JP2011096348A

JP2011096348A - 近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリ及びそれを備えた情報記録再生装置

Info

Publication number: JP2011096348A
Application number: JP2010029427A
Authority: JP
Inventors: Masakazu Hirata; 雅一平田; Manabu Omi; 学大海; Tokuo Chiba; 徳男千葉; Sachiko Tanabe; 幸子田邉; Yoko Shinohara; 陽子篠原
Original assignee: Seiko Instruments Inc
Current assignee: Seiko Instruments Inc
Priority date: 2009-09-30
Filing date: 2010-02-12
Publication date: 2011-05-12
Anticipated expiration: 2030-02-12
Also published as: JP5466525B2

Abstract

【課題】スライダ内の近接場光素子とスライダ外の光源との効率の良い接続と、スライダの安定浮上の両立を実現できるヘッドジンバルアセンブリ及びそれを備えた情報記録再生装置を提供すること。
【解決手段】フレクシャ２０４上に設けられたベースフィルム３０１の側面のうち、光ファイバ２０６に対向する面が、光ファイバ２０６の長手方向に対して所定の角度に傾斜したミラー面３０１ａを構成することで、光ファイバ２０６とスライダ２内の近接場光素子とを光学的に結合する。
【選択図】図３

Description

本発明は、光を集光したスポット光を利用して記録媒体に各種の情報を記録再生する近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリ及びそれを備えた情報記録再生装置に関するものである。

近年、コンピュータ機器におけるハードディスクドライブ等の情報記録再生装置は、より大量且つ高密度情報の記録再生を行いたい等のニーズを受けて、さらなる高密度化が求められている。そのため、隣り合う磁区同士の影響や、熱揺らぎを最小限に抑えるために、保磁力の強いものが記録媒体として採用され始めている。そのため、記録媒体に情報を記録することが困難になっていた。

そこで、上述した不具合を解消するために、光を集光したスポット光、若しくは、光を集光した近接場光を利用して磁区を局所的に加熱して一時的に保磁力を低下させ、その間にディスクへの書き込みを行うハイブリッド磁気記録方式の情報記録再生装置が提供されている。特に、近接場光を利用する場合には、従来の光学系において限界とされていた光の波長以下となる領域における光学情報を扱うことが可能となる。よって、従来の光情報記録再生装置等を超える記録ビットの高密度化を図ることができる。

上述したハイブリッド磁気記録方式による情報記録再生装置としては、各種のものが提供されているが、その１つとして、近接場光の生成を行うための光を近接場光素子に供給することで、近接場光素子から十分大きな近接場光を生成し、超高分解能の再生記録、高速記録再生、高ＳＮ比化を図ることができる情報記録再生装置が知られている。この情報記録再生装置は、近接場光素子を備えたスライダに記録媒体上をスキャンさせ、スライダを記録媒体上の所望する位置に配置する。その後、光源から放射された近接場光とスライダから発生する記録磁界とを協働させることで、記録媒体に情報を記録することができる。

ここで、ハイブリッド磁気記録方式における光の供給方式として、例えば特許文献１に示されるように、サスペンション上に光導波路を設けるヘッドジンバルアセンブリの構成が知られている。また、特許文献２に示すように光ファイバと光プリズムを用いて光を供給する構成が知られている。

特許第４１６２６９７号公報特開２００２−２９８３０２号公報

しかしながら、上述の従来技術によるヘッドジンバルアセンブリでは、十分に光を供給することができない。特許文献１においては図２に示すように、光導波路からの光を集光することが想定されていない。よって、十分なエネルギーをデータ１ビットに相当する微小領域に集めることができず、ハイブリッド磁気記録による記録ビットの高密度化を実現することができない。十分小さい光スポットを発生しディスクに照射するには、スライダ内に集光素子や近接場光素子を設けることが望ましいが、その場合スライダの所定の位置に光が入射する必要がある。特許文献１では光導波路とスライダが共にベース絶縁層（ベースフィルム）の上に設けられているために、スライダの所定の位置に光を入射させることが困難である。
また、スライダの安定浮上を司るサスペンションの動作を妨げないように、光導波路は小さい曲率半径で屈曲しているが、このような小さい曲率半径の屈曲では光導波路はそのコア内に光を保持することは難しい。結果として、記録媒体に情報記録をおこなう際に、十分に磁区を加熱することができず、情報記録に失敗してしまう可能性がある。

