JP2011082282A - Reflow apparatus - Google Patents

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reflow
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Shigeki Kobayashi
茂樹 小林
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MORIMATSU HIROKI
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MORIMATSU HIROKI
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a pollution-free reflow apparatus that is reduced in running cost and facilitates recovery of wastes having solder by using superheated steam as a heating medium. <P>SOLUTION: The reflow apparatus preheats a workpiece by using air as a heating medium, performs reflow soldering using the superheated steam as the medium, and cools the workpiece through supplied-air cooling. The high-temperature superheated steam generated from water by a high-frequency electromagnetic induction heater is introduced in a reflow chamber to fill the reflow chamber with the high-temperature superheated steam by using properties of room-temperature expansion of the superheated steam and to hold the reflow chamber in an oxygen-free state, the high-temperature superheated steam is jetted toward the workpiece to fuse solder, and the superheated steam having been used has its heat exchanged with supply water and is subjected to distillation processing, thereby collecting components scattered during the solder fusing, in distilled water. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、リフロー装置に関するものである。   The present invention relates to a reflow apparatus.

プリント基板に無鉛クリームはんだを印刷し、その上に部品をマウントしてはんだ付を行うリフロー工法においては、はんだの酸化を防ぐために、熱媒体として不活性ガス、中でも窒素ガスが一般的に使用されている。この場合、加熱した窒素ガスを繰り返し利用するために、その雰囲気中にははんだが溶融した際に飛散したフラックス成分やヒューム成分などの濃度が上昇し、はんだ付自体を妨げるようになるのみならず、ワークに付着したり炉内の低温部に凝縮累積するなどの弊害があった。この状況は、コスト面から使用後の窒素ガスを廃棄せず、再利用する必要性から生じたものであった。   In the reflow method in which lead-free cream solder is printed on a printed circuit board and the components are mounted on the printed circuit board for soldering, an inert gas, especially nitrogen gas, is generally used as a heating medium to prevent solder oxidation. ing. In this case, since the heated nitrogen gas is repeatedly used, the concentration of flux components and fume components scattered when the solder is melted in the atmosphere increases not only to hinder soldering itself. There were problems such as adhering to the workpiece and condensing and accumulating in the low temperature part of the furnace. This situation arises from the need to reuse the used nitrogen gas without discarding it.

このはんだ付老廃物の除去と窒素ガス再利用のために多くの技術が提案されている(例として、特許文献1、2、3、4、5)。
これらの技術には、以下のような共通性があった。
(1)窒素ガスを含む230°C乃至240°C程度の使用後高温媒体からフラックス成分を除去するためには、媒体を冷却しなければならない。そのために、これらの技術はいずれも媒体を炉外あるいは加熱チャンバ外に誘導して冷却する技術と、冷却で凝縮した物質を捕集するための複雑な機構技術とを備える。これらの技術では、再生媒体を炉内あるいはチャンバ内に戻す際、内部雰囲気温度を降下させないために、低温にした媒体を再度加熱しなければならず、余分の加熱コストが必要とされる。
(2)以上の冷却方法で捕集できない有機溶媒などは、さらに400°C程度に加熱した触媒を用いて分解除去するので、この場合は逆に媒体を低温化してからチャンバに戻している(代表例として特許文献4、5)。
Many techniques have been proposed to remove this soldering waste and to reuse nitrogen gas (for example, Patent Documents 1, 2, 3, 4, and 5).
These technologies had the following commonality.
(1) In order to remove a flux component from a high-temperature medium after use at about 230 ° C. to 240 ° C. containing nitrogen gas, the medium must be cooled. For this purpose, each of these techniques includes a technique for inducing and cooling the medium outside the furnace or the heating chamber, and a complicated mechanism technique for collecting the substance condensed by cooling. In these techniques, when the reproduction medium is returned into the furnace or chamber, the medium having a low temperature must be heated again in order not to lower the internal atmosphere temperature, and an extra heating cost is required.
(2) Organic solvents that cannot be collected by the above cooling method are further decomposed and removed using a catalyst heated to about 400 ° C. In this case, the temperature of the medium is lowered and then returned to the chamber ( As a representative example, Patent Documents 4 and 5).

これらはすべて、コストの高い窒素ガス再利用のために工夫された公開技術である。窒素ガス以外の不活性ガスはより高価であるため、利用できない。
このほかの媒体として、水蒸気を利用する技術(特許文献6)や過熱水蒸気を利用する技術(特許文献7)が公開されている。空気分子は、水蒸気あるいは過熱水蒸気が充満した雰囲気から排除されるため、ワークのはんだ付を無酸素状態で行うことができる。これらの方法は消耗品が水であるため、ランニングコストが窒素ガス利用の場合よりも低減されるというメリットがある。
このうち特許文献6の技術は、しかし、容易に発生する結露を防ぐためにリフロー炉構造が複雑化し、一般的に普及するまでに至っていない。
These are all open technologies designed for costly nitrogen gas recycling. Inert gases other than nitrogen gas are more expensive and cannot be used.
As other media, a technique using water vapor (Patent Document 6) and a technique using superheated steam (Patent Document 7) are disclosed. Since air molecules are excluded from an atmosphere filled with water vapor or superheated water vapor, the workpiece can be soldered in an oxygen-free state. Since these methods use water as the consumable, there is an advantage that the running cost is reduced as compared with the case of using nitrogen gas.
Of these techniques, the technique disclosed in Patent Document 6 is not yet widely used because the reflow furnace structure is complicated in order to prevent condensation that occurs easily.

いっぽう、特許文献7で開示された技術は、複数のチャンバ内に水蒸気を導入して加熱し、過熱水蒸気を生成して、ファンによって雰囲気を循環しながらリフローはんだ付を行う技術である。   On the other hand, the technique disclosed in Patent Document 7 is a technique in which steam is introduced into a plurality of chambers and heated to generate superheated steam, and reflow soldering is performed while circulating the atmosphere with a fan.

