JP2011029527A - Component mounting device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a component mounting device such that a rotary multi-nozzle type mounting head is shortened in response time of vacuum suction, and made compact in size on the whole. <P>SOLUTION: A plurality of suction nozzle units 20 are concentrically arranged at equal intervals on a rotary body 12 which makes an index rotation, and pluralities of valve units 21 and filters 22 are concentrically arranged outside the suction nozzle units 20. A suction hole 11b provided in a rotary shaft 11 and connected to a vacuum suction source, and the valve units 21 are connected in the rotary body 12 thorough flow passage holes 12b arranged radially between the plurality of suction nozzles units 20, the valve units 21 and filters are connected through flow passage holes 13c, and the filters 22 and suction nozzle units 20 are connected through flow passage holes 13e. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、基板に電子部品を実装する部品実装装置に関するものである。   The present invention relates to a component mounting apparatus for mounting electronic components on a substrate.

基板に電子部品を実装する部品実装装置は、部品供給部から電子部品を取り出して基板に移送搭載する搭載ヘッドを備えている。この搭載ヘッドの形態として、電子部品を吸着保持する吸着ノズルを複数備えて1回の実装ターンにおいて複数の電子部品を搭載することにより実装効率を向上させるマルチノズル型の搭載ヘッドが広く用いられている。   A component mounting apparatus for mounting an electronic component on a substrate includes a mounting head that takes out the electronic component from the component supply unit and transfers and mounts the electronic component on the substrate. As a form of this mounting head, a multi-nozzle type mounting head is widely used which includes a plurality of suction nozzles for sucking and holding electronic components and mounts a plurality of electronic components in one mounting turn to improve mounting efficiency. Yes.

このようなマルチノズル型の搭載ヘッドとして、インデックス回転する回転体に複数の吸着ノズルを同心円上に等配配置したロータリ形式のマルチノズル型ヘッドが知られている(例えば特許文献1参照)。このようなロータリ形式を採用することにより、複数の吸着ノズルを直列方向に配列した構成のマルチノズル型ヘッドと比較して、従来よりも多数の吸着ノズルを装備した場合においても搭載ヘッドのサイズをコンパクト化することができるという利点がある。   As such a multi-nozzle type mounting head, a rotary type multi-nozzle type head is known in which a plurality of suction nozzles are arranged in a concentric circle on a rotating body that rotates in an index (see, for example, Patent Document 1). By adopting such a rotary format, the size of the mounting head can be reduced even when a larger number of suction nozzles are equipped than in the past, compared to a multi-nozzle head with a configuration in which a plurality of suction nozzles are arranged in series. There is an advantage that it can be made compact.

特開平10−163677号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-163677

しかしながら上述の特許文献を含め従来の先行技術例には、吸着ノズルから真空吸引する真空吸引系のレイアウトに関連して、以下のような不都合があった。すなわち吸着ノズルによって部品を吸着することにより部品のピックアップや基板への搭載動作を行うためには、吸着ノズルから真空吸引するための真空吸引経路をオンオフする切り換え弁を必要とする。しかしながら、従来装置においては、搭載ヘッドと外部に設けられた真空吸引源と吸着ノズルとを接続する真空吸引配管の途中に切り換え弁を配置する構成となっていたため、切り換え弁から吸着ノズルの先端部までの管路長が長くなり、真空吸引オンオフ時の応答時間が長くなるという課題があった。   However, the conventional prior art examples including the above-mentioned patent documents have the following disadvantages related to the layout of the vacuum suction system for vacuum suction from the suction nozzle. In other words, in order to pick up a component by the suction nozzle and to perform the operation of picking up the component or mounting it on the substrate, a switching valve for turning on and off the vacuum suction path for vacuum suction from the suction nozzle is required. However, in the conventional apparatus, since the switching valve is arranged in the middle of the vacuum suction pipe connecting the mounting head, the vacuum suction source provided outside and the suction nozzle, the tip of the suction nozzle from the switching valve. There is a problem that the pipe line length becomes longer and the response time at the time of vacuum suction on / off becomes longer.

また切り換え弁や配管系に異物が吸引されることに起因する動作不具合を防止するため、真空配管系において吸着ノズルと切り換え弁との間に異物除去用のフィルタを配置する必要がある。しかしながら従来装置においては、ロータリ形式のマルチノズル型ヘッドにおいてフィルタを適正に配置する方策は示されておらず、搭載ヘッド全体のサイズをコンパクト化することが困難であった。   Further, in order to prevent an operation failure caused by suction of foreign matter to the switching valve or the piping system, it is necessary to dispose a foreign matter removing filter between the suction nozzle and the switching valve in the vacuum piping system. However, in the conventional apparatus, a method for properly arranging the filters in the rotary type multi-nozzle head is not shown, and it is difficult to reduce the size of the entire mounting head.

そこで本発明は、ロータリ形式のマルチノズル型の搭載ヘッドにおいて、真空吸引の応答時間を短縮するとともに、搭載ヘッド全体のサイズをコンパクト化することができる部品実装装置を提供することを目的とする。   SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a component mounting apparatus capable of reducing the response time of vacuum suction and reducing the size of the entire mounting head in a rotary type multi-nozzle mounting head.

