JP2011007532A - Sensor device - Google Patents

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Nobuaki Shimamoto
延亮 島本
Takanori Sugiyama
貴則 杉山
Kazuaki Nishimura
和晃 西村
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress short-circuiting between electrodes of chip capacitors when using conductive adhesives, such as silver paste, for adhering the chip capacitors.SOLUTION: A molding material F is interposed between terminal boards where both the electrodes of a chip capacitor 28 are stuck, and two grooves D are provided on a surface of the molding material F. The excess of silver paste 29 for adhering the electrodes of the chip capacitor 28 flows into different grooves D for the respective electrodes, thus reducing a risk of contacting of each silver paste 29 for adhering both the electrodes and hence suppressing short-circuiting between the electrodes of the chip capacitor 28.

Description

本発明は、センサ装置に関するものである。   The present invention relates to a sensor device.

従来、物理量を検出し対応した電気信号を生成するセンサ部に、入力端子板、出力端子板、及び接地端子板をそれぞれ直接接続し、入力端子板と接地端子板に橋架される形でチップコンデンサを表面実装し、並びに出力端子板と接地端子板に橋架される形でチップコンデンサを表面実装したセンサ装置がある(特許文献1参照)。本従来例は、入力信号及び出力信号に含まれる高周波ノイズをチップコンデンサを通じて接地端子板に放出し、それぞれの信号中に含まれる高周波ノイズを軽減している。また、本従来例ではそれぞれの端子板がセンサ部に直接接続されているため、プリント配線板を用いる必要がなく、安価にセンサ装置を構成することができる。   Conventionally, an input terminal board, an output terminal board, and a ground terminal board are directly connected to a sensor unit that detects a physical quantity and generates a corresponding electrical signal, and is bridged between the input terminal board and the ground terminal board. There is a sensor device in which a chip capacitor is surface-mounted in a form that is surface-mounted and bridged between an output terminal plate and a ground terminal plate (see Patent Document 1). In this conventional example, high frequency noise included in the input signal and output signal is emitted to the ground terminal plate through the chip capacitor, and the high frequency noise included in each signal is reduced. Moreover, in this conventional example, since each terminal board is directly connected to the sensor part, it is not necessary to use a printed wiring board, and a sensor apparatus can be comprised at low cost.

本従来例では、半田を用いてチップコンデンサの電極を端子板に固着している。このような表面実装部品の半田付けの手法にはリフロー半田付けや手半田付けなどがあるが、工業的な大量生産品の半田付けにおいては、一般にリフロー半田付けが用いられる。しかしリフロー半田付けでは、センサ装置全体をリフロー炉に入れて高温環境下におかなければならず、チップコンデンサに不具合が生じたりセンサ部の特性が変化してしまうというおそれがあった。   In this conventional example, the electrode of the chip capacitor is fixed to the terminal board using solder. Such surface mounting component soldering methods include reflow soldering and manual soldering, but reflow soldering is generally used for industrial mass production soldering. However, in reflow soldering, the entire sensor device must be placed in a reflow furnace and placed in a high temperature environment, which may cause a problem with a chip capacitor or change the characteristics of the sensor unit.

この課題を解決するためには、半田に代えて、銀ペーストなどの導電性接着剤を用いてチップコンデンサを接着することが考えられる。しかし、銀ペーストなどの導電性接着剤を用いた場合には、この導電性接着剤の量が過剰であると、チップコンデンサの両電極を接着する各導電性接着剤が広がって互いに接触し、コンデンサの電極間が短絡してしまうおそれがある。   In order to solve this problem, it is conceivable to bond the chip capacitor using a conductive adhesive such as silver paste instead of solder. However, when a conductive adhesive such as silver paste is used, if the amount of this conductive adhesive is excessive, each conductive adhesive that bonds both electrodes of the chip capacitor spreads and contacts each other, There is a risk of short-circuiting between the electrodes of the capacitor.

