JP2011042433A - インライン型基板処理装置の製造システム及び製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】インライン型基板処理装置を製造するに際し、その作業効率を向上させることの可能な製造システム及び製造方法を提供する。
【解決手段】
インライン型基板処理装置の製造システムは、複数のチャンバが縦列に連結されてなるインライン型基板処理装置を少なくとも１つのチャンバから構成されるユニット毎に製造するものである。当該製造システムは、一のユニットに係る複数の製造工程に対応付けられて複数のユニットが配置される複数の作業スペース１１〜１７，２１，２２，３１〜３３，４１，５１〜５３，６１と、複数の工程の各々に対応付けられて工程毎の作業の準備に用いられる複数の作業準備スペースとを備える。また、複数の作業スペースにおける作業が終了する毎に、当該工程に対応する作業スペースから当該工程の次の工程に対応する作業スペースまでユニットを搬送する搬送装置を更に備える。
【選択図】図１

Description

この発明は、太陽電池や液晶表示装置等に利用される大型基板を流れ作業である、いわゆるインライン方式にて処理するインライン型基板処理装置の製造システム、及びその製造方法に関する。

従来から、例えば特許文献１に記載の太陽電池や特許文献２に記載の有機ＥＬ表示装置等の大型基板装置の製造工程では、同装置の構成要素である大型基板を流れ作業である、いわゆるインライン方式にて処理するインライン型基板処理装置が広く用いられている。こうしたインライン型基板処理装置は通常、各種処理工程に供される大型基板が搬入される搬入口と、工程順に縦列されて各々異なる処理工程を担う複数のチャンバと、各種工程を経た大型基板を最後部のチャンバから搬出する搬出口とが連なるかたちに構成されている。

また一般に、上記インライン方式基板処理装置は、図５のような態様にて製造されることが多い。同図５に示されるように、インライン型基板処理装置を構成する複数のチャンバの基材は、それぞれ工場Ｆの搬出入口Ｇから一点鎖線にて示される経路Ｒに沿ってクレーン等の搬送装置により搬入され、例えば工場Ｆの短手方向の一端に設けられた作業スペースに、ユニットＵ１〜Ｕ７順に縦列するかたちに配置される。なお、ここに示されるユニットとは製造工程毎のチャンバのまとまりで規格化された単位のことである。例えば、各製造工程が単一のチャンバに対して実施されるのであれば、１つのユニットは単一のチャンバで構成されることとなる。また各製造工程が２つのチャンバに対して並行して実施されるのであれば、１つのユニットは２つのチャンバで構成されることとなる。なお、同図５には、インライン型基板処理装置が７つのユニットＵ１〜Ｕ７で製造される態様を例示している。そして、工場Ｆにおいて上記チャンバの基材が配置された場所、すなわち作業スペースＳ以外の空間は、チャンバを構成する種々の部品が置かれる場所、あるいは、これら部品のいくつかを上記基材に組み付ける以前に組み立てる場所として利用されるスペースとされる。なお、以下では、こうしたスペースを作業準備スペースＳＳという。

こうした工場Ｆ内での配置にて上記インライン型基板処理装置が製造される際には、各ユニットＵ１〜Ｕ７の製造に必要とされる部品の全てが、同ユニットＵ１〜Ｕ７が工場Ｆの長手方向に占める幅に対応する分の作業準備スペースＳＳ内に置かれる。そして、各部品が作業者やロボット等により製造工程順にチャンバの基材に組み付けられ、こうした組み付けが終了すると、各種テスト、品質検査が実施されて、これに適合したものが再び上記経路Ｒ上をクレーン等により搬送されて搬出入口Ｇから搬出されて出荷される。このように、工場ＦにてユニットＵ１〜Ｕ７を上述のように配置した上で上記装置を製造する方法にあっては、一旦工場Ｆ内に配置されたユニットＵ１〜Ｕ７は、その組み立てからテスト、及び品質検査を含む全工程が終了するまでの間、工場Ｆ内の同一の位置に配された状態となる。

特開２００７−２７７６１７号公報 特開２００８−１７７０７１号公報

ところで上述のように、各ユニットＵ１〜Ｕ７に組み付けられる全ての部品は、それぞれ作業準備スペースＳＳに割り当てられた場所に一旦置かれる。上記部品には、例えば上記製造工程を経て製造される装置が成膜装置である場合、チャンバ同士を区分する仕切弁、電極等を含む電装系の部品、原料ガスの供給等を担う吸排気系の部品、あるいは冷却水が流通する冷却系の部品等々の様々な部品が含まれる。そのため、各ユニットＵ１〜Ｕ７を製造するために配置された人員は、上記各種部品を組み付ける都度、該組み付け作業の対象となる部品を作業準備スペースＳＳから抽出する必要がある。すなわち、組み付け作業毎に各部品が配置された場所までの移動が必須となり、ユニットＵ１〜Ｕ７の製造にかかる作業が煩雑になることで、上記人員により実施される作業の効率が低下することになる。

また、こうした多数の部品を組み立て当初からその完了に至るまで維持しつつも、こうした部品の中から、その都度誤りなく所定の部品を抽出し、これを目的の部位に組み付ける必要があることから、該部品に係る管理が自ずと煩雑なものとなる。さらに、上記部品の物量は、作業準備スペースＳＳのほとんどを占有しうる程となることも少なくないため、部品の整理作業を行いつつ、これによって確保した作業準備スペースＳＳの空間にて部品同士の組み付け等を行うことも多い。すなわち、こうした理由から、上記装置の製造に係る作業効率の低下を免れ得ないことになる。

この発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、インライン型基板処理装置を製造するに際し、その作業効率を向上させることの可能な製造システム及び製造方法を提供することにある。

以下、上記課題を解決するための手段及びその作用効果について記載する。
請求項１に記載の発明は、複数のチャンバが縦列に連結されてなるインライン型基板処理装置を少なくとも１つの前記チャンバから構成されるユニット毎に製造するインライン型基板処理装置の製造システムであって、一のユニットに係る複数の製造工程に対応付けられて複数のユニットが配置される複数の作業スペースと、前記複数の製造工程の各々に対応付けられて前記工程毎の作業の準備に用いられる複数の作業準備スペースと、前記複数の作業スペースにおける作業が終了する毎に、当該工程に対応する作業スペースから当該工程の次の工程に対応する作業スペースまで前記ユニットを搬送する搬送装置とを備えることをその要旨とする。