しかしこの技術には、過熱水蒸気を加熱媒体として利用する点において、次のような問題があった。
(1)過熱水蒸気の相転換に対応する技術がない
過熱水蒸気は、水を水蒸気とし、水蒸気を更に加熱して生成する。即ち、1mol(18グラム)の水は、常温常圧で22.4リットルの水蒸気になり、常圧であれば温度に比例して更に容積が増大する。つまりリフロー加熱の媒体として過熱水蒸気を用いると、少量の水を原料として大量の媒体を得ることができ、リフロー室内を高温高圧の過熱水蒸気で充満することができる。過熱水蒸気には強い遠赤外線加熱効果があり、これによって無酸素リフローが実現する。いっぽうこの性質によって、加熱室内に充満した高温過熱水蒸気は、常に室外に漏出しようとする強い傾向を有するので、漏出する使用後過熱水蒸気量を捕捉し、回収するための技術的対応が必要である。
逆に、過熱水蒸気を冷却すると、凝縮して水になり、容積が極端に縮小する。このことは、リフロー加熱に使用した後の過熱水蒸気を冷却すれば、非常に少量の水として回収できることを意味している。
過熱水蒸気を媒体として利用する場合には、相転換という特性を技術的に考慮しなければならない。この特性は、常温でも数百度の高温でも気体である空気や窒素ガスとは非常に異なるものである。しかし特許文献7には、過熱水蒸気の特性に配慮した技術は何ら用意されていない。
However, this technique has the following problems in using superheated steam as a heating medium.
(1) There is no technology corresponding to the phase conversion of superheated steam Superheated steam is produced by using water as steam and further heating the steam. That is, 1 mol (18 grams) of water becomes 22.4 liters of water vapor at normal temperature and normal pressure, and the volume further increases in proportion to the temperature at normal pressure. That is, when superheated steam is used as a medium for reflow heating, a large amount of medium can be obtained using a small amount of water as a raw material, and the reflow chamber can be filled with high-temperature and high-pressure superheated steam. Superheated steam has a strong far-infrared heating effect, thereby realizing oxygen-free reflow. On the other hand, because of this property, high-temperature superheated steam filled in the heating chamber has a strong tendency to always leak out of the room, so it is necessary to take technical measures to capture and recover the amount of superheated steam that leaks after use. .
Conversely, when superheated steam is cooled, it condenses into water and the volume is extremely reduced. This means that if the superheated steam after being used for reflow heating is cooled, it can be recovered as a very small amount of water.
When superheated steam is used as a medium, the characteristic of phase conversion must be considered technically. This characteristic is very different from air and nitrogen gas, which are gases at normal temperatures and at temperatures as high as several hundred degrees. However, Patent Document 7 does not provide any technology that takes into account the characteristics of superheated steam.

(2)チャンバ内雰囲気中の溶融飛散成分の増加
この問題は上記したように、窒素ガスを加熱媒体として利用するリフロー炉においても共通する問題でもあった。はんだ溶融飛散成分は排気に含まれて炉外に排出され、一部は炉内の低温部分に接触すると凝縮して蓄積する。この点において特許文献7記載の技術には、循環媒体中のはんだ飛散成分の増加を抑制したり捕集する手段が何ら用意されていないので、循環雰囲気中の老廃物濃度が無制限に増加すると同時に、老廃物が炉外に無制限に漏出するという公害問題がある。
(2) Increase in melting and scattering components in the atmosphere in the chamber As described above, this problem is also a common problem in a reflow furnace using nitrogen gas as a heating medium. Solder melting and scattering components are contained in the exhaust and discharged outside the furnace, and some of them are condensed and accumulated when they come into contact with the low temperature part in the furnace. In this respect, since the technique described in Patent Document 7 does not provide any means for suppressing or collecting the increase of the solder scattering component in the circulating medium, at the same time the concentration of waste products in the circulating atmosphere increases without limit. There is a pollution problem that wastes leak out of the furnace without limit.

(3)過熱水蒸気で常温のワークを加熱する時の問題
このほか特許文献7は、過熱水蒸気の特性に基づく副作用を防ぐ技術的対応手段を欠いている。
特許文献7の説明では、150°C以上の過熱水蒸気を秒速1メートル以上でワークに吹き付ければ、ワークには結露が起きないとしているが、常温のワークが加熱チャンバに入ると、温度が十分上昇するまでに、部品の熱容量に応じた時間を要する。熱容量の大きな部品は当然長い加熱時間を要し、この間ワーク表面には過熱水蒸気が結露し、水滴になって付着する。この水滴は部品温度が上昇すると蒸発する。リフロー基板の枚数が増加すると、チャンバ内媒体中のはんだ溶融飛散成分濃度が上昇するので、それらの成分が結露中に溶解する濃度も上昇する。溶解成分は特許文献7説明の通り化学的に活性があり、基板や部品に付着して有害作用を及ぼすばかりでなく、水滴が再蒸発した後も残渣としてワーク上に残る。その残渣は後日空中の水分を吸収して溶解し、ワークの金属部分を腐食する。この問題は、窒素ガスを加熱媒体としたリフロー炉では発生しない、過熱水蒸気特有の問題である。
(3) Problems when heating a room-temperature workpiece with superheated steam In addition to this, Patent Document 7 lacks technical measures to prevent side effects based on the characteristics of superheated steam.
In the description of Patent Document 7, if superheated steam of 150 ° C or higher is sprayed onto the workpiece at a speed of 1 meter or more per second, no dew condensation occurs on the workpiece, but when the room temperature workpiece enters the heating chamber, the temperature is sufficient. It takes time according to the heat capacity of the parts to rise. Naturally, a part having a large heat capacity requires a long heating time. During this time, superheated steam is condensed on the surface of the work and adheres as water droplets. These water droplets evaporate as the part temperature rises. As the number of reflow substrates increases, the concentration of solder melting and scattering components in the medium in the chamber increases, so that the concentration at which these components dissolve during condensation also increases. The dissolved component is chemically active as described in Patent Document 7, and it not only adheres to the substrate and parts and exerts harmful effects, but also remains on the work as a residue after water droplets re-evaporate. The residue will absorb and dissolve moisture in the air at a later date and corrode the metal part of the workpiece. This problem is a problem peculiar to superheated steam that does not occur in a reflow furnace using nitrogen gas as a heating medium.