特許文献2には、この課題を解決する手段として、電子部品を表面実装する回路基板において、電子部品が配置される基板の表面に、溝を1本形成した回路基板が記載されている。本従来例では、銀ペーストによって接着される電子部品の両端は、この溝を跨ぐように配置される。よって、余剰な銀ペーストはこの溝に流れ込むので、電子部品の両端が短絡することを抑制することができる。   As a means for solving this problem, Patent Document 2 describes a circuit board in which one groove is formed on the surface of a circuit board on which an electronic component is arranged in a circuit board on which the electronic component is surface-mounted. In this conventional example, both ends of the electronic component bonded by the silver paste are arranged so as to straddle this groove. Therefore, since excess silver paste flows into this groove | channel, it can suppress that both ends of an electronic component short-circuit.

特開2008−241456号公報JP 2008-241456 A 特開平10−75021号公報JP-A-10-75021

しかし、上記従来例は、電子部品の両端を接着する各銀ペーストが同一の溝に流れ込む構造であるため、溝に流れ込んだ銀ペーストがダレることによって銀ペースト同士が接触し、電子部品の両端が短絡するおそれがあった。   However, in the above conventional example, each silver paste that adheres both ends of the electronic component flows into the same groove, so that the silver paste that has flowed into the groove is brought into contact with each other, and both ends of the electronic component are contacted. Could short circuit.

本発明は、上記事情に鑑みて為されたものであり、チップコンデンサの電極間が短絡することを抑制したセンサ装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a sensor device that suppresses short-circuiting between electrodes of a chip capacitor.

上記の目的を達成するために、請求項1の発明は、物理量を検出するセンサ素子を有し、検出された物理量に対応した電気信号を生成するセンサ部と、このセンサ部に接続された入力端子板及び出力端子板と、接地端子板と、これら端子板同士の隙間に介在する絶縁物と、この絶縁物を跨ぎ、前記入力端子板または前記出力端子板と前記接地端子板との間に架設されるチップコンデンサと、このチップコンデンサの両電極を前記各端子板に固着する導電性接着剤と、前記センサ部を収容し前記各端子板の一端を露出させる端子孔が形成されたケースとを備え、前記チップコンデンサの両電極間に挟まれる前記絶縁物の表面に、前記導電性接着剤を流れ込ませるための互いに交差しない2本の溝を、このチップコンデンサの橋架方向と交差する方向に沿って形成したことを特徴とする。   In order to achieve the above-mentioned object, the invention of claim 1 has a sensor element for detecting a physical quantity, a sensor section for generating an electrical signal corresponding to the detected physical quantity, and an input connected to the sensor section. A terminal plate, an output terminal plate, a ground terminal plate, an insulator interposed in a gap between these terminal plates, and straddling the insulator, between the input terminal plate or the output terminal plate and the ground terminal plate A chip capacitor to be installed; a conductive adhesive for fixing both electrodes of the chip capacitor to the terminal plates; a case in which a terminal hole is formed to house the sensor portion and expose one end of each terminal plate; And two non-intersecting grooves for allowing the conductive adhesive to flow into the surface of the insulator sandwiched between the two electrodes of the chip capacitor intersect with the bridging direction of the chip capacitor. Characterized in that formed along the direction.

この発明では、チップコンデンサの両電極が固着される端子板の間に、絶縁物を介在させ、この介在させた絶縁物の表面に2本の溝を設けている。よって、チップコンデンサの電極を接着する導電性接着剤の余剰分は、各電極ごとに異なる溝に流れ込むことになる。従って導電性接着剤同士が接触するおそれが小さくなり、チップコンデンサの電極間の短絡を抑制することができる。   In the present invention, an insulator is interposed between the terminal plates to which both electrodes of the chip capacitor are fixed, and two grooves are provided on the surface of the interposed insulator. Therefore, the surplus of the conductive adhesive that bonds the electrodes of the chip capacitor flows into different grooves for each electrode. Therefore, the possibility that the conductive adhesives come into contact with each other is reduced, and a short circuit between the electrodes of the chip capacitor can be suppressed.