上記構成によれば、作業の対象であるユニットが、それに施される作業ごとに、その作業に対応付けられた作業スペース、つまりその作業の内容に合ったスペースへ搬送されることとなる。そのためインライン型基板処理装置を製造するための各工程の作業が、その工程に対応付けられた固有の作業スペースにおいて実行可能となる。そして各工程の作業に必要とされる準備も、その作業の対象であるユニットの搬送先、つまりその作業に対応付けられた固有の作業スペースに合わせて、これもまた作業に対応付けられた固有の作業準備スペース、そこで実行可能となる。

よって各製造工程に対応付けられた作業スペースにて実行される作業を準備するスペース、例えば製造工程に必要とされる部品等の置き場として用いられる作業準備スペースが、各々の製造工程にのみ用いられることになる。そのため、各作業準備スペースに置かれる部品や用具類、及び作業準備、例えば複数の部品同士の組立等も単一の製造工程分で足りることになる。故に、各製造工程での作業に必要とされる部品の抽出や、その管理、あるいはその整理作業が簡易なものとなることから、当該システムにおけるインライン型基板処理装置の製造にかかる作業の効率を向上させることができる。また、こうして複数の製造工程の各々に対応付けられた作業スペースを設けるようにしていることにより、これ
ら作業スペースのそれぞれにおいて、該スペースに配置されたユニットに対する作業を同時期に実行することが可能ともなる。さらには、上述のような製造工程と作業スペース・作業準備スペースとの対応付けにより、単一の製造工程に特有の部品類、つまり、形状や大きさが類似した部品類を１カ所にまとめて配置することが可能となり、従来のように複数の製造工程に係る部品類を１カ所にまとめて配置するものと比較して、部品類によって占有される空間を縮小することも可能になる。加えて、このように単一の製造工程に特有の部品類が１カ所にまとめて配置されることで、各製造工程にかかる作業を実施する人員は、該作業時に用いる部品類の抽出を容易に行うことができ、その作業効率が向上することにもなる。

請求項２に記載の発明は、前記複数の作業スペースにおいては、前記製造工程の順に、該製造工程に対応付けられた作業スペースが並設されていることをその要旨とする。
上記構成によれば、複数の作業スペースが、基板処理装置の製造に係る工程順に並んで設けられているため、ユニットを搬送する距離の増大を抑制し、ユニット搬送に係る時間の長期化も抑制可能となる。

請求項３に記載の発明は、前記搬送装置は、前記ユニットが載置される架台と、前記架台と該架台が配置された面との間に圧縮空気が充填される充填部とを備え、該充填部に充填された圧縮空気の層によって前記架台をその配置された面から浮かせた状態で、前記ユニットを搬送する空気式搬送機であることをその要旨とする。

上記構成によれば、ユニットの搬送時には、ユニットの載置された架台を、その配置面から浮いた状態とする空気式搬送機が用いられるため、架台とその配置面との間に生じる摩擦を減少させることができ、ユニットの搬送に係る力を縮小することが可能ともなる。

請求項４に記載の発明は、当該インライン型基板処理装置は、複数の異なるユニットを含んでなるものであり、前記複数の製造工程の各々では、前記複数の異なるユニットに対して行われる作業内容の少なくとも一部が共通していることをその要旨とする。

上記構成では、複数の製造工程の各々に対応付けられた作業スペースのそれぞれにおいて、各異なるユニットに対する作業が同時期に実行可能となる。つまり、当該製造システム内では、作業内容の少なくとも一部が共通しているとはいえ、互いに異なる作業内容を含んだユニット、ひいては構成の異なるユニット、それらの製造が同時期に実行可能になる。また、上記構成では、各々の異なるユニットの製造工程において、組み付ける部品の種類が同じであるものの型番が異なる、こうした部品の組み付け作業の際に型番が異なるものの同一の道具を用いる、あるいは、電気的な性能の試験を行うもののその規格が異なる、等々というように、多少の違いこそあれほぼ同様の作業のみが実行されることになる。これにより、例えば各製造工程での作業が作業員によって行われる場合には、作業員は、各担当の製造工程においてほぼ同様の作業のみを行えばよいことになり、その作業に対する習熟度合いの向上に係る期間が短縮可能となる。すなわち、各作業員の作業効率が向上するまでの期間を短縮することが可能ともなる。また、各製造工程での作業がロボット等により行われる場合であれ、これに与える指示内容がほぼ同様になることから、その指示プログラム等の構成が複雑化することを抑制可能にもなる。なお、上記作業内容とは、そのユニットに対する作業、例えばユニットへの部品の組み付け工程において必要とされる部品や道具、あるいは組み付け方法等、あるいはユニットの電気的な性能の試験工程における検査内容等を含むものである。

請求項５に記載の発明は、前記製造工程は、前記複数の異なるユニットに対する部品の組み付け工程を含んでなるものであり、前記組み付け工程に対応付けられた作業準備スペースには、前記複数の異なるユニットの各々に対応した部品を収容する部品収容部を更に
備えることをその要旨とする。

上記構成によれば、当該基板処理装置の製造システムが、互いに異なる複数のユニットのそれぞれに対応した部品を各別に収容する部品収容部を備えるようにしているため、単一の製造工程に対応付けられた作業スペースにて複数の異なるユニットに対する組み付け作業が順次実行されたとしても、該製造工程に係る部品をユニット毎に把握でき、その管理が容易となる。また、作業間での部品の取り違えが抑制され、組み付け作業の各々に係る精度が向上されることともなる。

請求項６に記載の発明は、前記ユニットを仮置きする仮置きスペースを更に備えることをその要旨とする。
上記構成によれば、ユニットを借り置きする仮置きスペース、すなわち、ユニットに対する部品の組み付けや電気性能試験等の各種作業を行うことなく、該ユニットを配置するのみのスペースを設けるようにしているため、例えば各種部品の組み付け工程にて必要とされる部品が不足したとしても、これら仮置きスペースにユニットを置くことにより、該仮置きスペースへの配置中に上記不足部品を調達してこれをユニットに組み付けること等が可能となることにより、他のユニットの作業スペースの搬送流れを止めることなく、且つ、仮置きスペースでの仮置き以降の工程の実施時には、仮置き以前の製造工程が完了している可能性を高めることができる。

請求項７に記載の発明は、前記ユニットを構成する前記チャンバを搬入する搬入口と、前記ユニットを搬出する搬出口と、を備え、前記複数の製造工程の最初の製造工程に対応する作業スペースの配置領域が前記搬入口に最も近接した領域とされること、及び、前記複数の製造工程の最終の製造工程に対応する作業スペースが前記搬出口に最も近接した領域とされることとの少なくとも一方が満たされるように、前記最初の製造工程に対応する作業スペース及び前記最終の製造工程に対応する作業スペースの少なくとも一方が配置されることをその要旨とする。