(4)ワーク冷却時の問題
特許文献7記載の技術は、リフロー後ワークの冷却の問題についてなんら対応技術を備えていない。この文献で開示されたリフロー装置の技術には、リフローゾーンと冷却ゾーンの雰囲気同士の相互干渉については何ら説明がなく、ワークを移動させるためのコンベア機構が共通であるため、両ゾーン間は隙間を通じた気体の流通が可能である。そこでリフローゾーンの過熱水蒸気の一部は、常温膨張の性質に基づいて冷却ゾーンに漏出する。漏出した高温過熱水蒸気はそこで霧化して水滴になり、上記の予熱ステップと同様にワークに付着して基板や部品に有害作用をもたらす可能性がある。この問題も、窒素ガス利用の場合にはなかった、過熱水蒸気特有の問題である。
(4) Problem at the time of workpiece | work cooling The technique of patent document 7 is not equipped with the countermeasure technique at all about the problem of the cooling of the workpiece | work after reflow. The technology of the reflow device disclosed in this document has no explanation about the mutual interference between the atmospheres of the reflow zone and the cooling zone, and since there is a common conveyor mechanism for moving the workpiece, there is a gap between both zones. The gas can be circulated through. Therefore, a part of the superheated steam in the reflow zone leaks to the cooling zone based on the property of normal temperature expansion. The leaked high-temperature superheated steam is atomized into water droplets, and can adhere to the workpiece and cause harmful effects on the substrate and components as in the preheating step. This problem is also a problem peculiar to superheated steam that was not present when nitrogen gas was used.

本発明は、上記の問題を解決するためになされたものであり、高温高圧の加熱水蒸気でリフローはんだ付を行い、使用後過熱水蒸気を集めてはんだ溶融時の飛散成分を簡単な技術により除去することを可能にする、ランニングコスト低廉かつ無公害の過熱水蒸気利用リフロー装置の提供を目的とする。   The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems. Reflow soldering is performed with high-temperature and high-pressure heated steam, and superheated steam is collected after use to remove scattered components during melting of the solder by a simple technique. An object of the present invention is to provide a reflow apparatus using superheated steam which is low in running cost and free of pollution.

特開平7−77346号公報JP 7-77346 A 特開2007−160322号公報JP 2007-160322 A 特開2008−279502号公報JP 2008-279502 A 特開2009−99761号公報JP 2009-99761 A 特開2009−99762号公報JP 2009-99762 A 特開2002−263832号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2002-263832 特開2008−270499号公報JP 2008-270499 A 特開2001−235228号公報JP 2001-235228 A

中尾剛介、平泉敦嗣、岩崎悦子著「鉛フリー対応のリフロー装置」、古河電工時報、第106号、25−30ページ、平成12年7月Nakao Gosuke, Hiraizumi Satoshi, and Iwasaki Atsuko "Reflow Equipment for Lead-Free", Furukawa Electric Times, No. 106, pages 25-30, July 2000

解決しようとする第1の問題点は、過熱水蒸気を媒体とするリフロー装置において、高温高圧の過熱水蒸気が加熱室から室外へ漏出する強い傾向を有する点である。
また解決しようとする第2の問題点は、過熱水蒸気を媒体とするリフロー装置において、加熱室内で過熱水蒸気が再利用される間に、その中に含まれるはんだ溶融飛散成分濃度が際限なく上昇する点である。
更に解決しようとする第3の問題点は、常温のワークを過熱水蒸気で加熱する時に、ワークが十分に加熱されるまでにワーク表面にはんだ溶融飛散成分を含有した過熱水蒸気が結露して付着し、ワークが汚染される点と、リフロー後にワークを冷却する工程において、リフロー室から漏出したはんだ溶融飛散成分を含有した過熱水蒸気が霧状の水滴になってワークに付着し、ワークが汚染される点である。
The first problem to be solved is that in a reflow apparatus using superheated steam as a medium, high-temperature and high-pressure superheated steam has a strong tendency to leak out of the heating chamber.
Further, the second problem to be solved is that in the reflow apparatus using superheated steam as a medium, the concentration of the component of molten solder scattered in the reflow apparatus rises indefinitely while the superheated steam is reused in the heating chamber. Is a point.
The third problem to be solved is that when heating a normal temperature workpiece with superheated steam, the superheated steam containing solder melting and scattering components is condensed and adhered to the workpiece surface until the workpiece is sufficiently heated. In the process where the work is contaminated and in the process of cooling the work after reflow, the superheated steam containing the solder melting and splashing component leaked from the reflow chamber becomes mist-like water droplets and adheres to the work, and the work is contaminated. Is a point.