本発明の部品実装装置は、基板保持部に保持された基板に部品供給部から取り出した部品を実装する部品実装装置であって、前記部品を前記部品供給部からピックアップして保持する搭載ヘッドと、前記搭載ヘッドを前記基板の部品実装面と平行な方向に移動させるヘッド移動機構とを有し、前記搭載ヘッドは、回転軸の廻りにインデックス駆動機構によりインデックス回転する回転体と、前記回転体において前記回転軸を中心とした当配位置
に前記回転体に対して昇降可能に配設され、下端部に開孔した吸着孔から真空吸引することにより前記部品を吸着保持する複数の吸着ノズルと、前記回転体において前記回転軸の内部を軸方向に挿通して設けられ真空吸引源と接続された第1のエア経路と、前記回転体内において前記回転軸を中心として前記複数の吸着ノズルの間を放射状に配設され、前記第1のエア経路と一方側の端部が連通し、前記吸着ノズルよりも外側に配置され前記吸着孔からの真空吸引を断接する空圧切り換え手段と他方側の端部が連通する第2のエア経路と、前記空圧切り換え手段と一方側の端部が連通し、前記吸着孔から吸引された異物を捕集し前記吸着ノズルよりも外側に配置されたフィルタと他方側の端部が連通する第3のエア経路と、前記フィルタと一方側の端部が連通し、前記吸着ノズルと他方側の端部が連通する第4のエア経路とを備えた。
A component mounting apparatus according to the present invention is a component mounting apparatus for mounting a component taken out from a component supply unit onto a substrate held by a substrate holding unit, and a mounting head for picking up and holding the component from the component supply unit; A head moving mechanism for moving the mounting head in a direction parallel to the component mounting surface of the substrate, the mounting head rotating around the rotation axis by an index driving mechanism, and the rotating body A plurality of suction nozzles that are disposed so as to be movable up and down with respect to the rotating body at a position around the rotation axis, and that suck and hold the components by vacuum suction from a suction hole opened at a lower end portion; A first air path which is provided in the rotating body so as to be inserted through the inside of the rotating shaft in the axial direction and connected to a vacuum suction source; The plurality of suction nozzles are arranged radially, the first air path communicates with one end, and is arranged outside the suction nozzle to connect and disconnect the vacuum suction from the suction holes. A second air path that communicates between the air pressure switching means and the other end, and the air pressure switching means communicates with one end to collect the foreign matter sucked from the suction hole and A fourth air path in which the filter and the end on the other side communicate with each other, a third air path in which the filter and the other end on the other side communicate with each other, the filter and the one end on the other side communicate with each other. Air path.

本発明によれば、インデックス回転し複数の吸着ノズルを備えた回転体において回転軸の内部を上下方向に挿通して設けられ真空吸引源と接続された第1のエア経路と、回転体内において回転軸を中心として複数の吸着ノズルの間を放射状に配設され、第1のエア経路と一方側の端部が連通し吸着ノズルよりも外側に配置され吸着孔からの真空吸引を断接する空圧切り換え手段と他方側の端部が連通する第2のエア経路と、空圧切り換え手段と一方側の端部が連通し吸着孔から吸引された異物を捕集し吸着ノズルよりも外側に配置されたフィルタと他方側の端部が連通する第3のエア経路と、フィルタと一方側の端部が連通し吸着ノズルと他方側の端部が連通する第4のエア経路とを備えた構成とすることにより、ロータリ形式のマルチノズル型の搭載ヘッドにおいて、真空吸引の応答時間を短縮するとともに、搭載ヘッド全体のサイズをコンパクト化することができる。   According to the present invention, the first air path that is provided by passing through the inside of the rotary shaft in the vertical direction and connected to the vacuum suction source in the rotary body that rotates with the index and has a plurality of suction nozzles, and rotates in the rotary body. Pneumatic pressure that is arranged radially between a plurality of suction nozzles with the axis as the center, the first air path communicates with the end on one side, and is arranged outside the suction nozzle to connect and disconnect the vacuum suction from the suction holes A second air path in which the switching means and the other end communicate with each other, and a pneumatic pressure switching means communicates with the one end to collect the foreign matter sucked from the suction hole, and is disposed outside the suction nozzle. A third air path that communicates between the filter and the other end, and a fourth air path that communicates between the filter and one end and the suction nozzle and the other end. The multinozzle of the rotary type In type mounting head, with shortening the response time of the vacuum suction, it is possible to compact the overall size of the mounting head.

本発明の一実施の形態の部品実装装置の斜視図The perspective view of the component mounting apparatus of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態の部品実装装置に装着される搭載ヘッドの斜視図The perspective view of the mounting head with which the component mounting apparatus of one embodiment of this invention is mounted | worn 本発明の一実施の形態の部品実装装置に装着される搭載ヘッドの正面図The front view of the mounting head with which the component mounting apparatus of one embodiment of this invention is mounted | worn 本発明の一実施の形態の部品実装装置に装着される搭載ヘッドの断面図Sectional drawing of the mounting head with which the component mounting apparatus of one embodiment of this invention is mounted | worn 本発明の一実施の形態の部品実装装置に装着される搭載ヘッドの部分断面図The fragmentary sectional view of the mounting head with which the component mounting apparatus of one embodiment of the present invention is mounted. 本発明の一実施の形態の部品実装装置に装着される搭載ヘッドの部分断面図The fragmentary sectional view of the mounting head with which the component mounting apparatus of one embodiment of the present invention is mounted. 本発明の一実施の形態の部品実装装置に装着される搭載ヘッドの部分断面図The fragmentary sectional view of the mounting head with which the component mounting apparatus of one embodiment of the present invention is mounted. 本発明の一実施の形態の部品実装装置に装着される搭載ヘッドの動作説明図Operation explanatory diagram of the mounting head mounted on the component mounting apparatus of one embodiment of the present invention

次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。まず図1を参照して部品実装装置1の構造を説明する。図1において、基台1aの上面には、基板搬送方向(X方向)に基板搬送機構2が配設されている。基板搬送機構2は部品実装対象の基板3を上流側装置から受け取って搬送し、以下に説明する部品搭載機構による実装作業位置に位置決め保持する。したがって、基板搬送機構2は基板保持部として機能する。基台1aの両側には、部品供給部4が配設されている。部品供給部4はフィーダテーブル4a上に複数のテープフィーダ5を並設して構成されており、テープフィーダ5は基板3に実装される部品を収納したキャリアテープをピッチ送りすることにより、部品を部品搭載機構の搭載ヘッド8による取り出し位置に供給する。   Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. First, the structure of the component mounting apparatus 1 will be described with reference to FIG. In FIG. 1, a substrate transport mechanism 2 is arranged on the upper surface of a base 1a in the substrate transport direction (X direction). The board conveyance mechanism 2 receives and conveys the board 3 to be mounted from the upstream apparatus, and positions and holds it at a mounting work position by the component mounting mechanism described below. Accordingly, the substrate transport mechanism 2 functions as a substrate holding unit. On both sides of the base 1a, component supply units 4 are arranged. The component supply unit 4 is configured by arranging a plurality of tape feeders 5 side by side on the feeder table 4a. The tape feeder 5 pitches a carrier tape containing components to be mounted on the substrate 3 to feed components. This is supplied to the take-out position by the mounting head 8 of the component mounting mechanism.

