JP2010505721A - 複数の前駆体を用いた高純度シリコンの製造方法および製造装置 - Google Patents
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Abstract
Description
MSi+3HCl=SiHCl3+H2
2SiHCl4=Si+2HCl+SiCl4
・高いエネルギーコスト;
・高いプラントのコスト;
・非連続的な流れ(flux);
・望ましくない前駆体のリサイクルの困難さ;
・HClに対し耐食性のある特殊材料で構成した反応器の内側が必要なこと;
・プラントに人員を保護するために安全装置およびシステムの導入が必要なこと;
・プラントに環境保全のための装置および安全装置の導入が必要なこと;
・HCl、SiCl4のような毒性を有しリサイクルできない生成品の処理の問題;および
・シリカの処理の問題
流動床は、SiCl4、SiHCl3、SiH2Cl2等のようなクロロシランの形態の任意の前駆体を作るように塩酸が通る金属シリコンの容器(またはコンテナ)より成る。SiHCl3のみならず任意のクロロシランを作ることができることから、従来の方法と異なり、このシステムは、とりわけ正確な温度制御を必要としない。
既存の種類の容器およびポンプを用い、各種前駆体の蓄積を実施する。
2 フェライトおよび一次供給側トランス(primary feed transformer)
3 水素入口
4 水素補助入口
5 前駆体入口
6 冷却ガス入口
7 出口コレクタ
8 前駆体補助入口
9 補助入口
10 不活性ガス入口
11 プラズマ
12 前駆体分解チャンバー
13 シリコンパウダーおよび反応ガスを含むガスの流れ
14a プラズマコンテナチューブの外壁
14b プラズマコンテナチューブの内壁
15 冷却チャンバー
16 冷却液パイプ
17 電気絶縁体
18 冷却液
19 フィルター本体
26 フィルター要素
21 リサイクルしたガスのコレクタ
22 リサイクルまたは排気用のガス出口
23 シリコンパウダー
24 シリコンパウダーの排出用停止弁
25 除去されるシリコンのコンテナの停止弁
26 シリコンパウダーのコンテナ
27 スラリーのコンテナ
28 スラリーを形成する液体用の入口
29 圧縮ポンプ
30 圧縮されたシリコンインゴット
Claims (15)
- 複数の前駆体を用いた高品質なシリコンの製造方法であって、
以下の反応の1つ以上によりクロロシラン前駆体を準備し、
Si+3HCl→SiHCl3+H2
Si+4HCl→SiCl4+2H2
2Si+4HCl→2SiH2Cl2
元素状態の高品質なシリコンを得ることを目的に分解されるように前記前駆体をチャンバーに導入することを特徴とする製造方法。 - 前駆体を分解するチャンバーがプラズマ反応チャンバーであることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 少なくとも1つの希ガスが、前駆体が導入されているプラズマチャンバーに更に導入されることを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 前記希ガスがアルゴンであることを特徴とする請求項3に記載の方法。
- 反応パラメータが、場合により反応混合物の成分を含む微小球体を伴う、パウダーの形成をもたらすように選択されることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の方法。
- パウダーが、元素状シリコンの最終生成物と結合していない不要な成分が抽出されるのと同時に圧縮工程を経ることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の方法。
- 圧縮工程の前にパウダーに存在する前記不要な成分の一部または全部の少なくとも一部分がリサイクルされることを特徴とする請求項6に記載の方法。
- リサイクルされる成分が不要な成分を除去するために精製工程を経ることを特徴とする請求項7に記載の方法。
- パウダーが、太陽電池および/または半導体デバイスに用いるのに適した多結晶シリコンまたは単結晶シリコンを製造するために溶融および処理されるように炉内で圧縮されることを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の方法。
- 複数の前駆体を用いた高品質なシリコンの製造および請求項1〜9のいずれかに記載の方法に用いる装置であって、
多結晶シリコンロッドの製造のためのシールドチャンバーバルブが取り付けられた反応チャンバーであって生成品であるシリコン粒子と添加された液体とを収集する反応チャンバーに接続された出口チューブにより試薬を導入する手段を備えた誘導のためのプラズマが形成される実質的に環状のチャンバーを含むトランス結合誘導プラズマ反応器を含む装置。 - 環状のチャンバーがトランスの短絡回路として機能するのを避けるように間に絶縁材料が配置された複数のフランジと結合した環状要素により構成されていることを特徴とする請求項10に記載の装置。
- 上記トランスがフェライトのコアを含むことを特徴とする請求項10または11に記載の装置。
- プラズマを形成するための励起周波数が50KHzと400KHzとの間であることを特徴とする請求項10〜12のいずれかに記載の装置。
- 環状の反応チャンバーが冷却手段の循環のためのジャケットを備えることを特徴とする請求項10〜13のいずれかに記載の装置。
- 添付の図面に実質的に記載および示されている、請求項1〜9および請求項10〜14のいずれかに記載の複数の前駆体を用いる高品質のシリコンを製造する方法および装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