また、特許文献２のような構成では光の伝搬には大きな問題はないが、光プリズムのような部品をスライダもしくはサスペンションに固定する必要があり製造コスト増加および重量増によるスライダの浮上性能悪化が懸念される。

そこで本発明は、このような事情に考慮してなされたもので、その目的は、スライダ内の近接場光素子とスライダ外の光源との効率の良い接続と、スライダの安定浮上の両立を実現できる近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリ及びそれを備えた情報記録再生装置を提供することである。

本発明は、上記目的を達成するために、以下の手段を提供する。
本発明に係る近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリは、記録媒体の表面に沿って延設されたサスペンションの一部を構成するフレクシャと、フレクシャ上に設けられたベースフィルムと、ベースフィルムの少なくとも一部の上に、記録媒体の表面と対向するように固定され、光束を用いて近接場を発生するスライダと、フレクシャに固定された光供給部とを有し、光供給部に対向するベースフィルムの側面の少なくとも一部が、光供給部からの出射光軸方向に対して所定の角度に傾斜したミラー面を構成し、光供給部がミラー面を介してスライダと光学的に結合していることを特徴とするものである。

本発明に係る近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリにおいては、ベースフィルム側面をミラー面とすることによりコンパクトな光曲げ構造を実現することができる。また、光曲げのための追加部品を最小限にすることができるため、低コストに光曲げ構造を実現することができ、重量増によってヘッドジンバルアセンブリの性能が低下してしまうことが少ない。

また、本発明に係る近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリは、前記ミラー面を構成するベースフィルムの側面上に金属膜を有することを特徴とするものである。

本発明に係る近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリにおいては、ミラー面の反射率を高めることができることから、光導波路からの光を効率良く近接場光素子に伝えることができる。

また、本発明に係る近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリは、光供給部をフレクシャ上に位置決めするために用いられるものであり、ベースフィルムと同材料、同厚でありかつフレクシャ上に設けられたガイドを有することを特徴とするものである。

本発明に係る近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリにおいては、ベースフィルムおよびガイドは、同一の樹脂膜をフォトリソグラフィー等によって加工することで得られるため、ガイドを別途加工する必要がなく、低コストに光ファイバ固定構造を得ることができる。

また、本発明に係る近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリは、ベースフィルムとガイドが一体であることを特徴とするものである。

本発明に係る近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリにおいては、光供給部をミラー面近傍までガイドで固定することができる。よって、光供給部からの出射光の光軸が乱れにくく、効率よくエネルギーを近接場光素子に伝えることができる。

また、本発明に係る近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリは、ガイドの側面の少なくとも１面が所定の角度に傾斜していることを特徴とするものである。

本発明に係る近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリにおいては、所定の角度に傾斜したミラー面を形成する場合、Ｖ字断面もしくは台形断面の刃を有するダイシングブレードを用いることができる。よって容易かつ低コストに構造を加工することができる。さらに、ガイドとミラー面との距離を小さくすることができるため、光供給部をミラー面近傍までガイドで固定することができる。よって、光供給部からの出射光の光軸が乱れにくく、効率よくエネルギーを近接場光素子に伝えることができる。

また、本発明に係る近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリは、光供給部の少なくとも一部がレーザであることを特徴とするものである。

また、本発明に係る近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリは、光供給部の少なくとも一部が光導波路であることを特徴とするものである。

また、本発明に係る近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリは、光導波路がクラッド機能を有するベースフィルムと、ベースフィルム内に設けられたコアから構成されることを特徴とするものである。

本発明に係る近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリにおいては、光導波路と電気的配線とが光電気複合配線として一体的に形成されているため、効率良く製造することができる。また、本発明に係る近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリは、ベースフィルム上に設けられた電気的配線を備えることを特徴とするものである。

また、本発明に係る情報記録再生装置は、上記本発明の近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリと、前記記録媒体と、から構成されることを特徴とするものである。

本発明に係る情報記録再生装置においては、記録媒体を回転させた後、ピボット軸まわりにキャリッジを回動させて、サスペンションに支持されたスライダをスキャンさせる。そして、スライダを記録媒体上の所望する位置に配置させる。その後、光源から光導波路内に光束を入射させる。これにより、ヘッドジンバルアセンブリのスライダを利用して、記録媒体に各種の情報の記録再生を行うことができる。
特に、本発明のヘッドジンバルアセンブリを備えているので、情報の記録再生を正確且つ高密度に行うことができ、高品質化を図ることができる。また、安定した性能の情報記録再生装置を安価に製造することが出来る。