部品搭載機構について説明する。基台1aのX方向の端部には、Y軸移動テーブル6がY方向に配設されており、Y軸移動テーブル6には2つのX軸移動テーブル7がY方向の移動自在に装着されている。それぞれのX軸移動テーブル7には、搭載ヘッド8が保持フレーム9(図2参照)を介して装着されている。搭載ヘッド8は、基板3に実装される部品を部品供給部4からピックアップして保持する機能を有しており、Y軸移動テーブル6、X軸移動テーブル7を駆動することにより、搭載ヘッド8はX方向、Y方向へ水平移動
し、部品供給部4から取り出した部品を基板搬送機構2に位置決め保持された基板3に実装する。Y軸移動テーブル6、X軸移動テーブル7は、搭載ヘッド8を基板3の部品実装面と平行な方向に移動させるヘッド移動機構を構成する。
The component mounting mechanism will be described. A Y-axis moving table 6 is disposed in the Y direction at the end of the base 1a in the X direction. Two X-axis moving tables 7 are mounted on the Y-axis moving table 6 so as to be movable in the Y direction. ing. A mounting head 8 is mounted on each X-axis moving table 7 via a holding frame 9 (see FIG. 2). The mounting head 8 has a function of picking up and holding components mounted on the board 3 from the component supply unit 4, and driving the Y-axis moving table 6 and the X-axis moving table 7 allows the mounting head 8. Moves horizontally in the X direction and the Y direction, and the components taken out from the component supply unit 4 are mounted on the substrate 3 positioned and held by the substrate transport mechanism 2. The Y-axis moving table 6 and the X-axis moving table 7 constitute a head moving mechanism that moves the mounting head 8 in a direction parallel to the component mounting surface of the substrate 3.

次に、図2、図3、図4、図5を参照して、搭載ヘッド8の構造を説明する。図2において、保持フレーム9はX軸移動テーブル7においてX方向に移動する移動部(図示省略)に固着され、保持フレーム9の上部からは水平ベース部9aが水平方向に延出して設けられている。水平ベース部9aの上面には、インデックス駆動機構10が垂直に配設されており、図4に示すように、インデックス駆動機構10から下方に延出した回転軸11には、略円柱形状の回転体12が固着されている。回転体12は保持フレーム9の中間位置から水平方向に延出した中間ベース部14によってベアリング37aを介して回転自在に保持されている。また回転軸11の下部は段違いの軸下部11aとなっており、軸下部11aの下端部は、同様に保持フレーム9の下端部から水平方向に延出した下部ベース部17によってベアリング37bを介して軸支されている。インデックス駆動機構10を駆動することにより、回転体12は回転軸11とともに所定の間歇パターンでインデックス回転する(矢印a)。   Next, the structure of the mounting head 8 will be described with reference to FIGS. 2, 3, 4, and 5. In FIG. 2, the holding frame 9 is fixed to a moving portion (not shown) that moves in the X direction on the X-axis moving table 7, and a horizontal base portion 9 a is provided extending from the upper portion of the holding frame 9 in the horizontal direction. Yes. An index driving mechanism 10 is vertically arranged on the upper surface of the horizontal base portion 9a. As shown in FIG. 4, the rotary shaft 11 extending downward from the index driving mechanism 10 has a substantially cylindrical shape. The body 12 is fixed. The rotating body 12 is rotatably held via a bearing 37 a by an intermediate base portion 14 extending in the horizontal direction from an intermediate position of the holding frame 9. The lower portion of the rotating shaft 11 is a shaft lower portion 11a having a different level, and the lower end portion of the shaft lower portion 11a is similarly supported by a lower base portion 17 extending horizontally from the lower end portion of the holding frame 9 via a bearing 37b. It is pivotally supported. By driving the index driving mechanism 10, the rotating body 12 rotates with the rotating shaft 11 in an index pattern with a predetermined intermittent pattern (arrow a).

回転体12において、回転軸11を中心とした円周位置(図5に示す半径R1の同心円上位置)には、複数(ここでは16本)の吸着ノズルユニット20(吸着ノズル)が、回転体12に対して昇降可能に配設されている。吸着ノズルユニット20を構成するノズル軸41の下端部はノズル装着部41bとなっており、ノズル装着部41bにはノズル部品41dが着脱自在に装着される。ノズル部品41dは、下端部に開孔した吸着孔41g(図6)から真空吸引することにより実装対象の部品(図示省略)を吸着保持する。   In the rotator 12, a plurality (16 in this case) of suction nozzle units 20 (suction nozzles) are arranged at a circumferential position around the rotation shaft 11 (a concentric position with a radius R <b> 1 shown in FIG. 5). 12 is arranged so as to be movable up and down. The lower end portion of the nozzle shaft 41 constituting the suction nozzle unit 20 is a nozzle mounting portion 41b, and a nozzle component 41d is detachably mounted on the nozzle mounting portion 41b. The nozzle component 41d sucks and holds the component to be mounted (not shown) by vacuum suction from the suction hole 41g (FIG. 6) opened at the lower end.

