JP2011054572A - Photoelectric conversion element, method of manufacturing photoelectric conversion element, and electronic equipment - Google Patents

Photoelectric conversion element, method of manufacturing photoelectric conversion element, and electronic equipment Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing a photoelectric conversion element by which the photoelectric conversion element superior in photoelectric conversion efficiency can be manufactured; to provide the photoelectric conversion element manufactured by the method of manufacturing the photoelectric conversion element; and to provide an electronic equipment equipped with such a photoelectric conversion element. <P>SOLUTION: A solar cell (photoelectric conversion element) 1 is manufactured through: a first step of preparing a porous electron transport layer 4 installed on one face side of a cathode 3; a second step of forming a dye layer D so as to be in contact with the electron transport layer 4; a third step in which, after supplying a first liquid material containing a first semiconductor material from a side opposite to the cathode 3 of the electron transport 4, a second liquid material containing a second semiconductor material is supplied to form a hole transport layer 5 in contact with the dye layer D; and a fourth step in which an anode 6 opposite to the cathode 3 is formed on the side opposite to the cathode 3 of the hole transport layer 5. In the third step, as the first liquid material, a liquid material having lower viscosity at normal temperatures than that of the second liquid material is used. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、光電変換素子の製造方法、光電変換素子および電子機器に関するものである。   The present invention relates to a method for manufacturing a photoelectric conversion element, a photoelectric conversion element, and an electronic device.

近年、アモルファスシリコン太陽電池に代わるものとして、色素増感型太陽電池が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
特許文献1に記載の太陽電池(光電変換素子)は、陽極と陰極との間に、正孔輸送層と、色素層と、電子輸送層とを介挿してなり、色素層で発生した正孔および電子を、それぞれ正孔輸送層および電子輸送層を介して取り出すよう構成されている。
このような太陽電池では、その特性(発電効率)の向上の観点から、色素層と、正孔輸送層や電子輸送層とが十分に接触していることが重要となる。
例えば、電子輸送層が多孔質である場合、その空孔内に正孔輸送層が十分に入り込んでいないと、色素層と正孔輸送層とが十分に接触せず、このため、色素層で発生した正孔が効率よく正孔輸送層に受け渡されないという問題が生じる。
かかる問題が生じた場合、太陽電池の発電効率が極端に低下してしまう。
In recent years, dye-sensitized solar cells have been proposed as an alternative to amorphous silicon solar cells (see, for example, Patent Document 1).
The solar cell (photoelectric conversion element) described in Patent Literature 1 includes a hole transport layer, a dye layer, and an electron transport layer interposed between an anode and a cathode, and holes generated in the dye layer. And electrons are taken out through a hole transport layer and an electron transport layer, respectively.
In such a solar cell, it is important that the dye layer and the hole transport layer or the electron transport layer are in sufficient contact from the viewpoint of improving the characteristics (power generation efficiency).
For example, when the electron transport layer is porous, the dye layer and the hole transport layer are not sufficiently in contact if the hole transport layer does not sufficiently penetrate into the pores. There arises a problem that the generated holes are not efficiently transferred to the hole transport layer.
When such a problem occurs, the power generation efficiency of the solar cell is extremely lowered.

特開2004−235240号公報JP 2004-235240 A

本発明の目的は、光電変換効率に優れる光電変換素子を製造し得る光電変換素子の製造方法、この光電変換素子の製造方法により製造された光電変換素子、および、かかる光電変換素子を備える電子機器を提供することにある。   The objective of this invention is the manufacturing method of the photoelectric conversion element which can manufacture the photoelectric conversion element excellent in photoelectric conversion efficiency, the photoelectric conversion element manufactured by this manufacturing method of a photoelectric conversion element, and an electronic device provided with this photoelectric conversion element Is to provide.

このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の光電変換素子の製造方法は、陽極と陰極との間に、第1のキャリア輸送層と、色素層と、第2のキャリア輸送層とを介挿してなる光電変換素子を製造する方法であって、
前記第1のキャリア輸送層を形成する第1の工程と、
前記第1のキャリア輸送層に接触するように、前記色素層を形成する第2の工程と、
前記色素層に接触するように、前記第2のキャリア輸送層を形成する第3の工程とを有し、
前記第1のキャリア輸送層および前記第2のキャリア輸送層のうちの少なくとも一方を液相成膜法により形成することを特徴とする。
これにより、光電変換効率に優れる光電変換素子を製造し得る。また、大掛かりな設備を必要とせず、容易かつ安価にキャリア輸送層を形成することができる。
本発明の光電変換素子の製造方法では、前記第1のキャリア輸送層は、多孔質な電子輸送層であり、前記第2のキャリア輸送層は、正孔輸送層であり、
前記第3の工程において、前記正孔輸送層を液相成膜法により形成することが好ましい。
これにより、光電変換効率により優れる光電変換素子を製造し得る。
本発明の光電変換素子の製造方法では、前記第3の工程において、前記正孔輸送層を、前記電子輸送層の前記陰極と反対側から、第1の半導体材料を含有する第1の液状材料を供給した後、第2の半導体材料を含有する第2の液状材料を供給して形成する際に、
前記第1の液状材料として、前記第2の液状材料より常温での粘度が低いものを用いることが好ましい。
これにより、光電変換効率により優れる光電変換素子を製造し得る。
Such an object is achieved by the present invention described below.
The method for producing a photoelectric conversion element of the present invention is a method for producing a photoelectric conversion element comprising a first carrier transport layer, a dye layer, and a second carrier transport layer interposed between an anode and a cathode. Because
A first step of forming the first carrier transport layer;
A second step of forming the dye layer so as to contact the first carrier transport layer;
A third step of forming the second carrier transport layer so as to contact the dye layer,
At least one of the first carrier transport layer and the second carrier transport layer is formed by a liquid phase film formation method.
Thereby, the photoelectric conversion element excellent in photoelectric conversion efficiency can be manufactured. In addition, the carrier transport layer can be formed easily and inexpensively without requiring a large facility.
In the method for producing a photoelectric conversion element of the present invention, the first carrier transport layer is a porous electron transport layer, and the second carrier transport layer is a hole transport layer,
In the third step, the hole transport layer is preferably formed by a liquid phase film formation method.
Thereby, the photoelectric conversion element which is more excellent in photoelectric conversion efficiency can be manufactured.
In the method for producing a photoelectric conversion element of the present invention, in the third step, the hole transport layer is a first liquid material containing a first semiconductor material from the side opposite to the cathode of the electron transport layer. After supplying the second liquid material containing the second semiconductor material,
It is preferable to use a material having a lower viscosity at room temperature than the second liquid material as the first liquid material.
Thereby, the photoelectric conversion element which is more excellent in photoelectric conversion efficiency can be manufactured.

本発明の光電変換素子の製造方法では、前記第3の工程において、前記第1の半導体材料を、前記電子輸送層の空孔を埋めるように充填することが好ましい。
これにより、第2の液状材料として比較的粘度の高いものを用いた場合でも、色素層と正孔輸送層との接触面積を十分に確保することができる。
本発明の光電変換素子の製造方法では、前記第1の液状材料の常温での粘度は、1〜5cPであることが好ましい。
これにより、第1の液状材料が電子輸送層の空孔の深い部分にまでより確実に到達するようになり、得られる光電変換素子は、その光電変換効率がより向上する。
In the method for producing a photoelectric conversion element of the present invention, in the third step, it is preferable to fill the first semiconductor material so as to fill vacancies in the electron transport layer.
Thereby, even when a relatively high viscosity material is used as the second liquid material, a sufficient contact area between the dye layer and the hole transport layer can be ensured.
In the method for producing a photoelectric conversion element of the present invention, the viscosity of the first liquid material at normal temperature is preferably 1 to 5 cP.
Thereby, a 1st liquid material comes to reach | attain to the deep part of the hole of an electron carrying layer more reliably, and the photoelectric conversion efficiency of the obtained photoelectric conversion element improves more.

本発明の光電変換素子の製造方法では、前記第3の工程において、前記電子輸送層および/または前記第1の液状材料に対して振動を与えつつ、前記第1の液状材料を供給することが好ましい。
これにより、第1の液状材料が電子輸送層の空孔の深い部分にまでより確実に到達するようになり、得られる光電変換素子の光電変換効率の向上効果がより顕著に発揮されるようになる。
In the photoelectric conversion element manufacturing method of the present invention, in the third step, the first liquid material is supplied while vibration is applied to the electron transport layer and / or the first liquid material. preferable.
As a result, the first liquid material can reach the deep hole portion of the electron transport layer more reliably, and the effect of improving the photoelectric conversion efficiency of the obtained photoelectric conversion element can be exhibited more remarkably. Become.

本発明の光電変換素子の製造方法では、前記振動を、超音波を用いて与えることが好ましい。
これにより、第1の液状材料を電子輸送層の空孔の深い部分にまでより容易に到達させることができるようになる。
本発明の光電変換素子の製造方法では、前記第1の液状材料は、その第1の半導体材料の濃度上昇に伴う粘度上昇率が、前記第2の液状材料の前記第2の半導体材料の濃度上昇に伴う粘度上昇率より低いものであることが好ましい。
これにより、正孔輸送層を形成する際に、第1の液状材料中から溶媒が徐々に揮発しても、第1の液状材料の粘度を十分に低く保持することができ、第1の液状材料の取り扱いが容易となり、正孔輸送層をより容易かつ確実に形成することができる。
In the method for producing a photoelectric conversion element of the present invention, it is preferable to apply the vibration using ultrasonic waves.
As a result, the first liquid material can be more easily reached to a deep hole portion of the electron transport layer.
In the method for producing a photoelectric conversion element of the present invention, the first liquid material has a viscosity increase rate accompanying the increase in concentration of the first semiconductor material, and the concentration of the second semiconductor material in the second liquid material. The viscosity is preferably lower than the rate of increase in viscosity accompanying the increase.
Thereby, when the hole transport layer is formed, even if the solvent gradually evaporates from the first liquid material, the viscosity of the first liquid material can be kept sufficiently low, and the first liquid material The handling of the material becomes easy, and the hole transport layer can be formed more easily and reliably.

本発明の光電変換素子の製造方法では、前記第1の半導体材料および前記第2の半導体材料は、いずれも、有機高分子であることが好ましい。
有機高分子は、正孔の輸送能力に優れる点、被覆性および成膜性に優れる点等で好ましい材料である。
本発明の光電変換素子の製造方法では、前記第1の半導体材料と前記第2の半導体材料とは、同種の有機ポリマーであり、前記第1の半導体材料の重量平均分子量が前記第2の半導体材料の重量平均分子量より小さいことが好ましい。
これにより、正孔輸送層において界面が形成されないか、または、界面が形成された場合でも界面における2つの有機ポリマーの密着性が極めて高いものとなる。その結果、正孔輸送層全体における正孔の輸送がより円滑かつ確実に行われるようになる。
In the method for producing a photoelectric conversion element of the present invention, it is preferable that both the first semiconductor material and the second semiconductor material are organic polymers.
An organic polymer is a preferable material in terms of excellent hole transport capability, excellent coverage, and film formability.
In the method for manufacturing a photoelectric conversion element of the present invention, the first semiconductor material and the second semiconductor material are the same kind of organic polymer, and the weight average molecular weight of the first semiconductor material is the second semiconductor. It is preferably smaller than the weight average molecular weight of the material.
Thereby, the interface is not formed in the hole transport layer, or even when the interface is formed, the adhesion between the two organic polymers at the interface becomes extremely high. As a result, hole transport in the entire hole transport layer is performed more smoothly and reliably.

本発明の光電変換素子の製造方法では、前記第1の半導体材料の重量平均分子量は、10000以下であることが好ましい。
これにより、第1の液体材料中の第1の半導体材料の濃度を比較的高くした場合や、不本意に濃度が高くなった場合でも、第1の液状材料の粘度を低く維持することが可能となる。
In the method for producing a photoelectric conversion element of the present invention, the weight average molecular weight of the first semiconductor material is preferably 10,000 or less.
Accordingly, even when the concentration of the first semiconductor material in the first liquid material is relatively high or when the concentration is unintentionally increased, the viscosity of the first liquid material can be kept low. It becomes.

本発明の光電変換素子の製造方法では、前記第2の半導体材料の重量平均分子量は、15000以上であることが好ましい。
このように分子量の大きい有機ポリマーは、特に、正孔の輸送能力に優れるものである。なお、前記上限値を超えて分子量が大きくなると、このものを溶解し得る溶媒の種類が極端に減少することから好ましくない。
In the method for producing a photoelectric conversion element of the present invention, the weight average molecular weight of the second semiconductor material is preferably 15000 or more.
Such an organic polymer having a large molecular weight is particularly excellent in hole transport ability. In addition, it is not preferable that the molecular weight is increased beyond the upper limit value because the types of solvents capable of dissolving them are extremely reduced.

本発明の光電変換素子の製造方法では、前記有機ポリマーは、ポリアリールアミン、フルオレン−アリールアミン共重合体、フルオレン−ビチオフェン共重合体またはこれらの誘導体であることが好ましい。
これらの有機ポリマーは、比較的低分子量のものでも、正孔の輸送能力に優れるため、得られる正孔輸送層も、特に正孔の輸送能力に優れたものとなる。
In the method for producing a photoelectric conversion element of the present invention, the organic polymer is preferably a polyarylamine, a fluorene-arylamine copolymer, a fluorene-bithiophene copolymer, or a derivative thereof.
Even if these organic polymers have a relatively low molecular weight, they are excellent in the hole transport ability, so that the resulting hole transport layer is also particularly excellent in the hole transport ability.

本発明の光電変換素子の製造方法では、前記第1の半導体材料と前記第2の半導体材料は、同種のものであることが好ましい。
これにより、正孔輸送層において界面が形成されないか、または、界面が形成された場合でも界面における2つの半導体材料の密着性が極めて高いものとなる。その結果、正孔輸送層全体における正孔の輸送がより円滑かつ確実に行われるようになる。
In the method for manufacturing a photoelectric conversion element of the present invention, it is preferable that the first semiconductor material and the second semiconductor material are of the same type.
Thereby, the interface is not formed in the hole transport layer, or even when the interface is formed, the adhesion between the two semiconductor materials at the interface becomes extremely high. As a result, hole transport in the entire hole transport layer is performed more smoothly and reliably.

本発明の光電変換素子の製造方法では、前記第1のキャリア輸送層は、正孔輸送層であり、前記第2のキャリア輸送層は、電子輸送層であり、
前記第1の工程において、前記正孔輸送層を液相成膜法により形成することが好ましい。
これにより、電子輸送層の構成材料の選択の幅を広げることができ、色素を適宜選択して組み合わせて用いることにより、発電効率に優れる光電変換素子を得ることができる。
In the method for producing a photoelectric conversion element of the present invention, the first carrier transport layer is a hole transport layer, and the second carrier transport layer is an electron transport layer,
In the first step, the hole transport layer is preferably formed by a liquid phase film formation method.
Thereby, the range of selection of the constituent material of the electron transport layer can be expanded, and a photoelectric conversion element excellent in power generation efficiency can be obtained by appropriately selecting and combining the dyes.

本発明の光電変換素子の製造方法では、前記正孔輸送層を、有機ポリマーを主材料として構成することが好ましい。
有機ポリマーは、正孔の輸送能力に優れることから好ましい。また、有機ポリマーは、比較的耐薬品性(耐溶剤性)に優れることから、色素層を液相成膜法により形成する場合には、色素層形成用材料の調製に用いる液剤の選択の幅が広がる。また、この液剤の選択の幅が広がることにより、色素層に用いる色素の選択の幅も広がる。
In the method for producing a photoelectric conversion element of the present invention, the hole transport layer is preferably composed of an organic polymer as a main material.
Organic polymers are preferred because of their excellent hole transport capability. In addition, since organic polymers are relatively excellent in chemical resistance (solvent resistance), when a dye layer is formed by a liquid phase film forming method, the range of selection of a liquid agent used for preparing a dye layer forming material Spread. Moreover, the breadth of selection of the liquid agent is widened, so that the breadth of choice of the dye used in the dye layer is also widened.

本発明の光電変換素子の製造方法では、前記有機ポリマーは、その重量平均分子量が8000以上であることが好ましい。
このように、重量平均分子量が比較的大きいものを用いることにより、前記効果をより向上させることができる。
本発明の光電変換素子の製造方法では、前記有機ポリマーは、アリールアミン骨格および/またはフルオレン骨格を有するものであることが好ましい。
これらの有機ポリマーは、特に正孔の輸送能力に優れるとともに、耐薬品性にも優れることから好ましい。
In the method for producing a photoelectric conversion element of the present invention, the organic polymer preferably has a weight average molecular weight of 8000 or more.
Thus, the said effect can be improved more by using a thing with a comparatively large weight average molecular weight.
In the method for producing a photoelectric conversion element of the present invention, the organic polymer preferably has an arylamine skeleton and / or a fluorene skeleton.
These organic polymers are particularly preferable because they have excellent hole transport capability and excellent chemical resistance.

本発明の光電変換素子の製造方法では、前記第2の工程において、前記色素層を液相成膜法により形成し、色素層形成用の液状材料の調製に、前記正孔輸送層を膨潤し得る液剤を用いることが好ましい。
これにより、色素層と正孔輸送層との界面を、微視的に、凹凸状に入り込んだ状態とすることができ、これらの層同士の接触面積を増大させることができる。このため、色素層から正孔輸送層への正孔の受け渡しがより円滑に行われるようになり、光電変換素子の発電効率をより向上させることができる。
In the method for producing a photoelectric conversion element of the present invention, in the second step, the dye layer is formed by a liquid phase film forming method, and the hole transport layer is swollen in preparing a liquid material for forming the dye layer. It is preferable to use the obtained liquid agent.
As a result, the interface between the dye layer and the hole transport layer can be microscopically intruded, and the contact area between these layers can be increased. For this reason, the transfer of holes from the dye layer to the hole transport layer is performed more smoothly, and the power generation efficiency of the photoelectric conversion element can be further improved.

本発明の光電変換素子の製造方法では、前記正孔輸送層を形成する液相成膜法として、液滴吐出法を用いることが好ましい。
液滴吐出法を用いることにより、液状材料を無駄にすることなく、正孔輸送層を寸法精度よく形成することができる。
本発明の光電変換素子の製造方法では、前記第2の工程において、前記色素層を液相成膜法により形成することが好ましい。
液相成膜法によれば、大掛かりな設備を必要とせず、容易かつ安価に色素層を形成することができる。
In the method for producing a photoelectric conversion element of the present invention, it is preferable to use a droplet discharge method as a liquid phase film forming method for forming the hole transport layer.
By using the droplet discharge method, the hole transport layer can be formed with high dimensional accuracy without wasting the liquid material.
In the method for producing a photoelectric conversion element of the present invention, in the second step, the dye layer is preferably formed by a liquid phase film forming method.
According to the liquid phase film formation method, a dye layer can be formed easily and inexpensively without requiring large-scale equipment.

本発明の光電変換素子の製造方法では、前記色素層を形成する液相成膜法として、液滴吐出法を用いることが好ましい。
液滴吐出法を用いることにより、液状材料を無駄にすることなく、色素層を寸法精度よく形成することができる。
本発明の光電変換素子の製造方法では、前記目的とする層を形成するのに先立って、当該層の形状を規定するバンクを形成する工程を有することが好ましい。
これにより、高い寸法精度で、目的とする層を形成することができる。
In the method for producing a photoelectric conversion element of the present invention, it is preferable to use a droplet discharge method as a liquid phase film forming method for forming the dye layer.
By using the droplet discharge method, the dye layer can be formed with high dimensional accuracy without wasting the liquid material.
In the method for manufacturing a photoelectric conversion element of the present invention, it is preferable to have a step of forming a bank for defining the shape of the layer prior to forming the target layer.
Thereby, the target layer can be formed with high dimensional accuracy.