本発明に係る近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリによれば、スライダ内の近接場光素子とスライダ外の光源との効率の良い接続と、スライダの安定浮上の両立を実現できる。よって、高性能な情報記録再生装置を提供することができる。

本発明の第１実施形態に係る情報記録再生装置を示す構成図である。図１に示すヘッドジンバルアセンブリの斜視図である。図２に示すヘッドジンバルアセンブリの拡大図である図３のＡ−Ａ’線に沿う断面図である。本発明の第２実施形態に係るヘッドジンバルアセンブリを示す図である。本発明の第３実施形態に係るヘッドジンバルアセンブリを示す図である。本発明の第４実施形態に係るヘッドジンバルアセンブリを示す図である。本発明の第５実施形態に係るヘッドジンバルアセンブリを示す斜視図である。図８のＢ−Ｂ’線に沿う断面図である。図８のＣ−Ｃ’線に沿う断面図である。図８に示すヘッドジンバルアセンブリの拡大図である。本発明の第６実施形態に係るヘッドジンバルアセンブリを示す斜視図である。図１２に示すヘッドジンバルアセンブリの拡大図である

（第１実施形態）
以下、本発明に係る第１実施形態を、図１から図４を参照して説明する。図１は、本実施形態に係る情報記録再生装置１を示す構成図である。なお、本実施形態の情報記録再生装置１は、磁気記録層を有する記録媒体Ｄに対して、熱アシスト磁気記録方式で書き込みを行う装置である。

図１に示すように本実施形態の情報記録再生装置１において、スライダ２が固定されたサスペンション３が、キャリッジ１１に固定されている。スライダ２とサスペンション３を合わせて、ヘッドジンバルアセンブリ１２と呼ぶ。円盤状の記録媒体Ｄはスピンドルモータ７によって所定の方向に回転する。キャリッジ１１はピボット１０を中心に回転可能になっており、制御部５からの制御信号によって制御されるアクチュエータ６によって回転し、スライダ２を記録媒体Ｄ表面の所定の位置に配置することができる。ハウジング９はアルミニウムなどから成る箱状（図１では説明を分かりやすくするため、ハウジング９の周囲を取り囲む周壁を省略している）ものであり、上記の部品をその内部に格納している。スピンドルモータ７はハウジング９の底面に固定されている。スライダ２は記録媒体Ｄに向けて磁場を発生させる磁極（図示略）と、近接場光スポットを発生する近接場光素子（図示略）と、記録媒体Ｄに記録された情報を再生する再生素子（図示略）を有している。磁極と再生素子は、サスペンション３およびキャリッジ１１に沿って敷設されたフレキシブル配線１３、キャリッジ１１側面に設けられたターミナル１４およびフラットケーブル４を介して制御部５に接続されている。

記録媒体Ｄは１枚でも良いが、図１に示すように複数枚設けても良い。記録媒体Ｄの枚数が増えれば、ヘッドジンバルアセンブリ１２の個数も増加する。図１では記録媒体Ｄの片面側のみにヘッドジンバルアセンブリ１２が設けられている構成を示しているが、両面に設けても良い。よって、ヘッドジンバルアセンブリ１２の個数は、最大で記録媒体Ｄの枚数の倍になる。これにより、情報記録再生装置１個当たりの記録容量の増加を図ることができる。

図２は第１実施形態に係るヘッドジンバルアセンブリ１２の拡大図である。サスペンション３は、ステンレス薄板を材料とするベースプレート２０１、ヒンジ２０２、ロードビーム２０３、フレクシャ２０４からなる。ベースプレート２０１は、その一部に設けられた取り付け穴２０１ａにより、キャリッジ１１に固定されている。ヒンジ２０２はベースプレート２０１とロードビーム２０３を接続している。ヒンジ２０２はベースプレート２０１とロードビーム２０３よりも薄くなっており、ヒンジ２０２を中心としてサスペンション３がたわむようになっている。フレクシャ２０４はロードビーム２０３、ヒンジ２０２に固定された細長い部材であり、ロードビーム２０３やベースプレート２０１よりも薄くなっており、たわみやすく出来ている。フレクシャ２０４の先端には略直方体形状のスライダ２が固定されている。

