JP2010271069A - Encoder and method of manufacturing the same - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an encoder whose rotation unit and magnet member can be integrally united without using an adhesive, and to provide a method of manufacturing the encoder. <P>SOLUTION: The encoder includes the magnet member (M) where a magnetic pattern is formed, the rotation unit (R) for holding the magnet member, and a detection unit (D) for detecting a magnetic field generated by the magnet member. The rotation unit and the magnet member are formed by comprising materials having linear expansion coefficients different from each other. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、エンコーダ及びエンコーダの製造方法に関するものである。   The present invention relates to an encoder and a method for manufacturing the encoder.

モータの回転軸など回転体の回転数や回転速度を検出する装置として、エンコーダが知られている(特許文献1)。エンコーダは、例えばモータの回転軸に取り付けられて用いられる。エンコーダの具体的構成として、例えば磁気を用いて回転数などを検出する構成が知られている。   An encoder is known as a device that detects the number of rotations and rotation speed of a rotating body such as a rotating shaft of a motor (Patent Document 1). For example, the encoder is used by being attached to a rotating shaft of a motor. As a specific configuration of the encoder, for example, a configuration for detecting the number of rotations using magnetism is known.

このような構成のエンコーダは、磁気パターンが形成された磁石部を回転軸と一体的に回転させ、磁石部の磁気パターンの変化を磁気センサによって読み取ることで、モータの回転軸の回転数などを検出できるようになっている。具体的な構成としては、例えば回転軸と一体的に回転する回転部が当該回転軸に固定され、磁石部が回転部に保持された状態で用いられる構成が知られている。   The encoder having such a configuration rotates the magnet portion on which the magnetic pattern is formed integrally with the rotation shaft, and reads the change in the magnetic pattern of the magnet portion with a magnetic sensor, thereby determining the rotation speed of the rotation shaft of the motor and the like. It can be detected. As a specific configuration, for example, a configuration in which a rotating unit that rotates integrally with a rotating shaft is fixed to the rotating shaft and a magnet unit is held by the rotating unit is known.

特開2004−20548号公報JP 2004-20548 A

しかしながら、一般的なエンコーダでは、回転部と磁石部とが接着剤により一体化されており、剥離強度及びせん断強度などが接着剤の特性に左右されるため、接着剤を選定して評価する必要があった。   However, in a general encoder, the rotating part and the magnet part are integrated by an adhesive, and the peel strength, shear strength, etc. depend on the properties of the adhesive, so it is necessary to select and evaluate the adhesive was there.

そこで、本発明は、回転部と磁石部とをより容易に一体化することができるエンコーダ及びエンコーダの製造方法を提供するものである。   Therefore, the present invention provides an encoder and a method of manufacturing the encoder that can more easily integrate the rotating part and the magnet part.

上記の課題を解決するために、本発明は実施の形態に示す図1〜図3に対応付けした以下の構成を採用している。なお、本発明を分かり易く説明するために、一実施形態を示す図面の符号に対応付けて説明するが、本発明は実施形態に限定されるものではない。   In order to solve the above-described problems, the present invention adopts the following configuration corresponding to FIGS. 1 to 3 shown in the embodiment. In addition, in order to explain the present invention in an easy-to-understand manner, the description will be made in association with the reference numerals of the drawings showing an embodiment, but the present invention is not limited to the embodiment.

本発明に係るエンコーダは、磁気パターンが形成された磁石部(M)と、前記磁石部を保持する回転部(R)と、前記磁石部による磁場を検出する検出部(D)とを備え、前記回転部と前記磁石部とは、互いに線膨張係数が異なる材料を含んで形成されていることを特徴とする。   The encoder according to the present invention includes a magnet part (M) on which a magnetic pattern is formed, a rotating part (R) that holds the magnet part, and a detection part (D) that detects a magnetic field by the magnet part, The rotating part and the magnet part are formed to include materials having different linear expansion coefficients.

本発明によれば、回転部と磁石部とをより容易に一体化することができるエンコーダを得ることができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the encoder which can integrate a rotation part and a magnet part more easily can be obtained.