本発明の光電変換素子は、本発明の光電変換素子の製造方法により製造されたことを特徴とする。
これにより、光電変換効率に優れる光電変換素子が得られる。
本発明の電子機器は、本発明の光電変換素子を備えることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い電子機器が得られる。
The photoelectric conversion element of the present invention is manufactured by the method for manufacturing a photoelectric conversion element of the present invention.
Thereby, the photoelectric conversion element excellent in photoelectric conversion efficiency is obtained.
The electronic device of the present invention includes the photoelectric conversion element of the present invention.
As a result, a highly reliable electronic device can be obtained.

本発明の光電変換素子を太陽電池に適用した場合の第1実施形態を示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view showing a 1st embodiment at the time of applying a photoelectric conversion element of the present invention to a solar cell. 図1に示す太陽電池の厚さ方向の中央部付近の断面を示す拡大図である。It is an enlarged view which shows the cross section of central part vicinity of the thickness direction of the solar cell shown in FIG. 電子輸送層および色素層の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of an electron carrying layer and a pigment | dye layer. 本発明の光電変換素子を太陽電池に適用した場合の第2実施形態を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows 2nd Embodiment at the time of applying the photoelectric conversion element of this invention to a solar cell. 図4に示す太陽電池の厚さ方向の中央部付近の断面を示す拡大図である。It is an enlarged view which shows the cross section of the center part vicinity of the thickness direction of the solar cell shown in FIG. 図4に示す太陽電池の製造工程を説明するための図(縦断面図)である。FIG. 5 is a diagram (longitudinal sectional view) for explaining a manufacturing process of the solar cell shown in FIG. 4. 本発明の電子機器を適用した電卓を示す平面図である。It is a top view which shows the calculator to which the electronic device of this invention is applied. 本発明の電子機器を適用した携帯電話機(PHSも含む)を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the mobile telephone (PHS is also included) to which the electronic device of this invention is applied.

以下、本発明の光電変換素子の製造方法、光電変換素子および電子機器を添付図面に示す好適な実施形態について詳細に説明する。
まず、本発明の光電変換素子を太陽電池に適用した場合を一例に説明する。
<第1実施形態>
まず、本発明の光電変換素子を太陽電池に適用した場合の第1実施形態について説明する。
図1は、本発明の光電変換素子を太陽電池に適用した場合の第1実施形態を示す部分断面図、図2は、図1に示す太陽電池の厚さ方向の中央部付近の断面を示す拡大図、図3は、電子輸送層および色素層の構成を示す模式図である。なお、以下では、説明の都合上、図1〜図3中、上側を「上」、下側を「下」として説明を行う。
DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, a preferred embodiment of a method for producing a photoelectric conversion element, a photoelectric conversion element, and an electronic device according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
First, the case where the photoelectric conversion element of this invention is applied to a solar cell is demonstrated to an example.
<First Embodiment>
First, 1st Embodiment at the time of applying the photoelectric conversion element of this invention to a solar cell is described.
FIG. 1 is a partial cross-sectional view showing a first embodiment when the photoelectric conversion element of the present invention is applied to a solar cell, and FIG. 2 shows a cross section near the central portion in the thickness direction of the solar cell shown in FIG. FIG. 3 is an enlarged view and FIG. 3 is a schematic diagram showing the configuration of the electron transport layer and the dye layer. In the following description, for convenience of explanation, the upper side is “upper” and the lower side is “lower” in FIGS.

図1に示す太陽電池1は、基板2上に設けられた陰極(第1の電極)3と、陰極3と対向して設置された陽極(第2の電極)6と、これらの電極3、6間において、陰極3側に位置する電子輸送層(第1のキャリア輸送層)4と、電子輸送層4と接触する色素層Dと、色素層Dに接触する正孔輸送層(第2のキャリア輸送層)5とを有している。
以下、各部の構成について説明する。なお、以下では、説明の都合上、図1〜図3中、上側を「上」、下側を「下」として説明を行う。
A solar cell 1 shown in FIG. 1 includes a cathode (first electrode) 3 provided on a substrate 2, an anode (second electrode) 6 disposed so as to face the cathode 3, these electrodes 3, 6, an electron transport layer (first carrier transport layer) 4 positioned on the cathode 3 side, a dye layer D in contact with the electron transport layer 4, and a hole transport layer (second layer in contact with the dye layer D) Carrier transport layer) 5.
Hereinafter, the configuration of each unit will be described. In the following description, for convenience of explanation, the upper side is “upper” and the lower side is “lower” in FIGS.

基板2は、陰極3、電子輸送層4、色素層D、正孔輸送層5および陽極6を支持するためのものであり、平板状の部材で構成されている。
本実施形態の太陽電池1では、図1に示すように、基板2および後述する陰極3側から、例えば、太陽光等の光(以下、単に「光」と言う。)を入射させて(照射して)使用するものである。このため、基板2および陰極3は、それぞれ、好ましくは実質的に透明(無色透明、着色透明または半透明)とされる。これにより、光を、後述する色素層Dに効率よく到達させることができる。
The substrate 2 is for supporting the cathode 3, the electron transport layer 4, the dye layer D, the hole transport layer 5, and the anode 6, and is composed of a plate-shaped member.
In the solar cell 1 of the present embodiment, as shown in FIG. 1, for example, light such as sunlight (hereinafter simply referred to as “light”) is incident (irradiated) from the substrate 2 and the cathode 3 side described later. To use). For this reason, each of the substrate 2 and the cathode 3 is preferably substantially transparent (colorless transparent, colored transparent or translucent). Thereby, light can be efficiently made to reach the dye layer D described later.

基板2の構成材料としては、例えば、ガラス材料、セラミックス材料、ポリカーボネート(PC)、ポリエチレンテレフタレート(PET)のような樹脂材料、アルミニウムのような金属材料等が挙げられる。
基板2の平均厚さは、その構成材料、太陽電池1の用途等により適宜設定され、特に限定されないが、例えば、次のように設定することができる。
Examples of the constituent material of the substrate 2 include glass materials, ceramic materials, resin materials such as polycarbonate (PC) and polyethylene terephthalate (PET), and metal materials such as aluminum.
The average thickness of the substrate 2 is appropriately set depending on its constituent material, the use of the solar cell 1 and the like, and is not particularly limited, but can be set as follows, for example.

基板2を硬質材料で構成する場合、その平均厚さは、0.1〜1.5mm程度であるのが好ましく、0.8〜1.2mm程度であるのがより好ましい。また、基板2を可撓性材料で構成する場合、その平均厚さは、0.5〜150μm程度であるのが好ましく、10〜75μm程度であるのがより好ましい。
なお、基板2は、必要に応じて、省略することもできる。
When the substrate 2 is made of a hard material, the average thickness is preferably about 0.1 to 1.5 mm, and more preferably about 0.8 to 1.2 mm. Moreover, when the board | substrate 2 is comprised with a flexible material, it is preferable that the average thickness is about 0.5-150 micrometers, and it is more preferable that it is about 10-75 micrometers.
In addition, the board | substrate 2 can also be abbreviate | omitted as needed.

基板2上(基板2の一方の面側)には、陰極3が設けられている。この陰極3は、後述する色素層Dで発生した電子を、電子輸送層4を介して受け取り、これに接続された外部回路10へ伝達する。
陰極3の構成材料としては、例えば、インジウムティンオキサイド(ITO)、フッ素原子を含有する酸化錫(FTO)、酸化インジウム(IO)、酸化錫(SnO)のような金属酸化物材料、アルミニウム、ニッケル、コバルト、白金、銀、金、銅、モリブデン、チタン、タンタルまたはこれらを含む合金のような金属材料、黒鉛のような炭素材料等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて(例えば、複数層の積層体等として)用いることができる。
A cathode 3 is provided on the substrate 2 (one surface side of the substrate 2). The cathode 3 receives electrons generated in the dye layer D, which will be described later, via the electron transport layer 4 and transmits the electrons to an external circuit 10 connected thereto.
Examples of the constituent material of the cathode 3 include indium tin oxide (ITO), metal oxide materials such as tin oxide containing fluorine atoms (FTO), indium oxide (IO), and tin oxide (SnO 2 ), aluminum, Examples thereof include metal materials such as nickel, cobalt, platinum, silver, gold, copper, molybdenum, titanium, tantalum or alloys containing these, carbon materials such as graphite, and one or more of these materials. It can be used in combination (for example, as a multi-layer laminate).

陰極3の平均厚さは、その構成材料、太陽電池1の用途等により適宜設定され、特に限定されないが、例えば、次のように設定することができる。
陰極3を金属酸化物材料(透明導電性金属酸化物材料)で構成する場合、その平均厚は、0.05〜5μm程度であるのが好ましく、0.1〜1.5μm程度であるのがより好ましい。また、陰極3を金属材料や炭素材料で構成する場合、その平均厚さは、0.01〜1μm程度であるのが好ましく、0.03〜0.1μm程度であるのがより好ましい。
The average thickness of the cathode 3 is appropriately set depending on the constituent material, the use of the solar cell 1 and the like, and is not particularly limited. For example, the average thickness can be set as follows.
When the cathode 3 is made of a metal oxide material (transparent conductive metal oxide material), the average thickness is preferably about 0.05 to 5 μm, and preferably about 0.1 to 1.5 μm. More preferred. Moreover, when the cathode 3 is comprised with a metal material or a carbon material, it is preferable that the average thickness is about 0.01-1 micrometer, and it is more preferable that it is about 0.03-0.1 micrometer.

なお、陰極3は、図示の形状に限定されず、例えば、複数の櫛歯を有する形状のもの等であってもよい。この場合、光は、複数の櫛歯同士の間を通過して、色素層Dに到達するので、陰極3は、実質的に透明でなくてもよい。これにより、陰極3の構成材料や形成方法(製造方法)等の選択の幅の拡大を図ることができる。
また、陰極3は、このような櫛歯状の電極と、層状の電極とを組み合わせて(例えば、積層等して)用いることもできる。
The cathode 3 is not limited to the illustrated shape, and may be, for example, a shape having a plurality of comb teeth. In this case, since the light passes between the plurality of comb teeth and reaches the dye layer D, the cathode 3 may not be substantially transparent. Thereby, the selection range of the constituent material of the cathode 3, a formation method (manufacturing method), etc. can be expanded.
The cathode 3 can also be used by combining (for example, laminating) such a comb-like electrode and a layered electrode.

陰極3上には、膜状のバリヤ層8と多孔質な電子輸送層4とが、この順で設けられている。
電子輸送層4は、少なくとも色素層Dで発生した電子を輸送する機能を有するものである。
電子輸送層4の構成材料には、無機または有機の各種n型半導体材料を1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。このうち、無機のn型半導体材料としては、例えば、二酸化チタン(TiO)、一酸化チタン(TiO)、三酸化二チタン(Ti)等の酸化チタン、酸化亜鉛(ZnO)、酸化スズ(SnO)のような酸化物半導体材料が好適である。
On the cathode 3, a film-like barrier layer 8 and a porous electron transport layer 4 are provided in this order.
The electron transport layer 4 has a function of transporting at least electrons generated in the dye layer D.
As a constituent material of the electron transport layer 4, various inorganic or organic n-type semiconductor materials can be used alone or in combination of two or more. Among these, examples of the inorganic n-type semiconductor material include titanium oxide such as titanium dioxide (TiO 2 ), titanium monoxide (TiO), and dititanium trioxide (Ti 2 O 3 ), zinc oxide (ZnO), and oxide. An oxide semiconductor material such as tin (SnO 2 ) is suitable.

これらの中でも、電子輸送層4の構成材料としては、二酸化チタン主成分とするものが好ましい。二酸化チタンは、特に、電子の輸送能力に優れ、また、光に対する感受性が高いので、電子輸送層4自体でも、電子を発生することができる。その結果、太陽電池1は、その発電効率(光電変換効率)がより向上する。
また、二酸化チタンは、その結晶構造が安定しているので、二酸化チタンを主材料とする電子輸送層4では、過酷な環境下に曝された場合でも、経年変化(劣化)が少なく、安定した性能が長期間継続して得られるという利点を有する。
Among these, as a constituent material of the electron transport layer 4, a material containing titanium dioxide as a main component is preferable. Titanium dioxide is particularly excellent in the ability to transport electrons and has high sensitivity to light, so that the electron transport layer 4 itself can generate electrons. As a result, the power generation efficiency (photoelectric conversion efficiency) of the solar cell 1 is further improved.
In addition, since the crystal structure of titanium dioxide is stable, the electron transport layer 4 containing titanium dioxide as a main material is stable with little secular change (deterioration) even when exposed to a harsh environment. There is an advantage that the performance can be obtained continuously for a long time.

さらに、二酸化チタンとしては、結晶構造がアナターゼ型のものを主成分とするもの、ルチル型のものを主成分とするもの、アナターゼ型のものとルチル型のものとの混合物のいずれであってもよい。
なお、ルチル型の二酸化チタンとアナターゼ型の二酸化チタンとを混合する場合、これらの混合比は、特に限定されないが、重量比で95:5〜5:95程度であるのが好ましく、80:20〜20:80程度であるのがより好ましい。
Further, as titanium dioxide, any of those whose crystal structure is mainly composed of anatase type, those composed mainly of rutile type, and a mixture of anatase type and rutile type may be used. Good.
When rutile titanium dioxide and anatase titanium dioxide are mixed, the mixing ratio is not particularly limited, but is preferably about 95: 5 to 5:95 by weight, and 80:20 More preferably, it is about ˜20: 80.

電子輸送層4は、例えば、前述したようなn型半導体材料の粒状体(粒子)、チューブ状体またはこれらの混合物等の集合体で構成されている。
特に、チューブ状体を用いることにより、電子輸送層4における電子の伝搬スピードを向上させ、その結果、電子と正孔との再結合をより確実に防止または抑制することができる。また、電子輸送層4の比表面積をより増大させることができ、その結果、色素の結合量がより増大する。このようなことから、太陽電池1の発電効率をより向上させることができる。
The electron transport layer 4 is composed of, for example, an aggregate of n-type semiconductor material granules (particles), tube-like bodies, or a mixture thereof as described above.
In particular, by using a tubular body, the propagation speed of electrons in the electron transport layer 4 can be improved, and as a result, recombination of electrons and holes can be prevented or suppressed more reliably. In addition, the specific surface area of the electron transport layer 4 can be further increased, and as a result, the amount of dye bonded is further increased. For this reason, the power generation efficiency of the solar cell 1 can be further improved.

粒状体を用いる場合、その平均粒径は、1nm〜1μm程度であるのが好ましく、5〜50nm程度であるのがより好ましい。また、チューブ状体を用いる場合、その平均長さを前記範囲とするのが好ましい。これにより、前記効果をより向上させることができる。
また、電子輸送層4の外面および空孔41の内面には、色素層Dから受け取った電子が、再度、色素層Dに移行すること(逆電子移動)を防止または抑制する機能を有するコート層を形成するようにしてもよい。これにより、電子と正孔との再結合をより確実に防止または抑制することができる。
When using a granular material, it is preferable that the average particle diameter is about 1 nm-1 micrometer, and it is more preferable that it is about 5-50 nm. Moreover, when using a tubular body, it is preferable to make the average length into the said range. Thereby, the said effect can be improved more.
Further, on the outer surface of the electron transport layer 4 and the inner surface of the holes 41, a coat layer having a function of preventing or suppressing electrons transferred from the dye layer D from moving again to the dye layer D (reverse electron transfer). May be formed. Thereby, recombination of electrons and holes can be prevented or suppressed more reliably.

このコート層は、電子輸送層4を構成するn型半導体材料の伝導帯(Conduction Band)の下端電位よりも低い伝導帯の下端電位を有する物質、換言すれば、電子輸送層4を構成するn型半導体材料の伝導帯の下端電位よりも価電子帯(Valence Band)側に、伝導帯の下端電位を有する物質で構成することができる。
このような物質としては、n型半導体材料として二酸化チタンを主成分とするものを用いる場合、金属酸化物が好適であり、例えば、酸化ジルコニウム、チタン酸ストロンチウム、酸化ニオブ、酸化マグネシウム、酸化亜鉛、酸化錫等のうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
このようなコート層の平均厚さは、0.1〜10nm程度であるのが好ましい。
This coat layer is a substance having a lower end potential of the conduction band lower than the lower end potential of the conduction band of the n-type semiconductor material constituting the electron transport layer 4, in other words, n constituting the electron transport layer 4. It can be composed of a substance having a lower end potential of the conduction band on the valence band side of the lower end potential of the conduction band of the type semiconductor material.
As such a substance, when an n-type semiconductor material containing titanium dioxide as a main component is used, a metal oxide is preferable. For example, zirconium oxide, strontium titanate, niobium oxide, magnesium oxide, zinc oxide, One or more of tin oxides can be used in combination.
The average thickness of such a coat layer is preferably about 0.1 to 10 nm.

また、粒状体同士、チューブ状体同士、粒状体とチューブ状体との接触界面では、これらが十分に拡散して結合していることが好ましい。これにより、電子輸送層4中において、電子の移動が抑制されるのが防止され、電子と正孔との再結合をより確実に防止または抑制することができる。
これは、例えば、電子輸送層4を形成した後に、粒状体やチューブ状体の表面付近を溶解した後、電子輸送層4を400〜500℃程度で再焼成すること等により行うことができる。
Further, it is preferable that these are sufficiently diffused and bonded at the contact interface between the granular bodies, between the tubular bodies, and between the granular bodies and the tubular bodies. Thereby, in the electron carrying layer 4, it is prevented that the movement of an electron is suppressed and the recombination of an electron and a hole can be prevented or suppressed more reliably.
This can be performed, for example, by forming the electron transport layer 4, dissolving the vicinity of the surface of the granular body or tube-shaped body, and then re-baking the electron transport layer 4 at about 400 to 500 ° C.

粒状体やチューブ状体の表面付近の溶解には、例えば、塩酸、硝酸、酢酸、フッ酸のような酸溶液や、水酸化ナトリウム、水酸化マグネシウム、水酸化カリウムを含有するアルカリ溶液等を用いることができる。
このような電子輸送層4の空孔率は、特に限定されないが、5〜90%程度であるのが好ましく、15〜50%程度であるのがより好ましく、20〜40%程度であるのがさらに好ましい。電子輸送層4の空孔率を、このような範囲に設定することにより、電子輸送層4の比表面積を十分大きくすることができる。これにより、電子輸送層4の外面および空孔41の内面に形成される色素層D(後述参照)の形成面積(形成領域)も十分に大きくすることができる。このため、色素層Dでは、十分な電子を発生させることができるとともに、この電子を効率よく電子輸送層4へ受け渡すことができる。その結果、太陽電池1の発電効率をより向上させることができる。
For dissolution near the surface of the granular or tubular body, for example, an acid solution such as hydrochloric acid, nitric acid, acetic acid or hydrofluoric acid, or an alkaline solution containing sodium hydroxide, magnesium hydroxide or potassium hydroxide is used. be able to.
The porosity of the electron transport layer 4 is not particularly limited, but is preferably about 5 to 90%, more preferably about 15 to 50%, and about 20 to 40%. Further preferred. By setting the porosity of the electron transport layer 4 in such a range, the specific surface area of the electron transport layer 4 can be sufficiently increased. Thereby, the formation area (formation region) of the dye layer D (see below) formed on the outer surface of the electron transport layer 4 and the inner surface of the hole 41 can be sufficiently increased. For this reason, in the dye layer D, sufficient electrons can be generated, and these electrons can be efficiently transferred to the electron transport layer 4. As a result, the power generation efficiency of the solar cell 1 can be further improved.

また、電子輸送層4の平均厚さは、特に限定されないが、0.1〜300μm程度であるのが好ましく、0.5〜100μm程度であるのがより好ましく、1〜25μm程度であるのがさらに好ましい。
バリヤ層8は、電子輸送層4より空孔率が小さく設定されており、これにより、後述する正孔輸送層5(第1の半導体材料)と陰極3との接触を防止または抑制するよう機能する。これにより、漏れ電流の発生が増大するのを防止して、太陽電池1の発光効率の低下を防止することができる。
Moreover, although the average thickness of the electron carrying layer 4 is not specifically limited, It is preferable that it is about 0.1-300 micrometers, It is more preferable that it is about 0.5-100 micrometers, It is about 1-25 micrometers. Further preferred.
The barrier layer 8 is set to have a lower porosity than the electron transport layer 4, thereby preventing or suppressing contact between the hole transport layer 5 (first semiconductor material) and the cathode 3 described later. To do. Thereby, generation | occurrence | production of leakage current can be prevented and the fall of the luminous efficiency of the solar cell 1 can be prevented.

