JP2011044212A - Device, method, and program for inspecting optical pickup - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a device, method and program for inspecting an optical pickup which calculate an amount of eccentricity of the optical pickup with high accuracy while providing high robustness. <P>SOLUTION: When a mask region corresponding to a non-track range of an optical recording medium (optical disk) is determined, pitch widths (a range from one maximum point to the next maximum point and a range from one minimum point to the next minimum point) contained in a tracking error signal are extracted, and then a threshold is decided based on statistics of these extracted pitch widths. Thereafter, the decided threshold is used to discriminate an eccentric part corresponding to the track range from an aliasing part corresponding to the non-tracking range. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、光ピックアップの偏心量に基づいて良否を判断することのできる光ピックアップの検査装置、検査方法および検査プログラムに関する。   The present invention relates to an optical pickup inspection apparatus, an inspection method, and an inspection program capable of determining pass / fail based on the amount of eccentricity of an optical pickup.

コンパクトディスク(Compact Disk)、DVD(Digital Versatile Disk)、Blueray Disc(登録商標)といった光記録媒体から情報を読取る装置として光ピックアップが利用されている。近年の情報の高密度化によって、光ピックアップの読取精度を向上させる必要が高まっている。   An optical pickup is used as a device for reading information from an optical recording medium such as a compact disk (Compact Disk), a DVD (Digital Versatile Disk), and a Bluray Disc (registered trademark). With the recent increase in information density, the need to improve the reading accuracy of optical pickups is increasing.

このような光ピックアップの検査方法として、光ピックアップを光記録媒体のトラックと交差する方向に変位させた場合(トラバースした場合)に得られる、トラッキング誤差信号(TES:Tracking Error Signal)を用いる方法が知られている。トラッキング誤差信号としては、典型的には、差動プッシュプル(DPP:Differential Push-Pull)信号が用いられる。   As an inspection method for such an optical pickup, there is a method using a tracking error signal (TES) obtained when the optical pickup is displaced in a direction crossing the track of the optical recording medium (when traversed). Are known. As the tracking error signal, a differential push-pull (DPP) signal is typically used.

より具体的には、光ピックアップを光記録媒体に対してトラバースさせるとともに、その場合に測定されるトラッキング誤差信号の振幅の変動量に基づいて、偏心量を算出する。この偏心量は、光ピックアップのスピンドルモータの軸ずれや光学系の非対称性(典型的には、回折格子の光軸ずれ)などに起因するものである。そのため、この偏心量に基づいて、対象の光ピックアップ全体の性能を評価することができる。   More specifically, the optical pickup is traversed with respect to the optical recording medium, and the amount of eccentricity is calculated based on the amount of change in the amplitude of the tracking error signal measured in that case. This amount of eccentricity is caused by an axial deviation of the spindle motor of the optical pickup, an asymmetry of the optical system (typically, an optical axis deviation of the diffraction grating), or the like. Therefore, the performance of the entire target optical pickup can be evaluated based on the amount of eccentricity.

たとえば、特開2005−044424号公報(特許文献1)に開示される光ピックアップ装置の調整方法は、トラッキング誤差信号のエンベロープに基づいて、光ピックアップとスピンドルモータの軸との相対的な位置を変更するステップを含む。また、特開2002−050064号公報(特許文献2)には、トラッキングエラーを検出するDPP信号を用いて、ターンテーブルの位置調整を行なう方法および装置が開示されている。   For example, in the adjustment method of the optical pickup device disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 2005-044424 (Patent Document 1), the relative position between the optical pickup and the spindle motor shaft is changed based on the envelope of the tracking error signal. Including the steps of: Japanese Patent Laying-Open No. 2002-050064 (Patent Document 2) discloses a method and apparatus for adjusting the position of a turntable using a DPP signal for detecting a tracking error.

また、光ピックアップを光記録媒体のトラックと交差する方向に往復運動させた場合には、トラックが形成されている範囲(トラバース範囲)の最外周および最内周において、その移動方向(トラバース方向)が切替わる。このトラバース方向を切替えるタイミングは、トラバース範囲外の部分からの反射光の検出によって判断される。そのため、トラッキング誤差信号には、光記録媒体のトラック以外の部分からの検出信号が含まれる。このようなトラック以外の部分からの検出信号は「折り返し部」とも称され、上述の偏心量の算出からは除外する必要がある。より具体的には、折り返し部には、偏心量の算出から除外するためのマスクが設定される。なお、光ピックアップをトラバースさせた場合に測定されるトラッキング誤差信号のうち、折り返し部を除いた部分、すなわちトラックからの検出信号は「偏心部」とも称される。   Further, when the optical pickup is reciprocated in a direction intersecting with the track of the optical recording medium, the moving direction (traverse direction) in the outermost and innermost circumferences of the range where the track is formed (traverse range). Is switched. The timing for switching the traverse direction is determined by detecting reflected light from a portion outside the traverse range. Therefore, the tracking error signal includes a detection signal from a portion other than the track of the optical recording medium. A detection signal from such a portion other than the track is also referred to as a “folding portion”, and needs to be excluded from the above-described calculation of the amount of eccentricity. More specifically, a mask for excluding from the calculation of the eccentricity amount is set in the folded portion. Of the tracking error signal measured when the optical pickup is traversed, a portion excluding the folded portion, that is, a detection signal from the track is also referred to as “eccentric portion”.

トラッキング誤差信号に含まれる折り返し部を検出する方法として、たとえば、特開2004−079079号公報(特許文献3)には、トラッキングエラー信号のピークレベルに応じて、レーザスポットがトラック外に位置していることを検出する構成が開示されている。また、特開2002−216377号公報(特許文献4)には、トラッキングエラー信号の周波数が所定のしきい値より遅い部分をトラッキングエラー信号の折り返し部として検出する構成が開示されている。   As a method for detecting a folded portion included in a tracking error signal, for example, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-079079 (Patent Document 3), a laser spot is positioned outside a track in accordance with the peak level of the tracking error signal. The structure which detects that it exists is disclosed. Japanese Patent Laying-Open No. 2002-216377 (Patent Document 4) discloses a configuration in which a portion where the frequency of a tracking error signal is slower than a predetermined threshold is detected as a folded portion of the tracking error signal.

また、国際公開第2004/49321号パンフレット(特許文献5)には、光ディス
クの偏芯量を計測する構成が開示されている。
Also, International Publication No. 2004/49321 pamphlet (Patent Document 5) discloses a configuration for measuring the eccentricity of an optical disk.

特開2005−044424号公報JP 2005-044424 A 特開2002−050064号公報JP 2002-050064 A 特開2004−079079号公報JP 2004-0799079 A 特開2002−216377号公報JP 2002-216377 A 国際公開第2004/49321号パンフレットInternational Publication No. 2004/49321 Pamphlet

しかしながら、上述のような従来の方法では、折り返し部を高い精度で判定することは難しかった。   However, in the conventional method as described above, it is difficult to determine the folded portion with high accuracy.

たとえば、特開2004−079079号公報(特許文献3)に開示される方法では、その判定条件の調整が難しく、ロバスト性が低いという課題がある。また、特開2002−216377号公報(特許文献4)に開示される方法では、トラッキングエラー信号を周波数解析することにより折り返し部を検出しているが、周波数解析を用いた場合には、折り返し部に相当する相対的に周波数の低い成分については、検出精度を高められないという課題がある。また、判定条件の調整も難しく、ロバスト性が低いという課題もある。   For example, in the method disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-079079 (Patent Document 3), there is a problem that adjustment of the determination condition is difficult and the robustness is low. In the method disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-216377 (Patent Document 4), the folded portion is detected by frequency analysis of the tracking error signal. However, when the frequency analysis is used, the folded portion is detected. There is a problem that the detection accuracy cannot be increased for a component having a relatively low frequency corresponding to. In addition, it is difficult to adjust the determination conditions, and there is a problem that the robustness is low.

また、国際公開第2004/49321号パンフレット(特許文献5)に開示される方法は、光ディスクのパラメータが既知であることを前提として、光ディスクの偏芯量を計測するものであり、光ピックアップ全体の性能を評価することはできない。   In addition, the method disclosed in International Publication No. 2004/49321 (Patent Document 5) measures the eccentricity of an optical disc on the assumption that the parameters of the optical disc are known. The performance cannot be evaluated.

本発明は、上記のような問題を解決するためになされたものであって、その目的は、高いロバスト性をもちつつ、光ピックアップの偏心量を高い精度で算出できる光ピックアップの検査装置、検査方法および検査プログラムを提供することである。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide an optical pickup inspection apparatus and inspection that can calculate the eccentric amount of the optical pickup with high accuracy while having high robustness. To provide a method and inspection program.

本発明のある局面に従う光ピックアップの検査装置は、光ピックアップの検出器によって検出される検出結果に基づいて、トラッキング誤差信号を生成する誤差信号生成手段を含む。ここで、光ピックアップは、光源からの光を分離して得られるメインビームと少なくとも2つのサブビームとを含む複数のビームを所定の相対関係で光記録媒体へ照射するように構成されており、検出器は、複数のビームが光記録媒体においてそれぞれ反射されて生じる複数の反射光をそれぞれ検出するように構成されている。さらに、本検査装置は、複数のビームの照射位置を光記録媒体のトラックと交差する方向に往復させた場合に得られるトラッキング誤差信号の時系列データを取得する取得手段と、時系列データに含まれる極大点および極小点を抽出する抽出手段と、抽出された極大点および極小点の統計量に基づいて、評価基準を決定する評価基準決定手段と、評価基準に従って、極大点のうち有効極大点を選択し、極小点のうち有効極小点を選択する選択手段と、有効極大点および有効極小点に基づいて、時系列データのうち光記録媒体の非トラック範囲に対応するマスク領域を決定するマスク領域決定手段と、マスク領域以外の領域に含まれる有効極大点および有効極小点に基づいて、照射位置が光記録媒体のトラックと交差する方向へ往復することに伴うトラッキング誤差信号の時間的変化特性を生成する変化特性生成手段と、時間的変化特性に基づいて、光ピックアップの偏心量を算出する偏心量算出手段とを含む。   An inspection apparatus for an optical pickup according to an aspect of the present invention includes error signal generation means for generating a tracking error signal based on a detection result detected by a detector of the optical pickup. Here, the optical pickup is configured to irradiate an optical recording medium with a plurality of beams including a main beam obtained by separating light from a light source and at least two sub-beams in a predetermined relative relationship. The apparatus is configured to detect a plurality of reflected lights generated by reflecting the plurality of beams on the optical recording medium, respectively. Further, the inspection apparatus includes an acquisition unit that acquires time series data of a tracking error signal obtained when the irradiation positions of a plurality of beams are reciprocated in a direction intersecting a track of the optical recording medium, and the time series data includes Extraction means for extracting local maximum points and local minimum points, evaluation standard determination means for determining evaluation criteria based on the statistics of the extracted local maximum points and local minimum points, and effective local maximum points among the local maximum points according to the evaluation criteria And selecting means for selecting an effective minimum point among the minimum points, and a mask for determining a mask region corresponding to the non-track range of the optical recording medium in the time series data based on the effective maximum point and the effective minimum point Based on the area determining means and the effective maximum point and effective minimum point included in the area other than the mask area, the irradiation position reciprocates in the direction intersecting the track of the optical recording medium. Cormorant including a variation characteristic generating means for generating a temporal change characteristics of the tracking error signal, based on the temporal change characteristics, and an eccentric amount calculating means for calculating the eccentricity amount of the optical pickup.

好ましくは、評価基準決定手段は、極大点の振幅の平均値および標準偏差に基づいて第1しきい値を決定する手段と、極小点の振幅の平均値および標準偏差に基づいて第2しき
い値を決定する手段とを含み、選択手段は、極大点のうち、振幅が第1しきい値より大きいものを有効極大点として抽出する手段と、極小点のうち、振幅が第2しきい値より小さいものを有効極小点として抽出する手段とを含む。
Preferably, the evaluation criterion determining means determines the first threshold value based on the average value and standard deviation of the amplitude of the maximum point, and the second threshold value based on the average value and standard deviation of the amplitude of the minimum point. Means for determining a value, wherein the selecting means extracts means having a larger amplitude than the first threshold value among the maximal points as effective maximal points, and the amplitude having the second threshold value among the maximal points. Means for extracting smaller ones as effective local minimum points.

好ましくは、マスク領域決定手段は、有効極大点、有効極小点、有効極大点の順で現れている部分を特定し、2つの有効極大点の間の間隔を算出する手段と、有効極小点、有効極大点、有効極小点の順で現れている部分を特定し、2つの有効極小点の間の間隔を算出する手段と、算出された2つの有効極大点の間の間隔および2つの有効極小点の間の間隔の統計量に基づいて、第3しきい値を決定する手段と、有効極大点、有効極小点、有効極大点の順で現れている部分のうち、2つの有効極大点の間の間隔が第3しきい値より大きい部分について、当該部分に含まれる有効極小点を除外する手段と、有効極小点、有効極大点、有効極小点の順で現れている部分のうち、2つの有効極小点の間の間隔が第3しきい値より大きい部分について、当該部分に含まれる有効極大点を除外する手段と、2つの有効極大点が連続して存在する範囲および2つの有効極小点が連続して存在する範囲の少なくとも一方をマスク領域として決定する手段とを含む。   Preferably, the mask region determining means specifies a portion appearing in the order of the effective maximum point, the effective minimum point, and the effective maximum point, and calculates a distance between the two effective maximum points, an effective minimum point, Means for calculating the effective maximum point, the portion appearing in the order of the effective minimum point, calculating the interval between the two effective minimum points, and the calculated interval between the two effective maximum points and the two effective minimum points Based on the statistics of the interval between the points, the means for determining the third threshold value and the effective maxima, the effective minima, and the effective maxima in the order of the two effective maxima Among the portions where the interval between them is larger than the third threshold value, the means for excluding the effective minimum point included in the portion and the portion appearing in the order of the effective minimum point, the effective maximum point, and the effective minimum point are 2 For the portion where the interval between two effective local minimum points is greater than the third threshold, Means for excluding effective maximum points included in the portion; means for determining at least one of a range in which two effective maximum points exist continuously and a range in which two effective minimum points exist continuously as mask regions; including.

好ましくは、本検査装置は、有効極大点および有効極小点のうち、ノイズ成分を除去するノイズ除去手段をさらに含む。   Preferably, the inspection apparatus further includes a noise removing unit that removes a noise component from the effective maximum point and the effective minimum point.

さらに好ましくは、ノイズ除去手段は、選択手段によって選択された有効極大点および有効極小点のうち、所定のパターンで現れている、複数の有効極大点および複数の有効極小点、を抽出する手段と、当該所定のパターンで現れている複数の有効極大点の一部を除外し、当該所定のパターンで現れている複数の有効極小点の一部を除去する手段とを含む。   More preferably, the noise removing unit extracts a plurality of effective maximum points and a plurality of effective minimum points that appear in a predetermined pattern among the effective maximum points and the effective minimum points selected by the selecting unit. And means for excluding a part of the plurality of effective maximum points appearing in the predetermined pattern and removing a part of the plurality of effective minimum points appearing in the predetermined pattern.

好ましくは、本検査装置は、有効極大点および有効極小点のうち、実質的に同一のトラックに対応して重複して検出されたものを統合する統合手段をさらに含む。   Preferably, the inspection apparatus further includes an integration unit that integrates the effective maximum points and the effective minimum points that are detected in duplicate corresponding to substantially the same track.

さらに好ましくは、統合処理は、時間軸上の所定期間内に複数存在する有効極大点または有効極小点を抽出する手段と、抽出された複数の有効極大点を実質的に単一の有効極大点に統合するとともに、抽出された複数の有効極小点を実質的に単一の有効極小点に統合する手段とを含む。   More preferably, the integration processing includes a means for extracting a plurality of effective maximum points or effective minimum points existing within a predetermined period on the time axis, and a plurality of extracted effective maximum points are substantially converted into a single effective maximum point. And integrating the plurality of extracted effective minimum points into a substantially single effective minimum point.

好ましくは、変化特性生成手段は、マスク領域以外の領域に存在する有効極大点および有効極小点を時系列に並べて一連のデータを生成する手段と、一連のデータをフィルタリング処理することで、時間的変化特性を生成する手段とを含む。   Preferably, the change characteristic generating means includes means for generating a series of data by arranging effective maximum points and effective minimum points existing in an area other than the mask area in time series, and filtering the series of data to obtain temporal changes. Generating a change characteristic.