上記構成によるように、ユニットを構成するチャンバを搬入する搬入口に最も近接した領域に、インライン型基板処理装置の製造にかかる複数の製造工程の最初の製造工程に対応する作業スペースを配置すること、及び、同複数の製造工程の最終の製造工程に対応する作業スペースを配置することとの少なくとも一方を満たすようにすれば、当該製造システム内にチャンバを搬入するに際し、搬入口から最初の製造工程に対応する作業スペースまで各チャンバを搬送する距離を短縮できる、あるいは、当該製造システム内から各ユニットを搬出するに際し、最終の製造工程に対応する作業スペースから搬出口まで各ユニットを搬送する距離を短縮することができるようになる。

請求項８に記載の発明は、複数のチャンバが縦列に連結されてなるインライン型基板処理装置を少なくとも１つの前記チャンバから構成されるユニット毎に製造するインライン型基板処理装置の製造方法において、一のユニットに係る複数の製造工程の各々に対応付けられた複数の作業スペースの各々に配置された複数のユニットに対して、前記複数の製造工程の各々に対応付けられて前記製造工程毎の作業の準備に用いられる複数の作業準備スペースを用いた作業が実行される際に、前記ユニットを搬送する搬送装置が、前記複数の作業スペースにおける作業が終了する毎に、前段の製造工程に対応付けられた作業スペースから当該前段の製造工程の次の製造工程に対応付けられた作業スペースまで前記ユニットを搬送することをその要旨とする。

上記製法によれば、作業の対象であるユニットが、それに施される作業ごとに、その作業に対応付けられた作業スペース、つまりその作業の内容に合ったスペースへ搬送されることとなる。そのためインライン型基板処理装置を製造するための各工程の作業が、その
工程に対応付けられた固有の作業スペースにおいて実行可能となる。そして各工程の作業に必要とされる準備も、その作業の対象であるユニットの搬送先、つまりその作業に対応付けられた固有の作業スペースに合わせて、これもまた作業に対応付けられた固有の作業準備スペース、そこで実行可能となる。

よって各製造工程に対応付けられた作業スペースにて実行される作業を準備するスペース、例えば製造工程に必要とされる部品等の置き場として用いられる作業準備スペースが、各々の製造工程にのみ用いられることになる。そのため、各作業準備スペースに置かれる部品や用具類、及び作業支援、例えば複数の部品同士の組立等も単一の製造工程分で足りることになる。故に、各製造工程での作業に必要とされる部品の抽出や、その管理、あるいはその整理作業が簡易なものとなることから、当該システムにおけるインライン型基板処理装置の製造にかかる作業の効率を向上させることができる。また、こうして複数の製造工程の各々に対応付けられた作業スペースを設けるようにしていることにより、これら作業スペースのそれぞれにおいて、該スペースに配置されたユニットに対する作業を同時期に実行することが可能ともなる。さらには、上述のような製造工程と作業スペース・作業準備スペースとの対応付けにより、単一の製造工程に特有の部品類、つまり、形状や大きさが類似した部品類を１カ所にまとめて配置することが可能となり、従来のように複数の製造工程に係る部品類を１カ所にまとめて配置するものと比較して、部品類によって占有される空間を縮小することも可能になる。加えて、このように単一の製造工程に特有の部品類が１カ所にまとめて配置されることで、各製造工程にかかる作業を実施する人員は、該作業時に用いる部品類の抽出を容易に行うことができ、その作業効率が向上することにもなる。

請求項９に記載の発明は、前記複数の作業スペースにおいては、前記製造工程の順に、該製造工程に対応付けられた作業スペースが並設されていることをその要旨とする。
上記製法によれば、複数の作業スペースが、基板処理装置の製造に係る工程順に並んで設けられているため、ユニットを搬送する距離の増大を抑制し、ユニット搬送に係る時間の長期化も抑制可能となる。

請求項１０に記載の発明は、前記ユニットの搬送には、前記ユニットが載置される架台と、前記架台と該架台が配置された面との間に圧縮空気が充填される充填部とを備え、該充填部に充填された圧縮空気の層によって前記架台をその配置された面から浮かせた状態で、前記ユニットを搬送する空気式搬送機が用いられることをその要旨とする。

上記製法によれば、ユニットの搬送時には、ユニットの載置された架台を、その配置面から浮いた状態とする空気式搬送機が用いられるため、架台とその配置面との間に生じる摩擦を減少させることができ、ユニットの搬送に係る力を縮小することが可能ともなる。

請求項１１に記載の発明は、当該インライン型基板処理装置は、複数の異なるユニットを含んでなるものであり、前記複数の製造工程の各々では、前記複数の異なるユニットに対して行われる作業内容の少なくとも一部が共通していることをその要旨とする。

上記製法によれば、各異なるユニットに対する作業が同時期に実行可能となる。つまり、当該製造システム内では、作業内容の少なくとも一部が共通しているとはいえ、互いに異なる作業内容を含んだユニット、ひいては構成の異なるユニット、それらの製造が同時期に実行可能になる。また、各々の製造工程において、組み付ける部品の種類が同じであるものの型番が異なる、あるいは、電気的な性能の試験を行うもののその規格が異なる、等々というように、多少の違いこそあれほぼ同様の作業のみが実行されることになる。これにより、例えば各製造工程での作業が作業員によって行われる場合には、作業員は、各担当の製造工程においてほぼ同様の作業のみを行えばよいことになり、その作業に対する
習熟度合いの向上に係る期間が短縮可能となる。すなわち、各作業員の作業効率が向上するまでの期間を短縮することが可能ともなる。また、各製造工程での作業がロボット等により行われる場合であれ、これに与える指示内容がほぼ同様になることから、その指示プログラム等の構成が複雑化することを抑制可能にもなる。

本発明の一実施の形態に係るインライン型基板処理装置の製造システムを模式的に示す模式図。 同実施の形態に係る製造工程を工程順に示した表。 同実施の形態におけるユニットの斜視構造を示す斜視図。 同実施の形態における空気式搬送機の斜視構造を示す斜視図。 従来のインライン型基板処理装置の製造システムを模式的に示す模式図。

以下、本発明に係るインライン型基板処理装置の製造システムを、太陽電池を製造する装置の製造システム、及び該製造システムにて運用される製造方法に適用した一実施の形態について、図１〜図４を参照して説明する。

図１は、太陽電池の製造装置の製造システムを模式的に示している。なお、この製造システムによって製造される太陽電池の製造装置は、複数のチャンバを有し、これらが縦列して且つ互いに連結された、いわゆるインライン型の製造装置である。