ここで、バリヤ層8の空孔率をA[%]とし、電子輸送層4の空孔率をB[%]としたとき、B/Aは、1.1以上であるのが好ましく、5以上であるのがより好ましく、10以上であるのがさらに好ましい。これにより、バリヤ層8と電子輸送層4とは、それぞれ、それらの機能をより好適に発揮することができる。
具体的には、バリヤ層8の空孔率Aは、20%以下であるのが好ましく、5%以下であるのがより好ましく、2%以下であるのがさらに好ましい。すなわち、バリヤ層8は、緻密層であるのが好ましい。これにより、前記効果をより向上することができる。
Here, when the porosity of the barrier layer 8 is A [%] and the porosity of the electron transport layer 4 is B [%], B / A is preferably 1.1 or more. More preferably, it is more preferably 10 or more. Thereby, the barrier layer 8 and the electron transport layer 4 can each exhibit their functions more suitably.
Specifically, the porosity A of the barrier layer 8 is preferably 20% or less, more preferably 5% or less, and even more preferably 2% or less. That is, the barrier layer 8 is preferably a dense layer. Thereby, the said effect can be improved more.

さらに、バリヤ層8と電子輸送層4との厚さの比率は、特に限定されないが、1:99〜60:40程度であるのが好ましく、10:90〜40:60程度であるのがより好ましい。換言すれば、バリヤ層8と電子輸送層4との全体におけるバリヤ層8の占める厚さの割合は、1〜60%程度であるのが好ましく、10〜40%程度であるのがより好ましい。これにより、バリヤ層8は、陰極3と正孔輸送層5との接触等による短絡を、より確実に防止または抑制することができるとともに、色素層Dへの光の到達率が低下するのを好適に防止することができる。   Further, the thickness ratio between the barrier layer 8 and the electron transport layer 4 is not particularly limited, but is preferably about 1:99 to 60:40, and more preferably about 10:90 to 40:60. preferable. In other words, the ratio of the thickness occupied by the barrier layer 8 in the whole of the barrier layer 8 and the electron transport layer 4 is preferably about 1 to 60%, and more preferably about 10 to 40%. As a result, the barrier layer 8 can more reliably prevent or suppress a short circuit due to contact between the cathode 3 and the hole transport layer 5, and the light arrival rate to the dye layer D can be reduced. It can prevent suitably.

具体的には、バリヤ層8の平均厚さ(膜厚)は、0.01〜10μm程度であるのが好ましく、0.1〜5μm程度であるのがより好ましく、0.5〜2μm程度であるのがさらに好ましい。これにより、前記効果をより向上することができる。
このバリヤ層8の構成材料としては、特に限定されないが、例えば、電子輸送層4の主たる構成材料である酸化チタンの他、例えば、SrTiO、ZnO、SiO、Al、SnO、CdS、CdSe、TiC、Si、SiC、BN、BN等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
Specifically, the average thickness (film thickness) of the barrier layer 8 is preferably about 0.01 to 10 μm, more preferably about 0.1 to 5 μm, and about 0.5 to 2 μm. More preferably. Thereby, the said effect can be improved more.
The constituent material of the barrier layer 8 is not particularly limited. For example, in addition to titanium oxide which is a main constituent material of the electron transport layer 4, for example, SrTiO 3 , ZnO, SiO 2 , Al 2 O 3 , SnO 2 , CdS, CdSe, TiC, Si 3 N 4 , SiC, B 4 N, BN and the like can be mentioned, and one or more of these can be used in combination.

これらの中でも、バリヤ層8の構成材料としては、電子輸送層4と同等の電気伝導性を有するものであるのが好ましく、特に、二酸化チタンを主成分とするものがより好ましい。バリヤ層8をこのような材料で構成することにより、色素層Dで発生した電子をより効率よく、電子輸送層4からバリヤ層8へ伝達することができ、その結果、太陽電池1の発電効率をより向上することができる。   Among these, the constituent material of the barrier layer 8 is preferably one having electric conductivity equivalent to that of the electron transport layer 4, and more preferably one containing titanium dioxide as a main component. By configuring the barrier layer 8 with such a material, electrons generated in the dye layer D can be more efficiently transferred from the electron transport layer 4 to the barrier layer 8, and as a result, the power generation efficiency of the solar cell 1 is improved. Can be further improved.

このバリヤ層8および電子輸送層4の厚さ方向の抵抗値は、それぞれ、特に限定されないが、バリヤ層8と電子輸送層4との全体(これらの積層体)における厚さ方向の抵抗値が、100Ω/cm以上であるのが好ましく、1kΩ/cm以上であるのがより好ましい。これにより、陰極3と正孔輸送層5との間でのリーク(短絡)をより確実に防止または抑制することができ、太陽電池1の発電効率の低下をより確実に防止することができる。 The resistance value in the thickness direction of the barrier layer 8 and the electron transport layer 4 is not particularly limited, but the resistance value in the thickness direction of the entire barrier layer 8 and the electron transport layer 4 (a laminated body thereof) is 100Ω / cm 2 or more is preferable, and 1 kΩ / cm 2 or more is more preferable. Thereby, the leak (short circuit) between the cathode 3 and the hole transport layer 5 can be prevented or suppressed more reliably, and the decrease in power generation efficiency of the solar cell 1 can be more reliably prevented.

また、バリヤ層8と電子輸送層4との界面は、明確でなくても、明確であってもよいが、明確でない(不明確である)のが好ましい。すなわち、バリヤ層8と電子輸送層4とは、一体的に形成され、互いに部分的に重なっているのが好ましい。これにより、バリヤ層8と電子輸送層4との間での電子の伝達(受け渡し)を、より確実に(効率よく)行うことができる。   Further, the interface between the barrier layer 8 and the electron transport layer 4 may not be clear or may be clear, but it is preferable that the interface is not clear (unclear). That is, it is preferable that the barrier layer 8 and the electron transport layer 4 are integrally formed and partially overlap each other. Thereby, the transmission (delivery) of electrons between the barrier layer 8 and the electron transport layer 4 can be performed more reliably (efficiently).

さらに、バリヤ層8と電子輸送層4とは、同一の組成の材料(例えば、二酸化チタンを主とする材料)を用いて作成し、それらの空孔率のみが異なる構成、すなわち、電子輸送層4の一部が、前記バリヤ層8として機能するような構成であってもよい。
この場合、電子輸送層4は、その厚さ方向に、密な部分と粗な部分とを有し、このうち、密な部分がバリヤ層8として機能する。
Further, the barrier layer 8 and the electron transport layer 4 are formed using materials having the same composition (for example, a material mainly composed of titanium dioxide), and only their porosity is different, that is, the electron transport layer. 4 may be configured such that a part of 4 functions as the barrier layer 8.
In this case, the electron transport layer 4 has a dense portion and a rough portion in the thickness direction, and the dense portion functions as the barrier layer 8.

また、この場合、密な部分は、電子輸送層4の陰極3側に形成されているのが好ましいが、厚さ方向の任意の位置に形成することもできる。
また、この場合、電子輸送層4は、密な部分で粗な部分を挟んだ部分を有する構成のものや、粗な部分で密な部分を挟んだ部分を有する構成のもの等であってもよい。
このような電子輸送層4には、色素を、例えば吸着、結合(共有結合、配位結合)等させることにより、色素層Dが接触して設けられている。
In this case, the dense portion is preferably formed on the cathode 3 side of the electron transport layer 4, but can also be formed at an arbitrary position in the thickness direction.
Further, in this case, the electron transport layer 4 may have a configuration having a portion where a rough portion is sandwiched between dense portions or a configuration having a portion where a dense portion is sandwiched between rough portions. Good.
Such an electron transport layer 4 is provided with the dye layer D in contact with the dye by, for example, adsorbing, bonding (covalent bond, coordinate bond), or the like.

この色素層Dは、受光により、電子と正孔とを発生する受光層であり、図3に示すように、電子輸送層4の外面および空孔41の内面に沿って形成されている。これにより、色素層Dで発生した電子を効率よく電子輸送層4に受け渡すことができる。
この色素層Dを構成する色素としては、顔料および染料を単独または混合して使用することができる。なお、経時的変質、劣化がより少ないという点で顔料を、電子輸送層4への吸着性(電子輸送層4との結合性)がより優れるという点で染料を用いるのが好ましい。
The dye layer D is a light-receiving layer that generates electrons and holes by receiving light, and is formed along the outer surface of the electron transport layer 4 and the inner surface of the holes 41 as shown in FIG. Thereby, the electrons generated in the dye layer D can be efficiently transferred to the electron transport layer 4.
As the pigment constituting the pigment layer D, pigments and dyes can be used alone or in combination. In addition, it is preferable to use a dye from the viewpoint that the adsorptivity to the electron transport layer 4 (bonding property to the electron transport layer 4) is more excellent in that the deterioration and deterioration with time are less.

ここで、顔料としては、例えば、フタロシアニングリーン、フタロシアニンブルー等のフタロシアニン系顔料、ファストイエロー、ジスアゾイエロー、縮合アゾイエロー、ペンゾイミダゾロンイエロー、ジニトロアニリンオレンジ、ペンズイミダゾロンオレンジ、トルイジンレッド、パーマネントカーミン、パーマネントレッド、ナフトールレッド、縮合アゾレッド、ベンズイミダゾロンカーミン、ベンズイミダゾロンブラウン等のアゾ系顔料、アントラピリミジンイエロー、アントラキノニルレッド等のアントラキノン系顔料、銅アゾメチンイエロー等のアゾメチン系顔料、キノフタロンイエロー等のキノフタロン系顔料、イソインドリンイエロー等のイソインドリン系顔料、ニッケルジオキシムイエロー等のニトロソ系顔料、ペリノンオレンジ等のペリノン系顔料、キナクリドンマゼンタ、キナクリドンマルーン、キナクリドンスカーレット、キナクリドンレッド等のキナクリドン系顔料、ペリレンレッド、ペリレンマルーン等のペリレン系顔料、ジケトピロロピロールレッド等のピロロピロール系顔料、ジオキサジンバイオレット等のジオキサジン系顔料のような有機顔料、カーボンブラック、ランプブラック、ファーネスブラック、アイボリーブラック、黒鉛、フラーレン等の炭素系顔料、黄鉛、モリブデートオレンジ等クロム酸塩系顔料、カドミウムイエロー、カドミウムリトポンイエロー、カドミウムオレンジ、カドミウムリトポンオレンジ、銀朱、カドミウムレッド、カドミウムリトポンレッド、硫化等の硫化物系顔料、オーカー、チタンイエロー、チタンバリウムニッケルイエロー、べんがら、鉛丹、アンバー、褐色酸化鉄、亜鉛鉄クロムブラウン、酸化クロム、コバルトグリーン、コバルトクロムグリーン、チタンコバルトグリーン、コバルトブルー、セルリアンブルー、コバルトアルミニウムクロムブルー、鉄黒、マンガンフェライトブラック、コバルトフェライトブラック、銅クロムブラック、銅クロムマンガンブラック等の酸化物系顔料、ビリジアン等の水酸化物系顔料、紺青等のフェロシアン化物系顔料、群青等のケイ酸塩系顔料、コバルトバイオレット、ミネラルバイオレット等のリン酸塩系顔料、その他(例えば硫化カドミウム、セレン化カドミウム等)のような無機顔料等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。   Here, examples of the pigment include phthalocyanine pigments such as phthalocyanine green and phthalocyanine blue, fast yellow, disazo yellow, condensed azo yellow, benzoimidazolone yellow, dinitroaniline orange, benzimidazolone orange, toluidine red, and permanent carmine. Azo pigments such as permanent red, naphthol red, condensed azo red, benzimidazolone carmine, benzimidazolone brown, anthraquinone pigments such as anthrapyrimidine yellow and anthraquinonyl red, azomethine pigments such as copper azomethine yellow, quinophthalone yellow Quinophthalone pigments such as isoindoline yellow, nitroso pigments such as nickel dioxime yellow, perinone Perinone pigments such as orange, quinacridone magenta, quinacridone maroon, quinacridone scarlet, quinacridone pigments such as quinacridone red, perylene pigments such as perylene red and perylene maroon, pyrrolopyrrole pigments such as diketopyrrolopyrrole red, dioxazine violet Organic pigments such as dioxazine pigments such as carbon black, lamp black, furnace black, ivory black, carbon pigments such as graphite and fullerene, chromate pigments such as chrome lead and molybdate orange, cadmium yellow, cadmium lith Pong yellow, cadmium orange, cadmium lithopone orange, silver vermilion, cadmium red, cadmium lithopon red, sulfide pigments such as sulfide, ocher, titanium yellow, titanium barium Neckel yellow, red rose, red lead, amber, brown iron oxide, zinc iron chrome brown, chromium oxide, cobalt green, cobalt chrome green, titanium cobalt green, cobalt blue, cerulean blue, cobalt aluminum chrome blue, iron black, manganese ferrite black, Oxide pigments such as cobalt ferrite black, copper chrome black, copper chrome manganese black, hydroxide pigments such as viridian, ferrocyanide pigments such as bitumen, silicate pigments such as ultramarine, cobalt violet, minerals Examples thereof include phosphate pigments such as violet, and other inorganic pigments such as cadmium sulfide and cadmium selenide, and one or more of these can be used in combination.

一方、染料としては、例えば、RuL(SCN)、RuLCl、RuLCN、Rutenium535−bisTBA(Solaronics社製)、[RuL (NCSOのような金属錯体色素、シアン系色素、キサンテン系色素、アゾ系色素、ハイビスカス色素、ブラックベリー色素、ラズベリー色素、ザクロ果汁色素、クロロフィル色素等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。なお、前記組成式中のLは、2,2’−bipyridineまたはその誘導体を示す。 On the other hand, as the dye, for example, RuL 2 (SCN) 2, RuL ( manufactured by Solaronics, Inc.) 2 Cl 2, RuL 2 CN 2, Rutenium535-bisTBA, [RuL 2 metal complexes such as (NCS 2) 2 H 2 O Examples include dyes, cyan dyes, xanthene dyes, azo dyes, hibiscus dyes, blackberry dyes, raspberry dyes, pomegranate juice dyes, chlorophyll dyes, and the like. Use one or more of these in combination. Can do. In addition, L in the said composition formula shows 2,2'-bipyridine, or its derivative (s).

色素層Dに接触して、正孔輸送層5が設けられている。この正孔輸送層5は、色素層Dで発生した正孔を捕捉し、輸送する機能を有する。
正孔輸送層5は、全体として層状をなしているが、図2に示すように、電子輸送層4側では、その一部が電子輸送層4の空孔41内に入り込んでいる。これにより、色素層Dと正孔輸送層5との接触面積を増大することができ、色素層Dで発生した正孔(ホール)を、より効率よく正孔輸送層5へ受け渡すことができる。その結果、太陽電池1の発電効率をより向上させることができる。
A hole transport layer 5 is provided in contact with the dye layer D. The hole transport layer 5 has a function of capturing and transporting holes generated in the dye layer D.
Although the hole transport layer 5 has a layer shape as a whole, a part of the hole transport layer 5 enters the holes 41 of the electron transport layer 4 on the electron transport layer 4 side as shown in FIG. As a result, the contact area between the dye layer D and the hole transport layer 5 can be increased, and holes generated in the dye layer D can be transferred to the hole transport layer 5 more efficiently. . As a result, the power generation efficiency of the solar cell 1 can be further improved.

このような正孔輸送層5の構成材料としては、各種p型半導体材料が用いられ、例えば、ポリアリールアミン、フルオレン−アリールアミン共重合体、フルオレン−ビチオフェン共重合体、ポリ(N−ビニルカルバゾール)、ポリビニルピレン、ポリビニルアントラセン、ポリチオフェン、ポリアルキルチオフェン、ポリヘキシルチオフェン、ポリ(p−フェニレンビニレン)、ポリチニレンビニレン、ピレンホルムアルデヒド樹脂、エチルカルバゾールホルムアルデヒド樹脂またはこれらの誘導体のような有機ポリマーや、チオフェンを骨格に有するデンドリマー等の有機高分子、ナフタレン、アントラセン、テトラセン、ペンタセン、ヘキサセン、フタロシアニン、ペリレン、ヒドラゾン、トリフェニルメタン、ジフェニルメタン、スチルベン、アリールビニル、ピラゾリン、トリフェニルアミン、トリアリールアミン、オリゴチオフェン、フタロシアニンまたはこれらの誘導体等の有機低分子、CuI、AgI、AgBr、CuSCN等の無機材料などが挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。   As a constituent material of the hole transport layer 5, various p-type semiconductor materials are used. For example, polyarylamine, fluorene-arylamine copolymer, fluorene-bithiophene copolymer, poly (N-vinylcarbazole) ), Organic polymers such as polyvinylpyrene, polyvinylanthracene, polythiophene, polyalkylthiophene, polyhexylthiophene, poly (p-phenylene vinylene), polytinylene vinylene, pyrene formaldehyde resin, ethyl carbazole formaldehyde resin or derivatives thereof, Organic polymers such as dendrimers with thiophene skeleton, naphthalene, anthracene, tetracene, pentacene, hexacene, phthalocyanine, perylene, hydrazone, triphenylmethane, diphenylmethane, styrene Examples include organic low molecules such as ben, arylvinyl, pyrazoline, triphenylamine, triarylamine, oligothiophene, phthalocyanine or derivatives thereof, and inorganic materials such as CuI, AgI, AgBr, and CuSCN. Species or a combination of two or more can be used.

また、前記有機ポリマーは、他のポリマーとの混合物として用いることもできる。一例として、ポリチオフェンを含有する混合物としては、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン/スチレンスルホン酸)(PEDOT/PSS)等が挙げられる。
また、正孔輸送層5の平均厚さ(空孔41内に入り込んだ部分を除く)は、特に限定されないが、1〜500μm程度であるのが好ましく、10〜300μm程度であるのがより好ましく、10〜30μm程度であるのがさらに好ましい。
Moreover, the said organic polymer can also be used as a mixture with another polymer. As an example, the polythiophene-containing mixture includes poly (3,4-ethylenedioxythiophene / styrene sulfonic acid) (PEDOT / PSS).
Further, the average thickness of the hole transport layer 5 (excluding the part that has entered the holes 41) is not particularly limited, but is preferably about 1 to 500 μm, more preferably about 10 to 300 μm. More preferably, the thickness is about 10 to 30 μm.

正孔輸送層5上(陰極3と反対側)には、陰極3に対向する陽極6が設けられている。
この陽極6の構成材料としては、例えば、アルミニウム、ニッケル、コバルト、白金、銀、金、銅、モリブデン、チタン、タンタルのような金属またはこれらを含む合金、あるいは、黒鉛のような各種炭素材料等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
On the hole transport layer 5 (on the side opposite to the cathode 3), an anode 6 facing the cathode 3 is provided.
Examples of the constituent material of the anode 6 include metals such as aluminum, nickel, cobalt, platinum, silver, gold, copper, molybdenum, titanium, and tantalum, alloys containing them, and various carbon materials such as graphite. These can be used, and one or more of these can be used in combination.

