JP2011081056A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. 第一基板と、
   前記第一基板に対向配置され、前記第一基板に接合される第二基板と、
   前記第一基板に設けられた第一ミラーと、
   前記第二基板に設けられ、前記第一ミラーに対向配置された第二ミラーと、
   前記第一基板に設けられる第一電極、および前記第二基板において前記第一電極に対向して設けられる第二電極を有し、これらの前記第一電極および前記第二電極の間に所定の電圧を印加することで、前記第一ミラーと前記第二ミラーとの間の寸法を変化させる静電アクチュエーターと、
   前記第一基板の外周部に形成されるとともに、前記第一電極に電気的に接続される第一電極パッドと、
   前記第一基板の外周部に形成されるとともに、前記第一電極とは絶縁される第二電極パッドと、
   を備え、
   前記第一基板および前記第二基板は、対向する面に第一の接合面と第二接合面を備え、前記第一接合面と前記第二接合面とは導電性の接合層により接合され、
   前記第二電極および前記第二電極パッドは、前記接合層を介して導通される
   ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
2. 請求項１に記載の波長可変干渉フィルターにおいて、
   前記接合面は、前記第一基板および前記第二基板を厚さ方向から見た平面視において、前記第一基板および前記第二基板の外周部分に沿って設けられる外周接合領域を備え、
   前記第一基板の外周接合領域には、前記第二電極パッドに接続される導電性の第一接合膜が形成され、
   前記第二基板の外周接合領域には、前記第二電極に接続される導電性の第二接合膜が形成され、
   前記接合層は、前記第一接合膜および前記第二接合膜を接合した第一接続接合部を備える
   ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
3. 請求項１または請求項２に記載の波長可変干渉フィルターにおいて、
   第二基板上に設けられるとともに、前記第一基板および前記第二基板を厚み方向から見た平面視において、前記第二電極の外周縁から前記第二基板の外周方向に向かって延びる導電性の第二電極引出部と、
   前記第一基板上に設けられるとともに、前記平面視において、前記第二電極パッドの外周縁から前記第一基板の内方向に向かって延びる導電性の第二パッド引出部と、
   を備え、
   前記第一基板の前記第一接合面は、前記第二電極引出部の少なくとも一部が設けられる第一引出部接合領域を備え、
   前記第二基板の前記第二接合面は、前記第二パッド引出部の少なくとも一部が設けられ、前記第一引出部接合領域に対向する第二引出部接合領域を備え、
   前記接合層は、前記第一引出部接合領域の前記第二電極引出部、および前記第二引出部接合領域の前記第二パッド引出部を接合した第二接続接合部を備える
   ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
4. 請求項１から請求項３のいずれかに記載の波長可変干渉フィルターにおいて、
   前記第二基板は、前記第一基板および前記第二基板を基板厚み方向から見た平面視において、前記第一電極パッドおよび前記第二電極パッドと重なる位置に、前記第二基板の前記第一基板に対向する面側の空間と、前記第一基板とは対向しない面側の空間とを連通する連通部を備えた
   ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
5. 請求項１から請求項４のいずれかに記載の波長可変干渉フィルターと、
   前記波長可変干渉フィルターを透過した検査対象光を受光する受光手段と、
   を備えることを特徴とする測色センサー。
6. 請求項５に記載の測色センサーと、
   前記測色センサーの前記受光手段により受光された光に基づいて、測色処理を実施する
   測色処理部と、
   を具備したことを特徴とする測色モジュール。