本発明は、チップコンデンサの電極間が短絡することを抑制したセンサ装置を提供することができる。   The present invention can provide a sensor device that suppresses a short circuit between electrodes of a chip capacitor.

本発明の実施形態に係るチップコンデンサ28近傍の断面図である。It is sectional drawing of the chip capacitor | condenser 28 vicinity which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るセンサブロック2の模式図である。It is a mimetic diagram of sensor block 2 concerning an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態の断面図である。It is sectional drawing of embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る端子23〜26、パッケージ3、及び第1のケース51の上面図である。It is a top view of the terminals 23 to 26, the package 3, and the first case 51 according to the embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係る、リードフレームAから切り離す前のセンサブロック2の模式図である。It is a mimetic diagram of sensor block 2 before separating from lead frame A concerning an embodiment of the present invention.

以下、本発明を圧力を検出するための圧力センサ装置に適用した実施形態について、図面を参照しながら説明する。尚、以下の説明では図3において上下左右方向を規定しており、図3は、図4のX−X線断面矢視図である。   Hereinafter, embodiments in which the present invention is applied to a pressure sensor device for detecting pressure will be described with reference to the drawings. In the following description, the vertical and horizontal directions are defined in FIG. 3, and FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line XX of FIG.

本実施形態のセンサ装置1は、流体の圧力を測定するためのもので、センサブロック2と、パッケージ3と、オイル4と、ハウジング5とから構成される。このセンサ装置1は、例えば浴槽の給湯器における水の流路にとりつけられて、この流路内の圧力によって浴槽の水位を検出する水位センサなどに適用可能である。   The sensor device 1 of this embodiment is for measuring the pressure of a fluid, and includes a sensor block 2, a package 3, oil 4, and a housing 5. The sensor device 1 can be applied to a water level sensor that is attached to a flow path of water in a water heater of a bathtub and detects the water level of the bathtub by the pressure in the flow path, for example.

センサブロック2は、図2に示すように、圧力センサチップ21と、集積回路チップ22と、入力端子板23と、接地端子板24と、出力端子板25と、ダミー端子板26とを備え、パッケージ3に収容されており、端子板23〜25の左端部及び5つのダミー端子板26の左端部あるいは右端部が、パッケージ3の左右側壁部から露出する。また、各々のチップ21、22と端子板23〜26とは、ボンディングワイヤ27を通じて電気的に接続されている。   As shown in FIG. 2, the sensor block 2 includes a pressure sensor chip 21, an integrated circuit chip 22, an input terminal plate 23, a ground terminal plate 24, an output terminal plate 25, and a dummy terminal plate 26. Housed in the package 3, the left end portions of the terminal plates 23 to 25 and the left end portion or right end portion of the five dummy terminal plates 26 are exposed from the left and right side wall portions of the package 3. Each chip 21, 22 and the terminal plates 23 to 26 are electrically connected through bonding wires 27.

圧力センサチップ21は、ダイヤフラムと複数のピエゾ抵抗素子(図示せず)とからなり、シリコン基板を加工して凹部21aを形成している。集積回路チップ22は、圧力センサチップ21から検出される検出値を信号処理する。また、圧力センサチップ21のピエゾ抵抗素子は、センサ装置1外部の雰囲気温度の影響を受け易く、ダイヤフラムの撓みによる抵抗値の変化を正しく検出することができないおそれがあるため、集積回路チップ22は、周囲の温度を検出して前記検出値に対する温度補正も行っている。   The pressure sensor chip 21 includes a diaphragm and a plurality of piezoresistive elements (not shown), and a recess 21a is formed by processing a silicon substrate. The integrated circuit chip 22 processes a detection value detected from the pressure sensor chip 21. Further, the piezoresistive element of the pressure sensor chip 21 is easily affected by the ambient temperature outside the sensor device 1 and may not be able to correctly detect a change in resistance value due to the deflection of the diaphragm. The ambient temperature is detected and temperature correction is also performed on the detected value.