陽極6の平均厚さは、その構成材料、太陽電池1の用途等により適宜設定され、特に限定されない。
このような太陽電池1では、光が入射すると、主に色素層Dにおいて、電子が励起され、電子(e)と正孔(h)とが発生する。このうち、電子は、電子輸送層4へ、正孔は、正孔輸送層5へ移動し、陰極3と陽極6との間に、電位差(光起電力)が生じて、外部回路10に、電流(光励起電流)が流れる。
The average thickness of the anode 6 is appropriately set depending on the constituent material, the use of the solar cell 1 and the like, and is not particularly limited.
In such a solar cell 1, when light enters, electrons are excited mainly in the dye layer D, and electrons (e ) and holes (h + ) are generated. Among these, electrons move to the electron transport layer 4, holes move to the hole transport layer 5, and a potential difference (photoelectromotive force) is generated between the cathode 3 and the anode 6. Current (photoexcitation current) flows.

また、このような太陽電池1では、陰極3が正、陽極6が負となるようにして、0.5Vの電圧を印加したとき、その抵抗値が100Ω/cm以上(好ましくは1kΩ/cm以上)となる特性を有するのがより好ましい。このような特性を有する太陽電池1では、陰極3と正孔輸送層5との間での接触等による短絡(リーク)が好適に防止または抑制されていることを示すものであり、その発電効率(光電変換効率)をより向上させることができる。
このような太陽電池1は、例えば、次のようにして製造することができる。
In such a solar cell 1, when a voltage of 0.5 V is applied so that the cathode 3 is positive and the anode 6 is negative, the resistance value is 100 Ω / cm 2 or more (preferably 1 kΩ / cm 2). 2 or more) is more preferable. The solar cell 1 having such characteristics indicates that a short circuit (leakage) due to contact between the cathode 3 and the hole transport layer 5 is suitably prevented or suppressed, and its power generation efficiency (Photoelectric conversion efficiency) can be further improved.
Such a solar cell 1 can be manufactured as follows, for example.

[1] 基板2、陰極3、バリヤ層8および電子輸送層4が積層された積層体を用意する(第1の工程)。
[1−1] まず、基板2を用意し、この基板2上に、陰極3を形成する。
この陰極3は、例えば、蒸着法、スパッタリング法、印刷法等により形成することができる。
[1] A laminate in which the substrate 2, the cathode 3, the barrier layer 8, and the electron transport layer 4 are laminated is prepared (first step).
[1-1] First, the substrate 2 is prepared, and the cathode 3 is formed on the substrate 2.
The cathode 3 can be formed by, for example, a vapor deposition method, a sputtering method, a printing method, or the like.

[1−2] 次に、陰極3上に、バリヤ層8を形成する。
このバリヤ層8は、例えば、ゾル・ゲル法、蒸着(真空蒸着)法、スパッタリング法(高周波スパッタリング、DCスパッタリング)、スプレー熱分解法、ジェットモールド(プラズマ溶射)法、CVD法等により形成することができるが、これらの中でも、ゾル・ゲル法により形成するのが好ましい。
[1-2] Next, the barrier layer 8 is formed on the cathode 3.
The barrier layer 8 is formed by, for example, a sol-gel method, a vapor deposition (vacuum vapor deposition) method, a sputtering method (high frequency sputtering, DC sputtering), a spray pyrolysis method, a jet mold (plasma spraying) method, a CVD method, or the like. Among these, the sol-gel method is preferable.

このゾル・ゲル法は、その操作が極めて簡単である。また、ゾル・ゲル法を用いることにより、バリヤ層8を形成するためのバリヤ層形成用材料を、例えば、ディッピング法、滴下、ドクターブレード法、スピンコート法、刷毛塗り、スプレーコート法、ロールコート法等の各種塗布法により供給することが可能であり、大掛かりな装置も必要とせず、所望の膜厚のバリヤ層8を比較的容易に形成することができる。   This sol-gel method is very easy to operate. In addition, by using a sol-gel method, a barrier layer forming material for forming the barrier layer 8 is, for example, a dipping method, dripping, doctor blade method, spin coating method, brush coating, spray coating method, roll coating. The barrier layer 8 having a desired film thickness can be formed relatively easily without requiring a large-scale apparatus.

特に、バリヤ層8の形成には、ゾル・ゲル法の一種であるMetal Organic Deposition(またはDecomposition)法(以下、「MOD法」と略す。)を用いるのが好ましい。
このMOD法によれば、バリヤ層形成用材料中において、バリヤ層8の構成材料の前駆体の反応(例えば、加水分解、重縮合等)が防止されるため、バリヤ層8をより容易かつ確実に(再現性よく)形成することができる。また、得られるバリヤ層8を、緻密な(前記範囲内の空孔率の)ものとすることができる。
バリヤ層8を二酸化チタンを主材料として構成する場合、その前駆体としては、例えば、チタンテトライソプロポキシド(TPT)、チタンテトラメトキシド、チタンテトラエトキシド、チタンテトラブトキシド等の有機チタン化合物を用いることができる。
In particular, it is preferable to use a metal organic deposition (or decomposition) method (hereinafter abbreviated as “MOD method”), which is a kind of sol-gel method, for forming the barrier layer 8.
According to this MOD method, the reaction of the precursor of the constituent material of the barrier layer 8 (for example, hydrolysis, polycondensation, etc.) is prevented in the barrier layer forming material. (With good reproducibility). Further, the obtained barrier layer 8 can be dense (with a porosity within the above range).
When the barrier layer 8 is composed of titanium dioxide as a main material, as a precursor thereof, for example, an organic titanium compound such as titanium tetraisopropoxide (TPT), titanium tetramethoxide, titanium tetraethoxide, titanium tetrabutoxide, or the like is used. Can be used.

[1−3] 次に、バリヤ層8の上に、電子輸送層4を形成する。
この電子輸送層4は、例えば、前述したような粒状体および/またはチューブ状体を含有する電子輸送層形成用材料を、バリヤ層8上に供給し、脱分散媒の後、焼成すること等により形成することができる。
電子輸送層形成用材料の供給方法としては、前述したような各種塗布法を用いることができる。
[1-3] Next, the electron transport layer 4 is formed on the barrier layer 8.
The electron transport layer 4 is, for example, supplied with the material for forming an electron transport layer containing the granular material and / or the tube-like material as described above on the barrier layer 8 and fired after the dedispersion medium. Can be formed.
As a method for supplying the electron transport layer forming material, various coating methods as described above can be used.

[2] 次に、電子輸送層4に接触するように、色素層Dを形成する(第2の工程)。
この色素層Dは、例えば、電子輸送層4に色素を含む液を接触させた後、脱溶媒(または脱分散媒)すること等により形成することができる。
これにより、色素が電子輸送層4の外面および空孔41の内面に、例えば吸着、結合等して、これらの面に沿って色素層Dが形成される。
[2] Next, the dye layer D is formed so as to be in contact with the electron transport layer 4 (second step).
The dye layer D can be formed, for example, by bringing a liquid containing a dye into contact with the electron transport layer 4 and then removing the solvent (or dedispersing medium).
As a result, the dye is adsorbed and bonded to the outer surface of the electron transport layer 4 and the inner surface of the hole 41, for example, and the dye layer D is formed along these surfaces.

電子輸送層4に色素を含む液を接触させる方法としては、例えば、色素を含む液中に積層体を浸漬する方法(浸漬法)、電子輸送層4に色素を含む液を塗布する方法(塗布法)、電子輸送層4に色素を含む液をシャワー状に供給する方法等が挙げられる。
色素を含む液を調製する溶媒(または分散媒)としては、例えば、各種水、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、アセトニトリル、酢酸エチル、エーテル、塩化メチレン、NMP(N−メチル−2−ピロリドン)等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
Examples of the method of bringing the liquid containing the dye into contact with the electron transport layer 4 include a method of immersing the laminate in a liquid containing the dye (immersion method), and a method of applying a liquid containing the dye to the electron transport layer 4 (application). Method), a method of supplying a liquid containing a pigment to the electron transport layer 4 in a shower form, and the like.
Examples of the solvent (or dispersion medium) for preparing the liquid containing the pigment include various water, methanol, ethanol, isopropyl alcohol, acetonitrile, ethyl acetate, ether, methylene chloride, NMP (N-methyl-2-pyrrolidone), and the like. 1 type or 2 types or more of these can be used in combination.

また、脱溶媒の方法としては、例えば、大気圧または減圧下に放置する方法や、空気、窒素ガス等の気体を吹き付ける方法等が挙げられる。
なお、必要に応じて、積層体に対して、例えば60〜100℃程度の温度で、0.5〜2時間程度、熱処理を施してもよい。これにより、色素をより強固に電子輸送層4に吸着(結合)させることができる。
Examples of the solvent removal method include a method in which the solvent is left under atmospheric pressure or reduced pressure, and a method in which a gas such as air or nitrogen gas is blown.
In addition, you may heat-process with respect to a laminated body at the temperature of about 60-100 degreeC for about 0.5 to 2 hours as needed. Thereby, a pigment | dye can be adsorb | sucked (bonded) to the electron carrying layer 4 more firmly.

[3] 次に、色素層Dに接触するように正孔輸送層5を形成する(第3の工程)。
この正孔輸送層5は、色素層Dが形成された電子輸送層4の上側(電子輸送層4の陰極3と反対側)から、第1の半導体材料を含有する第1の液状材料を供給した後、第2の半導体材料を含有する第2の液状材料を供給して形成する。すなわち、正孔輸送層5を液相成膜法により形成する。液相成膜法を用いて正孔輸送層5を形成することにより、色素層Dと正孔輸送層5との接触面積を増大させることができ、色素層Dから正孔輸送層5へ効率よく正孔が受け渡されるようになり、正孔と電子との再結合を確実に防止することができる。このため、太陽電池1は、その発電効率(光電変換効率)が向上する。
このとき、本実施形態では、第1の液状材料として、第2の液状材料より常温での粘度が低いものを用いる。これにより、第1の液状材料(第1の半導体材料)が電子輸送層4の空孔41の深い部分、すなわち、バリヤ層8またはその近傍にまで到達するようになる。その結果、色素層Dと正孔輸送層5との接触面積をより増大させることができ、色素層Dから正孔輸送層5へより効率よく正孔が受け渡されるようになり、正孔と電子との再結合をより確実に防止することができる。このため、太陽電池1は、その発電効率(光電変換効率)がより向上する。
[3] Next, the hole transport layer 5 is formed so as to be in contact with the dye layer D (third step).
The hole transport layer 5 supplies the first liquid material containing the first semiconductor material from the upper side of the electron transport layer 4 on which the dye layer D is formed (the side opposite to the cathode 3 of the electron transport layer 4). After that, the second liquid material containing the second semiconductor material is supplied and formed. That is, the hole transport layer 5 is formed by a liquid phase film forming method. By forming the hole transport layer 5 using the liquid phase film formation method, the contact area between the dye layer D and the hole transport layer 5 can be increased, and the efficiency from the dye layer D to the hole transport layer 5 can be increased. Holes are often delivered and recombination of holes and electrons can be reliably prevented. For this reason, the solar cell 1 has improved power generation efficiency (photoelectric conversion efficiency).
At this time, in this embodiment, a material having a lower viscosity at room temperature than the second liquid material is used as the first liquid material. As a result, the first liquid material (first semiconductor material) reaches the deep part of the hole 41 of the electron transport layer 4, that is, the barrier layer 8 or the vicinity thereof. As a result, the contact area between the dye layer D and the hole transport layer 5 can be further increased, and holes can be more efficiently transferred from the dye layer D to the hole transport layer 5. Recombination with electrons can be prevented more reliably. For this reason, as for the solar cell 1, the power generation efficiency (photoelectric conversion efficiency) improves more.

この第1の液状材料の常温での粘度は、1〜5cP程度であるのが好ましく、1〜3cP程度であるのがより好ましい。これにより、第1の液状材料が電子輸送層4の空孔41の深い部分にまでより確実に到達するようになり、前記効果がより顕著に発揮されるようになる。
第1の半導体材料の供給量は、任意であるが、第1の半導体材料は、電子輸送層4の空孔41を埋めるように充填するのが好ましい。これにより、第2の液状材料として比較的粘度の高いものを用いた場合でも、色素層Dと正孔輸送層5との接触面積を十分に確保することができる。
The viscosity of the first liquid material at room temperature is preferably about 1 to 5 cP, and more preferably about 1 to 3 cP. As a result, the first liquid material reaches the deeper portion of the hole 41 of the electron transport layer 4 more reliably, and the above-described effect is more remarkably exhibited.
Although the supply amount of the first semiconductor material is arbitrary, it is preferable to fill the first semiconductor material so as to fill the holes 41 of the electron transport layer 4. Thereby, even when a relatively high viscosity material is used as the second liquid material, a sufficient contact area between the dye layer D and the hole transport layer 5 can be ensured.

また、このとき、電子輸送層4および第1の液状材料の一方または双方に対して振動を与えつつ、第1の液状材料を供給するようにするのが好ましい。これにより、第1の液状材料が電子輸送層4の空孔41の深い部分にまでより確実に到達するようになり、前記効果がより顕著に発揮されるようになる。
この振動を与える方法としては、例えば、基板2(電子輸送層4)に超音波を与える方法や、超音波を与えた液滴(第1の液状材料)を塗布(供給)する方法のように超音波を用いる方法、機械的に衝撃を与える方法等が挙げられるが、特に、超音波を用いる方法が好ましい。これにより、第1の液状材料を電子輸送層4の空孔41の深い部分にまでより容易に到達させることができるようになる。
At this time, it is preferable to supply the first liquid material while applying vibration to one or both of the electron transport layer 4 and the first liquid material. As a result, the first liquid material reaches the deeper portion of the hole 41 of the electron transport layer 4 more reliably, and the above-described effect is more remarkably exhibited.
As a method of applying this vibration, for example, a method of applying an ultrasonic wave to the substrate 2 (electron transport layer 4) or a method of applying (supplying) a droplet (first liquid material) to which an ultrasonic wave has been applied. Examples thereof include a method using ultrasonic waves and a method of mechanically impacting, and a method using ultrasonic waves is particularly preferable. As a result, the first liquid material can be more easily reached to the deep portion of the hole 41 of the electron transport layer 4.

第1の液状材料は、第2の液状材料より常温での粘度が低いものであればよいが、特に、その第1の半導体材料の濃度上昇に伴う粘度上昇率が、第2の液状材料の第2の半導体材料の濃度上昇に伴う粘度上昇率より低いものであるのが好ましい。これにより、正孔輸送層5を形成する際に、第1の液状材料中から溶媒が徐々に揮発しても、第1の液状材料の粘度を十分に低く保持することができ、第1の液状材料の取り扱いが容易となり、正孔輸送層5をより容易かつ確実に形成することができる。   The first liquid material only needs to have a lower viscosity at room temperature than the second liquid material, and in particular, the rate of increase in viscosity associated with the increase in the concentration of the first semiconductor material is that of the second liquid material. The viscosity is preferably lower than the rate of increase in viscosity accompanying the increase in concentration of the second semiconductor material. Thereby, when the hole transport layer 5 is formed, even if the solvent gradually evaporates from the first liquid material, the viscosity of the first liquid material can be kept sufficiently low. The handling of the liquid material becomes easy and the hole transport layer 5 can be formed more easily and reliably.

また、第1の半導体材料および第2の半導体材料としては、それぞれ、前述した材料の中から、正孔輸送層5に優れた特性が発揮されるように、その組み合わせは任意に選択されるが、第1の半導体材料および第2の半導体材料としては、いずれも、有機高分子を用いるのが好ましい。有機高分子は、正孔の輸送能力に優れる点、被覆性および成膜性に優れる点等で好ましい材料である。   In addition, as the first semiconductor material and the second semiconductor material, combinations thereof are arbitrarily selected from the materials described above so that excellent characteristics can be exhibited in the hole transport layer 5. As the first semiconductor material and the second semiconductor material, it is preferable to use an organic polymer. An organic polymer is a preferable material in terms of excellent hole transport capability, excellent coverage, and film formability.

第1の半導体材料および第2の半導体材料として、いずれも有機高分子を用いる場合、第1の液状材料と第2の液状材料との粘度の調製は、例えば、有機高分子の重量平均分子量、有機高分子の種類、有機高分子の濃度、溶媒の種類、塗布時のプロセス温度等のうちの少なくとも1つの条件を適宜設定することにより行うことができる。
一例としては、例えば、I:第1の半導体材料および第2の半導体材料として、同種の有機ポリマーを用い、かつ、第1の半導体材料の重量平均分子量が第2の半導体材料の重量平均分子量より小さいものを選択する方法、II:第1の半導体材料としてデンドリマーを選択し、第2の半導体材料として有機ポリマーを選択する方法等が挙げられるが、特に、Iの方法を用いるのが好ましい。
When both organic polymers are used as the first semiconductor material and the second semiconductor material, the viscosity of the first liquid material and the second liquid material is adjusted by, for example, the weight average molecular weight of the organic polymer, It can be carried out by appropriately setting at least one condition among the kind of organic polymer, the concentration of organic polymer, the kind of solvent, the process temperature at the time of coating, and the like.
As an example, for example, I: the same type of organic polymer is used as the first semiconductor material and the second semiconductor material, and the weight average molecular weight of the first semiconductor material is higher than the weight average molecular weight of the second semiconductor material A method of selecting a small material, II: a method of selecting a dendrimer as the first semiconductor material, and a method of selecting an organic polymer as the second semiconductor material, etc. are mentioned, and it is particularly preferable to use the method I.

ここで、一般に、2種の異なる半導体材料を用いて正孔輸送層5を形成した場合、これらの半導体材料の間には界面が形成される。ところが、Iの方法によれば、第1の半導体材料および第2の半導体材料として、同種の有機ポリマーを用いるため、界面が形成されないか、または、界面が形成された場合でも界面における2つの有機ポリマー(半導体材料)の密着性が極めて高いものとなる。また、第2の半導体材料は、比較的分子量が大きいことから、成膜性に優れ、陽極6側において均一かつ均質な層が形成される。このようなことから、正孔輸送層5全体における正孔の輸送がより円滑かつ確実に行われるようになる。また、正孔輸送層5の機械的強度が低下するのを防止することができ、太陽電池1の耐久性および信頼性の向上を図ることができる。
また、Iの場合、第1の半導体材料の重量平均分子量は、10000以下であるのが好ましく、1000〜8000程度であるのがより好ましい。これにより、第1の液体材料中の第1の半導体材料の濃度を比較的高くした場合や、不本意に濃度が高くなった場合でも、第1の液状材料の粘度を低く維持することが可能となる。
Here, in general, when the hole transport layer 5 is formed using two different semiconductor materials, an interface is formed between these semiconductor materials. However, according to the method I, since the same kind of organic polymer is used as the first semiconductor material and the second semiconductor material, the interface is not formed, or even if an interface is formed, The adhesion of the polymer (semiconductor material) is extremely high. In addition, since the second semiconductor material has a relatively large molecular weight, it has excellent film formability, and a uniform and homogeneous layer is formed on the anode 6 side. For this reason, the hole transport in the whole hole transport layer 5 is smoothly and reliably performed. Moreover, it can prevent that the mechanical strength of the positive hole transport layer 5 falls, and can improve the durability and reliability of the solar cell 1.
In the case of I, the weight average molecular weight of the first semiconductor material is preferably 10,000 or less, more preferably about 1000 to 8000. Accordingly, even when the concentration of the first semiconductor material in the first liquid material is relatively high or when the concentration is unintentionally increased, the viscosity of the first liquid material can be kept low. It becomes.

一方、第2の半導体材料の重量平均分子量は、15000以上であるのが好ましく、17000〜25000程度であるのがより好ましい。このように分子量の大きい有機ポリマーは、特に、正孔の輸送能力に優れるものである。なお、前記上限値を超えて分子量が大きくなると、このものを溶解し得る溶媒の種類が極端に減少することから好ましくない。   On the other hand, the weight average molecular weight of the second semiconductor material is preferably 15000 or more, more preferably about 17000 to 25000. Such an organic polymer having a large molecular weight is particularly excellent in hole transport ability. In addition, it is not preferable that the molecular weight is increased beyond the upper limit value because the types of solvents capable of dissolving them are extremely reduced.

