JP2010275613A - Tin electroplating solution and method of manufacturing electronic component - Google Patents

Tin electroplating solution and method of manufacturing electronic component Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a tin electroplating solution preventing a deterioration in electrical characteristic of a ceramic electronic component by suppressing the corrosion of an element assembly in plating, and to provide a method of manufacturing the electronic component using the tin electroplating solution. <P>SOLUTION: The tin electroplating solution for the ceramic electronic component contains tin ion and has pH≥5 and ≤8, ≤0.3 mol/L concentration of ammonia and ammonium ion, and (molar concentration of chelate agent)/(molar concentration of tin ion) of ≤2.5. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、セラミック電子部品に好適に使用される電気スズめっき液およびこのめっき液を用いた電子部品の製造方法に関する。   The present invention relates to an electrotin plating solution suitably used for ceramic electronic components and a method for producing an electronic component using the plating solution.

サーミスタ、コンデンサ、インダクタ、LTCC(Low Temperature Co-fired Ceramics)、バリスタやそれらの複合体からなるセラミック電子部品の端子電極形成工程において、電気Snめっきが用いられている。例えば、内部電極を備えるセラミック電子部品の表面に、銀、銅等の導電ペーストを塗布して焼成して下地電極を形成した後に、この下地電極表面に選択的に電気バレルめっきでNi層およびSn層を連続的に形成し、端子電極を構成する。このSn層の電気めっきには、pH4〜8の中性スズめっき液が用いられることが多い。   Electrical Sn plating is used in the process of forming terminal electrodes of ceramic thermistors composed of thermistors, capacitors, inductors, LTCC (Low Temperature Co-fired Ceramics), varistors and their composites. For example, after applying a conductive paste such as silver or copper on the surface of a ceramic electronic component having an internal electrode and firing to form a base electrode, the Ni layer and Sn are selectively applied to the surface of the base electrode by electric barrel plating. Layers are formed continuously to form terminal electrodes. A neutral tin plating solution having a pH of 4 to 8 is often used for the electroplating of the Sn layer.

従来、めっき後のセラミック電子部品の電気特性が、めっき前の電気特性に比べて劣化するという問題があった。その理由の1つとして、主としてセラミックスからなる素体に存在する多数の細孔を通じて素体の内部にめっき液が侵入し、素体を腐食させていることが挙げられる。このような観点から、特許文献1に示すように、めっき液の粘度を高めて、細孔内部へのめっき液の侵入を抑制する方法が提案されている。   Conventionally, there has been a problem that the electrical characteristics of a ceramic electronic component after plating are deteriorated as compared with the electrical characteristics before plating. One of the reasons is that the plating solution penetrates into the element body through a large number of pores present in the element body mainly made of ceramics and corrodes the element body. From such a viewpoint, as shown in Patent Document 1, a method has been proposed in which the viscosity of the plating solution is increased to suppress the penetration of the plating solution into the pores.

特公平7−23554号公報Japanese Patent Publication No. 7-23554

しかしながら、本発明者の研究によれば、単にめっき液の粘度を調整する手法では、素体の腐食を十分に抑制できないことが判明した。このため、素体の腐食を十分に抑制し、めっきによるセラミック電子部品の電気特性の劣化を防止し得るめっき液が要求されている。   However, according to the inventor's research, it has been found that the technique of simply adjusting the viscosity of the plating solution cannot sufficiently suppress the corrosion of the element body. Therefore, there is a demand for a plating solution that can sufficiently suppress corrosion of the element body and prevent deterioration of electrical characteristics of the ceramic electronic component due to plating.

そこで、本発明は上記の事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、めっき中の素体の腐食を抑制し、セラミック電子部品の電気特性の劣化を防止することができる電気スズめっき液および当該電気スズめっき液を用いた電子部品の製造方法を提供することにある。   Accordingly, the present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is an electrolytic tin plating solution capable of suppressing corrosion of an element body during plating and preventing deterioration of electrical characteristics of a ceramic electronic component. Another object of the present invention is to provide an electronic component manufacturing method using the electrotin plating solution.

上記の目的を達成するため、本発明の電気スズめっき液は、セラミック電子部品用の電気スズめっき液であって、スズイオンを含み、pHが5以上8以下であり、アンモニアおよびアンモニウムイオンの濃度が0.3mol/L以下であり、キレート剤のモル濃度/スズイオンのモル濃度の比(スズイオンのモル濃度に対するキレート剤のモル濃度の比の値)が2.5以下である。   In order to achieve the above object, the electrotin plating solution of the present invention is an electrotin plating solution for ceramic electronic components, contains tin ions, has a pH of 5 or more and 8 or less, and has a concentration of ammonia and ammonium ions. The ratio of the molar concentration of the chelating agent / the molar concentration of tin ions (the value of the ratio of the molar concentration of the chelating agent to the molar concentration of tin ions) is 2.5 or less.

上記構成のように、キレート剤、アンモニアおよびアンモニウムイオンの濃度を最小限に抑え、pHをできるだけ高くすることにより、セラミック電子部品の素体の腐食を抑制することができる。可能であれば、キレート剤、アンモニアおよびアンモニウムイオンを含まないことが好ましい。   As in the above configuration, the corrosion of the ceramic electronic component body can be suppressed by minimizing the concentrations of the chelating agent, ammonia, and ammonium ions and increasing the pH as much as possible. If possible, it is preferred not to contain chelating agents, ammonia and ammonium ions.

