JP2011094991A - 任意波形発生器 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明の目的は、DUTに至るまでの伝送路により生じる任意波形信号の損失を、わずかなコストで容易に低減することのできる、任意波形発生器を実現することである。
【解決手段】本発明は、任意波形信号を発生させる波形発生部と、この波形発生部の出力端に接続された出力抵抗とを備え、被試験対象デバイスに任意波形信号を出力する任意波形発生器において、前記被試験対象デバイスに至る伝送経路で生じる、周波数に応じた任意波形信号の振幅損失を補正する補正回路を備えることを特徴とする。
【選択図】図1
【解決手段】本発明は、任意波形信号を発生させる波形発生部と、この波形発生部の出力端に接続された出力抵抗とを備え、被試験対象デバイスに任意波形信号を出力する任意波形発生器において、前記被試験対象デバイスに至る伝送経路で生じる、周波数に応じた任意波形信号の振幅損失を補正する補正回路を備えることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、被試験対象に対して任意波形信号を出力する任意波形発生器に係り、特に被試験対象デバイスに至る伝送経路で生じる、周波数に応じた任意波形信号の振幅損失を補正するための改良に関するものである。
従来、ICデバイスやメモリデバイス等の半導体デバイスである被試験対象(以下、DUTと称する)に対して機能確認等の試験を行う半導体試験装置は、ピンエレクトロニクス部を介してDUTと接続され、ピンエレクトロニクス部内に設けられた任意波形発生器から任意波形信号を出力してDUTへ入力する。
任意波形発生器10により任意波形信号を発生させ伝送経路を介してDUTに出力する構成の従来例を、図6を用いて説明する。
図6において、任意波形発生器10は、DAコンバータ2と、高速アンプ3と、出力抵抗4を有する。DAコンバータ2は、デジタル値をアナログ電気信号に変換し出力する。高速アンプ3は、DAコンバータ2の出力を増幅して出力する。出力抵抗4は、出力インピーダンス(当実施例では50Ω)を有し、高速アンプ3の出力を任意波形発生器10の出力端に出力する。
同軸ケーブル5は、自身の外部導体が接地され、任意波形発生器10の出力端からの出力を入力する。
DUTボード6は、抵抗値50Ωを有する終端抵抗7と、DUT8とを有し、同軸ケーブル5からの出力を入力する。
終端抵抗7は一端が接地され、他端は同軸ケーブル5に接続されており、また、DUT8も、同軸ケーブル5からの出力を入力する。
図6において、任意波形発生器10は、DAコンバータ2と、高速アンプ3と、出力抵抗4を有する。DAコンバータ2は、デジタル値をアナログ電気信号に変換し出力する。高速アンプ3は、DAコンバータ2の出力を増幅して出力する。出力抵抗4は、出力インピーダンス(当実施例では50Ω)を有し、高速アンプ3の出力を任意波形発生器10の出力端に出力する。
同軸ケーブル5は、自身の外部導体が接地され、任意波形発生器10の出力端からの出力を入力する。
DUTボード6は、抵抗値50Ωを有する終端抵抗7と、DUT8とを有し、同軸ケーブル5からの出力を入力する。
終端抵抗7は一端が接地され、他端は同軸ケーブル5に接続されており、また、DUT8も、同軸ケーブル5からの出力を入力する。
このような装置の動作を、図面を用いて説明する。
任意波形発生器10のDAコンバータ2により発生したアナログ電気信号である任意波形信号は、任意波形発生器10の高速アンプ3に入力され、増幅された任意波形信号として出力される。任意波形発生器10の出力抵抗4は出力インピーダンスとして機能し、高速アンプ3から出力される任意波形信号を、任意波形発生器10の出力端に出力する。
同軸ケーブル5は、任意波形発生器10の出力端からの任意波形信号を入力する。
