるべく、各エッジ座標に対して重み付けを行い再度最小二乗法により仮想線候補100を求める。すなわち、1回目の最小二乗法を用いて求めた仮想線候補100を使用して、エッジ点Peごとに仮想線候補100に対する誤差を求め、当該誤差が大きいものほど重みが小さくなるように重み付けを行う。誤差dは、各エッジ座標(Xi,Yi)および仮想線候補100の中心座標(a,b)並びに半径rを用いて、以下の数式で表される。
Figure 2011100222
上記数1で表される誤差dが大きければ大きいほど、その後の最小二乗法にて求まる仮想線候補100への影響が小さくなるように、重み付けを行うことになる。具体的には、誤差の許容範囲0〜Waを予め設定しておき、誤差dが許容範囲0〜Wa外(つまり、d>Wa)であれば重みWi(d)=0とし、誤差dが許容範囲0〜Wa内(つまり、d≦Wa)にあれば重みWi=(1−(d/Wa)とする。このような重み付けが全てのエッジ点Peについて行われる。しかして、誤差d=0のエッジ点Peでは重みWiは最大の「1」となり、誤差が大きくなるほど重みWiが小さくなる。
その後、前処理手段21は、重み付け後のエッジ座標を用いて、最小二乗法により仮想線候補100を再度求める。つまり、重みの小さいエッジ点Peに関しては、仮想線候補100に対する影響が小さくなるようにして、最小二乗法を適用する。このようにして求まる仮想線候補100は、図1(b)に示すように1回目の最小二乗法により求めた仮想線候補100’(図中破線で表す)に比べて外れ値の影響を受け難く、そのため、実際の検査対象40のエッジに近づくことになる。
前処理手段21では、以上説明した重み付けの処理および最小二乗法により仮想線候補100を求める処理を必要回数繰り返すことにより、図1(c)に示すように外れ値の影響をより小さくして仮想線101を求めることができる。このとき、重み付けの処理に関し、1回目、2回目、・・・と回数を重ねる度に誤差の許容範囲0〜Waを狭めていくようにすれば、外れ値の影響を一層小さくすることも可能である。なお、重み付けの処理および仮想線候補100を求める処理は、仮想線101の演算結果が収束するまで繰り返すようにしてもよいし、予め決められている繰り返し回数(たとえば5回)だけ繰り返すようにしてもよい。
ところで、本実施形態の画像処理装置においては、前処理手段21で求められる仮想線101は、あくまで推定手段22にて外形線102を求めるために用いられるものに過ぎず、実際にその後の処理(良否判定)で用いられるのは外形線102である。
推定手段22では、複数のエッジ点Peについて、仮想線101に基づき所定のルールに従って評価を行う。具体的には、各エッジ点Peが仮想線101に対してどの程度ずれているのかを評価し、仮想線101からのずれが大きいエッジ点については、ノイズ成分(外れ値)とみなして、外形線102を求める際のデータから除外する。言い換えれば、仮想線101から大きく離れたところにあるエッジ点Peに関しては、検出されなかったものと同等の扱いにする。
ここでは、画像上において、図1(d)に示すように仮想線101の中心からの距離が仮想線101の半径±許容値となる範囲に円環状の有効領域A1を設定し、有効領域A1内にあるエッジ点Peについては有効なものとみなし、有効領域A1内にないエッジ点Peについては無効とみなす。なお、このとき、仮想線101および各エッジ点Peの座標(エッジ座標)が極座標表示されるように座標変換を施すことにより、各エッジ点Peが有効領域A1内にあるか否かの判断が容易になる。
有効領域A1を決めるための前記許容値は、たとえば仮想線101の円弧からの距離で表すものとする。あるいは、仮想線101の円弧から各エッジ点Peまでの距離についての標準偏差σを計算し、当該標準偏差σの定数倍を前記許容値としてもよい。さらに、仮想線101の円弧との誤差が小さいエッジ点Peから順に、予め指定した比率の個数のエッジ点Peが有効領域A1に含まれるような距離を許容値としてもよい。これにより、仮想線101の円弧からある一定範囲(許容値の範囲)に定めた有効領域A1に属するか否かによって、エッジ点Peについて有効か否かの判断が可能となる。
さらに、推定手段22は、上述のようにして各エッジ点Peについて有効か否かの判断を行った後、有効と判断されたエッジ点(つまり、有効領域A1内にあるエッジ点)Peのみを用いて、改めて外形線102を求める。このとき、有効な全エッジ点Peを用いて最小二乗法により求まる外形線をそのまま外形線102としてもよいし、前処理手段21と同様にロバスト推定を行う(つまり、重み付けの処理および最小二乗法による演算を繰り返し行う)ことでより一層高精度に外形線102を求めるようにしてもよい。
また、推定手段22は、外形線102を一旦求めた後、当該外形線102に基づいて有効領域A1を設定し、各エッジ点Peが有効か否かの判断を再度行い、有効と判断されたエッジ点Peに基づいて再度外形線102を求めるものとする。すなわち、推定手段22では、一度求めた外形線102をそのまま外形線として出力するのではなく、外形線102から再度エッジ点Peの有効・無効を判断し、その結果を用いて改めて外形線102を求める。推定手段22で行われる外形線102の計算処理の繰り返し回数については、予め最大回数のみが設定されるものとするが、最大回数まで達しなくても、外形線102が前回の処理結果と略一致する場合には、収束したものと判断して繰り返しを終了する。
