JP2011064222A - Connecting structure for vacuum seal, and vacuum device equipped with connecting structure - Google Patents

Connecting structure for vacuum seal, and vacuum device equipped with connecting structure Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a connecting structure for a vacuum seal, performing vacuum seal, electric insulation and distance fixing between parts forming a vacuum device at the same time and improving the assemblability and manufacturing cost as compared with conventional examples. <P>SOLUTION: The connecting structure 100B for the vacuum seal includes the electrical conductive parts 20, 21 forming the vacuum device and an insulative seal member 10 integrally formed with an annular seal portion 12 securing airtightness between the parts 20, 21 and an annular spacer portion 11 fixing a distance between the parts 20, 21. A first annular groove 13 is formed in a main face of the seal member 10 between the seal portion 12 and the spacer portion 11. A second groove 14 communicating with the first groove 13 is formed in the main face to penetrate the spacer portion 11 in the width direction of the spacer portion 11. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、真空シール用の接続構造およびこの接続構造を備えた真空装置に関する。特に、本発明は、真空装置を構成する部品間の気密性を確保できるシール部と、これらの部品間の間隔を固定できるスペーサ部と、が一体に設けられたシール部材の改良に関する。   The present invention relates to a connection structure for a vacuum seal and a vacuum apparatus provided with the connection structure. In particular, the present invention relates to an improvement in a seal member in which a seal portion that can ensure airtightness between components constituting a vacuum apparatus and a spacer portion that can fix a distance between these components are integrally provided.

弾性材料からなるシールと総称される部品や素材（以下、「シール部材」という）が、流体機械や真空装置の気密性の確保に幅広く使用されている。   Parts and materials (hereinafter referred to as “seal members”) collectively referred to as seals made of an elastic material are widely used to ensure the airtightness of fluid machinery and vacuum devices.

このようなシール部材は、流体機械や真空装置の性能維持に重要な役割を果たすので、シール部材に関する様々な改良が従来から提案されている。   Since such a sealing member plays an important role in maintaining the performance of a fluid machine or a vacuum apparatus, various improvements related to the sealing member have been proposed.

例えば、サニタリー配管用の中空円板状のガスケット（シール部材の一種）の両面において、シール部材の環状の凸部（シール部）が記載された従来例がある（特許文献１）。同様に、核融合装置の真空容器の絶縁シール用のＦＲＰガスケットの両面において、シール部材の環状の凸部（シール部）と、シール部材の板状の部分（スペーサ部）と、を一体化した構造を示した従来例がある（特許文献２）。   For example, there is a conventional example in which annular convex portions (seal portions) of a seal member are described on both surfaces of a hollow disc-shaped gasket (a kind of seal member) for sanitary piping (Patent Document 1). Similarly, on both surfaces of the FRP gasket for insulation sealing of the vacuum vessel of the nuclear fusion apparatus, the annular convex portion (seal portion) of the seal member and the plate-like portion (spacer portion) of the seal member are integrated. There is a conventional example showing the structure (Patent Document 2).

以上の特許文献１、２では、凸部が当たるフランジ部に凹部が形成されることが示されており、これにより、凸部での適切なシールが行われるとされている。   In the above Patent Documents 1 and 2, it is shown that a concave portion is formed in the flange portion against which the convex portion hits, and accordingly, proper sealing at the convex portion is performed.

また、エンジンのシリンダヘッド用のガスケットにおいて、電子線照射による電子線架橋が行われ、ガスケットの硬度を変化できる技術を記載する従来例がある（特許文献３）。   In addition, there is a conventional example that describes a technique that can change the hardness of a gasket by performing electron beam crosslinking by electron beam irradiation in a gasket for an engine cylinder head (Patent Document 3).

また、２ピース式スリットバルブドアにおいて、シール部材の凸部（シール部）が押圧された場合の、凸部の弾性変形が行われる溝状の逃げ部が記載された従来例がある（特許文献４）。   Further, in a two-piece slit valve door, there is a conventional example in which a groove-shaped relief portion is described in which the convex portion is elastically deformed when the convex portion (seal portion) of the seal member is pressed (Patent Literature). 4).

ところで、蒸着装置やスパッタリング装置などの真空装置では、真空装置を構成する部品（例えば、電極および真空容器のフランジなど）間の真空シール、電気絶縁および間隔固定を同時に行えると便利な場合がある。   By the way, in a vacuum apparatus such as a vapor deposition apparatus or a sputtering apparatus, it may be convenient to simultaneously perform vacuum sealing, electrical insulation, and interval fixing between components (for example, an electrode and a flange of a vacuum vessel) constituting the vacuum apparatus.

そこで、図６に、このような従来の接続構造を例示している。   FIG. 6 illustrates such a conventional connection structure.

図６（ａ）の真空装置２００では、絶縁フランジ２０１を用いるタイプの接続構造２００Ａが示されている。   In the vacuum apparatus 200 of FIG. 6A, a connection structure 200A using an insulating flange 201 is shown.

図６（ａ）に示すように、導電性の電極２０２と導電性の真空容器のフランジ２０３との間には環状の絶縁フランジ２０１が挿入されている。これらの電極２０２および絶縁フランジ２０１が共に、ボルト２０４、および、ボルト２０４への通電防止用の絶縁カラー２０５を用いて真空容器のフランジ２０３の端面に締結されている。これにより、電極２０２と真空容器のフランジ２０３との間が、硬質の絶縁フランジ２０１によって好適な間隔を保って固定され、かつ、両者間の絶縁が行われる。   As shown in FIG. 6A, an annular insulating flange 201 is inserted between the conductive electrode 202 and the flange 203 of the conductive vacuum vessel. Both the electrode 202 and the insulating flange 201 are fastened to the end face of the flange 203 of the vacuum vessel using a bolt 204 and an insulating collar 205 for preventing current from being supplied to the bolt 204. As a result, the electrode 202 and the flange 203 of the vacuum vessel are fixed at a suitable distance by the hard insulating flange 201, and insulation between them is performed.

また、電極２０２の表面および真空容器のフランジ２０３の端面のそれぞれには、環状の溝加工が施されている。そして、Ｏリング２０６をこれらの環状溝に配することによって、接続構造２００Ａの真空シールが行われる。   Each of the surface of the electrode 202 and the end surface of the flange 203 of the vacuum vessel is provided with an annular groove. Then, by placing the O-ring 206 in these annular grooves, the connection structure 200A is vacuum-sealed.

一方、図６（ｂ）の真空装置３００では、絶縁スペーサ３０１と甲丸リング３０６とを組み合わせたタイプの接続構造３００Ａが示されている。   On the other hand, in the vacuum apparatus 300 of FIG. 6B, a connection structure 300A of a type in which an insulating spacer 301 and a round ring 306 are combined is shown.

図６（ｂ）に示すように、導電性の電極３０２と導電性の真空容器のフランジ３０３との間には環状の絶縁スペーサ３０１が挿入されている。これらの電極３０２および絶縁スペーサ３０１が共に、ボルト３０４、および、ボルト３０４への通電防止用の絶縁カラー３０５を用いて真空容器のフランジ３０３の端面に締結されている。これにより、電極３０２と真空容器のフランジ３０３との間が、硬質の絶縁スペーサ３０１によって好適な間隔を保って固定され、かつ、両者間の絶縁が行われる。   As shown in FIG. 6B, an annular insulating spacer 301 is inserted between the conductive electrode 302 and the flange 303 of the conductive vacuum vessel. Both the electrode 302 and the insulating spacer 301 are fastened to the end face of the flange 303 of the vacuum vessel using a bolt 304 and an insulating collar 305 for preventing energization of the bolt 304. As a result, the electrode 302 and the flange 303 of the vacuum vessel are fixed at a suitable distance by the hard insulating spacer 301, and insulation between them is performed.

