JP2010541000A - カラーフィルターアレイの製造方法 - Google Patents
カラーフィルターアレイの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010541000A JP2010541000A JP2010526350A JP2010526350A JP2010541000A JP 2010541000 A JP2010541000 A JP 2010541000A JP 2010526350 A JP2010526350 A JP 2010526350A JP 2010526350 A JP2010526350 A JP 2010526350A JP 2010541000 A JP2010541000 A JP 2010541000A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- semi
- substrate
- gas
- color filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/201—Filters in the form of arrays
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/22—Absorbing filters
- G02B5/223—Absorbing filters containing organic substances, e.g. dyes, inks or pigments
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Description
平坦な材料層を堆積し、そしてフォトリソグラフィ法を用いて、デバイスの残りを損傷しないように選ばれた好適なエッチングによって、不所望な層区分をエッチングにより取り除く。
基材上にフォトレジストを置き、そしてコンベンショナルなリソグラフィ法を用いてこのレジスト内にプロフィールを画像形成する。任意には、このレジストを処理し、次いで、CVD又はALDを用いて、頂部上に層をコーティングする。レジスト上のコーティングの上を引掻き、そして好適な溶剤で処理することによりレジストを除去する。この溶剤は引掻き傷に浸透する。コーティングは、レジストが溶解された場所で脱落する。
基材にマスクを適用し、マスクをパターニングし、ALD又はCVDを用いてパターニングされたマスク上に層をコーティングし、次いでマスクを機械的に除去する(国際公開第2006/111766号パンフレット参照)。
ALDを利用し、成長メカニズムに特異的な阻害剤を見いだし、そしてこれを印刷する(米国特許第7030001号明細書参照)。
ALD層のためのレジストとして作用するように正方形のフルオロポリマーを印刷することにより、ALDとインクジェット印刷されたP604とを組み合わせることによって、単純なカラーフィルターアレイを作成した。先ず62×62×1mmのガラススライドに、真空蒸発によってアルミニウム薄層をコーティングし、次いで、約200nm厚のチタニア層をALDによって堆積させた。
マスキング材料としてPVPを使用して、例1を繰り返した。
単純なカラーフィルターアレイを作成した。先ず62×62×1mmのガラススライドに、真空蒸発によってアルミニウム薄層をコーティングし、次いで、ほぼ200nm厚のチタニア層をALDによって堆積した。
複雑なカラーフィルターアレイを作成した。
先ず62×62×1mmのガラススライドに、交互のアルミナ層と二酸化チタン層から成る5層の「ブラッグ反射器」をコーティングした。それぞれの層は約100nm厚であり、低屈折率のアルミナで始まり終わっている。この上に、約200nmのチタニア層を堆積させた。
Claims (7)
- カラーフィルターアレイ及び大気バリアを製造する方法であって、基材上に半反射性材料層をコーティングする工程、前記半反射性層の上に実質的に透明な層を蒸着して1つの厚さを有する光干渉層を形成する工程、及び1つ又は2つ以上の段階であって、それぞれの段階が、前記光干渉層上に印刷することによりパターン化層を生成させること、前記パターン化層全体にわたって実質的に透明な層を蒸着して最初の又は前の光干渉層と組み合わされた場合に光干渉層を提供すること、溶剤により前記パターン化層を除去すること、及び最後の光干渉層の上方に第2の半反射性材料層をコーティングすることを含む1つ又は2つ以上の段階を含む、カラーフィルターアレイ及び大気バリアを製造する方法。
- 前記パターン層が各段階で除去される、請求項1に記載の方法。
- 前記パターン層が最終段階の後で除去される、請求項1に記載の方法。
- 前記半反射層が薄い金属コーティングを含む、請求項1、2または3に記載の方法。
- 使用される金属がアルミニウムである、請求項4に記載の方法。
- 前記半反射性層が、高屈折率と低屈折率とを備えた交互の金属酸化物から成る多数の層を有する多層ブラッグ反射器を構成している、請求項1、2または3のいずれか1項に記載の方法。
- 前記半反射性層が、高屈折率と低屈折率とを備えた交互の金属酸化物から成る多数の層を有する多層ブラッグ反射器を構成しており、当該多層ブラッグ反射器において、前記層の厚さの比が、変化する観察角度に伴う色の変化を減少させるように最適化されている、請求項1、2または3に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GBGB0718841.0A GB0718841D0 (en) | 2007-09-26 | 2007-09-26 | Method of making a colour filter array |
PCT/GB2008/003049 WO2009040498A1 (en) | 2007-09-26 | 2008-09-09 | Method of making a colour filter array |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010541000A true JP2010541000A (ja) | 2010-12-24 |
JP2010541000A5 JP2010541000A5 (ja) | 2012-10-11 |
Family
ID=38701735
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010526350A Pending JP2010541000A (ja) | 2007-09-26 | 2008-09-09 | カラーフィルターアレイの製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20100260929A1 (ja) |
EP (1) | EP2193391A1 (ja) |
JP (1) | JP2010541000A (ja) |
CN (1) | CN101809470B (ja) |
GB (1) | GB0718841D0 (ja) |
WO (1) | WO2009040498A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2011089646A1 (ja) * | 2010-01-21 | 2013-05-20 | 株式会社東芝 | 干渉型フィルタ層付基板及びそれを用いた表示装置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6350280B2 (ja) * | 2012-08-21 | 2018-07-04 | 凸版印刷株式会社 | 反射型表示パネル及びその製造方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08508114A (ja) * | 1993-12-23 | 1996-08-27 | ハネウエル・インコーポレーテッド | カラーフィルタ・アレイ |
JP2004287191A (ja) * | 2003-03-24 | 2004-10-14 | Seiko Epson Corp | カラーフィルタアレイおよび空間光変調装置および投射型表示装置 |
JP2006065306A (ja) * | 2004-07-15 | 2006-03-09 | Schott Ag | パターン付き光学フィルタ層を基板上に作製する方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0037529A1 (de) * | 1980-04-03 | 1981-10-14 | Agfa-Gevaert AG | Verfahren zur Herstellung eines Fotoempfängers mit einem multichroitischen Farbstreifenfilter |