これにより、1回目の処理にて仮想線101に基づいて設定された有効領域A1からエッジ点Peの有効・無効を判断しただけでは、一部の外れ値とすべきエッジ点Peが有効と判断されても、2回目以降の処理にて、当該エッジ点Peについても無効とすることができる。たとえば、図6(a)に示すように、1回目のエッジ点Peの有効・無効の判断では、無効とすべき一部のエッジ点Pe4が有効領域A1内に入ることで有効と判断される場合がある。このような場合でも、2回目以降の処理にて、図6(b)に示すように、より実際のエッジに近い外形線102に基づいて設定された有効領域A1からエッジ点Peの有効・無効を判断することで、前述の無効とすべきエッジ点Pe4についても確実に無効とすることができる。
次に、上記構成の画像処理装置における外形線を求める際の処理(つまり、図5のステップS3の処理)について、図7のフローチャートを参照して説明する。
まず、エッジ抽出過程(図5のステップS2)において求めたエッジ点Peを用いて、前処理手段21が、最小二乗法にて仮想線候補100を求める(S11)。その後、ロバスト推定を行うか否かの判断を行い(S12)、ロバスト推定を行う場合(S12:Yes)、前処理手段21は、各エッジ点Peごとに仮想線候補100からの誤差の計算(S13)、重み付けを行い(S14)、重み付け後のエッジ座標を用いて最小二乗法にて仮想線候補100を再度求める(S15)。ステップS13〜S15の処理は、仮想線候補100の検出結果(中心座標、半径)が収束(つまり、前回求めたものと一致)するか(S16:Yes)、あるいは所定の繰返回数に達する(S17:Yes)まで繰り返され、最終的に得られた仮想線候補100を仮想線101とする(S18)。ここで、ステップS11〜S18の処理が前処理過程を構成する。
なお、ロバスト推定を行うか否かは予めユーザにより設定されており、ロバスト推定を行わない場合(S12:No)、ステップS13〜S17の処理を飛ばしてステップS18に移行する。
仮想線101が確定した後は、推定手段22にて有効領域A1を設定し(S19)、各エッジ点Peについて有効領域A1内か否かによって外れ値(ノイズ成分)の除去を行い(S20)、外れ値を除いた状態で外形線102候補を求める(S21〜S24)。この際、ロバスト推定を行うか否かの判断を行い(S21)、ロバスト推定を行う場合(S21:Yes)、各エッジ点Peごとに仮想線101からの誤差の計算(S22)、重み付けを行い(S23)、重み付け後のエッジ座標を用いて最小二乗法にて外形線102候補を求める(S24)。ロバスト推定を行わない場合(S21:No)、ステップS22〜S23の処理を飛ばしてステップS24に移行する。
ステップS19〜S24の処理は、外形線102候補の検出結果(中心座標、半径)が収束するか(S26:Yes)、あるいは所定の繰返回数に達する(S27:Yes)まで繰り返され、最終的に得られた外形線102候補を外形線102とする(S28)。なお、ステップS20にて有効と判断されたエッジ点Peが3点未満である場合や、これらのエッジ点Peが直線状に並んでいる場合などで外形線102候補が定まらないときには、エラーと判断して(S25:Yes)、外形線の計算処理を終了してその旨(エラー発生)を報知する。ここで、ステップS19〜S28の処理が推定過程を構成する。
以上説明した構成によれば、仮想線101に基づいて定まる有効領域A1内か否かによってエッジ点Peの有効・無効を判断し、有効と判断されたエッジ点Peのみから外形線102が求められるので、外れ値の影響を受けることなく外形線102を求めることが可能である。すなわち、ロバスト推定を用いることにより外れ値の影響を小さくして仮想線101を求めた後、さらに当該仮想線101に基づいて有効と判断されたエッジ点Peのみから外形線102を求めるので、外形線102については外れ値の影響を受けることなく求めることができる。
しかも、本実施形態では、推定手段22にてエッジ点Peの有効・無効の判断を繰り返し行うことで、1回の判断でエッジ点Peの有効・無効を決める場合に比べてより信頼性の高い判断を可能としている。
また、良否判定部30においては、必要に応じて種々の特徴量を用いて良否を判定するものとする。たとえば、外形線の円形度(4π×(面積)/(周囲長)で求まる値であって、真円で1となり歪みが大きくなるほど小さくなる)、有効と判断されたエッジ点Peの真円度(外形線の中心から最も近いエッジ点Peまでの距離と、最も遠いエッジ点Peまでの距離との差)を特徴量として良否判定することができる。さらに、有効と判断されたエッジ点Peの外形線からの距離のばらつき具合(標準偏差)、全エッジ点Peの外形線の中心からの距離の平均値、外形線からの距離が最大(あるいは最小)のエッジ点Peから外形線の中心までの距離、外形線からの距離が最大(あるいは最小)のエッジ点Peの外形線の中心からみた方向、エッジ点Peを検出できなかったセルCeの数等も、適宜特徴量として用いることができる。
