JP2011023493A - 半導体レーザ - Google Patents
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Abstract
【課題】CODを起こしにくく、かつ出力ビーム安定性の高い半導体レーザを得る。
【解決手段】水平共振器型で発振波長が650nm未満の半導体レーザであり、以下の構成を備えている。n型GaAs基板10上に、半導体積層構造として、n型クラッド層12、光導波路層、及びp型クラッド層20が順次形成されている。光導波路層は、井戸層28と障壁層30を含む量子井戸活性層16を有する。端面近傍に半導体積層構造の各層の構成元素を相互拡散した窓構造32が形成されている。井戸層28を除く光導波路層の各層は、0.66<xの(AlxGa1−x)InPからなる。
【選択図】図2
【解決手段】水平共振器型で発振波長が650nm未満の半導体レーザであり、以下の構成を備えている。n型GaAs基板10上に、半導体積層構造として、n型クラッド層12、光導波路層、及びp型クラッド層20が順次形成されている。光導波路層は、井戸層28と障壁層30を含む量子井戸活性層16を有する。端面近傍に半導体積層構造の各層の構成元素を相互拡散した窓構造32が形成されている。井戸層28を除く光導波路層の各層は、0.66<xの(AlxGa1−x)InPからなる。
【選択図】図2
Description
本発明は、水平共振器型で発振波長が650nm未満の半導体レーザに関し、特にCODを起こしにくく、かつ出力ビーム安定性の高い半導体レーザに関する。
光導波路層をクラッド層で挟むことで光導波路層に光を閉じ込める光導波構造(分離閉じ込めヘテロ構造)を有する半導体レーザが用いられている。光導波路層は活性層と光ガイド層を有する。活性層は、井戸層を障壁層で挟むことで井戸層にキャリアを閉じ込める量子井戸構造を有する。
600nm〜700nm程度の赤色領域の波長で発振する半導体レーザでは、通常GaAs基板上に形成したAlGaInP系半導体からなる半導体混晶が用いられる。(AlxGa1−x)InPは、x<0.5では直接遷移であるが、x>0.66では間接遷移になることが知られている(例えば、非特許文献1参照)。
このため、x>0.66の(AlxGa1−x)InPの場合、Al組成を上げてもバンドギャップはほとんど変化しないが、屈折率は小さくなる。バンドギャップが変化しなければ、量子井戸の障壁層としての効果は変化しない。しかし、光導波路層の屈折率が小さくなり、クラッド層の屈折率との差が小さくなると、光閉じ込め効果が小さくなる。このため、従来は、光導波路層の障壁層や光ガイド層として、x≦0.66の(AlxGa1−x)InPを用いていた。
半導体レーザにおいて、端面の破局的光学損傷(COD: Catastrophic Optical Damage)が光出力を制限することが知られている。CODを起こしにくくするために、端面近傍において量子井戸の実効バンドギャップを拡大するか又は量子井戸を無くした窓構造が形成される。
D. J. Mowbray, O. P. Kowalski, M. Hopkinson, M. S. Skolnick and J. P. R. David, "Electronic band structure of AlGaInP grown by solid-source molecular-beam epitaxy," Appl. Phys. Lett. 65 (2), 213-215, 1994.