本発明の実施形態に係るエンコーダの構成を示す断面図。Sectional drawing which shows the structure of the encoder which concerns on embodiment of this invention. 図1に示すエンコーダの製造工程を示す工程図。FIG. 2 is a process diagram showing a manufacturing process of the encoder shown in FIG. 1. 本発明の実施形態に係るエンコーダの他の構成を示す断面図。Sectional drawing which shows the other structure of the encoder which concerns on embodiment of this invention.

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。
図1は、本実施形態に係るエンコーダECの構成を示す断面図である。
図1を参照して、エンコーダECの構成を説明する。エンコーダECは、モータなどの回転体の回転数や回転速度を検出する装置である。エンコーダECは、回転部R及び検出部Dを有している。エンコーダECは、回転部Rが検出部Dに収容された状態で用いられる。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a configuration of an encoder EC according to this embodiment.
The configuration of the encoder EC will be described with reference to FIG. The encoder EC is a device that detects the rotational speed and rotational speed of a rotating body such as a motor. The encoder EC has a rotating part R and a detecting part D. The encoder EC is used in a state where the rotating part R is accommodated in the detecting part D.

回転部Rは、回転体である例えばモータMRの回転軸40に固定され回転軸40と一体的に回転する部分である。回転部Rは、円盤部S、ハブ20、パターン形成部21、及び保持部22を有している。
円盤部Sは、例えばアルミニウムなどの材料によって円板状に形成され、回転部Rの本体をなす部分である。円盤部Sの構成材料として、SUS等、他の材料を用いても勿論構わない。
The rotating portion R is a portion that is fixed to the rotating shaft 40 of the motor MR that is a rotating body and rotates integrally with the rotating shaft 40. The rotating part R has a disk part S, a hub 20, a pattern forming part 21, and a holding part 22.
The disk part S is a part which is formed in a disk shape with a material such as aluminum, for example, and forms the main body of the rotating part R. Of course, other materials such as SUS may be used as the constituent material of the disk portion S.

ハブ20は、円盤部Sの図中下側の円盤面Saに設けられ、上記モータMRの回転軸40に接続される部分である。ハブ20は、例えばアルミニウムなどの材料が用いられている。ハブ20は、平面視中央部に挿入穴20aを有している。挿入穴20aには、モータMRの回転軸40が挿入されるようになっている。ハブ20は、回転軸40が挿入穴20aに挿入された状態で回転軸40とハブ20との間を固定する固定機構(不図示)を有している。回転部Rが回転軸40に固定された状態においては、円盤部Sの円盤面Sbが回転軸40に垂直となり、回転部Rの回転軸方向は回転軸40の延在方向と同一方向となる。   The hub 20 is a portion that is provided on a disk surface Sa on the lower side of the disk portion S in the drawing and is connected to the rotating shaft 40 of the motor MR. The hub 20 is made of a material such as aluminum. The hub 20 has an insertion hole 20a at the center in plan view. The rotation shaft 40 of the motor MR is inserted into the insertion hole 20a. The hub 20 has a fixing mechanism (not shown) that fixes the rotating shaft 40 and the hub 20 in a state where the rotating shaft 40 is inserted into the insertion hole 20a. In a state where the rotating part R is fixed to the rotating shaft 40, the disk surface Sb of the disk part S is perpendicular to the rotating shaft 40, and the rotating shaft direction of the rotating part R is the same direction as the extending direction of the rotating shaft 40. .

パターン形成部21は、円盤部Sの図中上側の円盤面Sbに設けられた円環状の部分である。パターン形成部21は、円盤面Sbの周縁部に設けられている。パターン形成部21には光反射パターン24が形成されている。   The pattern forming portion 21 is an annular portion provided on the upper disc surface Sb of the disc portion S in the drawing. The pattern forming part 21 is provided on the peripheral edge of the disk surface Sb. A light reflecting pattern 24 is formed on the pattern forming portion 21.

光反射パターン24は、パターン形成部21の他の部分よりも光反射率の低い低反射領域を有している。当該低反射領域は、アルミニウムよりも反射率の低いクロム(Cr)などの薄膜によって形成されている。低反射領域は、パターン形成部21の形状に沿って円周方向に所定の間隔で配置されている。この他、例えばパターン形成部21自体を着色加工したり、粗面加工したりすることで低反射領域を形成しても構わない。   The light reflection pattern 24 has a low reflection region having a light reflectance lower than that of other portions of the pattern forming portion 21. The low reflection region is formed of a thin film such as chromium (Cr) having a lower reflectance than aluminum. The low reflection regions are arranged at predetermined intervals in the circumferential direction along the shape of the pattern forming portion 21. In addition, for example, the low reflection region may be formed by coloring or roughening the pattern forming unit 21 itself.