この発明の別の局面に従う光ピックアップの検査方法は、光ピックアップに検査装置を装着するステップを含む。ここで、光ピックアップは、光源からの光を分離して得られるメインビームと少なくとも2つのサブビームとを含む複数のビームを所定の相対関係で光記録媒体へ照射する機構と、複数のビームが光記録媒体においてそれぞれ反射されて生じる複数の反射光をそれぞれ検出する検出器とを含む。また、検査装置は、検出器によって検出される検出結果に基づいてトラッキング誤差信号を生成する回路を含む。さらに、本検査方法は、複数のビームの照射位置を光記録媒体のトラックと交差する方向に往復させた場合に得られるトラッキング誤差信号の時系列データを取得するステップと、時系列データに含まれる極大点および極小点を抽出するステップと、抽出された極大点および極小点の統計量に基づいて、評価基準を決定するステップと、評価基準に従って、極大点のうち有効極大点を選択し、極小点のうち有効極小点を選択するステップと、有効極大点および有効極小点に基づいて、時系列データのうち光記録媒体の非トラック範囲に対応するマスク領域を決定するステップと、マスク領域以外の領域に含まれる有効極大点および有効
極小点に基づいて、照射位置が光記録媒体のトラックと交差する方向へ往復することに伴うトラッキング誤差信号の時間的変化特性を生成するステップと、時間的変化特性に基づいて、光ピックアップの偏心量を算出するステップとを含む。
An inspection method for an optical pickup according to another aspect of the present invention includes a step of attaching an inspection device to the optical pickup. Here, the optical pickup has a mechanism for irradiating a plurality of beams including a main beam obtained by separating light from a light source and at least two sub beams to an optical recording medium in a predetermined relative relationship, and the plurality of beams are light beams. And a detector for detecting a plurality of reflected lights respectively generated by being reflected on the recording medium. The inspection apparatus also includes a circuit that generates a tracking error signal based on the detection result detected by the detector. Further, the present inspection method includes a step of acquiring time series data of a tracking error signal obtained when the irradiation positions of a plurality of beams are reciprocated in a direction crossing the track of the optical recording medium, and the time series data includes A step of extracting local maximum points and local minimum points, a step of determining evaluation criteria based on the statistics of the extracted local maximum points and local minimum points, and selecting an effective local maximum point from the local maximum points according to the evaluation criteria, and determining a local minimum Selecting an effective minimum point among the points; determining a mask region corresponding to the non-track range of the optical recording medium in the time series data based on the effective maximum point and the effective minimum point; and other than the mask region Based on the effective maximum and minimum points included in the area, the tracking error caused by the reciprocation of the irradiation position in the direction intersecting the track of the optical recording medium Generating a temporal change characteristics of the signal, based on the temporal change characteristics, and calculating the eccentricity amount of the optical pickup.

この発明のさらに別の局面に従えば、プロセッサを含む検査装置で実行される光ピックアップの検査プログラムを提供する、本検査プログラムは、プロセッサを、光ピックアップの検出器によって検出される検出結果に基づいて、トラッキング誤差信号を生成する誤差信号生成手段として機能させる。ここで、光ピックアップは、光源からの光を分離して得られるメインビームと少なくとも2つのサブビームとを含む複数のビームを所定の相対関係で光記録媒体へ照射するように構成されている。また、検出器は、複数のビームが光記録媒体においてそれぞれ反射されて生じる複数の反射光をそれぞれ検出するように構成されている。さらに、検査プログラムは、プロセッサを、複数のビームの照射位置を光記録媒体のトラックと交差する方向に往復させた場合に得られるトラッキング誤差信号の時系列データを取得する取得手段と、時系列データに含まれる極大点および極小点を抽出する抽出手段と、抽出された極大点および極小点の統計量に基づいて、評価基準を決定する評価基準決定手段と、評価基準に従って、極大点のうち有効極大点を選択し、極小点のうち有効極小点を選択する選択手段と、有効極大点および有効極小点に基づいて、時系列データのうち光記録媒体の非トラック範囲に対応するマスク領域を決定するマスク領域決定手段と、マスク領域以外の領域に含まれる有効極大点および有効極小点に基づいて、照射位置が光記録媒体のトラックと交差する方向へ往復することに伴うトラッキング誤差信号の時間的変化特性を生成する変化特性生成手段と、時間的変化特性に基づいて、光ピックアップの偏心量を算出する偏心量算出手段として機能させる。   According to still another aspect of the present invention, an inspection program for an optical pickup executed by an inspection apparatus including a processor is provided. The inspection program is based on a detection result detected by a detector of the optical pickup. Thus, it functions as an error signal generation means for generating a tracking error signal. Here, the optical pickup is configured to irradiate the optical recording medium with a plurality of beams including a main beam obtained by separating light from the light source and at least two sub beams in a predetermined relative relationship. The detector is configured to detect a plurality of reflected lights generated by reflecting the plurality of beams on the optical recording medium. Further, the inspection program includes an acquisition means for acquiring time series data of a tracking error signal obtained when the processor reciprocates the irradiation positions of a plurality of beams in a direction intersecting the track of the optical recording medium, and time series data Extraction means for extracting local maximum and local minimum points included in, evaluation standard determination means for determining evaluation criteria based on the statistics of the extracted local maximum and minimum points, and effective among local maximum points according to the evaluation standard Select the local maximum point, select the effective local point from the local minimum point, and determine the mask area corresponding to the non-track range of the optical recording medium in the time series data based on the effective local maximum point and the effective local minimum point Based on the mask area determination means to be used and the effective maximum point and the effective minimum point included in the area other than the mask area, where the irradiation position intersects the track of the optical recording medium A variation characteristic generating means for generating a temporal change characteristics of the tracking error signal caused to travel to and, based on the temporal variation characteristics to function as an eccentric amount calculating means for calculating the eccentricity amount of the optical pickup.

本発明によれば、高いロバスト性をもちつつ、光ピックアップの偏心量を高い精度で算出できる。   According to the present invention, the amount of eccentricity of the optical pickup can be calculated with high accuracy while having high robustness.

本発明の実施の形態に従うシステムの概略構成図である。1 is a schematic configuration diagram of a system according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施の形態に従う光ピックアップにおける光記録媒体上のビームの集光位置を示す図である。It is a figure which shows the condensing position of the beam on the optical recording medium in the optical pick-up according to embodiment of this invention. 図1に示す光検出部および誤差信号生成部のより詳細な構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the more detailed structure of the photon detection part and error signal generation part which are shown in FIG. 本発明の実施の形態に従う検査装置によって得られる差動プッシュプル信号DPPの信号波形の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the signal waveform of the differential push pull signal DPP obtained by the test | inspection apparatus according to embodiment of this invention. 図1に示す検査装置のより詳細な構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the more detailed structure of the test | inspection apparatus shown in FIG. 本発明の実施の形態に従う検査装置の制御構造を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the control structure of the test | inspection apparatus according to embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に従う検査方法の全体処理手順を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the whole process sequence of the test | inspection method according to embodiment of this invention. 図7のステップS12に示す入力データ処理サブルーチンの処理手順を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the process sequence of the input data processing subroutine shown to step S12 of FIG. 図7のステップS12に示す入力データ処理サブルーチンの処理結果の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the process result of the input data processing subroutine shown to step S12 of FIG. 図7のステップS14に示すノイズ除去サブルーチンの処理手順を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the process sequence of the noise removal subroutine shown to step S14 of FIG. 図7のステップS14に示すノイズ除去サブルーチンにおいてノイズとして判定されるパターンの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the pattern determined as noise in the noise removal subroutine shown to step S14 of FIG. 図7のステップS16に示す統合処理サブルーチンの処理手順を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the process sequence of the integrated process subroutine shown to step S16 of FIG. 図7のステップS16に示す統合処理サブルーチンにおいて統合される極大点の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the maximum point integrated in the integration process subroutine shown to step S16 of FIG. 図7のステップS18に示すマスク領域決定サブルーチンの処理手順を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the process sequence of the mask area | region determination subroutine shown to step S18 of FIG. 本発明の実施の形態に従うトラッキング誤差信号に現れる折り返し部および偏心部を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the folding | turning part and eccentric part which appear in the tracking error signal according to the embodiment of the present invention. 図7のステップS18に示すマスク領域決定サブルーチンにおける処理の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the process in the mask area | region determination subroutine shown to step S18 of FIG. 図7のステップS22に示す平滑化処理サブルーチンの処理手順を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the process sequence of the smoothing process subroutine shown to step S22 of FIG. 図7のステップS22に示す平滑化処理サブルーチンにおける処理の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the process in the smoothing process subroutine shown to step S22 of FIG.

本発明の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図中の同一または相当部分については、同一符号を付してその説明は繰返さない。   Embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Note that the same or corresponding parts in the drawings are denoted by the same reference numerals and description thereof will not be repeated.

<光ピックアップおよび検査装置の構成>
図1は、本発明の実施の形態に従うシステムの概略構成図である。図2は、本発明の実施の形態に従う光ピックアップにおける光記録媒体上のビームの集光位置を示す図である。
<Configuration of optical pickup and inspection device>
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a system according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a diagram showing a beam condensing position on the optical recording medium in the optical pickup according to the embodiment of the present invention.

図1を参照して、本実施の形態に従うシステムは、検査対象である光ピックアップ101と、光ピックアップ101が情報を読取る対象である光記録媒体(以下、「光ディスク」とも称す。)106を回転駆動するためのスピンドルモータ112と、光ピックアップ101を検査する検査装置11とを含む。   Referring to FIG. 1, the system according to the present embodiment rotates optical pickup 101 as an inspection target and optical recording medium (hereinafter also referred to as “optical disk”) 106 from which optical pickup 101 reads information. A spindle motor 112 for driving and an inspection device 11 for inspecting the optical pickup 101 are included.

(1.光ピックアップ)
光ピックアップ101は、スピンドルモータ112によって回転される光ディスク106の情報記録面上に光スポットを照射するとともに、光ディスク106に形成されている目的のトラックに光スポットをトラッキングする。トラッキング制御の方式としては、位相差法、3ビーム法、プッシュプル法、および差動プッシュプル法などが知られている。
(1. Optical pickup)
The optical pickup 101 irradiates a light spot on the information recording surface of the optical disk 106 rotated by the spindle motor 112 and tracks the light spot on a target track formed on the optical disk 106. As a tracking control method, a phase difference method, a three-beam method, a push-pull method, a differential push-pull method, and the like are known.

典型的な差動プッシュプル法では、光源から光ディスク106までの光路上に回折格子を設置し、光源から照射された光(レーザ光)をメインビーム121と少なくとも2つのサブビーム122,123とを含む複数のビームに分離する。回折格子の透過光(0次光)がメインビーム121となり、±1次回折光がサブビーム122,123となる。これらの3つのビーム(メインビーム121および2つのサブビーム122,123)は、所定の相対関係をもって光ディスク106へ照射される。   In a typical differential push-pull method, a diffraction grating is installed on the optical path from the light source to the optical disk 106, and the light (laser light) emitted from the light source includes the main beam 121 and at least two sub beams 122 and 123. Separate into multiple beams. The transmitted light (0th order light) of the diffraction grating becomes the main beam 121, and the ± 1st order diffracted light becomes the sub beams 122 and 123. These three beams (the main beam 121 and the two sub beams 122 and 123) are irradiated onto the optical disc 106 with a predetermined relative relationship.

メインビーム121および2つのサブビーム122,123が光ディスク106においてそれぞれ反射されて生じる3つの反射光に基づくプッシュプル信号をそれぞれ検出する。そして、これらのプッシュプル信号の差動信号(差動プッシュプル信号、または、DPP信号)がトラッキング誤差信号として用いられる。   Push-pull signals based on three reflected lights generated by reflecting the main beam 121 and the two sub beams 122 and 123 on the optical disk 106 are detected. A differential signal (differential push-pull signal or DPP signal) of these push-pull signals is used as a tracking error signal.

本実施の形態に従う光ピックアップ101は、光源102と、コリメータレンズ103と、回折格子104と、ビームスプリッタ105と、対物レンズ107と、アクチュエータ111と、集光レンズ108と、シリンドリカルレンズ109と、光検出部110とを含む。   The optical pickup 101 according to the present embodiment includes a light source 102, a collimator lens 103, a diffraction grating 104, a beam splitter 105, an objective lens 107, an actuator 111, a condenser lens 108, a cylindrical lens 109, an optical And a detection unit 110.

図2に示すように、トラッキング制御では、メインビーム121が光ディスク上の読出
対象トラック126の中心に照射されるように集光位置(対物レンズ107の変位)が制御される。このとき、サブビーム122および123は、メインビーム121に対してそれぞれ左右に1/2トラックずれて照射される。
As shown in FIG. 2, in the tracking control, the condensing position (displacement of the objective lens 107) is controlled so that the main beam 121 is irradiated to the center of the read target track 126 on the optical disc. At this time, the sub beams 122 and 123 are irradiated with a shift of 1/2 track to the left and right with respect to the main beam 121, respectively.

なお、このような光ピックアップの基本的な構成および動作については公知であるので、より詳細な説明は行なわない。   Since the basic configuration and operation of such an optical pickup are known, a more detailed description will not be given.

(2.検査装置)
検査装置11は、光ピックアップ101に接続され、アクチュエータ111に検査用の制御指令を与えて所定の動作をさせるとともに、光検出部110から出力される3つの反射光の検出結果に基づいて、光ピックアップ101の偏心量を算出する。より具体的には、まず、検査装置11は、スピンドルモータ112に制御指令を与えることで、光ディスク106を所定速度で回転させるとともに、トラッキングサーボ制御を停止した状態でフォーカスサーボ制御のみが有効となるように、アクチュエータ111に制御指令を与える。続いて、検査装置11は、アクチュエータ111に制御指令を与えて、メインビーム121およびサブビーム122,123の集光位置を光ディスク106の半径方向(トラックと交差する方向)に変位させる。このとき、アクチュエータ111には、3つのビームの集光位置が、光ディスク106のトラックが形成されている範囲の内周側と外周側との間を往復するような制御指令が与えられる。すなわち、検査装置11は、対物レンズ107をトラバースさせるための制御指令を与える。
(2. Inspection device)
The inspection device 11 is connected to the optical pickup 101, gives a control command for inspection to the actuator 111 to perform a predetermined operation, and based on the detection results of the three reflected lights output from the light detection unit 110, The amount of eccentricity of the pickup 101 is calculated. More specifically, first, the inspection apparatus 11 gives a control command to the spindle motor 112 to rotate the optical disk 106 at a predetermined speed, and only the focus servo control is effective with the tracking servo control stopped. As described above, a control command is given to the actuator 111. Subsequently, the inspection apparatus 11 gives a control command to the actuator 111 to displace the condensing positions of the main beam 121 and the sub beams 122 and 123 in the radial direction of the optical disc 106 (direction intersecting the track). At this time, the actuator 111 is given a control command so that the converging positions of the three beams reciprocate between the inner and outer peripheral sides of the range where the track of the optical disk 106 is formed. That is, the inspection apparatus 11 gives a control command for traversing the objective lens 107.

最終的に、検査装置11は、このトラバースによって得られるトラッキング誤差信号(差動プッシュプル信号)の時系列データに基づいて、光ピックアップ101の偏心量を算出する。   Finally, the inspection apparatus 11 calculates the amount of eccentricity of the optical pickup 101 based on the time series data of the tracking error signal (differential push-pull signal) obtained by this traverse.

検査装置11は、誤差信号生成部221と、コンピュータ201と、ディスプレイ207とを含む。   The inspection apparatus 11 includes an error signal generation unit 221, a computer 201, and a display 207.

誤差信号生成部221は、光ピックアップ101の光検出部110によって検出される検出結果(後述する検出器131,132,133で検出された3つのプッシュプル信号)に基づいて、トラッキング誤差信号の一例である差動プッシュプル信号DPPを生成する。このトラッキング誤差信号を生成する構成および処理については、後述する。   The error signal generation unit 221 is an example of a tracking error signal based on detection results (three push-pull signals detected by detectors 131, 132, and 133 described later) detected by the light detection unit 110 of the optical pickup 101. The differential push-pull signal DPP is generated. The configuration and processing for generating this tracking error signal will be described later.

コンピュータ201は、検査装置11の全体制御を司る。典型的には、コンピュータ201は、演算処理を行なうためのプロセッサ、プログラムやデータなどを格納するためのメモリ、および各種周辺回路を含む。   The computer 201 governs overall control of the inspection apparatus 11. The computer 201 typically includes a processor for performing arithmetic processing, a memory for storing programs and data, and various peripheral circuits.

ディスプレイ207は、コンピュータ201によって算出された偏心量や偏心量に基づく良否判断結果などをユーザに表示する。   The display 207 displays to the user the amount of eccentricity calculated by the computer 201 and the quality determination result based on the amount of eccentricity.

<トラッキング誤差信号>
図3は、図1に示す光検出部110および誤差信号生成部221のより詳細な構成を示すブロック図である。
<Tracking error signal>
FIG. 3 is a block diagram showing a more detailed configuration of the light detection unit 110 and the error signal generation unit 221 shown in FIG.