パッケージ3から露出した端子板23〜26の左右の端部には、それぞれ凹部23a〜26aが形成され、更に3つの端子板23〜25の左端部には、各々短手方向の幅を端子板23〜25の短手方向の幅より小さくした端子片23b〜25bが延設されている。そして、パッケージ3の内部において各端子板23〜26の隙間には、絶縁性を有する合成樹脂材である成形材Fが充填され、後述するパッケージ3の本体部3aの下面と一体となっている。またパッケージ3の内部では、入力端子板23と接地端子板24とに橋架される形でチップコンデンサ28が表面実装され、同様に、出力端子板25と接地端子板24とに橋架される形でチップコンデンサ28が表面実装されている。このチップコンデンサ28の各電極は、銀ペースト29などの導電性接着剤によって、各端子板23〜25に接着される。ここで、チップコンデンサ28の両電極間に挟まれた成形材Fの表面には、図1に示すように、各端子板23〜25に沿って互いに交差しない2本の溝Dが形成されている。   Recesses 23a to 26a are formed at the left and right ends of the terminal plates 23 to 26 exposed from the package 3, respectively, and the left end portions of the three terminal plates 23 to 25 are each provided with a width in the short direction. Terminal pieces 23b to 25b that are smaller than the width in the lateral direction of 23 to 25 are extended. And the molding material F which is the synthetic resin material which has insulation is filled in the clearance gap between each terminal boards 23-26 inside the package 3, and it is integral with the lower surface of the main-body part 3a of the package 3 mentioned later. . Inside the package 3, the chip capacitor 28 is surface-mounted so as to be bridged between the input terminal plate 23 and the ground terminal plate 24. Similarly, the chip capacitor 28 is bridged between the output terminal plate 25 and the ground terminal plate 24. A chip capacitor 28 is surface mounted. Each electrode of the chip capacitor 28 is bonded to the terminal plates 23 to 25 by a conductive adhesive such as a silver paste 29. Here, on the surface of the molding material F sandwiched between both electrodes of the chip capacitor 28, as shown in FIG. 1, two grooves D that do not intersect with each other are formed along the terminal plates 23 to 25. Yes.

パッケージ3は、上記成形材Fによって一面(図3中の上面)が開口する扁平な略矩形状に形成される本体部3aと、本体部3a下端部の外面より円筒状に突出する導入管3bとから構成される。本体部3aの内底面には、センサブロック2の圧力センサチップ21が凹部21aを下方に向けながら固着され、圧力センサチップ21と対向する位置には、導入管3bの軸心を通って外部へまっすぐ貫通する圧力導入孔3cが形成される。そして、圧力導入孔3cと凹部21aとは連通しており、その孔内に流体からの圧力を圧力センサチップ21に伝達するためのオイル4が充填される。オイル4は、非腐食性を有しており、流体が腐食性を有するものであっても、流体と圧力センサチップ21との間にオイル4が介在することで圧力センサチップ21の腐食を防ぐことができる。   The package 3 has a main body 3a formed in a flat and substantially rectangular shape whose one surface (upper surface in FIG. 3) is opened by the molding material F, and an introduction pipe 3b that protrudes in a cylindrical shape from the outer surface of the lower end of the main body 3a. It consists of. The pressure sensor chip 21 of the sensor block 2 is fixed to the inner bottom surface of the main body 3a with the recess 21a facing downward, and the position facing the pressure sensor chip 21 passes through the axis of the introduction tube 3b to the outside. A pressure introducing hole 3c that penetrates straight is formed. The pressure introducing hole 3c and the recess 21a communicate with each other, and the hole 4 is filled with oil 4 for transmitting pressure from the fluid to the pressure sensor chip 21. The oil 4 is non-corrosive, and even if the fluid is corrosive, the oil 4 is interposed between the fluid and the pressure sensor chip 21 to prevent the pressure sensor chip 21 from being corroded. be able to.

パッケージ3内部に収容されたセンサブロック2は、コーティング樹脂などからなりパッケージ3の開口から充填される封止材31によって封止され、更にパッケージ3の上面には、開口を塞ぐように矩形板状のカバー32が取り付けられている。   The sensor block 2 housed in the package 3 is sealed with a sealing material 31 made of a coating resin and filled from the opening of the package 3, and the upper surface of the package 3 has a rectangular plate shape so as to close the opening. The cover 32 is attached.