好ましくは、2価スズイオンの濃度が0.15mol/L以下である。pHが高くキレート剤の濃度が低い環境下では、スズイオンの濃度が0.15mol/Lを超えて高いと、放置時もしくは通電時に沈殿が生じてしまい、この結果、めっき液の組成が変動し、安定しためっきが困難となる傾向にある。   Preferably, the concentration of divalent tin ions is 0.15 mol / L or less. In an environment where the pH is high and the concentration of the chelating agent is low, if the tin ion concentration is higher than 0.15 mol / L, precipitation occurs during standing or energization, resulting in fluctuations in the composition of the plating solution, Stable plating tends to be difficult.

好ましくは、スルファミン酸イオン濃度が0.5mol/L未満である。スルファミン酸イオンの濃度が0.5mol/L以上と高いと、通電時に沈殿が生じ、めっき液の組成が変動し、安定しためっきが困難となる傾向にある。   Preferably, the sulfamate ion concentration is less than 0.5 mol / L. When the concentration of sulfamate ions is as high as 0.5 mol / L or more, precipitation occurs during energization, the composition of the plating solution varies, and stable plating tends to be difficult.

水に対する水酸化物の溶解度が0.5mol/L以上であるカチオンの濃度が、好ましくは0.5mol/L以下であり、さらに好ましくは0.3mol/L以下である。水に対して水酸化物の溶解度が斯様に高いカチオンとしては、Liイオン、Naイオン、Kイオン等のアルカリ金属イオンや、アンモニウムイオンが挙げられる。このようなカチオンは、通電時にカソード周辺部に移動して濃縮され、強アルカリを生成し、セラミック電子部品の素体を腐食させることから、その濃度を0.5mol/L以下に抑制することが望ましい。   The concentration of the cation having a solubility of hydroxide in water of 0.5 mol / L or more is preferably 0.5 mol / L or less, more preferably 0.3 mol / L or less. Examples of the cation having such a high solubility of hydroxide with respect to water include alkali metal ions such as Li ion, Na ion and K ion, and ammonium ion. Such cations move to the cathode periphery when energized and are concentrated to generate strong alkali and corrode the ceramic electronic component body. Therefore, the concentration can be suppressed to 0.5 mol / L or less. desirable.

また、この観点より、Sr、Ca、もしくはMgの塩からなるキレート剤又は導電性塩を含んでいてもよい。Sr、Ca、Mgの塩は、水に対する水酸化物の溶解度が非常に低いことから、通電時もカソード周辺部で濃縮されて強アルカリを生成せず、素体を腐食させることもないからである。なお、アルカリ土類金属の溶解度は、Mg<Ca<Sr<Baである。   From this viewpoint, a chelating agent or a conductive salt made of a salt of Sr, Ca, or Mg may be included. Sr, Ca and Mg salts have very low solubility of hydroxide in water, so even when energized, they are concentrated in the periphery of the cathode and do not produce strong alkali, nor do they corrode the element. is there. The solubility of the alkaline earth metal is Mg <Ca <Sr <Ba.

さらに、上記の目的を達成するため、本発明のセラミック電子部品の製造方法は、本発明の電気スズめっき液を用いて好適に実施できる方法であり、すなわち、セラミック素子の下地電極上に電気スズめっきによりスズ層を形成する工程を備え、前記工程においては、スズイオンを含み、pHが5以上8以下であり、アンモニアおよびアンモニウムイオンの濃度の比が0.3mol/L以下であり、キレート剤のモル濃度/スズイオンのモル濃度が2.5以下である電気スズめっき液を用いる。   Furthermore, in order to achieve the above object, the method for producing a ceramic electronic component according to the present invention is a method that can be suitably carried out using the electrotin plating solution according to the present invention. A step of forming a tin layer by plating, wherein in the step, tin ions are included, the pH is 5 or more and 8 or less, the concentration ratio of ammonia and ammonium ions is 0.3 mol / L or less, An electrotin plating solution having a molar concentration / a molar concentration of tin ions of 2.5 or less is used.

殊に、Znを含有するセラミック素体を用いる場合、本発明の効果が顕著である。Znを含む素体は、素体の耐薬品性に乏しいため、従来のめっき液による処理では素体の腐食が不都合な程度に大きくなってしまい、絶縁不良などの不具合が生じ易い場合があるのに対し、本発明によるセラミック電子部品の製造方法を用いることにより、かかる不具合を十分に抑制することができる。   In particular, when using a ceramic body containing Zn, the effect of the present invention is remarkable. Since the element body containing Zn is poor in chemical resistance of the element body, the corrosion of the element body becomes inconveniently large by the treatment with the conventional plating solution, and there are cases where defects such as defective insulation are likely to occur. On the other hand, this problem can be sufficiently suppressed by using the method for manufacturing a ceramic electronic component according to the present invention.

本発明によれば、めっき液中におけるキレート剤、アンモニアおよびアンモニウムイオンの濃度を最小限に抑え、pHをできるだけ高くすることにより、めっき液による素体の腐食を抑制することができる。これにより、めっき後のセラミック電子部品の電気的特性の劣化を抑制することができる。   According to the present invention, corrosion of the element body by the plating solution can be suppressed by minimizing the concentrations of the chelating agent, ammonia and ammonium ions in the plating solution and making the pH as high as possible. Thereby, deterioration of the electrical characteristics of the ceramic electronic component after plating can be suppressed.

