JP2011036995A - ナノチューブ構造の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明のナノチューブの製造方法は、以下のステップを備える。基板1を準備する。前記基板1上に先ずシード層11を形成させてから、水熱法によって相対的に低い温度下で前記シード層11上に所定のサイズを有するナノワイヤを成長させる。前記ナノワイヤの表面に外部被覆層を形成させる。前記外部被覆層の先端に選択エッチングを施して、前記ナノワイヤの先端を露出させる。前記ナノワイヤ全体を取り除いて、中空状の前記外部被覆層を残して、数個のナノチューブ3’を形成させる。前記製造方法は、ナノチューブの製造工程を簡素化し、ナノチューブのサイズの精度及び素子の光電特性を高める。
【選択図】図1F
Description
11 シード層(seed layer)
2 ナノワイヤ(nanowires)
3 外部被覆層
3’ ナノチューブ
Claims (20)
- 基板を準備するステップと、
前記基板上に数個のナノワイヤを成長させるステップと、
前記ナノワイヤの表面に外部被覆層を形成させるステップと、
前記外部被覆層の先端に選択エッチングを施すことで、前記ナノワイヤの先端を露出させるステップと、
前記ナノワイヤ全体を除去して、中空状の前記外部被覆層を残すことで、数個の中空のナノチューブを形成させるステップと、
を備えることを特徴とするナノチューブ構造の製造方法。 - 前記基板の材料は、半導体材料、ガラス、セラミック、金属、高分子ポリマーまたはサファイアから選択されることを特徴とする、請求項1に記載のナノチューブ構造の製造方法。
- 先ず前記基板上にシード層を堆積させてから、前記シード層を利用して、前記ナノワイヤを成長させることを特徴とする、請求項1に記載のナノチューブ構造の製造方法。
- 前記シード層の材料は、耐酸性・耐アルカリ性の高い導電金属材料または半導体材料から選択されることを特徴とする、請求項3に記載のナノチューブ構造の製造方法。
- 前記耐酸性・耐アルカリ性の高い導電金属材料または半導体材料は、アルミ亜鉛酸化物、インジウム・亜鉛酸化物、ガリウム・亜鉛酸化物または酸化亜鉛から選択されることを特徴とする、請求項4に記載のナノチューブ構造の製造方法。
- 前記シード層の厚度は、100から500ナノメートルの間であることを特徴とする請求項3に記載のナノチューブ構造の製造方法。
- 水熱法を利用して、前記基板のシード層上に前記ナノワイヤを成長させることを特徴とする、請求項3に記載のナノチューブ構造の製造方法。
- 前記ナノワイヤの材料は、酸化亜鉛または酸化ニッケルから選択されることを特徴とする、請求項7に記載のナノチューブ構造の製造方法。
- 前記水熱法は、硝酸亜鉛とヘキサメチレンテトラミンの混合溶液を利用して、前記基板のシード層上に酸化亜鉛の前記ナノワイヤを成長させることを特徴とする、請求項8に記載のナノチューブ構造の製造方法。
- 前記ナノワイヤの成長温度は、30から100oCの間であることを特徴とする、請求項9に記載のナノチューブ構造の製造方法。
- 化学気相堆積法、DC/RF スパッタ法、熱蒸着法または電子ビーム蒸着法を選択、利用して、前記ナノワイヤの表面に前記外部被覆層を形成させることを特徴とする、請求項1に記載のナノチューブ構造の製造方法。
- 前記ナノワイヤの材料は、前記外部被覆層の材料と異なることを特徴とする、請求項1に記載のナノチューブ構造の製造方法。
- 前記外部被覆層の材料は、絶縁材料、半導体材料、導電材料またはその組合せから選択されることを特徴とする、請求項12に記載のナノチューブ構造の製造方法。
- 前記絶縁材料は、二酸化シリコン、窒化シリコン、高誘電率材料、アルミ亜鉛酸化物、インジウム・亜鉛酸化物、ガリウム・亜鉛酸化物、酸化インジウム・スズ、酸化ニッケル、銅ホウ素酸化物、銅アルミ酸化物、銅ガリウム酸化物、銅インジウム酸化物またはその組合せから選択され、前記半導体材料は、シリコン、ガリウム砒素、ハフニウム・ランタン酸化物、チタンシリサイド、窒化チタン、窒化タンタルまたはその組合せから選択され、前記導電材料は、金、プラチナまたはその組合せから選択されることを特徴とする、請求項13に記載のナノチューブ構造の製造方法。
- 前記外部被覆層の厚度は、100から1000ナノメートルの間であることを特徴とする、請求項1に記載のナノチューブ構造の製造方法。
- ドライ方式またはウェット方式の異方性エッチングによって前記外部被覆層の先端に選択エッチングを施すことを特徴とする、請求項1に記載のナノチューブ構造の製造方法。
- 前記ドライエッチング方式は、誘導結合プラズマエッチングまたは反応性イオンエッチングから選択され、前記ウェットエッチング方式は、バッファ酸化物エッチングから選択されることを特徴とする、請求項16に記載のナノチューブ構造の製造方法。
- 前記外部被覆層の先端のエッチングの長さは、10から500ナノメートルの間であることを特徴とする、請求項1に記載のナノチューブ構造の製造方法。
- ウェットエッチング方式を利用して、前記ナノワイヤ全体を除去することを特徴とする、請求項1に記載のナノチューブ構造の製造方法。
- 前記ウェットエッチングは、燐酸混合溶液を使用することを特徴とする、請求項19に記載のナノチューブ構造の製造方法。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101220041B1 (ko) * | 2011-05-11 | 2013-01-21 | 성균관대학교산학협력단 | 버퍼층이 형성된 금속산화물 나노구조체 자외선 센서 및 이를 응용한 화재경보장치 |
KR101449643B1 (ko) * | 2013-03-18 | 2014-10-13 | 공주대학교 산학협력단 | 금속산화물 나노튜브의 제조방법 |
JP2016506076A (ja) * | 2012-12-21 | 2016-02-25 | アレディア | Ledワイヤを備える隣接した領域の製造方法およびその製造方法により得られる装置 |
JP2019101407A (ja) * | 2017-12-05 | 2019-06-24 | 國家中山科學研究院 | 光均一性を向上できる中空ナノ構造の二次光学レンズの製作方法 |
US10790086B2 (en) | 2015-02-09 | 2020-09-29 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Method of manufacturing metal nano coil |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013175503A2 (en) * | 2012-05-22 | 2013-11-28 | Nanosniff Technologies Pvt. Ltd. | Nanostructure based mems preconcentrator |