スライダ２の表面のうちフレクシャ２０４に固定された面の反対面は、記録媒体Ｄに対向する面である。この面は回転する記録媒体Ｄによって生じた空気流の粘性から、スライダ２が浮上するための圧力を発生させる面であり、ＡＢＳ（ＡｉｒＢｅａｒｉｎｇＳｕｒｆａｃｅ）と呼ばれている。ＡＢＳ上には図示を略した凹凸形状が設けられており、スライダ２と記録媒体Ｄ間に所望の圧力分布を発生させている。スライダ２を記録媒体Ｄから離そうとする正圧とスライダ２を記録媒体Ｄに引き付けようとする負圧と、サスペンション３による押しつけ力の釣り合いで、スライダ２は所望の状態で浮上している。記録媒体Ｄとスライダ２のすきまの最低値は１０ｎｍ程度もしくはそれ以下となっている。サスペンション３による押しつけ力は主にヒンジ２０２の弾性により発生している。また、記録媒体Ｄ表面のうねりに対して、ヒンジ２０２およびフレクシャ２０４がたわむことで、所望の浮上状態を維持することが出来る。

フレクシャ２０４上にはフレキシブル配線１３が設けられている。フレクシャ２０４は略コ字状の開口部を有しており、この開口部に囲まれて舌状となったパッド部２０４ａ上にスライダ２が固定されている。スライダ２の端部のうち、サスペンション３の根本側（キャリッジ１１側）は流入端と呼ばれている。その反対のサスペンション３の先端側は、スライダ２の流出端と呼ばれている。これらは、前述の記録媒体Ｄによる空気流の方向に基づいて名付けられている。磁極（図示略）、近接場光素子（図示略）および再生素子（図示略）は、スライダ２の流出端側の側面に設けられている。サスペンション３の根本側から延設されたフレキシブル配線１３は途中から２本に分岐し、前述の開口部およびスライダ２の両側を回り込むように、流出端側の磁極および再生素子に接続されている。

レーザ２０５はフレクシャ２０４のうちベースプレート２０１上に載る部分の一部に設けられている。レーザ２０５とフレキシブル配線１３は電気的に接続され、制御部５の電気信号に基づいてレーザ２０５が発光動作するようになっている。レーザ２０５の出射端には光ファイバ２０６が光学的に接続されている。光ファイバ２０６のもう一端は、スライダ２に設けられた近接場光素子（図示略）と光学的に結合している。よって、レーザ２０５からの光は光ファイバ２０６を介して近接場光素子に導入される。また、光ファイバ２０６はスリーブ２０７をもちいて光ファイバ２０６の長手方向が自由になるように支持されている。前述のように情報記録再生装置１の動作時には、記録媒体Ｄのうねりに対してヒンジ２０２およびフレクシャ２０４がたわむが、スリーブ２０７で光ファイバ２０６を支持することにより、光ファイバ２０６がヒンジ２０２およびフレクシャ２０４のたわみを妨げることが低減され、スライダ２の浮上が安定浮上することができる。

図３は第１実施形態に係るパッド部２０４ａ近傍の拡大図である。図４は図３のＡ−Ａ’断面である。フレキシブル配線１３はベースフィルム３０１と、それに載る４本の金属配線３０２からなる。ベースフィルム３０１はポリイミド等の樹脂からなる。金属配線３０２は銅からなり、表面に金メッキされている。ベースフィルム３０１は金属配線３０２とフレクシャ２０４とを絶縁している。また、図示はしていないが金属配線３０２の一部は保護のためにポリイミド等の樹脂で覆われている。４本の金属配線３０２はスライダ２に設けられた磁極（図示略）および再生素子（図示略）にそれぞれ２本ずつ接続されている。ただし、金属配線３０２の本数は４本に限られるものではなく、必要に応じて増減することができる。

