JP2011003581A - 成膜装置および薄膜素子の製造方法 - Google Patents
成膜装置および薄膜素子の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】プラズマガンのプラズマ室1は、成膜室10に連結され、連結部側から順に、陽極4、中間電極3および陰極2が配置されている。陽極4と成膜室10との間には、グランド電位のグリッド5が備えられている。これにより、プラズマ電流の一部は、グランド電位のグリッド5に流れるため、成膜室内のグランド電位の物体にプラズマ電流が流れるのを防止することができる。
【選択図】図1
Description
Claims (4)
- 圧力勾配型のプラズマガンと、前記プラズマガンが形成したプラズマを引き込む成膜室とを有し、
前記プラズマガンは、前記成膜室に連結されたプラズマ室と、前記プラズマ室と成膜室との連結部側から順に配置された、陽極、中間電極および陰極とを備え、
前記陽極と前記成膜室との間にはグランド電位のグリッドが配置されていることを特徴とする成膜装置。 - 請求項1に記載の成膜装置において、前記グランド電位のグリッドは、前記プラズマを通過させるための貫通孔を有することを特徴とする成膜装置。
- プラズマ軸に沿って順に配置された陽極と中間電極と陰極とを備えたプラズマガンによって形成したプラズマを成膜室に引き込み、基板上に薄膜を形成する薄膜素子の製造方法であって、
前記陽極と成膜室との間に、グランド電位のグリッドを配置した状態で前記薄膜を形成することを特徴とする薄膜素子の製造方法。 - 請求項3に記載の薄膜素子の製造方法において、前記成膜室内のグランド電位の物品を、前記グランド電位のグリッドと前記プラズマとの距離よりも前記プラズマから離れた位置に配置して、前記薄膜を形成することを特徴とする薄膜素子の製造方法。
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