図3を参照して、光検出部110の検出器131は、メインビームを受光するための4分割光検出器であり、受光面として、4つに分割された受光素子(A,B,C,D)を有する。また、光検出部110の検出器132は、サブビームを受光するための2分割光検出器であり、受光面として、2つに分割された受光素子(E,F)を有する。同様に、光検出部110の検出器133は、サブビームを受光するための2分割光検出器であり、受光面として、2つに分割された受光素子(G,H)を有する。これらの受光素子(A〜H
)は、それぞれ独立に光を検出し、検出した光強度に応じた信号を出力する。
Referring to FIG. 3, the detector 131 of the light detection unit 110 is a four-divided photodetector for receiving the main beam, and is divided into four light receiving elements (A, B, C) as a light receiving surface. , D). The detector 132 of the light detection unit 110 is a two-divided photodetector for receiving a sub beam, and has a light receiving element (E, F) divided into two as a light receiving surface. Similarly, the detector 133 of the light detection unit 110 is a two-divided light detector for receiving a sub beam, and has a light receiving element (G, H) divided into two as a light receiving surface. These light receiving elements (A to H
) Detects light independently and outputs a signal corresponding to the detected light intensity.

誤差信号生成部221は、検出器131のメインプッシュプル信号MPP、検出器132のサブプッシュプル信号SPP1、および検出器133のサブプッシュプル信号SPP2を生成する。さらに、誤差信号生成部221は、プッシュプル信号MPP,SPP1,SPP2に基づいて、差動プッシュプル信号DPPを生成する。   The error signal generation unit 221 generates a main push-pull signal MPP of the detector 131, a sub push-pull signal SPP1 of the detector 132, and a sub push-pull signal SPP2 of the detector 133. Furthermore, the error signal generation unit 221 generates a differential push-pull signal DPP based on the push-pull signals MPP, SPP1, and SPP2.

より具体的には、誤差信号生成部221は、減算器141,142,143,146と、加算器144と、定数乗算器145とを含む。典型的には、これらの全部もしくは一部は、演算増幅器などのアナログ回路で構成される。   More specifically, the error signal generation unit 221 includes subtracters 141, 142, 143, 146, an adder 144, and a constant multiplier 145. Typically, all or a part of these is constituted by an analog circuit such as an operational amplifier.

誤差信号生成部221から出力される差動プッシュプル信号DPPは以下のようになる。   The differential push-pull signal DPP output from the error signal generator 221 is as follows.

DPP=MPP−k×SPP ・・・(1)
MPP=(a+d)−(b+c) ・・・(2)
SPP=SPP1+SPP2,SPP1=e−f,SPP2=g−h ・・・(3)
ここで、係数kは0次光の光強度と+1次光および−1次光の光強度との違いを補正するための定数である。
DPP = MPP-k × SPP (1)
MPP = (a + d) − (b + c) (2)
SPP = SPP1 + SPP2, SPP1 = ef, SPP2 = g−h (3)
Here, the coefficient k is a constant for correcting the difference between the light intensity of the 0th order light and the light intensity of the + 1st order light and the −1st order light.

図4は、本発明の実施の形態に従う検査装置によって得られる差動プッシュプル信号DPPの信号波形の一例を示す図である。図4に示す差動プッシュプル信号DPPは、光ディスク106のトラックが形成されている範囲をアクチュエータ111(図1)がトラバースした場合に得られる時間的変化特性の一例である。なお、図4のX軸は時間軸を示し、Y軸は差動プッシュプル信号DPPの信号強度を示す。   FIG. 4 shows an example of a signal waveform of differential push-pull signal DPP obtained by the inspection apparatus according to the embodiment of the present invention. The differential push-pull signal DPP shown in FIG. 4 is an example of a temporal change characteristic obtained when the actuator 111 (FIG. 1) traverses the range where the track of the optical disk 106 is formed. In FIG. 4, the X axis indicates the time axis, and the Y axis indicates the signal strength of the differential push-pull signal DPP.

図4(A)には、回折格子104の光軸ずれなどがなく、メインビーム121およびサブビーム122,123が理想的に生成される場合の時間波形を示す。   FIG. 4A shows a time waveform when the main beam 121 and the sub beams 122 and 123 are ideally generated without the optical axis shift of the diffraction grating 104 and the like.

しかしながら、実際に測定される差動プッシュプル信号DPPの波形は、図4(B)に示すように、その振幅に変化を生じており、振幅の大きい山部81と振幅の大きい谷部82とが周期的に現れる。   However, as shown in FIG. 4B, the waveform of the differential push-pull signal DPP that is actually measured has a change in the amplitude. The peak portion 81 having a large amplitude, the valley portion 82 having a large amplitude, and the like. Appears periodically.

そこで、本実施の形態に従う検査装置11では、対物レンズ107をトラバースさせた場合に得られる差動プッシュプル信号DPPの最大振幅Amaxと最小振幅Aminとの比を偏心量(あるいは、偏心比)として算出し、この偏心量の大きさに基づいて、光ピックアップの良否などを判断する。   Therefore, in the inspection apparatus 11 according to the present embodiment, the ratio between the maximum amplitude Amax and the minimum amplitude Amin of the differential push-pull signal DPP obtained when the objective lens 107 is traversed is used as an eccentric amount (or eccentric ratio). The quality of the optical pickup is determined based on the calculated amount of eccentricity.

<検査装置のハードウェア構成>
図5は、図1に示す検査装置11のより詳細な構成を示すブロック図である。
<Hardware configuration of inspection device>
FIG. 5 is a block diagram showing a more detailed configuration of the inspection apparatus 11 shown in FIG.

図5を参照して、検査装置11のコンピュータ201は、A/D(Analog to Digital)変換部202と、記憶装置203と、プロセッサ204と、出力部205と、入力部206と、通信インターフェース208A,208Bとを含む。   Referring to FIG. 5, the computer 201 of the inspection apparatus 11 includes an A / D (Analog to Digital) conversion unit 202, a storage device 203, a processor 204, an output unit 205, an input unit 206, and a communication interface 208A. , 208B.

A/D変換部202は、誤差信号生成部221で生成される差動プッシュプル信号DPP(アナログの電圧信号)をデジタル形式の時系列データに変換する。   The A / D converter 202 converts the differential push-pull signal DPP (analog voltage signal) generated by the error signal generator 221 into digital time-series data.

記憶装置203は、プロセッサによって実行されるプログラム、コンピュータ201の外部から与えられたデータ、およびコンピュータ201の内部で生成されたデータなどを
格納する。コンピュータ201の外部から与えられたデータは、たとえば、A/D変換部202から出力される差動プッシュプル信号DPPの時系列データ、および、後述する本実施の形態に従う検査方法に用いられるパラメータ値などを含む。コンピュータ201の内部で生成されたデータは、たとえば、プロセッサ204から出力される本実施の形態に従う検査方法の処理途中のデータや処理結果、および、光ピックアップ101の良否判断の結果などを含む。典型的には、記憶装置203は、DRAM(Dynamic Random Access Memory)などの揮発性の記憶デバイスと、FLASHメモリやハードディスクなどの不揮発性の記憶デバイスとを含む。
The storage device 203 stores a program executed by the processor, data given from the outside of the computer 201, data generated inside the computer 201, and the like. Data given from the outside of the computer 201 includes, for example, time-series data of the differential push-pull signal DPP output from the A / D converter 202, and parameter values used in the inspection method according to the present embodiment described later. Etc. The data generated inside the computer 201 includes, for example, data in the middle of processing of the inspection method according to the present embodiment output from the processor 204, processing results, and results of determining whether the optical pickup 101 is good or bad. Typically, the storage device 203 includes a volatile storage device such as a DRAM (Dynamic Random Access Memory) and a nonvolatile storage device such as a FLASH memory or a hard disk.

プロセッサ204は、記憶装置203などに格納されたプログラムに従って、本実施の形態に従う検査方法を実行する。より具体的には、プロセッサ204は、通信インターフェース208Aおよび208Bを通じて、アクチュエータ111およびスピンドルモータ112へ制御指令を与えるとともに、記憶装置203に格納される差動プッシュプル信号DPPの時系列データに対して、後述するデータ処理を行なうことで、検査対象の光ピックアップ101の偏心量を算出する。さらに、プロセッサ204は、算出した偏心量に基づいて、光ピックアップ101の良否を判断する。   The processor 204 executes the inspection method according to the present embodiment in accordance with a program stored in the storage device 203 or the like. More specifically, the processor 204 gives a control command to the actuator 111 and the spindle motor 112 through the communication interfaces 208A and 208B, and performs the time series data of the differential push-pull signal DPP stored in the storage device 203. Then, the eccentricity of the optical pickup 101 to be inspected is calculated by performing data processing to be described later. Further, the processor 204 determines the quality of the optical pickup 101 based on the calculated amount of eccentricity.

出力部205は、プロセッサ204からの演算結果に基づいて、文字やグラフなどで演算結果を表示するための信号をディスプレイ207へ出力する。   Based on the calculation result from the processor 204, the output unit 205 outputs a signal for displaying the calculation result as a character or a graph to the display 207.

入力部206は、キーボードやマウスなどを含み、ユーザ入力されるデータや指令を受付ける。さらに、入力部206は、CD−ROMなどの記録媒体からのデータ読出装置を含んでもよく、この場合には、CD−ROMに格納されたプログラムなどを読出して、記憶装置203へ格納する。   The input unit 206 includes a keyboard, a mouse, and the like, and receives data and commands input by the user. Further, the input unit 206 may include a data reading device from a recording medium such as a CD-ROM. In this case, a program stored in the CD-ROM is read and stored in the storage device 203.

<検査方法の概要>
本実施の形態に従う検査方法では、光ピックアップ101をトラバースさせた場合に取得されるトラッキング誤差信号(差動プッシュプル信号DPP)に含まれる(単純)極大点および(単純)極小点を抽出した上で、当該抽出した極大点および極小点の統計量に基づいて決定される評価基準を用いて、抽出した極大点および極小点のうち、偏心量の算出に有効なものだけを選択する。このように、有効な極大点および極小点のみを選択するので、光ピックアップの偏心量の算出精度を高めることができるとともに、統計量を用いて評価基準を決定するので、計測されたデータ全体の揺らぎなどの影響を抑制でき、これによってロバスト性を高めることもできる。
<Outline of inspection method>
In the inspection method according to the present embodiment, the (simple) maximum point and (simple) minimum point included in the tracking error signal (differential push-pull signal DPP) acquired when the optical pickup 101 is traversed are extracted. Thus, using the evaluation criteria determined based on the extracted maximal points and statistic values, only the extracted maximal points and minimal points that are effective for calculating the eccentricity are selected. In this way, since only effective local maximum and local minimum points are selected, the calculation accuracy of the optical pickup eccentricity can be improved, and the evaluation criterion is determined using the statistic. The influence of fluctuation and the like can be suppressed, and thereby robustness can be enhanced.

また、本実施の形態に従う検査方法では、光記録媒体(光ディスク)の非トラック範囲に対応するマスク領域を決定する際において、トラッキング誤差信号に含まれるピッチ幅(ある極大点から次の極大点までの範囲、および、ある極小点から次の極小点までの範囲)を抽出した上、これらの抽出されたピッチ幅の統計量に基づくしきい値が決定される。そして、この決定されたしきい値を用いて、トラック範囲に相当する偏心部と、非トラック範囲に相当する折り返し部とを区別する。すなわち、トラバースすべき最外周と最内周とを特定する。このように、偏心部と折り返し部とを区別するためのしきい値を動的に決定するので、光記録媒体(光ディスク)に形成されているトラックのピッチなどの影響を受けることなく、高いロバスト性を維持しつつ、マスク領域を高い精度で決定することができる。   In the inspection method according to the present embodiment, when determining the mask area corresponding to the non-track range of the optical recording medium (optical disk), the pitch width (from one maximum point to the next maximum point) included in the tracking error signal is determined. And a range from a certain minimum point to the next minimum point), and a threshold value based on these extracted pitch width statistics is determined. Then, using the determined threshold value, an eccentric portion corresponding to the track range and a folded portion corresponding to the non-track range are distinguished. That is, the outermost circumference and the innermost circumference to be traversed are specified. As described above, since the threshold value for distinguishing the eccentric portion from the folded portion is dynamically determined, it is highly robust without being affected by the pitch of the track formed on the optical recording medium (optical disc). The mask region can be determined with high accuracy while maintaining the characteristics.

<検査装置の制御構造>
図6は、本発明の実施の形態に従う検査装置11の制御構造を示すブロック図である。図6に示す制御構造は、典型的には、プロセッサ204がプログラムを実行することで提供される。なお、図6に示す制御構造の全部もしくは一部をハードウェアによって実装し
てもよい。
<Control structure of inspection device>
FIG. 6 is a block diagram showing a control structure of inspection apparatus 11 according to the embodiment of the present invention. The control structure shown in FIG. 6 is typically provided by the processor 204 executing a program. Note that all or part of the control structure shown in FIG. 6 may be implemented by hardware.

図6を参照して、検査装置11は、光ピックアップ101から出力されるトラッキング誤差信号(差動プッシュプル信号DPP)に基づいて、光ピックアップ101の偏心量を算出する。より具体的には、検査装置11は、その制御構造として、指令生成部250と、データバッファ252と、極値抽出部254と、極値格納部256と、しきい値決定部258と、選択部260と、ノイズ除去部262と、統合処理部264と、有効データ格納部266と、マスク領域決定部268と、カウント部270と、抽出部272と、平滑化部274と、偏心量算出部276と、良否判断部278とを含む。   Referring to FIG. 6, inspection apparatus 11 calculates the amount of eccentricity of optical pickup 101 based on the tracking error signal (differential push-pull signal DPP) output from optical pickup 101. More specifically, the inspection apparatus 11 selects, as its control structure, a command generation unit 250, a data buffer 252, an extreme value extraction unit 254, an extreme value storage unit 256, and a threshold value determination unit 258. Unit 260, noise removal unit 262, integration processing unit 264, effective data storage unit 266, mask area determination unit 268, count unit 270, extraction unit 272, smoothing unit 274, and eccentricity calculation unit 276 and a pass / fail judgment unit 278.

指令生成部250は、ユーザなどからの開始指令に応答して、トラバース動作させるための制御指令を生成して、光ピックアップ101へ与える。より具体的には、指令生成部250は、スピンドルモータ112(図1)を所定速度で回転させるための制御指令を生成するとともに、アクチュエータ111でのトラッキングサーボ制御を停止した状態でフォーカスサーボ制御のみが有効とするための制御指令を生成する。   The command generation unit 250 generates a control command for causing a traverse operation in response to a start command from a user or the like, and provides the control command to the optical pickup 101. More specifically, the command generation unit 250 generates a control command for rotating the spindle motor 112 (FIG. 1) at a predetermined speed, and only performs focus servo control while the tracking servo control by the actuator 111 is stopped. Generates a control command for enabling.

データバッファ252は、光ピックアップ101をトラバース動作させた場合に得られる、差動プッシュプル信号DPPの時系列データ252aを格納する。   The data buffer 252 stores time-series data 252a of the differential push-pull signal DPP obtained when the optical pickup 101 is traversed.

すなわち、指令生成部250、誤差信号生成部221(図5)、およびデータバッファ252は、協働して、3つのビーム(メインビーム121および2つのサブビーム122,123)の照射位置を光ディスク106のトラックと交差する方向に往復させた場合(トラバースさせた場合)に得られるトラッキング誤差信号(差動プッシュプル信号DPP)の時系列データ252aを取得する。   That is, the command generation unit 250, the error signal generation unit 221 (FIG. 5), and the data buffer 252 cooperate to set the irradiation positions of the three beams (the main beam 121 and the two sub beams 122 and 123) on the optical disc 106. The time series data 252a of the tracking error signal (differential push-pull signal DPP) obtained when reciprocating in the direction intersecting the track (when traversing) is acquired.

極値抽出部254は、データバッファ252に格納される時系列データ252aに含まれる極大点および極小点を抽出する。すなわち、極値抽出部254は、時系列データ252aに示される時間的な信号強度の切換点(増加から減少への切換点および減少から増加への切換点)を特定する。より具体的には、極値抽出部254は、時系列データ252aに含まれる各点について、ある点が時間軸上で前後に位置する2つの点が有する振幅以上の振幅を有する場合に、当該点を極大点と判定し、ある点が時間軸上で前後に位置する2つの点が有する振幅以下の振幅を有する場合に、当該点を極小点と判定する。そして、極値抽出部254は、抽出した極大点および極小点の位置(時刻)と対応する振幅(信号強度)とを対応付けて、極値格納部256へ出力する。   The extreme value extraction unit 254 extracts local maximum points and local minimum points included in the time-series data 252 a stored in the data buffer 252. That is, the extremum extraction unit 254 identifies the temporal signal strength switching points (the switching point from increasing to decreasing and the switching point from decreasing to increasing) indicated in the time-series data 252a. More specifically, the extreme value extraction unit 254, for each point included in the time series data 252a, when a certain point has an amplitude greater than or equal to the amplitude of two points located on the front and back on the time axis, A point is determined to be a local maximum point, and when a certain point has an amplitude equal to or lower than the amplitude of two points positioned on the front and back on the time axis, the point is determined to be a local minimum point. Then, the extreme value extraction unit 254 associates the extracted maximum point and minimum point position (time) with the corresponding amplitude (signal intensity), and outputs the result to the extreme value storage unit 256.