セラミック電子部品の概略構造を示す斜視図である。It is a perspective view which shows schematic structure of a ceramic electronic component. 図1のII−II線の断面図である。It is sectional drawing of the II-II line of FIG. セラミック電子部品の下地電極の外側にめっきにより端子電極が形成された構造を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the structure where the terminal electrode was formed by plating on the outer side of the base electrode of the ceramic electronic component. めっき液中のキレート剤濃度と腐食距離との関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the chelating agent density | concentration in a plating solution, and a corrosion distance. アンモニウムイオン濃度と腐食距離との関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between ammonium ion concentration and corrosion distance.

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。なお、図面中、同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。また、上下左右等の位置関係は、特に断らない限り、図面に示す位置関係に基づくものとする。さらに、図面の寸法比率は、図示の比率に限定されるものではない。また、以下の実施の形態は、本発明を説明するための例示であり、本発明をその実施の形態のみに限定する趣旨ではない。さらに、本発明は、その要旨を逸脱しない限り、さまざまな変形が可能である。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the drawings, the same elements are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted. Further, the positional relationship such as up, down, left and right is based on the positional relationship shown in the drawings unless otherwise specified. Furthermore, the dimensional ratios in the drawings are not limited to the illustrated ratios. Further, the following embodiments are exemplifications for explaining the present invention, and are not intended to limit the present invention only to the embodiments. Furthermore, the present invention can be variously modified without departing from the gist thereof.

<セラミック電子部品の例>
図1は、本発明による電気めっき処理の対象となるセラミック電子部品の一例を示す斜視図である。図2は、図1のII−II線における断面図である。
<Examples of ceramic electronic components>
FIG. 1 is a perspective view showing an example of a ceramic electronic component to be subjected to electroplating processing according to the present invention. 2 is a cross-sectional view taken along line II-II in FIG.

セラミック電子部品1は、セラミックスからなる素体2と、素体2内に形成された複数の内部電極3とを含む積層体4を有し、換言すれば、素体2と内部電極3が積層された単位構造10を少なくとも1つ備えたものである。より具体的には、積層体4の一方の側面に露出した端部を有する内部電極3と、積層体4の他方の側面に露出した端部を有する内部電極3とが交互に積層されている。積層体4の両側(端)面には、それらの側面を覆うように下地電極5,5が設けられており、各下地電極5は、積層体4の一方の側面から露出した内部電極3の群、あるいは積層体4の他方の面から露出した内部電極3の群に電気的に接続されている。   The ceramic electronic component 1 has a laminated body 4 including an element body 2 made of ceramics and a plurality of internal electrodes 3 formed in the element body 2. In other words, the element body 2 and the internal electrodes 3 are laminated. At least one unit structure 10 is provided. More specifically, the internal electrodes 3 having end portions exposed on one side surface of the multilayer body 4 and the internal electrodes 3 having end portions exposed on the other side surface of the multilayer body 4 are alternately stacked. . Base electrodes 5 and 5 are provided on both sides (ends) of the multilayer body 4 so as to cover the side surfaces thereof, and each ground electrode 5 is formed of the internal electrode 3 exposed from one side surface of the multilayer body 4. A group or a group of internal electrodes 3 exposed from the other surface of the laminate 4 is electrically connected.

セラミック電子部品1の素体2はセラミックス、具体的には、半導体セラミックスまたは誘電体セラミックスからなる。半導体セラミックス、および、誘電体セラミックスのいずれの場合にも、素体2にはZnが含まれることがある。半導体セラミックスでは、バリスタ、サーミスタなどの主成分として、また、誘電体では、焼結助剤としてZnを含むガラスが好ましく用いられる。特に後者では、LTCC(部品)の小型化に伴い薄層化が進み、このためにさらに焼結温度の低下が進んでおり、使用例も一段と増加している。   The element body 2 of the ceramic electronic component 1 is made of ceramics, specifically, semiconductor ceramics or dielectric ceramics. In both cases of semiconductor ceramics and dielectric ceramics, the element body 2 may contain Zn. For semiconductor ceramics, glass containing Zn as a main component of varistors, thermistors and the like, and for dielectrics as a sintering aid is preferably used. Particularly in the latter case, as the LTCC (parts) is miniaturized, the layer thickness is reduced. For this reason, the sintering temperature is further lowered, and the use examples are further increased.

内部電極3には、素体2との間での確実なオーミック接触を可能とする観点から、例えば、Ag、Pd、Ni、Cu、またはAlを主成分とする材料が用いられるが、特に材料に限定はない。   For the internal electrode 3, for example, a material mainly composed of Ag, Pd, Ni, Cu, or Al is used from the viewpoint of enabling reliable ohmic contact with the element body 2. There is no limitation.

下地電極5は、例えば、積層体4の側面への導電性ペーストの塗布および焼成により得られる。下地電極5を形成するための導電性ペーストとしては、主として、ガラス粉末(フリット)と、有機ビヒクル(バインダー)と、金属粉末とを含むものが挙げられ、導電性ペーストの焼成により、有機ビヒクルは揮散し、最終的にガラス成分および金属成分を含む下地電極5が形成される。なお、導電性ペーストには、必要に応じて、粘度調整剤、無機結合剤、酸化剤等種々の添加剤を加えてもよい。例えば、下地電極5は、金属成分としてAg、Cu、または、Znを含む。   The base electrode 5 is obtained, for example, by applying and baking a conductive paste on the side surface of the multilayer body 4. Examples of the conductive paste for forming the base electrode 5 mainly include glass powder (frit), organic vehicle (binder), and metal powder. By firing the conductive paste, the organic vehicle is The base electrode 5 that volatilizes and finally contains a glass component and a metal component is formed. In addition, you may add various additives, such as a viscosity modifier, an inorganic binder, and an oxidizing agent, to an electrically conductive paste as needed. For example, the base electrode 5 contains Ag, Cu, or Zn as a metal component.

