JP2010271174A - Encoder - Google Patents

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rotating member
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magnetic
rotating
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Noriyuki Abe
慶行 阿部
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Nikon Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an encoder for keeping the number of components reduced. <P>SOLUTION: The encoder includes: a rotary section formed by a rotating member, where at least one of magnetic and optical patterns is formed, and a single member; and a detection section for detecting at least one of a magnetic field by the magnetic pattern, and the optical pattern. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、エンコーダに関する。   The present invention relates to an encoder.

モータの回転軸など回転体の回転数や回転角度を検出する装置として、エンコーダが知られている(特許文献1)。エンコーダは、例えばモータの回転軸に取り付けられて用いられる。エンコーダの具体的構成として、例えば所定の光反射パターン及び磁気パターンが形成された回転部を回転軸と一体的に回転させ、例えば当該光反射パターンに光を照射して反射光を読み取ると共に、例えば磁気パターンの変化を検出することで、モータの回転軸の回転数を検出できるようになっている。   An encoder is known as a device that detects the number of rotations and rotation angle of a rotating body such as a rotating shaft of a motor (Patent Document 1). For example, the encoder is used by being attached to a rotating shaft of a motor. As a specific configuration of the encoder, for example, a rotating portion on which a predetermined light reflection pattern and a magnetic pattern are formed is rotated integrally with a rotation shaft, and for example, the light reflection pattern is irradiated with light to read reflected light. By detecting the change in the magnetic pattern, the number of rotations of the rotating shaft of the motor can be detected.

このようなエンコーダは、モータの回転軸に取り付ける取付部材(ハブ)、光反射パターンが形成された円板部材及び磁気パターンが形成された磁石部材のそれぞれの部品を組み立てることで形成されている。   Such an encoder is formed by assembling parts of a mounting member (hub) attached to a rotating shaft of a motor, a disk member formed with a light reflection pattern, and a magnet member formed with a magnetic pattern.

特開2004−20548号公報JP 2004-20548 A

しかしながら、上記構成においては部品点数が多くなってしまい、これらの部品を組み立てる工程が煩雑化してしまうという問題があった。   However, the above configuration has a problem that the number of parts increases, and the process of assembling these parts becomes complicated.

以上のような事情に鑑み、本発明は、部品点数を削減することが可能なエンコーダを提供することを目的とする。   In view of the circumstances as described above, an object of the present invention is to provide an encoder capable of reducing the number of parts.

本発明に係るエンコーダは、磁気パターン及び光学パターンのうち少なくとも1つが形成された回転部材と単一部材で形成された回転部と、前記磁気パターンによる磁場及び前記光学パターンを検出する検出部とを備えることを特徴とする。   An encoder according to the present invention includes a rotating member formed of at least one of a magnetic pattern and an optical pattern, a rotating unit formed of a single member, and a detection unit that detects a magnetic field and the optical pattern by the magnetic pattern. It is characterized by providing.

本発明によれば、部品点数を削減することができる。   According to the present invention, the number of parts can be reduced.

本発明の第1実施形態に係るエンコーダの構成を示す断面図。1 is a cross-sectional view showing a configuration of an encoder according to a first embodiment of the present invention. 本実施形態に係るエンコーダの構成を示す平面図。The top view which shows the structure of the encoder which concerns on this embodiment. 本実施形態に係るエンコーダの一部の構成を示す断面図。FIG. 3 is a cross-sectional view showing a partial configuration of an encoder according to the present embodiment. 本発明の第2実施形態に係るエンコーダの構成を示す断面図。Sectional drawing which shows the structure of the encoder which concerns on 2nd Embodiment of this invention.