極値格納部256は、極値抽出部254によって抽出された極値情報256aを格納する。この極値情報256aには、抽出した極大点および極小点の位置(時刻)を示すデータと、対応する振幅(信号強度)の大きさを示すデータとを対応付けて格納してもよいが、差動プッシュプル信号DPPの時系列データ252aを参照して、抽出された極大点または極小点の種別(後述するマーク)と対応する位置(時刻)のみを含むようにしてもよい。   The extreme value storage unit 256 stores the extreme value information 256 a extracted by the extreme value extraction unit 254. In this extreme value information 256a, data indicating the position (time) of the extracted local maximum point and local minimum point may be stored in association with data indicating the magnitude of the corresponding amplitude (signal strength). By referring to the time series data 252a of the differential push-pull signal DPP, only the position (time) corresponding to the type of extracted maximum point or minimum point (a mark to be described later) may be included.

しきい値決定部258は、極値情報256aの統計量に基づいて、偏心量を算出するために有効な極大点および極小点を選択するための評価基準を算出する。すなわち、しきい値決定部258は、評価基準を決定する手段に相当する。より具体的には、しきい値決定部258は、極値情報256aの統計量(典型的には、平均値および標準偏差)に基づいて、選択部260において使用される、しきい値(極大値しきい値UpThreshおよび極小値しきい値DownThresh)を動的に決定する。なお、しきい値決定部258は、しきい値の決定に際して、時系列データ252aの統計量も利用することが好ましい。   The threshold value determination unit 258 calculates an evaluation criterion for selecting a maximum point and a minimum point that are effective for calculating the amount of eccentricity, based on the statistic of the extreme value information 256a. That is, the threshold value determination unit 258 corresponds to means for determining an evaluation criterion. More specifically, the threshold value determination unit 258 uses the threshold value (maximum) used in the selection unit 260 based on the statistics (typically, average value and standard deviation) of the extreme value information 256a. The value threshold value UpThresh and the minimum value threshold value DownThresh) are dynamically determined. Note that the threshold value determination unit 258 preferably uses the statistical amount of the time-series data 252a when determining the threshold value.

選択部260は、しきい値決定部258によって決定された評価基準に従って、極値格納部256に格納される極値情報256aに含まれる極大点および極小点のうち、偏心量を算出するために有効な極大点および極小点を選択する。より具体的には、選択部260は、極値情報256aに含まれる極大点のうち、その値の大きさがしきい値決定部258によって決定される極大値しきい値UpThreshより大きいものを有効な極大点として選択する。同様に、選択部260は、極値情報256aに含まれる極小点のうち、その値の大きさがしきい値決定部258によって決定される極小値しきい値DownThreshより小さいものを有効な極小点として選択する。   The selection unit 260 calculates the amount of eccentricity among the maximum and minimum points included in the extreme value information 256a stored in the extreme value storage unit 256 according to the evaluation criteria determined by the threshold value determination unit 258. Select valid local maxima and minima. More specifically, the selection unit 260 determines an effective maximum value from among the maximum points included in the extreme value information 256a that has a value larger than the maximum threshold value UpThresh determined by the threshold value determination unit 258. Select as a point. Similarly, the selection unit 260 selects a minimum point included in the extreme value information 256a as an effective minimum point if its magnitude is smaller than the minimum value threshold value DownThresh determined by the threshold value determination unit 258. To do.

ノイズ除去部262は、選択部260によって選択された偏心量を算出するために有効な極大点および極小点のうち、ノイズ成分を除去する。より具体的には、ノイズ除去部262は、相対的に短い時間の間に、複数の極大点または複数の極小点が集中的に発生しているような部分を取除く。すなわち、ノイズ除去部262は、トラッキング誤差信号(差動プッシュプル信号DPP)に含まれる高周波成分によって過剰に検出されてしまった極大点および極小点を除去する。したがって、ノイズ除去部262は、一種のローパスフィルタとして機能する。   The noise removing unit 262 removes a noise component from the maximum and minimum points effective for calculating the amount of eccentricity selected by the selection unit 260. More specifically, the noise removing unit 262 removes a portion where a plurality of maximum points or a plurality of minimum points are concentrated in a relatively short time. In other words, the noise removal unit 262 removes the local maximum point and the local minimum point that are excessively detected by the high frequency component included in the tracking error signal (differential push-pull signal DPP). Therefore, the noise removal unit 262 functions as a kind of low-pass filter.

統合処理部264は、ノイズ除去部262によってノイズ成分が除去された後の、有効な極大点および有効な有効極小点のうち、実質的に同一のトラックに対応して重複して検出された極点を統合する。すなわち、統合処理部264は、時間軸上において、ある所定時間(ConnectSize)内に極大点または極小点が連続して現れている部分を1つの極大点または極小点として取扱うために、複数の極大点または極小点を単一の極大点または極小点に統合する。統合処理部264における統合処理に利用されるConnectSizeは、予めユーザなどによって設定される。   The integration processing unit 264 detects the extreme points detected corresponding to substantially the same track among the effective maximum points and the effective effective minimum points after the noise component is removed by the noise removing unit 262. To integrate. That is, the integration processing unit 264 treats a portion where a maximum point or a minimum point appears continuously within a predetermined time (ConnectSize) on a time axis as one maximum point or a minimum point. Merge points or local minimums into a single local maximum or local minimum. ConnectSize used for integration processing in the integration processing unit 264 is set in advance by a user or the like.

有効データ格納部266は、上述したような、選択部260、ノイズ除去部262、および統合処理部264における一連の処理の結果得られる有効データ群266aを格納する。   The effective data storage unit 266 stores the effective data group 266a obtained as a result of a series of processes in the selection unit 260, the noise removal unit 262, and the integration processing unit 264 as described above.

マスク領域決定部268は、有効データ群266aに基づいて、計測された差動プッシュプル信号DPPのうち、折り返し部と偏心部とを判別する。続いて、マスク領域決定部268は、偏心量の算出から折り返し部を除外するためのマスク領域を決定する。すなわち、マスク領域決定部268は、有効な極大点および有効な極小点に基づいて、差動プッシュプル信号DPPの時系列データ252aのうち光ディスク106の非トラック範囲に対応するマスク領域を決定する。そして、マスク領域決定部268は、決定したマスク領域を示す情報を抽出部272およびカウント部270へ出力する。   Based on the effective data group 266a, the mask area determination unit 268 determines a folded portion and an eccentric portion in the measured differential push-pull signal DPP. Subsequently, the mask region determination unit 268 determines a mask region for excluding the folded portion from the calculation of the amount of eccentricity. That is, the mask area determination unit 268 determines a mask area corresponding to the non-track range of the optical disc 106 in the time series data 252a of the differential push-pull signal DPP based on the effective maximum point and the effective minimum point. Then, the mask area determination unit 268 outputs information indicating the determined mask area to the extraction unit 272 and the count unit 270.

抽出部272は、有効データ群266aに含まれる有効な極大点および有効な極小点のうち、マスク領域以外の領域に存在する極大点および極小点を抽出し、抽出した(有効な)極大点および極小点を時系列にて並べて一連のデータを生成する。抽出部272は、生成した一連のデータを平滑化部274へ出力する。   The extraction unit 272 extracts and extracts (effective) local maximum points and local minimum points existing in regions other than the mask region from the effective local maximum points and effective local minimum points included in the effective data group 266a. A series of data is generated by arranging local minimum points in time series. The extraction unit 272 outputs the generated series of data to the smoothing unit 274.

平滑化部274は、抽出部272によって抽出された極大点および極小点からなる、一連のデータをフィルタリング処理する。典型的には、平滑化部274は、移動平均などの公知の方法を用いて高周波成分を取除く。なお、平滑化部274は、フィルタリング処理のパラメータとして、感度パラメータnを受付ける。   The smoothing unit 274 performs a filtering process on a series of data including the local maximum points and the local minimum points extracted by the extraction unit 272. Typically, the smoothing unit 274 removes high frequency components using a known method such as moving average. Note that the smoothing unit 274 receives the sensitivity parameter n as a parameter of the filtering process.

このように、抽出部272および平滑化部274は、マスク領域以外の領域に含まれる有効な極大点および有効な極小点に基づいて、照射位置が光ディスク106のトラックと
交差する方向へ往復することに伴うトラッキング誤差信号(差動プッシュプル信号DPP)の時間的変化特性を生成する。
As described above, the extraction unit 272 and the smoothing unit 274 reciprocate in the direction in which the irradiation position intersects the track of the optical disk 106 based on the effective maximum point and the effective minimum point included in the region other than the mask region. A temporal change characteristic of the tracking error signal (differential push-pull signal DPP) accompanying the above is generated.

カウント部270は、有効データ群266aに含まれる時系列データのうち、マスク領域以外の領域に含まれる一連のデータ(時系列データ)に基づいて、トラバース数をカウントする。すなわち、カウント部270は、マスク領域以外の領域における信号の波数を算出する。   The counting unit 270 counts the number of traverses based on a series of data (time series data) included in an area other than the mask area among the time series data included in the valid data group 266a. That is, the count unit 270 calculates the wave number of the signal in an area other than the mask area.

偏心量算出部276は、平滑化部274によってフィルタリング処理された後の時間的変化特性(時系列データ)に基づいて、光ピックアップ101の偏心量を算出する。より具体的には、偏心量算出部276は、フィルタリング処理された後の時間的変化特性に含まれる最大振幅および最小振幅を抽出し、抽出した振幅の比を偏心量として算出する。   The eccentricity amount calculation unit 276 calculates the eccentricity amount of the optical pickup 101 based on the temporal change characteristic (time-series data) after being filtered by the smoothing unit 274. More specifically, the eccentric amount calculation unit 276 extracts the maximum amplitude and the minimum amplitude included in the temporal change characteristic after the filtering process, and calculates the ratio of the extracted amplitudes as the eccentric amount.

良否判断部278は、偏心量算出部276によって算出された偏心量を予め設定されたしきい値と比較して、対象のピックアップについての良否判断結果を出力する。典型的には、良否判断部278は、算出された偏心量が当該しきい値を超えるような場合には、対象の光ピックアップ101が不良品であると判断し、そうでなければ、対象の光ピックアップ101が良品であると判断する。   The quality determination unit 278 compares the eccentricity calculated by the eccentricity calculation unit 276 with a preset threshold value, and outputs a quality determination result for the target pickup. Typically, the quality determination unit 278 determines that the target optical pickup 101 is a defective product when the calculated amount of eccentricity exceeds the threshold value, and if not, It is determined that the optical pickup 101 is a good product.

<全体処理手順>
次に、本実施の形態に従う検査方法の全体処理手順について説明する。
<Overall procedure>
Next, an overall processing procedure of the inspection method according to the present embodiment will be described.

図7は、本発明の実施の形態に従う検査方法の全体処理手順を示すフローチャートである。図7に示す各ステップは、基本的には、プロセッサ204(図5)によって実行される。   FIG. 7 is a flowchart showing an overall processing procedure of the inspection method according to the embodiment of the present invention. Each step shown in FIG. 7 is basically executed by the processor 204 (FIG. 5).

図7を参照して、ユーザなどからの開始指令を受けると、プロセッサ204は、光ディスク106を所定速度で回転させるように、スピンドルモータ112に制御指令を与える(ステップS2)。続いて、プロセッサ204は、トラッキングサーボ制御を停止した状態でフォーカスサーボ制御のみが有効となるように、アクチュエータ111に制御指令を与える(ステップS4)とともに、誤差信号生成部221から出力される、トラッキング誤差信号である差動プッシュプル信号DPPのデータを時系列に格納する(ステップS6)。   Referring to FIG. 7, upon receiving a start command from a user or the like, processor 204 gives a control command to spindle motor 112 to rotate optical disk 106 at a predetermined speed (step S2). Subsequently, the processor 204 gives a control command to the actuator 111 so that only the focus servo control is valid in a state where the tracking servo control is stopped (step S4), and is output from the error signal generation unit 221. Data of the differential push-pull signal DPP, which is an error signal, is stored in time series (step S6).

そして、プロセッサ204は、光ピックアップ101による規定回数のトラバース動作が完了したか否かを判断する(ステップS8)。光ピックアップ101による所定のトラバース動作が完了していなければ(ステップS8においてNO)、ステップS4およびS6の処理が繰返される。   Then, the processor 204 determines whether or not the specified number of traverse operations by the optical pickup 101 have been completed (step S8). If the predetermined traverse operation by optical pickup 101 is not completed (NO in step S8), the processes in steps S4 and S6 are repeated.

光ピックアップ101による所定のトラバース動作が完了すれば(ステップS8においてYES)、プロセッサ204は、差動プッシュプル信号DPPの時系列データに基づいて、その中に含まれる極大点および極小点を抽出する(ステップS10)。   If the predetermined traverse operation by optical pickup 101 is completed (YES in step S8), processor 204 extracts the maximum point and the minimum point included therein based on the time series data of differential push-pull signal DPP. (Step S10).

その後、プロセッサ204は、入力データ処理サブルーチンを実行し、ステップS10において抽出した極大点および極小点のうち、偏心量を算出するために有効な極大点および極小点を選択する(ステップS12)。   Thereafter, the processor 204 executes an input data processing subroutine, and selects a local maximum point and a local minimum point that are effective for calculating the amount of eccentricity from the local maximum point and local minimum point extracted in step S10 (step S12).

続いて、プロセッサ204は、ノイズ除去サブルーチンを実行し、ステップS12において選択した有効な極大点および有効な極小点のうち、ノイズ成分を除去する(ステップS14)。   Subsequently, the processor 204 executes a noise removal subroutine, and removes a noise component from the effective maximum point and the effective minimum point selected in Step S12 (Step S14).

続いて、プロセッサ204は、統合処理サブルーチンを実行し、連続する複数の極大点または極小点を単一の極大点または極小点に統合する(ステップS16)。このステップS16の処理後に生成される極大点および極小点は、有効データ群266a(図6)として格納される。   Subsequently, the processor 204 executes an integration processing subroutine, and integrates a plurality of continuous local maximum points or local minimum points into a single local maximum point or local minimum point (step S16). The local maximum points and local minimum points generated after the processing of step S16 are stored as a valid data group 266a (FIG. 6).

続いて、プロセッサ204は、マスク領域決定サブルーチンを実行し、計測された差動プッシュプル信号DPPの時系列データに含まれる折り返し部と偏心部とを判別する(ステップS18)。すなわち、プロセッサ204は、差動プッシュプル信号DPPのうち偏心量の算出対象から除外するためのマスク領域を決定する。   Subsequently, the processor 204 executes a mask area determination subroutine to determine a folded portion and an eccentric portion included in the time series data of the measured differential push-pull signal DPP (step S18). That is, the processor 204 determines a mask area to be excluded from the eccentricity calculation target in the differential push-pull signal DPP.

続いて、プロセッサ204は、有効データ群266aに含まれる時系列データのうち、ステップS18において決定されたマスク領域以外の領域に含まれる時系列データに基づいて、トラバース数をカウントする(ステップS20)。   Subsequently, the processor 204 counts the number of traverses based on the time-series data included in the area other than the mask area determined in step S18 among the time-series data included in the valid data group 266a (step S20). .

続いて、プロセッサ204は、有効データ群266aに含まれる時系列データのうち、ステップS18において決定されたマスク領域以外の領域に含まれる有効な極大点および有効な極小点を抽出する(ステップS22)。そして、プロセッサ204は、平滑化処理サブルーチンを実行し、ステップS22において抽出した極大点および極小点によって定義される時間的変化特性をフィルタリング処理する(ステップS24)。   Subsequently, the processor 204 extracts an effective maximum point and an effective minimum point included in an area other than the mask area determined in step S18 from the time series data included in the effective data group 266a (step S22). . Then, the processor 204 executes a smoothing processing subroutine, and performs a filtering process on the temporal change characteristic defined by the maximum point and the minimum point extracted in step S22 (step S24).