同図１に示されるように、太陽電池を製造するシステムである工場Ｆは、矩形状をなしており、この工場Ｆには、その内部で使用されるあらゆる物品、装置等や作業を行う作業員等が出入りする搬出入口Ｇが長手方向の一端に設けられている。また、同工場Ｆには、上記搬出入口Ｇが設けられた位置を除いた内周に沿って、太陽電池の製造装置の製造に係る作業が実施される作業スペースＳが設けられているとともに、この作業スペースＳにて囲まれた空間には、上記作業を準備する作業準備スペースＳＳが設けられている。

これら工場Ｆ内に配置されるスペースＳ，ＳＳのうち、作業スペースＳは、各製造工程に対応付けられた各作業スペース、例えば組立作業スペース１１〜１７、電気工事スペース３１〜３３、リークテストスペース４１、テストスペース５１〜５３、及び出荷スペース６１等々を含んで構成されている。加えて、作業スペースＳは、これら各種作業スペースの他に、作業が実行されない仮置きスペース２１，２２も２カ所設けられている。一方、作業準備スペースＳＳは、こうした作業スペースＳにて実行される、組み付け工程や電気工事工程等の作業に際して必要とされる部品、あるいは用いられる工具等の置き場所や、予備的な部品の組み立て場所として使用されるものである。また、この作業準備スペースＳＳは、その領域が上記作業スペースＳに含まれる各種作業スペース毎に区分されて用いられている。すなわち、作業準備スペースＳＳも上記作業スペースＳと同様、各製造工程に対応付けられていることになる。

このように構成された工場Ｆでは、まず、太陽電池の製造装置を構成する２つのチャンバが上記搬出入口Ｇから工場Ｆ内部に搬入され、この搬入されたチャンバが、作業スペースＳのうち、最も搬出入口Ｇ側に設けられ、且つ１番目の製造工程に対応付けられた作業スペースである組立作業スペース１１に配置される。その後、組立作業スペース１１での作業が完了した２つのチャンバは、その次の製造工程に対応する組立作業スペース１２に搬送される。ここでは、これら２つチャンバが連結され、これ以降、この２つのチャンバが１組のユニットとして各種作業に供されることになる。そして、こうしたユニットは、各作業スペースにてこれに対応する製造工程に係る作業が完了すると、順次その次の作業スペースへ搬送されて作業に供される。このようにして最終工程に対応した出荷スペース
６１にまで搬送されてその作業が完了すると、搬出入口Ｇから搬出され、出荷先へと運搬されることになる。なお、本実施の形態では、ある２つのチャンバに対する第１工程である組立スペース１１での作業が終了し、次工程に対応した組立作業スペース１２に搬送されると同時に、次の２つのチャンバを搬入するようにしている。これに加え、各作業スペースで実行される作業を同一の期間内、例えば２日以内にて終了するように該作業スペースにて実行される作業を調整し、次工程への搬送タイミングも各作業スペース間で揃えるようにしている。つまり、例えば１つの太陽電池の製造装置が１２のチャンバ、換言すれば６つのユニットから構成される装置である場合、上記工場Ｆの作業スペースＳ内には、最大で３製品分のユニットが同時に処理されることになる。

こうした製造システムによれば、複数の製造工程の各々に対応付けられた作業スペース１１〜１７，２１，２２，３１〜３３，４１，５１〜５７，６１のそれぞれにおいて、各異なるユニットに対する作業が同時期に実行可能となる。また、こうして各製造工程に対応付けられた作業スペース１１〜１７，２１，２２，３１〜３３，４１，５１〜５７，６１にて実行される作業を準備するスペース、例えば製造工程に必要とされる部品等の置き場として用いられる作業準備スペースＳＳも、各々の製造工程にのみ用いられることになる。そのため、各作業準備スペースに置かれる部品や道具類、及び作業準備、例えば複数の部品同士の組立等も単一の製造工程分で足りることになる。故に、各製造工程での作業に必要とされる部品の抽出や、その管理、あるいはその整理作業が簡易なものとなる。また、単一の製造工程に特有の部品類、つまり、形状や大きさが類似した部品類を１カ所にまとめて配置することが可能となり、従来のように複数の製造工程に係る部品類を１カ所にまとめて配置するものと比較して、部品類によって占有される空間を縮小することも可能になる。

また、例えば、従来のように製造装置を構成するユニットの全てを縦列に配置したまま、装置の完了まで作業をするものの場合、同時に作業可能なユニット数を増大させるためには、工場Ｆそのものの大きさを拡大する必要がある。これに対し、本実施の形態では、ある２つのチャンバに対する第１工程での作業が終了次第、次のチャンバを搬入するとともに、各作業スペースでの作業を完了させるまでの期間と、各作業スペース間での搬送タイミングとを作業スペースＳを構成する各作業スペース間で統一するようにしている。そのため、上述のように作業準備スペースＳＳが縮小される分、作業スペースＳとして使用可能な空間が拡大されることとの相乗によって、同時期に作業可能なユニット数を増大させることも可能となる。加えて、各作業スペースでの作業を完了させるまでの期間をそれぞれ、例えば２日間等の同一期間としていることから、１製品を完成させるまでの日程の管理も容易となる。さらに、このように同一期間にて各製造工程に係る作業を完了させるよう設定することにより、各工程の進捗状況から、所定期間よりも短い時間にて完了する工程や、これとは逆に所定期間内では完了しない虞がある工程の判別が容易となる。つまり、これに応じて作業人員の増減等の判断もより容易にできるようになる。

次に、先の図１に示される作業スペースＳに含まれる各作業の内容について、図２を参照して説明する。同図２には、上記太陽電池の製造装置の製造工程に係る各製造工程の名称と、これが実施される各作業スペース（図１）、及びその作業内容が示されている。なお、本実施の形態では上述したように、これら各工程では基本的に２つのチャンバからなるユニットに対して作業が実施される。また、上記製造装置を構成する６つの各ユニットは、それぞれ同一の作業スペースＳを経由するとともに、各作業スペースにて同一カテゴリに属する作業、換言すれば属性が同じ作業を施されることになるものの、各ユニットにはユニット各々に特化した部品の取り付けや、電気配線の工事、あるいは各種検査等が実施される。

図２に示されるように、上記製造工程は大別すると、各種部品の組み付け工程、換言す
れば取り付け工程を含む組立工程、電気工事工程、リークテスト工程、テスト工程、及び出荷工程からなる。また、組立工程と電気工事工程との間、及び電気工事工程とリークテスト工程との間、つまり、ユニットに対して施される作業の内容が著しく変化する工程間に仮置きがなされることとする。