[第1実施形態]
以下、図面を参照して本発明の第1実施形態を説明する。
図1は、エンコーダECの構成を示す断面図である。
図1に示すように、エンコーダECは、モータなどの回転体の回転数などを検出する装置である。エンコーダECは、回転部R及び検出機構(検出部)Dを有している。エンコーダECは、回転部Rが検出機構Dに対向配置された状態で用いられる。図2は、エンコーダECの回転部Rの構成を示す平面図である。以下、図1及び図2を参照して、エンコーダECの構成を説明する。
[First Embodiment]
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a cross-sectional view showing the configuration of the encoder EC.
As shown in FIG. 1, the encoder EC is a device that detects the number of rotations of a rotating body such as a motor. The encoder EC has a rotating part R and a detection mechanism (detection part) D. The encoder EC is used in a state in which the rotating part R is disposed to face the detection mechanism D. FIG. 2 is a plan view showing the configuration of the rotating part R of the encoder EC. Hereinafter, the configuration of the encoder EC will be described with reference to FIGS. 1 and 2.

回転部Rは、回転体である例えばモータMTRの回転軸40に固定され、回転軸40と一体的に回転する。回転部Rは、例えば磁性体であるSUSなどを用いて円盤状に形成された回転部材10のほぼ全面がブラックニッケルやブラックアルマイトなどの非反射層11によって覆われた構成になっている。回転部材10の表面は、所定の波長の光を反射するように鏡面状に形成されている。   The rotating portion R is fixed to a rotating shaft 40 of a motor MTR that is a rotating body and rotates integrally with the rotating shaft 40. The rotating portion R has a configuration in which almost the entire surface of the rotating member 10 formed into a disk shape using, for example, SUS, which is a magnetic material, is covered with a non-reflective layer 11 such as black nickel or black alumite. The surface of the rotating member 10 is formed in a mirror shape so as to reflect light having a predetermined wavelength.

回転部Rは、取付部20及びパターン形成部21を有している。
取付部20は、回転部材10の下面10b側が環状に突出して形成されている。取付部20には、挿入穴20aが形成されている。挿入穴20aは、上記モータMTRの回転軸40が挿入される部分である。取付部20は、回転軸40と取付部20との間を固定する固定機構(不図示)を有している。
The rotating part R has a mounting part 20 and a pattern forming part 21.
The attachment portion 20 is formed such that the lower surface 10b side of the rotating member 10 protrudes in an annular shape. An insertion hole 20 a is formed in the attachment portion 20. The insertion hole 20a is a portion into which the rotating shaft 40 of the motor MTR is inserted. The mounting portion 20 has a fixing mechanism (not shown) that fixes the rotating shaft 40 and the mounting portion 20.

パターン形成部21は、回転部材10の上面10aに設けられている。パターン形成部21には、光反射パターン24及び磁気パターン25が形成されている。光反射パターン24は、例えば回転部Rの外周に沿って円環状に形成されている。光反射パターン24は、光透過層24aを有している。光透過層24aは、例えばSU−8レジストなどを用いて形成されており、所定の波長の光を透過する部分である。光透過層24aは、鏡面状に形成された回転部材10の表面に形成されている。   The pattern forming unit 21 is provided on the upper surface 10 a of the rotating member 10. A light reflection pattern 24 and a magnetic pattern 25 are formed on the pattern forming unit 21. The light reflection pattern 24 is formed in an annular shape along the outer periphery of the rotating portion R, for example. The light reflection pattern 24 has a light transmission layer 24a. The light transmission layer 24a is formed using, for example, SU-8 resist or the like, and is a portion that transmits light of a predetermined wavelength. The light transmission layer 24a is formed on the surface of the rotating member 10 formed in a mirror shape.

図3は、回転部材10の上面10aにおける構成を示す断面図である。
図3に示すように、非反射層11は、光透過層24aが形成された領域には形成されておらず、光透過層24aを介して回転部材10の表面が回転部R上に露出した状態になっている。このため、回転部Rの上面へ向けた光Lのうち、非反射層11に照射される光Lは当該非反射層11によって吸収されるようになっている。また、光透過層24aに照射される光Lは当該光透過層24aを透過し、回転部材10の表面で反射するようになっている。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing the configuration of the upper surface 10a of the rotating member 10.
As shown in FIG. 3, the non-reflective layer 11 is not formed in the region where the light transmission layer 24a is formed, and the surface of the rotating member 10 is exposed on the rotating portion R through the light transmission layer 24a. It is in a state. For this reason, out of the light L directed to the upper surface of the rotating part R, the light L applied to the non-reflective layer 11 is absorbed by the non-reflective layer 11. Further, the light L applied to the light transmission layer 24 a is transmitted through the light transmission layer 24 a and reflected by the surface of the rotating member 10.

