JP2011025429A - ワイヤソーによるサファイア単結晶の切断方法と単結晶サファイア基板 - Google Patents
ワイヤソーによるサファイア単結晶の切断方法と単結晶サファイア基板 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】少なくとも2つの回転ローラA,B間に互いに所定の間隔を介して平行に張設された複数のワイヤ10から成るワイヤ列を、円柱形状若しくは略円柱形状を有しかつ長手方向の中心軸を回転中心として回転するサファイア単結晶20に対し、相対的に押し付けながら各ワイヤを一方向あるいは往復方向へ走行させて切断し、複数枚のサファイア単結晶ウェハを得るワイヤソーによるサファイア単結晶の切断方法であって、上記ワイヤの線速度が300m/min以上500m/min以下の条件下、サファイア単結晶の回転数を15rpm以上150rpm以下とすることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
少なくとも2つの回転ローラ間に互いに所定の間隔を介して平行に張設された複数のワイヤから成るワイヤ列を、円柱形状若しくは略円柱形状を有しかつ長手方向の中心軸を回転中心として回転するサファイア単結晶に対し、相対的に押し付けながら各ワイヤを一方向あるいは往復方向へ走行させて切断し、複数枚のサファイア単結晶ウェハを得るワイヤソーによるサファイア単結晶の切断方法において、
上記ワイヤの線速度が300m/min以上500m/min以下の条件下、サファイア単結晶の回転数を15rpm以上150rpm以下とすることを特徴とし、
請求項2に係る発明は、
請求項1に記載の発明に係るワイヤソーによるサファイア単結晶の切断方法において、
上記サファイア単結晶の回転数を30rpm以上90rpm以下とすることを特徴とするものである。
請求項1または2に記載の切断方法により得られたサファイア単結晶ウェハにより構成され、かつ、その表面に窒化物半導体層を成長させる単結晶サファイア基板において、
面方位がc面でかつ反り形状が等方的に凹面である基板表面を有することを特徴とする。
[比較例1]
実施例1と同じ固定砥粒方式のワイヤおよびワイヤソー装置を使用し、直径3インチのサファイア単結晶塊を切断時に1rpmで一定方向に連続回転させながら実施例1と同様にして切断した。そして、実施例1と同様に中心手前6mmで切断を一旦停止し、サファイア単結晶ウェハ外周とサファイア単結晶塊を回転させる回転保持冶具とを接着剤で固定した後、サファイア単結晶塊を回転させずに切断を再開し、サファイア単結晶塊の中心部分を切断した。このときSORI値が66μm(5枚を測定した平均値)で、3回対称に応じた凸凹形状を有する切断形状となった。
[比較例2]
実施例1と同じ固定砥粒方式のワイヤおよびワイヤソー装置を使用し、直径3インチのサファイア単結晶塊を実施例1とは異なり切断時に結晶を回転させずに切断した。この場合、サファイア単結晶塊外周と上述した回転保持冶具(但し、比較例2においては回転させずに保持具として作用する)とを固定しておき、切断途中で一旦停止させることなく切断した。このときSORI値が30μm(5枚を測定した平均値)の凹面形状となったが、切断方向の凹み量が約30μm、切断方向と直交する方向の凹み量が約10μmと異方性をもった切断形状となった。
20 サファイア単結晶
A 回転ローラ
B 回転ローラ
a ワイヤ列の移動方向を示す矢印
b サファイア単結晶の切断長
Claims (3)
- 少なくとも2つの回転ローラ間に互いに所定の間隔を介して平行に張設された複数のワイヤから成るワイヤ列を、円柱形状若しくは略円柱形状を有しかつ長手方向の中心軸を回転中心として回転するサファイア単結晶に対し、相対的に押し付けながら各ワイヤを一方向あるいは往復方向へ走行させて切断し、複数枚のサファイア単結晶ウェハを得るワイヤソーによるサファイア単結晶の切断方法において、
上記ワイヤの線速度が300m/min以上500m/min以下の条件下、サファイア単結晶の回転数を15rpm以上150rpm以下とすることを特徴とするワイヤソーによるサファイア単結晶の切断方法。 - 上記サファイア単結晶の回転数を30rpm以上90rpm以下とすることを特徴とする請求項1に記載のワイヤソーによるサファイア単結晶の切断方法。
- 請求項1または2に記載の切断方法により得られたサファイア単結晶ウェハにより構成され、かつ、その表面に窒化物半導体層を成長させる単結晶サファイア基板において、
面方位がc面でかつ反り形状が等方的に凹面である基板表面を有することを特徴とする単結晶サファイア基板。
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JP2009170832A JP2011025429A (ja) | 2009-07-22 | 2009-07-22 | ワイヤソーによるサファイア単結晶の切断方法と単結晶サファイア基板 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109732796A (zh) * | 2019-01-30 | 2019-05-10 | 无锡中环应用材料有限公司 | 一种单晶硅片的切割方法 |
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2009
- 2009-07-22 JP JP2009170832A patent/JP2011025429A/ja active Pending
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