リフロー装置は、利用する加熱媒体の特性に対応しなければ、リフロー装置として成立せず、実用化できない。窒素ガスと過熱水蒸気の加熱媒体としての特性には、大きな差異がある。窒素ガスは化学的に不活性であり、常温でもリフロー温度でも気相である。いっぽう過熱水蒸気は、温度降下によってたちまち液相(水)に相転換し、水としての性質を発揮する。
従って、過熱水蒸気を加熱媒体として利用するためには、過熱水蒸気の相転換にうまく対応することが必要である。
本発明は、過熱水蒸気をリフロー過熱媒体として利用するために、過熱水蒸気の気相から液相への相転換を利用して、使用済み過熱水蒸気を液化し、その中に含まれるはんだ溶融飛散物質を水滴中に捕集することによって、はんだの溶融によって生じた飛散成分の残渣を除去すると共に、ワークへの使用済み過熱水蒸気の結露を防止する手段を備えることを最も主要な特徴とする。
If the reflow device does not correspond to the characteristics of the heating medium to be used, it cannot be established as a reflow device and cannot be put into practical use. There is a great difference in the characteristics of nitrogen gas and superheated steam as heating media. Nitrogen gas is chemically inert and is in the gas phase at both ambient and reflow temperatures. On the other hand, superheated steam is instantly transformed into a liquid phase (water) due to a temperature drop and exhibits water properties.
Therefore, in order to use superheated steam as a heating medium, it is necessary to cope with the phase conversion of superheated steam.
In order to use superheated steam as a reflow superheated medium, the present invention utilizes the phase change of superheated steam from the gas phase to the liquid phase to liquefy the used superheated steam, and the solder melting and scattering material contained therein It is the most important feature that it is provided with a means for removing the residue of scattered components generated by melting of the solder by collecting the water in the water droplets and preventing the dew condensation of the used superheated steam on the workpiece.

本発明のリフロー装置は、はんだを印刷して部品を搭載した基板であるワークが複数の室を通過する間にリフローはんだ付を行うリフロー装置であって、電磁誘導ヒータ及び/あるいは電熱ヒータによって過熱水蒸気を生成する過熱水蒸気生成手段と、上記過熱水蒸気生成手段に水を供給する給水路と、過熱水蒸気でワークのはんだ付を行うリフローはんだ付手段と、電熱ヒータとファンが配設されたリフロー室と、使用後の過熱水蒸気を導出する導出路と、上記給水路と上記導出路を密接させて熱交換と過熱水蒸気の蒸留を行い、生成蒸留水中に溶融はんだ飛散成分を捕集するはんだ付残渣回収手段と、電熱ヒータとファンが配設された予熱室と、外気を取り込んでワークを空冷する冷却室とから成ることを特徴とする。   A reflow apparatus according to the present invention is a reflow apparatus that performs reflow soldering while a workpiece, which is a board on which a component is printed by printing solder, passes through a plurality of chambers, and is heated by an electromagnetic induction heater and / or an electric heater. A reflow chamber in which a superheated steam generating means for generating steam, a water supply passage for supplying water to the superheated steam generating means, a reflow soldering means for soldering a workpiece with superheated steam, an electric heater and a fan are provided. And a lead-out path for deriving the superheated steam after use, a soldering residue that collects molten solder scattering components in the generated distilled water by bringing the water supply path and the lead-out path into close contact to perform heat exchange and distillation of the superheated steam It is characterized by comprising a recovery means, a preheating chamber in which an electric heater and a fan are disposed, and a cooling chamber for taking in outside air and cooling the work.

また本発明のリフロー方法は、はんだを印刷して部品を搭載した基板であるワークが複数の室を通過する間にリフローはんだ付を行うリフロー方法であって、過熱水蒸気生成ステップと、上記過熱水蒸気生成手段に水を供給する給水路と、過熱水蒸気でワークのはんだ付を行うリフローはんだ付ステップと、使用後の過熱水蒸気を導出する導出路と、上記給水路と上記導出路を密接させて熱交換と過熱水蒸気の蒸留を行い、生成蒸留水中に溶融はんだ飛散成分を捕集するはんだ付残渣回収ステップとから成ることを特徴とする。   The reflow method of the present invention is a reflow method for performing reflow soldering while a work, which is a board on which a component is printed by printing solder, passes through a plurality of chambers, and includes a superheated steam generation step and the superheated steam. A water supply path for supplying water to the generating means, a reflow soldering step for soldering the workpiece with superheated steam, a lead-out path for deriving superheated steam after use, and the water supply path and the lead-out path are in close contact with each other It comprises a soldering residue recovery step of exchanging and distilling superheated steam and collecting molten solder scattering components in the generated distilled water.

本発明の過熱水蒸気を加熱媒体とするリフロー装置は、過熱水蒸気の気相から液相への相転換を利用して、はんだの溶融によって生じた飛散成分を除去すると共に、過熱水蒸気結露防止手段を備えるので、無公害かつランニングコストが低廉なリフロー装置が実現できるという利点がある。   The reflow apparatus using the superheated steam of the present invention as a heating medium uses a phase change of superheated steam from a gas phase to a liquid phase to remove scattered components generated by melting of the solder, and to provide a means for preventing superheated steam condensation. Since it is provided, there is an advantage that a reflow device that is pollution-free and low in running cost can be realized.

図1はリフロー装置の全体構成を示した説明図である。(実施例1)FIG. 1 is an explanatory diagram showing the overall configuration of the reflow apparatus. Example 1 図2はリフロー装置の動作のステップを説明するフロー図である。(実施例1)FIG. 2 is a flowchart for explaining the operation steps of the reflow apparatus. Example 1 図3は高周波誘電加熱ヒータの1例の構成を示した参考図である。(実施例1)FIG. 3 is a reference diagram showing a configuration of an example of a high frequency dielectric heater. Example 1

無公害かつランニングコストが低廉なリフローはんだ付を行うという目的を、過熱水蒸気を相転換した水分中に溶融はんだ飛散成分を捕集し、かつ過熱水蒸気の結露を防止することによって実現した。   The purpose of non-polluting and low-running reflow soldering has been realized by collecting molten solder scattered components in the water that has phase-converted superheated steam and preventing condensation of the superheated steam.

