JP2010284898A - スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スキージング動作後にスクリーンマスク12の下面から基板8を離隔させる版離れ工程において、密閉型スキージ機構13を一方のクランプ部材9Bの上方に位置させてスクリーンマスク12の上面に押し付けた状態で、基板下受部6を密閉型スキージ機構13とともに所定のストロークΔHだけ下降させて一旦停止させることにより、スクリーンマスク12と基板8との版離れを端部から順次行わせる第1の版離れ工程を実行し、次いで第1の版離れ工程後に基板下受部6をさらに下降させる第2の版離れ工程を実行する。
【選択図】図5
Description
位置など予め定められた任意の高さ位置で、密閉型スキージ機構13を停止させることができるようになっている。また昇降軸23aにはクランプ部材24aをシリンダ24bによって開閉駆動する構成の昇降クランプ機構24が設けられており、クランプ部材24aによって昇降軸23aを挟み込むことにより上下方向に固定することができ、これにより密閉型スキージ機構13の上下位置が固定される。スキージ昇降機構23を作動させることにより、密閉型スキージ機構13を昇降させて予め定められた任意の高さ位置に位置させることができるとともに、さらに密閉型スキージ機構13をスクリーンマスク12に対して規定の印圧によって押圧することが可能となっている。
ージ機構13とともに所定のストロークだけ下降させて一旦停止させることにより、スクリーンマスク12と基板8との版離れを、一方側(スキージング終了側)の反対の他方側(スキージング開始側)の端部から順次行わせる(第1の版離れ工程)。次いで、図5(c)に示すように、第1の版離れ工程後にZ軸テーブル5を駆動して、基板下受部6を基板8とともにさらに下降させて(矢印f)、版離れを完了させる(第2の版離れ工程)。
5 Z軸テーブル
6 基板下受部
8 基板
9 クランプ部材
12 スクリーンマスク
12a パターン孔
12b メッシュ部
12c 封止樹脂
13 密閉型スキージ機構
20 スキージ移動機構
21 Y軸移動機構
23 スキージ昇降機構
24 昇降クランプ機構
P ペースト
Claims (4)
- パターン孔が形成されたスクリーンマスクの下面に基板を当接させ、前記スクリーンマスクの上面にスキージユニットを当接させて摺動させることにより前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置であって、
前記基板を下受けして保持する基板下受部と、前記基板下受部によって下受けされた前記基板を両側方から挟み込んでクランプし、前記スキージユニットを摺動させるスキージング動作において前記スクリーンマスクの下面に当接する1対のクランプ部材と、前記スキージユニットを昇降させるとともに前記スキージング動作方向に移動させるスキージ移動機構と、前記基板下受部を前記クランプ部材とともに昇降させる昇降機構と、前記昇降機構および前記スキージ移動機構を制御することにより、前記スクリーンマスクの下面から前記基板を離隔させる版離れ動作を実行させる版離れ制御手段とを備え、
前記版離れ制御手段は、前記スキージング動作後の前記スキージユニットを前記1対のクランプ部材のうちの一方側の上方に位置させるスキージ配置工程と、前記スキージ配置工程後に前記スキージユニットを前記スクリーンマスクの上面に押し付けた状態で前記基板下受部をこのスキージユニットとともに所定のストロークだけ下降させて一旦停止させることにより、前記スクリーンマスクと前記基板との版離れを前記一方側の反対の他方側の端部から順次行わせる第1の版離れ工程と、前記第1の版離れ工程後に前記基板下受け部をさらに下降させて版離れを完了させる第2の版離れ工程と、
前記第2の版離れ工程後に前記スキージユニットを前記スキージング動作時の高さ位置まで復帰させるスキージ復帰工程とを実行させることを特徴とするスクリーン印刷装置。 - 前記スクリーンマスクは金属メッシュにおいて前記パターン孔以外の範囲を樹脂で封止して形成されたメッシュマスクであり、前記スキージユニットは前記メッシュマスクの上面に当接して摺動し内部に貯留された前記ペーストを加圧して前記パターン孔内に充填する構成の密閉型スキージ機構であることを特徴とする請求項1記載のスクリーン印刷装置。
- パターン孔が形成されたスクリーンマスクの下面に基板を当接させ、前記スクリーンマスクの上面にスキージユニットを当接させて摺動させることにより前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷方法であって、
前記スクリーンマスクの下面に基板下受部によって下受けされ1対のクランプ部材によって両側方から挟み込まれてクランプされた状態の前記基板を当接させるマスク当接工程と、前記スクリーンマスク上で前記スキージユニットを移動させることにより前記パターン孔内にペーストを充填させる充填工程と、前記スクリーンマスクの下面から基板を離隔させる版離れ工程とを含み、
更に前記版離れ工程は、前記スキージング動作後の前記スキージユニットを前記1対のクランプ部材のうちの一方側の上方に位置させるスキージ配置工程と、
前記スキージ配置工程後に前記スキージユニットを前記スクリーンマスクの上面に押し付けた状態で前記基板下受部をこのスキージユニットとともに所定のストロークだけ下降させて一旦停止させることにより、前記スクリーンマスクと前記基板との版離れを前記一方側の反対の他方側の端部から順次行わせる第1の版離れ工程と、前記第1の版離れ工程後に前記基板下受部をさらに下降させて版離れを完了させる第2の版離れ工程と、
前記第2の版離れ工程後に前記スキージユニットを前記スキージング動作時の高さ位置まで復帰させるスキージ復帰工程とを含むことを特徴とするスクリーン印刷方法。 - 前記スクリーンマスクは金属メッシュにおいて前記パターン孔以外の範囲を樹脂で封止して形成されたメッシュマスクであり、前記スキージユニットとして、前記メッシュマスクの上面に当接して摺動し内部に貯留された前記ペーストを加圧して前記パターン孔内に充填する構成の密閉型スキージ機構を用いることを特徴とする請求項3記載のスクリーン
印刷方法。
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