上記大別された工程のそれぞれについて詳述すれば、まず、組立工程は、組立工程１から組立工程７までの７つの工程からなり、これら工程にはそれぞれ組立作業スペース１１から組立作業スペース１７（図１）が対応付けられている。これら組立工程１〜７のうち、組立工程１では、組立作業スペース１１にて２つのチャンバを仕切る仕切弁、製造装置の操作員がチャンバ内部を視認するための窓ガラス、及びチャンバ内で基板を搬送する内部搬送系部品の取り付け等が実施される。なお、このとき２つのチャンバはそれぞれ、同チャンバを構成する矩形の枠体が倒された状態でチャンバが固定される脚部上に載置されている。そして、組立工程２では、組立作業スペース１２にてこれらチャンバが脚部上に立設されるとともに、チャンバ同士及び２つのチャンバと脚部とが連結されて、上述のユニットが構成される。また、ユニットの脚部の両端にはそれぞれ、該ユニットの搬送装置である空気式搬送機が１つずつ設置される。これ以降、ユニットは空気式搬送機により各作業スペース間を搬送される。次いで、組立工程３では、組立作業スペース１３にて上記組立工程１で取り付けた仕切弁及び内部搬送系の調整を行う。そして、組立工程４では、組立作業スペース１４にてチャンバあるいはその内部に搬入された基板を加熱するヒータ系の組み立て、また、組立工程５では、組立作業スペース１５にてチャンバ内にガスや空気を供給するガス系や圧縮空気系の部品、及び冷却水が流通する冷却水系の組み立てが行われる。その後、組立工程６では、組立作業スペース１６にて電極部の組み立てが、そして、最終の組立工程である組立工程７では、組立作業スペース１７にてチャンバに供給されるガス種に応じたガスボックスの取り付けが行われる。

次に、電気工事工程１〜３では、それぞれ電気工事スペース３１〜３３にて、チャンバの各部位に電気配線を接続する作業、及び電気系統を制御する制御盤の取り付けが行われる。

なお、こうした組立工程、及び電気工事工程の各々にて必要な部品は、工場Ｆへの納入時に行われる受入検査の終了後、１製品及びこれを構成するユニット毎、あるいは一のユニットに係る製造図面等毎に分配される。そして、こうして分配された部品は更に、上記製造工程毎に分配される。つまり、納入された部品は予め各ユニットの、しかもその製造工程毎に分配されることになる。このように各ユニットの製造工程毎に分配された部品は、各製造工程に対応付けられた作業準備スペースに設けられた部品収容部に供給されることとなる。

そして、リークテスト工程では、リークテストスペース４１にて各チャンバの真空性能、つまり気体の漏れがあるか否かが検査され、次のテスト工程１〜３では、テストスペース５１〜５３にて、冷却水及び圧縮空気についての気密性の検査、配線やＩ／Ｏ等の電装系の検査、そして、各種バルブや内部搬送系の動作確認の作業が実施される。

最後に、出荷工程では、出荷スペース６１にてユニットの品質検査と出荷のための梱包作業が実施され、これが完了すると、工場Ｆの搬出入口Ｇからユニット毎に出荷させることになる。

このように構成された工場Ｆ、すなわち製造システムでは、複数の各作業スペース１１〜１７，２１，２２，３１〜３３，４１，５１〜５７，６１（図１）が、太陽電池の製造装置の製造工程順に並んで設けられているため、ユニットを搬送する距離の増大を抑制し、ユニット搬送に係る時間の長期化も抑制可能となる。

また、各々の製造工程においては、組み付ける部品の種類が同じであるものの型番が異なる、こうした部品の組み付け工程における組み付け作業の際に型番が異なるものの同一の道具を用いる、あるいは、電気的な性能の試験を行うもののその規格が異なる、等々というように、多少の違いこそあれほぼ同様の作業、すなわち作業内容の少なくとも一部が共通する作業のみが実行されることになる。これにより、例えば各製造工程での作業が作業員によって行われる場合には、作業員は、各担当の製造工程においてほぼ同様の作業のみを行えばよいことになり、その作業に対する習熟度合いの向上に係る期間が短縮可能となる。つまり、各作業員の作業効率が向上するまでの期間を短縮することが可能ともなる。また、各製造工程での作業がロボット等により行われる場合であれ、これに与える指示内容がほぼ同様になることから、その指示プログラム等の構成が複雑化することを抑制可能にもなる。

加えて上述のように、作業スペースＳには、組立工程と電気工事工程との間、及び電気工事工程とリークテスト工程との間にそれぞれ仮置きスペース２１，２２（図１）が設けられている。そのため、例えば組立工程あるいは電気工事工程にて必要とされる部品が不足したとしても、これら仮置きスペース２１，２２にユニットを置くことで、該仮置きスペースへの配置中に上記不足部品を調達してこれをユニットに組み付けること等が可能となり、他のユニットＵの作業スペースの搬送流れを止めることなく、且つ、これら組立工程及び電気工事工程の後段の各種テスト工程の実施時には、ユニットの組立が完了している可能性を高めることができる。

また、当該太陽電池の製造装置の製造システムが、互いに異なる複数のユニットのそれぞれに対応した部品を各別に収容する部品収容部を備えるようにしているため、一の製造工程に対応付けられた作業スペースにて複数の異なるユニットに対する組み付け作業が順次実行されたとしても、該製造工程に係る部品をユニット毎に把握でき、その管理が容易となる。また、作業間での部品の取り違えが抑制され、組み付け作業の各々に係る精度が向上されることともなる。

次に、先の図２に示される組立工程２にて、２つのチャンバ及びこれが載置された脚部とからなるユニットに接続される空気式搬送装置の詳細を、図３及び図４を参照して説明する。

図３は、２つのチャンバ同士が連結された状態で脚部に載置されたユニットと、これに接続された空気式搬送機との斜視構造を示している。同図３に示されるように、チャンバＣ１とチャンバＣ２とは、それぞれを構成する枠体Ｃ１ａ，Ｃ２ａの対応する１辺同士が連結されている。そして、この連結された２つのチャンバＣ１，Ｃ２は、２つのチャンバＣ１，Ｃ２それぞれが載置される２つの載置台Ｐ１ａ，Ｐ２ａと、これら載置台Ｐ１ａ，Ｐ２ａの両端に接続された脚部Ｐ１ｂ，Ｐ２ｂ，Ｐ１ｃ，Ｐ２ｃとを備える台座Ｐに連結されてユニットＵを構成している。また、この台座Ｐの４つの脚部Ｐ１ｂ，Ｐ１ｃ，Ｐ２ｂ，Ｐ２ｃのうちの外側の２つの脚部Ｐ１ｂ，Ｐ２ｂにはそれぞれ空気式搬送機Ａ１，Ａ２が接続されている。

