JP2010514074A - 異なる幅のトラックを備える光学記憶媒体、および各製造方法 - Google Patents

Abstract

光学記憶媒体（１）は、基板層（２）と、トラック（Ｔ１−Ｔ６）に配置されるマーク／スペース構造を有するデータ層（３）と、を備える。第１のトラック（Ｔ１）のマークのシーケンス（Ｚ１）は第１の幅（ｗ１）を有し、隣り合うトラック（Ｔ２）のマークのシーケンス（Ｚ２）は、第１の幅とは異なる第２の幅（ｗ２）を有する。光学記憶媒体は、特に光学ディスク（１）であり、光学ディスク上に、トラック（Ｔ１−Ｔ６）がスパイラル、円形リング、または分割された円形リングとして配置される。

Description

本発明は、基板層と、マーク／スペース構造、特に基板層上のトラックに配置されるピット／ランド構造を有する読取専用データ層と、を備える光学記憶媒体、および該光学記憶媒体の各製造に関する。光学記憶媒体は、好適な実施形態において、高データ密度でデータを格納するための超解像近接場構造を有するマスク層を備える。

光学記憶媒体は、光学的に読み取り可能な方法でデータが格納される媒体であり、例えば、光学記憶媒体に光を当てるレーザー、およびデータを読み取る時にレーザービームの反射光を検出するための光検出器を備えるピックアップを用いてなされる。一方、多くの様々な光学記憶媒体が利用可能であり、これら光学記憶媒体は、異なるレーザー波長で操作され、１ギガバイト以下から５０ギガバイト（ＧＢ）までの記憶容量の異なったサイズを有している。これらのフォーマットは、読み取り専用フォーマット（ＲＯＭ）を含み、１回のみの書き込み光学媒体および再書き込み可能なフォーマットのオーディオＣＤやビデオＤＶＤのようなフォーマットである。デジタルデータは、この媒体の１または複数の層の中の各トラックに沿ってこれらの媒体に格納される。

最高のデータ容量を有する記憶媒体は、現時点でブルーレイディスク（Blu-Ray（登録商標）：ＢＤ）であり、ブルーレイディスクは２層ディスクに５０ＧＢを記憶することができる。現時点で利用できるフォーマットは、例えば読み取り専用ＢＤ−ＲＯＭ、再書き込み可能なＢＤ−ＲＥ、１回に限り書き込みできるＢＤ−Ｒである。ブルーレイディスクの読み取りまたは書き込みのために、４０５ナノメートルのレーザー波長を有する光学ピックアップが用いられる。ブルーレイディスク上で、３２０ナノメートルのトラックピッチ、および２Ｔから８Ｔ、最大で９Ｔまでのマーク長が用いられる。ここでＴは、チャンネルビット長であり、６９から８０ナノメートルの長さに相当する。さらに、ブルーレイディスクシステムに関する情報は、例えばインターネット＜http://www.blu-raydisc.com.＞経由でブルーレイのグループから入手可能である。

超解像近接場構造（Super-RENS）を有する新しい光学記憶媒体は、ブルーレイディスクと比べて１つの容量に３から４倍まで光学記憶媒体のデータ密度を増加できる可能性がある。これは、いわゆるSuper-RENSの構造または層を用いることにより可能である。この構造または層は、光学記憶媒体のデータ層上に配置され、光学記憶媒体の読み込みまたは書き込みに用いられる光スポットの有効サイズを大いに縮小させる。超解像層はいわゆるマスク層と呼ばれる。なぜなら、超解像層はデータ層の上に配置され、そして特定の材料のみを用いることによって高強度のレーザービーム中央部分がマスク層に入り込むことができるからである。また、超解像に関する他のメカニズムも知られており、例えば、より高いレーザー出力で増大する反射性を示すマスク層を用いることによるものである。

超解像近接場効果は、光学ディスクのマークに格納されるデータを記録し、読み取ることを可能にする。マークは、光学ディスク上のデータの読み取りまたはデータの書き込みのために用いられるレーザービームの解像限界より小さいサイズを有している。周知のように、レーザービーム解像の回折限界は、アッベによれば、おおよそλ／（２×ＮＡ）となる。ここで、λは波長であり、ＮＡは光学ピックアップの対物レンズの開口数である。