窓構造の形成方法として、端面近傍に不純物を選択的に導入することにより量子井戸構成元素を相互拡散させる方法がある。しかし、この相互拡散により窓構造部分では光導波構造までも失われ、窓構造でない部分に比べて屈折率分布がぼやけてしまう。従って、出射端面近傍で光の閉じ込めが維持されず、導波路による制御が弱くなる。このため、温度変化などに対して遠視野像やビーム出射方向の不安定性が増すという問題があった。
また、半導体レーザの発振波長が光導波層のバンドギャップに近くなるほど屈折率分散が大きくなるので、発振波長が短いほど導波路による制御が不安定になる。従って、上記の問題は、発振波長650〜660nm程度のDVDのピックアップ半導体レーザでは大きな問題とはならない。しかし、発振波長650nm未満のディスプレイ用半導体レーザなどでは、この問題が顕在化する。
本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、その目的はCODを起こしにくく、かつ出力ビーム安定性の高い半導体レーザを得るものである。
上記の課題を解決するために、本発明は、水平共振器型で発振波長が650nm未満の半導体レーザであって、GaAs基板と、前記GaAs基板上に順次形成された第1導電型クラッド層、光導波路層及び第2導電型クラッド層を有する半導体積層構造とを備え、前記光導波路層は、井戸層と障壁層を含む量子井戸活性層を有し、端面近傍に前記半導体積層構造の各層の構成元素を相互拡散した窓構造が形成され、前記井戸層を除く前記光導波路層の各層は、0.66<xの(AlxGa1−x)InPからなることを特徴とする半導体レーザである。
本発明により、CODを起こしにくく、かつ出力ビーム安定性の高い半導体レーザを得ることができる。
以下、本発明の実施の形態に係る半導体レーザについて図面を用いて説明する。同じ構成要素には同じ符号を付し、説明を省略する。
図1は、本発明の実施の形態に係る半導体レーザを示す斜視図である。この半導体レーザは水平共振器型で発振波長が650nm未満の半導体レーザである。また、半導体レーザの共振器構造は、リッジ型の単一横モードレーザである。
n型GaAs基板10上に、GaAs基板に格子整合するAlGaInP系半導体からなるn型クラッド層12、光ガイド層14、量子井戸活性層16、光ガイド層18、p型クラッド層20及びp型コンタクト層22が順次形成されている。これらの半導体積層構造の結晶成長には、例えば有機金属気相成長法(MOCVD: Metal Organic Chemical Vapor Deposition)が用いられる。
p型クラッド層20及びp型コンタクト層22にリッジが形成されている。p型コンタクト層22上にp電極24が形成され、n型GaAs基板10の下面にn側電極26が形成されている。
クラッド層12,20はAl0.51In0.49P又は(Al0.9Ga0.1)0.51In0.49Pからなる。光ガイド層14,18は(Al0.7Ga0.3)0.51In0.49Pからなる。
光ガイド層14,18と量子井戸活性層16は光導波路層を構成する。従って、半導体レーザは、この光導波路層をクラッド層12,20で挟むことで光導波路層に光を閉じ込める光導波構造を有する。この光導波路層の厚さは100nmである。
図2は、図1の半導体レーザの共振器方向の断面図である。また、図3は、図1の半導体レーザの各層の電子のエネルギーを示す図である。量子井戸活性層16は、井戸層28を2層の障壁層30で挟んだ単一量子井戸構造を有する。井戸層28はGaInP又はAlGaInPからなる。障壁層30は光ガイド層14,18と同じ物質からなる。また、半導体レーザの端面近傍に、Znなどの不純物を導入することで半導体積層構造の各層の構成元素を相互拡散した窓構造32が形成されている。
図4は、図1の半導体レーザ(端面付近以外)の屈折率を示す図である。図1の半導体レーザでは、井戸層28を除く光導波路層の各層(光ガイド層14,18と障壁層30)は0.66<xの(AlxGa1−x)InPからなる。このようなAlGaInPは、バルク結晶での屈折率が3.229より小さくなり、クラッド層12,20との屈折率差が小さい。このため、周囲の層に比べて井戸層28の屈折率の高さが顕著になっている。
図5は、図1の半導体レーザの端面付近における屈折率を示す図である。光ガイド層14,18とクラッド層12,20との組成差が小さいため、端面付近において相互拡散による光導波構造の消失が抑えられている。
比較のために、井戸層28を除く光導波路層の各層がx≦0.66の(AlxGa1−x)InPからなる半導体レーザについて同様の測定を行った。図6は、比較例に係る半導体レーザ(端面付近以外)の屈折率を示す図である。障壁層30の屈折率が高くなっている。なお、光ガイド層14,18は省略した。
図7は、比較例に係る半導体レーザの端面付近における屈折率を示す図である。障壁層30とクラッド層12,20との屈折率差が大きいため、端面付近において光導波構造が消失してしまう。
図8は、比較例に係る半導体レーザの共振器方向の断面図である。上記のように端面付近において導波路が消失したため、窓構造32まで導波路を伝播してきた光は窓構造32に入ると広がってしまう。このため、比較例では、温度変化や出力変化などに対して遠視野像やビーム出射方向の不安定性が増す。