また、真空容器のフランジ３０３の端面には、環状の溝加工が施されている。そして、甲丸リング３０６をこの環状溝に配することによって、接続構造３００Ａの真空シールが行われる。   Further, an annular groove is formed on the end face of the flange 303 of the vacuum vessel. And the vacuum seal of the connection structure 300 </ b> A is performed by arranging the upper ring 306 in the annular groove.

特開平５−９９３４３号公報JP-A-5-99343 実開昭６１−３８５９２号公報Japanese Utility Model Publication No. 61-38592 特開２００３−２８３０６号公報JP 2003-28306 A 特表２００１−５１２８９７号公報Special table 2001-512897 gazette

ところで、従来例の接続構造２００Ａでは、Ｏリング２０６用の２つの環状溝加工、および、絶縁フランジ２０１の配設が必要となるので、接続構造２００Ａの組立性やコスト面において不都合があると考えられる。   By the way, in the connection structure 200A of the conventional example, it is necessary to process two annular grooves for the O-ring 206 and dispose the insulating flange 201. Therefore, it is considered that there is an inconvenience in assembling and cost of the connection structure 200A. It is done.

また、従来例の接続構造３００Ａでも、甲丸リング３０６用の環状溝加工、および、絶縁スペーサ３０１の配設が必要となるので、接続構造３００Ａの組立性やコスト面において不都合があると考えられる。   Further, in the connection structure 300A of the conventional example, since it is necessary to process the annular groove for the upper ring 306 and to dispose the insulating spacer 301, it is considered that there is an inconvenience in assembling and cost of the connection structure 300A. .

そこで、部品間の気密性を確保できるシール部（例えば、図６（ａ）ではＯリング２０６、および、図６（ｂ）では甲丸リング３０６が相当）と、これらの部品間の間隔を固定できるスペーサ部（例えば、図６（ａ）では絶縁フランジ２０１、および、図６（ｂ）では絶縁カラー３０１が相当）と、を一体に構成できると、部品点数の削減によって従来例の接続構造２００Ａ、３００Ａに比較して接続構造の組立性やコスト面において有利となる可能性が高いので好都合である。   Therefore, the seal portion (for example, the O-ring 206 in FIG. 6A and the Kogan ring 306 in FIG. 6B corresponds to the seal portion) that can ensure airtightness between the components, and the interval between these components is fixed. When the spacer portion (for example, the insulating flange 201 in FIG. 6A and the insulating collar 301 in FIG. 6B) can be integrally formed, the connection structure 200A of the conventional example can be achieved by reducing the number of parts. Compared to 300A, it is advantageous because it is likely to be advantageous in terms of assembly and cost of the connection structure.

一方、上述のとおり、ガスケットのシール部およびスペーサ部が一体化された構造は、特許文献２においてすでに開示されている。しかし、この特許文献２に記載の接続構造では、ガスケットのシール部（環状の凸部）を嵌める溝（凹部）が、フランジに加工されているので、コスト面において未だ改善の余地がある。   On the other hand, as described above, Patent Document 2 has already disclosed a structure in which a gasket seal portion and a spacer portion are integrated. However, in the connection structure described in Patent Document 2, since the groove (concave portion) into which the gasket seal portion (annular convex portion) is fitted is formed in the flange, there is still room for improvement in terms of cost.

また、仮にこのような凹部を加工しなくても、シールを行うことができるが、この場合、シール部以外の板状の部分が適切にフランジに当接できずに、両者間の隙間が生じて締結される。すると、ボルトの締め付け具合によってフランジの取り付け角度や取り付け位置が変わるという接続構造の組立性の問題が生じる。   Further, even if such a recess is not processed, sealing can be performed, but in this case, a plate-like portion other than the seal portion cannot properly contact the flange, resulting in a gap between the two. And concluded. Then, the problem of the assembling property of the connection structure that the mounting angle and mounting position of the flange change depending on the tightening condition of the bolt occurs.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、真空装置を構成する部品間の真空シール、電気絶縁および間隔固定が同時に行われ、組立性および製造コストが従来例よりも改善できる真空シール用の接続構造を提供することを目的とする。また、本発明は、このような接続構造を備えた真空装置を提供することも目的とする   The present invention has been made in view of such circumstances, and vacuum sealing, electrical insulation, and interval fixing between components constituting the vacuum apparatus are performed at the same time, and assembling property and manufacturing cost can be improved as compared with the conventional example. An object is to provide a connection structure for a vacuum seal. Another object of the present invention is to provide a vacuum apparatus having such a connection structure.

上記課題を解決するため、本発明は、真空装置を構成する導電性の部品と、
前記部品間の気密性を確保できる環状のシール部と、前記部品間の間隔を固定できる環状のスペーサ部と、が一体に設けられた絶縁性のシール部材と、を備え、
前記シール部と前記スペーサ部との間において、環状の第１溝が、前記シール部材の主面に形成され、かつ、前記第１溝に連通する第２溝が、前記スペーサ部を前記スペーサ部の幅方向に貫通するよう、前記主面に形成されている真空シール用の接続構造を提供する。 In order to solve the above problems, the present invention provides a conductive part constituting a vacuum apparatus,
An insulating seal member integrally provided with an annular seal portion that can ensure airtightness between the components and an annular spacer portion that can fix the interval between the components;
An annular first groove is formed on the main surface of the seal member between the seal portion and the spacer portion, and a second groove communicating with the first groove is used to connect the spacer portion to the spacer portion. A connection structure for a vacuum seal formed on the main surface so as to penetrate in the width direction is provided.

以上の構成により、真空装置を構成する部品間の真空シール、電気絶縁および間隔固定が同時に行われ、接続構造の組立性および製造コストが従来例よりも改善できる。   With the above configuration, vacuum sealing, electrical insulation, and interval fixing between components constituting the vacuum apparatus are performed at the same time, and the assembling property and manufacturing cost of the connection structure can be improved as compared with the conventional example.

また、本発明の真空シール用の接続構造では、前記シール部の潰し代部が、前記スペーサ部の主面を基準にして、前記シール部の厚み方向に突出してもよく、前記部品によって前記潰し代部が、その厚み方向に押圧された場合に、前記潰し代部の幅方向の弾性変形を前記第１溝において行ってもよい。   In the connection structure for a vacuum seal according to the present invention, the crushing margin portion of the seal portion may protrude in the thickness direction of the seal portion on the basis of the main surface of the spacer portion, and the crushing portion is formed by the component. When the margin portion is pressed in the thickness direction, elastic deformation in the width direction of the crush margin portion may be performed in the first groove.

これにより、第１溝は、シール潰し代部を潰す際の逃げ部として機能できる。このため、本発明の真空シール用の接続構造では、スペーサ部の主面に上記部品を適切に当接でき（部品がスペーサ部の主面から浮き上がることを防止でき）、スペーサ部の主面と部品との間に隙間が生じ難い。よって、固定手段の締め付け具合によって部品の取り付け角度や取り付け位置が変わるという接続構造の組立性の問題が生じ難い。   Thereby, the 1st groove | channel can function as an escape part at the time of crushing a seal crushing allowance part. For this reason, in the connection structure for a vacuum seal according to the present invention, the above-described component can be properly brought into contact with the main surface of the spacer portion (a component can be prevented from lifting from the main surface of the spacer portion), and the main surface of the spacer portion It is difficult for gaps to occur between parts. Therefore, it is difficult to cause an assembling problem of the connection structure in which the attachment angle and the attachment position of the component change depending on the fastening degree of the fixing means.