この空気式搬送機Ａ１について、図４を参照して詳述する。なおここでは便宜上、空気式搬送機Ａ１について説明するものの、空気式搬送機Ａ２についてもこれと同様の構成である。同図４に示されるように、空気式搬送機Ａ１は、連結部材Ａ１ａと、その両端部付近の２つの架台Ａ１ｂとを備えている。この架台Ａ１ｂは、連結部材Ａ１ａに接続されて、上記ユニットＵの脚部Ｐ１ｂが載置される載置部Ａ１ｃと、該載置部Ａ１ｃと地面との間に設けられて、図示しない圧縮空気供給部によって圧縮空気が充填される充填部Ａ１ｄとを含んで構成される。また、連結部材Ａ１ａには、これの上記載置部Ａ１ｃが設けられ
た位置に対応して、同載置部Ａ１ｃとは直交する方向に延設された操作部Ａ１ｅが設けられている。なお、当該空気式搬送機Ａ１を用いてユニットＵを搬送する作業員は、この操作部Ａ１ｅを用いて空気式搬送機Ａ１の進行及び停止操作を行う。

先の図２に示される組立工程２においては、台座Ｐの載置台Ｐ１ａ，Ｐ２ａ上にチャンバＣ１，Ｃ２が載置され、これらチャンバＣ１，Ｃ２が連結されることでユニットＵが構成される。その後、台座Ｐの脚部Ｐ１ｂ、Ｐ２ｃのそれぞれに、空気式搬送機Ａ１，Ａ２の載置部の上面を当接させる。そして、ユニットＵの搬送時には、空気式搬送機Ａ１，Ａ２の充填部に図示しない空気充填部より圧縮空気が充填されて、充填部とこれの配置面、つまり工場Ｆのフロアとの間に空気層が形成され、充填部とフロアとの間に空隙が生じることになる。このように、空気式搬送機Ａ１，Ａ２の充填部、ひいてはユニットＵ全体が工場Ｆのフロアから浮いた状態で各作業スペース１１〜１７，２１，２２，３１〜３３，４１，５１〜５７，６１（図１）間を搬送されることになる。なお、各作業スペース１１〜１７，２１，２２，３１〜３３，４１，５１〜５７，６１へのユニットＵの搬送が完了すると、上記充填部に充填された空気が抜かれた後、上記台座Ｐと空気式搬送機Ａ１，Ａ２との接続が解除される。つまり、ユニットＵが工場Ｆのフロアに固定された状態で、各種作業が実施されることとなる。

こうした空気式搬送機Ａ１，Ａ２を用いることにより、ユニットＵの搬送に際しては、該ユニットＵの載置された架台Ａ１ｂを、その配置面、例えば工場Ｆのフロアから浮いた状態でこれを移動可能とするため、架台Ａ１ｂとその配置面との間に生じる摩擦を減少させることができ、ユニットＵの搬送に係る力を縮小することが可能となる。

以上説明したように、本実施の形態に係る基板処理装置の製造システムによれば、以下に列挙する効果が得られるようになる。
（１）一のユニットＵに係る複数の製造工程に対応付けられた複数の作業スペース１１〜１７，２１，２２，３１〜３３，４１，５１〜５７，６１と、複数の工程の各々に対応付けられて工程毎の作業の準備に用いられる複数の作業準備スペースと、複数の作業スペース１１〜１７，２１，２２，３１〜３３，４１，５１〜５７，６１における作業が終了する毎に、当該工程に対応する作業スペースから当該工程の次の工程に対応する作業スペースまでユニットＵを搬送する空気式搬送機Ａ１，Ａ２とを含んで当該製造システムが構成されるようにした。これにより、各製造工程に対応付けられた作業スペース１１〜１７，２１，２２，３１〜３３，４１，５１〜５３，６１にて実行される作業を準備するスペース、例えば製造工程に必要とされる部品等の置き場として用いられる作業準備スペースが、各々の製造工程にのみ用いられることになる。そのため、各作業準備スペースに置かれる部品や用具類、及び作業準備、例えば複数の部品同士の組立等も一の製造工程分で足りることになる。故に、各製造工程での作業に必要とされる部品の抽出や、その管理、あるいはその整理作業が簡易なものとなることから、当該システムにおけるインライン型基板処理装置の製造にかかる作業の効率を向上させることができる。また、こうして複数の製造工程の各々に対応付けられた作業スペース１１〜１７，２１，２２，３１〜３３，４１，５１〜５３，６１のそれぞれにおいて、各異なるユニットＵに対する作業が同時期に実行可能ともなる。さらには、上述のような製造工程と作業スペース・作業準備スペースとの対応付けにより、単一の製造工程に特有の部品類、つまり、形状や大きさが類似した部品類を１カ所にまとめて配置することが可能となり、従来のように複数の製造工程に係る部品類を１カ所にまとめて配置するものと比較して、部品類によって占有される空間を縮小することも可能になる。加えて、このように単一の製造工程に特有の部品類が１カ所にまとめて配置されることで、各製造工程にかかる作業を実施する人員は、該作業時に用いる部品類の抽出を容易に行うことができ、その作業効率が向上することにもなる。

（２）また、ある２つのチャンバに対する第１工程での作業が終了次第、次のチャンバ
を搬入するとともに、各作業スペース１１〜１７，２１，２２，３１〜３３，４１，５１〜５３，６１での作業を完了させるまでの期間と、各作業スペース１１〜１７，２１，２２，３１〜３３，４１，５１〜５３，６１間での搬送タイミングとを作業スペースＳを構成する各作業スペース１１〜１７，２１，２２，３１〜３３，４１，５１〜５３，６１間で統一するようにした。そのため、上述のように作業準備スペースＳＳが縮小される分、作業スペースＳとして使用可能な空間が拡大されることとの相乗によって、同時期に作業可能なユニット数を増大させることも可能となる。

（３）各作業スペース１１〜１７，２１，２２，３１〜３３，４１，５１〜５３，６１での作業を完了させるまでの期間をそれぞれ、例えば２日間等の同一期間とした。これにより、１製品を完成させるまでの日程の管理も容易となる。

（４）加えて、このように同一期間にて各製造工程に係る作業を完了させるよう設定することにより、各工程の進捗状況から、所定期間よりも短い時間にて完了する工程や、これとは逆に所定期間内では完了しない虞がある工程の判別が容易となる。つまり、これに応じて作業人員の増減等の判断もより容易にできるようになる。

（５）作業スペースＳ内に、製造工程に対応付けられた複数の作業スペース１１〜１７，２１，２２，３１〜３３，４１，５１〜５３，６１を、太陽電池の製造装置の製造に係る工程順に並んで配設するようにした。これにより、ユニットＵを搬送する距離の増大を抑制し、ユニットＵの搬送に係る時間の長期化も抑制可能となる。