パッド部２０４ａ上には、ベースフィルム３０１と同材料、同厚で、ファイバガイド３０３とスペーサ３０４が設けられている。ファイバガイド３０３は２対の平面視長方形となっており、２対のファイバガイド３０３に挟まれるように光ファイバ２０６がパッド部２０４ａに対して位置決めされている。スライダ２は金属配線３０２が載っていない部分のベースフィルム３０１の一部およびファイバガイド３０３、スペーサ３０４に載るように接着固定されている。ベースフィルム３０１、ファイバガイド３０３およびスペーサ３０４は同厚であるから安定的にスライダ２を固定することができる。スペーサ３０４はスライダ２が安定にパッド部２０４ａに固定されるように適宜設ける。ここではスライダ２の流入端側に２対のスペーサ３０４を設けている。ベースフィルム３０１の端面のうち、光ファイバ２０６およびファイバガイド３０３に対向する面は、光ファイバ２０６の長手方向に対して４５度傾斜した斜平面になっており、この斜平面に金属被膜することでミラー面３０１ａとなっている。被膜の金属はアルミニウムや金を用いる。よって、スライダ２とパッド部２０４ａに挟まれるように設置された光ファイバ２０６から出射した光は、ミラー面３０１ａにて９０度曲げられて、スライダ２の内部に設けられた近接場光素子（図示略）に導入される。ベースフィルム３０１、ファイバガイド３０３、スペーサ３０４の厚みは、光ファイバ２０６の直径と等しいか小さいのが望ましい。光ファイバ２０６の直径は数十μｍから１２５μｍである。光ファイバ２０６の直径が小さいほど、スライダ２とパッド部２０４ａの距離を小さくでき、スライダ２の浮上性能が良好となる。また、光ファイバ２０６のうちパッド部２０４ａに載る部分のみ直径を小さくすることも可能である。

このような構成によって、ミラー面３０１ａを用いることによりコンパクトな光曲げ構造を実現することができる。また、ベースフィルム３０１の一部をミラー面に転用することで、低コストに光曲げ構造を実現することができる。また、光曲げのための追加部品を最小限にすることができるため、重量増によってヘッドジンバルアセンブリの性能が低下してしまうことが少ない。
また、ベースフィルム３０１、ファイバガイド３０２およびスペーサ３０４は、同一の樹脂膜をフォトリソグラフィー等によって加工することで得られるため、ファイバガイド３０２やスペーサ３０４を別途加工する必要がなく、低コストに光ファイバ固定構造を得ることができる。

（第２実施形態）
以下、本発明に係る第２実施形態を、図５を参照して説明する。第１実施形態と同一箇所については同一符号を付して詳細な説明を省略する。

本実施形態が第１実施形態と異なる点は、ベースフィルム３０１の端面のうち、光ファイバ２０６と対向する部分が矩形に切り欠かれており、この切り欠き部の側面のうち光ファイバ２０６に対向する面にミラー面５０１が設けられている点である。ミラー面５０１は第１実施形態と同様に、光ファイバ２０６の長手方向に対して４５度傾斜した斜平面が金属被膜されている。

このような構成によって、スライダ２が載るベースフィルム３０１の領域の大きさを確保しつつ、スライダ２の流出端にできるだけ近いところに光を導入することができる。スライダ２をベースフィルム３０１に安定に固定できることから、組立の歩留まりを向上させることができたり、スライダ２とフレクシャ２０４間の振動特性の悪化を防ぐことができたりする。また、スライダ２に設けられた近接場光素子を流出端に近いところに設けることができるためスライダの製造が容易となる。

（第３実施形態）
以下、本発明に係る第３実施形態を、図６を参照して説明する。第１実施形態と同一箇所については同一符号を付して詳細な説明を省略する。本実施形態が第１実施形態と異なる点は、ファイバガイド６０１の端面のうちミラー面３０１ａと対向する面が斜平面６０２となっている点である。

このような構成によって、ミラー面３０１ａの斜平面を形成する場合、Ｖ字断面もしくは台形断面の刃を有するダイシングブレードを用いることができる。よって容易かつ低コストに構造を加工することができる。さらに、ファイバガイド６０１とミラー面３０１ａとの距離を小さくすることができるため、光ファイバ２０６をミラー面３０１ａ近傍までファイバガイド６０１で固定することができる。よって、光ファイバ２０６からの出射光の光軸が乱れにくく、効率よくエネルギーを近接場光素子に伝えることができる。

（第４実施形態）
以下、本発明に係る第４実施形態を、図７を参照して説明する。第１および第２実施形態と同一箇所については同一符号を付して詳細な説明を省略する。本実施形態が第２実施形態と異なる点は、ファイバガイド７０１がベースフィルム７０２と一体になっている点である。