回転体12の上部は外周方向に延出した外縁部13となっており、外縁部13にはバルブユニット21、フィルタ22が、吸着ノズルユニット20が配置された円周位置よりも外側(図5に示す半径R2の同心円上位置参照)に位置して、個々の吸着ノズルユニット20に1対1対応で配置されている。バルブユニット21は、吸着孔41gからの真空吸引を断接するとともに、吸着孔41gから噴射される正圧空気の供給を段接する空圧切り換え手段としての機能を有しており、フィルタ22は吸着孔41gから吸引された異物を捕集する機能を有している。   The upper portion of the rotating body 12 is an outer edge portion 13 extending in the outer peripheral direction, and the valve unit 21 and the filter 22 are disposed on the outer edge portion 13 outside the circumferential position where the suction nozzle unit 20 is disposed (FIG. 5). (Refer to the position on the concentric circle of radius R2 shown in FIG. 1), and is arranged in a one-to-one correspondence with each suction nozzle unit 20. The valve unit 21 has a function as air pressure switching means for connecting and disconnecting vacuum suction from the suction hole 41g and stepping in supply of positive pressure air injected from the suction hole 41g. It has a function of collecting foreign matter sucked from 41g.

回転軸11の下部には内部を上下方向に挿通して吸引孔11bが設けられており、吸引孔11bは下部ベース部17に設けられた吸引路17aと連通している。吸引路17aは吸引配管27(図3)と接続された接続孔17bと連通しており、吸引配管27は真空吸引源28と接続されている。真空吸引源28を駆動することにより、吸引孔11bの上部に設けられた貫通孔11cから真空吸引し、これにより、回転体12の内部に回転軸11を閉囲して設けられた連通隙間12a内が吸引される。吸引孔11bは、回転体12において回転軸11の内部を上下方向に挿通して設けられ、真空吸引源28と接続された第1のエア経路となっている。   A suction hole 11 b is provided in the lower portion of the rotating shaft 11 so as to be inserted through the inside in the vertical direction. The suction hole 11 b communicates with a suction path 17 a provided in the lower base portion 17. The suction path 17a communicates with a connection hole 17b connected to a suction pipe 27 (FIG. 3), and the suction pipe 27 is connected to a vacuum suction source 28. By driving the vacuum suction source 28, vacuum suction is performed from the through-hole 11c provided in the upper portion of the suction hole 11b, and thereby, the communication gap 12a provided by enclosing the rotary shaft 11 inside the rotating body 12. The inside is aspirated. The suction hole 11 b is provided in the rotating body 12 so as to pass through the inside of the rotating shaft 11 in the vertical direction, and serves as a first air path connected to the vacuum suction source 28.

連通隙間12aからは流路孔12bが吸着ノズルユニット20の間を通って各バルブユニット21に向けて放射状に設けられており(図5参照)、バルブユニット21は、水平ベース部9aに配設されたバルブ駆動機構25によって当接駆動ツール26を昇降(矢印b)させることにより、すなわち縦部材26aから分岐した上当接部材26b、下当接部材26cをバルブユニット21に当接させてスライドさせることにより操作される。これにより、流路孔12bを介しての真空吸引を開閉して、吸着孔41gによる真空吸着を断接することができる。また上当接部材26b内に設けられた正圧孔26dには、配管部材38を介して正圧供給源39が接続されており、正圧供給源39を駆動した状態でバルブユニット21を操作することにより、上当接部材26bからバルブユニット21を介して
正圧空気を供給して、吸着孔41gから噴出させることが可能となっている。
From the communication gap 12a, flow passage holes 12b are provided radially toward the valve units 21 through the suction nozzle units 20 (see FIG. 5), and the valve units 21 are disposed on the horizontal base portion 9a. When the contact drive tool 26 is moved up and down (arrow b) by the valve drive mechanism 25, the upper contact member 26b and the lower contact member 26c branched from the vertical member 26a are brought into contact with the valve unit 21 and slid. It is operated by. Thereby, the vacuum suction through the channel hole 12b can be opened and closed, and the vacuum suction by the suction hole 41g can be connected or disconnected. A positive pressure supply source 39 is connected to the positive pressure hole 26d provided in the upper contact member 26b via a piping member 38, and the valve unit 21 is operated in a state where the positive pressure supply source 39 is driven. Thus, it is possible to supply positive pressure air from the upper contact member 26b through the valve unit 21 and eject the air from the suction hole 41g.

回転体12、中間ベース部14の下面からは、昇降ガイド部16、円筒カム部15が、それぞれ下方に延出して設けられている。ノズル装着部41bの上方に装着されたカムフォロア29は、昇降ガイド部16に上下方向に形成されたガイド溝16aによってガイドされて上下動自在となっている。ノズル軸41の上部には圧縮スプリング46が頂部41aとギヤ部材36との間に装着されており(図6)、頂部41aを上方に押し上げる圧縮スプリング46の付勢力により、カムフォロア29は円筒カム部15の下面のカム面15aに常に当接している。   From the lower surface of the rotating body 12 and the intermediate base portion 14, a lifting guide portion 16 and a cylindrical cam portion 15 are provided extending downward. The cam follower 29 mounted above the nozzle mounting portion 41b is guided by a guide groove 16a formed in the up-down direction in the elevating guide portion 16 and is movable up and down. A compression spring 46 is mounted between the top portion 41a and the gear member 36 on the upper portion of the nozzle shaft 41 (FIG. 6). 15 is always in contact with the cam surface 15a on the lower surface.