保持部22は、例えばアルミニウムなどの材料により円盤部Sの円盤面Sa側に段差状に形成されている。保持部22は円盤部Sと同一の材料により一体的に設けられていてもよいし、円盤部Sと分離して設けられ、円盤部Sと一体化されていてもよい。保持部22は、磁石部材(磁石部)Mを保持する保持面22aを有している。
保持面22aは、回転軸40の延在方向に沿って形成されている。したがって、保持面22aは、回転部Rの回転軸方向と同一方向に形成されていることになる。保持部22は円筒状に形成され、円環状の磁石部材Mの内周部(被保持部)Maの内側に配置されている。
The holding part 22 is formed in a step shape on the disk surface Sa side of the disk part S, for example, with a material such as aluminum. The holding part 22 may be provided integrally with the same material as the disk part S, may be provided separately from the disk part S, and may be integrated with the disk part S. The holding part 22 has a holding surface 22 a for holding a magnet member (magnet part) M.
The holding surface 22 a is formed along the extending direction of the rotating shaft 40. Therefore, the holding surface 22a is formed in the same direction as the rotation axis direction of the rotating portion R. The holding part 22 is formed in a cylindrical shape, and is arranged inside the inner peripheral part (held part) Ma of the annular magnet member M.

磁石部材Mは、回転部Rの回転方向に沿って円環状に形成された永久磁石である。磁石部材Mとしては、例えばネオジ鉄系の焼結磁石などが用いられている。磁石部材Mは、中央部に開口部Oを有している。そして、開口部Oの縁である内周部Maが保持部22の保持面22aに保持されている。磁石部材Mは内周部Maの内側に配置された保持部22に締まり嵌めされ、内周部Maと保持面22aとの間の摩擦力により保持面22aに保持されている。磁石部材Mは、保持部22の外側に配置されると共に、回転部Rの外側にはみ出すように配置されている。   The magnet member M is a permanent magnet formed in an annular shape along the rotation direction of the rotating portion R. As the magnet member M, for example, a neodymium-based sintered magnet or the like is used. The magnet member M has an opening O at the center. The inner peripheral portion Ma that is the edge of the opening O is held by the holding surface 22 a of the holding portion 22. The magnet member M is tightly fitted to the holding portion 22 disposed inside the inner peripheral portion Ma, and is held on the holding surface 22a by the frictional force between the inner peripheral portion Ma and the holding surface 22a. The magnet member M is disposed outside the holding portion 22 and is disposed so as to protrude outside the rotating portion R.

磁石部材Mは、所定の方向に熱変形(熱膨張又は収縮)するように設けられている。本実施形態では、磁石部材Mはその径方向(回転部Rの回転軸方向と略垂直な方向)に所定の線膨張係数を有している。したがって、磁石部材Mは温度変化に伴ってその径方向に膨張又は収縮するようになっている。   The magnet member M is provided so as to be thermally deformed (thermal expansion or contraction) in a predetermined direction. In the present embodiment, the magnet member M has a predetermined linear expansion coefficient in its radial direction (a direction substantially perpendicular to the rotation axis direction of the rotating portion R). Therefore, the magnet member M expands or contracts in the radial direction as the temperature changes.

ここで、回転部R及び保持部22の構成材料の一例である工業用アルミニウムの線膨張係数と、磁石部材Mの構成材料の一例であるネオジウム系磁石の線膨張係数を以下の表1に一例として示す。また、各温度における保持部22の外径、磁石部材Mの内径、及びこれらの差を以下の表2に一例として示す。   Here, the linear expansion coefficient of industrial aluminum, which is an example of the constituent material of the rotating part R and the holding part 22, and the linear expansion coefficient of a neodymium magnet, which is an example of the constituent material of the magnet member M, are shown in Table 1 below. As shown. Moreover, the outer diameter of the holding | maintenance part 22 in each temperature, the internal diameter of the magnet member M, and these difference are shown in the following Table 2 as an example.