また、本発明の真空シール用の接続構造では、前記潰し代部の幅方向の弾性変形によって前記第１溝内から押し出される空気を、前記第２溝を用いて抜いてもよい。   In the connection structure for a vacuum seal according to the present invention, the air pushed out from the first groove by elastic deformation in the width direction of the crushing margin may be extracted using the second groove.

これにより、シール潰し代部の弾性変形が第１溝において行われても、第１溝内から押し出される空気を、第２溝を通して外部（大気空間）にスムーズに抜くことができ、第１溝内の空気圧縮を防止できる。このように、第２溝は、第１溝の内圧上昇を抑制する圧抜き溝として機能できる。   Thereby, even if the elastic deformation of the seal crushing margin is performed in the first groove, the air pushed out from the first groove can be smoothly extracted to the outside (atmospheric space) through the second groove. Air compression inside can be prevented. Thus, the second groove can function as a pressure release groove that suppresses an increase in internal pressure of the first groove.

また、本発明の真空シール用の接続構造では、前記第２溝を前記スペーサ部の中心を通る中心線上において対をなして形成してもよく、前記第２溝の対の一方を用いて、前記第１溝内にリークチェックガスを送り、前記第２溝の対の他方を用いて、前記第１溝内のリークチェックガスを放出するように構成してもよい。   In the connection structure for a vacuum seal according to the present invention, the second groove may be formed in a pair on a center line passing through the center of the spacer portion, and one of the pair of the second grooves is used. A leak check gas may be sent into the first groove, and the leak check gas in the first groove may be discharged using the other of the second groove pair.

これにより、リークチェックガスを第１溝内のほぼ全域に亘ってスムーズに流せるので都合がよい。そして、シール部にリーク部位（例えば、糸くずの挟み込みなどによるリーク部位）が存在すると、リークチェックガスは、リーク部位を介して第１溝内から接続構造内の減圧空間に漏れる。このため、リークガスデテクターを接続構造の適所に配置することにより、シール部のリークチェックを簡易かつ適切に行うことができる。   This is convenient because the leak check gas can flow smoothly over almost the entire area in the first groove. If there is a leak site (for example, a leak site due to lint jamming) in the seal portion, the leak check gas leaks from the first groove into the decompressed space in the connection structure via the leak site. For this reason, the leak check of a seal part can be performed simply and appropriately by arrange | positioning a leak gas detector in the suitable place of a connection structure.

以上のとおり、本発明の真空シール用の接続構造では、第２溝を用いて、第１溝の内圧上昇の抑制とともに、シール部のリークをチェックできるので、シール部のリーク問題に適切に対応できる。   As described above, in the connection structure for a vacuum seal of the present invention, the second groove can be used to suppress the increase in the internal pressure of the first groove and check the leak of the seal part, so that it appropriately copes with the leak problem of the seal part. it can.

また、本発明の真空シール用の接続構造では、前記スペーサ部の硬度が、前記シール部の硬度よりも高くてもよい。   In the connection structure for a vacuum seal according to the present invention, the spacer portion may have a hardness higher than that of the seal portion.

これにより、上記部品とシール部材との間の締結時のスペーサ部の弾性変形が適切に抑制され、その結果、真空装置を構成する部品間の精密な位置決めを行えるよう、当該部品間を好適な間隔に保つことができる。   Accordingly, the elastic deformation of the spacer portion at the time of fastening between the component and the seal member is appropriately suppressed, and as a result, the components can be suitably positioned so that precise positioning between the components constituting the vacuum apparatus can be performed. Can be kept at intervals.

また、本発明の真空シール用の接続構造では、前記シール部から前記シール部の内側に突出する突起を更に備えてもよい。   The connection structure for a vacuum seal according to the present invention may further include a protrusion protruding from the seal portion to the inside of the seal portion.

これにより、接続構造の部品間の沿面距離は、以上の突起の存在により、突起を有しない接続構造のそれよりも長めになる。このため、本発明の真空シール用の接続構造では、突起を有しない接続構造に比べて、部品間の絶縁破壊の抑制の点で有利であると考えられる。   As a result, the creepage distance between the components of the connection structure becomes longer than that of the connection structure having no protrusions due to the presence of the above protrusions. For this reason, it is thought that the connection structure for vacuum seals of the present invention is advantageous in terms of suppression of dielectric breakdown between components compared to a connection structure having no protrusion.

また、本発明は、以上のいずれかに記載の接続構造が組み込まれており、
前記接続構造の前記シール部材が、前記部品間の真空シール、電気絶縁および間隔固定に用いられている真空装置も提供する。 Further, the present invention incorporates the connection structure described in any of the above,
There is also provided a vacuum apparatus in which the sealing member of the connection structure is used for vacuum sealing, electrical insulation and interval fixing between the components.

これにより、以上の接続構造を用いて、真空装置を構成する部品間の真空シール、電気絶縁および間隔固定が同時に行われ、接続構造の組立性および製造コストが従来例よりも改善できる。   Thereby, using the above connection structure, vacuum sealing, electrical insulation, and interval fixing between components constituting the vacuum apparatus are performed at the same time, and the assemblability and manufacturing cost of the connection structure can be improved as compared with the conventional example.

本発明によれば、真空装置を構成する部品間の真空シール、電気絶縁および間隔固定が同時に行われ、組立性および製造コストが従来例よりも改善できる真空シール用の接続構造が得られる。   According to the present invention, a vacuum seal connection structure can be obtained in which vacuum sealing, electrical insulation, and interval fixing between components constituting a vacuum apparatus are simultaneously performed, and the assembling property and the manufacturing cost can be improved as compared with the conventional example.

本発明の第１実施形態による真空装置を構成する部品間の接続構造の一構成例を示した断面図である。It is sectional drawing which showed one structural example of the connection structure between the components which comprise the vacuum apparatus by 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１実施形態の真空シール用の接続構造に用いるシール部材の一構成例を示した図である。It is the figure which showed one structural example of the sealing member used for the connection structure for vacuum seals of 1st Embodiment of this invention. 図２のシール部材を用いた接続構造の使用形態の一例を模式的に示した図である。It is the figure which showed typically an example of the usage pattern of the connection structure using the sealing member of FIG. 本発明の第２実施形態の真空シール用の接続構造に用いるシール部材の一構成例を示した図である。It is the figure which showed one structural example of the sealing member used for the connection structure for vacuum seals of 2nd Embodiment of this invention. 図４のシール部材を用いた接続構造の使用形態の一例を模式的に示した図である。It is the figure which showed typically an example of the usage pattern of the connection structure using the sealing member of FIG. 真空装置を構成する部品間の従来の接続構造の一例を示した断面図である。It is sectional drawing which showed an example of the conventional connection structure between the components which comprise a vacuum apparatus.

以下、本発明の第１実施形態および第２実施形態について、図面を参照しながら説明する。
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態による真空装置を構成する部品間の接続構造の一構成例を示した断面図である。 Hereinafter, a first embodiment and a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
(First embodiment)
FIG. 1 is a cross-sectional view showing one configuration example of a connection structure between components constituting the vacuum apparatus according to the first embodiment of the present invention.