Super-RENS光学ディスクは、データを記録するための金属酸化物またはポリマー化合物からなる超解像近接場構造と、データを再作成するためのＧｅＳｂＴｅまたはＡｇＩｎＳｂＴｅに基づいた構造からなる位相変化層と、を備えることが、特許文献１または特許文献２から知られている。更なる超解像光学媒体の例は、特許文献３および非特許文献１に記載されている。

Super-RENSの効果は、トラック方向における光学ディスク上のマークを読み取るための光学ピックアップの解像を増加させるが、トラックピッチを縮小させない。

特許文献４において、少なくとも１つの最短のマークと、少なくとも１つの別のマークとを有するマーク列を備える光学ディスクが記載されており、また、このマーク列の最短のマークは、別のマークよりもより大きな幅を有している。光学ディスク上の最短のマークの幅を広げることによって、光学ディスクのデータを読み取るときに、光学ディスクから反射されたレーザービームによるデータ信号は、特に最短のマーク長が光学ディスクに当てられる再生成光ビームの直径よりも小さいときに、改善することができる。

国際公開第２００５／０８１２４２号パンフレット 米国特許出願第２００４／０２５７９６８号明細書 国際公開第２００４／０３２１２３号パンフレット 欧州特許ＥＰ−Ａ−０８１４４６４号公報

Tominaga et al., April. Lett. Vol. 73, No.15, 12 October 1998

本発明に係る光学記憶媒体は、基板層と、データ層のトラックに配置されるマークおよびスペースを有するデータ層とを備え、隣り合うトラックのマークは、異なる幅になっている。特に、連続して隣り合うトラックのマークの幅は、例えば第１の幅と第２の幅との間で交互している。トラックはマークのシーケンス（sequence）を有しており、トラック内において、各シーケンスのマーク全てが同じ、または本質的に同じ幅を有し、連続するシーケンスのマークの幅が交互している。あるいは、連続して隣り合うマークの幅が三つの異なる幅の間またはそれ以上の異なる幅の間で交互するようにして、マークを有するトラックを用いることができる。光学ディスクは、特に、マークおよびスペースとしてピットおよびランドを備えるＲＯＭディスクであるが、書き込み可能または再書き込み可能なディスクでも可能である。

第１の好適な実施形態において、トラックは光学ディスク上に配置される単一のスパイラルを構成し、このスパイラルは異なる幅のマークのシーケンスを含んでいる。この幅は、シーケンスの第１の幅と、その後のシーケンスの第２の幅との間で交互に変化し、あるいは連続するシーケンスについて第１の幅と第２の幅と第３の幅との間で交互に変化する。シーケンスの長さは、トラックに隣接するいかなるトラックも常に異なる幅のマークを有するという要求を満たしつつ、３６０°の円周と有利に一致する。

第２の好適な実施形態において、光学記憶媒体は２またはそれ以上のスパイラルで配置されるトラックを備える光学ディスクである。そして、各スパイラルは同じ幅のマークのみを含み、異なるスパイラルのマークの幅はそれぞれ異なっている。光学ディスクは、例えば、異なる幅のマークを有する２つのスパイラルを含み、そして１つのスパイラルはもう一方の間の中でネストされて、隣り合うトラックのマークの幅がいずれのトラックに関して常に異なることになる。

さらなる本発明の態様において、光学記憶媒体は、超解像近接場構造を有するマスクを備えるSuper-RENS光学ディスクであり、隣り合うトラックの間のトラックピッチは、対応する光学ピックアップの光学解像の限界以下である。トラックピッチは、例えば４０５ナノメートルの青色または紫色波長の光を放出する半導体レーザーを有する光学ピックアップを用いるためには、特に２８０ナノメートル以下である。隣り合うトラックのマークが交互に異なる幅を有するようなこの種のトラック構造を用いることにより、光学ピックアップのトラッキング規制に関してプッシュプル信号がやはり得られる。Super-RENSディスクについてのデータ密度は、光学解像の限界以下でトラックピッチを用いるとき、したがってかなり増加することができる。例えば、ブルーレイディスクのトラックピッチ標準である３２０ナノメートルの代わりに２４０ナノメートルのトラックピッチを用いるとき、３または４倍にすることができる。