このような有機ポリマーとしては、前述した中でも、特に、ポリアリールアミン、フルオレン−アリールアミン共重合体、フルオレン−ビチオフェン共重合体またはこれらの誘導体が好適に用いられる。これらの有機ポリマーは、比較的低分子量のものでも、正孔の輸送能力に優れるため、得られる正孔輸送層5も、特に正孔の輸送能力に優れたものとなる。   As such an organic polymer, polyarylamine, a fluorene-arylamine copolymer, a fluorene-bithiophene copolymer, or a derivative thereof is particularly preferably used among those described above. Even if these organic polymers have a relatively low molecular weight, they are excellent in the hole transport ability, so that the resulting hole transport layer 5 is also particularly excellent in the hole transport ability.

第1の液状材料および第2の液状材料を調製するための溶媒としては、それぞれ、第1の半導体材料および第2の半導体材料を溶解し得るものを適宜選択すればよく、特に限定されない。
なお、第1の半導体材料および第2の半導体材料として、それぞれ、前述したような有機ポリマーを用いる場合には、例えば、ベンゼン、トルエン、キシレン、トリメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン、シクロヘキシルベンゼンのような芳香族系溶媒、クロロベンゼン、ブロモベンゼンのようなハロゲン化溶媒、クロロホルム等が挙げられ、これらを単独または混合して用いるのが好適である。
Solvents for preparing the first liquid material and the second liquid material may be appropriately selected as long as they can dissolve the first semiconductor material and the second semiconductor material, respectively, and are not particularly limited.
In the case where the organic polymer as described above is used as each of the first semiconductor material and the second semiconductor material, for example, a fragrance such as benzene, toluene, xylene, trimethylbenzene, tetramethylbenzene, and cyclohexylbenzene. Group solvents, halogenated solvents such as chlorobenzene and bromobenzene, chloroform and the like, and these are preferably used alone or in combination.

特に、第1の液状材料の調製には、第1の半導体材料の凝集を抑制することができ、第1の半導体材料の溶解度の高く、かつ、低沸点の溶媒を用いるのが好ましい。かかる溶媒としては、例えば、トルエン、クロロホルム、ベンゼン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、メチルシクロペンタン、シクロヘキセンまたはこれらを含む混合溶媒等が好適である。   In particular, for the preparation of the first liquid material, it is preferable to use a solvent having a high solubility and a low boiling point because the aggregation of the first semiconductor material can be suppressed. As such a solvent, for example, toluene, chloroform, benzene, cyclohexane, methylcyclohexane, methylcyclopentane, cyclohexene or a mixed solvent containing these is suitable.

また、第1の液状材料および第2の液状材料を供給する方法としては、例えば、ディッピング法、スピンコート法、キャスティング法、マイクログラビアコート法、グラビアコート法、バーコート法、ワイヤーバーコート法、ロールコート法、スプレーコート法、スクリーン印刷法、フレキソ印刷法、オフセット法、インクジェット法、マイクロコンタクトプリンティング法等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。   Moreover, as a method of supplying the first liquid material and the second liquid material, for example, a dipping method, a spin coating method, a casting method, a micro gravure coating method, a gravure coating method, a bar coating method, a wire bar coating method, Examples thereof include a roll coating method, a spray coating method, a screen printing method, a flexographic printing method, an offset method, an inkjet method, a microcontact printing method, and the like, and one or more of these can be used in combination.

なお、第1の液状材料の供給方法としては、乾燥時間の制御を行い易いスピンコート法を用いるのが好ましく、第2の液状材料の供給方法としては、先に供給された第1の半導体材料に影響を及ぼし難いインクジェット法を用いるのが好ましい。
また、第1の液状材料および第2の液状材料を供給した後、これらには、必要に応じて乾燥を行うようにしてもよい。
また、第1の液状材料および第2の液状材料は、それぞれ、複数回繰り返して供給するようにしてもよい。
As the first liquid material supply method, it is preferable to use a spin coating method that allows easy control of the drying time. As the second liquid material supply method, the first semiconductor material previously supplied is used. It is preferable to use an ink jet method that does not easily affect the ink.
Further, after supplying the first liquid material and the second liquid material, they may be dried as necessary.
In addition, the first liquid material and the second liquid material may be repeatedly supplied a plurality of times.

本実施形態では、第1の半導体材料と第2の半導体材料との組み合わせとして、いずれも有機高分子を用いる場合を代表に説明したが、これらの組み合わせとしては、その他、例えば、前者が無機材料であり、後者が有機ポリマーである組み合わせ、前者および後者の双方が無機材料である組み合わせ等が挙げられる。
なお、第1の半導体材料および第2の半導体材料の双方に無機材料を用いる場合も、同種のものを用いるのが好ましい。
また、第2の半導体材料を含有する第2の液状材料を供給した後、さらに、第3の半導体材料を含有する第3の液状材料を供給するようにしてもよい。
In the present embodiment, as a combination of the first semiconductor material and the second semiconductor material, the case where both use an organic polymer has been described as a representative. However, for example, the former is an inorganic material. And the combination in which the latter is an organic polymer and the combination in which both the former and the latter are inorganic materials.
Note that, when an inorganic material is used for both the first semiconductor material and the second semiconductor material, it is preferable to use the same type.
Further, after the second liquid material containing the second semiconductor material is supplied, the third liquid material containing the third semiconductor material may be further supplied.

[4] 次に、正孔輸送層5の上に、陽極6を形成する(第4の工程)。
この陽極6は、例えば、蒸着法、スパッタリング法、印刷法等を用いることにより、形成することができる。
[5] 次に、陰極3と陽極6とに、それぞれ、外部回路10の端部を接続する。
以上のような工程を経て、第1実施形態の太陽電池(本発明の光電変換素子)1が製造される。
なお、目的とする層を形成するのに先立って、第2実施形態で説明するように、当該層の形状を規定するバンクを形成するようにしてもよい。
[4] Next, the anode 6 is formed on the hole transport layer 5 (fourth step).
The anode 6 can be formed by using, for example, a vapor deposition method, a sputtering method, a printing method, or the like.
[5] Next, the end of the external circuit 10 is connected to the cathode 3 and the anode 6, respectively.
The solar cell (photoelectric conversion element of the present invention) 1 according to the first embodiment is manufactured through the steps as described above.
Prior to the formation of the target layer, a bank that defines the shape of the layer may be formed as described in the second embodiment.

<第2実施形態>
次に、本発明の光電変換素子を太陽電池に適用した場合の第2実施形態について説明する。
図4は、本発明の光電変換素子を太陽電池に適用した場合の第2実施形態を示す縦断面図、図5は、図4に示す太陽電池の厚さ方向の中央部付近の断面を示す拡大図である。なお、以下では、説明の都合上、図4および図5中、上側を「上」、下側を「下」として説明を行う。
図4に示す太陽電池1’は、基板2’上に、陽極3’と、正孔輸送層(第1のキャリア輸送層)4’と、色素層D’と、電子輸送層(第2のキャリア輸送層)5’と、陰極6’とが、この順で積層されて構成されている。
以下、各部の構成について説明する。
Second Embodiment
Next, 2nd Embodiment at the time of applying the photoelectric conversion element of this invention to a solar cell is described.
FIG. 4 is a longitudinal sectional view showing a second embodiment when the photoelectric conversion element of the present invention is applied to a solar cell, and FIG. 5 shows a cross section near the central portion in the thickness direction of the solar cell shown in FIG. It is an enlarged view. In the following description, for convenience of explanation, the upper side is “up” and the lower side is “lower” in FIGS. 4 and 5.
A solar cell 1 ′ shown in FIG. 4 includes an anode 3 ′, a hole transport layer (first carrier transport layer) 4 ′, a dye layer D ′, and an electron transport layer (second layer) on a substrate 2 ′. A carrier transport layer) 5 ′ and a cathode 6 ′ are laminated in this order.
Hereinafter, the configuration of each unit will be described.

基板2’は、陽極3’と、正孔輸送層4’と、色素層D’と、電子輸送層5’と、陰極6’を支持するためのものであり、平板状の部材で構成されている。
本実施形態の太陽電池1’では、図4に示すように、陰極6’側から、例えば、太陽光等の光(以下、単に「光」と言う。)を入射させて(照射して)使用するものである。このため、基板2’および陽極3’には、特に、透明性は要求されない。
The substrate 2 ′ is for supporting the anode 3 ′, the hole transport layer 4 ′, the dye layer D ′, the electron transport layer 5 ′, and the cathode 6 ′, and is composed of a plate-shaped member. ing.
In the solar cell 1 ′ of the present embodiment, as shown in FIG. 4, for example, light such as sunlight (hereinafter simply referred to as “light”) is incident (irradiated) from the cathode 6 ′ side. It is what you use. For this reason, the substrate 2 ′ and the anode 3 ′ are not particularly required to be transparent.

基板2’としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリプロピレン、シクロオレフィンポリマー、ポリアミド、ポリエーテルサルフォン、ポリメチルメタクリレート、ポリカーボネート、ポリアリレートのような樹脂材料や、石英ガラス、ソーダガラスのようなガラス材料等で構成される透明基板や、アルミナのようなセラミックス材料で構成された基板、ステンレス鋼のような金属基板の表面に酸化膜(絶縁膜)を形成したもの、不透明な樹脂材料で構成された基板のような不透明基板を用いることができる。   Examples of the substrate 2 ′ include resin materials such as polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polypropylene, cycloolefin polymer, polyamide, polyether sulfone, polymethyl methacrylate, polycarbonate, polyarylate, quartz glass, and soda glass. A transparent substrate made of a transparent glass material, a substrate made of a ceramic material such as alumina, an oxide film (insulating film) formed on the surface of a metal substrate such as stainless steel, or an opaque resin material An opaque substrate such as a constructed substrate can be used.

基板2’の平均厚さは、その構成材料、太陽電池1’の用途等により適宜設定され、特に限定されないが、例えば、次のように設定することができる。
基板2’を硬質材料で構成する場合、その平均厚さは、0.1〜1.5mm程度であるのが好ましく、0.8〜1.2mm程度であるのがより好ましい。また、基板2’を可撓性材料で構成する場合、その平均厚さは、0.5〜150μm程度であるのが好ましく、10〜75μm程度であるのがより好ましい。
なお、基板2’は、必要に応じて、省略することもできる。
The average thickness of the substrate 2 ′ is appropriately set depending on the constituent material, the use of the solar cell 1 ′, and the like, and is not particularly limited. For example, it can be set as follows.
When the substrate 2 ′ is made of a hard material, the average thickness is preferably about 0.1 to 1.5 mm, and more preferably about 0.8 to 1.2 mm. Further, when the substrate 2 ′ is made of a flexible material, the average thickness is preferably about 0.5 to 150 μm, and more preferably about 10 to 75 μm.
The substrate 2 ′ can be omitted if necessary.

基板2’上には、陽極3’が設けられている。
この陽極3’の構成材料としては、例えば、例えば、アルミニウム、ニッケル、コバルト、白金、銀、金、銅、モリブデン、チタン、タンタルのような金属またはこれらを含む合金、あるいは、黒鉛のような各種炭素材料等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
An anode 3 'is provided on the substrate 2'.
Examples of the constituent material of the anode 3 ′ include, for example, metals such as aluminum, nickel, cobalt, platinum, silver, gold, copper, molybdenum, titanium, and tantalum, alloys containing them, and various materials such as graphite. A carbon material etc. are mentioned, Among these, it can use combining 1 type (s) or 2 or more types.

陽極3’の平均厚さは、その構成材料、太陽電池1’の用途等により適宜設定され、特に限定されない。
陽極3’上には、正孔輸送層4’が設けられている。
正孔輸送層4’は、少なくとも色素層D’で発生した正孔を捕捉し、輸送する機能を有するものである。
The average thickness of the anode 3 ′ is appropriately set depending on the constituent material, the use of the solar cell 1 ′, and the like, and is not particularly limited.
A hole transport layer 4 ′ is provided on the anode 3 ′.
The hole transport layer 4 ′ has a function of capturing and transporting at least holes generated in the dye layer D ′.

正孔輸送層4’の構成材料としては、各種p型半導体材料が用いられ、例えば、ポリアリールアミン、フルオレン−アリールアミン共重合体、フルオレン−ビチオフェン共重合体、ポリ(N−ビニルカルバゾール)、ポリビニルピレン、ポリビニルアントラセン、ポリチオフェン、ポリアルキルチオフェン、ポリヘキシルチオフェン、ポリ(p−フェニレンビニレン)、ポリチニレンビニレン、ピレンホルムアルデヒド樹脂、エチルカルバゾールホルムアルデヒド樹脂またはこれらの誘導体のような有機ポリマーや、チオフェンを骨格に有するデンドリマー等の有機高分子、ナフタレン、アントラセン、テトラセン、ペンタセン、ヘキサセン、フタロシアニン、ペリレン、ヒドラゾン、トリフェニルメタン、ジフェニルメタン、スチルベン、アリールビニル、ピラゾリン、トリフェニルアミン、トリアリールアミン、オリゴチオフェン、フタロシアニンまたはこれらの誘導体等の有機低分子、CuI、AgI、AgBr、CuSCN等の無機材料などが挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。   As a constituent material of the hole transport layer 4 ′, various p-type semiconductor materials are used. For example, polyarylamine, fluorene-arylamine copolymer, fluorene-bithiophene copolymer, poly (N-vinylcarbazole), Organic polymers such as polyvinylpyrene, polyvinylanthracene, polythiophene, polyalkylthiophene, polyhexylthiophene, poly (p-phenylene vinylene), polytinylene vinylene, pyrene formaldehyde resin, ethylcarbazole formaldehyde resin or derivatives thereof, and thiophene Organic polymers such as dendrimers in the skeleton, naphthalene, anthracene, tetracene, pentacene, hexacene, phthalocyanine, perylene, hydrazone, triphenylmethane, diphenylmethane, stilbene, Inorganic materials such as organic low molecules such as reel vinyl, pyrazoline, triphenylamine, triarylamine, oligothiophene, phthalocyanine or derivatives thereof, CuI, AgI, AgBr, CuSCN, etc. Two or more kinds can be used in combination.

また、前記有機ポリマーは、他のポリマーとの混合物として用いることもできる。一例として、ポリチオフェンを含有する混合物としては、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン/スチレンスルホン酸)(PEDOT/PSS)等が挙げられる。
これらの中でも、正孔輸送層4’は、有機ポリマーを主材料として構成するのが好ましい。有機ポリマーは、正孔の輸送能力に優れることから好ましい。また、有機ポリマーは、比較的耐薬品性(耐溶剤性)に優れることから、後述するように、色素層D’を液相成膜法により形成する場合には、色素層形成用材料の調製に用いる液剤(溶媒または分散媒)の選択の幅が広がる。また、この液剤の選択の幅が広がることにより、色素層D’に用いる色素の選択の幅も広がる。
Moreover, the said organic polymer can also be used as a mixture with another polymer. As an example, the polythiophene-containing mixture includes poly (3,4-ethylenedioxythiophene / styrene sulfonic acid) (PEDOT / PSS).
Among these, the hole transport layer 4 ′ is preferably composed of an organic polymer as a main material. Organic polymers are preferred because of their excellent hole transport capability. In addition, since the organic polymer is relatively excellent in chemical resistance (solvent resistance), as described later, when the dye layer D ′ is formed by a liquid phase film forming method, the preparation of the dye layer forming material is performed. The range of selection of the liquid agent (solvent or dispersion medium) to be used in the process is expanded. In addition, when the range of selection of the liquid agent is increased, the range of selection of the dye used for the dye layer D ′ is also increased.

また、有機ポリマーは、その重量平均分子量が8000以上であるのが好ましく、10000〜15000程度であるのがより好ましい。このように、重量平均分子量が比較的大きいものを用いることにより、前記効果をより向上させることができる。なお、重量平均分子量が前記上限値を超えて大きくなると、有機ポリマーの種類によっては、これを溶解し得る溶剤の種類が極端に少なくなるおそれがある。   The organic polymer preferably has a weight average molecular weight of 8000 or more, more preferably about 10,000 to 15,000. Thus, the said effect can be improved more by using a thing with a comparatively large weight average molecular weight. In addition, when the weight average molecular weight is larger than the upper limit, depending on the type of organic polymer, the type of solvent capable of dissolving it may be extremely reduced.

このような有機ポリマーとしては、前述したもの中でも、ポリアリールアミンのようなアリールアミン骨格を有するもの、フルオレン−ビチオフェン共重合体のようなフルオレン骨格を有するもの、フルオレン−アリールアミン共重合体のようなアリールアミン骨格およびフルオレン骨格の双方を有するものが好ましい。これらの有機ポリマーは、特に正孔の輸送能力に優れるとともに、耐薬品性にも優れることから好ましい。   Examples of such organic polymers include those having an arylamine skeleton such as polyarylamine, those having a fluorene skeleton such as a fluorene-bithiophene copolymer, and fluorene-arylamine copolymers. Those having both an arylamine skeleton and a fluorene skeleton are preferred. These organic polymers are particularly preferable because they have excellent hole transport capability and excellent chemical resistance.

また、正孔輸送層4’の平均厚さは、特に限定されないが、0.1〜100μm程度であるのが好ましく、1〜30μm程度であるのがより好ましい。
このような正孔輸送層4’に接触して、色素層D’が設けられている。
この色素層D’は、受光により、電子と正孔とを発生する受光層(感光層)である。
そして、色素層D’と正孔輸送層4’とは、図4に示すように、巨視的には、その界面が、陽極3’とほぼ平行となっており、図5に示すように、微視的には、その界面において、互いに凹凸状に入り込んだ(重なり合った)状態となっているのが好ましい。
これにより、色素層D’と正孔輸送層4’との接触面積が増大し、色素層D’で発生した正孔を効率よく正孔輸送層4’に受け渡すことができる。
この色素層D’を構成する色素としては、顔料および染料を単独または混合して使用することができる。
The average thickness of the hole transport layer 4 ′ is not particularly limited, but is preferably about 0.1 to 100 μm, and more preferably about 1 to 30 μm.
A dye layer D ′ is provided in contact with the hole transport layer 4 ′.
The dye layer D ′ is a light receiving layer (photosensitive layer) that generates electrons and holes by receiving light.
As shown in FIG. 4, the dye layer D ′ and the hole transport layer 4 ′ have a macroscopically substantially parallel interface with the anode 3 ′, and as shown in FIG. Microscopically, it is preferable that the interface is in a state of entering (overlapping) each other into an uneven shape.
As a result, the contact area between the dye layer D ′ and the hole transport layer 4 ′ increases, and holes generated in the dye layer D ′ can be efficiently transferred to the hole transport layer 4 ′.
As the pigment constituting the pigment layer D ′, pigments and dyes can be used alone or in combination.