表1に示すように、回転部Rの構成材料である工業用アルミニウムは、特定の膨張方向は有しておらず、比較的大きな線膨張係数(24.3×10−6/℃)を有している。一方、磁石部材Mの構成材料であるネオジウム系磁石は、磁石部材Mの径方向に比較的小さな負の線膨張係数(−1.5×10−6/℃)を有している。すなわち、本実施形態では、回転部Rの構成材料である工業用アルミニウムの線膨張係数は、磁石部材Mの構成材料であるネオジウム系磁石の線膨張係数と異なっている。また、磁石部材Mと比較して、その線膨張係数が大きくなっている。したがって、保持部22の外径と磁石部材Mの内径との差(隙間)は、温度の変化に伴って変化する。 As shown in Table 1, industrial aluminum which is a constituent material of the rotating part R does not have a specific expansion direction and has a relatively large linear expansion coefficient (24.3 × 10 −6 / ° C.). is doing. On the other hand, the neodymium magnet which is a constituent material of the magnet member M has a relatively small negative linear expansion coefficient (−1.5 × 10 −6 / ° C.) in the radial direction of the magnet member M. That is, in this embodiment, the linear expansion coefficient of industrial aluminum that is a constituent material of the rotating part R is different from the linear expansion coefficient of a neodymium magnet that is a constituent material of the magnet member M. Moreover, compared with the magnet member M, the linear expansion coefficient is large. Therefore, the difference (gap) between the outer diameter of the holding portion 22 and the inner diameter of the magnet member M changes with changes in temperature.

表2に示すように、保持部22及び磁石部材Mは、これらが分離された状態で、温度が常温(23℃)の場合には、保持部22の外径が磁石部材Mの内径よりも大きくなるように形成されている。すなわち、常温で保持部22の外径と磁石部材Mの内径との差(隙間)が負の値になるように形成されている。この保持部22の外径と磁石部材Mの内径との大小関係は、これらの温度をエンコーダECの使用温度の上限(例えば100℃)から下限(例えば−40℃)まで変化させたときも同様である。   As shown in Table 2, when the holding portion 22 and the magnet member M are separated and the temperature is normal temperature (23 ° C.), the outer diameter of the holding portion 22 is larger than the inner diameter of the magnet member M. It is formed to be large. That is, the difference (gap) between the outer diameter of the holding portion 22 and the inner diameter of the magnet member M is formed to be a negative value at room temperature. The magnitude relationship between the outer diameter of the holding portion 22 and the inner diameter of the magnet member M is the same when these temperatures are changed from the upper limit (for example, 100 ° C.) to the lower limit (for example, −40 ° C.) of the operating temperature of the encoder EC. It is.

一方、保持部22及び磁石部材Mは、液体窒素(−196℃)による冷却温度において、保持部22の外径が磁石部材Mの内径よりも小さくなるように形成されている。すなわち、保持部22の外径と磁石部材Mの内径と差(隙間)が正の値になるように形成されている。   On the other hand, the holding part 22 and the magnet member M are formed so that the outer diameter of the holding part 22 is smaller than the inner diameter of the magnet member M at the cooling temperature by liquid nitrogen (−196 ° C.). That is, the difference (gap) between the outer diameter of the holding portion 22 and the inner diameter of the magnet member M is formed to be a positive value.

以上の構成により、保持部22と磁石部材Mとは、エンコーダECの使用温度の下限である−40℃よりも低温において分離可能になっている。また、保持部22と磁石部材Mとは、エンコーダECの使用温度の下限である−40℃以上の温度において締まり嵌めされて一体化されるようになっている。   With the above configuration, the holding unit 22 and the magnet member M can be separated at a temperature lower than −40 ° C., which is the lower limit of the operating temperature of the encoder EC. Further, the holding portion 22 and the magnet member M are tightly fitted and integrated at a temperature of −40 ° C. or higher which is the lower limit of the operating temperature of the encoder EC.

すなわち、保持部22と磁石部材Mとは、第1の温度で分離可能であり、第2の温度で締まり嵌めされて一体化されるようになっている。本実施形態において、第1の温度は例えば−196℃〜−50℃の温度範囲に含まれる所定の温度であり、第2の温度は例えば−50℃〜100℃の温度範囲に含まれる所定の温度である。   That is, the holding part 22 and the magnet member M can be separated at the first temperature, and are fitted and integrated at the second temperature. In the present embodiment, the first temperature is a predetermined temperature included in a temperature range of −196 ° C. to −50 ° C., for example, and the second temperature is a predetermined temperature included in a temperature range of −50 ° C. to 100 ° C., for example. Temperature.

