JP2011075431A - 表面欠陥検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】標準試料に作り込み欠陥が形成され異物欠陥判定機構11により、欠陥が判定されてデータ処理部12に欠陥データが供給される。データ処理部11は、標準試料の作り込み欠陥と検出欠陥との座標ずれ量を算出し、感度(装置感度(輝度、明るさ等))の確認を行い、ハードによる補正の実行に進む、座標ずれが一定値未満であれば、ソフトによる補正を実行する。ソフト補正の場合、標準試料全体の座標補正を行い座標ずれ量を算出し確認する。座標ずれ量が許容外であれば標準試料の分割した領域毎に座標補正を行う。
【選択図】図1
Description
表面欠陥検査装置および表面欠陥検査方法において、予め座標が既知の欠陥が形成された標準試料に照明光を照射し、上記標準試料からの散乱光を検出して表面の欠陥の画像座標を補正し、補正した画像座標に基づいて、被検査体の表面の欠陥を検査する。
例を示したが、図12に示すように、複数の同心円状に分割し、かつ、半径方向に延びる複数の線により、分割された領域とすることもできる。さらに、複数の正方形に分割し、正方形の面積が、標準試料6hの中央部を大とし、周辺部を小とすることも可能である。
Claims (14)
- 被検体に照明光を照射し、上記被検体からの散乱光を検出し、上記被検体の表面の欠陥を検査する表面欠陥検査方法において、
予め座標が既知の欠陥を標準試料に形成し、
上記標準試料に照明光を照射し、上記標準試料からの散乱光を検出し、
検出した上記標準試料の表面の欠陥の画像座標を、上記既知の座標に基づいて補正し、
補正した画像座標に基づいて、被検査体の表面の欠陥を検査することを特徴とする表面欠陥検査方法。 - 請求項1に記載の表面欠陥検査方法において、
検出した上記標準試料の表面の欠陥の画像座標と上記既知の座標との差を算出し、上記座標差が所定値より大か否かを判断し、上記座標差が所定値より大の場合は、上記散乱光の検出機構を調整し、上記座標差が所定値以下の場合は、上記座標差に基いて、得られた画像座標を補正して、補正した画像座標に基づいて、被検査体の表面の欠陥を検査することを特徴とする表面欠陥検査方法。 - 請求項2に記載の表面欠陥検査方法において、
上記座標差が所定値以下の場合は、上記標準試料の座標に基づいて、得られた画像座標の全体の座標を補正し、補正した全体の座標と上記標準試料の座標との全体差を算出し、算出した全体差が許容外の場合は、上記標準試料を複数の領域に分割し、分割した領域毎に、上記標準試料と、上記得られた画像座標との領域差を算出し、上記分割した領域毎に、画像座標を補正して、補正した画像座標に基づいて、被検査体の表面の欠陥を検査することを特徴とする表面欠陥検査方法。 - 請求項3に記載の表面欠陥検査方法において、
上記座標差は、回転方向ずれ量、伸縮ずれ量、搬送ずれ量、光軸ずれ量であることを特徴とする表面欠陥検査方法。 - 請求項1に記載の表面欠陥検査方法において、
上記複数の欠陥は、上記標準試料の全面に均等に形成され、上記散乱光によって検出可能な形状、サイズ、位置を有することを特徴とする表面欠陥検査方法。 - 請求項3に記載の表面欠陥検査方法において、
上記標準試料の分割された複数の領域には、少なくとも1つの欠陥が形成されていることを特徴とする表面欠陥検査方法。 - 請求項3に記載の表面欠陥検査方法において、
上記分割した領域毎に、画像座標を補正した後、欠陥感度が許容外か否かを判断し、許容外であれば、上記欠陥検出感度を許容内となるように補正することを特徴とする表面欠陥検査方法。 - 光源と、
被検体が配置され、移動可能なステージと、
上記光源からの光を上記ステージ上に配置された被検体に照射する照明手段と、
上記被検体からの散乱光を検出する散乱光検出手段と、
上記散乱光検出手段により検出された散乱光に基づいて、上記被検体の表面の欠陥を検出する欠陥検出手段と、
上記ステージ及び上記照明手段の動作を制御し、予め座標が既知の欠陥が形成された標準試料に照明光を照射し、上記標準試料からの散乱光を検出し、検出した上記標準試料の表面の欠陥の画像座標を、上記既知の座標に基づいて補正するデータ処理制御部と、
を備えることを特徴とする表面欠陥検査装置。 - 請求項8に記載の表面欠陥検査装置において、
上記データ処理制御部は、検出した上記標準試料の表面の欠陥の画像座標と上記既知の座標との差を算出し、上記座標差が所定値より大か否かを判断し、上記座標差が所定値より大の場合は、上記散乱光検出手段を調整し、上記座標差が所定値以下の場合は、上記座標差に基いて、得られた画像座標を補正して、補正した画像座標に基づいて、被検査体の表面の欠陥を検査することを特徴とする表面欠陥検査装置。 - 請求項9に記載の表面欠陥検査装置において、
上記データ処理制御部は、上記座標差が所定値以下の場合は、上記標準試料の座標に基づいて、得られた画像座標の全体の座標を補正し、補正した全体の座標と上記標準試料の座標との全体差を算出し、算出した全体差が許容外の場合は、上記標準試料を複数の領域に分割し、分割した領域毎に、上記標準試料と、上記得られた画像座標との領域差を算出し、上記分割した領域毎に、画像座標を補正して、補正した画像座標に基づいて、被検査体の表面の欠陥を検査することを特徴とする表面欠陥検査装置。 - 請求項10に記載の表面欠陥検査装置において、
上記座標差は、回転方向ずれ量、伸縮ずれ量、搬送ずれ量、光軸ずれ量であることを特徴とする表面欠陥検査装置。 - 請求項8に記載の表面欠陥検査装置において、
上記複数の欠陥は、上記標準試料の全面に均等に形成され、上記散乱光によって検出可能な形状、サイズ、位置を有することを特徴とする表面欠陥検査装置。 - 請求項10に記載の表面欠陥検査装置において、
上記標準試料の分割された複数の領域には、少なくとも1つの欠陥が形成されていることを特徴とする表面欠陥検査装置。 - 請求項10に記載の表面欠陥検査装置において、
上記分割した領域毎に、画像座標を補正した後、欠陥感度が許容外か否かを判断し、許容外であれば、上記欠陥検出感度を許容内となるように補正することを特徴とする表面欠陥検査装置。
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