インデックス駆動機構10を駆動することにより、回転体12は回転軸11とともにインデックス回転し、これにより複数の吸着ノズルユニット20は半径R1の円周に沿って間歇移動するとともに、カム面15aのカム形状に追従して上下動する。この吸着ノズルユニット20の間歇移動において、図3に示す下降位置P1は、ノズル部品41dによって部品の取り出し動作および搭載動作を行う位置となっている。下降位置P1の上方には水平ベース部9aに保持されてノズル昇降駆動機構24が配設されており、ノズル昇降駆動機構24によって昇降する昇降ブロック24aにはカムフォロア24bが結合されている。ノズル昇降駆動機構24を駆動することにより、カムフォロア24bは昇降し(矢印c)、下降時には下降位置P1に位置した吸着ノズルユニット20のノズル軸41に当接して押し下げる。これにより、ノズル部品41dは下降位置P1において所定の動作ストロークだけさらに下降し、部品のピックアップ動作および搭載動作を行う。   By driving the index driving mechanism 10, the rotating body 12 is index-rotated together with the rotating shaft 11, whereby the plurality of suction nozzle units 20 move intermittently along the circumference of the radius R 1 and the cam shape of the cam surface 15 a is formed. Follows to move up and down. In the intermittent movement of the suction nozzle unit 20, the lowered position P1 shown in FIG. 3 is a position where the nozzle component 41d performs the component extraction operation and the mounting operation. A nozzle raising / lowering driving mechanism 24 is disposed above the lowered position P1 and held by the horizontal base portion 9a. A cam follower 24b is coupled to the raising / lowering block 24a that is raised and lowered by the nozzle raising / lowering driving mechanism 24. By driving the nozzle lifting / lowering drive mechanism 24, the cam follower 24b moves up and down (arrow c), and when lowered, comes into contact with the nozzle shaft 41 of the suction nozzle unit 20 located at the lowered position P1 and pushes down. As a result, the nozzle component 41d further descends by a predetermined operation stroke at the lowered position P1, and performs the component pickup operation and mounting operation.

また保持フレーム9には、カメラ19および撮像光学系19aが装着されており、下部ベース部17において撮像光学系19aに対向する位置は、カメラ19によって部品を認識する認識位置P2となっている。認識位置P2には、上向き斜め方向の反射面18aを有する反射ブロック18が下部ベース部17に取り付けられている。下降位置P1にて部品を吸着保持したノズル部品41dが認識位置P2に移動することにより、ノズル部品41dに保持した部品を反射面18aを介してカメラ19によって撮像することができる。ノズル部品41dは側方に円板状に延出した反射板41cを備えており、カメラ19による撮像時には、反射板41cは下方にからの照明光を反射して部品を背後から照明する。   The holding frame 9 is equipped with a camera 19 and an imaging optical system 19a. A position of the lower base portion 17 facing the imaging optical system 19a is a recognition position P2 where the camera 19 recognizes a component. At the recognition position P2, a reflection block 18 having a reflection surface 18a in an obliquely upward direction is attached to the lower base portion 17. The nozzle component 41d that sucks and holds the component at the lowered position P1 moves to the recognition position P2, so that the component held by the nozzle component 41d can be imaged by the camera 19 through the reflecting surface 18a. The nozzle component 41d is provided with a reflection plate 41c extending in a disk shape on the side, and when imaging by the camera 19, the reflection plate 41c reflects illumination light from below to illuminate the component from behind.

回転軸11において回転体12から上方に突出した部分には、ベアリング34a、34bを介してギヤ部材35が回転自在に装着されており、ギヤ部材35の上部にはプーリ33が結合されている。水平ベース部9aにはノズルθ駆動モータ23が回転軸23aを下方にした姿勢で配設されており、回転軸23aにはプーリ31が結合されている。プーリ31とプーリ33にはベルト32が調帯されており、ノズルθ駆動モータ23を駆動することにより、ギヤ部材35が回転する。ギヤ部材35の下部にはノズル軸41に装着されたギヤ部材36と噛合する歯部35aが設けられており、ノズルθ駆動モータ23を駆動することにより、ベルト32、プーリ33、ギヤ部材35、ギヤ部材36を介してノズル軸41を回転させることができる。これにより、ノズル部品41dに保持された部品のθ方向(ノズル軸廻り方向)の位置合わせが行われる。   A gear member 35 is rotatably mounted on a portion of the rotating shaft 11 protruding upward from the rotating body 12 via bearings 34 a and 34 b, and a pulley 33 is coupled to the upper portion of the gear member 35. A nozzle θ drive motor 23 is disposed on the horizontal base portion 9a with the rotary shaft 23a positioned downward, and a pulley 31 is coupled to the rotary shaft 23a. A belt 32 is tuned to the pulley 31 and the pulley 33, and the gear member 35 is rotated by driving the nozzle θ drive motor 23. A gear portion 35a that meshes with the gear member 36 mounted on the nozzle shaft 41 is provided below the gear member 35. By driving the nozzle θ drive motor 23, the belt 32, the pulley 33, the gear member 35, The nozzle shaft 41 can be rotated via the gear member 36. Thereby, the alignment of the component held by the nozzle component 41d in the θ direction (direction around the nozzle axis) is performed.

次に図6を参照して、吸着ノズルユニット20の詳細構造を説明する。図6に示すように、回転体12において半径R1の同心円上に上下方向に貫通して形成されたノズル挿通孔12c(図5参照)には、ノズル軸41が上下方向に挿通している。ノズル軸41が上下に挿通するギヤ部材36はノズル軸41に回転を伝達するとともに上下方向に相対動自在に設けられている。ギヤ部材36はボールスプライン45aを外周から保持するハウジング42aと結合されており、ハウジング42aの下方に位置して同心で設けられたハウジング42bには、ボールスプライン45aとの間にカラーリング47を介在させてボールスプライン45bが保持されている。ボールスプライン45a、45bには、ノズル軸
41がX,Y、θ方向の位置をガイドされた状態で上下方向にスライド自在に挿通しており、ハウジング42a、42bは、ベアリング43を介して回転体12に対して回転自在に保持されている。
Next, the detailed structure of the suction nozzle unit 20 will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 6, a nozzle shaft 41 is vertically inserted through a nozzle insertion hole 12 c (see FIG. 5) formed in the rotating body 12 so as to penetrate in a vertical direction on a concentric circle having a radius R <b> 1. The gear member 36 through which the nozzle shaft 41 is inserted vertically is provided to transmit rotation to the nozzle shaft 41 and be relatively movable in the vertical direction. The gear member 36 is coupled to a housing 42a that holds the ball spline 45a from the outer periphery, and a color ring 47 is interposed between the gear 42 and the ball spline 45a in a concentric housing 42b that is positioned below the housing 42a. Thus, the ball spline 45b is held. The nozzle shaft 41 is inserted into the ball splines 45a and 45b so as to be slidable in the vertical direction with the positions in the X, Y and θ directions being guided, and the housings 42a and 42b are rotated by bearings 43. 12 is held to be rotatable.