このような構成によって、光ファイバ２０６をミラー面５０１近傍までファイバガイド６０１で固定することができる。よって、光ファイバ２０６からの出射光の光軸が乱れにくく、効率よくエネルギーを近接場光素子に伝えることができる。

（第５実施形態）
以下、本発明に係る第５実施形態を、図８から図１１を参照して説明する。第１実施形態と同一箇所については同一符号を付して詳細な説明を省略する。

フレクシャ２０４上にはフレキシブル配線の代わりに光電気複合配線８０１が設けられている点が、第１実施形態と異なる点である。光電気複合配線８０１上にはレーザ２０５が配置され、光電気複合配線８０１と電気的光学的に接続されている。また、レーザ２０５はキャリッジ１１、あるいは制御部５近傍に配置されていても良い。

図９は図８のＢ−Ｂ’線に沿うフレクシャ２０４と光電気複合配線８０１の断面図である。光電気複合配線８０１は、第１実施形態のフレキシブル配線の構成とよく似ているが、ベースフィルム８０２内に矩形断面の導波コア８０３が設けられている点が異なる。導波コア８０３は断面の一辺が数μｍから数百μｍであり、光透過性を有する樹脂材料でできている。例えば光透過性のポリイミドを使うと良い。また、ベースフィルム８０２は導波コア８０３よりも屈折率が小さく、非導電性の樹脂材料である。これにも光透過性のポリイミドを使うと良い。ベースフィルム８０２上には４本の金属配線が設けられている。

図１０は図８のＣ−Ｃ’線に沿うフレクシャ２０４と光電気複合配線８０１の断面図である。金属配線３０２が２組に分かれ、パッド部２０４ａを形成するフレクシャ開口部を回り込んで、スライダ２の流出端側に接続されていることは第１の実施例と同様であるが、本実施例では更に導波コア８０３とそれを包むベースフィルム８０２からなる導波路８０４が分岐する。つまり、サスペンション３の根本から延設された光電気複合配線８０１は、途中で２組の金属配線と１本の導波路の計３つに分かれて、パッド部２０４ａに配設されている。導波路８０４はスライダ２の流入端側から挿入されている。これは、一般に光導波路は電気配線よりも曲げに弱く、スライダ２を回り込むような配線を行えないためである。

図１１は本実施形態に係るパッド部２０４ａ近傍の拡大図である。スライダ２の流入端側からパッド部２０４ａに配設された導波路８０４は、パッド部２０４ａ上に端部８０５を有している。端部８０５は導波コア８０３が露出しており、レーザ２０５からの光が出射する。端部８０５に対向する、金属配線３０２が載るベースフィルム８０２の端面には、第１実施形態と同様にミラー面３０１ａが形成されている。導波路コア８０３から出射した光は、ミラー面３０１ａにて９０度曲げられて、スライダ２の内部に設けられた近接場光素子（図示略）に導入される。よって、制御部５からの電気信号によりレーザ２０５が駆動し、レーザ２０５からの光が光電気複合配線８０１内の導波コア８０３およびミラー面３０１ａによりスライダ２に設けられた近接場光素子に導かれる。スライダ２はミラー面３０１ａ近傍のベースフィルム８０２、端部８０５近傍の導波路８０４、およびスペーサ３０４に載るように接着固定される。導波路８０４に荷重がかかると導波性能に悪影響を与えるので荷重を分散するために、導波路８０４のうちスライダ２が載る部分の少なくとも一部の幅が広くなっている。

このような構成によって、第１実施形態の効果に加えて、導波コア８０３と金属配線３０２とが光電気複合配線８０１として一体的に形成されているため、効率良く製造することができる。

（第６実施形態）
以下、本発明に係る第６実施形態を、図１２から図１３を参照して説明する。第１実施形態と同一箇所については同一符号を付して詳細な説明を省略する。本実施形態が第１実施形態と異なる点は、光ファイバが廃され、その結果レーザの位置が変更されている点である。