図1は、本発明リフロー装置の1実施例の全体構成を示す図である。
クリームはんだを印刷し、部品を搭載した基板であるワーク6を、基板搬入口23からリフロー装置1内に搬入し、搬送機構25によってリフロー装置内を搬送し、リフローはんだ付をした後、基板搬出口24から搬出する。この図では、装置の下半分の構成は、搬送機構25より上部と搬送ラインを軸とした回転対称であるので、詳細構成の図示を省略している。
FIG. 1 is a diagram showing the overall configuration of one embodiment of the reflow apparatus of the present invention.
After the cream solder is printed and the workpiece 6 which is a board on which the components are mounted is carried into the reflow apparatus 1 from the board carry-in entrance 23, the work 6 is transported through the reflow apparatus and reflow soldered. Unload from exit 24. In this figure, the configuration of the lower half of the apparatus is rotationally symmetric about the upper part of the transport mechanism 25 and the transport line, and therefore the detailed configuration is not shown.

リフロー装置1は、第1予熱ゾーン2と、第2予熱ゾーン3と、リフローゾーン4と、冷却ゾーン5で構成されている。   The reflow device 1 includes a first preheating zone 2, a second preheating zone 3, a reflow zone 4, and a cooling zone 5.

図1では、第1予熱ゾーン2が第1予熱室1室に対応するように図示しているが、具体的には必要により室数を複数にしてもよい。以下述べるその他のゾーンにおいても、対応する室の数を各1として図示しているが、同様に具体的な使用ニーズに応じて複数とすることができる。   In FIG. 1, the first preheating zone 2 is illustrated so as to correspond to one first preheating chamber, but more specifically, the number of chambers may be plural if necessary. In the other zones described below, the number of corresponding rooms is shown as one, but a plurality of rooms can be similarly provided according to specific use needs.

第1予熱室はヒータ7によって加熱された室内の空気をファン8により循環して、搬入されたワーク6を水の沸点である100°C程度に加熱する。適用するヒータ7は、電熱ヒータでもその他の種類のヒータでもよい。この予熱ステップは、ワークを予熱すると共に、水の沸点程度に加熱することにより、ワークがリフローゾーン4から漏出する可能性のある過熱水蒸気に接しても、その表面に結露を発生させない作用を持っている。   The first preheating chamber circulates the indoor air heated by the heater 7 by the fan 8 and heats the work 6 carried in to about 100 ° C. which is the boiling point of water. The applied heater 7 may be an electric heater or another type of heater. In this preheating step, the work is preheated and heated to about the boiling point of water, so that even if the work comes into contact with superheated steam that may leak from the reflow zone 4, it does not cause condensation on the surface. ing.

第2予熱室は、第2予熱ゾーン3に対応する加熱室であって、ヒータ(番号を示さず)によって加熱された室内の空気をファン(番号を示さず)により循環して、使用者において設定されたリフローはんだ付温度プロファイルに従って、第1予熱室で加熱されたワーク6を更に150°C乃至170°C程度に加熱する。第2予熱室は、リフロー室から漏出する可能性のある過熱水蒸気を排出する導出路を備えているが、その詳細については後述する。   The second preheating chamber is a heating chamber corresponding to the second preheating zone 3 and circulates indoor air heated by a heater (not shown) by a fan (not shown), and is used by the user. According to the set reflow soldering temperature profile, the workpiece 6 heated in the first preheating chamber is further heated to about 150 ° C. to 170 ° C. The second preheating chamber includes a lead-out path for discharging superheated steam that may leak from the reflow chamber, details of which will be described later.

リフロー室は、リフローゾーン4に対応する加熱室であって、リフロー装置1の運転開始時からヒータ(番号を示さず)によって加熱した室内の空気をファン(番号を示さず)により循環して、室内雰囲気と構成材などをリフローに必要な温度(230°乃至240°程度)に予熱する。室内温度が上昇したら、過熱水蒸気を導入し、内部の空気をすべて追い出したのち、リフローはんだ付を行う。   The reflow chamber is a heating chamber corresponding to the reflow zone 4 and circulates indoor air heated by a heater (not shown) from the start of operation of the reflow device 1 by a fan (not shown), Preheat indoor atmosphere and components to a temperature required for reflow (about 230 ° to 240 °). When the room temperature rises, superheated steam is introduced to expel all the air inside, and then reflow soldering is performed.

リフローはんだ付に適用する過熱水蒸気は、高周波電磁誘導ヒータ11で生成する。まず給水路入口9から給水路10を介して高周波電磁誘導ヒータ11に水を取り込み、高周波電磁誘導によりリフロー温度の240°C程度以上の温度の過熱水蒸気を生成する。生成した過熱水蒸気を過熱水蒸気ダクト12を介して、過熱水蒸気噴出口13からリフロー室内に噴出する。リフロー室が過熱水蒸気で充満されたことが酸素電極(図示せず)によって検知されたら、先に述べたワーク6を基板搬入口23から搬入し、このリフロー装置におけるはんだ付工程を開始する。リフロー装置の運転とワークのはんだ付ステップについては、後に詳しく説明する。なお、リフロー室内の温度は、温度センサ(図示せず)により検出して、はんだ付工程の制御信号としている。   Superheated steam applied to reflow soldering is generated by the high frequency electromagnetic induction heater 11. First, water is taken into the high frequency electromagnetic induction heater 11 from the water supply channel inlet 9 through the water supply channel 10, and superheated steam having a reflow temperature of about 240 ° C. or more is generated by high frequency electromagnetic induction. The generated superheated steam is jetted from the superheated steam jet 13 into the reflow chamber via the superheated steam duct 12. When it is detected by an oxygen electrode (not shown) that the reflow chamber is filled with superheated steam, the workpiece 6 described above is carried in from the board carry-in port 23, and the soldering process in this reflow apparatus is started. The operation of the reflow apparatus and the work soldering step will be described in detail later. The temperature in the reflow chamber is detected by a temperature sensor (not shown) and used as a control signal for the soldering process.