DUTボード6は同軸ケーブル5からの出力である任意波形信号を入力する。DUTボード6に入力された任意波形信号は、終端抵抗7によりインピーダンス整合がなされ、DUT8に入力される。
特許文献1には、任意波形発生器の高速アンプ(ドライバ)が任意波形信号を出力し、その出力がDUTへ至る装置の構成が記載されている。
任意波形発生器10のDAコンバータ2により発生したアナログ電気信号である任意波形信号は、任意波形発生器10の高速アンプ3に入力され、増幅された任意波形信号として出力される。任意波形発生器10の出力抵抗4は出力インピーダンスとして機能し、高速アンプ3から出力される任意波形信号を、任意波形発生器10の出力端に出力する。
同軸ケーブル5は、任意波形発生器10の出力端からの任意波形信号を入力する。
DUTボード6は同軸ケーブル5からの出力である任意波形信号を入力する。DUTボード6に入力された任意波形信号は、終端抵抗7によりインピーダンス整合がなされ、DUT8に入力される。
特許文献1には、任意波形発生器の高速アンプ(ドライバ)が任意波形信号を出力し、その出力がDUTへ至る装置の構成が記載されている。
しかしながら、このような装置では、高速アンプ3からDUT8に至るまでの伝送路により、任意波形信号の損失が発生するという課題があった。ここでの伝送路とは、同軸ケーブル5はもちろん、任意波形発生器10の内部やDUTボード6の内部のプリント基板等における経路も含まれる。伝送路による任意波形信号の損失は、一般に周波数が高くなるほど顕著であるが、比較的低い周波数で(100KHz〜1MHz程度)の領域においても発生している。この周波数帯域(100KHz〜1MHz程度)ではこれよりも高い周波領域に比べて損失が小さいが、例えば十分の数dB以下のような小さい損失でもセトリング時間(任意波形信号が最終値に対して許容誤差範囲の値に達するまでの時間)に影響を与えるので無視することができない。
伝送路を構成するプリント基板や同軸ケーブル5等に振幅損失の少ないものを使用することでも、任意波形信号の振幅損失は改善可能であるが、この改善がコストアップにつながるという課題があった。
伝送路を構成するプリント基板や同軸ケーブル5等に振幅損失の少ないものを使用することでも、任意波形信号の振幅損失は改善可能であるが、この改善がコストアップにつながるという課題があった。
そこで、本発明の目的は、任意波形発生器からDUTに至るまでの伝送路により生じる任意波形信号の振幅損失を、わずかなコストで容易に低減することのできる、任意波形発生器を実現することにある。
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項1記載の発明は、
任意波形信号を発生させる波形発生部と、この波形発生部の出力端に接続された出力抵抗とを備え、被試験対象デバイスに任意波形信号を出力する任意波形発生器において、
前記被試験対象デバイスに至る伝送経路で生じる、周波数に応じた任意波形信号の振幅損失を補正する補正回路を備えることを特徴とする。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明であって、
前記補正回路は、直列に接続される抵抗器とコンデンサを備え、この直列に接続される抵抗器とコンデンサが、前記出力抵抗と並列接続された構成となっていることを特徴とする。
請求項3記載の発明は、請求項2記載の発明であって、
前記波形発生部、前記出力抵抗及びこの出力抵抗に並列接続された前記抵抗器と前記コンデンサとからなる回路部が複数段直列に接続されたことを特徴とする。
請求項4記載の発明は、請求項3記載の発明であって、
前記複数段の回路部に設けられた抵抗器とコンデンサの抵抗値と静電容量はそれぞれ異なることを特徴とする。
任意波形信号を発生させる波形発生部と、この波形発生部の出力端に接続された出力抵抗とを備え、被試験対象デバイスに任意波形信号を出力する任意波形発生器において、