ここで、顔料としては、例えば、フタロシアニングリーン、フタロシアニンブルー等のフタロシアニン系顔料、ファストイエロー、ジスアゾイエロー、縮合アゾイエロー、ペンゾイミダゾロンイエロー、ジニトロアニリンオレンジ、ペンズイミダゾロンオレンジ、トルイジンレッド、パーマネントカーミン、パーマネントレッド、ナフトールレッド、縮合アゾレッド、ベンズイミダゾロンカーミン、ベンズイミダゾロンブラウン等のアゾ系顔料、アントラピリミジンイエロー、アントラキノニルレッド等のアントラキノン系顔料、銅アゾメチンイエロー等のアゾメチン系顔料、キノフタロンイエロー等のキノフタロン系顔料、イソインドリンイエロー等のイソインドリン系顔料、ニッケルジオキシムイエロー等のニトロソ系顔料、ペリノンオレンジ等のペリノン系顔料、キナクリドンマゼンタ、キナクリドンマルーン、キナクリドンスカーレット、キナクリドンレッド等のキナクリドン系顔料、ペリレンレッド、ペリレンマルーン等のペリレン系顔料、ジケトピロロピロールレッド等のピロロピロール系顔料、ジオキサジンバイオレット等のジオキサジン系顔料のような有機顔料、カーボンブラック、ランプブラック、ファーネスブラック、アイボリーブラック、黒鉛、フラーレン等の炭素系顔料、黄鉛、モリブデートオレンジ等クロム酸塩系顔料、カドミウムイエロー、カドミウムリトポンイエロー、カドミウムオレンジ、カドミウムリトポンオレンジ、銀朱、カドミウムレッド、カドミウムリトポンレッド、硫化等の硫化物系顔料、オーカー、チタンイエロー、チタンバリウムニッケルイエロー、べんがら、鉛丹、アンバー、褐色酸化鉄、亜鉛鉄クロムブラウン、酸化クロム、コバルトグリーン、コバルトクロムグリーン、チタンコバルトグリーン、コバルトブルー、セルリアンブルー、コバルトアルミニウムクロムブルー、鉄黒、マンガンフェライトブラック、コバルトフェライトブラック、銅クロムブラック、銅クロムマンガンブラック等の酸化物系顔料、ビリジアン等の水酸化物系顔料、紺青等のフェロシアン化物系顔料、群青等のケイ酸塩系顔料、コバルトバイオレット、ミネラルバイオレット等のリン酸塩系顔料、その他(例えば硫化カドミウム、セレン化カドミウム等)のような無機顔料等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。   Here, examples of the pigment include phthalocyanine pigments such as phthalocyanine green and phthalocyanine blue, fast yellow, disazo yellow, condensed azo yellow, benzoimidazolone yellow, dinitroaniline orange, benzimidazolone orange, toluidine red, and permanent carmine. Azo pigments such as permanent red, naphthol red, condensed azo red, benzimidazolone carmine, benzimidazolone brown, anthraquinone pigments such as anthrapyrimidine yellow and anthraquinonyl red, azomethine pigments such as copper azomethine yellow, quinophthalone yellow Quinophthalone pigments such as isoindoline yellow, nitroso pigments such as nickel dioxime yellow, perinone Perinone pigments such as orange, quinacridone magenta, quinacridone maroon, quinacridone scarlet, quinacridone pigments such as quinacridone red, perylene pigments such as perylene red and perylene maroon, pyrrolopyrrole pigments such as diketopyrrolopyrrole red, dioxazine violet Organic pigments such as dioxazine pigments such as carbon black, lamp black, furnace black, ivory black, carbon pigments such as graphite and fullerene, chromate pigments such as chrome lead and molybdate orange, cadmium yellow, cadmium lith Pong yellow, cadmium orange, cadmium lithopone orange, silver vermilion, cadmium red, cadmium lithopon red, sulfide pigments such as sulfide, ocher, titanium yellow, titanium barium Neckel yellow, red rose, red lead, amber, brown iron oxide, zinc iron chrome brown, chromium oxide, cobalt green, cobalt chrome green, titanium cobalt green, cobalt blue, cerulean blue, cobalt aluminum chrome blue, iron black, manganese ferrite black, Oxide pigments such as cobalt ferrite black, copper chrome black, copper chrome manganese black, hydroxide pigments such as viridian, ferrocyanide pigments such as bitumen, silicate pigments such as ultramarine, cobalt violet, minerals Examples thereof include phosphate pigments such as violet, and other inorganic pigments such as cadmium sulfide and cadmium selenide, and one or more of these can be used in combination.

一方、染料としては、例えば、RuL(SCN)、RuLCl、RuLCN、Rutenium535−bisTBA(Solaronics社製)、[RuL (NCSOのような金属錯体色素、シアン系色素、キサンテン系色素、アゾ系色素、ハイビスカス色素、ブラックベリー色素、ラズベリー色素、ザクロ果汁色素、クロロフィル色素等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。なお、前記組成式中のLは、2,2’−bipyridineまたはその誘導体を示す。 On the other hand, as the dye, for example, RuL 2 (SCN) 2, RuL ( manufactured by Solaronics, Inc.) 2 Cl 2, RuL 2 CN 2, Rutenium535-bisTBA, [RuL 2 metal complexes such as (NCS 2) 2 H 2 O Examples include dyes, cyan dyes, xanthene dyes, azo dyes, hibiscus dyes, blackberry dyes, raspberry dyes, pomegranate juice dyes, chlorophyll dyes, and the like. Use one or more of these in combination. Can do. In addition, L in the said composition formula shows 2,2'-bipyridine, or its derivative (s).

色素層D’の平均厚さは、特に限定されないが、1〜100nm程度であるのが好ましく、20〜50nm程度であるのがより好ましい。
このような色素層D’に接触して、電子輸送層5’が設けられている。
この電子輸送層5’は、色素層D’で発生した電子を捕捉し、輸送する機能を有するものである。
電子輸送層5’の構成材料には、各種n型無機半導体材料および各種n型有機半導体材料を1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
The average thickness of the dye layer D ′ is not particularly limited, but is preferably about 1 to 100 nm, and more preferably about 20 to 50 nm.
An electron transport layer 5 ′ is provided in contact with such a dye layer D ′.
The electron transport layer 5 ′ has a function of capturing and transporting electrons generated in the dye layer D ′.
As a constituent material of the electron transport layer 5 ′, various n-type inorganic semiconductor materials and various n-type organic semiconductor materials can be used singly or in combination of two or more.

n型無機半導体材料としては、例えば、酸化チタン(TiO)、酸化ジルコニウム(ZrO)、酸化亜鉛(ZnO)、酸化アルミニウム(Al)、酸化スズ(SnO)、ScVO、YVO、LaVO、NdVO、EuVO、GdVO、ScNbO、ScTaO、YNbO、YTaO、ScPO、ScAsO、ScSbO、ScBiO、YPO、YSbO、BVO、AlVO、GaVO、InVO、TlVO、InNbO、InTaOのような金属酸化物、ZnS、CdSのような金属硫化物、CdSeのような金属セレン化物、TiC、SiCのような金属または半導体炭化物、BN、BNのような半導体窒化物等が挙げられる。 Examples of the n-type inorganic semiconductor material include titanium oxide (TiO 2 ), zirconium oxide (ZrO 2 ), zinc oxide (ZnO), aluminum oxide (Al 2 O 3 ), tin oxide (SnO 2 ), ScVO 4 , and YVO. 4, LaVO 4, NdVO 4, EuVO 4, GdVO 4, ScNbO 4, ScTaO 4, YNbO 4, YTaO 4, ScPO 4, ScAsO 4, ScSbO 4, ScBiO 4, YPO 4, YSbO 4, BVO 4, AlVO 4, Metal oxides such as GaVO 4 , InVO 4 , TlVO 4 , InNbO 4 , InTaO 4 , metal sulfides such as ZnS and CdS, metal selenides such as CdSe, metals or semiconductor carbides such as TiC and SiC, Examples thereof include semiconductor nitrides such as BN and B 4 N.

また、n型有機半導体材料としては、例えば、1,3,5−トリス[(3−フェニル−6−トリ−フルオロメチル)キノキサリン−2−イル]ベンゼン(TPQ1)、1,3,5−トリス[{3−(4−t−ブチルフェニル)−6−トリスフルオロメチル}キノキサリン−2−イル]ベンゼン(TPQ2)のようなベンゼン系化合物、フタロシアニン、銅フタロシアニン(CuPc)、鉄フタロシアニンのような金属または無金属のフタロシアニン系化合物、トリス(8−ヒドロキシキノリノレート)アルミニウム(Alq)のような低分子系のものや、オキサジアゾール系高分子、トリアゾール系高分子のような高分子系のもの等が挙げられる。 Examples of the n-type organic semiconductor material include 1,3,5-tris [(3-phenyl-6-tri-fluoromethyl) quinoxalin-2-yl] benzene (TPQ1), 1,3,5-tris. [{3- (4-t-butylphenyl) -6-trisfluoromethyl} quinoxalin-2-yl] benzene compounds such as benzene (TPQ2), metals such as phthalocyanine, copper phthalocyanine (CuPc), iron phthalocyanine Or a low molecular weight compound such as a metal-free phthalocyanine compound, tris (8-hydroxyquinolinolate) aluminum (Alq 3 ), a high molecular weight compound such as an oxadiazole polymer or a triazole polymer. And the like.

なお、酸化チタンは、特に、光に対する感受性が高いので、電子輸送層5’を酸化チタンを主材料として構成することにより、電子輸送層5’自体でも、電子を発生することができる。その結果、太陽電池1’の発電効率(光電変換効率)をより向上させることができる。
また、電子輸送層5’の平均厚さは、特に限定されないが、1〜50μm程度であるのが好ましく、5〜30μm程度であるのがより好ましい。
電子輸送層5’上には、陽極3’に対向する陰極6’が設けられている。
Since titanium oxide is particularly sensitive to light, electrons can be generated in the electron transport layer 5 ′ itself by configuring the electron transport layer 5 ′ as a main material. As a result, the power generation efficiency (photoelectric conversion efficiency) of the solar cell 1 ′ can be further improved.
Moreover, the average thickness of the electron transport layer 5 ′ is not particularly limited, but is preferably about 1 to 50 μm, and more preferably about 5 to 30 μm.
On the electron transport layer 5 ′, a cathode 6 ′ facing the anode 3 ′ is provided.

この陰極6’の構成材料としては、例えば、インジウムティンオキサイド(ITO)、フッ素原子を含有する酸化錫(FTO)、酸化インジウム(IO)、酸化錫(SnO)のような金属酸化物材料、アルミニウム、ニッケル、コバルト、白金、銀、金、銅、モリブデン、チタン、タンタルまたはこれらを含む合金のような金属材料、黒鉛のような炭素材料等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて(例えば、複数層の積層体等として)用いることができる。 Examples of the constituent material of the cathode 6 ′ include indium tin oxide (ITO), metal oxide materials such as tin oxide containing fluorine atoms (FTO), indium oxide (IO), and tin oxide (SnO 2 ). Examples thereof include metal materials such as aluminum, nickel, cobalt, platinum, silver, gold, copper, molybdenum, titanium, tantalum or alloys containing these, carbon materials such as graphite, and one or two of them. The above can be used in combination (for example, as a multi-layer laminate).

陰極6’の平均厚さは、その構成材料、太陽電池1’の用途等により適宜設定され、特に限定されないが、例えば、次のように設定することができる。
陰極6’を金属酸化物材料(透明導電性金属酸化物材料)で構成する場合、その平均厚は、0.05〜5μm程度であるのが好ましく、0.1〜1.5μm程度であるのがより好ましい。また、陰極6’を金属材料や炭素材料で構成する場合、その平均厚さは、0.01〜1μm程度であるのが好ましく、0.03〜0.1μm程度であるのがより好ましい。
The average thickness of the cathode 6 ′ is appropriately set depending on its constituent materials, the use of the solar cell 1 ′, and the like, and is not particularly limited. For example, it can be set as follows.
When the cathode 6 ′ is made of a metal oxide material (transparent conductive metal oxide material), the average thickness is preferably about 0.05 to 5 μm, preferably about 0.1 to 1.5 μm. Is more preferable. When the cathode 6 ′ is made of a metal material or a carbon material, the average thickness is preferably about 0.01 to 1 μm, and more preferably about 0.03 to 0.1 μm.

なお、陰極6’は、図示の形状に限定されず、例えば、複数の櫛歯を有する形状のもの等であってもよい。この場合、光は、複数の櫛歯同士の間を通過して、色素層D’に到達するので、陰極6’は、実質的に透明でなくてもよい。これにより、陰極6’の構成材料や形成方法(製造方法)等の選択の幅の拡大を図ることができる。
また、陰極6’は、このような櫛歯状の電極と、層状の電極とを組み合わせて(例えば、積層等して)用いることもできる。
In addition, cathode 6 'is not limited to the shape of illustration, For example, the thing of the shape which has several comb teeth etc. may be sufficient. In this case, since the light passes between the plurality of comb teeth and reaches the dye layer D ′, the cathode 6 ′ may not be substantially transparent. Thereby, the range of selection of the constituent material, the forming method (manufacturing method), and the like of the cathode 6 ′ can be expanded.
The cathode 6 ′ can also be used by combining (for example, laminating) such a comb-like electrode and a layered electrode.

このような太陽電池1’では、光が入射すると、主に色素層D’において、電子が励起され、電子(e)と正孔(h)とが発生する。このうち、電子は、電子輸送層5’へ、正孔は、正孔輸送層4’へ移動し、陽極3’と陰極6’との間に、電位差(光起電力)が生じて、外部回路10に、電流(光励起電流)が流れる。
このような太陽電池1’は、例えば、次のようにして製造することができる。
以下、本発明の光電変換素子の製造方法を適用した太陽電池1’の製造方法について説明する。
In such a solar cell 1 ′, when light is incident, electrons are excited mainly in the dye layer D ′, and electrons (e ) and holes (h + ) are generated. Among these, electrons move to the electron transport layer 5 ′, holes move to the hole transport layer 4 ′, and a potential difference (photoelectromotive force) is generated between the anode 3 ′ and the cathode 6 ′, and the external A current (photoexcitation current) flows through the circuit 10.
Such a solar cell 1 ′ can be manufactured, for example, as follows.
Hereinafter, the manufacturing method of solar cell 1 'to which the manufacturing method of the photoelectric conversion element of this invention is applied is demonstrated.

本実施形態では、陽極3’、正孔輸送層4’、色素層D’、電子輸送層5’および陰極6’を、この順で積層して形成する。
ここで、太陽電池を本実施形態とは逆に、電子輸送層から順に積層して製造する場合、
すなわち、電子輸送層を形成した後、さらに、色素層、正孔輸送層、陽極を形成する場合、電子輸送層の構成材料としては、色素層、正孔輸送層、陽極の成膜条件等に耐え得る材料を選択する。
In this embodiment, the anode 3 ′, the hole transport layer 4 ′, the dye layer D ′, the electron transport layer 5 ′, and the cathode 6 ′ are stacked in this order.
Here, contrary to the present embodiment, when manufacturing the solar cell by laminating in order from the electron transport layer,
That is, after forming the electron transport layer, when further forming a dye layer, a hole transport layer, and an anode, the constituent materials of the electron transport layer include the film formation conditions of the dye layer, the hole transport layer, and the anode. Choose a material that can withstand.

このような太陽電池では、実際には、利用可能な電子輸送層の構成材料としては、化学的に安定な無機半導体材料が選択されている。
これに対して、本実施形態では、電子輸送層5’を形成した後、陰極6’を形成すれば、太陽電池1’が完成する。
したがって、電子輸送層5’の構成材料の選択に際しては、陰極6’の成膜条件を考慮するだけでよいか、または、陰極6’をシート材の接合等により設ける場合には、陰極6’の成膜条件をも考慮する必要がなくなるという利点がある。
In such a solar cell, a chemically stable inorganic semiconductor material is actually selected as a constituent material of an available electron transport layer.
On the other hand, in this embodiment, if the cathode 6 ′ is formed after forming the electron transport layer 5 ′, the solar cell 1 ′ is completed.
Therefore, when selecting the constituent material of the electron transport layer 5 ′, it is only necessary to consider the film forming conditions of the cathode 6 ′, or when the cathode 6 ′ is provided by bonding of a sheet material or the like, the cathode 6 ′. There is an advantage that it is not necessary to consider the film forming conditions.

このようなことから、本実施形態によれば、電子輸送層5’の構成材料の選択の幅が広がり、色素を適宜選択して組み合わせて用いることにより、発電効率に優れる太陽電池1’を得ることができる。
図6は、図4に示す太陽電池の製造工程を説明するための図(縦断面図)である。なお、以下では、説明の都合上、図6中、上側を「上」、下側を「下」として説明を行う。
For this reason, according to the present embodiment, the range of selection of the constituent material of the electron transport layer 5 ′ is widened, and the solar cell 1 ′ having excellent power generation efficiency is obtained by appropriately selecting and combining the dyes. be able to.
FIG. 6 is a view (longitudinal sectional view) for explaining a manufacturing process of the solar cell shown in FIG. In the following, for convenience of explanation, in FIG. 6, the upper side is described as “upper” and the lower side is described as “lower”.

[1] まず、基板2’を用意し、図6(a)に示すように、この基板2’上に、陽極3’を形成する。
この陽極3’は、例えば、プラズマCVD、熱CVD、レーザーCVD等の化学蒸着法(CVD)、真空蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング等の乾式メッキ法、溶射法のような気相成膜法、電解メッキ、浸漬メッキ、無電解メッキ等の湿式メッキ法、ゾル・ゲル法、MOD法のような液相成膜法、シート材の接合等を用いて形成することができる。
[1] First, a substrate 2 ′ is prepared, and an anode 3 ′ is formed on the substrate 2 ′ as shown in FIG. 6 (a).
The anode 3 ′ is, for example, a chemical vapor deposition method (CVD) such as plasma CVD, thermal CVD, or laser CVD, a dry plating method such as vacuum deposition, sputtering, or ion plating, or a vapor deposition method such as a thermal spraying method, It can be formed using a wet plating method such as electrolytic plating, immersion plating, and electroless plating, a liquid phase film forming method such as a sol-gel method or a MOD method, and joining of sheet materials.

[2] 次に、図6(b)に示すように、正孔輸送層4’を形成する領域を囲むように、陽極3’上にバンク7’を形成する。
本実施形態では、正孔輸送層4’および色素層D’を液相成膜法により形成するため、バンク7’の高さは、正孔輸送層4’および色素層D’の合計の厚さとほぼ等しいか、または、若干大きくなるように設定される。
[2] Next, as shown in FIG. 6B, a bank 7 ′ is formed on the anode 3 ′ so as to surround a region where the hole transport layer 4 ′ is formed.
In this embodiment, since the hole transport layer 4 ′ and the dye layer D ′ are formed by the liquid phase film forming method, the height of the bank 7 ′ is the total thickness of the hole transport layer 4 ′ and the dye layer D ′. Is set to be approximately equal to or slightly larger than the above.

このバンク7’を設けることにより、形成すべき層の形状を正確に規定することができ、高い寸法精度で、正孔輸送層4’および色素層D’を形成することができる。
バンク7’は、例えば、陽極3’上にレジスト材料を供給(塗布)した後、露光・現像してパターニングすること等により得ることができる。
用いるレジスト材料は、光照射部分が硬化するネガタイプ、光照射部分が溶解するポジタイプのいずれであってもよい。
By providing this bank 7 ′, the shape of the layer to be formed can be accurately defined, and the hole transport layer 4 ′ and the dye layer D ′ can be formed with high dimensional accuracy.
The bank 7 ′ can be obtained, for example, by supplying (applying) a resist material onto the anode 3 ′, and then patterning by exposure and development.
The resist material to be used may be either a negative type in which the light irradiation portion is cured or a positive type in which the light irradiation portion is dissolved.

ネガタイプのレジスト材料としては、例えば、ポリケイ皮酸ビニル、ポリビニルアジドベンザジル、アクリルアミド、ポリイミド、ノボラック樹脂を主成分とするもの(例えば、酸発生剤や架橋剤を含有するノボラック樹脂のような化学増幅型樹脂)等が挙げられ、一方、ポジタイプのレジスト材料としては、例えば、o−キノンジアジドノボラック樹脂、ポリイミド等が挙げられる。
また、照射する光としては、例えば、紫外線(g線、i線)、電子線等が挙げられる。
Negative resist materials include, for example, polyvinyl cinnamate, polyvinyl azidobenzazyl, acrylamide, polyimide, and novolak resin as the main component (for example, chemical amplification such as novolak resin containing an acid generator and a crosslinking agent). On the other hand, examples of the positive type resist material include o-quinonediazide novolac resin and polyimide.
Moreover, as light to irradiate, an ultraviolet-ray (g ray, i ray), an electron beam etc. are mentioned, for example.