図3に示すように、セラミック電子部品1の下地電極5,5の表面に、さらに、電気めっきにより端子電極7,7が形成される。これらの端子電極7,7と、例えば、配線基板上の電極とがはんだ等により接合される。各端子電極7は、例えば、下地電極5側から積層形成されたNi層7aおよびSn層7bを含む2層構造を有する。Ni層7aは、はんだ付け時の熱によるSn層7bと下地電極5との相互拡散によるはんだ付け性不良を防止するバリアメタルとして機能するものであり、その厚さは例えば2μm程度である。また、Sn層7bは、はんだの濡れ性を向上させる機能を有するものであり、その厚さは例えば4μm程度とされる。   As shown in FIG. 3, terminal electrodes 7 and 7 are further formed on the surfaces of the base electrodes 5 and 5 of the ceramic electronic component 1 by electroplating. These terminal electrodes 7 and 7 are joined to, for example, electrodes on the wiring board by solder or the like. Each terminal electrode 7 has, for example, a two-layer structure including a Ni layer 7a and a Sn layer 7b that are stacked from the base electrode 5 side. The Ni layer 7a functions as a barrier metal that prevents poor solderability due to mutual diffusion between the Sn layer 7b and the base electrode 5 due to heat during soldering, and has a thickness of, for example, about 2 μm. Further, the Sn layer 7b has a function of improving the wettability of the solder, and the thickness thereof is, for example, about 4 μm.

<めっき液>
本実施形態に係るめっき液は、上述したSn層7bのようなセラミック電子部品の電極の形成に好適に用いられる。以下、本実施形態に係るめっき液について説明する。
<Plating solution>
The plating solution according to the present embodiment is suitably used for forming an electrode of a ceramic electronic component such as the Sn layer 7b described above. Hereinafter, the plating solution according to the present embodiment will be described.

本実施形態の電気スズめっき液は、素体の腐食を抑制すべく、pHをできるだけ高くして、キレート剤、アンモニアおよびアンモニウムイオンの濃度を最小限としたものである。   In the electrotin plating solution of this embodiment, the pH is set as high as possible to suppress the corrosion of the element body, and the concentrations of the chelating agent, ammonia and ammonium ions are minimized.

キレート剤はできるだけ含まないことが好ましく、全く含まなくてもよい。キレート剤は錯イオン生成定数が大きいため、キレート剤が含まれると、セラミックスからなる素体自体が溶解され易くなる傾向にある。具体的には、キレート剤のモル濃度/スズイオンのモル濃度の比が2.5以下となると、素体の腐食は大幅に抑制される。   The chelating agent is preferably not contained as much as possible, and may not be contained at all. Since the chelating agent has a large complex ion formation constant, when the chelating agent is contained, the element body itself made of ceramics tends to be easily dissolved. Specifically, when the ratio of the molar concentration of the chelating agent / the molar concentration of tin ions is 2.5 or less, the corrosion of the element body is significantly suppressed.

なお、キレート剤の材料に限定はないが、例えば、グルコン酸、グルコヘプトン酸、グルコノラクトン、グルコヘプトノラクトン、クエン酸、ピロリン酸およびこれらのアルカリ金属、アルカリ土類金属との塩が挙げられる。具体的にはグルコン酸ナトリウム、グルコン酸マグネシウム、クエン酸カルシウム、ピロリン酸ストロンチウム等がある。その中でもグルコン酸塩はめっき液の安定性を高めることができるので好ましい。   The material of the chelating agent is not limited, and examples thereof include gluconic acid, glucoheptonic acid, gluconolactone, glucoheptonolactone, citric acid, pyrophosphoric acid, and salts with these alkali metals and alkaline earth metals. . Specific examples include sodium gluconate, magnesium gluconate, calcium citrate, and strontium pyrophosphate. Of these, gluconate is preferred because it can enhance the stability of the plating solution.

アンモニアおよびアンモニウムイオンは、できる限り含まないことが好ましく、全く含まなくてもよい。アンモニアまたはアンモニウムイオンが含まれると、素体自体の腐食が進行し易くなる傾向にある。具体的には、アンモニウムイオンを0.3moL/L以下にすると、素体の腐食は大幅に抑制される。   Ammonia and ammonium ions are preferably not contained as much as possible, and may not be contained at all. When ammonia or ammonium ions are included, the corrosion of the element itself tends to proceed. Specifically, when the ammonium ion is 0.3 mol / L or less, the corrosion of the element body is significantly suppressed.

また、キレート剤をできるだけ含まず、かつpHが高いめっき液では、Snの濃度が高いと、放置時もしくは通電時に沈殿が生じることに起因してめっき液の組成が変動し、安定しためっきが困難となる傾向にある。そのためSnの濃度は小さい方がよいが、このSn濃度が小さすぎると、めっき電流が下がってしまいめっき時間が長くなり生産性が低下する傾向にある。このような観点から、めっき液中のSn濃度は0.05〜0.15mol/Lが好ましい。   Also, in plating solutions that contain as little chelating agent as possible and have a high pH, if the Sn concentration is high, the composition of the plating solution fluctuates due to precipitation during standing or energization, making stable plating difficult. It tends to be. For this reason, the Sn concentration is preferably small. However, if the Sn concentration is too small, the plating current decreases, the plating time becomes longer, and the productivity tends to be lowered. From such a viewpoint, the Sn concentration in the plating solution is preferably 0.05 to 0.15 mol / L.