第１の好適な実施形態に係る光学ディスクに関するスタンパーをマスタリングすることは、マスタリングビームの強度および／または幅を切り替えることにより、またはマスタリングビームの放射状の方向に高周波振動の振幅を切り替えることによりすることができ、マスターの完全な各回転の後に２つの異なる値の間で、一定の幅を備えるマークのデータのシーケンスを書き込みして、３６０°回転に等しい円周長のシーケンスを作成する。または、より短いシーケンスが用いられるときは、隣り合うトラックについて別のピット幅を形成するために、頻繁に切り替えられる。このようなディスクのデータを読み取るときに、連続するシーケンスの幅が変化するときにこれに対応してトラックの極性が切り替えられなければならない。

異なる幅のマークを有する２つの別個にネストされたスパイラルを備える光学ディスクをマスタリングするために、各スパイラルは分けてマスタリングされなければならない。そして、第２のスパイラルをマスタリングするとき、マスターは第１のスパイラルに正確に位置合わせされなければならない。さらに、特別のマスタリング装置を用いて同時に両方のスパイラルをマスタリングすることも可能である。第２の好適な実施形態は、データの読み出しが容易になるという利点を有し、なぜならば、あるスパイラルを読み取るときにトラックの極性が変わる必要がないからであるが、１つのスパイラルから別のスパイラルに移るときだけ必要がある。

本発明の好適な実施形態が、模式的な図を参照して例示により特に詳細にここで説明される。
基板と、データ層と、超解像近接場構造の層と、を備える層構造を有する光学記憶媒体の一部の断面図である。 特定のトラックが第１の幅のマークのみを有し、隣り合うトラックは第１の幅よりも大きな第２の幅のみを有するマークを備え、トラックピッチが光学解像の限界より小さい光学ディスクの小領域である。 図２ａに示すトラック構造に関する光学ピックアップの検出器の画像である。 トラックが同じ幅のマークのみを有し、そしてトラックピッチが光学解像の限界より小さい光学ディスクの小領域である。 図３ａに示すトラッキング構造に関する光学ピックアップの検出器の画像である。 図２ａおよび図３ａに示すトラッキング構造について計算されたプッシュプル信号を示す。 ２つの異なる幅のマークのシーケンスを有するスパイラルを備える光学ディスクの模式図である。 第１の幅のマークのみを有する第１のスパイラルと、第２の幅のマークのみを有する第２のスパイラルと、を備える光学ディスクの模式図である。

図１において、例えば読み取り専用の光学記憶媒体等の光学記憶媒体１を模式的に断面図で示す。基板２の上には、反射金属層、例えばアルミ層を備える読取専用データ層３が配置される。データ層３は原則的に並行するトラックに配置されるマークおよびスペースからなるデータ構造を有している。ＲＯＭディスクの場合、マークおよびスペースは、ピットおよびランドからなり、ピットは、データ層３に相当する基板２の表面に形成され、またはエンボス加工される。データ層３の上には、第１の誘電体層５が配置され、第１の誘電体層５の上には超解像近接場効果（Super-RENS）を提供することを目的とするマスク層４が配置される。光学記憶媒体１は、特にＤＶＤおよびＣＤに類似した大きさを有する光学ディスクである。

マスク層４の上には、第２の誘電体層６が配置される。更なる層として、第２の誘電体層５の上に保護層としてカバー層７が配置される。データ層３のデータを読み取るために、レーザービームが光学記憶媒体の上部から当てられて、まず、カバー層７に入る。第１の誘電体層５および第２の誘電体層６は、例えば、ＺｎＳ−ＳｉＯ₂材料を備える。基板２およびカバー層７は、ＤＶＤやＣＤで知られるようにプラスチック材料から形成されてもよい。他の実施形態においては、超解像近接場構造が用いられるとき、反射金属層は省略されてもよく、それにより熱効果による透過率の増加をもたらさないが、他の超解像近接場効果で動作する。

超解像近接場効果により、光学ピックアップの解像をトラック方向において相当量上げることができ、例えば３または４倍にまでできる。これにより、トラック方向に光学ディスク上のトラックのマークおよびスペースの大きさの縮小を可能にする。しかし、このようなSuper-RENS効果では、ピックアップユニットの光学解像の限界以下にトラックピッチを縮小させない。光学ピックアップユニットのトラッキング規制に関してプッシュプル効果が用いられるのならば、１次の屈折光は光学ピックアップユニットの対物レンズにより集められる必要があるという事実によりトラックピッチの縮小は限られる。そうでなければ、プッシュプル信号はないことになる。なぜならば、光学記憶媒体から反射される０次および１次のビームの干渉により、この信号が生成されるからである。ブルーレイのピックアップについて、このことは、約２８０ナノメートルのトラックピッチで生じる。ブルーレイディスクの標準的なトラックピッチは３２０ナノメートルである。