図1及び図2に戻って、磁気パターン25は、例えば回転部Rのうち光反射パターン24の内周側に円環状に形成されている。磁気パターン25は、例えば図2に示すように、円環の内周部と外周部とに区画されている。円環の内周部においては、回転軸40の軸方向に見て円環の半分の領域(図中右側の領域)にN極に着磁され、円環の他の半分の領域(図中左側の領域)がS極に着磁されている。円環の外周部においては、回転軸40の軸方向に見て円環の半分の領域(図中右側の領域)にS極に着磁され、円環の他の半分の領域(図中左側の領域)がN極に着磁されている。   Returning to FIGS. 1 and 2, the magnetic pattern 25 is formed in an annular shape on the inner peripheral side of the light reflecting pattern 24 in the rotating portion R, for example. For example, as shown in FIG. 2, the magnetic pattern 25 is partitioned into an inner peripheral portion and an outer peripheral portion of the ring. In the inner periphery of the ring, the N pole is magnetized in the half region (the region on the right side in the drawing) of the ring as viewed in the axial direction of the rotating shaft 40, and the other half region (in the drawing). The left region is magnetized to the south pole. At the outer periphery of the ring, the S pole is magnetized in a half region (the right region in the drawing) of the ring as viewed in the axial direction of the rotating shaft 40, and the other half region (the left side in the drawing). Are magnetized in the N pole.

このように、回転部Rは、一部材としての回転部材10上に光反射パターン24及び磁気パターン25の両方が形成された構成となっている。この光反射パターン24及び磁気パターン25は、回転部材10の同一面に形成されていることになる。   Thus, the rotation part R has a configuration in which both the light reflection pattern 24 and the magnetic pattern 25 are formed on the rotation member 10 as one member. The light reflection pattern 24 and the magnetic pattern 25 are formed on the same surface of the rotating member 10.

検出機構Dは、上記の光反射パターン24及び磁石部材Mによる磁場を検出する部分である。検出機構Dは、筐体30、光センサ31及び磁気センサ32を有している。
筐体30は、例えば平面視円形のコップ状に形成されている。筐体30は、モータMTRに固定されており、回転軸40とは固定されていない状態となっている。したがって、回転軸40が回転しても、筐体30とモータMRとの相対位置が変化しないようになっている。
The detection mechanism D is a part that detects the magnetic field generated by the light reflection pattern 24 and the magnet member M. The detection mechanism D includes a housing 30, an optical sensor 31, and a magnetic sensor 32.
The housing | casing 30 is formed in the cup shape of planar view circular shape, for example. The housing 30 is fixed to the motor MTR and is not fixed to the rotating shaft 40. Therefore, even if the rotating shaft 40 rotates, the relative position between the housing 30 and the motor MR does not change.

光センサ31は、光反射パターン24へ向けて光を射出し、光反射パターン24を介した反射光を読み取ることで光反射パターン24を検出するセンサである。光センサ31は、筐体30の内面に取り付けられている。光センサ31は、例えば回転部Rの光反射パターン24に対して、回転軸40の軸方向に見て重なる位置に配置されている。   The optical sensor 31 is a sensor that detects the light reflection pattern 24 by emitting light toward the light reflection pattern 24 and reading the reflected light via the light reflection pattern 24. The optical sensor 31 is attached to the inner surface of the housing 30. The optical sensor 31 is disposed, for example, at a position overlapping the light reflection pattern 24 of the rotating portion R when viewed in the axial direction of the rotating shaft 40.