FR3011539B1 (fr) * | 2013-10-07 | 2017-03-31 | Centre Nat Rech Scient | Substrat microstructure. |
TWI562956B (en) * | 2014-10-28 | 2016-12-21 | Univ Nat Central | Method for manufacturing metallic compound nanotube arrays |
KR102272710B1 (ko) * | 2019-11-29 | 2021-07-05 | 한국과학기술연구원 | 중공 나노 기둥이 구비된 유리의 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 중공 나노 기둥이 구비된 유리 |
CN111360269B (zh) * | 2020-04-03 | 2022-05-06 | 浙江蓝天知识产权运营管理有限公司 | 一种多级纳米结构增强的叠层状镍基复合材料及其制备方法 |
CN111807315B (zh) * | 2020-07-20 | 2023-10-03 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种导电氧化物等离激元纳米光学天线及其制备方法 |
CN112028076A (zh) * | 2020-09-04 | 2020-12-04 | 杭州电子科技大学 | 一种基于高温及电-声耦合作用的微纳空心球制备方法 |
CN115296561B (zh) | 2022-09-05 | 2023-04-28 | 广东工业大学 | 一种核壳同轴氮化镓压电纳米发电机及其加工方法 |
US11976365B1 (en) * | 2023-03-16 | 2024-05-07 | King Faisal University | Method of forming metal oxide nanostructures on a TiN-buffered-substrate |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20040175844A1 (en) * | 2002-12-09 | 2004-09-09 | The Regents Of The University Of California | Sacrificial template method of fabricating a nanotube |
Family Cites Families (1)
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---|---|---|---|---|
KR20090075554A (ko) * | 2008-01-04 | 2009-07-08 | 삼성전자주식회사 | 액정 표시 장치와 그 제조 방법 |
-
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---|---|---|---|---|
US20040175844A1 (en) * | 2002-12-09 | 2004-09-09 | The Regents Of The University Of California | Sacrificial template method of fabricating a nanotube |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
JPN6013005122; N.George Ndifor-Angwafor: 'Synthesis of ZnO nanorod/nanotube arrays formed by hydrothermal growth at a constant zinc ion concen' physica status solidi (a) 205(10), 200810, pp.2351-2354 * |
JPN6014034222; Premila Mohan et.al.: '"Realization of conductive InAs nanotubes based on lattice-mismatched InP/InAs core-shell nanowires"' APPLIED PHYSICS LETTERS 88,013110, 2006, American Institute of Physics * |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101220041B1 (ko) * | 2011-05-11 | 2013-01-21 | 성균관대학교산학협력단 | 버퍼층이 형성된 금속산화물 나노구조체 자외선 센서 및 이를 응용한 화재경보장치 |
JP2016506076A (ja) * | 2012-12-21 | 2016-02-25 | アレディア | Ledワイヤを備える隣接した領域の製造方法およびその製造方法により得られる装置 |
US11063177B2 (en) | 2012-12-21 | 2021-07-13 | Aledia | Process for producing adjacent chips comprising LED wires and device obtained by the process |
KR101449643B1 (ko) * | 2013-03-18 | 2014-10-13 | 공주대학교 산학협력단 | 금속산화물 나노튜브의 제조방법 |
US10790086B2 (en) | 2015-02-09 | 2020-09-29 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Method of manufacturing metal nano coil |
JP2019101407A (ja) * | 2017-12-05 | 2019-06-24 | 國家中山科學研究院 | 光均一性を向上できる中空ナノ構造の二次光学レンズの製作方法 |
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