この問題を克服するために、図２ａに示すように、ディスクの隣り合うトラックのマークが異なる幅を有するように、マークの幅が第１の幅ｗ１および第２の幅ｗ２の間で交互に変化する。図２ａにおいて、トラックＴ１、Ｔ３、Ｔ５が第１の幅のマークｍ１のみを有し、幅ｗ１よりも大きい第２の幅ｗ２のマークｍ２のみをトラックＴ２、Ｔ４、Ｔ６が有するようにして光学ディスクの小領域が示される。第１のトラックのマークの幅が隣り合うトラックのマークの幅と常に異なるようにして、トラックＴ１、Ｔ３、Ｔ５はトラックＴ２、Ｔ４、Ｔ６と交互する。第１のトラックＴ３のマークｍ１は特に、全て同じ幅ｗ１、または製造による変動を考慮して、少なくも本質的に同じ幅を有し、対応する隣り合うトラックＴ２、Ｔ４のマークｍ２もまた特に、全て同じ幅または本質的に同じ幅ｗ２を有する。幅ｗ１、ｗ２はさらに、図２ａに示すように各マークｍ１、ｍ２の長さが独立し、または本質的に独立している。

この種のトラック構造を用いることにより、２つの隣り合うトラックＴ１、Ｔ２の間のトラックピッチｄは、トラックのデータをなお読み取りできるようにしておくことにより、対応する光学ピックアップの光学解像の限界よりも小さく縮小することができる。図２ｂにおいて、セグメント領域Ａ１−Ａ４を有する光学ピックアップの各検出器に現れることとなりうるシミュレーションされたイメージを示す。このとき、トラックピッチｄが２４０ナノメートルであり、かつ４０５ナノメートルの波長を有する青色レーザーを備えるピックアップが、図２ａに示すようなトラック構造について用いられることを条件とする。図２ｂにおいて、反射したビームの1次の回折次数の重なり合う領域が、セグメント領域Ａ１からＡ４においてはっきりとわかり、プッシュプル信号をもたらし、そして光学ピックアップのトラッキング規制を提供するためのトラッキング情報として用いることができる。

比較として、図３ａでは、全て同じ幅ｗ３、および２４０ナノメートルのトラックピッチを有するトラックＴ１１からＴ１３を有する光学ディスクの小領域を示す。このトラック構造では、０次および１次の反射されたビームの重なりがないことを示す図３ｂのようなシミュレーションされた検出器のイメージになる。

図３ａのトラック構造はそれゆえに、トラックピッチｄが光学解像の限界より小さなとき、図４に示すような利用可能なプッシュプル信号ＰＰ１を提供することができない。しかし、図２ａのトラック構造では、トラックピッチがｄ＝２４０ナノメートルに対して、明瞭な規格化プッシュプル信号ＰＰ２を提供し、光学ピックアップのトラッキング規制について用いることができる。

図２ａに示すトラックでは、ＤＶＤまたはブルーレイディスクで知られているようなスパイラルの形式、またはＤＶＤ−ＲＡＭで知られているような円形リングもしくは円形リングのセグメントの形式で光学ディスクに配置することができる。図５ａにおいて、光学ディスク上の１つのスパイラルＳ１としてトラックＴ１、Ｔ２、Ｔ３、・・・が配置される実施形態が示される。隣り合うトラックＴ１、Ｔ３のマーク幅が特定のトラックＴ２に関して変化するという要件を備えるために、スパイラルＳ１に配置されるマーク幅は、幅ｗ１およびｗ２の間で周期的に変化しなければならない。このことは、スパイラルＳ１を、第１の幅ｗ１のマークのみを有するシーケンスＺ１、Ｚ３、Ｚ５、…、に分割し、幅ｗ２のマークのみを含むシーケンスＺ２、Ｚ４、…、に分割することによりすることができる。各セグメントＺ１からＺ５の長さが、それぞれ１周３６０°の長さを有するとき、図５ａに見られるように、隣り合うトラックのマークの幅はいずれのトラックについても常に異なるという要件を満たす。