光センサ31は、光を射出する発光部及び反射光を受光する受光部を有する。発光部としては、例えばLEDなどが用いられる。受光部としては、例えば光電素子などが用いられる。受光部によって読み取られた光は、電気信号として不図示の制御装置に送信されるようになっている。光センサ31を構成する各部は、筐体30に保持されている。   The optical sensor 31 includes a light emitting unit that emits light and a light receiving unit that receives reflected light. For example, an LED or the like is used as the light emitting unit. As the light receiving unit, for example, a photoelectric element or the like is used. The light read by the light receiving unit is transmitted as an electric signal to a control device (not shown). Each part constituting the optical sensor 31 is held by the housing 30.

磁気センサ32は、例えば磁石部材Mに対して回転軸40の軸方向に見て重なる位置に一対配置されている(磁気センサ32A及び32B)。各磁気センサ32A及び32Bは、バイアス磁石(不図示)及び磁気抵抗素子(不図示)を有している。磁気センサ32A及び32Bは、それぞれ筐体30の内面に保持されている。   For example, a pair of magnetic sensors 32 are arranged at positions overlapping the magnet member M when viewed in the axial direction of the rotary shaft 40 (magnetic sensors 32A and 32B). Each magnetic sensor 32A and 32B has a bias magnet (not shown) and a magnetoresistive element (not shown). The magnetic sensors 32A and 32B are respectively held on the inner surface of the housing 30.

バイアス磁石は、磁石部材Mの磁場との間で合成磁場を形成する磁石である。バイアス磁石を構成する材料として、例えばサマリウム・コバルトなどの磁力の大きい希土類磁石などが挙げられる。バイアス磁石は、磁気抵抗素子に接触したり、隣接したりしない位置に配置されている。   The bias magnet is a magnet that forms a combined magnetic field with the magnetic field of the magnet member M. As a material constituting the bias magnet, for example, a rare earth magnet having a large magnetic force such as samarium / cobalt can be cited. The bias magnet is disposed at a position where it does not contact or adjoin the magnetoresistive element.

磁気抵抗素子は、例えば金属配線などによって形成された直交する2つの繰り返しパターンを有している。磁気抵抗素子は、磁場の方向が当該繰り返しパターンに流れる電流の方向の垂直方向に近くなると電気抵抗が低下するようになっている。磁気抵抗素子は、この電気抵抗の低下を利用して磁場の方向を電気信号に変換するようになっている。磁気抵抗素子は、磁石部材Mの磁場及びバイアス磁石の磁場による合成磁場を検出するようになっている。検出結果は、電気信号として上記の制御装置(不図示)に送信されるようになっている。   The magnetoresistive element has two orthogonal repeating patterns formed by, for example, metal wiring. In the magnetoresistive element, the electric resistance decreases when the direction of the magnetic field is close to the direction perpendicular to the direction of the current flowing in the repetitive pattern. The magnetoresistive element converts the direction of the magnetic field into an electric signal by utilizing the decrease in electric resistance. The magnetoresistive element is adapted to detect a combined magnetic field generated by the magnetic field of the magnet member M and the magnetic field of the bias magnet. The detection result is transmitted as an electric signal to the control device (not shown).

エンコーダECには、不図示の制御装置が設けられている。制御装置は、光センサ31の発光部の動作を制御すると共に、光センサ31の受光部からの出力に基づいて回転軸40の回転角度を求める。また、この制御装置は、磁気センサ32A及び32Bからの出力に基づいて回転軸40の回転数を求める処理を行う。   The encoder EC is provided with a control device (not shown). The control device controls the operation of the light emitting unit of the optical sensor 31 and obtains the rotation angle of the rotary shaft 40 based on the output from the light receiving unit of the optical sensor 31. Moreover, this control apparatus performs the process which calculates | requires the rotation speed of the rotating shaft 40 based on the output from magnetic sensor 32A and 32B.