このSnの供給源としては、メタンスルホン酸スズ等のスズアルカンスルホン酸塩、硫酸スズ、スルファミン酸スズ塩化スズ、酢酸第1スズ、酸化第1スズ、ホウフッ化第1スズ、2−ヒドロキシエタンスルホン酸第1スズ、2−ヒドロキシプロパンスルホン酸第1スズ、およびフェノールスルホン酸第1スズの等が挙げられる。これらのなかで、硫酸スズ、およびスルファミン酸スズは原料自体が不安定であって取り扱い性に問題があり、さらにスルファミン酸スズを用いると、連続通電時に沈殿が生じやすいという更なる問題がある。したがって、上述したもののなかでは、メタンスルホン酸スズを用いることが好ましい。   As the supply source of Sn, tin alkane sulfonate such as tin methanesulfonate, tin sulfate, tin sulfamate, tin chloride, stannous acetate, stannous oxide, stannous borofluoride, 2-hydroxyethanesulfone Examples include stannous acid, stannous 2-hydroxypropane sulfonate, and stannous phenol sulfonate. Among these, tin sulfate and tin sulfamate are unstable in the raw materials themselves and have a problem in handleability. Further, when tin sulfamate is used, there is a further problem that precipitation is likely to occur during continuous energization. Accordingly, among those described above, it is preferable to use tin methanesulfonate.

さらに、めっき液の導電性を高めるため、導電塩を含むことが好ましい。導電剤の例としては、アルカリ金属、アルカリ土類金属、またはアンモニアと、メタンスルホン酸等のアルカンスルホン酸、硫酸、スルファミン酸、酢酸、ホウフッ酸、2−ヒドロキシエタンスルホン酸、2−ヒドロキシプロパンスルホン酸、およびフェノールスルホン酸等の酸との塩、もしくは塩化物が挙げられる。具体的にはメタンスルホン酸マグネシウム、メタンスルホン酸アンモニウム、塩化カルシウム、硫酸ストロンチウム、硫酸ナトリウム、塩化アンモニウム、スルファミン酸ナトリウム等が挙げられる。このなかで、塩化アンモニウム等のアンモニウム塩は、素体が腐食し易い傾向にあり、また、スルファミン酸ナトリウム等のスルファミン酸塩は、通電時に沈殿が生じ易い傾向にある。このようなスルファミン酸塩の沈殿を防止するためには、スルファミン酸イオン濃度が0.5mol/L未満であることが好ましい。   Furthermore, in order to improve the electroconductivity of a plating solution, it is preferable that a conductive salt is included. Examples of the conductive agent include alkali metal, alkaline earth metal, or ammonia, alkanesulfonic acid such as methanesulfonic acid, sulfuric acid, sulfamic acid, acetic acid, borofluoric acid, 2-hydroxyethanesulfonic acid, and 2-hydroxypropanesulfone. Examples include acids and salts with acids such as phenolsulfonic acid, or chlorides. Specific examples include magnesium methanesulfonate, ammonium methanesulfonate, calcium chloride, strontium sulfate, sodium sulfate, ammonium chloride, sodium sulfamate and the like. Among these, ammonium salts such as ammonium chloride tend to corrode the element body, and sulfamate such as sodium sulfamate tends to precipitate when energized. In order to prevent such precipitation of sulfamate, the sulfamate ion concentration is preferably less than 0.5 mol / L.

またさらに、水に対する水酸化物の溶解度が0.5mol/L以上であるカチオンの濃度が、0.5mol/L以下であることが好ましく、0.3mol/L以下であることがさらに好ましい。このようなカチオンは、例えば、キレート剤、導電塩、またはアンモニウムイオンから生じ得る。水に対する水酸化物の溶解度が0.5mol/L以上であるカチオンの例としては、Liイオン、Naイオン、Kイオン等のアルカリ金属イオン、アンモニウムイオンが挙げられる。このようなカチオンは、通電時にカソード周辺部に移動して濃縮され強アルカリを生成し、セラミック電子部品の素体を腐食させる傾向にあることから、その濃度を抑制することが望ましい。   Furthermore, the concentration of the cation having a hydroxide solubility in water of 0.5 mol / L or more is preferably 0.5 mol / L or less, and more preferably 0.3 mol / L or less. Such cations can arise from, for example, chelating agents, conductive salts, or ammonium ions. Examples of cations whose hydroxide solubility in water is 0.5 mol / L or more include alkali metal ions such as Li ions, Na ions, K ions, and ammonium ions. Such cations move to the periphery of the cathode when energized and are concentrated to generate strong alkali, which tends to corrode the ceramic electronic component body. Therefore, it is desirable to suppress the concentration thereof.

例えば、キレート剤としてグルコン酸ナトリウムが用いられることが多いが、この場合めっき液中に多量のナトリウムイオンが存在し、めっき中にこのナトリウムイオンがSn2+イオンと共にセラミック電子部品(チップ)の周辺に移動し、水酸化ナトリウムの濃厚液が生成して強アルカリとなり、素体が腐食される傾向にある。キレート剤がK,Li等のアルカリ塩、もしくはアンモニウム塩の場合でも同様の傾向にある。 For example, sodium gluconate is often used as a chelating agent. In this case, a large amount of sodium ions are present in the plating solution, and these sodium ions together with Sn 2+ ions during plating are around the ceramic electronic component (chip). , And a concentrated solution of sodium hydroxide is generated to become a strong alkali and the element body tends to be corroded. The same tendency occurs when the chelating agent is an alkali salt such as K or Li, or an ammonium salt.