高周波電磁誘導ヒータ11で生成された過熱水蒸気は、高温高圧であり、急速にリフロー室内空間を充満し、ファン(番号を示さず)により室内を循環すると共にリフロー室下部に設定された噴射口14から、ワーク6に向けて噴射される。噴射口14は、平板に多数の小孔を開け、これに管状のガイドを設けてノズル形状としたものであり、ファンによって室内を循環する高温過熱水蒸気をワークに向けて噴射し、熱容量の大きい部品や、特に下面のみにはんだ接合部を備えた部品(BGA)のはんだ付を円滑に行っている(参考文献として非特許文献1参照)。   The superheated steam generated by the high-frequency electromagnetic induction heater 11 has a high temperature and a high pressure, rapidly fills the reflow room space, circulates in the room by a fan (not shown), and the injection port 14 set at the lower part of the reflow room. To the workpiece 6. The injection port 14 has a large number of small holes in a flat plate and is provided with a tubular guide to form a nozzle shape. The high-temperature superheated steam circulating in the room is injected by a fan toward the work and has a large heat capacity. The soldering of components (particularly, components (BGA) having solder joints only on the lower surface) is performed smoothly (see Non-Patent Document 1 as a reference).

従来の窒素ガス利用のリフロー装置では、媒体を無酸素はんだ付に必要な低酸素濃度レベルに維持するために、予熱ゾーンにもリフローゾーンにも窒素ガスを供給したので、窒素ガス費消空間が大きく、しかも漏出する窒素ガスの常時補給が必要であった。このために、窒素ガスの需要量が大きく、ランニングコストの面で問題があった。
本発明はこれに対して、リフローゾーンだけに過熱水蒸気を供給すればよいので、水の消費量が少なく、加熱コストもより低廉である。
加熱媒体の供給がリフローゾーンだけで済むのは、過熱水蒸気の特性によるものである。高周波電磁誘導ヒータ11で生成されたばかりの240°以上の高温過熱水蒸気は、1mol(18グラム)の水に相当する22.4リットルの容積が、常圧換算では気体方程式により約260リットルになる。このことは、高温高圧の過熱水蒸気が、常圧環境に接触すると、温度が降下して常温になるまでは、常時容積を膨張させる性質を有することを意味する。
即ち、リフロー室内の過熱水蒸気は、下部の平板の噴射口14から、より気圧の低い搬送機構部25に向って噴出し、ワーク6に向ってジェット流となって浴びせられる。またこの性質のため、リフロー室への過熱水蒸気の供給が続く限り、室内から空気が駆逐され、室内は無酸素状態に維持されるので、無酸素はんだ付が成立するのである。
In the conventional reflow apparatus using nitrogen gas, nitrogen gas is supplied to both the preheating zone and the reflow zone in order to maintain the medium at a low oxygen concentration level necessary for oxygen-free soldering, so that the nitrogen gas consumption space is large. Moreover, constant replenishment of leaking nitrogen gas was necessary. For this reason, the demand amount of nitrogen gas was large, and there existed a problem in terms of running cost.
The present invention, on the other hand, only needs to supply superheated steam only to the reflow zone, so that water consumption is small and the heating cost is lower.
The supply of the heating medium only in the reflow zone is due to the characteristics of superheated steam. The high-temperature superheated steam of 240 ° or more just generated by the high-frequency electromagnetic induction heater 11 has a volume of 22.4 liters corresponding to 1 mol (18 grams) of water, and becomes about 260 liters in terms of atmospheric pressure according to the gas equation. This means that when the high-temperature and high-pressure superheated steam is brought into contact with the normal pressure environment, the volume is constantly expanded until the temperature drops to room temperature.
That is, the superheated steam in the reflow chamber is ejected from the lower flat jet port 14 toward the transport mechanism unit 25 having a lower atmospheric pressure, and bathed as a jet stream toward the work 6. Further, because of this property, as long as the superheated steam is continuously supplied to the reflow chamber, air is expelled from the room and the room is maintained in an oxygen-free state, so that oxygen-free soldering is established.

ここで、この実施例に利用した高周波電磁誘導ヒータ11について、説明する。
一般には種々の形態の高周波電磁誘導ヒータ技術が実施されているが、この実施例ではその中の1形態のものを利用している。その構成を参考図として図3に示す。図3は特許文献8から引用したものである。
図3において、導電性材料から成る発熱曲管10に流体を流し、コイル14に高周波電流を流すと、その磁束によってコイルの内側に磁界が発生し、発熱曲管10に渦電流が生じ、固有抵抗のためにジュール熱が発生して、管内を流れる流体に熱伝達して流体が加熱される。
Here, the high frequency electromagnetic induction heater 11 used in this embodiment will be described.
In general, various types of high-frequency electromagnetic induction heater technologies are implemented, but in this embodiment, one of them is used. The configuration is shown in FIG. 3 as a reference diagram. FIG. 3 is cited from Patent Document 8.
In FIG. 3, when a fluid is passed through the heat generating bent tube 10 made of a conductive material and a high-frequency current is passed through the coil 14, a magnetic field is generated inside the coil by the magnetic flux, and an eddy current is generated in the heat generating bent tube 10, which is unique. Joule heat is generated due to the resistance, and heat is transferred to the fluid flowing in the pipe to heat the fluid.