レジスト材料の供給方法としては、特に限定されず、例えば、スピンコート法、キャスティング法、マイクログラビアコート法、グラビアコート法、バーコート法、ロールコート法、ワイヤーバーコート法、ディップコート法、スプレーコート法、スクリーン印刷法、フレキソ印刷法、オフセット印刷法、インクジェット印刷法等の各種塗布法を用いることができる。
なお、ネガ型のレジスト材料を各種印刷法により、形成すべきバンク7’に対応する形状となるように、陽極3’上に選択的に供給することにより、前記現像工程を省略することができる。
The resist material supply method is not particularly limited. For example, spin coating method, casting method, micro gravure coating method, gravure coating method, bar coating method, roll coating method, wire bar coating method, dip coating method, spray coating. Various coating methods such as a printing method, a screen printing method, a flexographic printing method, an offset printing method, and an ink jet printing method can be used.
The developing step can be omitted by selectively supplying a negative resist material onto the anode 3 ′ so as to have a shape corresponding to the bank 7 ′ to be formed by various printing methods. .

[3] 次に、図6(c)に示すように、陽極3’上のバンク7’内側の領域に、液相成膜法により正孔輸送層4’を形成する(第1の工程)。
液相成膜法によれば、大掛かりな設備を必要とせず、容易かつ安価に正孔輸送層4’を形成することができる。
まず、前述したようなp型半導体材料を含有する液状材料(溶液または分散液)を調製する。
[3] Next, as shown in FIG. 6C, the hole transport layer 4 ′ is formed by the liquid phase film formation method in the region inside the bank 7 ′ on the anode 3 ′ (first step). .
According to the liquid phase film formation method, the hole transport layer 4 ′ can be formed easily and inexpensively without requiring large-scale equipment.
First, a liquid material (solution or dispersion) containing the p-type semiconductor material as described above is prepared.

この液状材料の調製に用いる溶媒または分散媒としては、例えば、硝酸、硫酸、アンモニア、過酸化水素、水、二硫化炭素、四塩化炭素、エチレンカーボネイト等の無機溶媒や、メチルエチルケトン(MEK)、アセトン、ジエチルケトン、メチルイソブチルケトン(MIBK)、メチルイソプロピルケトン(MIPK)、シクロヘキサノン等のケトン系溶媒、メタノール、エタノール、イソプロパノール、エチレングリコール、ジエチレングリコール(DEG)、グリセリン等のアルコール系溶媒、ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、1,2−ジメトキシエタン(DME)、1,4−ジオキサン、テトラヒドロフラン(THF)、テトラヒドロピラン(THP)、アニソール、ジエチレングリコールジメチルエーテル(ジグリム)、ジエチレングリコールエチルエーテル(カルビトール)等のエーテル系溶媒、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、フェニルセロソルブ等のセロソルブ系溶媒、ヘキサン、ペンタン、ヘプタン、シクロヘキサン等の脂肪族炭化水素系溶媒、トルエン、キシレン、ベンゼン等の芳香族炭化水素系溶媒、ピリジン、ピラジン、フラン、ピロール、チオフェン、メチルピロリドン等の芳香族複素環化合物系溶媒、N,N−ジメチルホルムアミド(DMF)、N,N−ジメチルアセトアミド(DMA)等のアミド系溶媒、クロロベンゼン、ジクロロメタン、クロロホルム、1,2−ジクロロエタン等のハロゲン化合物系溶媒、酢酸エチル、酢酸メチル、ギ酸エチル等のエステル系溶媒、ジメチルスルホキシド(DMSO)、スルホラン等の硫黄化合物系溶媒、アセトニトリル、プロピオニトリル、アクリロニトリル等のニトリル系溶媒、ギ酸、酢酸、トリクロロ酢酸、トリフルオロ酢酸等の有機酸系溶媒のような各種有機溶媒、または、これらを含む混合溶媒等が挙げられる。   Examples of the solvent or dispersion medium used for preparing the liquid material include inorganic solvents such as nitric acid, sulfuric acid, ammonia, hydrogen peroxide, water, carbon disulfide, carbon tetrachloride, and ethylene carbonate, methyl ethyl ketone (MEK), and acetone. , Diethyl ketone, methyl isobutyl ketone (MIBK), methyl isopropyl ketone (MIPK), ketone solvents such as cyclohexanone, alcohol solvents such as methanol, ethanol, isopropanol, ethylene glycol, diethylene glycol (DEG), glycerin, diethyl ether, diisopropyl Ether, 1,2-dimethoxyethane (DME), 1,4-dioxane, tetrahydrofuran (THF), tetrahydropyran (THP), anisole, diethylene glycol dimethyl ether (diglyme) , Ether solvents such as diethylene glycol ethyl ether (carbitol), cellosolv solvents such as methyl cellosolve, ethyl cellosolve, phenyl cellosolve, aliphatic hydrocarbon solvents such as hexane, pentane, heptane, cyclohexane, toluene, xylene, benzene, etc. Aromatic hydrocarbon solvents, aromatic heterocyclic compounds such as pyridine, pyrazine, furan, pyrrole, thiophene, methylpyrrolidone, N, N-dimethylformamide (DMF), N, N-dimethylacetamide (DMA), etc. Amide solvents, halogenated solvents such as chlorobenzene, dichloromethane, chloroform, 1,2-dichloroethane, ester solvents such as ethyl acetate, methyl acetate, ethyl formate, sulfur such as dimethyl sulfoxide (DMSO), sulfolane Compound solvents, various organic solvents such as nitrile solvents such as acetonitrile, propionitrile, acrylonitrile, organic acid solvents such as formic acid, acetic acid, trichloroacetic acid, trifluoroacetic acid, or mixed solvents containing these. Can be mentioned.

p型半導体材料として有機ポリマーを用いる場合、これらの中でも、非極性溶媒が好適であり、例えば、キシレン、トルエン、シクロヘキシルベンゼン、ジハイドロベンゾフラン、トリメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素系溶媒、ピリジン、ピラジン、フラン、ピロール、チオフェン、メチルピロリドン等の芳香族複素環化合物系溶媒、ヘキサン、ペンタン、ヘプタン、シクロヘキサン等の脂肪族炭化水素系溶媒等が挙げられ、これらを単独または混合して用いることができる。
次に、この液状材料を陽極3’上に供給して、液状被膜を形成する。
In the case of using an organic polymer as the p-type semiconductor material, among these, a nonpolar solvent is preferable, for example, an aromatic hydrocarbon solvent such as xylene, toluene, cyclohexylbenzene, dihydrobenzofuran, trimethylbenzene, tetramethylbenzene and the like. , Aromatic heterocyclic compounds such as pyridine, pyrazine, furan, pyrrole, thiophene, and methylpyrrolidone, and aliphatic hydrocarbon solvents such as hexane, pentane, heptane, and cyclohexane. These may be used alone or in combination. Can be used.
Next, this liquid material is supplied onto the anode 3 'to form a liquid film.

この液状材料の供給方法(液相成膜法)としては、前述したような塗布法の中でも、特に、インクジェット印刷法(液滴吐出法)を用いるのが好ましい。インクジェット印刷法を用いることにより、液状材料を無駄にすることなく、液状被膜を寸法精度よく形成することができる。
次に、液状被膜中から溶媒または分散媒を除去する。これにより、正孔輸送層4’が得られる。
溶媒または分散媒を除去する方法としては、例えば、大気圧下や減圧下での放置、加熱、不活性ガスの吹付け等が挙げられる。
なお、正孔輸送層4’は、前記第1実施形態で説明したような第1の液状材料および第2の液状材料を用いて形成するようにしてもよい。
As the liquid material supply method (liquid phase film forming method), it is particularly preferable to use the ink jet printing method (droplet discharge method) among the application methods as described above. By using the inkjet printing method, the liquid film can be formed with high dimensional accuracy without wasting the liquid material.
Next, the solvent or the dispersion medium is removed from the liquid film. Thereby, hole transport layer 4 'is obtained.
Examples of the method for removing the solvent or the dispersion medium include standing under atmospheric pressure or reduced pressure, heating, blowing an inert gas, and the like.
The hole transport layer 4 ′ may be formed using the first liquid material and the second liquid material as described in the first embodiment.

[4] 次に、図6(d)に示すように、正孔輸送層4’上に、液体成膜法により色素層D’を形成する(第2の工程)。
液相成膜法によれば、大掛かりな設備を必要とせず、容易かつ安価に色素層D’を形成することができる。
この色素層D’も、前記正孔輸送層4’と同様に形成することができる。
すなわち、色素層D’を形成する液相成膜法としても、インクジェット印刷法(液滴吐出法)を用いるのが好ましい。インクジェット印刷法を用いることにより、液状材料を無駄にすることなく、液状被膜を寸法精度よく形成することができる。
[4] Next, as shown in FIG. 6D, a dye layer D ′ is formed on the hole transport layer 4 ′ by a liquid film forming method (second step).
According to the liquid phase film forming method, the dye layer D ′ can be formed easily and inexpensively without requiring large-scale equipment.
This dye layer D ′ can also be formed in the same manner as the hole transport layer 4 ′.
That is, it is preferable to use an ink jet printing method (droplet discharge method) as a liquid phase film forming method for forming the dye layer D ′. By using the inkjet printing method, the liquid film can be formed with high dimensional accuracy without wasting the liquid material.

また、この場合、色素層形成用の液状材料の調製には、前述したような溶媒または分散媒(液剤)の中でも、正孔輸送層4’を膨潤し得るものを用いるのが好ましい。これにより、前述したように、色素層D’と正孔輸送層4’との界面を、微視的に、凹凸状に入り込んだ状態(図5参照)とすることができ、これらの層同士の接触面積を増大させることができる。このため、色素層D’から正孔輸送層4’への正孔の受け渡しがより円滑に行われるようになり、太陽電池1’の発電効率をより向上させることができる。
なお、バンク7’は、前記工程[3]の後、一旦除去した後、改めて新たなものを形成するようにしてもよい。
In this case, for preparing the liquid material for forming the dye layer, it is preferable to use a solvent or a dispersion medium (liquid agent) that can swell the hole transport layer 4 ′. As a result, as described above, the interface between the dye layer D ′ and the hole transport layer 4 ′ can be microscopically intruded (see FIG. 5). The contact area can be increased. For this reason, the transfer of holes from the dye layer D ′ to the hole transport layer 4 ′ is performed more smoothly, and the power generation efficiency of the solar cell 1 ′ can be further improved.
The bank 7 ′ may be temporarily removed after the step [3], and a new one may be formed again.

[5] 次に、図6(e)に示すように、色素層D’上に、電子輸送層5’を形成する(第3の工程)。
この電子輸送層5’は、前記陽極3’と同様にして形成することができる。
[6] 次に、図6(f)に示すように、電子輸送層5’上に、陰極6’を形成する。
この陰極6’も、前記陽極3’と同様にして形成することができる。
なお、電子輸送層5’および/または陰極6’を液相成膜法を用いて形成する場合には、それに応じて、形成するバンク7’の高さを設定するようにすればよい。
また、バンク7’は、太陽電池1’の完成品において、除去することなくそのまま残してもよいし、除去するようにしてもよい。
[5] Next, as shown in FIG. 6E, an electron transport layer 5 ′ is formed on the dye layer D ′ (third step).
The electron transport layer 5 ′ can be formed in the same manner as the anode 3 ′.
[6] Next, as shown in FIG. 6 (f), a cathode 6 ′ is formed on the electron transport layer 5 ′.
The cathode 6 ′ can also be formed in the same manner as the anode 3 ′.
When the electron transport layer 5 ′ and / or the cathode 6 ′ are formed using the liquid phase film forming method, the height of the bank 7 ′ to be formed may be set accordingly.
Further, the bank 7 ′ may be left as it is without being removed in the finished product of the solar cell 1 ′, or may be removed.

[7] 次に、陽極3’と陰極6’とに、それぞれ、外部回路10の端部を接続する。
以上のような工程を経て、第2実施形態の太陽電池(本発明の光電変換素子)1’が製造される。
なお、本実施形態では、正孔輸送層4’および色素層D’を液相成膜法により形成する場合について説明したが、本発明では、これらのうちのいずれか一方または双方を液相成膜法以外の方法、例えば、気相成膜法により形成するようにしてもよい。
[7] Next, end portions of the external circuit 10 are connected to the anode 3 ′ and the cathode 6 ′, respectively.
Through the steps as described above, the solar cell (photoelectric conversion element of the present invention) 1 ′ of the second embodiment is manufactured.
In the present embodiment, the case where the hole transport layer 4 ′ and the dye layer D ′ are formed by the liquid phase film forming method has been described. However, in the present invention, either or both of these are formed by the liquid phase formation. You may make it form by methods other than a film method, for example, a vapor-phase film-forming method.

本発明の電子機器は、このような太陽電池1(または1’)を備えるものである。
以下、図7および図8に基づいて、本発明の電子機器について説明する。
図7は、本発明の電子機器を適用した電卓を示す平面図、図8は、本発明の電子機器を適用した携帯電話機(PHSも含む)を示す斜視図である。
図7に示す電卓100は、本体部101と、本体部101の上面(前面)に設けられた表示部102、複数の操作ボタン103および太陽電池設置部104とを備えている。
図7に示す構成では、太陽電池設置部104には、太陽電池1(または1’)が5つ直列に接続されて配置されている。
The electronic device of the present invention includes such a solar cell 1 (or 1 ′).
Hereinafter, the electronic apparatus of the present invention will be described with reference to FIGS.
FIG. 7 is a plan view showing a calculator to which the electronic device of the present invention is applied, and FIG. 8 is a perspective view showing a mobile phone (including PHS) to which the electronic device of the present invention is applied.
A calculator 100 illustrated in FIG. 7 includes a main body 101, a display unit 102 provided on the upper surface (front surface) of the main body 101, a plurality of operation buttons 103, and a solar cell installation unit 104.
In the configuration shown in FIG. 7, five solar cells 1 (or 1 ′) are connected in series to the solar cell installation unit 104.

図8に示す携帯電話機200は、本体部201と、本体部201の前面に設けられた表示部202、複数の操作ボタン203、受話口204、送話口205および太陽電池設置部206とを備えている。
図8に示す構成では、太陽電池設置部206が、表示部202の周囲を囲むようにして、太陽電池1(または1’)が複数、直列に接続されて配置されている。
A mobile phone 200 shown in FIG. 8 includes a main body 201, a display unit 202 provided on the front surface of the main body 201, a plurality of operation buttons 203, an earpiece 204, a mouthpiece 205, and a solar cell installation unit 206. ing.
In the configuration shown in FIG. 8, a plurality of solar cells 1 (or 1 ′) are connected in series so that the solar cell installation unit 206 surrounds the periphery of the display unit 202.

以上、本発明の光電変換素子の製造方法、光電変換素子および電子機器を図示の各実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これらに限定されるものではない。
例えば、光電変換素子および電子機器を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。
また、例えば、本発明の光電変換素子の製造方法では、前記第1および第2実施形態のうちの任意の2以上の構成を組み合わせるようにしてもよい。
なお、本発明の光電変換素子は、太陽電池のみならず、例えば、光センサー、光スイッチのような、光を受光して電気エネルギーに変換する各種素子(受光素子)に適用することができるものである。
また、本発明の光電変換素子では、光の入射方向は、図示のものとは異なり、逆方向からであってもよい。すなわち、光の入射方向は、任意である。
As mentioned above, although the manufacturing method of the photoelectric conversion element of this invention, the photoelectric conversion element, and the electronic device were demonstrated based on each embodiment of illustration, this invention is not limited to these.
For example, each part which comprises a photoelectric conversion element and an electronic device can be substituted with the thing of the arbitrary structures which can exhibit the same function.
Further, for example, in the method for manufacturing a photoelectric conversion element of the present invention, any two or more configurations of the first and second embodiments may be combined.
The photoelectric conversion element of the present invention can be applied not only to solar cells but also to various elements (light receiving elements) that receive light and convert it into electrical energy, such as optical sensors and optical switches. It is.
Moreover, in the photoelectric conversion element of this invention, the incident direction of light may be from the reverse direction unlike the thing of illustration. That is, the incident direction of light is arbitrary.

次に、本発明の具体的実施例について説明する。
1.太陽電池(光電変換素子)の製造
(実施例1)
次のようにして、図1に示す太陽電池を製造した。
−1− まず、寸法:縦30mm×横35mm×厚さ1.0mmのソーダガラス基板を用意した。
そして、このソーダガラス基板を85℃の洗浄液(硫酸と過酸化水素水との混合液)に浸漬して洗浄を行い、その表面を清浄化した。
Next, specific examples of the present invention will be described.
1. Production of solar cell (photoelectric conversion element) (Example 1)
The solar cell shown in FIG. 1 was manufactured as follows.
-1- First, a soda glass substrate having dimensions of 30 mm in length, 35 mm in width, and 1.0 mm in thickness was prepared.
Then, this soda glass substrate was cleaned by immersing it in a cleaning solution (mixed solution of sulfuric acid and hydrogen peroxide solution) at 85 ° C. to clean the surface.

−2− 次に、ソーダガラス基板上に、蒸着法により、寸法:縦30mm×横35mm×厚さ1μmのFTO電極(陰極:第1の電極)を形成した。
−3− 次に、FTO電極上に、縦30mm×横30mmの領域に、バリヤ層を形成した。これは、次のようにして行った。
まず、チタンテトライソプロポキシドを、2−n−ブトキシエタノールに0.5mol/Lとなるように溶解した。次いで、この溶液に、ジエタノールアミンを添加した。これにより、バリヤ層形成用材料を得た。
-2- Next, an FTO electrode (cathode: first electrode) having dimensions: 30 mm long × 35 mm wide × 1 μm thick was formed on a soda glass substrate by vapor deposition.
-3- Next, a barrier layer was formed on the FTO electrode in an area of 30 mm length x 30 mm width. This was done as follows.
First, titanium tetraisopropoxide was dissolved in 2-n-butoxyethanol so as to be 0.5 mol / L. To this solution was then added diethanolamine. Thereby, a barrier layer forming material was obtained.

なお、ジエタノールアミンとチタンテトライソプロポキシドとの配合比は、2:1(モル比)となるようにした。また、得られたバリヤ層形成用材料の粘度は、3cP(常温)であった。
このバリヤ層形成用材料をスピンコートにより塗布し、塗膜を得た。なお、このスピンコートは、回転数を1500rpmで行った。
The mixing ratio of diethanolamine and titanium tetraisopropoxide was 2: 1 (molar ratio). Moreover, the viscosity of the obtained material for forming a barrier layer was 3 cP (normal temperature).
This barrier layer forming material was applied by spin coating to obtain a coating film. This spin coating was performed at a rotation speed of 1500 rpm.

次いで、このものをホットプレート上に載置して、160℃で10分間、熱処理を施すことにより塗膜を乾燥した。さらに、480℃で30分間、オーブン内で熱処理を施すことにより、塗膜中に残存する有機成分を除去した。
この乾燥および有機成分の除去を1サイクルとして、10サイクル繰り返して行った。
これにより、空孔率が1%未満のバリヤ層を得た。なお、このバリヤ層の平均厚さは、0.9μmであった。
Next, this was placed on a hot plate and heat-treated at 160 ° C. for 10 minutes to dry the coating film. Furthermore, the organic component which remain | survives in a coating film was removed by heat-processing in oven for 480 degreeC for 30 minutes.
This drying and removal of the organic component were taken as one cycle and repeated 10 cycles.
Thereby, a barrier layer having a porosity of less than 1% was obtained. The average thickness of this barrier layer was 0.9 μm.

−4− 次に、バリヤ層上に、このバリヤ層と平面視での形状がほぼ等しい電子輸送層を形成した。これは、次のようにして行った。
まず、ルチル型の二酸化チタン粉末と、アナターゼ型の二酸化チタン粉末とを混合して、二酸化チタン粉末を用意した。
なお、二酸化チタン粉末の平均粒径は、40nmであり、ルチル型の二酸化チタン粉末とアナターゼ型の二酸化チタン粉末との配合比は、60:40(重量比)とした。
-4- Next, an electron transport layer having a shape almost the same as that of the barrier layer in plan view was formed on the barrier layer. This was done as follows.
First, rutile type titanium dioxide powder and anatase type titanium dioxide powder were mixed to prepare titanium dioxide powder.
The average particle size of the titanium dioxide powder was 40 nm, and the blending ratio of the rutile type titanium dioxide powder and the anatase type titanium dioxide powder was 60:40 (weight ratio).