次に、上記のように構成されたエンコーダECの回転部Rの形成過程を説明する。
回転部Rを形成する場合には、まず回転部材10を所定の形状に成型し、当該成型した回転部材10の上面10aを鏡面状に研磨する。上面10aを研磨した後、当該上面10aの周縁部に沿った環状領域に、例えばフォトリソグラフィ法などの成膜法を用いて光透過層24aのパターンを形成する。
Next, the formation process of the rotating part R of the encoder EC configured as described above will be described.
When forming the rotating portion R, first, the rotating member 10 is molded into a predetermined shape, and the upper surface 10a of the molded rotating member 10 is polished into a mirror shape. After polishing the upper surface 10a, a pattern of the light transmission layer 24a is formed in an annular region along the peripheral edge of the upper surface 10a by using a film forming method such as a photolithography method.

光透過層24aのパターンを形成した後、回転部材10をめっき槽内に漬け込み、めっき法によって回転部材10の表面に非反射層11を形成する。このとき、回転部材10のうち光透過層24aが形成された上面10aの領域には電流が流れないため、非反射層11が形成されないこととなる。このように、回転部材10の上面10aに光反射パターン24が形成される。   After the pattern of the light transmission layer 24a is formed, the rotating member 10 is immersed in a plating tank, and the non-reflective layer 11 is formed on the surface of the rotating member 10 by a plating method. At this time, since no current flows in the region of the upper surface 10a where the light transmission layer 24a is formed in the rotating member 10, the non-reflective layer 11 is not formed. Thus, the light reflection pattern 24 is formed on the upper surface 10a of the rotating member 10.

非反射層11を形成した後、回転部材10の上面10aのうち光反射パターン24に囲まれた領域を所定のパターンに着磁する。上面10aには非反射層11が形成されているため、この着磁部分が磁化されて磁気パターン25が形成される。このように、磁石部材を用いることなく磁気パターン25が形成される。
以上のようにして、回転部Rを形成する。
After the non-reflective layer 11 is formed, a region surrounded by the light reflection pattern 24 on the upper surface 10a of the rotating member 10 is magnetized into a predetermined pattern. Since the non-reflective layer 11 is formed on the upper surface 10a, the magnetized portion is magnetized to form the magnetic pattern 25. Thus, the magnetic pattern 25 is formed without using a magnet member.
As described above, the rotating portion R is formed.

次に、上記のように構成されたエンコーダECの動作を説明する。
モータMTRの回転軸40が回転すると、当該回転軸40に取り付けられた回転部Rが回転軸40と一体的に回転する。モータMTRに固定された検出機構Dについては、回転軸40には接続されていないため、回転せずに静止した状態となる。
Next, the operation of the encoder EC configured as described above will be described.
When the rotating shaft 40 of the motor MTR rotates, the rotating portion R attached to the rotating shaft 40 rotates integrally with the rotating shaft 40. Since the detection mechanism D fixed to the motor MTR is not connected to the rotating shaft 40, it is in a stationary state without rotating.

回転部Rが回転すると、当該回転部Rに形成された光反射パターン24が回転方向に移動する。制御装置は、光センサ31を用いて光反射パターン24へ光を射出させ、反射光を読み取らせることで光反射パターン24の移動角度を検出する。   When the rotating part R rotates, the light reflection pattern 24 formed on the rotating part R moves in the rotating direction. The control device detects the movement angle of the light reflection pattern 24 by emitting light to the light reflection pattern 24 using the optical sensor 31 and reading the reflected light.

回転部Rの回転により、当該回転部Rに形成された磁気パターン25も回転方向に移動する。磁気パターン25の移動により、磁気パターン25によって形成される第1磁場とバイアス磁石の第2磁場との合成磁場が周期的に変化する。制御装置は、磁気センサ32A及び32Bを用いて当該合成磁場の変化の周期を検出させることにより、磁石部材M(回転軸)の回転数を検出する。   As the rotating part R rotates, the magnetic pattern 25 formed on the rotating part R also moves in the rotating direction. As the magnetic pattern 25 moves, the combined magnetic field of the first magnetic field formed by the magnetic pattern 25 and the second magnetic field of the bias magnet changes periodically. The control device detects the number of rotations of the magnet member M (rotating shaft) by using the magnetic sensors 32A and 32B to detect the period of change of the combined magnetic field.