ハウジング42a、42bとノズル挿通孔12cとの間には連通隙間49が形成されており、連通隙間49は、ハウジング42a、42bとノズル挿通孔12cの内周面との間に装着された2つのシール部材44によって密封されている。カラーリング47とノズル軸41との間に形成された連通隙間47aは、ノズル軸41内部を上下に挿通して設けられた流路孔41eと貫通孔41fを介して連通しており、さらに流路孔41eはノズル装着部41b内部を挿通して吸着孔41gと連通している。そして連通隙間47aは、ハウジング42b、カラーリング47を横方向に貫通して設けられた連通孔48を介して連通隙間49と連通しており、さらに連通隙間49は流路孔13eを介してフィルタ22のフィルタ孔13d(図7(b)参照)と連通している。   A communication gap 49 is formed between the housings 42a and 42b and the nozzle insertion hole 12c. The communication gap 49 is provided between the housings 42a and 42b and the inner peripheral surface of the nozzle insertion hole 12c. It is sealed by a seal member 44. A communication gap 47a formed between the color ring 47 and the nozzle shaft 41 communicates with a flow passage hole 41e provided through the nozzle shaft 41 in the vertical direction and a through hole 41f. The passage hole 41e is inserted into the nozzle mounting portion 41b and communicates with the suction hole 41g. The communication gap 47a communicates with the communication gap 49 through a communication hole 48 that penetrates the housing 42b and the collar ring 47 in the lateral direction. Further, the communication gap 49 is filtered through the flow path hole 13e. It communicates with 22 filter holes 13d (see FIG. 7B).

ノズル軸41は、ノズル装着部41bの上方において、カムフォロア29が結合されたブロック30をベアリング30aを介して貫通しており、ブロック30はノズル軸41に対して回転自在となっている。これにより、カムフォロア29がガイド溝16aに嵌合して回転方向の位置が固定された状態において、ノズル軸41を任意位置に回転させることができる。   The nozzle shaft 41 passes through the block 30 to which the cam follower 29 is coupled above the nozzle mounting portion 41 b via a bearing 30 a, and the block 30 is rotatable with respect to the nozzle shaft 41. Thereby, the nozzle shaft 41 can be rotated to an arbitrary position in a state where the cam follower 29 is fitted in the guide groove 16a and the position in the rotation direction is fixed.

次に図7を参照して、バルブユニット21、フィルタ22の構造を説明する。図7(a)において、外縁部13を上下に貫通して設けられたスプール孔13aにはバルブ軸50が上下にスライド自在に嵌合している。バルブ軸50は、上部に設けられて上当接部材26bと当接する頂部50aを外縁部13から上方に突出させ、下当接部材26cと当接する下部50bを外縁部13から下方に突出させて装着されている。   Next, the structure of the valve unit 21 and the filter 22 will be described with reference to FIG. In FIG. 7A, a valve shaft 50 is slidably fitted up and down in a spool hole 13a provided through the outer edge portion 13 up and down. The valve shaft 50 is mounted on the upper portion of the valve shaft 50 so that the top portion 50a that contacts the upper contact member 26b protrudes upward from the outer edge portion 13 and the lower portion 50b that contacts the lower contact member 26c protrudes downward from the outer edge portion 13. Has been.

バルブ軸50には頂部50aに開口する流路孔50cが形成されており、流路孔50cの下端部に設けられた連通孔50dは、スプール孔13aと連通して外縁部13内に設けられた拡径部13bに連通している。バルブ軸50には、外周面を切り込んだノッチ部50e、50f、縮径部50gが設けられており、ノッチ部50e、50fのいずれかにボールプランジャ51のボール51aが嵌入することにより、バルブ軸50の上下方向の位置が2位置で固定されるようになっている。また縮径部50gの範囲には、スプール孔13aの内面との間に連通隙間52が形成されており、連通隙間52は外縁部13内に水平方向に形成された流路孔13cに連通している(図5も参照)。   The valve shaft 50 is formed with a channel hole 50c that opens to the top 50a. A communication hole 50d provided at the lower end of the channel hole 50c communicates with the spool hole 13a and is provided in the outer edge portion 13. The expanded diameter portion 13b communicates. The valve shaft 50 is provided with notch portions 50e and 50f and a reduced diameter portion 50g cut out on the outer peripheral surface. When the ball 51a of the ball plunger 51 is fitted into one of the notch portions 50e and 50f, the valve shaft The vertical position of 50 is fixed at two positions. Further, a communication gap 52 is formed in the range of the reduced diameter portion 50g between the inner surface of the spool hole 13a, and the communication gap 52 communicates with a flow path hole 13c formed in the outer edge portion 13 in the horizontal direction. (See also FIG. 5).

図7(b)において、外縁部13に設けられたフィルタ孔13dには焼結部材など多孔質素材を内孔54aを有する中空棒形状に成形した濾過部材54が挿入されており、濾過部材54は抑え部材53によって上面側から固定されている。濾過部材54の外周とフィルタ孔13dの内周面との間の連通隙間55は、流路孔13eを介して吸着ノズルユニット20の連通隙間49と連通している。またフィルタ孔13dの下方に形成された連通隙間13fは、図7(a)に示す流路孔13cと連通している。すなわち、流路孔13cは濾過部材54、流路孔13eを介して吸着ノズルユニット20の連通隙間49と連通している。   In FIG. 7B, a filter member 54 in which a porous material such as a sintered member is formed into a hollow rod shape having an inner hole 54 a is inserted into the filter hole 13 d provided in the outer edge portion 13. The fixing member 53 is fixed from the upper surface side. The communication gap 55 between the outer periphery of the filter member 54 and the inner peripheral surface of the filter hole 13d communicates with the communication gap 49 of the suction nozzle unit 20 through the flow path hole 13e. Further, the communication gap 13f formed below the filter hole 13d communicates with the flow path hole 13c shown in FIG. That is, the flow path hole 13c communicates with the communication gap 49 of the suction nozzle unit 20 through the filtering member 54 and the flow path hole 13e.