また、チタンテトライソプロポキシドを、2−プロパノールに1mol/Lとなるように溶解した。次いで、この溶液に、酢酸と蒸留水とを混合した。
なお、酢酸とチタンテトライソプロポキシドとの配合比は、1:1(モル比)となるように、また、蒸留水とチタンテトライソプロポキシドとの配合比は、1:1(モル比)となるようにした。
Further, titanium tetraisopropoxide was dissolved in 2-propanol so as to be 1 mol / L. Next, acetic acid and distilled water were mixed into this solution.
The mixing ratio of acetic acid and titanium tetraisopropoxide is 1: 1 (molar ratio), and the mixing ratio of distilled water and titanium tetraisopropoxide is 1: 1 (molar ratio). It was made to become.

次いで、かかる溶液に、予め用意した二酸化チタン粉末を所定量で混合した。さらに、この懸濁液を2−プロパノールで2倍に希釈した。これにより、電子輸送層形成用材料を調製した。
そして、FTO電極およびバリヤ層を形成したソーダガラス基板を、140℃に加熱したホットプレート上に設置し、バリヤ層上に、電子輸送層形成用材料を滴下し、乾燥した。この操作を1サイクルとして、7サイクル繰り返し行った。
これにより、空孔率が34%の電子輸送層を得た。なお、この電子輸送層の平均厚さは、7.2μmであった。
なお、バリヤ層と電子輸送層との全体における厚さ方向の抵抗値は、1kΩ/cm以上であった。
Next, a predetermined amount of titanium dioxide powder prepared in advance was mixed with this solution. Further, this suspension was diluted 2-fold with 2-propanol. Thereby, an electron transport layer forming material was prepared.
Then, the soda glass substrate on which the FTO electrode and the barrier layer were formed was placed on a hot plate heated to 140 ° C., and the electron transport layer forming material was dropped on the barrier layer and dried. This operation was repeated for 7 cycles, with 1 cycle.
Thereby, an electron transport layer having a porosity of 34% was obtained. The average thickness of this electron transport layer was 7.2 μm.
The resistance value in the thickness direction of the entire barrier layer and electron transport layer was 1 kΩ / cm 2 or more.

−5− 次に、ソーダガラス基板、FTO電極、バリヤ層および電子輸送層の積層体を、ルテニウムトリスビピジル(色素)の飽和エタノール溶液に浸漬した後、かかるエタノール溶液から取り出し、自然乾燥により、エタノールを揮発した。さらに、80℃、0.5時間、クリーンオーブンで乾燥した後、一晩放置した。これにより、電子輸送層の外面および空孔の内面に沿って色素層を形成した。   -5- Next, the laminated body of the soda glass substrate, the FTO electrode, the barrier layer, and the electron transport layer is immersed in a saturated ethanol solution of ruthenium trisbipidyl (pigment), then taken out from the ethanol solution, and then naturally dried. The ethanol was volatilized. Further, after drying in a clean oven at 80 ° C. for 0.5 hour, the mixture was left overnight. As a result, a dye layer was formed along the outer surface of the electron transport layer and the inner surface of the pores.

−6− 次に、色素層に接触するように、電子輸送層と平面視での形状がほぼ等しい正孔輸送層を形成した。これは、次のようにして行った。
まず、第1の半導体材料としてポリフェニルアミン(重量平均分子量:2000)を、1重量%となるようにトルエンに溶解して第1の液状材料を調製した。また、第2の半導体材料としてポリフェニルアミン(重量平均分子量:20000)を、1重量%となるようにキシレンに溶解して第2の液状材料を調製した。
-6 Next, a hole transport layer having substantially the same shape as that of the electron transport layer in plan view was formed so as to be in contact with the dye layer. This was done as follows.
First, polyphenylamine (weight average molecular weight: 2000) as a first semiconductor material was dissolved in toluene so as to be 1% by weight to prepare a first liquid material. Further, a second liquid material was prepared by dissolving polyphenylamine (weight average molecular weight: 20000) as a second semiconductor material in xylene so as to be 1% by weight.

なお、第1の液状材料の粘度は、2cP(常温)であり、第2の液状材料の粘度は、7cP(常温)であった。また、第1の液状材料は、そのポリフェニルアミンの濃度上昇に伴う粘度上昇率が、第2の液状材料のポリフェニルアミンの濃度上昇に伴う粘度上昇率より低いものであった。
そして、まず、電子輸送層に超音波振動を与えつつ、電子輸送層のFTO電極と反対側から、第1の液状材料をスピンコート法(1000rpm×30秒)により、電子輸送層の空孔を埋めるように供給し、乾燥した。次いで、第2の液状材料をインクジェット法により供給し、乾燥した。
なお、得られた正孔輸送層の平均厚さ(電子輸送層の空孔に入り込んだ部分を除く)は、20μmであった。
−7− 次に、正孔輸送層上に、蒸着法により、寸法:縦30mm×横30mm×厚さ0.1mmの白金電極(陽極:第2の電極)を形成した。
−8− 次に、FTO電極と白金電極とに、それぞれ、外部回路の端部を接続して、太陽電池を完成した。
The viscosity of the first liquid material was 2 cP (room temperature), and the viscosity of the second liquid material was 7 cP (room temperature). In addition, the first liquid material had a viscosity increase rate associated with an increase in the polyphenylamine concentration lower than the viscosity increase rate associated with an increase in the polyphenylamine concentration of the second liquid material.
First, while applying ultrasonic vibration to the electron transport layer, from the side opposite to the FTO electrode of the electron transport layer, the first liquid material is spin-coated (1000 rpm × 30 seconds) to form holes in the electron transport layer. Supplied to fill and dried. Next, the second liquid material was supplied by an inkjet method and dried.
In addition, the average thickness of the obtained hole transport layer (excluding the part entering the vacancies in the electron transport layer) was 20 μm.
−7− Next, a platinum electrode (anode: second electrode) having dimensions: 30 mm long × 30 mm wide × 0.1 mm thick was formed on the hole transport layer by vapor deposition.
-8- Next, the end part of the external circuit was connected to the FTO electrode and the platinum electrode, respectively, thereby completing the solar cell.

(実施例2)
第2の液状材料を用いなかった以外は、前記実施例1と同様にして、太陽電池を製造した。
(実施例3)
第1の液状材料を用いなかった以外は、前記実施例1と同様にして、太陽電池を製造した。
(Example 2)
A solar cell was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the second liquid material was not used.
(Example 3)
A solar cell was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the first liquid material was not used.

2.評価
各実施例で得られた太陽電池に、それぞれ、条件:AM1.5の擬似太陽光を照射して、光電変換効率を求めた。
その結果、実施例2の太陽電池における光電変換効率を「1」とした場合、実施例1の太陽電池における発電効率は約2倍であり、実施例3の太陽電池における発電効率は約0.7倍であった。
2. Evaluation Each of the solar cells obtained in each Example was irradiated with artificial sunlight under the condition: AM1.5 to obtain photoelectric conversion efficiency.
As a result, when the photoelectric conversion efficiency in the solar cell of Example 2 is “1”, the power generation efficiency of the solar cell of Example 1 is about twice, and the power generation efficiency of the solar cell of Example 3 is about 0.2. It was 7 times.

なお、第1の半導体材料および第2の半導体材料として、それぞれ、ポリフェニルアミン(ポリアリールアミン)に代えて、フルオレン−アリールアミン共重合体、フルオレン−ビチオフェン共重合体またはこれらの誘導体を用いて、前記各実施例と同様にして太陽電池を製造し、前記と同様にして評価すると、前記と同様の結果が得られる。   Note that, as the first semiconductor material and the second semiconductor material, a fluorene-arylamine copolymer, a fluorene-bithiophene copolymer, or a derivative thereof is used instead of polyphenylamine (polyarylamine), respectively. When a solar cell is manufactured in the same manner as in the above examples and evaluated in the same manner as described above, the same result as described above is obtained.

1……太陽電池 2……基板 3……陰極(第1の電極) 4……電子輸送層 41……空孔 5……正孔輸送層 6……陽極(第2の電極) 8……バリヤ層 10……外部回路 D……色素層 1’……太陽電池 2’……基板 3’……陽極 4’……正孔輸送層 D’……色素層 5’……電子輸送層 6’……陰極 7’……バンク 100……電卓 101……本体部 102……表示部 103……操作ボタン 104……太陽電池設置部 200……携帯電話機 201……本体部 202……表示部 203……操作ボタン 204……受話口 205……送話口 206……太陽電池設置部   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Solar cell 2 ... Substrate 3 ... Cathode (first electrode) 4 ... Electron transport layer 41 ... Hole 5 ... Hole transport layer 6 ... Anode (second electrode) 8 ... Barrier layer 10 …… External circuit D …… Dye layer 1 ′ …… Solar cell 2 ′ …… Substrate 3 ′ …… Anode 4 ′ …… Hole transport layer D ′ …… Dye layer 5 ′ …… Electron transport layer 6 '…… Cathode 7' …… Bank 100 …… Calculator 101 …… Main unit 102 …… Display unit 103 …… Operation buttons 104 …… Solar cell installation unit 200 …… Mobile phone 201 …… Main unit 202… Display unit 203 …… Operation buttons 204 …… Earpiece 205 …… Speaker 206 …… Solar cell installation section

Claims (25)

陽極と陰極との間に、第1のキャリア輸送層と、色素層と、第2のキャリア輸送層とを介挿してなる光電変換素子を製造する方法であって、
前記第1のキャリア輸送層を形成する第1の工程と、
前記第1のキャリア輸送層に接触するように、前記色素層を形成する第2の工程と、
前記色素層に接触するように、前記第2のキャリア輸送層を形成する第3の工程とを有し、
前記第1のキャリア輸送層および前記第2のキャリア輸送層のうちの少なくとも一方を液相成膜法により形成することを特徴とする光電変換素子の製造方法。
A method for producing a photoelectric conversion element formed by interposing a first carrier transport layer, a dye layer, and a second carrier transport layer between an anode and a cathode,
A first step of forming the first carrier transport layer;
A second step of forming the dye layer so as to contact the first carrier transport layer;
A third step of forming the second carrier transport layer so as to contact the dye layer,
At least one of the first carrier transport layer and the second carrier transport layer is formed by a liquid phase film-forming method.
前記第1のキャリア輸送層は、多孔質な電子輸送層であり、前記第2のキャリア輸送層は、正孔輸送層であり、
前記第3の工程において、前記正孔輸送層を液相成膜法により形成する請求項1に記載の光電変換素子の製造方法。
The first carrier transport layer is a porous electron transport layer, the second carrier transport layer is a hole transport layer,
The method for producing a photoelectric conversion element according to claim 1, wherein in the third step, the hole transport layer is formed by a liquid phase film formation method.
前記第3の工程において、前記正孔輸送層を、前記電子輸送層の前記陰極と反対側から、第1の半導体材料を含有する第1の液状材料を供給した後、第2の半導体材料を含有する第2の液状材料を供給して形成する際に、
前記第1の液状材料として、前記第2の液状材料より常温での粘度が低いものを用いる請求項2に記載の光電変換素子の製造方法。
In the third step, the first liquid material containing the first semiconductor material is supplied to the hole transport layer from the side opposite to the cathode of the electron transport layer, and then the second semiconductor material is added. When supplying and forming the second liquid material containing,
The method for producing a photoelectric conversion element according to claim 2, wherein a material having a lower viscosity at room temperature than the second liquid material is used as the first liquid material.
前記第3の工程において、前記第1の半導体材料を、前記電子輸送層の空孔を埋めるように充填する請求項3に記載の光電変換素子の製造方法。   The method for manufacturing a photoelectric conversion element according to claim 3, wherein in the third step, the first semiconductor material is filled so as to fill holes in the electron transport layer. 前記第1の液状材料の常温での粘度は、1〜5cPである請求項3または4に記載の光電変換素子の製造方法。   The method for producing a photoelectric conversion element according to claim 3 or 4, wherein the viscosity of the first liquid material at room temperature is 1 to 5 cP. 前記第3の工程において、前記電子輸送層および/または前記第1の液状材料に対して振動を与えつつ、前記第1の液状材料を供給する請求項3ないし5のいずれかに記載の光電変換素子の製造方法。   6. The photoelectric conversion according to claim 3, wherein in the third step, the first liquid material is supplied while vibration is applied to the electron transport layer and / or the first liquid material. Device manufacturing method. 前記振動を、超音波を用いて与える請求項6に記載の光電変換素子の製造方法。   The method for producing a photoelectric conversion element according to claim 6, wherein the vibration is applied using ultrasonic waves. 前記第1の液状材料は、その第1の半導体材料の濃度上昇に伴う粘度上昇率が、前記第2の液状材料の前記第2の半導体材料の濃度上昇に伴う粘度上昇率より低いものである請求項3ないし7のいずれかに記載の光電変換素子の製造方法。   The first liquid material has a viscosity increase rate associated with an increase in the concentration of the first semiconductor material lower than a viscosity increase rate associated with an increase in the concentration of the second semiconductor material of the second liquid material. The manufacturing method of the photoelectric conversion element in any one of Claim 3 thru | or 7. 前記第1の半導体材料および前記第2の半導体材料は、いずれも、有機高分子である請求項3ないし7のいずれかに記載の光電変換素子の製造方法。   The method for manufacturing a photoelectric conversion element according to claim 3, wherein each of the first semiconductor material and the second semiconductor material is an organic polymer. 前記第1の半導体材料と前記第2の半導体材料とは、同種の有機ポリマーであり、前記第1の半導体材料の重量平均分子量が前記第2の半導体材料の重量平均分子量より小さい請求項9に記載の光電変換素子の製造方法。   The first semiconductor material and the second semiconductor material are organic polymers of the same kind, and the weight average molecular weight of the first semiconductor material is smaller than the weight average molecular weight of the second semiconductor material. The manufacturing method of the photoelectric conversion element of description. 前記第1の半導体材料の重量平均分子量は、10000以下である請求項10に記載の光電変換素子の製造方法。   The method for manufacturing a photoelectric conversion element according to claim 10, wherein the first semiconductor material has a weight average molecular weight of 10,000 or less. 前記第2の半導体材料の重量平均分子量は、15000以上である請求項10または11に記載の光電変換素子の製造方法。   The method of manufacturing a photoelectric conversion element according to claim 10 or 11, wherein the second semiconductor material has a weight average molecular weight of 15000 or more. 前記有機ポリマーは、ポリアリールアミン、フルオレン−アリールアミン共重合体、フルオレン−ビチオフェン共重合体またはこれらの誘導体である請求項10ないし12のいずれかに記載の光電変換素子の製造方法。   The method for producing a photoelectric conversion device according to claim 10, wherein the organic polymer is a polyarylamine, a fluorene-arylamine copolymer, a fluorene-bithiophene copolymer, or a derivative thereof. 前記第1の半導体材料と前記第2の半導体材料は、同種のものである請求項3ないし13のいずれかに記載の光電変換素子の製造方法。   The method for manufacturing a photoelectric conversion element according to claim 3, wherein the first semiconductor material and the second semiconductor material are of the same type. 前記第1のキャリア輸送層は、正孔輸送層であり、前記第2のキャリア輸送層は、電子輸送層であり、
前記第1の工程において、前記正孔輸送層を液相成膜法により形成する請求項1に記載の光電変換素子の製造方法。
The first carrier transport layer is a hole transport layer, the second carrier transport layer is an electron transport layer,
The method for producing a photoelectric conversion element according to claim 1, wherein in the first step, the hole transport layer is formed by a liquid phase film forming method.
前記正孔輸送層を、有機ポリマーを主材料として構成する請求項15に記載の光電変換素子の製造方法。   The method for producing a photoelectric conversion element according to claim 15, wherein the hole transport layer is composed of an organic polymer as a main material. 前記有機ポリマーは、その重量平均分子量が8000以上である請求項16に記載の光電変換素子の製造方法。   The method for producing a photoelectric conversion element according to claim 16, wherein the organic polymer has a weight average molecular weight of 8000 or more. 前記有機ポリマーは、アリールアミン骨格および/またはフルオレン骨格を有するものである請求項16または17に記載の光電変換素子の製造方法。   The method for producing a photoelectric conversion element according to claim 16 or 17, wherein the organic polymer has an arylamine skeleton and / or a fluorene skeleton. 前記第2の工程において、前記色素層を液相成膜法により形成し、色素層形成用の液状材料の調製に、前記正孔輸送層を膨潤し得る液剤を用いる請求項15ないし18のいずれかに記載の光電変換素子の製造方法。   19. The method according to claim 15, wherein in the second step, the dye layer is formed by a liquid phase film forming method, and a liquid agent capable of swelling the hole transport layer is used for preparing a liquid material for forming the dye layer. The manufacturing method of the photoelectric conversion element of crab. 前記正孔輸送層を形成する液相成膜法として、液滴吐出法を用いる請求項2ないし19のいずれかに記載の光電変換素子の製造方法。   The method for manufacturing a photoelectric conversion element according to claim 2, wherein a droplet discharge method is used as a liquid phase film forming method for forming the hole transport layer. 前記第2の工程において、前記色素層を液相成膜法により形成する請求項1ないし20のいずれかに記載の光電変換素子の製造方法。   21. The method of manufacturing a photoelectric conversion element according to claim 1, wherein in the second step, the dye layer is formed by a liquid phase film forming method. 前記色素層を形成する液相成膜法として、液滴吐出法を用いる請求項21に記載の光電変換素子の製造方法。   The method for producing a photoelectric conversion element according to claim 21, wherein a droplet discharge method is used as a liquid phase film forming method for forming the dye layer. 前記目的とする層を形成するのに先立って、当該層の形状を規定するバンクを形成する工程を有する請求項1ないし22のいずれかに記載の光電変換素子の製造方法。   The method for manufacturing a photoelectric conversion element according to claim 1, further comprising a step of forming a bank that defines a shape of the layer prior to forming the target layer. 請求項1ないし23のいずれかに記載の光電変換素子の製造方法により製造したことを特徴とする光電変換素子。   A photoelectric conversion element manufactured by the method for manufacturing a photoelectric conversion element according to claim 1. 請求項24に記載の光電変換素子を備えることを特徴とする電子機器。   An electronic apparatus comprising the photoelectric conversion element according to claim 24.
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001257370A (en) * 2000-03-10 2001-09-21 Fuji Photo Film Co Ltd Photoelectric transducer element and photocell
JP2004221495A (en) * 2003-01-17 2004-08-05 Seiko Epson Corp Photoelectric conversion device, its manufacturing method, and electronic apparatus
JP2004228537A (en) * 2003-01-27 2004-08-12 Seiko Epson Corp Photoelectric, manufacturing method thereof, and electronic equipment
JP2004228450A (en) * 2003-01-24 2004-08-12 Seiko Epson Corp Photoelectric transducer and electronic apparatus
JP2004247481A (en) * 2003-02-13 2004-09-02 Sharp Corp Method and apparatus of manufacturing hetero-junction element
WO2005029571A1 (en) * 2003-09-19 2005-03-31 National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology Coating agent for forming semiconductor film, semiconductor film, photoelectric converter, and solar cell

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001257370A (en) * 2000-03-10 2001-09-21 Fuji Photo Film Co Ltd Photoelectric transducer element and photocell
JP2004221495A (en) * 2003-01-17 2004-08-05 Seiko Epson Corp Photoelectric conversion device, its manufacturing method, and electronic apparatus
JP2004228450A (en) * 2003-01-24 2004-08-12 Seiko Epson Corp Photoelectric transducer and electronic apparatus
JP2004228537A (en) * 2003-01-27 2004-08-12 Seiko Epson Corp Photoelectric, manufacturing method thereof, and electronic equipment
JP2004247481A (en) * 2003-02-13 2004-09-02 Sharp Corp Method and apparatus of manufacturing hetero-junction element
WO2005029571A1 (en) * 2003-09-19 2005-03-31 National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology Coating agent for forming semiconductor film, semiconductor film, photoelectric converter, and solar cell

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