ハウジング5は、図3に示すように、一面が開口する扁平な矩形箱状に形成された第1のケース51及び第2のケース52が、互いの開口面同士を付き合わせることで結合されてなる。第1のケース51の下端部には、下方へ円筒状に突出するポート部51aが形成される。第1のケース51の内底面51hには下方へ窪んでなる段部51bが形成され、さらに段部51bの底面には穴部51cが穿設される。そして、パッケージ3の導入管3bが穴部51cに挿入されて本体部3aの下端部が段部51bに嵌合される。このとき、第1のケース51の内底面51hの左右両端部には、図3及び図4に示すように、それぞれの端子板23〜26の凹部23a〜26aと各々対向する位置に突起部51dが突設されており、突起部51dが凹部23a〜26aに嵌合されてかしめ固定される。   As shown in FIG. 3, the housing 5 includes a first case 51 and a second case 52 that are formed in a flat rectangular box shape that opens on one surface, and is joined by attaching the opening surfaces to each other. Become. A port portion 51 a that protrudes downward in a cylindrical shape is formed at the lower end portion of the first case 51. A step portion 51b that is recessed downward is formed on the inner bottom surface 51h of the first case 51, and a hole portion 51c is formed in the bottom surface of the step portion 51b. Then, the introduction pipe 3b of the package 3 is inserted into the hole 51c, and the lower end of the main body 3a is fitted into the step 51b. At this time, the left and right ends of the inner bottom surface 51h of the first case 51 have projections 51d at positions facing the recesses 23a to 26a of the respective terminal plates 23 to 26, as shown in FIGS. Is projected, and the protrusion 51d is fitted into the recesses 23a to 26a and fixed by caulking.

また、端子板23〜25の端子片23b〜25bは、図3に示すように、ハウジング5の左壁部5aに形成される導出口5bを通じて外部に導出される。ハウジング5の左壁部5aの周縁には、左方向から見た時に端子片23b〜25bの先端部を囲むように略ロ字形状に突出してなるオス型のコネクタ5cが形成される。従って、コネクタ5cと抜差自在に接続されるメス型のコネクタ(図示せず)を通じて、圧力センサチップ21で検出される検出値がセンサ装置1外部へ取り出し可能となっている。   Moreover, the terminal pieces 23b-25b of the terminal plates 23-25 are derived | led-out outside through the outlet 5b formed in the left wall part 5a of the housing 5, as shown in FIG. A male connector 5c is formed on the periphery of the left wall portion 5a of the housing 5 so as to protrude in a substantially square shape so as to surround the tip portions of the terminal pieces 23b to 25b when viewed from the left direction. Therefore, the detected value detected by the pressure sensor chip 21 can be taken out from the sensor device 1 through a female connector (not shown) that is detachably connected to the connector 5c.

穴部51cの内底面には、図3に示すように、パッケージ3の圧力導入孔3cと対向する位置に圧力導入孔3cの内径と略同じ内径を有する貫通孔51eがポート部51aを通じて下方へ向かって貫設される。また、穴部51cの内周面には、図3に示すように、弾性材料から環状に形成されて導入管3bの外径と略等しくした内径を有するOリング53が嵌着される。Oリング53は、その上に配設されているワッシャ54により上方向の移動が制限されている。そして、導入管3bが穴部51cに挿入されるとともにOリング53に挿通されることで、パッケージ3とハウジング5との隙間が封止される。   On the inner bottom surface of the hole 51c, as shown in FIG. 3, a through hole 51e having an inner diameter substantially the same as the inner diameter of the pressure introduction hole 3c is provided downward through the port 51a at a position facing the pressure introduction hole 3c of the package 3. It is penetrated toward. Further, as shown in FIG. 3, an O-ring 53 formed in an annular shape from an elastic material and having an inner diameter substantially equal to the outer diameter of the introduction tube 3b is fitted to the inner peripheral surface of the hole 51c. The O-ring 53 is restricted from moving upward by a washer 54 disposed thereon. The introduction pipe 3b is inserted into the hole 51c and inserted through the O-ring 53, whereby the gap between the package 3 and the housing 5 is sealed.