（６）各々の製造工程において、組み付ける部品の種類が同じであるものの型番が異なる、あるいは、電気的な性能の試験を行うもののその規格が異なる、等々というように、多少の違いこそあれほぼ同様の作業のみを実行するようにした。これにより、例えば各製造工程での作業が作業員によって行われる場合には、作業員は、各担当の製造工程においてほぼ同様の作業のみを行えばよいことになり、その作業に対する習熟度合いの向上に係る期間が短縮可能となる。すなわち、各作業員の作業効率が向上するまでの期間を短縮することが可能ともなる。また、各製造工程での作業がロボット等により行われる場合であれ、これに与える指示内容がほぼ同様になることから、その指示プログラム等の構成が複雑化することを抑制可能にもなる。

（７）作業スペースＳには、組立工程と電気工事工程との間、及び電気工事工程とリークテスト工程との間にそれぞれ仮置きスペース２１，２２を設けるようにした。そのため、例えば組立工程あるいは電気工事工程にて必要とされる部品が不足したとしても、これら仮置きスペース２１，２２にユニットＵを置くことにより、該仮置きスペースへの配置中に上記不足部品を調達してこれをユニットに組み付けること等が可能となることにより、他のユニットＵの作業スペースの搬送流れを止めることなく、且つ、これら工程の後段の各種テスト工程の実施時には、ユニットＵの組立が完了している可能性を高めることができる。

（８）また、複数の製造工程の各々に対応付けられた作業スペース１１〜１７，２１，２２，３１〜３３，４１，５１〜５３，６１のそれぞれにおいて、各異なるユニットに対する作業が同時期に実行可能となる。つまり、当該製造システム内では、作業内容の少なくとも一部が共通しているとはいえ、互いに異なる作業内容を含んだユニット、ひいては構成の異なるユニット、それらの製造が可能になる。

（９）当該製造システムが、互いに異なる複数のユニットＵのそれぞれに対応した部品を各別に収容する部品収容部を備えるようにした。これにより、単一の製造工程に対応付けられた各作業スペース１１〜１７，２１，２２，３１〜３３，４１，５１〜５３，６１
にて複数の異なるユニットＵに対する組み付け作業が順次実行されたとしても、該製造工程に係る部品をユニットＵ毎に把握でき、その管理が容易となる。また、作業間での部品の取り違えが抑制され、組み付け作業の各々に係る精度が向上されることともなる。

（１０）ユニットＵの搬送時には、ユニットＵの載置された台座Ｐ、より正確にはその脚部Ｐ１ｂ，Ｐ２ｃを、その配置面である工場Ｆのフロアから浮いた状態で移動させる空気式搬送機Ａ１，Ａ２を用いるようにした。これにより、脚部Ｐ１ｂ，Ｐ２ｃと工場Ｆのフロアとの間に生じる摩擦を減少させることができ、ひいてはユニットＵの搬送に係る力を縮小することが可能となる。

なお、上記実施の形態は、これを適宜変更した以下の態様にて実行することも可能である。
・各ユニットＵの構成要素として２つのチャンバＣ１，Ｃ２が含まれることとしたが、各ユニットＵに１つのチャンバのみが含まれる、あるいは、２以外の複数のチャンバが含まれるようにしてもよい。

・空気式搬送機Ａ１には、１つの連結部材Ａ１ａに対し、載置部Ａ１ｃと充填部Ａ１ｄとを含む架台Ａ１ｂ及び操作部Ａ１ｅの組が２組ずつ設けられるようにした。これに限らず、架台Ａ１ｂと操作部Ａ１ｅとの組を１組設ける、あるいは２以上の複数の組を設ける等、その数は適宜変更可能である。

・チャンバＣ１，Ｃ２を台座Ｐの載置台のＰ１ａ，Ｐ２ａに立設するようにしたが、これに限らず、各作業スペースにて実施される作業が可能である場合には、チャンバＣ１，Ｃ２を倒した状態で各製造工程を経るようにしてもよい。

・組立工程と電気工事工程との間、及び電気工事工程とリークテスト工程との間に仮置き工程を設けるようにした。これに限らず、仮置き工程は、そのいずれかのみ設ける、あるいはその両方を割愛するようにしてもよい。

・太陽電池の製造装置の製造に係る工程は、上記すなわち先の図２等の記載に限らず、その仕様によって適宜変更可能である。
・作業準備スペースＳＳには、各作業スペース１１〜１７，２１，２２，３１〜３３，４１，５１〜５３，６１に対応付けられた領域毎に部品収容部を設けるようにした。これに限らず、該部品収容部は割愛してもよい。

・各異なるユニットＵを複数備える太陽電池の製造装置を製造するシステムとした。これに限らず、全く同一のユニットＵを複数備える太陽電池の製造装置を製造するシステムとしてもよい。また、同一のユニットＵを複数と、互いに異なるユニットＵとを複数備えるような太陽電池の製造装置の製造システムとしても採用可能である。

・各作業スペース１１〜１７，２１，２２，３１〜３３，４１，５１〜５３，６１間でユニットＵを搬送する装置は、上記空気式搬送機Ａ１，Ａ２に限らず、例えばクレーン等によりユニットＵを搬送するようにしてもよい。

・作業スペースＳに含まれる各作業スペース１１〜１７，２１，２２，３１〜３３，４１，５１〜５３，６１を製造工程の順に配置するようにした。これに限らず、その配置順序は任意に変更可能である。ただし、製造工程の順に各作業スペース１１〜１７，２１，２２，３１〜３３，４１，５１〜５３，６１を配置することで、ユニットＵの搬送に係る時間を短縮できるようにはなる。

・工場Ｆの搬出入口Ｇが設けられた位置を除いた内周に沿って、太陽電池の製造装置の製造に係る作業が実施される作業スペースＳを設けるようにした。これに限らず、作業スペースＳの配置は適宜変更可能であり、例えば工場Ｆの長手方向に沿った直線をなす態様等にて作業スペースＳを配置するようにしてもよい。この場合、搬入したチャンバＣ１，Ｃ２は、上記搬出入口Ｇから最も遠い作業スペースに最初に配置してもよいし、すなわち、搬出入口Ｇから最も近接した領域を最終の製造工程に対応した作業スペースの配置領域としてもよいし、搬出入口Ｇに最も近い作業スペースに最初に配置してもよい、すなわち、搬出入口Ｇに最も近接した領域を最初の製造工程に対応した作業スペースの配置領域としてもよい。なお、搬出入口Ｇに最も近い作業スペース、あるいは最も遠い作業スペースにチャンバＣ１，Ｃ２を最初に配置するのであれば、搬出入口Ｇと対向する位置にも搬出入口を設けるようにし、これらのいずれかを搬入口として、そして、他方を搬出口として用いるようにしてもよい。また、こうした作業スペースＳの変更に伴い、作業準備スペースＳＳの配置も適宜変更可能である。