シーケンスＺ１、Ｚ２、…、の長さはまた、より小さくすることができ、特に、連続するシーケンスが３６０°の円周長の１／（１＋２ｎ）の長さを有する場合には、ｎ＝１、２、３、…、のとき、トラックのうちの１つのマーク幅は、隣り合うトラックのマーク幅とは常に異なるという要件も満たすことができるとわかる。しかし、より短いシーケンスを備える光学ディスクは、マスタリングするのがよりいっそう困難になる。それゆえ、３６０°の円周長を有するシーケンスＺ１、Ｚ２、…、が最適であると想定され、３６０°／２０よりも少なくとも小さい長さを有するシーケンスは、より役に立つとは想定されない。

光学ディスク上の２つのスパイラルＳ２、Ｓ３として、トラックＴ１からＴ４が配置される第二の実施形態を図５ｂに示す。第１のスパイラルＳ２は、トラックＴ１、Ｔ３の第１の幅ｗ１を有するマークのみを備え、第２のスパイラルＳ３は、第１の幅ｗ１よりも小さな、トラックＴ２、Ｔ４の第２の幅ｗ２を有するマークのみを備える。第１のスパイラルＳ２は、第２のスパイラルＳ３と交互に配置されて、第１のスパイラルＳ２に属するトラックＴ１、Ｔ３と、第２のスパイラルＳ３のトラックＴ２、Ｔ４とは、トラックＴ１、Ｔ３の間で対応するように交互に配置される。そのような配置に関して、そのときもまた、トラックのうちの１つのマーク幅は、隣り合うトラックのマークの幅と常に異なるという要件を満たす。それゆえ、双方の実施形態は、図２ａに示すトラックパターンと一致し、そしてそれゆえに、トラックピッチが光学解像の限界よりも小さな場合でさえプッシュプル信号を得ることができる。図５ａおよび図５ｂに示す実施形態は、実際の光学ディスクを表わすものではなく、単に本発明を説明するためだけの簡易的な略図を示している。

図５ａおよび図５ｂの実施形態が示すようなそれぞれ異なる配置は、実際の光学ピックアップでトラックのデータを読み取るとき、トラッキング規制に関するそれぞれ異なる結果を有する。図５ａの実施形態のスパイラルＳ１の幅は周期的に変化するので、したがってプッシュプル信号のサインも変化し、このことはトラッキング規制が周期的にプッシュプル信号の正および負のトラック極性で動作すべきことを要求する。図５ｂに示す２つのスパイラルを有するディスクからデータを読み取るとき、最初の１つのスパイラルを完全に読み取ること、または１つのスパイラルの大部分を完全に読み取ることに効果的であり、そして、次に別のスパイラルに切り替わるのに効果的である。１つのスパイラルから別のスパイラルへの切り替わりに関し、トラッキング規制では、正から負のトラック極性に対応して調節される必要がある。

図５ｂに示すような２つのスパイラルを有するディスクを継続して完全に読み出すことは、例えば次の手順によりすることができる。第１に、例えばスパイラルＳ２のＭトラックは、光学ピックアップのアクチュエーターを移動させることのみにより、完成光学ピックアップを移動させないで読み取られる。次に、アクチュエーターが直ちに戻り、少なくともＭトラックを横切り、第２のスパイラルＳ３に移るためにトラッキング規制のトラック極性を変化させて、そして次にスパイラルＳ３のＭトラックまたは２Ｍトラックでさえ継続して読み取ることができる。Ｍ＋１から２Ｍのトラックを読み取ることに関して、ピックアップを完全に移動させることが必要となるであろう。この一連のステップは、第１の幅ｗ１および第２の幅ｗ２のトラックを交互に読み取るために、その後も継続することができる。

適切な順番でこの種のマークの読み出しを可能にするために、ディスクの作成中に、アクチュエーターが戻る場所、およびどれくらいの数のトラックが横切られるかについて決定され、マークされなければならないことが要求される。光学ディスクのデータの高周波信号の読み出しされた信号の品質は、ピット配置に依存することが言及されるべきである。ピット幅の変化により、全てのピットが高周波信号に対して最適な幅を有することはできない。高周波信号について一定の品質を達成するために、両方の幅ｗ１、ｗ２が最適な幅から逸脱するべきで、それにより高周波信号による影響は両方の幅について同程度になる。ピットのそれぞれのマークに対するより小さな幅ｗ２は、それゆえ高周波信号に対する最適な幅以下であって、マークのより大きな幅ｗ１は、したがって最適な幅以上でなければならない。