前記被試験対象デバイスに至る伝送経路で生じる、周波数に応じた任意波形信号の振幅損失を補正する補正回路を備えることを特徴とする。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明であって、
前記補正回路は、直列に接続される抵抗器とコンデンサを備え、この直列に接続される抵抗器とコンデンサが、前記出力抵抗と並列接続された構成となっていることを特徴とする。
請求項3記載の発明は、請求項2記載の発明であって、
前記波形発生部、前記出力抵抗及びこの出力抵抗に並列接続された前記抵抗器と前記コンデンサとからなる回路部が複数段直列に接続されたことを特徴とする。
請求項4記載の発明は、請求項3記載の発明であって、
前記複数段の回路部に設けられた抵抗器とコンデンサの抵抗値と静電容量はそれぞれ異なることを特徴とする。
本発明によれば、波形発生部が任意波形信号を出力し、出力抵抗がこの出力を一端から入力し他端である出力端に出力し、一方、直列に接続された抵抗器とコンデンサが、波形発生部の出力を抵抗器の端から入力しコンデンサの端から出力抵抗の出力端へ出力する。被試験対象デバイスは、出力抵抗の出力端の出力を、同軸ケーブルを介して入力する。
そのため、任意波形発生器の出力抵抗と、抵抗器と、コンデンサと、によって、波形発生部から被試験対象デバイスに至る経路で生じる任意波形信号の振幅損失を補正する回路(振幅損失補正回路)が形成され、抵抗器の抵抗値とコンデンサの静電容量を適切に選択することにより、特定の周波領域の振幅損失を補正し、セトリング時間を短縮することができる。
そのため、任意波形発生器の出力抵抗と、抵抗器と、コンデンサと、によって、波形発生部から被試験対象デバイスに至る経路で生じる任意波形信号の振幅損失を補正する回路(振幅損失補正回路)が形成され、抵抗器の抵抗値とコンデンサの静電容量を適切に選択することにより、特定の周波領域の振幅損失を補正し、セトリング時間を短縮することができる。
以下本発明を、図面を用いて詳細に説明する。図1は本発明の第1の実施例を示した構成図である。図6と比較すると抵抗器R1とコンデンサC1のみが追加される構成をとり、その他は図6と同一であるので、同一符号を付し、説明を省略する。
図1において、直列に接続された抵抗器R1とコンデンサC1が出力抵抗4と並列接続されている。つまり、抵抗器R1の端から高速アンプ3の出力を入力し、コンデンサC1の端から出力抵抗4の出力端に出力する。
このような装置の動作を、図面を用いて説明する。
任意波形発生器10のDAコンバータ2により発生したアナログ電気信号である任意波形信号は、任意波形発生器10の高速アンプ3に入力され、増幅された任意波形信号として出力される。任意波形発生器10の出力抵抗4は出力インピーダンスとして機能し、高速アンプ3から出力された任意波形信号を入力し、任意波形発生器10の出力端に出力する。
一方、直列に接続された抵抗器R1とコンデンサC1は、伝送経路において低い周波数帯で発生する任意波形信号の振幅損失を補正する目的で設けられており、抵抗器R1が高速アンプ3の出力を入力し、コンデンサC1が抵抗器R1の出力を入力し出力抵抗4の出力端に出力する。同軸ケーブル5は、任意波形発生器10の出力端からの任意波形信号を入力する。
DUTボード6は同軸ケーブル5からの出力である任意波形信号を入力する。DUTボード6に入力された任意波形信号は、終端抵抗7によりインピーダンス整合がなされ、DUT8に入力される。
任意波形発生器10のDAコンバータ2により発生したアナログ電気信号である任意波形信号は、任意波形発生器10の高速アンプ3に入力され、増幅された任意波形信号として出力される。任意波形発生器10の出力抵抗4は出力インピーダンスとして機能し、高速アンプ3から出力された任意波形信号を入力し、任意波形発生器10の出力端に出力する。