IT000521A ITRM20060521A1 (it) | 2006-10-02 | 2006-10-02 | Procedimento ed apparecchiatura per la produzione di silicio ad alta purezza impiegando precursori multipli |
PCT/IT2007/000675 WO2008041261A2 (en) | 2006-10-02 | 2007-09-27 | Process and device for the production of high-purity silicon using multiple precursors |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010505721A true JP2010505721A (ja) | 2010-02-25 |
JP2010505721A5 JP2010505721A5 (ja) | 2010-11-11 |
Family
ID=39268892
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009531020A Pending JP2010505721A (ja) | 2006-10-02 | 2007-09-27 | 複数の前駆体を用いた高純度シリコンの製造方法および製造装置 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20100290972A1 (ja) |
EP (1) | EP2069237A2 (ja) |
JP (1) | JP2010505721A (ja) |
CN (1) | CN101528596A (ja) |
AU (1) | AU2007303753A1 (ja) |
IT (1) | ITRM20060521A1 (ja) |
WO (1) | WO2008041261A2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR101441370B1 (ko) * | 2013-01-31 | 2014-11-03 | 한국에너지기술연구원 | 나노입자 포집장치 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN101759184B (zh) * | 2009-09-30 | 2012-05-30 | 江苏中能硅业科技发展有限公司 | 氢等离子体辅助制造多晶硅的系统和方法 |
US8226920B1 (en) | 2011-01-07 | 2012-07-24 | Mitsubishi Polycrystalline Silicon America Corporation (MIPSA) | Apparatus and method for producing polycrystalline silicon having a reduced amount of boron compounds by venting the system with an inert gas |
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CN107311183A (zh) * | 2017-08-31 | 2017-11-03 | 许文 | 一种氢等离子法合成硅烷的方法及装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US6926876B2 (en) * | 2002-01-17 | 2005-08-09 | Paul V. Kelsey | Plasma production of polycrystalline silicon |
-
2006
- 2006-10-02 IT IT000521A patent/ITRM20060521A1/it unknown
-
2007
- 2007-09-27 WO PCT/IT2007/000675 patent/WO2008041261A2/en active Application Filing
- 2007-09-27 US US12/444,157 patent/US20100290972A1/en not_active Abandoned
- 2007-09-27 AU AU2007303753A patent/AU2007303753A1/en not_active Abandoned
- 2007-09-27 EP EP07827726A patent/EP2069237A2/en not_active Withdrawn
- 2007-09-27 JP JP2009531020A patent/JP2010505721A/ja active Pending
- 2007-09-27 CN CNA2007800367752A patent/CN101528596A/zh active Pending
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2008041261A2 (en) | 2008-04-10 |
WO2008041261A3 (en) | 2008-08-21 |
AU2007303753A1 (en) | 2008-04-10 |
ITRM20060521A1 (it) | 2008-04-03 |
US20100290972A1 (en) | 2010-11-18 |
CN101528596A (zh) | 2009-09-09 |
EP2069237A2 (en) | 2009-06-17 |
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