なお、推定手段22にて無効と判断されたエッジ点Peは、外形線102を求める際には使用されないものの、良否判定部30にて特徴量の抽出を行う際には使用することができる。たとえば、各エッジ点Peの外形線からのばらつきを特徴量とする場合に、有効・無効の別に関係なく、全てのエッジ点Peについて外形線からのばらつきを求めたり、無効とされたエッジ点Peの数を特徴量として用いたりすることが考えられる。これにより、無効とされたエッジ点Peについても、どの程度の不良であるのかを判定し、管理することができる。
ところで、上記実施形態では円形状の検査対象40を例として説明したが、この例に限らず、楕円形状、直線状の検査対象40に対しても、本発明の画像処理装置を適用することが可能である。
たとえば、検査対象40が直線状であれば、当該検査対象40の周囲に矩形状の検査領域を設定し、検査対象40の長手方向に交差する短冊状のセルを複数設定することで、検査対象40の長手方向において複数のエッジ点Peを抽出するものとする。対象検出部20では、このようにして求まるエッジ点Peの座標(エッジ座標)に基づいて検査対象40に相当する形状の外形線を求めることになる。ここで、エッジ座標から直線状の外形線を求める方法は、上述した円形状若しくは楕円形状の外形線を求める方法に対応するものであって、ロバスト推定により直線状の仮想線を求めた後、当該仮想線を用いてエッジ点Peの有効・無効の判断を行い、有効と判断されたエッジPe点のみから外形線が求まる。
10 エッジ抽出部
20 対象検出部
21 前処理手段
22 推定手段
30 良否判定部
40 検査対象
50 検査領域
101 仮想線
102 外形線
A1 有効領域
Ce1〜Ce12 セル
Pe1〜Pe12 エッジ点

Claims (5)

  1. 画像から既知の形状を有する検査対象を検出する画像処理装置であって、検査対象上の複数のエッジ点を抽出するエッジ抽出部と、抽出された複数のエッジ点から検査対象に相当する形状の外形線を求める対象検出部とを備え、対象検出部は、複数のエッジ点を用いて仮想線を求める前処理手段と、前処理手段で求めた仮想線の周囲に有効領域を設定し、エッジ抽出部で抽出された複数のエッジ点のうち有効領域内にあるエッジ点を有効、有効領域外にあるエッジ点を無効と評価することにより、無効と評価されたエッジ点は外れ値として除外し、残りの有効と評価されたエッジ点から外形線を求める推定手段とを有することを特徴とする画像処理装置。
  2. 前記推定手段は、前記外形線を一旦求めた後、当該外形線の周囲に有効領域を設定し、エッジ抽出部で抽出された複数のエッジ点の有効か否かの評価を再度行い、当該評価において有効と判断されたエッジ点から外形線を求め直す処理を1回以上行うことを特徴とする請求項1記載の画像処理装置。
  3. 前記検査対象が円形状若しくは楕円形状であって、前記対象検出部は、前記仮想線として円形状若しくは楕円形状の外形線を求めることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の画像処理装置。
  4. 前記検査対象が直線状であって、前記対象検出部は、前記仮想線として直線状の外形線を求めることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の画像処理装置。
  5. 画像から既知の形状を有する検査対象を検出する画像処理方法であって、検査対象上の複数のエッジ点を抽出するエッジ抽出過程と、エッジ抽出過程で抽出された複数のエッジ点を用いて最小二乗法により検査対象に相当する形状の仮想線を求めた後、各エッジ点ごとに仮想線との誤差が大きいものほど重みが小さくなるように重み付けを行った上で最小二乗法により仮想線を求め直す処理を1回以上行う前処理過程と、前処理過程で求めた仮想線の周囲に有効領域を設定し、エッジ抽出過程で抽出された複数のエッジ点のうち有効領域内にあるエッジ点を有効、有効領域外にあるエッジ点を無効と評価することにより、無効と評価されたエッジ点は外れ値として除外し、残りの有効と評価されたエッジ点から外形線を求める推定過程とを有することを特徴とする画像処理方法。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015114875A (ja) * 2013-12-12 2015-06-22 オムロン株式会社 画像処理装置、画像処理方法および画像処理プログラム
CN106327468A (zh) * 2015-06-25 2017-01-11 株式会社理光 曲线检测方法和曲线检测装置
WO2019187420A1 (ja) * 2018-03-26 2019-10-03 株式会社Screenホールディングス 画像処理方法、画像処理装置、プログラムおよび記録媒体