以上のように、本実施形態によれば、回転部Rは、磁気パターン25及び光学パターン24が形成された回転部材10と単一部材で形成されることとしたので、回転部Rの部品点数を少なくすることができる。これにより、エンコーダECの部品点数を削減することができる。   As described above, according to the present embodiment, the rotating part R is formed of the rotating member 10 on which the magnetic pattern 25 and the optical pattern 24 are formed and a single member. Can be reduced. Thereby, the number of parts of the encoder EC can be reduced.

[第2実施形態]
次に、本発明の第2実施形態を説明する。本実施形態では、第1実施形態と同一又は同等の構成要素については、同一の符号を付し、説明を省略あるいは簡略化する。本実施形態では、回転部Rの構成が第1実施形態とは異なっているため、当該相違点を中心に説明する。
[Second Embodiment]
Next, a second embodiment of the present invention will be described. In the present embodiment, the same or equivalent components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted or simplified. In this embodiment, since the structure of the rotation part R differs from 1st Embodiment, it demonstrates centering on the said difference.

図4は、本実施形態に係るエンコーダEC2の構成を示す断面図である。
図4に示すように、エンコーダEC2の回転部R2は、磁性体(例、SUS、鉄、磁石)を用いて形成された回転部材50を有している。回転部R2において、回転部材50の表面には非反射層が形成されていない構成となっている。回転部材50は、下面50b側が環状に突出している。この突出部分は、回転軸40が取り付けられるようになっている。回転部材50は、このように下面50b側が突出した形状に成型されている。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing the configuration of the encoder EC2 according to this embodiment.
As shown in FIG. 4, the rotating part R2 of the encoder EC2 includes a rotating member 50 formed using a magnetic material (eg, SUS, iron, magnet). In the rotation part R2, the non-reflective layer is not formed on the surface of the rotation member 50. The lower surface 50b side of the rotating member 50 protrudes in an annular shape. The rotating shaft 40 is attached to the protruding portion. The rotating member 50 is molded in such a shape that the lower surface 50b side protrudes in this way.

回転部材50は、上面50aに光反射パターン54及び磁気パターン55を有している。光反射パターン54は、光反射層54aを有している。光反射層54aは、所定の波長の光を反射する例えば金属などの材料を用いて形成されている。光反射層54aに照射された光は、当該光反射層54aの表面において反射されるようになっている。高い光反射率を確保するため、例えば光反射層54aの上面が鏡面状に形成されていることが好ましい。   The rotating member 50 has a light reflection pattern 54 and a magnetic pattern 55 on the upper surface 50a. The light reflection pattern 54 has a light reflection layer 54a. The light reflecting layer 54a is formed using a material such as metal that reflects light of a predetermined wavelength. The light applied to the light reflecting layer 54a is reflected on the surface of the light reflecting layer 54a. In order to ensure high light reflectivity, for example, the upper surface of the light reflection layer 54a is preferably formed in a mirror shape.

磁気パターン55は、光反射パターン54の内周側に環状に形成されている。磁気パターン55は、磁性体を含む回転部材50の一部が着磁されて形成されている。磁気パターン55は、例えば第1実施形態の磁気パターン25と同一のパターンに形成することができる。   The magnetic pattern 55 is formed in an annular shape on the inner peripheral side of the light reflecting pattern 54. The magnetic pattern 55 is formed by magnetizing a part of the rotating member 50 including a magnetic material. The magnetic pattern 55 can be formed in the same pattern as the magnetic pattern 25 of the first embodiment, for example.