続いて、プロセッサ204は、ステップS24においてフィルタリング処理後の時系列データに含まれる、最大振幅および最小振幅を抽出し、抽出した振幅の比を偏心量として算出する(ステップS26)。そして、プロセッサ204は、ステップS26において算出した偏心量と予め設定されたしきい値とを比較して、対象のピックアップの良否を判断する(ステップS28)。   Subsequently, the processor 204 extracts the maximum amplitude and the minimum amplitude included in the time-series data after the filtering process in step S24, and calculates the ratio of the extracted amplitudes as an eccentric amount (step S26). Then, the processor 204 compares the amount of eccentricity calculated in step S26 with a preset threshold value to determine whether the target pickup is good or bad (step S28).

最終的に、プロセッサ204は、ステップS26において算出された偏心量および/またはステップS28において判断された良否判断結果をディスプレイ207などに表示する(ステップS30)。   Finally, the processor 204 displays the eccentricity calculated in step S26 and / or the quality determination result determined in step S28 on the display 207 or the like (step S30).

<入力データ処理サブルーチン>
次に、図7のフローチャートのステップS12において実行される入力データ処理サブルーチンの処理内容について説明する。
<Input data processing subroutine>
Next, processing contents of the input data processing subroutine executed in step S12 of the flowchart of FIG. 7 will be described.

図8は、図7のステップS12に示す入力データ処理サブルーチンの処理手順を示すフローチャートである。   FIG. 8 is a flowchart showing the processing procedure of the input data processing subroutine shown in step S12 of FIG.

図8を参照して、プロセッサ204は、計測された差動プッシュプル信号DPPの時系列データ全体についての平均値(振幅の平均値)mを算出する(ステップS100)。続いて、プロセッサ204は、図7に示すステップS10において抽出された複数の極大点を平均値mで補正する(ステップS102)。   Referring to FIG. 8, processor 204 calculates an average value (average amplitude value) m for the entire time-series data of the measured differential push-pull signal DPP (step S100). Subsequently, the processor 204 corrects the plurality of maximum points extracted in step S10 shown in FIG. 7 with the average value m (step S102).

すなわち、平均値mは、トラッキング誤差である差動プッシュプル信号DPPに含まれるオフセット分を示す。そのため、計測された生の差動プッシュプル信号DPPの時系列データは、この平均値mを用いてオフセット分が補正される。より具体的には、プロセッサ204は、抽出された複数の極大点の振幅から平均値mを減じて、極大点の振幅(補正後)を算出する。   That is, the average value m represents an offset included in the differential push-pull signal DPP that is a tracking error. Therefore, the offset of the measured time-series data of the raw differential push-pull signal DPP is corrected using this average value m. More specifically, the processor 204 subtracts the average value m from the amplitudes of the extracted local maximum points to calculate the local maximum amplitude (after correction).

このようなオフセット分を補正する処理を含ませることで、光ディスク106および/
または光ピックアップ101における何らかの原因によってオフセットが生じた場合であっても、正確に偏心量を算出することができる。
By including such processing for correcting the offset, the optical disc 106 and / or
Alternatively, even when an offset occurs due to some cause in the optical pickup 101, the amount of eccentricity can be accurately calculated.

続いて、プロセッサ204は、極大点の振幅(補正後)についての統計量を算出する(ステップS104)。より具体的には、プロセッサ204は、極大点の振幅(補正後)についての平均値mUおよび標準偏差σUを算出する。   Subsequently, the processor 204 calculates a statistic about the amplitude (after correction) of the maximum point (step S104). More specifically, the processor 204 calculates the average value mU and the standard deviation σU for the amplitude (after correction) of the maximum point.

同様に、プロセッサ204は、図7に示すステップS10において抽出された複数の極小点を平均値mで補正する(ステップS106)。すなわち、プロセッサ204は、抽出された複数の極小点の振幅から平均値mを減じて、極小点の振幅(補正後)を算出する。さらに、プロセッサ204は、極小点の振幅(補正後)についての統計量を算出する(ステップS108)。より具体的には、プロセッサ204は、極小点の振幅(補正後)についての平均値mDおよび標準偏差σDを算出する。   Similarly, the processor 204 corrects the plurality of minimum points extracted in step S10 shown in FIG. 7 with the average value m (step S106). That is, the processor 204 subtracts the average value m from the amplitudes of the extracted minimum points, and calculates the amplitude (after correction) of the minimum points. Further, the processor 204 calculates a statistic about the amplitude (after correction) of the minimum point (step S108). More specifically, the processor 204 calculates an average value mD and standard deviation σD for the amplitude (after correction) of the local minimum point.

その後、プロセッサ204は、極大値しきい値UpThreshおよび極小値しきい値DownThreshを決定する(ステップS110)。より具体的には、プロセッサ204は、以下のような数式に従って、極大値しきい値UpThreshおよび極小値しきい値DownThreshを算出する。   After that, the processor 204 determines a maximum value threshold value UpThresh and a minimum value threshold value DownThresh (step S110). More specifically, the processor 204 calculates the maximum value threshold value UpThresh and the minimum value threshold value DownThresh according to the following mathematical formula.

極大値しきい値UpThresh=平均値m+平均値mU−レシピ値k×標準偏差σU ・・・(4)
極小値しきい値DownThresh=平均値m−平均値mD+レシピ値k×標準偏差σD ・・・(5)
ここで、レシピ値kは、極大値しきい値UpThreshおよび極小値しきい値DownThreshを平均値からどの程度ずれた範囲まで含めるかを示すパラメータであり、光ピックアップ101および光ピックアップ101を組み込んだシステム全体を考慮して決定される。たとえば、レシピ値kとして、「2」(すなわち、平均値−2σ)が設定される。
Maximum threshold value UpThresh = average value m + average value mU−recipe value k × standard deviation σU (4)
Minimal value threshold DownThresh = average value m−average value mD + recipe value k × standard deviation σD (5)
Here, the recipe value k is a parameter indicating to what extent the maximum threshold value UpThresh and the minimum value threshold DownDown are included from the average value, and is a system incorporating the optical pickup 101 and the optical pickup 101. Determined by considering the whole. For example, “2” (that is, average value−2σ) is set as the recipe value k.

このように、プロセッサ204は、極大点の振幅の平均値および標準偏差に基づいて、極大値しきい値UpThreshを決定するとともに、極小点の振幅の平均値および標準偏差に基づいて、極小値しきい値DownThreshを決定する。   In this way, the processor 204 determines the maximum threshold value UpThresh based on the average value and standard deviation of the amplitudes of the maximum points, and determines the minimum value based on the average value and standard deviation of the amplitudes of the minimum points. The threshold value DownThresh is determined.

続いて、プロセッサ204は、ステップS10において抽出された極大点のうち、その振幅が極大値しきい値UpThreshより大きいものを、偏心量を算出するために有効な極大点として選択する(ステップS112)。同様に、プロセッサ204は、ステップS10において抽出された極小点のうち、その振幅が極小値しきい値DownThreshより小さいものを、偏心量を算出するために有効な極小点として選択する(ステップS114)。さらに、プロセッサ204は、偏心量を算出するために有効な点として選択した極大点および極小点を極値情報256aとして出力する(ステップS116)。そして、処理はメインルーチンに戻る。   Subsequently, the processor 204 selects, from among the maximum points extracted in step S10, those having an amplitude larger than the maximum value threshold value UpThresh as effective maximum points for calculating the amount of eccentricity (step S112). . Similarly, the processor 204 selects a minimum point extracted in step S10 as an effective minimum point for calculating the amount of eccentricity (step S114). The minimum point is smaller in amplitude than the minimum threshold value DownThresh. . Furthermore, the processor 204 outputs the maximum point and the minimum point selected as effective points for calculating the amount of eccentricity as the extreme value information 256a (step S116). Then, the process returns to the main routine.

図9は、図7のステップS12に示す入力データ処理サブルーチンの処理結果の一例を示す図である。図9には、図7のステップS10に示す極大点および極小点の抽出処理によって抽出された極大点の度数分布の一例を示す。すなわち、図9の横軸は極大点の振幅を示し、縦軸は度数を示す。   FIG. 9 is a diagram showing an example of the processing result of the input data processing subroutine shown in step S12 of FIG. FIG. 9 shows an example of the frequency distribution of the maximum points extracted by the local maximum and minimum point extraction processing shown in step S10 of FIG. That is, the horizontal axis of FIG. 9 indicates the amplitude of the maximum point, and the vertical axis indicates the frequency.

これらの抽出された極大点についての統計量に基づいて、図9に示すような大きさの極大値しきい値UpThreshが決定されたとする。すると、極大値しきい値UpThreshより大きな振幅を有する極大点については、有効な極大点として選択される。一方
、極大値しきい値UpThreshより小さな振幅を有する極大点については、無効な極大点と判断される。すなわち、図9に示す極大値しきい値UpThreshより右側に位置する極大点のみが、有効な極大点として選択される。
It is assumed that a maximum value threshold value UpThresh having a size as shown in FIG. 9 is determined based on the statistics about these extracted maximum points. Then, a local maximum point having an amplitude larger than the local maximum threshold value UpThresh is selected as an effective local maximum point. On the other hand, a local maximum point having an amplitude smaller than the local maximum threshold value UpThresh is determined as an invalid local maximum point. That is, only the local maximum point located on the right side of the local maximum threshold value UpThresh shown in FIG. 9 is selected as an effective local maximum point.

なお、図示はしないが、極小点についても同様の処理に従って、有効な極小点が選択される。   Although not shown, an effective local minimum point is selected for the local minimum point according to the same process.

このように、極大点および極小点の統計量に基づいて評価基準を動的に決定し、この動的に決定した評価基準に従って、有効な極大点および有効な極小点が選択される。そのため、様々な外乱の影響(典型的な突発的なノイズ成分の影響)を受けた場合であっても、有効な極大点および有効な極小点を高いロバスト性を維持しつつ選択できる。   As described above, the evaluation criterion is dynamically determined based on the statistics of the maximum point and the minimum point, and the effective maximum point and the effective minimum point are selected according to the dynamically determined evaluation criterion. Therefore, even when affected by various disturbances (effects of typical sudden noise components), it is possible to select an effective maximum point and an effective minimum point while maintaining high robustness.

<ノイズ除去サブルーチン>
次に、図7のフローチャートのステップS14において実行されるノイズ除去サブルーチンの処理内容について説明する。このノイズ除去サブルーチンでは、光ディスク106上に存在する異物の影響、光検出部110自体が発生するノイズ、外乱などに起因するノイズ成分を除去する。すなわち、トラッキング誤差信号(差動プッシュプル信号DPP)の真の値以外の信号をノイズ成分とする。
<Noise elimination subroutine>
Next, the processing content of the noise removal subroutine executed in step S14 in the flowchart of FIG. 7 will be described. In this noise removal subroutine, noise components due to the influence of foreign matter existing on the optical disc 106, noise generated by the light detection unit 110 itself, disturbance, and the like are removed. That is, a signal other than the true value of the tracking error signal (differential push-pull signal DPP) is used as a noise component.

図10は、図7のステップS14に示すノイズ除去サブルーチンの処理手順を示すフローチャートである。図11は、図7のステップS14に示すノイズ除去サブルーチンにおいてノイズとして判定されるパターンの一例を示す図である。   FIG. 10 is a flowchart showing the processing procedure of the noise removal subroutine shown in step S14 of FIG. FIG. 11 is a diagram showing an example of a pattern determined as noise in the noise removal subroutine shown in step S14 of FIG.

図10を参照して、プロセッサ204は、取得された差動プッシュプル信号DPPの時系列データに対して、1番目のデータを含む範囲に処理対象範囲を設定する(ステップS200)。この処理対象範囲は、時系列データに対して設定される一種の処理ウィンドウに相当し、連続する所定数のデータを含む。   Referring to FIG. 10, processor 204 sets a processing target range in a range including the first data with respect to the time-series data of the acquired differential push-pull signal DPP (step S <b> 200). This processing target range corresponds to a kind of processing window set for time-series data, and includes a predetermined number of continuous data.

続いて、プロセッサ204は、設定されている処理対象範囲に含まれる所定数のデータに、有効な極大点または極小点が所定のパターンで現れているか否かを判断する(ステップS202)。   Subsequently, the processor 204 determines whether or not an effective maximum point or minimum point appears in a predetermined pattern in a predetermined number of data included in the set processing target range (step S202).

設定されている処理対象範囲に含まれる所定数のデータに、有効な極大点または極小点が所定のパターンで現れていなければ(ステップS202においてNO)、処理はステップS206へ進む。   If an effective maximum or minimum point does not appear in a predetermined pattern in a predetermined number of data included in the set processing target range (NO in step S202), the process proceeds to step S206.

これに対して、設定されている処理対象範囲に含まれる所定数のデータに、有効な極大点または極小点が所定のパターンで現れていれば(ステップS202においてYES)、プロセッサ204は、不必要な極大点または極小点を削除する(ステップS204)。   On the other hand, if a valid maximum or minimum point appears in a predetermined pattern in a predetermined number of data included in the set processing target range (YES in step S202), the processor 204 is unnecessary. A local maximum or minimum point is deleted (step S204).

より具体的には、プロセッサ204は、設定されている処理対象範囲に含まれるデータに、(a1)「極大点」→「非極大点かつ非極小点」→「極大点」→「非極大点かつ非極小点」、(a2)「極大点」→「非極大点かつ非極小点」→「極大点」、(a3)「極大点」→「極大点」、(a4)「極大点」→「非極大点かつ非極小点」→「非極大点かつ非極小点」→「極大点」、のいずれかのパターンが現れている場合には、当該処理対象範囲に含まれる有効な極大点のうち、その振幅がより大きい極大点を残して、他の極大点を削除(無効化)する。   More specifically, the processor 204 adds (a1) “maximum point” → “non-maximum point and non-minimum point” → “maximum point” → “non-maximum point” to the data included in the set processing target range. And (a2) “maximum point” → “non-maximum point and non-minimum point” → “maximum point”, (a3) “maximum point” → “maximum point”, (a4) “maximum point” → If any pattern of “Non-maximal point and non-minimum point” → “Non-maximum point and non-minimum point” → “Maximum point” appears, the effective maximum point included in the processing target range Among them, the other local maximum points are deleted (invalidated) while leaving the local maximum points having larger amplitudes.

同様に、プロセッサ204は、設定されている処理対象範囲に含まれるデータに、(b1)「極小点」→「非極大点かつ非極小点」→「極小点」→「非極大点かつ非極小点」、
(b2)「極小点」→「非極大点かつ非極小点」→「極小点」、(b3)「極小点」→「極小点」、(b4)「極小点」→「非極大点かつ非極小点」→「非極大点かつ非極小点」→「極小点」、のいずれかのパターンが現れている場合には、当該処理対象範囲に含まれる有効な極小点のうち、その振幅がより小さい極小点を残して、他の極小点を削除(無効化)する。
Similarly, the processor 204 adds (b1) “minimum point” → “non-maximum point and non-minimum point” → “minimum point” → “non-maximum point and non-minimum” to the data included in the set processing target range. point",
(B2) “Minimum point” → “Non-maximal point and non-minimum point” → “Minimum point”, (b3) “Minimum point” → “Minimum point”, (b4) “Minimum point” → “Non-maximum point and non- If any pattern of “Minimum point” → “Non-maximal point and non-minimum point” → “Minimum point” appears, the amplitude of the effective minimum points included in the processing target range is more Delete (invalidate) other local minimum points, leaving small local points.

言い換えれば、図11(A)〜図11(D)に示すように、各トラックを横切ることにより生じる差動プッシュプル信号DPPの振幅の変化より高周波成分のノイズが除去される。なお、図11(A)〜図11(D)に記載されている、「○」は極大点(もしくは、極小点)を示し、「■」は極大点および極小点ではない点を示す。   In other words, as shown in FIGS. 11A to 11D, high-frequency component noise is removed from changes in the amplitude of the differential push-pull signal DPP caused by crossing each track. In FIG. 11A to FIG. 11D, “◯” indicates a maximum point (or minimum point), and “■” indicates a point that is not a maximum point or a minimum point.

より具体的には、図11(A)には、差動プッシュプル信号DPPに、(a1)「極大点」→「非極大点かつ非極小点」→「極大点」→「非極大点かつ非極小点」のパターンが現れている例を示す。この図11(A)に示す例では、差動プッシュプル信号DPPの本来のピーク付近で振幅の落ち込みが発生しており、その結果、時間的に近接した範囲に、2つの非極大点402を挟んで3つの極大点400が生じている。   More specifically, in FIG. 11A, the differential push-pull signal DPP includes (a1) “maximum point” → “non-maximum point and non-minimum point” → “maximum point” → “non-maximum point and An example in which a pattern of “non-minimal points” appears is shown. In the example shown in FIG. 11A, a drop in amplitude occurs in the vicinity of the original peak of the differential push-pull signal DPP. As a result, two non-maximal points 402 are located in a temporally close range. Three local maximum points 400 occur between the two.