一方、直列に接続された抵抗器R1とコンデンサC1は、伝送経路において低い周波数帯で発生する任意波形信号の振幅損失を補正する目的で設けられており、抵抗器R1が高速アンプ3の出力を入力し、コンデンサC1が抵抗器R1の出力を入力し出力抵抗4の出力端に出力する。同軸ケーブル5は、任意波形発生器10の出力端からの任意波形信号を入力する。
DUTボード6は同軸ケーブル5からの出力である任意波形信号を入力する。DUTボード6に入力された任意波形信号は、終端抵抗7によりインピーダンス整合がなされ、DUT8に入力される。
ここで着目すべき点は、任意波形発生器10の出力抵抗4と、抵抗器R1と、コンデンサC1と、DUTボード6の終端抵抗7と、によって、任意波形発生器10の高速アンプ3の出力端からDUT8に至るまでの伝送路で生じる任意波形信号の振幅損失を補正する回路(振幅損失補正回路)が形成されることにある。
この振幅損失補正回路の伝達関数G(s)は、抵抗器R1の抵抗値とコンデンサC1の静電容量をそれぞれR1、C1とすると、以下の式で表される。
G(s) = k ・(s + 2π fc1) / (s + 2π fc2)
k = 2・(50+R1) / (50+ 2・R1) [ 1 < k < 2 ]
fc1 = 1 / (2π (50+R1)・C1 )
fc2 = fc1・k
つまり、この振幅損失補正回路における抵抗値R1と静電容量C1を適切な値に設定することで、当該補正の効果が生じ始める周波数fc1と、振幅の補正量k(すなわち高周波帯域でのゲイン)が決定される。
図2は、この伝達関数に基づいて求めた、任意波形発生器10の高速アンプ3の出力端からDUT8に至るまでの伝送路で生じる任意波形信号の振幅損失の周波数特性について図示したものである。a1は、補正のない(振幅損失補正回路のない)場合、a2が補正のある(振幅損失補正回路のある)場合の周波数特性を示している。補正のある場合(a2)では、周波数fc1を超える周波数領域で1倍以上のゲインを持つ周波数特性となり、補正のない場合(a1)と比較して、特定周波数範囲において概ね逆の効果を有する。
この効果を利用して、抵抗値R1と静電容量C1を適切に選択することにより、特定周波数範囲において振幅損失を補正することが可能である。図3は本発明により補正される振幅損失の周波数特性等を示した図であり、b1は振幅損失補正回路による補正のない場合、b2は振幅損失補正回路による補正のある場合の周波数特性を示している。
この振幅損失補正回路の伝達関数G(s)は、抵抗器R1の抵抗値とコンデンサC1の静電容量をそれぞれR1、C1とすると、以下の式で表される。
G(s) = k ・(s + 2π fc1) / (s + 2π fc2)
k = 2・(50+R1) / (50+ 2・R1) [ 1 < k < 2 ]
fc1 = 1 / (2π (50+R1)・C1 )
fc2 = fc1・k
つまり、この振幅損失補正回路における抵抗値R1と静電容量C1を適切な値に設定することで、当該補正の効果が生じ始める周波数fc1と、振幅の補正量k(すなわち高周波帯域でのゲイン)が決定される。
図2は、この伝達関数に基づいて求めた、任意波形発生器10の高速アンプ3の出力端からDUT8に至るまでの伝送路で生じる任意波形信号の振幅損失の周波数特性について図示したものである。a1は、補正のない(振幅損失補正回路のない)場合、a2が補正のある(振幅損失補正回路のある)場合の周波数特性を示している。補正のある場合(a2)では、周波数fc1を超える周波数領域で1倍以上のゲインを持つ周波数特性となり、補正のない場合(a1)と比較して、特定周波数範囲において概ね逆の効果を有する。