US4896928A (en) * | 1988-08-29 | 1990-01-30 | Coherent, Inc. | Chromatically invariant multilayer dielectric thin film coating |
US6031653A (en) * | 1997-08-28 | 2000-02-29 | California Institute Of Technology | Low-cost thin-metal-film interference filters |
US7030001B2 (en) * | 2004-04-19 | 2006-04-18 | Freescale Semiconductor, Inc. | Method for forming a gate electrode having a metal |
FI117728B (fi) * | 2004-12-21 | 2007-01-31 | Planar Systems Oy | Monikerrosmateriaali ja menetelmä sen valmistamiseksi |
CN1937175B (zh) * | 2005-09-20 | 2012-10-03 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 用于半导体器件的使用大气压的材料原子层沉积的方法 |
TWI274905B (en) * | 2006-03-16 | 2007-03-01 | Wintek Corp | Color filter |
US7413982B2 (en) * | 2006-03-29 | 2008-08-19 | Eastman Kodak Company | Process for atomic layer deposition |
-
2007
- 2007-09-26 GB GBGB0718841.0A patent/GB0718841D0/en not_active Ceased
-
2008
- 2008-09-09 CN CN2008801085993A patent/CN101809470B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2008-09-09 EP EP08788564A patent/EP2193391A1/en not_active Withdrawn
- 2008-09-09 WO PCT/GB2008/003049 patent/WO2009040498A1/en active Application Filing
- 2008-09-09 JP JP2010526350A patent/JP2010541000A/ja active Pending
- 2008-09-09 US US12/677,901 patent/US20100260929A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08508114A (ja) * | 1993-12-23 | 1996-08-27 | ハネウエル・インコーポレーテッド | カラーフィルタ・アレイ |
JP2004287191A (ja) * | 2003-03-24 | 2004-10-14 | Seiko Epson Corp | カラーフィルタアレイおよび空間光変調装置および投射型表示装置 |
JP2006065306A (ja) * | 2004-07-15 | 2006-03-09 | Schott Ag | パターン付き光学フィルタ層を基板上に作製する方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2011089646A1 (ja) * | 2010-01-21 | 2013-05-20 | 株式会社東芝 | 干渉型フィルタ層付基板及びそれを用いた表示装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2009040498A1 (en) | 2009-04-02 |
EP2193391A1 (en) | 2010-06-09 |
GB0718841D0 (en) | 2007-11-07 |
US20100260929A1 (en) | 2010-10-14 |
CN101809470A (zh) | 2010-08-18 |
CN101809470B (zh) | 2012-03-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8361544B2 (en) | Thin film electronic device fabrication process | |
US7998878B2 (en) | Method for selective deposition and devices | |
US8030212B2 (en) | Process for selective area deposition of inorganic materials | |
JP4057184B2 (ja) | 原子層蒸着法を用いた薄膜製造方法 | |
US7142375B2 (en) | Films for optical use and methods of making such films | |
US20100221426A1 (en) | Web Substrate Deposition System | |
US20090081356A1 (en) | Process for forming thin film encapsulation layers | |
JP2013506762A (ja) | 曲面上に薄膜を形成するための蒸着反応器 | |
US8716707B2 (en) | Electronic device | |
US8168546B2 (en) | Method for selective deposition and devices | |
JP2010541000A (ja) | カラーフィルターアレイの製造方法 | |
CN107419239A (zh) | 用于镀膜的喷头、设备和相应方法 | |
US20220064795A1 (en) | Method and system for forming metal silicon oxide and metal silicon oxynitride layers | |
TW202307575A (zh) | 光阻底層上形成黏附層之方法及含有黏附層之結構 | |
US20100213167A1 (en) | Method of patterning vapour deposition by printing | |
US20110039025A1 (en) | Method of patterning vapour deposition by printing | |
US20220068647A1 (en) | Method and system for forming patterned features on a surface of a substrate | |
KR20220027772A (ko) | 다중 패터닝 공정을 사용하여 패터닝된 구조체를 형성하기 위한 방법 및 시스템 | |
JP2016094653A (ja) | 原子層堆積装置及び原子層堆積方法 | |
TW201542869A (zh) | 薄膜沉積裝置 | |
KR20230168133A (ko) | 포토레지스트 언더레이어를 형성하는 고온 방법 및 이를 형성하기 위한 시스템 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110804 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110804 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130419 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130507 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140204 |