JP2011003458A - 荷電粒子選別装置及び荷電粒子照射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】イオン化したガスクラスターを選別するための荷電粒子選別装置において、前記ガスクラスターの進行方向に配列された電界を印加するための電界印加部と、前記ガスクラスターを選別するためのスリットと、を有し、前記電界印加部は2枚の電極から構成されており、前記電極に交流電圧を印加することにより、イオン化したガスクラスターを偏向させるものであって、前記電極は、開口部又は間隙を有することを特徴とする荷電粒子選別装置を提供することにより上記課題を解決する。
【選択図】 図3
Description
(荷電粒子選別装置及び荷電粒子照射装置)
第1の実施の形態について説明する。本実施の形態は、発生したガスクラスターを選別する荷電粒子選別装置及び荷電粒子選別装置により選別された荷電粒子を基板等に照射する荷電粒子照射装置に関するものである。
次に、第2の実施の形態について説明する。本実施の形態は、第1の実施の形態におけるクラスター選別部14を構成する電界印加部の電極を網目状に形成したものである。
次に、第3の実施の形態について説明する。本実施の形態は、第1の実施の形態における電極又は第2の実施の形態における電極により構成される電界印加部を複数有する構成の荷電粒子選別装置及び荷電粒子照射装置である。
12 イオン化電極
13 加速電極
14 クラスター選別部
21 電界印加部
22 電極
22a 導体棒
23 電極
23a 導体棒
24 スリット
25 電源
Claims (7)
- イオン化したガスクラスターを選別するための荷電粒子選別装置において、
前記ガスクラスターの進行方向に配列された電界を印加するための電界印加部と、
前記ガスクラスターを選別するためのスリットと、を有し、
前記電界印加部は2枚の電極から構成されており、前記電極に交流電圧を印加することにより、イオン化したガスクラスターを偏向させるものであって、
前記電極は、開口部又は間隙を有することを特徴とする荷電粒子選別装置。 - 前記電極における開口部又は間隙は、前記イオン化したガスクラスターの進行方向に対し、垂直方向に設けられたものであることを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子選別装置。
- 前記電極は、前記イオン化したガスクラスターの進行方向と垂直方向に延びる複数の導体棒を、前記イオン化したガスクラスターの進行方向に沿って配列させたものであることを特徴とする請求項1または2に記載の荷電粒子選別装置。
- 前記電極を構成する導体棒のピッチをPとし、前記電極間の間隔をDとした場合に、D/Pの値は1以上であることを特徴とする請求項3に記載の荷電粒子電別装置。
- 前記電極は、網目状に形成されているものであることを特徴とする請求項1または2に記載の荷電粒子電別装置。
- 前記電界印加部は、複数設けられていることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の荷電粒子電別装置。
- ガスクラスターを生成するガスクラスター生成部と、
前記ガスクラスターをイオン化するイオン化電極と、
前記イオン化したガスクラスターを加速するための加速電極と、
前記加速したイオン化したガスクラスターにおいて、所定の価数のイオン化したガスクラスターを選別するための請求項1から6のいずれかに記載の荷電粒子選別装置と、を有し、
前記荷電粒子選別装置より射出されたイオン化したガスクラスターを部材に照射することを特徴とする荷電粒子照射装置。
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