この効果を利用して、抵抗値R1と静電容量C1を適切に選択することにより、特定周波数範囲において振幅損失を補正することが可能である。図3は本発明により補正される振幅損失の周波数特性等を示した図であり、b1は振幅損失補正回路による補正のない場合、b2は振幅損失補正回路による補正のある場合の周波数特性を示している。
このような補正を行った場合における、DUTの入力端での任意波形信号の過渡応答について図4により説明する。
図4の例では、任意波形発生器10により、ステップ状の波形信号を発生させており、c1は伝送路での損失がない場合の理想的な出力波形である。c2は、補正のない場合の波形であり、振幅損失のため立ち上がり波形が鈍るのでセトリング時間が長いのに対し、c3のように補正のある場合の波形では、振幅損失が少ないので波形の立ち上がり時の鈍りが改善され、セトリング時間を短縮することができる。
図4の例では、任意波形発生器10により、ステップ状の波形信号を発生させており、c1は伝送路での損失がない場合の理想的な出力波形である。c2は、補正のない場合の波形であり、振幅損失のため立ち上がり波形が鈍るのでセトリング時間が長いのに対し、c3のように補正のある場合の波形では、振幅損失が少ないので波形の立ち上がり時の鈍りが改善され、セトリング時間を短縮することができる。
このように、高速アンプ3が任意波形信号を出力し、この出力を出力抵抗4が一端から入力し他端である出力端に出力し、一方、直列に接続された抵抗器R1とコンデンサC1が、高速アンプ3の出力を抵抗器R1の端から入力しコンデンサC1の端から出力抵抗4の出力端へ出力する。DUT8は、出力抵抗4の出力端の出力を、同軸ケーブル5を介して入力する。
そのため、任意波形発生器10の出力抵抗4と、抵抗器R1と、コンデンサC1と、によって、高速アンプ3からDUT8に至る経路で生じる任意波形信号の振幅損失を補正する回路(振幅損失補正回路)が形成され、抵抗値R1と静電容量C1を適切に選択することにより、特定の周波領域の振幅損失を補正し、セトリング時間を短縮することができる。
したがって、本装置では振幅損失の補正を、抵抗器とコンデンサのパッシブ部品2個の追加のみで実現しており、振幅損失の少ない高価なプリント基板や同軸ケーブルを使用するよりも安価に、振幅損失の補正を行うことができる。
そのため、任意波形発生器10の出力抵抗4と、抵抗器R1と、コンデンサC1と、によって、高速アンプ3からDUT8に至る経路で生じる任意波形信号の振幅損失を補正する回路(振幅損失補正回路)が形成され、抵抗値R1と静電容量C1を適切に選択することにより、特定の周波領域の振幅損失を補正し、セトリング時間を短縮することができる。
したがって、本装置では振幅損失の補正を、抵抗器とコンデンサのパッシブ部品2個の追加のみで実現しており、振幅損失の少ない高価なプリント基板や同軸ケーブルを使用するよりも安価に、振幅損失の補正を行うことができる。
次に第2の実施例について説明する。図5は本発明の第2の実施例を示した構成図である。ここで、図1と同一のものは同一符号を付し、説明を省略する。
図5において、任意波形発生回路9は、任意波形発生回路1の代わりに設けられ、DAコンバータ2と高速アンプ回路91と終端抵抗92と高速アンプ回路93を有する。
高速アンプ回路91は、高速アンプ3と出力抵抗4と抵抗器R1とコンデンサC1とを有し、接続は図1と同様の構成となる。つまり、高速アンプ3がDAコンバータ2の出力を入力し、出力抵抗4が高速アンプ3の出力を入力し、一方、直列に接続された抵抗器R1とコンデンサC1とが出力抵抗4と並列に接続されており、抵抗器R1が高速アンプ3の出力を入力し、コンデンサC1が抵抗器R1の出力を入力し出力抵抗4の出力端に出力する。出力抵抗4の出力端は高速アンプ回路91の出力端に接続されている。
一端が接地された終端抵抗(抵抗値50Ω)の他端に、高速アンプ回路91の出力端が、接続されている。