従って、キレート剤または導電塩として例示した材料のうち、Liイオン、Naイオン、Kイオン等のアルカリ金属イオン、アンモニウムイオン等の塩を使用する場合には、これらの塩の濃度を0.5mol/L以下とすることが望ましく、0.3mol/L以下とすることがさらに望ましい。このようなキレート剤の例としては、グルコン酸ナトリウムが挙げられる。また、導電塩の例として、硫酸ナトリウム、塩化アンモニウム、スルファミン酸ナトリウム、メタンスルホン酸アンモニウム等が挙げられる。   Therefore, among the materials exemplified as the chelating agent or the conductive salt, when a salt such as an alkali metal ion such as Li ion, Na ion or K ion or ammonium ion is used, the concentration of these salts is 0.5 mol / L or less is desirable, and 0.3 mol / L or less is more desirable. An example of such a chelating agent is sodium gluconate. Examples of the conductive salt include sodium sulfate, ammonium chloride, sodium sulfamate, and ammonium methanesulfonate.

あるいは、キレート剤または導電塩として例示した材料のうち、Sr、Ca、Mg等の金属の塩を好ましく用いることができる。これにより、めっき中もチップの周辺に強アルカリが生成することなく、素体の腐食が大幅に抑制される。このようなキレート剤として、グルコン酸マグネシウム、クエン酸カルシウム、ピロリン酸ストロンチウム等が挙げられる。また、このような導電塩として、メタンスルホン酸マグネシウム、塩化カルシウム、硫酸ストロンチウム等が挙げられる。   Alternatively, among the materials exemplified as the chelating agent or the conductive salt, a metal salt such as Sr, Ca, or Mg can be preferably used. As a result, corrosion of the element body is significantly suppressed without generating strong alkali around the chip during plating. Examples of such a chelating agent include magnesium gluconate, calcium citrate, strontium pyrophosphate, and the like. Examples of such a conductive salt include magnesium methanesulfonate, calcium chloride, strontium sulfate and the like.

本実施形態に係るめっき液には、必要に応じて光沢剤や界面活性剤などの公知の添加剤を含んでいてもよく、その場合においても、上述した条件を満たすように添加剤の種類を選択し、またその量を調整することが好ましい。   The plating solution according to the present embodiment may contain a known additive such as a brightener or a surfactant as necessary, and even in that case, the type of additive is selected so as to satisfy the above-described conditions. It is preferable to select and adjust the amount.

本実施形態に係るめっき方法は、上述した電気スズめっき液で、セラミック電子部品にスズを電気めっきするものである。めっき方法として、例えばバレルめっきを用いることができる。必要に応じてカソード遥動、ポンプなどによるめっき液の流動の方法で攪拌することができる。   The plating method according to the present embodiment is a method in which tin is electroplated on a ceramic electronic component with the above-described electrotin plating solution. As a plating method, for example, barrel plating can be used. If necessary, the agitation can be carried out by a method of flowing the plating solution using a cathode swing or a pump.

めっき条件としては、公知の条件を用いることができる。例えば、陽極としては、スズ金属が通常使用されるが、場合によっては白金めっきをしたチタン板などの不溶性電極を使用することもできる。浴温度は、特に制限されず、好ましくは10℃〜30℃である。陰極電流密度や、めっき時間等のめっき条件は、要求されるスズ層の膜厚等に応じて当業者が適宜決定することができる。このような本実施形態に係るめっき方法によれば、めっき液による素体の腐食を好適に抑制することが可能となる。   Known conditions can be used as the plating conditions. For example, tin metal is usually used as the anode, but insoluble electrodes such as platinum-plated titanium plates may be used in some cases. The bath temperature is not particularly limited, and is preferably 10 ° C to 30 ° C. Plating conditions such as cathode current density and plating time can be appropriately determined by those skilled in the art according to the required film thickness of the tin layer. According to such a plating method according to the present embodiment, it is possible to suitably suppress the corrosion of the element body by the plating solution.

また、本実施形態に係るめっき液およびめっき方法は、Znを含有する素体を備えるセラミック電子部品に好ましく用いることができる。Znを含む場合には、素体の耐薬品性が乏しくなることから、本実施形態に係るめっき液の効果が一層顕著になることによる。   Moreover, the plating solution and the plating method according to the present embodiment can be preferably used for a ceramic electronic component including an element body containing Zn. In the case where Zn is contained, the chemical resistance of the element body becomes poor, so that the effect of the plating solution according to the present embodiment becomes more remarkable.

以下、本発明の実施例について説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。   Examples of the present invention will be described below, but the present invention is not limited to these examples.