本実施形態のように、磁性体を用いて回転部材50を単一部材として形成することにより、回転部材50を容易にかつ低コストで形成することができる。   By forming the rotating member 50 as a single member using a magnetic material as in this embodiment, the rotating member 50 can be easily formed at low cost.

本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。
例えば、上記実施形態では、単一部材としての回転部材に光反射パターン及び磁気パターンの両方が形成されている構成を説明したが、これに限られることは無い。例えば光反射パターン及び磁気パターンの一方のみが形成されている構成であっても構わない。
The technical scope of the present invention is not limited to the above-described embodiment, and appropriate modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.
For example, in the above embodiment, the configuration in which both the light reflection pattern and the magnetic pattern are formed on the rotating member as a single member has been described, but the present invention is not limited to this. For example, only one of the light reflection pattern and the magnetic pattern may be formed.

また、上記実施形態では、回転部Rを構成する回転部材の構成材料として、例えばSUS(第1実施形態)や磁性体(第2実施形態)を用いる構成を説明したが、これに限られることは無い。例えば、回転部材として磁石を用いても構わない。磁性体に着磁パターンを形成する場合に比べて、回転部材として磁石を用いる場合には、回転部材の全体に亘って強い磁気パターンが形成されることになる。これにより、磁気センサ32(32A、32B)によって磁気を検出しやすくすることができる。また、着磁させる工程を省略することができるため、工数を少なくすることができる。   Moreover, although the said embodiment demonstrated the structure which uses SUS (1st Embodiment) and a magnetic body (2nd Embodiment), for example as a constituent material of the rotating member which comprises the rotation part R, it is restricted to this. There is no. For example, a magnet may be used as the rotating member. Compared with the case where a magnetized pattern is formed on a magnetic material, when a magnet is used as a rotating member, a strong magnetic pattern is formed over the entire rotating member. Thereby, it is possible to easily detect magnetism by the magnetic sensor 32 (32A, 32B). Further, since the step of magnetizing can be omitted, the number of steps can be reduced.

また、上記第1実施形態では、回転部Rの構成について、回転部材10表面のうち光透過層24aから外れた領域を非反射層11によって覆われた構成として説明したが、これに限られることは無く、例えば回転部材10の表面の全体が非反射層11によって覆われた構成とし、当該非反射層11上に光反射層を形成することにより光反射パターン24を形成する構成としても構わない。また、非反射層11上に光反射層を形成する場合、当該光反射層上に更に光透過層を形成するようにしても構わない。これにより、光反射層が保護されることになる。   In the first embodiment, the configuration of the rotating portion R has been described as a configuration in which the region outside the light transmitting layer 24a on the surface of the rotating member 10 is covered with the non-reflective layer 11, but is not limited thereto. For example, the entire surface of the rotating member 10 may be covered with the non-reflective layer 11, and the light reflecting pattern 24 may be formed by forming the light reflecting layer on the non-reflective layer 11. . When a light reflecting layer is formed on the non-reflective layer 11, a light transmitting layer may be further formed on the light reflecting layer. Thereby, the light reflection layer is protected.

また、上記実施形態では、回転部材10の上面10a及び回転部材50の上面50aが平坦に形成された構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば上面10a又は上面50aに段差や凹凸などが形成された構成であっても構わない。具体的には、光反射パターン24の形成領域と磁気パターン25の形成領域との間で段差が形成されている構成としても構わない。また、上記実施形態では、光反射パターン24に限らず、光透過パターンであっても構わない。   In the above embodiment, the configuration in which the upper surface 10a of the rotating member 10 and the upper surface 50a of the rotating member 50 are formed flat has been described as an example, but the present invention is not limited thereto. For example, a configuration in which a step or unevenness is formed on the upper surface 10a or the upper surface 50a may be used. Specifically, a step may be formed between the formation region of the light reflection pattern 24 and the formation region of the magnetic pattern 25. Moreover, in the said embodiment, not only the light reflection pattern 24 but a light transmissive pattern may be sufficient.