また、図11(B)には、差動プッシュプル信号DPPに、(a2)「極大点」→「非極大点かつ非極小点」→「極大点」のパターンが現れている例を示す。この図11(B)に示す例では、差動プッシュプル信号DPPの本来のピーク付近で振幅の落ち込みが発生しており、その結果、時間的に近接した範囲に、1つの非極大点402を挟んで2つの極大点400が生じている。   FIG. 11B shows an example in which a pattern of (a2) “maximum point” → “non-maximum point and non-minimum point” → “maximum point” appears in the differential push-pull signal DPP. In the example shown in FIG. 11B, a drop in amplitude occurs in the vicinity of the original peak of the differential push-pull signal DPP, and as a result, one non-maximal point 402 is located in a temporally close range. Two local maximum points 400 occur between the two.

また、図11(C)には、差動プッシュプル信号DPPに、(a3)「極大点」→「極大点」のパターンが現れている例を示す。この図11(C)に示す例では、差動プッシュプル信号DPPの本来のピーク付近の振幅変化が緩やかであり、その結果、時間的に近接した範囲に、2つの極大点400が検出されている。   FIG. 11C shows an example in which a pattern of (a3) “maximum point” → “maximum point” appears in the differential push-pull signal DPP. In the example shown in FIG. 11C, the amplitude change in the vicinity of the original peak of the differential push-pull signal DPP is gentle. As a result, two local maximum points 400 are detected in a temporally close range. Yes.

また、図11(D)には、差動プッシュプル信号DPPに、(a4)「極大点」→「非極大点かつ非極小点」→「非極大点かつ非極小点」→「極大点」のパターンが現れている例を示す。この図11(D)に示す例では、差動プッシュプル信号DPPの本来のピーク付近で振幅の落ち込みが発生しており、その結果、時間的に近接した範囲に、2つの非極大点402を挟んで2つの極大点400が生じている。   FIG. 11D shows the differential push-pull signal DPP. (A4) “maximum point” → “non-maximum point and non-minimum point” → “non-maximum point and non-minimum point” → “maximum point” An example in which the pattern appears. In the example shown in FIG. 11D, a drop in amplitude occurs in the vicinity of the original peak of the differential push-pull signal DPP. As a result, two non-maximal points 402 are located in a temporally close range. Two local maximum points 400 occur between the two.

上述した、本実施の形態に従うノイズ除去サブルーチン処理においては、上述のようなノイズ成分を除去する。なお、図11(A)〜図11(D)に示すパターン以外にも、ノイズ成分特有の発生パターンを条件として採用することができる。   In the noise removal subroutine processing according to the present embodiment described above, the noise components as described above are removed. In addition to the patterns shown in FIGS. 11A to 11D, a generation pattern peculiar to a noise component can be used as a condition.

再度図10を参照して、プロセッサ204は、取得された差動プッシュプル信号DPPの時系列データのすべてに対して処理対象範囲が設定されたか否かを判断する(ステップS206)。すなわち、プロセッサ204は、差動プッシュプル信号DPPの時系列データのすべてにおいて、所定パターンの出現の有無が判断されたか否かを判断する。   Referring to FIG. 10 again, the processor 204 determines whether or not a processing target range has been set for all of the acquired time-series data of the differential push-pull signal DPP (step S206). That is, the processor 204 determines whether or not the occurrence of a predetermined pattern is determined in all the time series data of the differential push-pull signal DPP.

取得された差動プッシュプル信号DPPの時系列データのうち、処理対象範囲が設定されていない部分が残っていれば(ステップS206においてNO)、プロセッサ204は、現在の処理対象範囲を1データ分だけシフトさせて、新たな処理対象範囲を設定する(ステップS208)。そして、ステップS202以下の処理が繰返される。   If there is a portion in the time series data of the acquired differential push-pull signal DPP where the processing target range is not set (NO in step S206), the processor 204 sets the current processing target range for one data. And a new processing target range is set (step S208). And the process after step S202 is repeated.

取得された差動プッシュプル信号DPPの時系列データのすべてに対して処理対象範囲が設定済であれば(ステップS206においてYES)、処理はメインルーチンにリター
ンする。
If the processing target range has been set for all the time series data of the acquired differential push-pull signal DPP (YES in step S206), the process returns to the main routine.

上述のように、プロセッサ204は、入力データ処理サブルーチンの実行の結果得られた有効な極大点および有効な極小点のうち、所定のパターンで現れている、複数の有効な極大点および複数の有効な極小点を抽出し、さらに、これらの所定のパターンで現れている複数の有効な極大点の一部を除外するとともに、当該所定のパターンで現れている複数の有効な極小点の一部を除去する。   As described above, the processor 204 has a plurality of effective maximum points and a plurality of effective maximum points and effective minimum points that are obtained as a result of the execution of the input data processing subroutine and appear in a predetermined pattern. And extracting a part of a plurality of effective local minimum points appearing in the predetermined pattern, and removing a part of the plurality of effective local minimum points appearing in the predetermined pattern. Remove.

<統合処理サブルーチン>
次に、図7のフローチャートのステップS16において実行される統合処理サブルーチンの処理内容について説明する。この統合処理サブルーチンでは、光ディスク106の実質的に同一のトラックに対応して重複して検出された極大点および極小点を統合する。
<Integration processing subroutine>
Next, processing contents of the integration processing subroutine executed in step S16 in the flowchart of FIG. 7 will be described. In this integration processing subroutine, local maximum points and local minimum points detected correspondingly to substantially the same track of the optical disk 106 are integrated.

図12は、図7のステップS16に示す統合処理サブルーチンの処理手順を示すフローチャートである。図13は、図7のステップS16に示す統合処理サブルーチンにおいて統合される極大点の一例を示す図である。   FIG. 12 is a flowchart showing the processing procedure of the integration processing subroutine shown in step S16 of FIG. FIG. 13 is a diagram showing an example of local maximum points integrated in the integration processing subroutine shown in step S16 of FIG.

図12を参照して、プロセッサ204は、上述のノイズ除去サブルーチンの実行後に出力された有効な極大点のうち、時間軸上で1番目に存在する極大点を対象として選択する(ステップS300)。続いて、プロセッサ204は、対象として選択されている極大点の位置を中心として、時間軸上で所定時間(ConnectSize)の前後範囲に他の極大点が存在するか否かを判断する(ステップS302)。   Referring to FIG. 12, processor 204 selects a local maximum point that exists first on the time axis from among the effective local maximum points output after execution of the above-described noise removal subroutine (step S300). Subsequently, the processor 204 determines whether or not there is another local maximum point in the range before and after a predetermined time (ConnectSize) on the time axis with the position of the local maximum point selected as the target at the center (step S302). ).

対象として選択されている極大点の位置を中心として、時間軸上で所定時間の前後範囲に他の極大点が存在しなければ(ステップS302においてNO)、処理はステップS306へ進む。   If there is no other maximum point in the range around the predetermined time on the time axis with the position of the maximum point selected as the target as the center (NO in step S302), the process proceeds to step S306.

対象として選択されている極大点の位置を中心として、時間軸上で所定時間の前後範囲に他の極大点が存在すれば(ステップS302においてYES)、それらの極大点のうち、その振幅が最も大きい極大点を残して、他の極大点を削除(無効化)する(ステップS304)。   If there is another local maximum point in the range around the predetermined time on the time axis centering on the position of the local maximum point selected as the target (YES in step S302), the amplitude of the local maximum points is the largest. The other local maximum points are deleted (invalidated) while leaving the large local maximum points (step S304).

続いて、プロセッサ204は、上述のノイズ除去サブルーチンの実行後に出力された有効な極大点のすべてが対象として選択されたか否かを判断する(ステップS306)。すなわち、プロセッサ204は、すべての極大点に対して、統合処理が実行されたか否かを判断する。   Subsequently, the processor 204 determines whether or not all of the valid local maximum points output after the execution of the above-described noise removal subroutine have been selected (step S306). That is, the processor 204 determines whether or not the integration process has been executed for all local maximum points.

上述のノイズ除去サブルーチンの実行後に出力された有効な極大点のうち、対象として選択されていないものが残っていれば(ステップS306においてNO)、プロセッサ204は、現在対象として選択されている有効な極大点の次に位置する極大点を、新たな対象として選択する(ステップS308)。そして、ステップS302以下の処理が繰返される。   If there is a valid maximum point output after execution of the above-described noise removal subroutine that has not been selected as a target (NO in step S306), the processor 204 determines that the valid target currently selected as the target is valid. The local maximum point located next to the local maximum point is selected as a new target (step S308). And the process after step S302 is repeated.

上述のノイズ除去サブルーチンの実行後に出力された有効な極大点のすべてが対象として選択されていれば(ステップS306においてYES)、上述のノイズ除去サブルーチンの実行後に出力された有効な極小点のうち、時間軸上で1番目に存在する極小点を対象として選択する(ステップS310)。続いて、プロセッサ204は、対象として選択されている極小点の位置を中心として、時間軸上で所定時間(ConnectSize)の前後範囲に他の極小点が存在するか否かを判断する(ステップS312)。   If all of the effective maximum points output after execution of the above-described noise removal subroutine are selected as targets (YES in step S306), among the effective minimum points output after execution of the above-described noise removal subroutine, The minimal point that exists first on the time axis is selected as a target (step S310). Subsequently, the processor 204 determines whether or not there is another local minimum point in the range before and after a predetermined time (ConnectSize) on the time axis with the position of the local minimum point selected as the target at the center (step S312). ).

対象として選択されている極小点の位置を中心として、時間軸上で所定時間の前後範囲に他の極小点が存在しなければ(ステップS312においてNO)、処理はステップS316へ進む。   If there is no other minimum point in the range before and after the predetermined time on the time axis centering on the position of the minimum point selected as the target (NO in step S312), the process proceeds to step S316.

対象として選択されている極小点の位置を中心として、時間軸上で所定時間の前後範囲に他の極小点が存在すれば(ステップS312においてYES)、それらの極小点のうち、その振幅が最も小さい極小点を残して、他の極小点を削除(無効化)する(ステップS314)。   If there is another local minimum point in the range around the predetermined time on the time axis centering on the position of the local minimum point selected as the target (YES in step S312), the amplitude of the local minimum points is the largest. Other minimum points are deleted (invalidated) while leaving a small minimum point (step S314).

たとえば、図13に示すように、差動プッシュプル信号DPP上に対して、有効な極大点411,412,413が抽出および選択されているとする。なお、時間軸上では、極大点412、極大点412、極大点413の順に存在しているとする。このとき、極大点412は、極大点412から時間軸上でConnectSize分だけ前方の範囲内に位置し、かつ、極大点413は、極大点412から時間軸上でConnectSize分だけ後方の範囲内に位置しているとする。   For example, as shown in FIG. 13, it is assumed that effective maximum points 411, 412 and 413 are extracted and selected on the differential push-pull signal DPP. It is assumed that the local maximum point 412, the local maximum point 412, and the local maximum point 413 exist in this order on the time axis. At this time, the local maximum point 412 is located in the range ahead of the local maximum point 412 by ConnectSize on the time axis, and the local maximum point 413 is within the range backward from the local maximum point 412 by the amount of ConnectSize on the time axis. Suppose it is located.

そして、極大点411、極大点412、極大点413のうち、極大点412の振幅が最大であるとすると、極大点412および極大点413は削除(無効化)される。その結果、3つの有効な極大点411,412,413は、最も振幅の大きな単一の極大点411に統合される。   If the amplitude of the maximum point 412 is the maximum among the maximum point 411, the maximum point 412, and the maximum point 413, the maximum point 412 and the maximum point 413 are deleted (invalidated). As a result, the three effective maximum points 411, 412 and 413 are integrated into a single maximum point 411 having the largest amplitude.

なお、極小点についても、図12と同様の処理によって統合される。
再度図12を参照して、プロセッサ204は、上述のノイズ除去サブルーチンの実行後に出力された有効な極小点のすべてが対象として選択されたか否かを判断する(ステップS316)。すなわち、プロセッサ204は、すべての極小点に対して、統合処理が実行されたか否かを判断する。
Note that the minimum points are also integrated by the same processing as in FIG.
Referring to FIG. 12 again, the processor 204 determines whether or not all the valid local minimum points output after the execution of the above-described noise removal subroutine have been selected (step S316). That is, the processor 204 determines whether or not the integration process has been executed for all the minimum points.

上述のノイズ除去サブルーチンの実行後に出力された有効な極小点のうち、対象として選択されていないものが残っていれば(ステップS316においてNO)、プロセッサ204は、現在対象として選択されている有効な極小点の次に位置する極大点を、新たな対象として選択する(ステップS318)。そして、ステップS312以下の処理が繰返される。   If valid minimum points output after execution of the above-described noise removal subroutine remain unselected as targets (NO in step S316), the processor 204 determines that the valid target currently selected as a target is valid. The maximum point located next to the minimum point is selected as a new target (step S318). And the process after step S312 is repeated.

上述のノイズ除去サブルーチンの実行後に出力された有効な極小点のすべてが対象として選択されていれば(ステップS316においてYES)、処理はメインルーチンにリターンする。   If all of the effective local minimum points output after execution of the above-described noise removal subroutine have been selected (YES in step S316), the process returns to the main routine.

上述のように、プロセッサ204は、時間軸上の所定期間(ConnectSize)内に複数存在する有効な極大点または有効な極小点を抽出し、抽出された複数の有効な極大点を実質的に単一の有効な極大点に統合するとともに、抽出された複数の有効な極小点を実質的に単一の有効な極小点に統合する。   As described above, the processor 204 extracts a plurality of effective local maximum points or effective local minimum points existing within a predetermined period (ConnectSize) on the time axis, and substantially extracts the extracted plurality of effective local maximum points. A single effective maxima is integrated into one effective maxima, and a plurality of effective minima extracted are substantially integrated into a single effective minima.

<マスク領域決定サブルーチン>
次に、図7のフローチャートのステップS18において実行されるマスク領域決定サブルーチンの処理内容について説明する。このマスク領域決定サブルーチンでは、先に実行されたノイズ除去サブルーチンおよび統合処理サブルーチンの実行により得られた有効な極大点および有効な極小点に基づいて、トラッキング誤差信号(差動プッシュプル信号DPP)の時系列データのうち光ディスク106の非トラック範囲に対応するマスク領域を決定する。特に、本実施の形態においては、差動プッシュプル信号DPPに現れる波形のピッチ幅についての統計量に基づいて、マスク領域を決定する。そのため、トラッキング
誤差信号(差動プッシュプル信号DPP)に現れる揺らぎや突発的なノイズなどの影響を受けて、マスク領域を誤判定するような事態を回避できる。したがって、高いロバスト性でマスク領域を決定することができる。
<Mask area determination subroutine>
Next, the contents of the mask area determination subroutine executed in step S18 of the flowchart of FIG. 7 will be described. In this mask area determination subroutine, the tracking error signal (differential push-pull signal DPP) of the tracking error signal (differential push-pull signal DPP) is determined based on the effective maximum points and effective minimum points obtained by executing the noise removal subroutine and the integration processing subroutine executed earlier. A mask area corresponding to the non-track range of the optical disc 106 is determined from the time series data. In particular, in the present embodiment, the mask region is determined based on a statistic about the pitch width of the waveform appearing in the differential push-pull signal DPP. Therefore, it is possible to avoid a situation in which the mask region is erroneously determined due to the influence of fluctuations and sudden noises appearing in the tracking error signal (differential push-pull signal DPP). Therefore, the mask region can be determined with high robustness.

図14は、図7のステップS18に示すマスク領域決定サブルーチンの処理手順を示すフローチャートである。図15は、本発明の実施の形態に従うトラッキング誤差信号に現れる折り返し部および偏心部を模式的に示す図である。図16は、図7のステップS18に示すマスク領域決定サブルーチンにおける処理の一例を示す図である。   FIG. 14 is a flowchart showing the processing procedure of the mask area determination subroutine shown in step S18 of FIG. FIG. 15 schematically shows a folded portion and an eccentric portion appearing in the tracking error signal according to the embodiment of the present invention. FIG. 16 is a diagram showing an example of processing in the mask area determination subroutine shown in step S18 of FIG.