JP2019175422A (ja) * 2018-03-26 2019-10-10 株式会社Screenホールディングス 画像処理方法、画像処理装置、プログラムおよび記憶媒体
CN114070426A (zh) * 2021-11-15 2022-02-18 上海创远仪器技术股份有限公司 针对mimo信道模拟器的异常校准数据进行剔除处理的方法、装置、处理器及其存储介质

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110059591B (zh) * 2019-04-01 2021-04-16 北京中科晶上超媒体信息技术有限公司 运动目标区域的识别方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10339613A (ja) * 1997-06-10 1998-12-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd ワイヤボンディングにおけるボンディング点の検査方法
JP2006252400A (ja) * 2005-03-14 2006-09-21 Keyence Corp 画像処理装置及び画像処理における登録データ生成方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10339613A (ja) * 1997-06-10 1998-12-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd ワイヤボンディングにおけるボンディング点の検査方法
JP2006252400A (ja) * 2005-03-14 2006-09-21 Keyence Corp 画像処理装置及び画像処理における登録データ生成方法

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
CSNG200501620003; 木村 彰男: 'エッジ画像から接線情報を抽出する一手法' 画像電子学会誌 第34巻 第1号, 20050125, p.27-35, 画像電子学会 *
JPN6013030138; 木村 彰男: 'エッジ画像から接線情報を抽出する一手法' 画像電子学会誌 第34巻 第1号, 20050125, p.27-35, 画像電子学会 *

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015114875A (ja) * 2013-12-12 2015-06-22 オムロン株式会社 画像処理装置、画像処理方法および画像処理プログラム
CN106327468A (zh) * 2015-06-25 2017-01-11 株式会社理光 曲线检测方法和曲线检测装置
JP2017010554A (ja) * 2015-06-25 2017-01-12 株式会社リコー 曲線検出方法と曲線検出装置
CN106327468B (zh) * 2015-06-25 2019-02-15 株式会社理光 曲线检测方法和曲线检测装置
WO2019187420A1 (ja) * 2018-03-26 2019-10-03 株式会社Screenホールディングス 画像処理方法、画像処理装置、プログラムおよび記録媒体
JP2019175422A (ja) * 2018-03-26 2019-10-10 株式会社Screenホールディングス 画像処理方法、画像処理装置、プログラムおよび記憶媒体
EP3779463A4 (en) * 2018-03-26 2021-12-08 SCREEN Holdings Co., Ltd. IMAGE PROCESSING METHOD, IMAGE PROCESSING DEVICE, PROGRAM AND RECORDING MEDIUM
US11244200B2 (en) 2018-03-26 2022-02-08 SCREEN Holdings Co., Ltd. Image processing method, image processing apparatus, and computer-readable recording medium having recorded thereon image processing program
JP7076361B2 (ja) 2018-03-26 2022-05-27 株式会社Screenホールディングス 画像処理方法、画像処理装置、プログラムおよび記憶媒体
CN114070426A (zh) * 2021-11-15 2022-02-18 上海创远仪器技术股份有限公司 针对mimo信道模拟器的异常校准数据进行剔除处理的方法、装置、处理器及其存储介质
CN114070426B (zh) * 2021-11-15 2024-04-19 上海创远仪器技术股份有限公司 针对mimo信道模拟器的异常校准数据进行剔除处理的方法、装置、处理器及其存储介质

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