水などの流体がポート部51a下面の開口部51fより貫通孔51e内へ流入すると、オイル4を介して圧力センサチップ21のダイヤフラムが撓んでピエゾ抵抗素子に歪みが生じる。そして、この歪みによりピエゾ抵抗素子の抵抗値が変化し、その変化に応じて検出される検出値を取り出すことで、流体の圧力が測定される。   When a fluid such as water flows into the through hole 51e from the opening 51f on the lower surface of the port 51a, the diaphragm of the pressure sensor chip 21 is bent through the oil 4 and the piezoresistive element is distorted. And the resistance value of a piezoresistive element changes with this distortion, The pressure of the fluid is measured by taking out the detected value detected according to the change.

次に、センサブロック2の製造方法を、図5を参照して説明する。   Next, a method for manufacturing the sensor block 2 will be described with reference to FIG.

まず最初に、フープ材などの薄い金属板を打ち抜き加工して、各端子板23〜26を備えたリードフレームAを形成する。次に、本体部3aと導入管3bからなるパッケージ3を、成形材Fから一体に成形する。このとき、各端子板23〜26の間の隙間を埋める成形材Fは、本体部3aの下面と一体的に成形される。続いて、成形材Fの表面においてチップコンデンサ28を配置する位置に、レーザー加工などの手法により溝Dを2本ずつ形成する。この溝Dは、各端子板23〜25に沿って互いに交差しないように形成される。そして、2つのチップコンデンサ28を、入力端子板23と接地端子板24、並びに出力端子板25と接地端子板24に橋架される形で、且つ溝Dを跨ぐようにそれぞれ配置し、銀ペースト29によって各端子板23〜25に接着する。ここで、銀ペースト29の固化に加熱が必要な場合には、リフロー炉などの適宜の加熱手段を用いてセンサブロック2を加熱する。また、圧力センサチップ21及び集積回路チップ22を、パッケージ3内部の成形材F上に接着剤などで固着する。そして、各端子板23〜26と圧力センサチップ21及び集積回路チップ22とを、ボンディングワイヤ27によって電気的に接続する。最後に、リードフレームAの外枠から各端子板23〜26を切り離して、センサブロック2が形成される。   First, a thin metal plate such as a hoop material is punched to form a lead frame A including the terminal plates 23 to 26. Next, the package 3 composed of the main body 3a and the introduction tube 3b is integrally molded from the molding material F. At this time, the molding material F that fills the gaps between the terminal plates 23 to 26 is molded integrally with the lower surface of the main body 3a. Subsequently, two grooves D are formed at a position where the chip capacitor 28 is arranged on the surface of the molding material F by a technique such as laser processing. This groove | channel D is formed so that it may not mutually cross | intersect along each terminal board 23-25. Then, two chip capacitors 28 are respectively arranged so as to be bridged by the input terminal plate 23 and the ground terminal plate 24, the output terminal plate 25 and the ground terminal plate 24, and straddle the groove D, respectively. To each terminal board 23-25. Here, when heating is necessary for solidification of the silver paste 29, the sensor block 2 is heated using an appropriate heating means such as a reflow furnace. Further, the pressure sensor chip 21 and the integrated circuit chip 22 are fixed on the molding material F inside the package 3 with an adhesive or the like. Then, the terminal plates 23 to 26 are electrically connected to the pressure sensor chip 21 and the integrated circuit chip 22 by bonding wires 27. Finally, each of the terminal plates 23 to 26 is separated from the outer frame of the lead frame A, and the sensor block 2 is formed.