図14を参照して、プロセッサ204は、上述の統合処理サブルーチンの実行後に出力された有効な極大点および極小点について、時間軸上で極大点および極小点が所定のパターンで現れている部分を特定する(ステップS400)。より具体的には、プロセッサ204は、「有効な極大点」→「有効な極小点」→「有効な極大点」となっている部分、および、「有効な極小点」→「有効な極大点」→「有効な極小点」となっている部分を特定する。さらに、プロセッサ204は、ステップS400において特定した部分のそれぞれについて、その間隔(ピッチ)を算出する(ステップS402)。すなわち、プロセッサ204は、「有効な極大点」→「有効な極小点」→「有効な極大点」となっている部分については、両端に位置する「有効な極大点」の間の間隔を算出し、「有効な極小点」→「有効な極大点」→「有効な極小点」となっている部分については、両端に位置する「有効な極小点」の間の間隔を算出する。   Referring to FIG. 14, for the effective local maximum points and local minimum points output after execution of the above-described integrated processing subroutine, processor 204 determines a portion where local maximum points and local minimum points appear in a predetermined pattern on the time axis. Specify (step S400). More specifically, the processor 204 determines that “effective maximum point” → “effective minimum point” → “effective maximum point”, and “effective minimum point” → “effective maximum point”. ”→” Specify the part that is an “effective minimum point”. Further, the processor 204 calculates an interval (pitch) for each of the portions identified in step S400 (step S402). That is, the processor 204 calculates the interval between the “effective maximum points” located at both ends for the portion of “effective maximum point” → “effective minimum point” → “effective maximum point”. For the portion of “effective minimum point” → “effective maximum point” → “effective minimum point”, the interval between “effective minimum points” located at both ends is calculated.

続いて、プロセッサ204は、ステップS402において算出した複数の間隔についての統計量を算出する(ステップS404)。より具体的には、プロセッサは、算出した間隔についての平均値mPおよび標準偏差σPを算出する。さらに、プロセッサ204は、算出した間隔についての標準偏差σPを用いて、マスク領域を決定するためのピッチしきい値SigmaThreshを算出する(ステップS406)。より具体的には、プロセッサ204は、以下のような数式に従って、ピッチしきい値SigmaThreshを算出する。   Subsequently, the processor 204 calculates statistics for the plurality of intervals calculated in step S402 (step S404). More specifically, the processor calculates an average value mP and a standard deviation σP for the calculated interval. Further, the processor 204 calculates a pitch threshold value SigmaThresh for determining a mask region using the standard deviation σP for the calculated interval (step S406). More specifically, the processor 204 calculates the pitch threshold SigmaThresh according to the following mathematical formula.

ピッチしきい値SigmaThresh=平均値mP+レシピ値l×標準偏差σT
・・・(6)
ここで、レシピ値lは、マスク領域として設定すべき大きさを定めるパラメータである。
Pitch threshold SigmaThreshold = average value mP + recipe value 1 × standard deviation σT
... (6)
Here, the recipe value l is a parameter that determines the size to be set as the mask area.

上述のステップS402において算出される間隔(ピッチ)は、図15に示すようなトラッキング誤差信号(差動プッシュプル信号DPP)に現れる1周期の時間幅に相当する。図15に示すように、偏心部では、差動プッシュプル信号DPPは、基本的に同一ピッチ(1つのトラックピッチに相当)で周期的に変動するのに対して、折り返し部では、偏心部のピッチより長い時間幅のピッチで変動していることがわかる。そのため、上述のステップS404では、統計処理を用いて、偏心部と折り返し部とに現れるピッチ差を区別(グルーピング)するための評価基準(しきい値)を決定する。   The interval (pitch) calculated in step S402 described above corresponds to a time width of one cycle that appears in the tracking error signal (differential push-pull signal DPP) as shown in FIG. As shown in FIG. 15, in the eccentric part, the differential push-pull signal DPP basically varies periodically at the same pitch (corresponding to one track pitch), whereas in the folded part, It can be seen that the pitch fluctuates with a pitch having a longer time width than the pitch. Therefore, in the above-described step S404, an evaluation criterion (threshold value) for distinguishing (grouping) the pitch difference appearing in the eccentric part and the folded part is determined using statistical processing.

このような統計処理を用いることによって、異なるトラックピッチを有する複数の光ディスク106を用いて検査するような場合においても、対象の光ディスク106の種類に応じた評価基準(しきい値)を動的に決定できるので、基本的には、同一のユーザ設定(レシピ)のまま検査を行なうことができる。   By using such statistical processing, an evaluation standard (threshold value) according to the type of the target optical disk 106 can be dynamically set even when inspection is performed using a plurality of optical disks 106 having different track pitches. Since it can be determined, the inspection can be basically performed with the same user setting (recipe).

再度図14を参照して、プロセッサ204は、「有効な極大点」→「有効な極小点」→「有効な極大点」となっている部分のうち、その間隔がピッチしきい値SigmaThreshより大きいものを特定する(ステップS408)。そして、プロセッサ204は、
ステップS408において特定した部分に含まれる、「有効な極小点」を削除(無効化)する(ステップS410)。
Referring to FIG. 14 again, the processor 204 determines that the interval is larger than the pitch threshold value SigmaThresh among the portions of “effective maximum point” → “effective minimum point” → “effective maximum point”. A thing is specified (step S408). The processor 204 then
The “valid minimum point” included in the part specified in step S408 is deleted (invalidated) (step S410).

続いて、プロセッサ204は、「有効な極小点」→「有効な極大点」→「有効な極小点」となっている部分のうち、その間隔がピッチしきい値SigmaThreshより大きいものを特定する(ステップS412)。そして、プロセッサ204は、ステップS412において特定した部分に含まれる、「有効な極大点」を削除(無効化)する(ステップS414)。   Subsequently, the processor 204 identifies a portion whose interval is larger than the pitch threshold SigmaThresh among the portions of “effective minimum point” → “effective maximum point” → “effective minimum point” ( Step S412). Then, the processor 204 deletes (invalidates) the “effective maximum point” included in the portion specified in step S412 (step S414).

最終的に、プロセッサ204は、ステップS410およびS414において削除(無効化)された極小点および極大点を除く、残りの有効な極大点および極小点のうち、時間軸上で、有効な極大点が連続している部分、または、有効な極小点が連続している部分を、マスク領域として決定する(ステップS416)。このとき、連続する2つの極大点または極小点についても、マスク領域に含まれる。そして、処理はメインルーチンに戻る。   Finally, the processor 204 determines that there is a valid local maximum point on the time axis from the remaining effective local maximum points and local minimum points excluding the local minimum point and local maximum point deleted (invalidated) in steps S410 and S414. A continuous part or a part where effective minimum points are continuous is determined as a mask region (step S416). At this time, two continuous local maximum points or local minimum points are also included in the mask region. Then, the process returns to the main routine.

図16を参照して、上述のマスク領域決定サブルーチンにおける処理例について例示する。たとえば、図16(A)に示すように、極大点431、極小点442、極大点432の順で有効な極大点および極小点が現れているとし、極大点431と極大点432との間の間隔(ピッチ)452がピッチしきい値SigmaThreshより大きいとする。   With reference to FIG. 16, an example of processing in the above-described mask area determination subroutine will be illustrated. For example, as shown in FIG. 16A, it is assumed that effective local maximum points and local minimum points appear in the order of the local maximum point 431, the local minimum point 442, and the local maximum point 432, and between the local maximum point 431 and the local maximum point 432. It is assumed that the interval (pitch) 452 is larger than the pitch threshold SigmaThresh.

この場合には、有効な極小点442が削除(無効化)される。その結果、有効な極大点431と有効な極大点432とが連続して現れることになり、この両極大点を含む範囲がマスク領域450として決定される。   In this case, the effective minimum point 442 is deleted (invalidated). As a result, an effective maximum point 431 and an effective maximum point 432 appear in succession, and a range including both the maximum points is determined as the mask region 450.

なお、先に実行されるノイズ除去サブルーチンおよび統合処理サブルーチンによって、無効な極大点および極小点が除外されている場合もある。このような場合には、たとえば、図16(B)に示すように、当初から有効な極小点445と有効な極小点446とが連続して現れており、この両極小点を含む範囲がマスク領域452として決定される。   Note that invalid local maximum points and local minimum points may be excluded by the noise removal subroutine and the integration processing subroutine that are executed first. In such a case, for example, as shown in FIG. 16B, effective minimum points 445 and effective minimum points 446 appear continuously from the beginning, and a range including both minimum points is a mask. The region 452 is determined.

上述のように、プロセッサ204は、「有効な極大点」→「有効な極小点」→「有効な極大点」の順で現れている部分を特定し、2つの有効な極大点の間の間隔(ピッチ)を算出するとともに、「有効な極小点」→「有効な極大点」→「有効な極小点」の順で現れている部分を特定し、2つの有効な極小点の間の間隔(ピッチ)を算出する。そして、プロセッサ204は、算出された2つの有効な極大点の間の間隔(ピッチ)および2つの有効な極小点の間の間隔(ピッチ)についての統計量に基づいて、マスク領域を決定するための評価基準である、ピッチしきい値SigmaThreshを決定する。さらに、プロセッサ204は、「有効な極大点」→「有効な極小点」→「有効な極大点」の順で現れている部分のうち、2つの有効な極大点の間の間隔(ピッチ)がピッチしきい値SigmaThreshより大きい部分について、当該部分に含まれる有効な極小点を除外(無効化)する。並行して、プロセッサ204は、「有効な極小点」→「有効な極大点」→「有効な極小点」の順で現れている部分のうち、2つの有効な極小点の間の間隔(ピッチ)がピッチしきい値SigmaThreshより大きい部分について、当該部分に含まれる有効な極大点を除外(無効化)する。最終的に、プロセッサ204は、2つの有効な極大点が連続して存在する範囲および/または2つの有効な極小点が連続して存在する範囲の少なくとも一方をマスク領域として決定する。   As described above, the processor 204 identifies the portion appearing in the order of “effective maximum point” → “effective minimum point” → “effective maximum point”, and the interval between the two effective maximum points. (Pitch) is calculated, and the portion appearing in the order of “effective minimum point” → “effective maximum point” → “effective minimum point” is specified, and the interval between two effective minimum points ( Pitch) is calculated. Then, the processor 204 determines the mask region based on the calculated statistic about the interval (pitch) between the two effective maximum points and the interval (pitch) between the two effective maximum points. The pitch threshold value SigmaThresh, which is an evaluation criterion for the above, is determined. Further, the processor 204 determines that the interval (pitch) between two effective maximum points in the portion that appears in the order of “effective maximum point” → “effective minimum point” → “effective maximum point”. For a portion larger than the pitch threshold SigmaThresh, an effective minimum point included in the portion is excluded (invalidated). In parallel, the processor 204 determines the interval (pitch between two effective local minimum points) in the portion appearing in the order of “effective local minimum point” → “effective local maximum point” → “effective local minimum point”. ) Is excluded (invalidated) from the effective maximum point included in the portion of the portion larger than the pitch threshold SigmaThreshold. Finally, the processor 204 determines at least one of a range in which two effective maximum points exist continuously and / or a range in which two effective minimum points exist continuously as a mask region.

本実施の形態に従うマスク領域決定サブルーチンによれば、先行技術に記載されているような、周波数変換を用いてマスク領域を決定する方法に比較して、演算量を低減できるという効果を得られる。さらに、周波数変換を用いる方法によれば、偏心部(図15)のような周波数が相対的に高い部分の抽出には向いているが、折り返し部のような周波数が
相対的に低い部分の抽出には向いておらず、マスク領域の判定精度を高めることが難しいという課題があるが、本実施の形態に従うマスク領域決定サブルーチンによれば、このような課題を解決することができる。
According to the mask area determination subroutine according to the present embodiment, it is possible to obtain an effect that the amount of calculation can be reduced as compared with the method of determining a mask area using frequency conversion as described in the prior art. Furthermore, the method using frequency conversion is suitable for extracting a portion having a relatively high frequency such as an eccentric portion (FIG. 15), but extracting a portion having a relatively low frequency such as a folded portion. However, the mask area determination subroutine according to the present embodiment can solve such a problem.

<平滑化処理サブルーチン>
次に、図7のフローチャートのステップS22において実行される平滑化処理サブルーチンの処理内容について説明する。この平滑化処理サブルーチンでは、先に実行されたマスク領域決定サブルーチンにより決定されたマスク領域以外の領域に含まれる、有効な極大点および有効な極小点によって表される時系列データをフィルタリングして、実質的な振幅変動を取得する。
<Smoothing processing subroutine>
Next, the processing content of the smoothing processing subroutine executed in step S22 of the flowchart of FIG. 7 will be described. In this smoothing processing subroutine, the time series data represented by the effective local maximum points and the effective local minimum points included in the region other than the mask region determined by the previously executed mask region determining subroutine is filtered, Acquire substantial amplitude variation.

図17は、図7のステップS22に示す平滑化処理サブルーチンの処理手順を示すフローチャートである。図18は、図7のステップS22に示す平滑化処理サブルーチンにおける処理の一例を示す図である。   FIG. 17 is a flowchart showing the processing procedure of the smoothing processing subroutine shown in step S22 of FIG. FIG. 18 is a diagram showing an example of processing in the smoothing processing subroutine shown in step S22 of FIG.

図17を参照して、プロセッサ204は、上述のマスク領域決定サブルーチンの実行後に出力された有効な極大点および極小点のうち、マスク領域以外の領域に含まれる極大点および極小点を抽出する(ステップS500)。そして、プロセッサ204は、抽出した極大点および極小点を時間順に並べた時系列データを生成する(ステップS502)。   Referring to FIG. 17, processor 204 extracts local maximum points and local minimum points included in regions other than the mask region from among the effective local maximum points and local minimum points output after execution of the above-described mask region determination subroutine ( Step S500). Then, the processor 204 generates time series data in which the extracted maximum points and minimum points are arranged in time order (step S502).

続いて、プロセッサ204は、予め設定される感度パラメータnから、平滑化サイズ(2n+1)を算出する(ステップS504)。そして、プロセッサ204は、ステップS502において生成したデータ列に対して、算出した平滑化サイズでフィルタリング処理を行なう(ステップS506)。より具体的には、プロセッサ204は、いわゆる移動平均処理を行ない、ステップS502において生成したデータ列に対して、平滑化サイズの幅をもつウィンドウを順次設定し、このウィンドウに含まれるそれぞれの点における振幅の平均値を、対応する位置の代表値として順次算出する。   Subsequently, the processor 204 calculates a smoothed size (2n + 1) from a preset sensitivity parameter n (step S504). Then, the processor 204 performs a filtering process with the calculated smoothing size on the data string generated in step S502 (step S506). More specifically, the processor 204 performs a so-called moving average process, sequentially sets windows having a smoothing size width for the data sequence generated in step S502, and sets the window at each point included in the window. The average value of the amplitude is sequentially calculated as the representative value of the corresponding position.

最終的に、プロセッサ204は、フィルタリング処理後の時系列データを出力する(ステップS508)。そして、処理はメインルーチンに戻る。   Finally, the processor 204 outputs time-series data after the filtering process (step S508). Then, the process returns to the main routine.

なお、上述の平滑化処理サブルーチンでは、よりユーザフレンドリなインターフェースを提供する観点から、感度パラメータnをフィルタリング特性(周波数遮断特性)を変更する構成について例示したが、平滑化サイズを直接的に設定するようにしてもよい。   In the above-described smoothing processing subroutine, from the viewpoint of providing a more user-friendly interface, the configuration in which the sensitivity parameter n is changed in the filtering characteristic (frequency cutoff characteristic) is illustrated, but the smoothing size is directly set. You may do it.

上述のような平滑化処理サブルーチンによって、図18(A)に示すようなトラッキング誤差信号(差動プッシュプル信号DPP)の生信号が、図18(B)に示すようにフィルタリングされ、トラッキング誤差信号(差動プッシュプル信号DPP)の実質的な時間的変化特性を得ることができる。   By the smoothing processing subroutine as described above, the raw signal of the tracking error signal (differential push-pull signal DPP) as shown in FIG. 18A is filtered as shown in FIG. A substantial temporal change characteristic of (differential push-pull signal DPP) can be obtained.

<作用効果>
上述した本実施の形態に従う光ピックアップを検査する検査装置11によれば、高いロバスト性をもちつつ、光ピックアップの偏心量を高い精度で算出できる。
<Effect>
According to the inspection apparatus 11 that inspects the optical pickup according to the above-described embodiment, the eccentric amount of the optical pickup can be calculated with high accuracy while having high robustness.

<その他の形態>
上述のフローで説明したような制御を実行させるプログラムを任意の方法で提供することもできる。このようなプログラムは、コンピュータに付属するフレキシブルディスク、CD−ROM(Compact Disk-Read Only Memory)、ROM(Read Only Memory)、RAM(Random Access Memory)およびメモリカードなどのコンピュータ読取り可能な記録媒体にて記録させて、プログラム製品として提供することもできる。あるいは、コンピュー
タに内蔵するハードディスクなどの記録媒体にて記録させて、プログラムを提供することもできる。また、ネットワークを介したダウンロードによって、プログラムを提供することもできる。
<Other forms>
A program for executing the control as described in the above flow can be provided by an arbitrary method. Such a program is stored in a computer-readable recording medium such as a flexible disk attached to the computer, a CD-ROM (Compact Disk-Read Only Memory), a ROM (Read Only Memory), a RAM (Random Access Memory), and a memory card. And can be provided as a program product. Alternatively, the program can be provided by being recorded on a recording medium such as a hard disk built in the computer. A program can also be provided by downloading via a network.