図1におけるこの実施例の高周波電磁誘導ヒータ11は、1台のユニットで水から過熱水蒸気を生成するように図示されているが、水を加熱して水蒸気を生成するユニットと水蒸気を加熱して過熱水蒸気を生成するユニットを連接してもよい。あるいは、水から水蒸気を生成するステップに電熱ヒータを用い、生成した水蒸気を過熱水蒸気とするステップに、他の電熱ヒータを用いることや、あるいは高周波電磁誘導ヒータを用いることも可能である。いずれの生成方法を用いても、本発明における過熱水蒸気特性利用リフロー装置の利点が得られることは、言うまでもない。   Although the high-frequency electromagnetic induction heater 11 of this embodiment in FIG. 1 is illustrated to generate superheated steam from water in one unit, the unit that generates water vapor by heating water and the water vapor are heated. You may connect the unit which produces | generates superheated steam. Alternatively, it is also possible to use an electric heater in the step of generating water vapor from water and use another electric heater or a high-frequency electromagnetic induction heater in the step of using the generated water vapor as superheated water vapor. It goes without saying that the advantage of the reflow device utilizing superheated steam characteristics in the present invention can be obtained by using any production method.

ワーク6に吹き付けられた使用後の過熱水蒸気は、ファン15によって使用後過熱水蒸気吸入口16から吸入され、使用後過熱水蒸気導出路17を介して、はんだ付残渣回収装置18に導入される。このようにして、リフロー室内は、常に新鮮な過熱水蒸気で満たされ、使用後の気体は直ちに排出される。また、リフローゾーン4からリフロー装置内に漏出した過熱水蒸気も、使用後過熱水蒸気導出路17を通ってはんだ付残渣回収装置18に導入される。   The used superheated steam sprayed on the workpiece 6 is sucked by the fan 15 from the used superheated steam suction port 16 and introduced into the soldered residue collecting device 18 through the used superheated steam lead-out path 17. In this way, the reflow chamber is always filled with fresh superheated steam, and the used gas is immediately discharged. Further, the superheated steam leaked from the reflow zone 4 into the reflow device is also introduced into the soldering residue collecting device 18 through the post-use superheated steam outlet passage 17.

はんだ付残渣回収装置18は、熱交換式の蒸留装置であって、給水路入口9から供給された常温水によって、使用後過熱水蒸気を冷却蒸留する。使用後過熱水蒸気はここで、少なくも70°C以下に冷却されて相転換し、水となる。この水には、はんだ溶解によって飛散したフラックス成分やヒューム成分や微小なはんだ粒子が吸着あるいは溶解し、はんだ溶融残渣が捕集される。生成する水の容積は、気体の過熱水蒸気よりも非常に小さいので、廃棄処理あるいは再生処理にも非常に便利である。排水は排水口10から排出される。
いっぽう、この熱交換によって加熱水蒸気の熱エネルギーが水に移行し、高周波電磁誘導ヒータ11に供給される水が加熱されるので、高周波電磁誘導ヒータ11の加熱電力コストの節約に貢献している。
The soldering residue collecting device 18 is a heat exchange type distillation device, and cools and distills the superheated steam after use with normal temperature water supplied from the water supply channel inlet 9. After use, the superheated steam is cooled to at least 70 ° C. or less and phase-converted to become water. This water adsorbs or dissolves flux components, fume components and fine solder particles scattered by melting the solder, and collects the molten solder residue. Since the volume of water produced is much smaller than gaseous superheated steam, it is also very convenient for disposal or regeneration. The waste water is discharged from the drain port 10.
On the other hand, the heat energy of the heated steam is transferred to water by this heat exchange, and the water supplied to the high-frequency electromagnetic induction heater 11 is heated, which contributes to the saving of the heating power cost of the high-frequency electromagnetic induction heater 11.

リフロー室と第2予熱室の壁下端には、逆T字型の仕切り20を設けている。また、冷却室のリフロー室寄りの壁下端にも仕切り20を設けている。これらは過熱水蒸気の漏出を最小限にするための仕切りであり、それでも漏出した少量の過熱水蒸気は、使用後過熱水蒸気導出路17に集められる。   An inverted T-shaped partition 20 is provided at the lower end of the reflow chamber and the second preheating chamber. A partition 20 is also provided at the lower end of the cooling chamber near the reflow chamber. These are partitions for minimizing leakage of superheated steam, and a small amount of leaked superheated steam is still collected in the superheated steam outlet 17 after use.

リフロー後のワーク6は、冷却ゾーン5の冷却室において空冷された後、基板搬出口24から搬出される。冷却室には外気取入口21より外気が導入され、ファン(番号を示さず)によって循環されつつワーク6を冷却し、排気口22より装置外へ排気される。この送風冷却は、リフローゾーンから漏出する可能性のある過熱水蒸気の冷却室への浸入防止作用がある。   The reflowed work 6 is air-cooled in the cooling chamber of the cooling zone 5 and then carried out from the substrate carry-out port 24. Outside air is introduced into the cooling chamber from the outside air inlet 21, the work 6 is cooled while being circulated by a fan (not shown), and is exhausted out of the apparatus through the exhaust port 22. This air cooling has an effect of preventing the entry of superheated steam that may leak out of the reflow zone into the cooling chamber.

次に、図2を参照して、この実施例の動作ステップを説明する。
まず、リフロー装置の電源を投入し(ST1)、第1予熱室、第2予熱室、およびリフロー室のヒータとファンを始動する(ST2)。第1予熱室の室内温度が約100°C、第2予熱室の室内温度が150°乃至170°程度の使用者設定温度に、またリフロー室の室内温度が230°C乃至240°C程度の使用者設定温度にそれぞれ到達したら(ST3)、電磁誘導ヒータに送水を開始し(ST4)、生成した過熱水蒸気をリフロー室に送気する(ST5)。
Next, operation steps of this embodiment will be described with reference to FIG.
First, the power source of the reflow device is turned on (ST1), and the heaters and fans in the first preheating chamber, the second preheating chamber, and the reflow chamber are started (ST2). The room temperature of the first preheating chamber is about 100 ° C, the room temperature of the second preheating chamber is a user set temperature of about 150 ° to 170 °, and the room temperature of the reflow chamber is about 230 ° C to 240 ° C. When the user set temperature is reached (ST3), water supply to the electromagnetic induction heater is started (ST4), and the generated superheated steam is supplied to the reflow chamber (ST5).