原則として、隣り合うトラックに異なるマークの幅を用いる発想は、異なる２つの幅ｗ１、ｗ２だけの使用に限定されない。３つまたはそれ以上の異なるマーク幅を用いることにより、３倍またはそれ以上にまで有効周期性を増加することができるであろう。これは、一様なピット幅の通常のディスクと比べて、実際のトラックピッチをさらに減少させることを可能にする。

図５ａに示す実施形態に係る光学ディスクに関するスタンパーのマスタリングは、マスターをそれぞれ十分に回転させた後に２つの異なる値の間でマスタリングビームの強度および／または幅を切り替えることによりすることができて、一定の幅を有するマークのデータのシーケンスを書き込むことができる。例えば、幅ｗ１で３６０°回転に等しい円周長でシーケンスを作成し、次のステップで、幅ｗ２で３６０°に等しい円周長でシーケンスを作成する。シーケンスの長さが円周長よりも短いとき、隣り合うトラックについて別のピット幅を作成するために、次にマスタリングビームの強度および／または幅がしばしば変更されることになる。図５ａに係る異なる幅のマークを有する単一のスパイラルを作成するために、同様に、図５ｂに係る２つまたはそれ以上のスパイラルを作成するために、電子ビームのマスタリングを使用すること、および選択された幅に関して電子ビームのウォブル振幅を調節することが効果的である。

異なる幅のマークを有する別個にネストされたスパイラルを備える光学ディスクをマスタリングすることに関して、図５ｂに示すように、各スパイラルは分けてマスタリングされて、そして第２のスパイラルをマスタリングするときに、マスターは第１のスパイラルに正確に位置が合わせられる必要がある。さらに、特別なマスタリング装置を用いて、同時に両方のスパイラルをマスタリングすることが可能である。第２の好適な実施形態は、一定のスパイラルを読み取るときにトラック極性が切り替えられる必要がないので、データの読み出しが容易になる点で有利であるが、１つのスパイラルから別のスパイラルに移るときに限られる。

図２ａ、５ａ、５ｂに示すトラック構造は、図１に関して説明したように超解像近接場構造を有するマスク層を備えるSuper-RENS光学ディスクへ効果的に適用することができる。トラックピッチは、例えば、約４０５ナノメートルの波長の光を発光する半導体レーザーを有する光学ピックアップを使用するために、特に２８０ナノメートル以下である。しかしまた、別の実施形態では、本発明の趣旨および範囲から逸脱することなく当業者によって用いることが可能である。本発明は、特に読み取り専用（ＲＯＭ）光学記憶媒体だけではなく、書き込み可能および再書き込み可能な光学記憶媒体に用いることが可能である。本発明は、それゆえ、本明細書の後に添付した特許請求の範囲に属する。

Claims (15)