磁石部材Mには、所定の磁気パターンが形成されている。磁石部材Mの磁気パターンとして、例えば回転軸40の軸方向に見て円環の半分の領域にN極に着磁され、円環の他の半分の領域がS極に着磁された磁気パターンなどが挙げられる。勿論、他の磁気パターンが形成されていても構わない。   A predetermined magnetic pattern is formed on the magnet member M. As a magnetic pattern of the magnet member M, for example, a magnetic pattern in which an N-pole is magnetized in a half region of the ring as viewed in the axial direction of the rotary shaft 40 and another S-pole is magnetized in the other half region of the ring. Etc. Of course, other magnetic patterns may be formed.

検出部Dは、上記の光反射パターン24及び磁石部材Mによる磁場を検出する部分である。検出部Dは、筐体30、光センサ31及び磁気センサ32を有している。
筐体30は、例えば平面視円形のコップ状(有底円筒状)に形成されている。筐体30は、モータMRに固定され、回転軸40との間では固定されていない状態で用いられる。したがって、回転軸40が回転しても、筐体30とモータMRとの相対位置が変化しないようになっている。筐体30は、一体的に形成された回転部R及び磁石部材Mを収容する。回転部R及び磁石部材Mは、回転軸40の軸方向に見たときに、それぞれの中心が筐体30の中心に一致するように位置合わせされた状態で収容されている。
The detection unit D is a part that detects the magnetic field generated by the light reflection pattern 24 and the magnet member M. The detection unit D includes a housing 30, an optical sensor 31, and a magnetic sensor 32.
The housing 30 is formed in, for example, a circular cup shape (bottomed cylindrical shape) in plan view. The housing 30 is fixed to the motor MR and is used in a state where it is not fixed to the rotating shaft 40. Therefore, even if the rotating shaft 40 rotates, the relative position between the housing 30 and the motor MR does not change. The housing 30 accommodates the rotating portion R and the magnet member M that are integrally formed. The rotating part R and the magnet member M are accommodated in a state of being aligned so that their centers coincide with the center of the housing 30 when viewed in the axial direction of the rotating shaft 40.

光センサ31は、光反射パターン24へ向けて光を射出し、光反射パターン24を介した反射光を読み取ることで光反射パターン24を検出するセンサである。光センサ31は、例えば回転部Rの光反射パターン24に対して、回転軸40の軸方向に見て重なる位置に配置されている。光センサ31は、光を射出する発光部及び反射光を受光する受光部を有する。発光部としては、例えばLEDなどが用いられる。受光部としては、例えば光電素子などが用いられる。受光部によって読み取られた光は、電気信号として不図示の制御装置に送信されるようになっている。光センサ31を構成する各部は、筐体30に保持されている。   The optical sensor 31 is a sensor that detects the light reflection pattern 24 by emitting light toward the light reflection pattern 24 and reading the reflected light via the light reflection pattern 24. The optical sensor 31 is disposed, for example, at a position overlapping the light reflection pattern 24 of the rotating portion R when viewed in the axial direction of the rotating shaft 40. The optical sensor 31 includes a light emitting unit that emits light and a light receiving unit that receives reflected light. For example, an LED or the like is used as the light emitting unit. As the light receiving unit, for example, a photoelectric element or the like is used. The light read by the light receiving unit is transmitted as an electric signal to a control device (not shown). Each part constituting the optical sensor 31 is held by the housing 30.

磁気センサ32は、回転軸40の軸方向に見て、例えば磁石部材Mのうち円盤部Sから外側にはみ出した部分に重なる位置に一対配置されている(磁気センサ32A及び32B)。各磁気センサ32A及び32Bは、バイアス磁石(不図示)及び磁気抵抗素子(不図示)を有している。磁気センサ32A及び32Bは、それぞれ筐体30に保持されている。   A pair of the magnetic sensors 32 are arranged at positions overlapping with a portion of the magnet member M that protrudes outward from the disk portion S as viewed in the axial direction of the rotating shaft 40 (magnetic sensors 32A and 32B). Each magnetic sensor 32A and 32B has a bias magnet (not shown) and a magnetoresistive element (not shown). The magnetic sensors 32A and 32B are respectively held by the housing 30.