リフロー室に設置した酸素電極の信号によって、過熱水蒸気がリフロー室に充満し(ST6)、設定したリフロー温度に到達したら、リフロー装置にワークを搬入する(ST7)。第1予熱室でワークを100°C程度に加熱した後(ST8)、第2予熱室で設定した予熱温度に加熱する(ST9)。その後、ワークをリフロー室に進め、過熱水蒸気の噴射によってリフローはんだ溶融を行う(ST10)。ワークの加熱は、使用者が設定した温度プロファイルに従って実行される。最後にワークは冷却室で送気空冷され(S12)、リフロー装置から搬出される(ST13)。   The superheated steam is filled in the reflow chamber by the signal of the oxygen electrode installed in the reflow chamber (ST6), and when the set reflow temperature is reached, the work is carried into the reflow apparatus (ST7). After the workpiece is heated to about 100 ° C. in the first preheating chamber (ST8), it is heated to the preheating temperature set in the second preheating chamber (ST9). Thereafter, the work is advanced to the reflow chamber, and reflow solder melting is performed by injection of superheated steam (ST10). The workpiece is heated according to a temperature profile set by the user. Finally, the work is air-air cooled in the cooling chamber (S12) and carried out of the reflow device (ST13).

リフロー室においてワークに向けて噴射された使用後過熱水蒸気は、はんだ残渣回収装置に導入され、供給水との熱交換により飛散成分が捕集され、除去される(S11)。   The post-use superheated steam sprayed toward the workpiece in the reflow chamber is introduced into the solder residue collecting device, and scattered components are collected and removed by heat exchange with the supply water (S11).

リフロー室のみをリフロー温度にしてリフローはんだ付を行うことで、使用する加熱媒体の容積を最少としてコストの低減ができ、熱交換によって加熱媒体を液相としてはんだ溶融飛散成分を捕集する公害対策用途にも適用できる。   By performing reflow soldering with only the reflow chamber at the reflow temperature, the volume of the heating medium to be used can be minimized and the cost can be reduced, and pollution measures to collect solder melting and scattering components by using the heating medium as the liquid phase by heat exchange It can also be applied to applications.

1 リフロー装置
2 第1予熱ゾーン
3 第2予熱ゾーン
4 リフローゾーン
11 高周波電磁誘導ヒータ
18 はんだ付残渣回収装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Reflow apparatus 2 1st preheating zone 3 2nd preheating zone 4 Reflow zone 11 High frequency electromagnetic induction heater 18 Soldering residue collection apparatus

Claims (2)

はんだを印刷して部品を搭載した基板であるワークが複数の室を通過する間にリフローはんだ付を行うリフロー装置であって、
電磁誘導ヒータ及び/あるいは電熱ヒータによって過熱水蒸気を生成する過熱水蒸気生成手段と、
上記過熱水蒸気生成手段に水を供給する給水路と、
過熱水蒸気でワークのはんだ付を行うリフローはんだ付手段と、
電熱ヒータとファンが配設されたリフロー室と、
使用後の過熱水蒸気を導出する導出路と、
上記給水路と上記導出路を密接させて熱交換と過熱水蒸気の蒸留を行い、生成蒸留水中に溶融はんだ飛散成分を捕集するはんだ付残渣回収手段と、
電熱ヒータとファンが配設された予熱室と、
外気を取り込んでワークを空冷する冷却室と
から成ることを特徴とするリフロー装置。
A reflow apparatus that performs reflow soldering while a workpiece, which is a substrate on which a component is printed by printing solder, passes through a plurality of chambers,
Superheated steam generating means for generating superheated steam by an electromagnetic induction heater and / or an electric heater;
A water supply channel for supplying water to the superheated steam generating means;
Reflow soldering means for soldering the workpiece with superheated steam;
A reflow chamber in which an electric heater and a fan are disposed;
A lead-out path for deriving superheated steam after use;
Soldering residue collection means for collecting the molten solder scattering component in the produced distilled water by performing heat exchange and distillation of superheated steam by bringing the water supply channel and the outlet channel into close contact with each other,
A preheating chamber in which an electric heater and a fan are disposed;
A reflow apparatus comprising a cooling chamber that takes in outside air and air-cools a workpiece.
はんだを印刷して部品を搭載した基板であるワークが複数の室を通過する間にリフローはんだ付を行うリフロー方法であって、
過熱水蒸気生成ステップと、
上記過熱水蒸気生成手段に水を供給する給水路と、
過熱水蒸気でワークのはんだ付を行うリフローはんだ付ステップと、
使用後の過熱水蒸気を導出する導出路と、
上記給水路と上記導出路を密接させて熱交換と過熱水蒸気の蒸留を行い、生成蒸留水中に溶融はんだ飛散成分を捕集するはんだ付残渣回収ステップと
から成ることを特徴とするリフロー方法。
A reflow method for performing reflow soldering while a workpiece, which is a substrate on which a component is printed by printing solder, passes through a plurality of chambers,
A superheated steam generation step;
A water supply channel for supplying water to the superheated steam generating means;
A reflow soldering step for soldering the workpiece with superheated steam;
A lead-out path for deriving superheated steam after use;
A reflow method comprising: a soldering residue recovery step of bringing the molten water splash component into the produced distilled water by closely exchanging heat supply steam and superheated steam by bringing the water supply channel and the outlet channel into close contact with each other.
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