(実施例1)
予め、表1に示す5種類の電気スズめっき液A〜Eを調製した。そして、素体2の主組成がチタン酸バリウムで外形が1.6×0.8×0.8mmのチップコンデンサ(積層体4)の下地電極7に、まずワット浴でニッケルめっきを施して2μmのNi層7aを形成し、これに続いて上記のめっき液A〜Eでスズめっきを行って4μmのSn層7bを形成した。各めっき液で処理したチップについて素体の腐食距離を調べた。腐食距離は、めっき後のチップを10個抜き取り(サンプリングし)、SEMの断面観察より素体表面の腐食層の厚さを測定した場合の平均値を示す。表2および図4に、キレート剤/Snイオンのモル比とともに腐食距離の測定結果を示す。表1における数値の単位は、mol/Lである。
Example 1
In advance, five types of electrotin plating solutions A to E shown in Table 1 were prepared. The base electrode 7 of the chip capacitor (laminated body 4) having a main composition of the element body 2 of barium titanate and an outer shape of 1.6 × 0.8 × 0.8 mm is first subjected to nickel plating in a watt bath to 2 μm. The Ni layer 7a was formed, followed by tin plating with the plating solutions A to E to form a 4 μm Sn layer 7b. The corrosion distance of the element body was examined for the chips treated with each plating solution. The corrosion distance indicates an average value when ten chips after plating are sampled (sampled), and the thickness of the corrosion layer on the element body surface is measured by cross-sectional observation of the SEM. Table 2 and FIG. 4 show the measurement results of the corrosion distance together with the chelating agent / Sn ion molar ratio. The unit of numerical values in Table 1 is mol / L.

Figure 2010275613
Figure 2010275613

Figure 2010275613
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表2および図4に示すように、キレート剤の量がSnイオンの2.5倍を超えると腐食距離が有意に増大する傾向にあることが判明した。このことから、キレート剤/Snイオンのモル比は2.5以下にすべきことが確認された。   As shown in Table 2 and FIG. 4, it was found that when the amount of chelating agent exceeds 2.5 times that of Sn ions, the corrosion distance tends to increase significantly. From this, it was confirmed that the molar ratio of chelating agent / Sn ion should be 2.5 or less.

(実施例2)
表1に示すめっき液Bに導電塩としてメタンスルホン酸アンモニウムを添加してめっき液B0〜B4を調製し、実施例1と同じ条件でめっき液B0〜B4を用いてSn層7bを形成し、セラミック電子部品を作製した。このセラミック電子部品(チップ)について腐食距離を調べた。表3および図5に、アンモニウムイオン濃度とともに腐食距離の結果を示す。表3において、特に単位を明示していない数値の単位は、mol/Lである。
(Example 2)
Ammonium methanesulfonate is added as a conductive salt to the plating solution B shown in Table 1 to prepare plating solutions B0 to B4, and the Sn layer 7b is formed using the plating solutions B0 to B4 under the same conditions as in Example 1. Ceramic electronic components were produced. The corrosion distance of this ceramic electronic component (chip) was examined. Table 3 and FIG. 5 show the results of the corrosion distance together with the ammonium ion concentration. In Table 3, the unit of numerical values in which the unit is not specified is mol / L.

Figure 2010275613
Figure 2010275613

表3および図5に示すように、アンモニウムイオン濃度が0.3moL/Lを超えると腐食が大幅に増えることが判明した。このことから、アンモニウムイオンの濃度は0.3mol/L以下に抑えることが好ましいことが確認された。   As shown in Table 3 and FIG. 5, when the ammonium ion concentration exceeds 0.3 moL / L, it has been found that the corrosion greatly increases. From this, it was confirmed that the ammonium ion concentration is preferably suppressed to 0.3 mol / L or less.

(実施例3)
表3に示すめっき液B0に導電塩としてスルファミン酸ナトリウムを添加してめっき液B5〜B8を調製した。そして、めっき液B0およびB5〜B8に100Ah/Lの通電を行った後に沈殿の有無を調べた。結果を表4に示す。表4において、数値の単位はmol/Lである。
(Example 3)
Plating solutions B5 to B8 were prepared by adding sodium sulfamate as a conductive salt to the plating solution B0 shown in Table 3. And the presence or absence of precipitation was investigated after energizing 100 Ah / L to plating solution B0 and B5-B8. The results are shown in Table 4. In Table 4, the unit of numerical values is mol / L.

Figure 2010275613
Figure 2010275613

表4に示すように、スルファミン酸イオン濃度が0.5mol/Lを超えると沈殿が発生することが確認された。この沈殿物は、スルファミン酸ニッケルであると推定される。   As shown in Table 4, it was confirmed that precipitation occurred when the sulfamate ion concentration exceeded 0.5 mol / L. This precipitate is presumed to be nickel sulfamate.

(実施例4)
表5に示す主組成をもつ電気スズめっき液を調製した。めっき液の調製方法は次の通りである。0.11mol/Lのメタンスルホン酸スズ、1.10mol/Lのグルコン酸、1.86mol/Lのメタンスルホン酸を混ぜて、水酸化ストロンチウムでpHを4.0に調整する。Srの価数は2なのでキレート剤及び導電塩の量をモル数で同じにするためにはグルコン酸とメタンスルホン酸を2倍量入れる必要がある。そして、主組成がチタン酸ストロンチウムでありZnを2%含有する素体2からなり、1.6×0.8×0.8mmのサイズのコンデンサチップの下地電極7の上に4μmのSn層7bを形成した。このチップ30個をランダムに30個抜き取り、140℃、6.3V、12時間の条件で高温負荷試験を行い、試験前後の絶縁抵抗(IR)を測定した。めっき後に絶縁抵抗の低下したチップの割合は0/30であった。ここでチップの抵抗が5×108Ωを下回った場合に、抵抗が低下したと見なした。
Example 4
An electrotin plating solution having the main composition shown in Table 5 was prepared. The method for preparing the plating solution is as follows. 0.11 mol / L tin methanesulfonate, 1.10 mol / L gluconic acid, and 1.86 mol / L methanesulfonic acid are mixed, and the pH is adjusted to 4.0 with strontium hydroxide. Since the valence of Sr is 2, it is necessary to add twice the amount of gluconic acid and methanesulfonic acid in order to make the amount of chelating agent and conductive salt the same in terms of moles. Then, the main composition is composed of the element body 2 containing strontium titanate and 2% of Zn, and the 4 μm Sn layer 7b is formed on the base electrode 7 of the capacitor chip having a size of 1.6 × 0.8 × 0.8 mm. Formed. Thirty of these chips were randomly extracted and subjected to a high temperature load test under conditions of 140 ° C., 6.3 V, and 12 hours, and the insulation resistance (IR) before and after the test was measured. The proportion of chips with reduced insulation resistance after plating was 0/30. Here, when the resistance of the chip fell below 5 × 10 8 Ω, it was considered that the resistance had decreased.