以上説明したように、本実施の形態では、端面近傍に半導体積層構造の各層の構成元素を相互拡散した窓構造32を形成するため、CODを起こしにくい。また、井戸層28を除く光導波路層の各層の屈折率を小さくしたため、端面付近において相互拡散による光導波構造の消失が抑えられている。これにより、出力ビーム安定性の高い半導体レーザを得ることができる。また、単一横モード発振する半導体レーザの場合、出力ビーム不安定性が問題になることが多いため、本実施の形態の構造が特に有効である。
また、本実施の形態では、光導波路層の厚さを100nmと厚くすることで、更に光導波構造の消失を抑えると共に、出射光の遠視野広がり角の変化を補償できる。計算によれば、井戸層28を除く光導波路層の各層のAl組成が0.6、光導波路層の厚さが70nmの場合、遠視野広がり角は半値全幅で18°程度である。光導波路層の厚さが70nmのまま、Al組成を0.7にした場合、遠視野広がり角は13°程度である。Al組成を0.7にし、光導波路層の厚さを100nmと厚くした場合、遠視野広がり角は18°程度と従来構造と同程度にすることができる。
一般に遠視野広がり角は狭い方が良いとされるが、光閉じ込め係数を高く保つにはある程度の遠視野広がり角が必要である。実際には13〜30°程度の広がり角が必要で、その場合の光導波路層の厚さは70〜240nmとなる。さら望ましい遠視野広がり角は17〜20°程度であり、その場合の光導波路層の層厚は90〜110nmとなる。
図9は、本発明の実施の形態に係る半導体レーザの変形例のエネルギーバンドを示す図である。量子井戸活性層16は、2層の井戸層28と3層の障壁層30を有する多重量子井戸構造である。また、障壁層30は光ガイド層14,18とはAl組成が異なる。この半導体レーザでも上記と同様の効果を奏する。
また、本実施の形態では量子井戸活性層16の両側に光ガイド層14,18が有る。しかし、これに限らず、光ガイド層14,18が無く、量子井戸活性層16がクラッド層12,20に直接挟まれた構造でもよい。
10 n型GaAs基板(GaAs基板)
12 n型クラッド層(第1導電型クラッド層、半導体積層構造)
14 光ガイド層(光導波路層、半導体積層構造)
16 量子井戸活性層(光導波路層、半導体積層構造)
18 光ガイド層(光導波路層、半導体積層構造)
20 p型クラッド層(第2導電型クラッド層、半導体積層構造)
28 井戸層
30 障壁層
32 窓構造
12 n型クラッド層(第1導電型クラッド層、半導体積層構造)
14 光ガイド層(光導波路層、半導体積層構造)
16 量子井戸活性層(光導波路層、半導体積層構造)
18 光ガイド層(光導波路層、半導体積層構造)
20 p型クラッド層(第2導電型クラッド層、半導体積層構造)
28 井戸層
30 障壁層
32 窓構造
Claims (5)
- 水平共振器型で発振波長が650nm未満の半導体レーザであって、
GaAs基板と、
前記GaAs基板上に順次形成された第1導電型クラッド層、光導波路層及び第2導電型クラッド層を有する半導体積層構造とを備え、
前記光導波路層は、井戸層と障壁層を含む量子井戸活性層を有し、
端面近傍に前記半導体積層構造の各層の構成元素を相互拡散した窓構造が形成され、
前記井戸層を除く前記光導波路層の各層は、0.66<xの(AlxGa1−x)InPからなることを特徴とする半導体レーザ。 - 水平共振器型で発振波長が650nm未満の半導体レーザであって、
GaAs基板と、
前記GaAs基板上に順次形成された第1導電型クラッド層、光導波路層及び第2導電型クラッド層を有する半導体積層構造とを備え、
前記光導波路層は、井戸層と障壁層を含む量子井戸活性層を有し、
端面近傍に前記半導体積層構造の各層の構成元素を相互拡散した窓構造が形成され、
前記井戸層を除く前記光導波路層の各層は、バルク結晶での屈折率が3.229より小さいAlGaInPからなることを特徴とする半導体レーザ。 - 前記半導体レーザは単一横モード発振することを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体レーザ。
- 前記光導波路層の厚みは70〜240nmであることを特徴とする請求項1−3の何れか1項に記載の半導体レーザ。
- 前記光導波路層の厚みは90〜110nmであることを特徴とする請求項1−3の何れか1項に記載の半導体レーザ。
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JP2013143550A (ja) * | 2012-01-12 | 2013-07-22 | Japan Oclaro Inc | 半導体レーザ装置 |
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JPWO2018008381A1 (ja) * | 2016-07-04 | 2019-04-18 | ソニー株式会社 | 光学素子、活性層構造及び表示装置 |
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2009
- 2009-07-15 JP JP2009166346A patent/JP2011023493A/ja active Pending
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