上述のように、各端子板23〜26を一体的なリードフレームAから形成することで、プリント配線板を用いずに、それぞれの端子板23〜26を集積回路チップ22などに接続することができる。   As described above, by forming the terminal plates 23 to 26 from the integrated lead frame A, the terminal plates 23 to 26 can be connected to the integrated circuit chip 22 or the like without using the printed wiring board. it can.

本実施形態では、各チップコンデンサ28が実装される成形材Fの表面に、各端子板23〜25に沿った2本の溝Dをそれぞれ形成している。よって、チップコンデンサ28の両電極を接着する銀ペースト29の余剰分は、図1に示すように、それぞれ別の溝Dに流れ込む。従って、チップコンデンサ28両端の銀ペースト29同士が接触するおそれが小さくなり、チップコンデンサ28の電極間の短絡を抑制することができる。   In the present embodiment, two grooves D are formed along the terminal plates 23 to 25 on the surface of the molding material F on which the chip capacitors 28 are mounted. Therefore, the surplus of the silver paste 29 for bonding both electrodes of the chip capacitor 28 flows into the respective grooves D as shown in FIG. Therefore, the possibility that the silver pastes 29 at both ends of the chip capacitor 28 come into contact with each other is reduced, and a short circuit between the electrodes of the chip capacitor 28 can be suppressed.

なお、チップコンデンサ28は必ずしも入力端子板23と出力端子板25の両方に備える必要はなく、いずれか一方だけに配設しても良い。   Note that the chip capacitor 28 is not necessarily provided in both the input terminal plate 23 and the output terminal plate 25, and may be provided in only one of them.

上記実施形態では、センサ装置として圧力を検出するための圧力センサ装置を例示したが、本発明の技術的思想が適用可能なセンサ装置は圧力センサ装置に限定されるものではなく、チップ部品を実装したセンサ装置であればよい。   In the above embodiment, the pressure sensor device for detecting pressure is exemplified as the sensor device, but the sensor device to which the technical idea of the present invention can be applied is not limited to the pressure sensor device, and chip components are mounted. Any sensor device may be used.

1 センサ装置
2 センサブロック
21 圧力センサチップ
22 集積回路チップ
23 入力端子板
24 接地端子板
25 出力端子板
28 チップコンデンサ
29 銀ペースト
F 成形材
D 溝
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Sensor apparatus 2 Sensor block 21 Pressure sensor chip 22 Integrated circuit chip 23 Input terminal board 24 Ground terminal board 25 Output terminal board 28 Chip capacitor 29 Silver paste F Molding material D Groove

Claims (1)

物理量を検出するセンサ素子を有し、検出された物理量に対応した電気信号を生成するセンサ部と、このセンサ部に接続された入力端子板及び出力端子板と、接地端子板と、これら端子板同士の隙間に介在する絶縁物と、この絶縁物を跨ぎ、前記入力端子板または前記出力端子板と前記接地端子板との間に架設されるチップコンデンサと、このチップコンデンサの両電極を前記各端子板に固着する導電性接着剤と、前記センサ部を収容し前記各端子板の一端を露出させる端子孔が形成されたケースとを備え、
前記チップコンデンサの両電極間に挟まれる前記絶縁物の表面に、前記導電性接着剤を流れ込ませるための互いに交差しない2本の溝を、このチップコンデンサの橋架方向と交差する方向に沿って形成したことを特徴とするセンサ装置。
A sensor unit having a sensor element for detecting a physical quantity and generating an electrical signal corresponding to the detected physical quantity, an input terminal board and an output terminal board connected to the sensor part, a ground terminal board, and these terminal boards An insulator interposed in a gap between each other, a chip capacitor straddling the insulator and spanning between the input terminal plate or the output terminal plate and the ground terminal plate, and both electrodes of the chip capacitor A conductive adhesive that adheres to the terminal plate, and a case in which a terminal hole that accommodates the sensor portion and exposes one end of each terminal plate is formed,
Two grooves that do not intersect each other for allowing the conductive adhesive to flow in are formed along the direction intersecting the bridge direction of the chip capacitor on the surface of the insulator sandwiched between both electrodes of the chip capacitor. A sensor device characterized by that.
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