Figure 2010275613
Figure 2010275613

(実施例5)
つぎに実施例4のめっき液でSrをMgで置換した。めっき液の調製方法は次の通りである。実施例4と等量のメタンスルホン酸スズ、グルコン酸、メタンスルホン酸を混ぜて、水酸化マグネシウムでpHを4.0に調整した。当該めっき液を用いて、実施例4と同様の条件でコンデンサチップにSn層7bを形成した。そして実施例4と同様の方法で高温負荷試験をおこない、試験前後の絶縁抵抗を測定した。めっき後に絶縁抵抗の低下したチップの割合は0/30であった。
(Example 5)
Next, Sr was replaced with Mg in the plating solution of Example 4. The method for preparing the plating solution is as follows. The same amount of tin methanesulfonate, gluconic acid and methanesulfonic acid as in Example 4 were mixed, and the pH was adjusted to 4.0 with magnesium hydroxide. An Sn layer 7b was formed on the capacitor chip under the same conditions as in Example 4 using the plating solution. And the high temperature load test was done by the method similar to Example 4, and the insulation resistance before and behind a test was measured. The proportion of chips with reduced insulation resistance after plating was 0/30.

本発明は、サーミスタ、コンデンサ、インダクタ、LTCC(Low Temperature Co-fired Ceramics)、バリスタ、それらの複合部品からなるセラミック電子部品のめっき処理に広く利用することができる。   INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be widely used for plating treatment of ceramic electronic parts including thermistors, capacitors, inductors, LTCC (Low Temperature Co-fired Ceramics), varistors, and composite parts thereof.

1…セラミック電子部品、2…素体、3…内部電極、4…積層体、5…下地電極、7…端子電極、7a…Ni層、7b…Sn層、10…単位構造。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Ceramic electronic component, 2 ... Element body, 3 ... Internal electrode, 4 ... Laminated body, 5 ... Base electrode, 7 ... Terminal electrode, 7a ... Ni layer, 7b ... Sn layer, 10 ... Unit structure.

Claims (7)

セラミック電子部品用の電気スズめっき液であって、
スズイオンを含み、
pHが5以上8以下であり、
アンモニアおよびアンモニウムイオンの濃度が0.3mol/L以下であり、
キレート剤のモル濃度/スズイオンのモル濃度の比が2.5以下である、
電気スズめっき液。
An electrotin plating solution for ceramic electronic components,
Contains tin ions,
pH is 5 or more and 8 or less,
The concentration of ammonia and ammonium ions is 0.3 mol / L or less,
The ratio of the molar concentration of the chelating agent / the molar concentration of tin ions is 2.5 or less,
Electro tin plating solution.
スズイオンの濃度が0.15mol/L以下である、
請求項1に記載の電気スズめっき液。
The concentration of tin ions is 0.15 mol / L or less,
The electrotin plating solution according to claim 1.
スルファミン酸イオン濃度が0.5mol/L未満である、
請求項1または2に記載の電気スズめっき液。
The sulfamate ion concentration is less than 0.5 mol / L,
The electrotin plating solution according to claim 1 or 2.
水に対する水酸化物の溶解度が0.5mol/L以上であるカチオンの濃度が、0.5mol/L以下である、
請求項1〜3のいずれかに記載の電気スズめっき液。
The concentration of the cation having a solubility of hydroxide in water of 0.5 mol / L or more is 0.5 mol / L or less.
The electrotin plating solution according to claim 1.
Sr、Ca、もしくはMgの塩からなるキレート剤又は導電性塩を含む、
請求項1〜4のいずれかに記載の電気スズめっき液
Including a chelating agent or a conductive salt comprising a salt of Sr, Ca, or Mg,
The electrotin plating solution according to claim 1.
セラミック素子の下地電極上に電気スズめっきによりスズ層を形成する工程を備え、
前記工程においては、スズイオンを含み、pHが5以上8以下であり、アンモニアおよびアンモニウムイオンの濃度が0.3mol/L以下であり、キレート剤のモル濃度/スズイオンのモル濃度の比が2.5以下である電気スズめっき液を用いる、
セラミック電子部品の製造方法。
A step of forming a tin layer by electrotin plating on the base electrode of the ceramic element is provided.
In the step, tin ions are included, the pH is 5 or more and 8 or less, the concentration of ammonia and ammonium ions is 0.3 mol / L or less, and the ratio of the molar concentration of the chelating agent / the molar concentration of tin ions is 2.5. Use the following electrotin plating solution:
Manufacturing method of ceramic electronic components.
前記セラミック素体は、Znを含有する、
請求項6に記載のセラミック電子部品の製造方法。
The ceramic body contains Zn;
The manufacturing method of the ceramic electronic component of Claim 6.
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