図8(a)に示すように、当接駆動ツール26を上昇させて(矢印d)下当接部材26cを下部50bに当接させ、ノッチ部50fをボールプランジャ51の位置に固定することにより、流路孔13cは連通隙間52を介して流路孔12bと連通する。これにより流路孔12bが流路孔13cおよびフィルタ22を介して吸着ノズルユニット20と連通する。そしてこの状態でそして流路孔12bから真空吸引することにより(矢印e)、吸着孔41gから真空吸引される。   As shown in FIG. 8A, the abutting drive tool 26 is raised (arrow d) so that the lower abutting member 26c abuts on the lower portion 50b and the notch portion 50f is fixed at the position of the ball plunger 51. The flow path hole 13 c communicates with the flow path hole 12 b through the communication gap 52. As a result, the flow path hole 12 b communicates with the suction nozzle unit 20 via the flow path hole 13 c and the filter 22. In this state and by vacuum suction from the flow path hole 12b (arrow e), vacuum suction is performed from the suction hole 41g.

このとき、真空吸引により吸着孔41gから吸引された異物は、濾過部材54によって捕集される。このようにフィルタ22を吸着ノズルユニット20の直近に配置することにより、吸着ノズルユニット20によって異物を効率よく捕集することができる。さらにフィルタ22を吸着ノズルユニット20の外側の作業アクセスが容易な部位に配置することにより、濾過部材54の交換などの保守作業を容易に行うことができる。   At this time, the foreign matter sucked from the suction hole 41 g by vacuum suction is collected by the filtering member 54. By disposing the filter 22 in the immediate vicinity of the suction nozzle unit 20 in this way, foreign matter can be efficiently collected by the suction nozzle unit 20. Further, by arranging the filter 22 at a site on the outside of the suction nozzle unit 20 where work access is easy, maintenance work such as replacement of the filter member 54 can be easily performed.

また図8(b)に示すように、当接駆動ツール26を下降させて(矢印f)上当接部材26bを頂部50aに当接させ、ノッチ部50eをボールプランジャ51の位置に固定した状態では、正圧孔26dが流路孔50cと連通するとともに、流路孔12bがバルブ軸50によって閉塞され、流路孔12bから真空吸引が遮断される。このとき、バルブユニット21が吸着ノズルユニット20の直近に配置されていることにより、バルブユニット21を操作したときの吸着ノズルユニット20による真空吸引オンオフ時の応答性が改善される。そしてこの状態で正圧供給源39を作動させることにより(矢印g)、流路孔50c内に正圧空気が付与され、この正圧空気は連通隙間52、流路孔13c、フィルタ22、流路孔13eを介して吸着ノズルユニット20と連通し、吸着孔41gから噴射される。   Further, as shown in FIG. 8B, in the state where the contact driving tool 26 is lowered (arrow f), the upper contact member 26b is contacted with the top 50a, and the notch 50e is fixed at the position of the ball plunger 51. The positive pressure hole 26d communicates with the flow path hole 50c, the flow path hole 12b is closed by the valve shaft 50, and vacuum suction is blocked from the flow path hole 12b. At this time, since the valve unit 21 is arranged in the immediate vicinity of the suction nozzle unit 20, the responsiveness at the time of vacuum suction on / off by the suction nozzle unit 20 when the valve unit 21 is operated is improved. Then, by operating the positive pressure supply source 39 in this state (arrow g), positive pressure air is given into the flow path hole 50c, and this positive pressure air is connected to the communication gap 52, the flow path hole 13c, the filter 22, the flow. It communicates with the suction nozzle unit 20 via the passage hole 13e and is ejected from the suction hole 41g.

上記説明したように、本実施の形態に示す搭載ヘッド8は、回転体12において回転軸11を中心とした当配位置に回転体12に対して昇降可能に配設され、下端部に開孔した吸着孔41gから真空吸引することにより部品を吸着保持する複数の吸着ノズルユニット20と、回転体12において回転軸11の内部を上下方向に挿通して設けられ、真空吸引源28と接続された吸引孔11b(第1のエア経路)と、回転体12内において回転軸11を中心として複数のインデックス駆動機構10の間を放射状に配設され、吸引孔11bと一方側の端部が連通隙間12aを介して連通し、吸着ノズルユニット20よりも外側に配置され吸着孔41gからの真空吸引を断接するバルブユニット21(空圧切り換え手段)と他方側の端部が連通する流路孔12b(第2のエア経路)と、バルブユニット21と一方側の端部が連通し、吸着孔41gから吸引された異物を捕集し吸着ノズルユニット20よりも外側に配置されたフィルタ22と他方側の端部が連通する流路孔13c(第3のエア経路)と、フィルタ22と一方側の端部が連通し、吸着ノズルユニット20と他方側の端部が連通する流路孔13e(第4のエア経路)とを備えた構成となっている。   As described above, the mounting head 8 shown in the present embodiment is disposed on the rotating body 12 so as to be movable up and down with respect to the rotating body 12 at a position around the rotating shaft 11 and has a hole at the lower end. A plurality of suction nozzle units 20 that suck and hold components by vacuum suction from the suction holes 41g, and the rotary body 12 are provided so as to be vertically inserted through the rotary shaft 11 and connected to a vacuum suction source 28. The suction hole 11b (first air path) and a plurality of index drive mechanisms 10 are arranged radially around the rotation shaft 11 in the rotating body 12, and the suction hole 11b and one end thereof are connected to a communication gap. The valve unit 21 (pneumatic pressure switching means) that communicates with the valve 12a and that is disposed outside the suction nozzle unit 20 and connects and disconnects the vacuum suction from the suction hole 41g communicates with the other end. A hole 12b (second air path) communicates with the valve unit 21 on one end thereof, and a filter 22 disposed outside the suction nozzle unit 20 for collecting foreign matter sucked from the suction hole 41g. A channel hole 13c (third air path) that communicates with the other end, a channel 22e that communicates with the filter 22 and one end, and the suction nozzle unit 20 communicates with the other end. (Fourth air path).