バイアス磁石は、磁石部材Mの磁場との間で合成磁場を形成する磁石である。バイアス磁石を構成する材料として、例えばサマリウム・コバルトなどの磁力の大きい希土類磁石などが挙げられる。バイアス磁石は、磁気抵抗素子に接触したり、隣接したりしない位置に配置されている。   The bias magnet is a magnet that forms a combined magnetic field with the magnetic field of the magnet member M. As a material constituting the bias magnet, for example, a rare earth magnet having a large magnetic force such as samarium / cobalt can be cited. The bias magnet is disposed at a position where it does not contact or adjoin the magnetoresistive element.

磁気抵抗素子は、例えば金属配線などによって形成された直交する2つの繰り返しパターンを有している。磁気抵抗素子は、磁場の方向が当該繰り返しパターンに流れる電流の方向の垂直方向に近くなると電気抵抗が低下するようになっている。磁気抵抗素子は、この電気抵抗の低下を利用して磁場の方向を電気信号に変換するようになっている。磁気抵抗素子は、磁石部材Mの磁場及びバイアス磁石の磁場による合成磁場を検出するようになっている。検出結果は、電気信号として上記の制御装置(不図示)に送信されるようになっている。   The magnetoresistive element has two orthogonal repeating patterns formed by, for example, metal wiring. In the magnetoresistive element, the electric resistance decreases when the direction of the magnetic field is close to the direction perpendicular to the direction of the current flowing in the repetitive pattern. The magnetoresistive element converts the direction of the magnetic field into an electric signal by utilizing the decrease in electric resistance. The magnetoresistive element is adapted to detect a combined magnetic field generated by the magnetic field of the magnet member M and the magnetic field of the bias magnet. The detection result is transmitted as an electric signal to the control device (not shown).

制御装置は、光センサ31の受光部からの出力に基づいて回転軸40の回転角度を求めると共に、磁気センサ32A及び32Bからの出力に基づいて回転軸40の回転数を求める処理を行う。   The control device performs a process of obtaining the rotation angle of the rotation shaft 40 based on the output from the light receiving unit of the optical sensor 31 and obtaining the rotation speed of the rotation shaft 40 based on the outputs from the magnetic sensors 32A and 32B.

次に、上記のように構成されたエンコーダECの動作を説明する。
モータMRの回転軸40が回転すると、当該回転軸40に一体的に取り付けられた回転部R及び磁石部材Mが回転軸40と一体的に回転する。モータMRに固定された検出部Dについては、回転軸40には接続されていないため、回転せずに静止した状態となる。
Next, the operation of the encoder EC configured as described above will be described.
When the rotating shaft 40 of the motor MR rotates, the rotating portion R and the magnet member M that are integrally attached to the rotating shaft 40 rotate integrally with the rotating shaft 40. About the detection part D fixed to the motor MR, since it is not connected to the rotating shaft 40, it will be in a stationary state without rotating.

回転部Rが回転すると、当該回転部Rに形成された光反射パターン24が回転方向に移動する。光センサ31は、移動する光反射パターン24へ光を射出し、反射光を読み取ることで光反射パターン24の移動角度を検出する。   When the rotating part R rotates, the light reflection pattern 24 formed on the rotating part R moves in the rotating direction. The optical sensor 31 emits light to the moving light reflection pattern 24 and detects the movement angle of the light reflection pattern 24 by reading the reflected light.

回転部Rの回転と共に磁石部材Mが回転すると、当該磁石部材Mの磁気パターンによって形成される磁場とバイアス磁石の磁場との合成磁場が周期的に変化する。磁気センサ32A及び32Bは、当該合成磁場の変化の周期を検出することにより、磁石部材M(回転軸)の回転数を検出する。   When the magnet member M rotates with the rotation of the rotating part R, the combined magnetic field of the magnetic field formed by the magnetic pattern of the magnet member M and the magnetic field of the bias magnet changes periodically. The magnetic sensors 32A and 32B detect the number of rotations of the magnet member M (rotating shaft) by detecting the period of change of the combined magnetic field.