1. 基板層と、トラック（Ｔ１−Ｔ６）に配置されるマーク／スペース構造を有するデータ層と、を備える光学記憶媒体であって、
   第１のトラック（Ｔ１）のマークのシーケンス（Ｚ１）は、第１の幅（ｗ１）を有し、
   第２のトラック（Ｔ２）のマークのシーケンス（Ｚ２）は、前記第１の幅とは異なる第２の幅（ｗ２）を有する
   ことを特徴とする光学記憶媒体。
2. 連続して隣り合うトラック（Ｔ１−Ｔ６）のマーク（ｍ１、ｍ２）の前記幅は、前記第１の幅（ｗ１）と前記第２の幅（ｗ２）との間、または第１の幅と第２の幅と第３の幅との間で交互することを特徴とする請求項１に記載の光学記憶媒体。
3. スパイラル（Ｓ１−Ｓ３）、円形リング、または分割された円形リングとして前記トラック（Ｔ１−Ｔ６）が配置される光学ディスクであることを特徴とする請求項１または２に記載の光学記憶媒体。
4. スパイラル（Ｓ１）は、連続するシーケンス（Ｚ１−Ｚ５）に関し、前記第１の幅（ｗ１）と前記第２の幅（ｗ２）との間で交互に変化する異なる幅（ｗ１、ｗ２）のマークのシーケンス（Ｚ１−Ｚ５）を備えることを特徴とする請求項３に記載の光学記憶媒体。
5. 前記トラック（Ｔ１−Ｔ４）は、単一のスパイラル（Ｓ１）として前記光学ディスク上に配置され、
   前記スパイラルの前記マークの幅は、特に前記第１の幅と前記第２の幅との間で、１回転後、または１／（１＋２ｎ）回転後（ｎ＝１、２、３、…）に変わる
   ことを特徴とする請求項４に記載の光学記憶媒体。
6. 前記トラック（Ｔ１、Ｔ２）は、異なる幅を有する２またはそれ以上のスパイラルとして前記光学ディスク上に配置され、特に２つのスパイラル（Ｓ２、Ｓ３）は、第１のスパイラル（Ｓ２）は前記第１の幅（ｗ１）のマークのみを含み、第２のスパイラル（Ｓ３）は前記第２の幅（ｗ２）のマークのみを含むことを特徴とする請求項３に記載の光学記憶媒体。
7. 前記光学ディスクの隣り合うトラックの間の前記トラックのピッチは、対応する光学ピックアップの光学解像の限界より小さく、約４０５ナノメートルの波長の光を発光する半導体レーザーを有する光学ピックアップとともに使用するために特に２８０ナノメートル以下であることを特徴とする請求項３乃至６のいずれか１項に記載の光学記憶媒体。
8. ピットおよびランドとして表されるマーク／スペースを備える読取専用光学ディスクであることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の光学記憶媒体。
9. 前記光学記憶媒体は、超解像近接場構造を有するマスク層を備えるSuper-RENSディスクであって、
   隣り合うトラック（Ｔ１−Ｔ４）間の前記トラックのピッチは、前記光学解像の限界より小さく、約４００から４５０ナノメートルの範囲の波長のレーザーを有する光学ピックアップを使用するように設計されたときに特に２８０ナノメートルより小さい
   ことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の光学記憶媒体。
10. 請求項３、４、または５に係る光学記憶媒体についてのスタンパーを製造する方法であって、
    異なる幅（ｗ１、ｗ２）を有するマークの連続するシーケンスを形成するために、第１の幅と第２の幅との間、または第１の幅、第２の幅、および第３の幅の間で周期的に前記マスタリングビームの強度および／または幅を切り替えるステップ
    を備えることを特徴とする方法。
11. 請求項３または６に係る光学記憶媒体についてのスタンパーを形成する方法であって、
    第１の幅のマークを有する第１のスパイラル（Ｓ２）をマスタリングするステップと、
    さらに前記第１のスパイラルの中にネストされる第２のスパイラルをマスタリングするステップであって、前記第２のスパイラルの前記マークは、前記第１の前記マークに関して異なる幅を有するステップと
    を備えることを特徴とするスタンパーを形成する方法。
12. 請求項１０または１１に係る光学記憶媒体についてのスタンパーを形成する方法であって、
    電子ビームマスタリングを用い、そして選択された幅（ｗ１、ｗ２）に係る前記電子ビームのウォブル振幅を調節するとこによって、スパイラル（Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３）をマスタリングするステップ
    を備えることを特徴とする方法。
13. 請求項１乃至９のうちのいずれか１項に係る光学記憶媒体からデータを読み取るための光学ピックアップを備える装置であって、
    異なる幅のマークのトラックまたはシーケンスを読み取るために、トラックの極性、またはプッシュプル信号の位相関係を切り替えるトラッキング規制を備える
    ことを特徴とする装置。
14. 前記トラッキング規制は、前記トラック極性または前記プッシュプル信号の前記位相関係に従って、第１の幅、第２の幅、または第３の幅のマークを選択することを特徴とする請求項１３に記載の装置。
15. 前記装置は、スパイラル（Ｓ１）に沿うマークの幅が切り替わる前に、マークおよびスペースとして配置される情報ビットのシーケンスを読み取り、かつデコードし、
    前記情報ビットは、異なる幅（ｗ１、ｗ２）のマークを備えるスパイラル（Ｓ１）のデータを読み取るために、前記トラック極性または前記プッシュプル信号の前記位相関係を切り替える位置に関する前記トラッキング規制を通知する
    ことを特徴とする請求項１３または１４に記載の装置。

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