このような構成を採用することにより、上述のように真空吸引オンオフ時の応答時間を短縮することができるとともに、複数の吸着ノズルを備えたマルチノズル型の搭載ヘッドにおいて、搭載ヘッドのコンパクト化が実現される。すなわち、吸着ノズルを直列に配置したノズル列を複数列配置する従来のマルチノズル型の搭載ヘッドと比較して、ノズル列の列方向の寸法を短縮して、搭載ヘッド全体のサイズを短縮化することができる。   By adopting such a configuration, the response time at the time of vacuum suction ON / OFF can be shortened as described above, and in the multi-nozzle type mounting head having a plurality of suction nozzles, the mounting head can be made compact. Realized. That is, as compared with a conventional multi-nozzle type mounting head in which a plurality of nozzle rows in which suction nozzles are arranged in series are arranged, the size of the nozzle row in the row direction is shortened and the size of the entire mounting head is shortened. be able to.

本発明の部品実装装置は、ロータリ形式のマルチノズル型の搭載ヘッドにおいて、真空吸引の応答時間を短縮するとともに、搭載ヘッド全体のサイズをコンパクト化することができるという効果を有し、基板に電子部品を実装する分野において有用である。   The component mounting apparatus of the present invention has the effect of reducing the response time of vacuum suction and reducing the size of the entire mounting head in a rotary type multi-nozzle mounting head, and is capable of reducing the size of the mounting head. This is useful in the field of mounting components.

1 部品実装装置
2 基板搬送機構
3 基板
4 部品供給部
6 Y軸移動テーブル
7 X軸移動テーブル
8 搭載ヘッド
10 インデックス駆動機構
11 回転軸
11b 吸引孔
12 回転体
12b 流路孔
13 外縁部
13c 流路孔
13e 流路孔
20 吸着ノズルユニット
21 バルブユニット
22 フィルタ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Component mounting apparatus 2 Board | substrate conveyance mechanism 3 Board | substrate 4 Component supply part 6 Y-axis movement table 7 X-axis movement table 8 Mounting head 10 Index drive mechanism 11 Rotating shaft 11b Suction hole 12 Rotating body 12b Channel hole 13 Outer edge part 13c Channel Hole 13e Channel hole 20 Suction nozzle unit 21 Valve unit 22 Filter

Claims (2)

基板保持部に保持された基板に部品供給部から取り出した部品を実装する部品実装装置であって、
前記部品を前記部品供給部からピックアップして保持する搭載ヘッドと、前記搭載ヘッドを前記基板の部品実装面と平行な方向に移動させるヘッド移動機構とを有し、
前記搭載ヘッドは、回転軸とともにインデックス駆動機構によりインデックス回転する回転体と、前記回転体において前記回転軸を中心とした当配位置に前記回転体に対して昇降可能に配設され、下端部に開孔した吸着孔から真空吸引することにより前記部品を吸着保持する複数の吸着ノズルと、
前記回転体において前記回転軸の内部を軸方向に挿通して設けられ真空吸引源と接続された第1のエア経路と、
前記回転体内において前記回転軸を中心として前記複数の吸着ノズルの間を放射状に配設され、前記第1のエア経路と一方側の端部が連通し、前記吸着ノズルよりも外側に配置され前記吸着孔からの真空吸引を断接する空圧切り換え手段と他方側の端部が連通する第2のエア経路と、
前記空圧切り換え手段と一方側の端部が連通し、前記吸着孔から吸引された異物を捕集し前記吸着ノズルよりも外側に配置されたフィルタと他方側の端部が連通する第3のエア経路と、
前記フィルタと一方側の端部が連通し、前記吸着ノズルと他方側の端部が連通する第4のエア経路とを備えたことを特徴とする部品実装装置。
A component mounting apparatus for mounting a component taken out from a component supply unit on a substrate held by a substrate holding unit,
A mounting head that picks up and holds the component from the component supply unit; and a head moving mechanism that moves the mounting head in a direction parallel to the component mounting surface of the substrate;
The mounting head is provided with a rotating body that rotates with an index driving mechanism together with a rotating shaft, and is disposed at a position around the rotating shaft in the rotating body so as to be movable up and down with respect to the rotating body. A plurality of suction nozzles for sucking and holding the parts by vacuum suction from the opened suction holes;
A first air path which is provided in the rotating body so as to be inserted in the axial direction inside the rotating shaft and connected to a vacuum suction source;
In the rotating body, the plurality of suction nozzles are radially arranged around the rotation axis, the first air path communicates with one end, and is disposed outside the suction nozzle. A pneumatic switching means for connecting / disconnecting vacuum suction from the suction hole and a second air path communicating with the other end;
The air pressure switching means communicates with the end on one side, collects the foreign matter sucked from the suction hole, and communicates with the filter disposed outside the suction nozzle and the end on the other side. Air path,
A component mounting apparatus, comprising: a fourth air path in which the filter and the end on one side communicate with each other, and the suction nozzle and the other end on the other side communicate with each other.
前記回転体において、前記空圧切り換え手段と前記フィルタとは、前記回転軸を中心とする同心円上に配置されていることを特徴とする請求項1記載の部品実装装置。   2. The component mounting apparatus according to claim 1, wherein in the rotating body, the air pressure switching unit and the filter are arranged on a concentric circle with the rotation axis as a center.
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