次に、エンコーダECの製造方法について説明する。本実施形態では、回転部Rと磁石部材Mとを接着剤を用いることなく一体化させる点で、従来のエンコーダの製造方法と異なっている。したがって、以下では回転部Rと磁石部材Mとを組み合わせる工程と、回転部Rと磁石部材Mとを一体化する工程とを説明し、その他の工程の説明は省略する。   Next, a method for manufacturing the encoder EC will be described. This embodiment is different from the conventional encoder manufacturing method in that the rotating part R and the magnet member M are integrated without using an adhesive. Therefore, below, the process of combining the rotating part R and the magnet member M and the process of integrating the rotating part R and the magnet member M will be described, and description of the other processes will be omitted.

図2(a)〜図2(c)は、エンコーダECの製造工程を示す断面図である。
まず、図2(a)に示すように、磁石部材Mの開口部Oに回転部Rのハブ20を挿入し、ハブ20を磁石部材Mの内周部Maの内側に配置する。このとき、例えば常温において、保持部22の外径dは磁石部材Mの内径dよりもやや大きくなっている(表2参照)。したがって、この状態では、磁石部材Mの内周部Maの内側に保持部22を配置することができない。
2A to 2C are cross-sectional views showing the manufacturing process of the encoder EC.
First, as shown in FIG. 2A, the hub 20 of the rotating portion R is inserted into the opening O of the magnet member M, and the hub 20 is disposed inside the inner peripheral portion Ma of the magnet member M. At this time, for example at room temperature, the outer diameter d R of the holding portion 22 is slightly larger than the inner diameter d M of the magnet member M (see Table 2). Therefore, in this state, the holding part 22 cannot be arranged inside the inner peripheral part Ma of the magnet member M.

そこで、例えば液体窒素により回転部R及び磁石部材Mを−196℃程度の温度まで冷却する。すると、図2(b)及び表2に示すように、保持部22の外径dが磁石部材Mの内径dよりもやや小さくなり、保持部22の保持面22aと磁石部材Mの内周部Maとの間に、例えば約0.07mm程度の隙間が形成される。これにより、保持部22の保持面22aと磁石部材Mの内周部Maとを対向させた状態で、保持部22を磁石部材Mの内周部Maの内側に配置することができるようになる。以上により、回転部Rと磁石部材Mとを組み合わせることができる。 Therefore, for example, the rotating portion R and the magnet member M are cooled to a temperature of about −196 ° C. with liquid nitrogen. Then, as shown in FIG. 2 (b) and Table 2, the outside diameter d R of the holding portion 22 is slightly smaller than the inner diameter d M of the magnet member M, of the holding surface 22a and the magnet member M of the holding portion 22 For example, a gap of about 0.07 mm is formed between the peripheral portion Ma and the peripheral portion Ma. Accordingly, the holding portion 22 can be disposed inside the inner peripheral portion Ma of the magnet member M in a state where the holding surface 22a of the holding portion 22 and the inner peripheral portion Ma of the magnet member M are opposed to each other. . As described above, the rotating portion R and the magnet member M can be combined.

次に、図2(b)に示すように回転部Rと磁石部材Mとを組み合わせた状態で、これらの温度を調整し、例えば常温まで温度を上昇させる。ここで、表1に示すように、保持部22の構成材料である工業用アルミニウムの線膨張係数は、磁石部材Mの構成材料であるネオジウム系磁石の径方向における線膨張係数よりも大きくなっている。そのため、温度変化に伴う保持部22の外径dの変形量は、磁石部材Mの内径dの変形量よりも大きくなる。 Next, as shown in FIG. 2B, these temperatures are adjusted in a state where the rotating portion R and the magnet member M are combined, and the temperature is raised to, for example, room temperature. Here, as shown in Table 1, the linear expansion coefficient of industrial aluminum that is a constituent material of the holding portion 22 is larger than the linear expansion coefficient in the radial direction of the neodymium-based magnet that is a constituent material of the magnet member M. Yes. Therefore, the amount of deformation of the outer diameter d R of the holding portion 22 due to temperature changes is greater than the amount of deformation of the inner diameter d M of the magnet member M.