図１２は第６実施形態に係るヘッドジンバルアセンブリ１２の拡大図である。フレクシャ２０４上にはフレキシブル配線１２０１が設けられている。

図１３は第６実施形態に係るパッド部２０４ａ近傍の拡大図である。フレキシブル配線１２０１はベースフィルム３０１と、それに載る６本の金属配線１２０２からなる。金属配線１２０２は銅からなり、表面に金メッキされている。ベースフィルム３０１は金属配線１２０２とフレクシャ２０４とを絶縁している。また、図示はしていないが金属配線１２０２の一部は保護のためにポリイミド等の樹脂で覆われている。６本の金属配線１２０２のうち４本はスライダ２に設けられた磁極（図示略）および再生素子（図示略）にそれぞれ２本ずつ接続されている。パッド部２０４ａ上にはレーザ１２０３が配置されている。また、パッド部２０４ａ上には平面視コの字状のレーザガイド１２０４が配置されている。レーザガイド１２０４はベースフィルム３０１と同材料、同厚となっている。そのためレーザガイド１２０４とベースフィルム３０１は同時に形成することができる。レーザ１２０３は平面視コの字状のレーザガイド１２０４にはまりこむようになっており、位置決めが容易になっている。レーザ１２０３は端面発光レーザであるため、その側面からレーザ光が出射する。レーザガイド１２０４はレーザ１２０３側面からのレーザ光出射を妨げないようになっている。レーザ１２０３の厚さはレーザガイド１２０４と等しいか小さい。スライダ２はベースフィルム３０１の一部とレーザ１２０３およびレーザガイド１２０４に載るように固定される。６本の金属配線１２０２のうち磁極および再生素子に接続されていない２本はスライダ２表面の電極（図示略）を介してレーザ１２０３に接続され、レーザ１２０３を駆動する。よって、スライダ２とパッド部２０４ａに挟まれるように設置されたレーザ１２０３から出射した光は、ミラー面３０１ａにて９０度曲げられて、スライダ２の内部に設けられた近接場光素子（図示略）に導入される。このような構成によって、第１実施形態の効果がレーザの搭載位置を変更しても得られる。

なお、本発明の技術範囲は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述した実施形態に種々の変更を加えたものを含む。すなわち、上述した実施形態で挙げた構成等はほんの一例に過ぎず、適宜変更が可能である。また、上述した各実施形態を適宜組み合わせて採用することも可能である。

Ｄ記録媒体１情報記録再生装置２スライダ３サスペンション１１キャリッジ１２ヘッドジンバルアセンブリ１３フレキシブル配線２０４フレクシャ２０４ａパッド部２０６光ファイバ３０１ベースフィルム３０１ａミラー面３０４ファイバガイド１２０３レーザ１２０４レーザガイド

Claims

記録媒体の表面に沿って延設されたサスペンションの一部を構成するフレクシャと、
前記フレクシャ上に設けられたベースフィルムと、
前記ベースフィルムの少なくとも一部の上に、前記記録媒体の表面と対向するように固定され、光束を用いて近接場を発生するスライダと、
前記フレクシャに固定された光供給部とを有し、
前記光供給部に対向する前記ベースフィルムの側面の少なくとも一部が、前記光供給部からの出射光軸方向に対して所定の角度に傾斜したミラー面を構成し、
前記光供給部が前記ミラー面を介して前記スライダと光学的に結合していることを特徴とする近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリ。
前記ミラー面に金属膜を備えることを特徴とする請求項１に記載の近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリ。
前記光供給部を前記フレクシャ上に位置決めするために用いられるものであり、前記ベースフィルムと同材料、同厚であり、前記フレクシャ上に設けられたガイドを有することを特徴とする請求項１または２に記載の近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリ。
前記ベースフィルムと前記ガイドが一体であることを特徴とする請求項３記載の近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリ。
前記ガイドの側面の少なくとも１面が所定の角度に傾斜していることを特徴とする請求項３記載の近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリ。
前記光供給部の少なくとも一部がレーザであることを特徴とする請求項１に記載の近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリ。
前記光供給部の少なくとも一部が光導波路であることを特徴とする請求項１に記載の近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリ。
前記光導波路がクラッド機能を有する前記ベースフィルムと、前記ベースフィルム内に設けられたコアから構成されることを特徴とする請求項７に記載の近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリ。
前記ベースフィルム上に設けられた電気的配線を備えることを特徴とする請求項１に記載の近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリ。
請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の近接場光利用ヘッドジンバルアセンブリと、前記記録媒体と、から構成される情報記録再生装置。