このようなプログラムは、コンピュータのオペレーティングシステム(OS)の一部として提供されるプログラムモジュールのうち、必要なモジュールを所定の配列で所定のタイミングで呼出して処理を実行させるものであってもよい。その場合、プログラム自体には上記モジュールが含まれずOSと協働して処理が実行される。このようなモジュールを含まないプログラムも、本実施の形態に従うプログラムに含まれ得る。   Such a program may be a program module that is provided as part of an operating system (OS) of a computer and that calls necessary modules in a predetermined arrangement at a predetermined timing to execute processing. In that case, the program itself does not include the module, and the process is executed in cooperation with the OS. A program that does not include such a module can also be included in the program according to the present embodiment.

また、本実施の形態に従うプログラムは他のプログラムの一部に組込まれて提供されるものであってもよい。その場合にも、プログラム自体には上記他のプログラムに含まれるモジュールが含まれず、他のプログラムと協働して処理が実行される。このような他のプログラムに組込まれたプログラムも、本実施の形態に従うプログラムに含まれ得る。   The program according to the present embodiment may be provided by being incorporated in a part of another program. Even in this case, the program itself does not include the module included in the other program, and the process is executed in cooperation with the other program. Such a program incorporated in another program can also be included in the program according to the present embodiment.

提供されるプログラム製品は、ハードディスクなどのプログラム格納部にインストールされて実行される。なお、プログラム製品は、プログラム自体と、プログラムが記録された記録媒体とを含む。   The provided program product is installed in a program storage unit such as a hard disk and executed. The program product includes the program itself and a recording medium on which the program is recorded.

今回開示された実施の形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施の形態の説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。   The embodiment disclosed this time should be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is shown not by the above description of the embodiments but by the scope of claims, and is intended to include all modifications within the meaning and scope equivalent to the scope of claims.

11 検査装置、101 光ピックアップ、102 光源、103 コリメータレンズ、104 回折格子、105 ビームスプリッタ、106 光記録媒体(光ディスク)、107 対物レンズ、108 集光レンズ、109 シリンドリカルレンズ、110 光検出部、111 アクチュエータ、112 スピンドルモータ、121 メインビーム、122,123 サブビーム、125,126,127 トラック、131,132,133 検出器、141,142,143,146 減算器、144 加算器、145 定数乗算器、146 減算器、201 コンピュータ、202 A/D変換部、203 記憶装置、204 プロセッサ、205 出力部、206 入力部、207 ディスプレイ、208A,208B 通信インターフェース、221 誤差信号生成部、250 指令生成部、252 データバッファ、252a 時系列データ、254 極値抽出部、256 極値格納部、256a 極値情報、258 しきい値決定部、260 選択部、262 ノイズ除去部、264 統合処理部、266 有効データ格納部、266a 有効データ群、268 マスク領域決定部、270 カウント部、272 抽出部、274 平滑化部、276 偏心量算出部、278 良否判断部、A〜H 受光素子。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Inspection apparatus, 101 Optical pick-up, 102 Light source, 103 Collimator lens, 104 Diffraction grating, 105 Beam splitter, 106 Optical recording medium (optical disk), 107 Objective lens, 108 Condensing lens, 109 Cylindrical lens, 110 Light detection part, 111 Actuator, 112 spindle motor, 121 main beam, 122, 123 sub beam, 125, 126, 127 track, 131, 132, 133 detector, 141, 142, 143, 146 subtractor, 144 adder, 145 constant multiplier, 146 Subtracter, 201 Computer, 202 A / D conversion unit, 203 Storage device, 204 Processor, 205 Output unit, 206 Input unit, 207 Display, 208A, 208B Communication interface, 22 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Error signal generation part, 250 Command generation part, 252 Data buffer, 252a Time series data, 254 Extreme value extraction part, 256 Extreme value storage part, 256a Extreme value information, 258 Threshold value determination part, 260 Selection part, 262 Noise Removal unit, 264 integration processing unit, 266 effective data storage unit, 266a effective data group, 268 mask area determination unit, 270 count unit, 272 extraction unit, 274 smoothing unit, 276 eccentricity calculation unit, 278 pass / fail judgment unit, A ~ H Light receiving element.

Claims (6)

光ピックアップの検査装置であって、
前記光ピックアップの検出器によって検出される検出結果に基づいて、トラッキング誤差信号を生成する誤差信号生成手段を備え、前記光ピックアップは、光源からの光を分離して得られるメインビームと少なくとも2つのサブビームとを含む複数のビームを所定の相対関係で光記録媒体へ照射するように構成されており、前記検出器は、前記複数のビームが前記光記録媒体においてそれぞれ反射されて生じる複数の反射光をそれぞれ検出するように構成されており、さらに
前記複数のビームの照射位置を前記光記録媒体のトラックと交差する方向に往復させた場合に得られる前記トラッキング誤差信号の時系列データを取得する取得手段と、
前記時系列データに含まれる極大点および極小点を抽出する抽出手段と、
抽出された前記極大点および前記極小点の統計量に基づいて、評価基準を決定する評価基準決定手段と、
前記評価基準に従って、前記極大点のうち有効極大点を選択し、前記極小点のうち有効極小点を選択する選択手段と、
前記有効極大点および前記有効極小点に基づいて、前記時系列データのうち前記光記録媒体の非トラック範囲に対応するマスク領域を決定するマスク領域決定手段と、
前記マスク領域以外の領域に含まれる前記有効極大点および前記有効極小点に基づいて、前記照射位置が前記光記録媒体のトラックと交差する方向へ往復することに伴う前記トラッキング誤差信号の時間的変化特性を生成する変化特性生成手段と、
前記時間的変化特性に基づいて、前記光ピックアップの偏心量を算出する偏心量算出手段とを備える、光ピックアップの検査装置。
An optical pickup inspection device,
Error signal generating means for generating a tracking error signal based on a detection result detected by the detector of the optical pickup, the optical pickup including a main beam obtained by separating light from the light source and at least two The optical recording medium is configured to irradiate the optical recording medium with a plurality of beams including a sub-beam in a predetermined relative relationship, and the detector includes a plurality of reflected lights generated by reflecting the plurality of beams on the optical recording medium, respectively. And acquiring time series data of the tracking error signal obtained when the irradiation positions of the plurality of beams are reciprocated in a direction intersecting the track of the optical recording medium. Means,
Extraction means for extracting the maximum point and the minimum point included in the time series data;
An evaluation criterion determining means for determining an evaluation criterion based on the extracted statistics of the maximum point and the minimum point;
According to the evaluation criteria, selecting an effective maximum point among the maximum points, a selection means for selecting an effective minimum point among the minimum points;
Mask area determining means for determining a mask area corresponding to a non-track range of the optical recording medium in the time series data based on the effective maximum point and the effective minimum point;
Temporal change of the tracking error signal accompanying the reciprocation of the irradiation position in a direction intersecting the track of the optical recording medium based on the effective maximum point and the effective minimum point included in an area other than the mask area Change characteristic generation means for generating a characteristic;
An inspection apparatus for an optical pickup, comprising: an eccentricity amount calculating means for calculating an eccentricity amount of the optical pickup based on the temporal change characteristic.
前記評価基準決定手段は、
前記極大点の振幅の平均値および標準偏差に基づいて第1しきい値を決定する手段と、
前記極小点の振幅の平均値および標準偏差に基づいて第2しきい値を決定する手段とを含み、
前記選択手段は、
前記極大点のうち、振幅が前記第1しきい値より大きいものを前記有効極大点として抽出する手段と、
前記極小点のうち、振幅が前記第2しきい値より小さいものを前記有効極小点として抽出する手段とを含む、請求項1に記載の光ピックアップの検査装置。
The evaluation criterion determining means includes
Means for determining a first threshold value based on an average value and a standard deviation of amplitudes of the maximum points;
Means for determining a second threshold value based on an average value and a standard deviation of amplitudes of the local minimum points,
The selection means includes
Means for extracting, as the effective maximum point, one having an amplitude larger than the first threshold value among the maximum points;
The inspection apparatus for an optical pickup according to claim 1, further comprising: means for extracting, as the effective minimum point, one having an amplitude smaller than the second threshold value among the minimum points.
前記マスク領域決定手段は、
前記有効極大点、前記有効極小点、前記有効極大点の順で現れている部分を特定し、2つの前記有効極大点の間の間隔を算出する手段と、
前記有効極小点、前記有効極大点、前記有効極小点の順で現れている部分を特定し、2つの前記有効極小点の間の間隔を算出する手段と、
算出された前記2つの有効極大点の間の間隔および前記2つの有効極小点の間の間隔の統計量に基づいて、第3しきい値を決定する手段と、
前記有効極大点、前記有効極小点、前記有効極大点の順で現れている部分のうち、2つの前記有効極大点の間の間隔が前記第3しきい値より大きい部分について、当該部分に含まれる前記有効極小点を除外する手段と、
前記有効極小点、前記有効極大点、前記有効極小点の順で現れている部分のうち、2つの前記有効極小点の間の間隔が前記第3しきい値より大きい部分について、当該部分に含まれる前記有効極大点を除外する手段と、
2つの前記有効極大点が連続して存在する範囲および2つの前記有効極小点が連続して存在する範囲の少なくとも一方を前記マスク領域として決定する手段とを含む、請求項
1または2に記載の光ピックアップの検査装置。
The mask area determining means includes
Means for identifying a portion appearing in the order of the effective maximum point, the effective minimum point, and the effective maximum point, and calculating an interval between the two effective maximum points;
Means for identifying a portion appearing in order of the effective minimum point, the effective maximum point, and the effective minimum point, and calculating an interval between the two effective minimum points;
Means for determining a third threshold based on the calculated statistics of the interval between the two effective maximum points and the interval between the two effective minimum points;
Of the portion appearing in the order of the effective maximum point, the effective minimum point, and the effective maximum point, a portion where the interval between two effective maximum points is larger than the third threshold value is included in the portion. Means for excluding said effective local minimum points,
Of the portion appearing in the order of the effective minimum point, the effective maximum point, and the effective minimum point, a portion where the interval between two effective minimum points is larger than the third threshold value is included in the portion. Means for excluding said effective local maximum,
And means for determining at least one of a range in which the two effective maximum points are continuously present and a range in which the two effective minimum points are continuously present as the mask region. Optical pickup inspection device.
前記変化特性生成手段は、
前記マスク領域以外の領域に存在する前記有効極大点および前記有効極小点を時系列に並べて一連のデータを生成する手段と、
前記一連のデータをフィルタリング処理することで、前記時間的変化特性を生成する手段とを含む、請求項1〜3のいずれか1項に記載の光ピックアップの検査装置。
The change characteristic generation means includes:
Means for generating a series of data by arranging the effective maximum points and the effective minimum points existing in regions other than the mask region in time series;
The optical pickup inspection apparatus according to claim 1, further comprising: a unit that generates the temporal change characteristic by filtering the series of data.
前記光ピックアップに検査装置を装着するステップを備え、前記光ピックアップは、光源からの光を分離して得られるメインビームと少なくとも2つのサブビームとを含む複数のビームを所定の相対関係で光記録媒体へ照射する機構と、前記複数のビームが前記光記録媒体においてそれぞれ反射されて生じる複数の反射光をそれぞれ検出する検出器とを含んでおり、前記検査装置は、前記検出器によって検出される検出結果に基づいてトラッキング誤差信号を生成する回路を含んでおり、さらに、
前記複数のビームの照射位置を前記光記録媒体のトラックと交差する方向に往復させた場合に得られる前記トラッキング誤差信号の時系列データを取得するステップと、
前記時系列データに含まれる極大点および極小点を抽出するステップと、
抽出された前記極大点および前記極小点の統計量に基づいて、評価基準を決定するステップと、
前記評価基準に従って、前記極大点のうち有効極大点を選択し、前記極小点のうち有効極小点を選択するステップと、
前記有効極大点および前記有効極小点に基づいて、前記時系列データのうち前記光記録媒体の非トラック範囲に対応するマスク領域を決定するステップと、
前記マスク領域以外の領域に含まれる前記有効極大点および前記有効極小点に基づいて、前記照射位置が前記光記録媒体のトラックと交差する方向へ往復することに伴う前記トラッキング誤差信号の時間的変化特性を生成するステップと、
前記時間的変化特性に基づいて、前記光ピックアップの偏心量を算出するステップとを備える、光ピックアップの検査方法。
And a step of mounting an inspection device on the optical pickup, wherein the optical pickup has a plurality of beams including a main beam obtained by separating light from a light source and at least two sub beams in a predetermined relative relationship. And a detector for detecting a plurality of reflected lights respectively generated by the plurality of beams reflected on the optical recording medium, and the inspection apparatus detects the detected by the detector. A circuit for generating a tracking error signal based on the result, and
Obtaining time-series data of the tracking error signal obtained when the irradiation positions of the plurality of beams are reciprocated in a direction crossing a track of the optical recording medium;
Extracting local maximum points and local minimum points included in the time series data; and
Determining an evaluation criterion based on the extracted statistics of the maximum point and the minimum point;
According to the evaluation criteria, selecting an effective maximum point among the maximum points, and selecting an effective minimum point among the minimum points;
Determining a mask region corresponding to a non-track range of the optical recording medium in the time series data based on the effective maximum point and the effective minimum point;
Temporal change of the tracking error signal accompanying the reciprocation of the irradiation position in a direction intersecting the track of the optical recording medium based on the effective maximum point and the effective minimum point included in an area other than the mask area Generating a characteristic; and
And a step of calculating an eccentric amount of the optical pickup based on the temporal change characteristic.
プロセッサを含む検査装置で実行される光ピックアップの検査プログラムであって、前記検査プログラムは、前記プロセッサを、
前記光ピックアップの検出器によって検出される検出結果に基づいて、トラッキング誤差信号を生成する誤差信号生成手段として機能させ、前記光ピックアップは、光源からの光を分離して得られるメインビームと少なくとも2つのサブビームとを含む複数のビームを所定の相対関係で光記録媒体へ照射するように構成されており、前記検出器は、前記複数のビームが前記光記録媒体においてそれぞれ反射されて生じる複数の反射光をそれぞれ検出するように構成されており、さらに前記検査プログラムは、前記プロセッサを、
前記複数のビームの照射位置を前記光記録媒体のトラックと交差する方向に往復させた場合に得られる前記トラッキング誤差信号の時系列データを取得する取得手段と、
前記時系列データに含まれる極大点および極小点を抽出する抽出手段と、
抽出された前記極大点および前記極小点の統計量に基づいて、評価基準を決定する評価基準決定手段と、
前記評価基準に従って、前記極大点のうち有効極大点を選択し、前記極小点のうち有効極小点を選択する選択手段と、
前記有効極大点および前記有効極小点に基づいて、前記時系列データのうち前記光記録媒体の非トラック範囲に対応するマスク領域を決定するマスク領域決定手段と、
前記マスク領域以外の領域に含まれる前記有効極大点および前記有効極小点に基づいて、前記照射位置が前記光記録媒体のトラックと交差する方向へ往復することに伴う前記トラッキング誤差信号の時間的変化特性を生成する変化特性生成手段と、
前記時間的変化特性に基づいて、前記光ピックアップの偏心量を算出する偏心量算出手
段として機能させる、光ピックアップの検査プログラム。
An inspection program for an optical pickup executed by an inspection apparatus including a processor, wherein the inspection program includes the processor,
Based on the detection result detected by the detector of the optical pickup, the optical pickup functions as an error signal generating means for generating a tracking error signal, and the optical pickup has at least two main beams obtained by separating light from the light source. The optical recording medium is configured to irradiate the optical recording medium with a plurality of beams including one sub-beam in a predetermined relative relationship, and the detector includes a plurality of reflections generated by reflecting the plurality of beams on the optical recording medium, respectively. Each of which is configured to detect light, and the inspection program further includes:
Obtaining means for obtaining time-series data of the tracking error signal obtained when the irradiation positions of the plurality of beams are reciprocated in a direction crossing a track of the optical recording medium;
Extraction means for extracting the maximum point and the minimum point included in the time series data;
An evaluation criterion determining means for determining an evaluation criterion based on the extracted statistics of the maximum point and the minimum point;
According to the evaluation criteria, selecting an effective maximum point among the maximum points, a selection means for selecting an effective minimum point among the minimum points;
Mask area determining means for determining a mask area corresponding to a non-track range of the optical recording medium in the time series data based on the effective maximum point and the effective minimum point;
Temporal change of the tracking error signal accompanying the reciprocation of the irradiation position in a direction intersecting the track of the optical recording medium based on the effective maximum point and the effective minimum point included in an area other than the mask area Change characteristic generation means for generating a characteristic;
An inspection program for an optical pickup that functions as an eccentricity calculating means for calculating an eccentricity of the optical pickup based on the temporal change characteristic.
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