このような真空装置１００の具体例として、例えば、真空容器内においてスパッタリングや蒸着などが行われる真空成膜装置を例示できるが、本実施形態の接続構造１００Ａ以外の真空成膜装置の構成は公知である。よって、このような公知の構成説明は、ここでは省略する。   As a specific example of such a vacuum apparatus 100, for example, a vacuum film forming apparatus in which sputtering, vapor deposition, or the like is performed in a vacuum vessel can be exemplified, but the configuration of the vacuum film forming apparatus other than the connection structure 100A of this embodiment is publicly known. It is. Therefore, such a known configuration description is omitted here.

本実施形態の接続構造１００Ａでは、図１に示すように、導電性の電極１０２と導電性の真空容器のフランジ１０３との間に、板状かつ円環状のシール部材１０（詳細は後述）が挿入されている。   In the connection structure 100A of the present embodiment, as shown in FIG. 1, a plate-like and annular seal member 10 (details will be described later) is provided between the conductive electrode 102 and the flange 103 of the conductive vacuum vessel. Has been inserted.

この電極１０２が、シール部材１０のスペーサ部１１において、ボルト１０４、および、ボルト１０４への通電防止用の絶縁カラー１０５を用いて真空容器のフランジ１０３の端面に締結されている。これにより、電極１０２と真空容器のフランジ１０３との間が、硬質のスペーサ部１１によって好適な間隔を保って固定され、かつ、両者間の絶縁が行われる。   The electrode 102 is fastened to the end surface of the flange 103 of the vacuum vessel in the spacer portion 11 of the seal member 10 by using a bolt 104 and an insulating collar 105 for preventing energization of the bolt 104. As a result, the electrode 102 and the flange 103 of the vacuum vessel are fixed at a suitable distance by the hard spacer portion 11, and insulation between the two is performed.

また、電極１０２および真空容器のフランジ１０３の間の真空シールは、シール部材１０の軟質のシール部１２によってなされている。   Further, the vacuum seal between the electrode 102 and the flange 103 of the vacuum vessel is made by the soft seal portion 12 of the seal member 10.

なお、以上のシール部１２やスペーサ部１１の硬度の調整は、例えば、上述の電子線架橋技術（特許文献３参照）を用いてシール部材１０の適所が適宜の剛性となるよう、設定するとよい。よって、シール部１２およびスペーサ部１１の硬度調整の詳細は、ここでは省略する。   In addition, the adjustment of the hardness of the above seal part 12 and the spacer part 11 is good to set so that the suitable place of the seal member 10 may become appropriate rigidity using the above-mentioned electron beam bridge | crosslinking technique (refer patent document 3), for example. . Therefore, details of the hardness adjustment of the seal portion 12 and the spacer portion 11 are omitted here.

次に、本発明の第１実施形態の特徴部であるシール部材１０の構成について、図面を参照しながら詳しく述べる。   Next, the configuration of the seal member 10 which is a characteristic part of the first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図２は、本発明の第１実施形態の真空シール用の接続構造に用いるシール部材の一構成例を示した図である。   FIG. 2 is a view showing a configuration example of a sealing member used in the connection structure for vacuum sealing according to the first embodiment of the present invention.

図２（ａ）には、板状かつ円環状のシール部材１０の平面図が図示されている。   FIG. 2A shows a plan view of a plate-like and annular seal member 10.

図２（ｂ）には、シール部材１０のＩＩｂ−ＩＩｂの部分の断面図が図示されている。   FIG. 2B shows a cross-sectional view of the portion IIb-IIb of the seal member 10.

図２（ｃ）には、シール部材１０のＩＩｃ−ＩＩｃの部分の断面図が図示されている。   FIG. 2C illustrates a cross-sectional view of the portion IIc-IIc of the seal member 10.

上述のシール部材１０は、絶縁性の弾性材料（例えば、合成ゴムや合成樹脂）からなる。そして、このシール部材１０では、図２に示すように、真空装置１００を構成する導電性の部品間の気密性を確保できる円環状の軟質のシール部１２と、このような部品間の間隔を固定できる円環状の硬質のスペーサ部１１と、が一体に設けられている。   The sealing member 10 described above is made of an insulating elastic material (for example, synthetic rubber or synthetic resin). In the seal member 10, as shown in FIG. 2, an annular soft seal portion 12 that can ensure airtightness between the conductive parts constituting the vacuum apparatus 100, and the interval between such parts are set. An annular hard spacer portion 11 that can be fixed is integrally provided.

図２（ａ）に示すように、シール部材１０の外周側の円周部分が、スペーサ部１１によって構成され、シール部材１０の内周側の円周部分が、シール部１２によって構成されている。そして、このようなシール部材１０の表面および裏面（以下、「主面」という）には、シール部１２およびスペーサ部１１の間を、シール部１２およびスペーサ部１１に沿って周方向に延びる円環溝１３（第１溝）が形成されている。   As shown in FIG. 2A, the circumferential portion on the outer peripheral side of the seal member 10 is configured by the spacer portion 11, and the circumferential portion on the inner peripheral side of the seal member 10 is configured by the seal portion 12. . A circle extending in the circumferential direction along the seal portion 12 and the spacer portion 11 is provided between the seal portion 12 and the spacer portion 11 on the front surface and the back surface (hereinafter referred to as “main surface”) of the seal member 10. An annular groove 13 (first groove) is formed.

また、シール部材１０の主面には、スペーサ部１１の幅方向において、スペーサ部１１の動径方向に直線状に延びる直線溝１４（第２溝）が、スペーサ部１１を貫通するよう、シール部材１０の主面に形成されている。つまり、直線溝１４の長さは、スペーサ部１１の幅寸法Ｗとほぼ等しい。そして、これらの直線溝１４と円環溝１３と、が互いに直交するように連通している。図２（ｂ）に示すように、直線溝１４の深さは、円環溝１３の深さとほぼ同一となっている。   Further, on the main surface of the seal member 10, the linear groove 14 (second groove) extending linearly in the radial direction of the spacer portion 11 in the width direction of the spacer portion 11 is sealed so as to penetrate the spacer portion 11. It is formed on the main surface of the member 10. That is, the length of the linear groove 14 is substantially equal to the width dimension W of the spacer portion 11. The linear groove 14 and the annular groove 13 communicate with each other so as to be orthogonal to each other. As shown in FIG. 2B, the depth of the linear groove 14 is substantially the same as the depth of the annular groove 13.

以上のシール部材１０では、図２（ａ）に示すように、直線溝１４は、スペーサ部１１の中心Ｓを通る仮想の中心線５０上において対をなしている。また、直線溝１４は、図２（ｂ）に示すように、スペーサ部１１の厚み方向においても対をなしている。   In the sealing member 10 described above, as shown in FIG. 2A, the linear grooves 14 form a pair on a virtual center line 50 that passes through the center S of the spacer portion 11. Further, as shown in FIG. 2B, the linear grooves 14 also form a pair in the thickness direction of the spacer portion 11.

以上により、シール部材１０には、合計４個の直線溝１４が設けられている。   As described above, the seal member 10 is provided with a total of four linear grooves 14.

また、図２（ｃ）に示すように、スペーサ部１１の厚みＴが、真空装置を構成する部品間の好適な間隔となるように設定されており、シール部１２の厚みが、スペーサ部１１の厚みＴよりも厚くなっている。   Further, as shown in FIG. 2C, the thickness T of the spacer portion 11 is set so as to be a suitable distance between components constituting the vacuum apparatus, and the thickness of the seal portion 12 is set to be the spacer portion 11. It is thicker than the thickness T.

詳しくは、シール部１２のシール潰し代部Ｐが、スペーサ部１１の主面を基準にして、シール部１２の厚み方向に突出している。   Specifically, the seal crushing margin portion P of the seal portion 12 protrudes in the thickness direction of the seal portion 12 with respect to the main surface of the spacer portion 11.