高速アンプ回路93は、高速アンプ回路91の抵抗器R1とコンデンサC1をそれぞれ抵抗器R2とコンデンサC2に代え、その他の構成は高速アンプ回路91と同一の回路である。高速アンプ回路93は、高速アンプ回路91の出力を入力する。
図5において、任意波形発生回路9は、任意波形発生回路1の代わりに設けられ、DAコンバータ2と高速アンプ回路91と終端抵抗92と高速アンプ回路93を有する。
高速アンプ回路91は、高速アンプ3と出力抵抗4と抵抗器R1とコンデンサC1とを有し、接続は図1と同様の構成となる。つまり、高速アンプ3がDAコンバータ2の出力を入力し、出力抵抗4が高速アンプ3の出力を入力し、一方、直列に接続された抵抗器R1とコンデンサC1とが出力抵抗4と並列に接続されており、抵抗器R1が高速アンプ3の出力を入力し、コンデンサC1が抵抗器R1の出力を入力し出力抵抗4の出力端に出力する。出力抵抗4の出力端は高速アンプ回路91の出力端に接続されている。
一端が接地された終端抵抗(抵抗値50Ω)の他端に、高速アンプ回路91の出力端が、接続されている。
高速アンプ回路93は、高速アンプ回路91の抵抗器R1とコンデンサC1をそれぞれ抵抗器R2とコンデンサC2に代え、その他の構成は高速アンプ回路91と同一の回路である。高速アンプ回路93は、高速アンプ回路91の出力を入力する。
このような装置の動作を、図面を用いて説明する。
高速アンプ回路91および高速アンプ回路93が、2段直列に連結し、その間に、終端抵抗92が接続しているので、それぞれの段に振幅損失補正回路を設けることができ、振幅損失補正回路も2段になるため、図1の第1の実施例ように回路を1段で構成する場合よりも精度よく振幅補正することができ、セトリング時間がさらに改善され、過渡応答波形も理想的な出力波形に近づけることができる。
高速アンプ回路91および高速アンプ回路93が、2段直列に連結し、その間に、終端抵抗92が接続しているので、それぞれの段に振幅損失補正回路を設けることができ、振幅損失補正回路も2段になるため、図1の第1の実施例ように回路を1段で構成する場合よりも精度よく振幅補正することができ、セトリング時間がさらに改善され、過渡応答波形も理想的な出力波形に近づけることができる。
そして、図5では、高速アンプ回路91と高速アンプ回路93において、それぞれ異なる抵抗器R1と抵抗器R2、コンデンサC1とコンデンサC2としたが、高速アンプ回路91と高速アンプ回路93の両方において、同一の抵抗値R1、コンデンサC1を使用してもよい。
3 高速アンプ
4 出力抵抗
5 同軸ケーブル
8 DUT(被試験対象デバイス)
10 任意波形発生器
91、93 高速アンプ回路
R1、R2 抵抗器
C1、C2 コンデンサ
4 出力抵抗
5 同軸ケーブル
8 DUT(被試験対象デバイス)
10 任意波形発生器
91、93 高速アンプ回路
R1、R2 抵抗器
C1、C2 コンデンサ
Claims (4)
- 任意波形信号を発生させる波形発生部と、この波形発生部の出力端に接続された出力抵抗とを備え、被試験対象デバイスに任意波形信号を出力する任意波形発生器において、
前記被試験対象デバイスに至る伝送経路で生じる、周波数に応じた任意波形信号の振幅損失を補正する補正回路を備えた任意波形発生器。 - 前記補正回路は、直列に接続される抵抗器とコンデンサを備え、この直列に接続される抵抗器とコンデンサが、前記出力抵抗と並列接続された構成となっていることを特徴とする請求項1記載の任意波形発生器。
- 前記波形発生部、前記出力抵抗及びこの出力抵抗に並列接続された前記抵抗器と前記コンデンサとからなる回路部が複数段直列に接続されたことを特徴とする請求項2記載の任意波形発生器。
- 前記複数段の回路部に設けられた抵抗器とコンデンサの抵抗値と静電容量はそれぞれ異なることを特徴とする請求項3記載の任意波形発生器。
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