EC、EC2…エンコーダ R、R2…回転部 D…検出機構(検出部) 10、50…回転部材 11…非反射層 20…取付部 24、54…光反射パターン(光学パターン) 24a…光透過層 25、55…磁気パターン 31…光センサ 32(32A、32B)…磁気センサ   EC, EC2 ... Encoder R, R2 ... Rotating part D ... Detection mechanism (detecting part) 10, 50 ... Rotating member 11 ... Non-reflective layer 20 ... Mounting part 24, 54 ... Light reflecting pattern (optical pattern) 24a ... Light transmitting layer 25, 55 ... Magnetic pattern 31 ... Optical sensor 32 (32A, 32B) ... Magnetic sensor

Claims (11)

磁気パターン及び光学パターンのうち少なくとも1つが形成された回転部材と単一部材で形成された回転部と、
前記磁気パターンによる磁場及び前記光学パターンのうち少なくとも一方を検出する検出部と
を備えることを特徴とするエンコーダ。
A rotating member formed of at least one of a magnetic pattern and an optical pattern, and a rotating part formed of a single member;
An encoder comprising: a detection unit configured to detect at least one of a magnetic field generated by the magnetic pattern and the optical pattern.
前記回転部材は、対象物の回転軸に取り付けられる取付部を有する
ことを特徴とする請求項1に記載のエンコーダ。
The encoder according to claim 1, wherein the rotating member has an attachment portion that is attached to a rotating shaft of an object.
前記回転部材は、磁性体を用いて形成されている
ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のエンコーダ。
The encoder according to claim 1, wherein the rotating member is formed using a magnetic material.
前記磁気パターンは、前記回転部材に着磁されたパターンである
ことを特徴とする請求項1から請求項3のうちいずれか一項に記載のエンコーダ。
The encoder according to any one of claims 1 to 3, wherein the magnetic pattern is a pattern magnetized on the rotating member.
前記光学パターンは、光反射部のパターンである
ことを特徴とする請求項1から請求項4のうちいずれか一項に記載のエンコーダ。
The encoder according to any one of claims 1 to 4, wherein the optical pattern is a pattern of a light reflecting portion.
前記回転部材は、表面が非反射層によって覆われており、
前記光反射部は、前記非反射層上に形成されている
ことを特徴とする請求項5に記載のエンコーダ。
The rotating member has a surface covered with a non-reflective layer,
The encoder according to claim 5, wherein the light reflecting portion is formed on the non-reflecting layer.
前記回転部材は、表面が鏡面加工された光反射層及び前記光反射層を覆う非反射層を有し、
前記光反射部は、前記非反射層を貫通する光透過部を有する
ことを特徴とする請求項5に記載のエンコーダ。
The rotating member has a light reflection layer whose surface is mirror-finished and a non-reflection layer that covers the light reflection layer,
The encoder according to claim 5, wherein the light reflecting portion includes a light transmitting portion that penetrates the non-reflecting layer.
前記非反射層は、前記回転部材の全面に設けられている
ことを特徴とする請求項6又は請求項7に記載のエンコーダ。
The encoder according to claim 6 or 7, wherein the non-reflective layer is provided on the entire surface of the rotating member.
前記非反射層は、ブラックニッケル又はブラックアルマイトを含む
ことを特徴とする請求項6から請求項8のうちいずれか一項に記載のエンコーダ。
The encoder according to any one of claims 6 to 8, wherein the non-reflective layer includes black nickel or black alumite.
前記磁気パターン及び前記光学パターンは、前記回転部材の同一面に設けられている
ことを特徴とする請求項1から請求項9のうちいずれか一項に記載のエンコーダ。
The encoder according to any one of claims 1 to 9, wherein the magnetic pattern and the optical pattern are provided on the same surface of the rotating member.
前記回転部材として、磁石が用いられている
ことを特徴とする請求項1から請求項10のうちいずれか一項に記載のエンコーダ。
The encoder according to claim 1, wherein a magnet is used as the rotating member.
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