更に、図２（ａ）および図２（ｃ）に示すように、スペーサ部１１の周方向に適宜の間隔を隔てて配された複数（ここでは、６個）の貫通孔１５が、スペーサ部１１の厚み方向にスペーサ部１１を貫通しており、これにより、貫通孔１５にボルトなどの固定手段（図示せず）を通すことができる。   Further, as shown in FIGS. 2 (a) and 2 (c), a plurality (six in this case) of through-holes 15 arranged at appropriate intervals in the circumferential direction of the spacer portion 11 include the spacer portion. 11 is passed through the spacer portion 11 in the thickness direction, so that fixing means (not shown) such as a bolt can be passed through the through hole 15.

以上のシール部材１０を用いて、図３に例示する如く、真空装置の真空シール用の接続構造１００Ｂを構成すると、接続構造１００Ｂは、以下の様々な効果を奏する。   When the above-described sealing member 10 is used to form a connection structure 100B for vacuum sealing of a vacuum apparatus as illustrated in FIG. 3, the connection structure 100B has the following various effects.

図３は、図２のシール部材を用いた接続構造の使用形態の一例を模式的に示した図である。   FIG. 3 is a diagram schematically showing an example of a usage form of the connection structure using the seal member of FIG.

但し、図３では、図示を簡略化する趣旨から、真空装置１００を構成する部品の一例として、導電性の一対のフランジ２０、２１を例示しており、これらのフランジ２０、２１の固定に用いるボルトなどの固定手段の図示を省略している。   However, in FIG. 3, for the purpose of simplifying the illustration, a pair of conductive flanges 20 and 21 are illustrated as an example of components constituting the vacuum apparatus 100, and are used for fixing these flanges 20 and 21. Illustration of fixing means such as bolts is omitted.

図３（ａ）には、図２のシール部材１０のＩＩｂ−ＩＩｂの部分が、ボルトなどの固定手段を用いてフランジ２０、２１によって押圧される前の状態が図示されている。   FIG. 3A shows a state before the IIb-IIb portion of the seal member 10 of FIG. 2 is pressed by the flanges 20 and 21 using fixing means such as bolts.

図３（ｂ）には、図２のシール部材１０のＩＩｂ−ＩＩｂの部分が、フランジ２０、２１によって押圧された後（つまり、挟持された後）の状態が図示されている。   FIG. 3B shows a state after the IIb-IIb portion of the seal member 10 of FIG. 2 is pressed by the flanges 20 and 21 (that is, after being sandwiched).

図３（ｃ）には、図２のシール部材１０のＩＩｃ−ＩＩｃの部分が、フランジ２０、２１によって押圧される前の状態が図示されている。   FIG. 3C illustrates a state before the IIc-IIc portion of the seal member 10 of FIG. 2 is pressed by the flanges 20 and 21.

図３（ｄ）には、図２のシール部材１０のＩＩｃ−ＩＩｃの部分が、フランジ２０、２１によって押圧された後の状態が図示されている。   FIG. 3D shows a state after the IIc-IIc portion of the seal member 10 of FIG. 2 is pressed by the flanges 20 and 21.

まず、本実施形態の接続構造１００Ｂでは、スペーサ部１１と、シール部１２とを一体に構成しているので、部品点数の削減や溝加工費の削減によって従来例の接続構造２００Ａ、３００Ａに比較して組立性やコスト面において有利になる。   First, in the connection structure 100B of the present embodiment, since the spacer portion 11 and the seal portion 12 are integrally configured, compared with the connection structures 200A and 300A of the conventional example by reducing the number of parts and the groove processing cost. This is advantageous in terms of assembly and cost.

また、貫通孔１５および一対のフランジ２０、２１の鍔部２０Ａ、２１Ａの貫通孔に、ボルトなどの固定手段を通すと、図３（ｄ）に示すように、このような固定手段の締結力（例えば、ボルトとナットによる締結力）を用いて、シール部材１０のシール部１２を、フランジ２０、２１の鍔部２０Ａ、２１Ａによって押圧できる。すると、シール部１２に比べて硬質の（つまり、シール部１２よりも硬度が高い）スペーサ部１１の両側の主面のそれぞれに、フランジ２０、２１の鍔部２０Ａ、２１Ａのそれぞれの端面が当接する。   Further, when a fixing means such as a bolt is passed through the through hole 15 and the through holes of the flange portions 20A and 21A of the pair of flanges 20 and 21, as shown in FIG. The seal portion 12 of the seal member 10 can be pressed by the flange portions 20A and 21A of the flanges 20 and 21 using (for example, fastening force by bolts and nuts). Then, the end surfaces of the flange portions 20A and 21A of the flanges 20 and 21 are brought into contact with the main surfaces on both sides of the spacer portion 11 which is harder than the seal portion 12 (that is, the hardness is higher than that of the seal portion 12). Touch.

これにより、フランジ２０、２１とシール部材１０との間の締結時のスペーサ部１１の弾性変形が適切に抑制され、その結果、フランジ２０、２１間の精密な位置決めを行えるよう、フランジ２０、２１間を好適な間隔に保つことができる。   Thereby, the elastic deformation of the spacer part 11 at the time of fastening between the flanges 20 and 21 and the seal member 10 is appropriately suppressed, and as a result, the flanges 20 and 21 can be positioned accurately so that the flanges 20 and 21 can be accurately positioned. The gap can be kept at a suitable interval.

また、固定手段の締結力を用いて、フランジ２０、２１の鍔部２０Ａ、２１Ａによって、シール潰し代部Ｐがその厚み方向に押圧された場合、図３（ｂ）および図３（ｄ）に示すように、スペーサ部１１に比べて軟質の（つまり、スペーサ部１１よりも硬度が低い）シール潰し代部Ｐを適切に潰すことができる。すると、フランジ２０とシール部材１０との間の真空シール、および、フランジ２１とシール部材１０との間の真空シールが適切に行われ、ひいては、フランジ２０、２１間の気密性を確保できる。   Further, when the seal crushing margin portion P is pressed in the thickness direction by the flange portions 20A and 21A of the flanges 20 and 21 using the fastening force of the fixing means, as shown in FIGS. 3 (b) and 3 (d). As shown, the seal crushing margin portion P that is softer than the spacer portion 11 (that is, has a lower hardness than the spacer portion 11) can be appropriately crushed. Then, the vacuum seal between the flange 20 and the seal member 10 and the vacuum seal between the flange 21 and the seal member 10 are appropriately performed. As a result, the airtightness between the flanges 20 and 21 can be secured.

また、本実施形態の真空シール用の接続構造１００Ｂでは、シール部１２とスペーサ部１１と、が、一体に構成されているので、フランジ２０、２１とシール部材１０との間の締結において、シール部１２は、スペーサ部１１を介して固定手段に固定されている。よって、この場合、フランジ２０、２１にシール部１２を嵌める溝を設けなくても、シール部１２の移動が起こらず、シール部材１０のシール性能の低下を招かない。   Further, in the connection structure 100B for vacuum seal according to the present embodiment, since the seal portion 12 and the spacer portion 11 are integrally formed, in the fastening between the flanges 20 and 21 and the seal member 10, a seal is formed. The part 12 is fixed to the fixing means via the spacer part 11. Therefore, in this case, even if the groove for fitting the seal portion 12 is not provided in the flanges 20 and 21, the seal portion 12 does not move and the sealing performance of the seal member 10 does not deteriorate.