・組立作業スペース１１から組立作業スペース１２へのチャンバＣ１，Ｃ２の搬送を除き、作業スペース１２〜１７，２１，２２，３１〜３３，４１，５１〜５３，６１間にて、空気式搬送機Ａ１，Ａ２を用いてのユニットＵの搬送を実行するようにした。これに限らず、太陽電池の製造装置の製造に係る全工程の少なくとも一部で、こうしたユニットＵの搬送が実行されていればよい。

・本発明は、太陽電池の製造装置の製造システムに限らず、インライン型の基板処理装置の製造システム、例えば表示装置の製造装置等の製造システム等にも採用可能である。

１１〜１７…組立作業スペース、２１，２２…仮置きスペース、３１，３２，３３…電気工事スペース、４１…リークテストスペース、５１，５２，５３…テストスペース、６１…出荷スペース、Ａ１，Ａ２…空気式搬送機、Ａ１ａ…連結部材、Ａ１ｂ…架台、Ａ１ｃ…載置部、Ａ１ｄ…充填部、Ａ１ｅ…操作部、Ｃ１，Ｃ２…チャンバ、Ｃ１ａ，Ｃ２ａ…枠体、Ｆ…工場、Ｇ…搬出入口、Ｐ…台座、Ｐ１ａ，Ｐ２ａ…載置台、Ｐ１ｂ，Ｐ１ｃ，Ｐ２ｂ，Ｐ２ｃ…脚部、Ｒ…経路、Ｓ…作業スペース、ＳＳ…作業準備スペース、Ｕ，Ｕ１〜Ｕ７…ユニット。

Claims (11)

1. 複数のチャンバが縦列に連結されてなるインライン型基板処理装置を少なくとも１つの前記チャンバから構成されるユニット毎に製造するインライン型基板処理装置の製造システムであって、
   一のユニットに係る複数の製造工程に対応付けられて複数のユニットが配置される複数の作業スペースと、
   前記複数の製造工程の各々に対応付けられて前記工程毎の作業の準備に用いられる複数の作業準備スペースと、
   前記複数の作業スペースにおける作業が終了する毎に、当該工程に対応する作業スペースから当該工程の次の工程に対応する作業スペースまで前記ユニットを搬送する搬送装置とを備える
   ことを特徴とするインライン型基板処理装置の製造システム。
2. 前記複数の作業スペースにおいては、前記製造工程の順に、該製造工程に対応付けられた作業スペースが並設されている
   請求項１に記載のインライン型基板処理装置の製造システム。
3. 前記搬送装置は、
   前記ユニットが載置される架台と、
   前記架台と該架台が配置された面との間に圧縮空気が充填される充填部とを備え、
   該充填部に充填された圧縮空気の層によって前記架台をその配置された面から浮かせた状態で、前記ユニットを搬送する空気式搬送機である
   請求項１又は２に記載のインライン型基板処理装置の製造システム。
4. 当該インライン型基板処理装置は、複数の異なるユニットを含んでなるものであり、
   前記複数の製造工程の各々では、前記複数の異なるユニットに対して行われる作業内容の少なくとも一部が共通している
   請求項１〜３のいずれか一項に記載のインライン型基板処理装置の製造システム。
5. 請求項４に記載のインライン型基板処理装置の製造システムにおいて、
   前記製造工程は、前記複数の異なるユニットに対する部品の組み付け工程を含んでなるものであり、
   前記組み付け工程に対応付けられた作業準備スペースには、前記複数の異なるユニットの各々に対応した部品を収容する部品収容部を更に備える
   ことを特徴とするインライン型基板処理装置の製造システム。
6. 請求項１〜５のいずれか一項に記載のインライン型基板処理装置の製造システムにおいて、
   前記ユニットを仮置きする仮置きスペースを更に備える
   ことを特徴とするインライン型基板処理装置の製造システム。
7. 請求項１〜６のいずれか一項に記載のインライン型基板処理装置の製造システムにおいて、
   前記ユニットを構成する前記チャンバを搬入する搬入口と、
   前記ユニットを搬出する搬出口と、を備え、
   前記複数の製造工程の最初の製造工程に対応する作業スペースの配置領域が前記搬入口に最も近接した領域とされること、及び、前記複数の製造工程の最終の製造工程に対応する作業スペースが前記搬出口に最も近接した領域とされることとの少なくとも一方が満たされるように、前記最初の製造工程に対応する作業スペース及び前記最終の製造工程に対
   応する作業スペースの少なくとも一方が配置される
   ことを特徴とするインライン型基板処理装置の製造システム。
8. 複数のチャンバが縦列に連結されてなるインライン型基板処理装置を少なくとも１つの前記チャンバから構成されるユニット毎に製造するインライン型基板処理装置の製造方法において、
   一のユニットに係る複数の製造工程の各々に対応付けられた複数の作業スペースの各々に配置された複数のユニットに対して、前記複数の製造工程の各々に対応付けられて前記製造工程毎の作業の準備に用いられる複数の作業準備スペースを用いた作業が実行される際に、
   前記ユニットを搬送する搬送装置が、前記複数の作業スペースにおける作業が終了する毎に、前段の製造工程に対応付けられた作業スペースから当該前段の製造工程の次の製造工程に対応付けられた作業スペースまで前記ユニットを搬送する
   ことを特徴とするインライン型基板処理装置の製造方法。
9. 前記複数の作業スペースにおいては、前記製造工程の順に、該製造工程に対応付けられた作業スペースが並設されている
   請求項８に記載のインライン型基板処理装置の製造方法。
10. 前記ユニットの搬送には、
    前記ユニットが載置される架台と、
    前記架台と該架台が配置された面との間に圧縮空気が充填される充填部とを備え、
    該充填部に充填された圧縮空気の層によって前記架台をその配置された面から浮かせた状態で、前記ユニットを搬送する空気式搬送機が用いられる
    請求項８又は９に記載のインライン型基板処理装置の製造方法。
11. 当該インライン型基板処理装置は、複数の異なるユニットを含んでなるものであり、
    前記複数の製造工程の各々では、前記複数の異なるユニットに対して行われる作業内容の少なくとも一部が共通している
    請求項８〜１０のいずれか一項に記載のインライン型基板処理装置の製造方法。

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