また、本実施形態の接続構造１００Ｂでは、上述のとおり、シール部１２とスペーサ部１１との間に円環溝１３が形成されている。よって、フランジ２０、２１の鍔部２０Ａ、２１Ａの押圧に基づいた、シール潰し代部Ｐのその幅方向の弾性変形が、図３（ｂ）および図３（ｄ）に示すように、円環溝１３において適切に行われる。   Further, in the connection structure 100B of the present embodiment, the annular groove 13 is formed between the seal portion 12 and the spacer portion 11 as described above. Therefore, the elastic deformation in the width direction of the seal crushing margin P based on the pressing of the flanges 20A and 21A of the flanges 20 and 21 is caused by an annular shape as shown in FIGS. 3 (b) and 3 (d). Properly performed in the groove 13.

つまり、シール潰し代部Ｐの体積は、シール潰し代部Ｐの弾性変形の前後でほぼ一定となるので、円環溝１３は、シール潰し代部Ｐを潰す際の逃げ部として機能する。このため、本実施形態の真空シール用の接続構造１００Ｂでは、図３（ｄ）に示すように、スペーサ部１１の主面にフランジ２０、２１の鍔部２０Ａ、２１Ａを適切に当接でき（鍔部２０Ａ、２１Ａがスペーサ部１１の主面から浮き上がることを防止でき）、スペーサ部１１の主面と鍔部２０Ａ、２１Ａとの間に隙間が生じ難い。よって、固定手段の締め付け具合によってフランジ２０、２１の取り付け角度や取り付け位置が変わるという接続構造の組立性の問題が生じ難い。   That is, the volume of the seal crushing allowance P is substantially constant before and after the elastic deformation of the seal crushing allowance P, so that the annular groove 13 functions as a clearance when the seal crush allowance P is crushed. For this reason, in the connection structure 100B for vacuum seal of this embodiment, as shown in FIG.3 (d), the flange parts 20A and 21A of the flanges 20 and 21 can be contact | abutted appropriately to the main surface of the spacer part 11. It is possible to prevent the flange portions 20A and 21A from floating from the main surface of the spacer portion 11), and a gap is hardly generated between the main surface of the spacer portion 11 and the flange portions 20A and 21A. Therefore, it is difficult to cause an assembling problem of the connection structure in which the attachment angle and the attachment position of the flanges 20 and 21 are changed depending on the fastening degree of the fixing means.

また、本実施形態の接続構造１００Ｂでは、上述のとおり、円環溝１３に連通する直線溝１４が、スペーサ部１１をスペーサ部１１の幅方向に貫通している。このため、シール潰し代部Ｐがその厚み方向に押圧された場合でも、図３（ｂ）に示すように、円環溝１３内は密閉されずに、円環溝１３内とその外部（大気空間）と、が、直線溝１４を介して互いに連通している。よって、シール潰し代部Ｐの弾性変形が円環溝１３において行われても、円環溝１３内から押し出される空気を、直線溝１４を通して外部（大気空間）にスムーズに抜くことができ、円環溝１３内の空気圧縮を防止できる。このように、直線溝１４は、円環溝１３の内圧上昇を抑制する圧抜き溝として機能する。   Further, in the connection structure 100 </ b> B of the present embodiment, as described above, the linear groove 14 that communicates with the annular groove 13 penetrates the spacer portion 11 in the width direction of the spacer portion 11. For this reason, even when the seal crushing margin portion P is pressed in the thickness direction, the inside of the annular groove 13 is not sealed as shown in FIG. Are communicated with each other via the linear groove 14. Therefore, even if the elastic deformation of the seal crushing margin P is performed in the annular groove 13, the air pushed out from the annular groove 13 can be smoothly extracted to the outside (atmospheric space) through the linear groove 14. Air compression in the annular groove 13 can be prevented. Thus, the linear groove 14 functions as a pressure release groove that suppresses an increase in internal pressure of the annular groove 13.

また、本実施形態の接続構造１００Ｂでは、上述の直線溝１４を用いて、シール部１２のリークをチェックできる。   Further, in the connection structure 100B of the present embodiment, the leakage of the seal portion 12 can be checked using the above-described linear groove 14.

例えば、中心線５０（図２（ａ）参照）上における直線溝１４の対の一方からリークチェックガス（例えば、ヘリウムガス）を円環溝１３の内部に送り、直線溝１４の対の他方からリークチェックガスを放出させると、リークチェックガスを円環溝１３内のほぼ全域に亘ってスムーズに流せるので都合がよい。   For example, a leak check gas (for example, helium gas) is sent into the annular groove 13 from one of the pair of straight grooves 14 on the center line 50 (see FIG. 2A), and from the other of the pair of straight grooves 14 If the leak check gas is released, it is convenient because the leak check gas can flow smoothly over almost the entire area of the annular groove 13.

そして、シール部１２にリーク部位が存在すると、リークチェックガスは、リーク部位を介して円環溝１３内から接続構造１００Ｂ内の減圧空間１６に漏れる。このため、リークガスデテクター（例えば、ヘリウムガスデテクター；図示せず）を接続構造１００Ｂの適所に配置することにより、シール部１２のリークチェックを簡易かつ適切に行うことができる。   If a leak portion exists in the seal portion 12, the leak check gas leaks from the annular groove 13 into the decompression space 16 in the connection structure 100B through the leak portion. For this reason, the leak check of the seal part 12 can be performed simply and appropriately by disposing a leak gas detector (for example, a helium gas detector; not shown) at an appropriate position of the connection structure 100B.

以上のとおり、本実施形態の接続構造１００Ｂでは、直線溝１４を用いて、円環溝１３の内圧上昇の抑制とともに、シール部１２のリークをチェックできるので、シール部１２のリーク問題に適切に対応できる。   As described above, in the connection structure 100B of the present embodiment, the linear groove 14 can be used to check the leakage of the seal portion 12 while suppressing the increase in the internal pressure of the annular groove 13, so that the leakage problem of the seal portion 12 can be appropriately determined. Yes.

（第２実施形態）
図４は、本発明の第２実施形態の真空シール用の接続構造に用いるシール部材の一構成例を示した図である。 (Second Embodiment)
FIG. 4 is a view showing a configuration example of a sealing member used in the connection structure for vacuum sealing according to the second embodiment of the present invention.

図４（ａ）には、板状かつ円環状のシール部材３０の平面図が図示されている。   FIG. 4A shows a plan view of a plate-like and annular seal member 30.

図４（ｂ）には、シール部材３０のＩＶｂ−ＩＶｂの部分の断面図が図示されている。   FIG. 4B is a cross-sectional view of the IVb-IVb portion of the seal member 30.

図４（ｃ）には、シール部材３０のＩＶｃ−ＩＶｃの部分の断面図が図示されている。   FIG. 4C illustrates a cross-sectional view of the part IVc-IVc of the seal member 30.

また、図５は、図４のシール部材を用いた接続構造の使用形態の一例を模式的に示した図である。   FIG. 5 is a diagram schematically showing an example of a usage pattern of the connection structure using the seal member of FIG.

図５（ａ）には、図４のシール部材３０のＩＶｂ−ＩＶｂの部分が、ボルトなどの固定手段を用いてフランジ２０、２１によって押圧される前の状態が図示されている。   FIG. 5A shows a state before the IVb-IVb portion of the seal member 30 of FIG. 4 is pressed by the flanges 20 and 21 using fixing means such as bolts.

図５（ｂ）には、図４のシール部材３０のＩＶｂ−ＩＶｂの部分が、フランジ２０、２１によって押圧された後（つまり、挟持された後）の状態が図示されている。   FIG. 5B illustrates a state after the IVb-IVb portion of the seal member 30 of FIG. 4 is pressed by the flanges 20 and 21 (that is, after being sandwiched).

図５（ｃ）には、図４のシール部材３０のＩＶｃ−ＩＶｃの部分が、フランジ２０、２１によって押圧される前の状態が図示されている。   FIG. 5C illustrates a state before the IVc-IVc portion of the seal member 30 in FIG. 4 is pressed by the flanges 20 and 21.

図５（ｄ）には、図４のシール部材３０のＩＶｃ−ＩＶｃの部分が、フランジ２０、２１によって押圧された後の状態が図示されている。   FIG. 5D shows a state after the IVc-IVc portion of the seal member 30 of FIG. 4 is pressed by the flanges 20 and 21.

但し、図５では、図示を簡略化する趣旨から、真空装置１００を構成する部品の一例として、導電性の一対のフランジ２０、２１を例示しており、これらのフランジ２０、２１の固定に用いるボルトなどの固定手段の図示を省略している。また、図４および図５のシール部材３０については、シール部１２から突出する突起３１が形成されている以外は、図２（第１実施形態）のシール部材１０の構成と同じである。よって、図面中の図示および以下の説明では、両者に共通する構成要素には、同一の符号で表し、第１実施形態で述べたシール部材１０の内容と重複する記載について省略する場合がある。   However, in FIG. 5, for the purpose of simplifying the illustration, a pair of conductive flanges 20, 21 are illustrated as an example of components constituting the vacuum apparatus 100, and are used for fixing these flanges 20, 21. Illustration of fixing means such as bolts is omitted. 4 and 5 is the same as the configuration of the seal member 10 of FIG. 2 (first embodiment) except that a protrusion 31 protruding from the seal portion 12 is formed. Therefore, in the illustration in the drawings and the following description, components common to both may be denoted by the same reference numerals, and descriptions overlapping with the contents of the seal member 10 described in the first embodiment may be omitted.

本実施形態の接続構造１００Ｃに用いるシール部材３０では、図４に示すように、突起３１が、シール部１２の厚み方向の略中央から鍔状に、シール部１２の内側に向かって突出するように形成されている。この突起３１は、シール部１２と一体に形成されている。   In the seal member 30 used in the connection structure 100C of the present embodiment, as shown in FIG. 4, the protrusion 31 protrudes from the approximate center in the thickness direction of the seal portion 12 in a bowl shape toward the inside of the seal portion 12. Is formed. The protrusion 31 is formed integrally with the seal portion 12.

本実施形態の真空シール用の接続構造１００Ｃでは、フランジ２０、２１の鍔部２０Ａ、２１Ａの押圧に基づいたシール潰し代部Ｐのその幅方向の弾性変形が、図５（ｂ）および図５（ｄ）に示すように、円環溝１３、および、突起３１の上方および下方において適切に行われる。   In the connection structure 100C for a vacuum seal of the present embodiment, the elastic deformation in the width direction of the seal crushing margin P based on the pressing of the flanges 20A and 21A of the flanges 20 and 21 is shown in FIGS. As shown in (d), it is appropriately performed above and below the annular groove 13 and the protrusion 31.

ところで、真空中の電極間の放電では、絶縁物の表面に沿って起こる絶縁破壊（沿面放電）が、装置の高電圧特性を決定する場合が多いと考えられている。また、電極間距離（沿面距離）を長くすれば、絶縁破壊電圧を上げることができるという報告がある（例えば、R.Hawley: Vacuum, 18 (1968) 383 参照）。   By the way, in the discharge between the electrodes in vacuum, it is considered that the dielectric breakdown (creeping discharge) occurring along the surface of the insulator often determines the high voltage characteristics of the device. There is a report that the dielectric breakdown voltage can be increased by increasing the distance between electrodes (creeping distance) (see, for example, R. Hawley: Vacuum, 18 (1968) 383).

そこで、図５（ｂ）および図５（ｄ）の接続構造１００Ｃと、図３（ｂ）および図３（ｄ）の接続構造１００Ｂとの比較から容易に理解できるとおり、接続構造１００Ｃのフランジ２０、２１間（正確には鍔部２０Ａ、２１Ａ間）の沿面距離は、以上の突起３１の存在により、接続構造１００Ｂのそれよりも長めになる。   Therefore, as can be easily understood from a comparison between the connection structure 100C shown in FIGS. 5B and 5D and the connection structure 100B shown in FIGS. 3B and 3D, the flange 20 of the connection structure 100C is used. , 21 (exactly between the flanges 20A and 21A) is longer than that of the connection structure 100B due to the presence of the protrusion 31 described above.

よって、本実施形態の真空シール用の接続構造１００Ｃでは、第１実施形態の接続構造１００Ｂに比べて、フランジ２０、２１間の絶縁破壊の抑制の点で有利であると考えられる。   Therefore, it is considered that the connection structure 100C for vacuum seal according to the present embodiment is advantageous in terms of suppression of dielectric breakdown between the flanges 20 and 21 as compared with the connection structure 100B according to the first embodiment.

なお、第１実施形態で述べた接続構造１００Ｂによる様々な効果は、本実施形態の接続構造１００Ｃでも奏することができる。但し、各効果の詳細な説明は、ここでは省略する。   Note that the various effects of the connection structure 100B described in the first embodiment can also be achieved by the connection structure 100C of the present embodiment. However, detailed description of each effect is omitted here.

（第１変形例）
第１実施形態の接続構造１００Ｂおよび第２実施形態の接続構造１００Ｃでは、接続構造１００Ｂ、１００Ｃ内を減圧状態とし、接続構造１００Ｂ、１００Ｃの外部を大気状態とする例を述べたが、このような状態が逆であってもよい。つまり、接続構造内を大気状態とし、接続構造の外部を減圧状態としてもよい。 (First modification)
In the connection structure 100B of the first embodiment and the connection structure 100C of the second embodiment, the inside of the connection structures 100B and 100C is in a reduced pressure state and the outside of the connection structures 100B and 100C is in the atmospheric state. The opposite state may be reversed. That is, the inside of the connection structure may be in an atmospheric state, and the outside of the connection structure may be in a reduced pressure state.

但し、この場合、シール部材の外周側の円周部分をシール部によって構成し、シール部材の内周側の円周部分をスペーサ部によって構成する方が好ましい。   However, in this case, it is preferable that the circumferential portion on the outer peripheral side of the seal member is constituted by the seal portion, and the circumferential portion on the inner peripheral side of the seal member is constituted by the spacer portion.

これにより、第１実施形態の接続構造１００Ｂおよび第２実施形態の接続構造１００Ｃと同様に、スペーサ部１１の主面に形成された直線溝が、シール部のリークチェック用の溝として機能するので都合がよい。   As a result, like the connection structure 100B of the first embodiment and the connection structure 100C of the second embodiment, the straight groove formed in the main surface of the spacer portion 11 functions as a leak check groove in the seal portion. convenient.

（第２変形例）
第１実施形態の接続構造１００Ｂおよび第２実施形態の接続構造１００Ｃでは、スペーサ部１１の硬度が、シール部１２の硬度よりも高い例を述べたが、必ずしもこれに限らず、スペーサ部１１の硬度が、シール部１２の硬度を同じであってもよい。この場合、真空装置を構成する部品間の間隔固定は、必要な固定位置精度に基づいて、スペーサ部の形状の見直し（例えば、スペーサ部１１の幅寸法Ｗの見直し）や固定手段の締結力の制御などによって行うとよい。 (Second modification)
In the connection structure 100B of the first embodiment and the connection structure 100C of the second embodiment, the example in which the hardness of the spacer portion 11 is higher than the hardness of the seal portion 12 has been described. The hardness may be the same as that of the seal portion 12. In this case, the interval between the parts constituting the vacuum device is fixed based on the required fixing position accuracy by reviewing the shape of the spacer portion (for example, reviewing the width dimension W of the spacer portion 11) and the fastening force of the fixing means. It is good to do it by control.

（第３変形例）
第１実施形態の接続構造１００Ｂおよび第２実施形態の接続構造１００Ｃでは、電子線架橋技術を用いて、同一の弾性材料からなるスペーサ部１１とシール部１２とを、互いの硬度が異なるようにして一体に設ける例を述べたが、これに限らない。 (Third Modification)
In the connection structure 100B of the first embodiment and the connection structure 100C of the second embodiment, the electron beam cross-linking technique is used to make the spacer portion 11 and the seal portion 12 made of the same elastic material have different hardness. However, the present invention is not limited to this.

例えば、硬質の弾性材料からなるスペーサ部と軟質の弾性材料からなるシール部とをそれぞれ、別個に準備して、これらの部材を適宜の接合手段（例えば、接着剤）によって接合すると、両者を一体に構成できる。また、軟質の弾性材料からなるシール潰し代部を２個、別個に準備して、このシール潰し代部をシール部に、適宜の接合手段（例えば、接着剤）を用いて貼り付けると、スペーサ部とシール部とを一体に構成できる。   For example, when a spacer part made of a hard elastic material and a seal part made of a soft elastic material are prepared separately and these members are joined by an appropriate joining means (for example, an adhesive), the two parts are integrated. Can be configured. Further, when two seal crushing margins made of a soft elastic material are separately prepared and the seal crushing margins are attached to the seal portion using an appropriate joining means (for example, an adhesive), a spacer The part and the seal part can be configured integrally.

以上の構成により、電子線架橋技術によるシール部材の硬度調整の必要性が無くなり、接続構造のシール部材の簡易な製造において有益な場合がある。   With the above configuration, there is no need to adjust the hardness of the sealing member by the electron beam cross-linking technique, which may be beneficial in simple manufacturing of the sealing member having a connection structure.

（第４変形例）
第１実施形態の接続構造１００Ｂおよび第２実施形態の接続構造１００Ｃでは、板状かつ円環状のシール部材１０（シール部１２およびスペーサ部１１も円環状）を例示したが、これに限らない。 (Fourth modification)
In the connection structure 100B of the first embodiment and the connection structure 100C of the second embodiment, the plate-like and annular seal member 10 (the seal portion 12 and the spacer portion 11 are also annular) is illustrated, but the present invention is not limited to this.

以上のシール部材（シール部およびスペーサ部も同じ）は、円環状の他、例えば、矩形の環状（額縁状）であってもよい。   The above seal member (same for the seal portion and the spacer portion) may be, for example, a rectangular ring (frame shape) in addition to the ring shape.

本発明によれば、真空装置を構成する部品間の真空シール、電気絶縁および間隔固定が同時に行われ、組立性および製造コストが従来例よりも改善できる真空シール用の接続構造が得られる。よって、本発明は、絶縁状態で部品間の真空シールが行われる真空装置に利用できる。   According to the present invention, a vacuum seal connection structure can be obtained in which vacuum sealing, electrical insulation, and interval fixing between components constituting a vacuum apparatus are simultaneously performed, and the assembling property and the manufacturing cost can be improved as compared with the conventional example. Therefore, the present invention can be used for a vacuum apparatus in which a vacuum seal between parts is performed in an insulated state.

１０、３０ シール部材
１１ スペーサ部
１２ シール部
１３ 円環溝
１４ 直線溝
１５ 貫通孔
１６ 減圧空間
２０、２１ フランジ
２０Ａ、２１Ａ フランジの鍔部
３１ 突起
５０ 中心線
１００ 真空装置
１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ 接続構造
Ｐ シール潰し代部
Ｓ 中心
Ｔ スペーサの厚み
Ｗ スペーサの幅寸法 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10, 30 Seal member 11 Spacer part 12 Seal part 13 Ring groove 14 Linear groove 15 Through-hole 16 Decompression space 20, 21 Flange 20A, 21A Flange 31 Projection 50 Center line 100 Vacuum apparatus 100A, 100B, 100C Connection structure P Seal crushing margin S Center T Spacer thickness W Spacer width

Claims (7)

真空装置を構成する導電性の部品と、
前記部品間の気密性を確保できる環状のシール部と、前記部品間の間隔を固定できる環状のスペーサ部と、が一体に設けられた絶縁性のシール部材と、
を備え、
前記シール部と前記スペーサ部との間において、環状の第１溝が、前記シール部材の主面に形成され、かつ、前記第１溝に連通する第２溝が、前記スペーサ部を前記スペーサ部の幅方向に貫通するよう、前記主面に形成されている真空シール用の接続構造。 Conductive parts constituting the vacuum device;
An insulating seal member in which an annular seal portion that can ensure airtightness between the components and an annular spacer portion that can fix the interval between the components are integrally provided;
With
An annular first groove is formed on the main surface of the seal member between the seal portion and the spacer portion, and a second groove communicating with the first groove is used to connect the spacer portion to the spacer portion. A connection structure for a vacuum seal formed on the main surface so as to penetrate in the width direction. 前記シール部の潰し代部が、前記スペーサ部の主面を基準にして、前記シール部の厚み方向に突出しており、
前記部品によって前記潰し代部が、その厚み方向に押圧された場合に、前記潰し代部の幅方向の弾性変形が、前記第１溝において行われる請求項１に記載の接続構造。 The crushing margin part of the seal part protrudes in the thickness direction of the seal part with reference to the main surface of the spacer part,
The connection structure according to claim 1, wherein when the crushing margin is pressed in the thickness direction by the component, elastic deformation in the width direction of the crushing margin is performed in the first groove. 前記潰し代部の幅方向の弾性変形によって前記第１溝内から押し出される空気を、前記第２溝を用いて抜くことができる請求項２に記載の接続構造。   The connection structure according to claim 2, wherein air pushed out of the first groove by elastic deformation in the width direction of the crushing margin can be extracted using the second groove. 前記第２溝は、前記スペーサ部の中心を通る中心線上において対をなして形成されており、
前記第２溝の対の一方を用いて、前記第１溝内にリークチェックガスを送り、前記第２溝の対の他方を用いて、前記第１溝内のリークチェックガスを放出している請求項１に記載の接続構造。 The second groove is formed in a pair on a center line passing through the center of the spacer portion,
A leak check gas is sent into the first groove by using one of the pair of second grooves, and a leak check gas in the first groove is released by using the other of the pair of second grooves. The connection structure according to claim 1. 前記スペーサ部の硬度が、前記シール部の硬度よりも高い請求項１に記載の接続構造。   The connection structure according to claim 1, wherein a hardness of the spacer portion is higher than a hardness of the seal portion. 前記シール部から前記シール部の内側に突出する突起を更に備える請求項１に記載の接続構造。   The connection structure according to claim 1, further comprising a protrusion protruding from the seal portion to the inside of the seal portion. 請求項１ないし６のいずれかに記載の接続構造が組み込まれており、
前記接続構造の前記シール部材が、前記部品間の真空シール、電気絶縁および間隔固定に用いられている真空装置。
The connection structure according to any one of claims 1 to 6 is incorporated,
A vacuum apparatus in which the sealing member of the connection structure is used for vacuum sealing, electrical insulation and interval fixing between the components.
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