また、表1に示すように、磁石部材Mの構成材料であるネオジウム系磁石の径方向における線膨張係数は、負の値となっている。そのため、温度の上昇に伴って磁石部材Mの内径dは小さくなる。一方、保持部22の構成材料である工業用アルミニウムの線膨張係数は正の値であるため、その外径dは温度の上昇に伴って大きくなる。これにより、図2(c)及び表2に示すように、使用温度の下限である−40℃以下の温度で、保持部22の外径dと磁石部材Mの内径dとの差がほぼ0になり、保持部22の保持面22aと磁石部材Mの内周部Maとの間の隙間が無くなる。 Moreover, as shown in Table 1, the linear expansion coefficient in the radial direction of the neodymium magnet that is the constituent material of the magnet member M is a negative value. Therefore, the inner diameter d M of the magnet member M decreases with increasing temperature. On the other hand, since the linear expansion coefficient of industrial aluminum which is a constituent material of the holding portion 22 is a positive value, the outer diameter d R increases with an increase in temperature. As a result, as shown in FIG. 2C and Table 2, the difference between the outer diameter d R of the holding portion 22 and the inner diameter d M of the magnet member M at a temperature of −40 ° C. or lower which is the lower limit of the operating temperature is It becomes almost zero, and the gap between the holding surface 22a of the holding part 22 and the inner peripheral part Ma of the magnet member M is eliminated.

この状態で回転部Rと磁石部材Mの温度をさらに上昇させると、保持部22の外径dはさらに膨張しようとする。また、磁石部材Mはさらに収縮しようとする。しかし、保持部22の径方向の熱膨張は、その外側に配置された磁石部材Mの内周部Maによって規制され、保持部22の保持面22aと磁石部材Mの内周部Maとが密着して互いに圧力が作用した状態になる。これにより、回転部Rの保持部22と磁石部材Mとが締まり嵌めされて一体化される。 Further raising the temperature of the rotating portion R and the magnet member M in this state, the outer diameter d R of the holding portion 22 attempts to further expansion. Moreover, the magnet member M tends to shrink further. However, the thermal expansion in the radial direction of the holding portion 22 is regulated by the inner peripheral portion Ma of the magnet member M arranged on the outer side, and the holding surface 22a of the holding portion 22 and the inner peripheral portion Ma of the magnet member M are in close contact with each other. Thus, pressure is applied to each other. Thereby, the holding | maintenance part 22 and the magnet member M of the rotation part R are interference-fitted and integrated.

この状態で回転部Rと磁石部材Mの温度をさらに上昇させ、エンコーダECの使用温度の下限である−40℃程度の温度まで上昇させる。すると、保持部22の保持面22aと磁石部材Mの内周部Maとの間に作用する圧力が上昇する。これにより、回転部Rの保持部22と磁石部材Mとがより強固に締まり嵌めされ、より強固に一体化される。
また、エンコーダECの使用温度範囲の上限である100℃に近づくほど、保持部22の熱膨張と磁石部材Mの熱収縮により、保持部22の保持面22aと磁石部材Mの内周部Maとの間に作用する圧力が上昇する。これにより、回転部Rの保持部22と磁石部材Mとがさらに強固に締まり嵌めされて、さらに強固に一体化される。
In this state, the temperature of the rotating part R and the magnet member M is further raised to a temperature of about −40 ° C., which is the lower limit of the operating temperature of the encoder EC. Then, the pressure which acts between the holding surface 22a of the holding part 22 and the inner peripheral part Ma of the magnet member M increases. Thereby, the holding | maintenance part 22 and the magnet member M of the rotation part R are more firmly clamped, and are integrated more firmly.
Further, the closer to 100 ° C., which is the upper limit of the operating temperature range of the encoder EC, the holding surface 22a of the holding portion 22 and the inner peripheral portion Ma of the magnet member M due to the thermal expansion of the holding portion 22 and the thermal contraction of the magnet member M. The pressure acting during the period increases. Thereby, the holding | maintenance part 22 and the magnet member M of the rotation part R are more firmly tightened, and are integrated more firmly.

従来のエンコーダでは、回転部と磁石部とを接着剤により接着することで一体化していた。そのため、エンコーダの使用温度における接着剤の選定や評価を行う必要があった。また、接着剤の特性によって接着剤の剥離強度やせん断強度が左右されてしまう。   In the conventional encoder, the rotating part and the magnet part are integrated by bonding with an adhesive. Therefore, it is necessary to select and evaluate an adhesive at the operating temperature of the encoder. In addition, the peel strength and shear strength of the adhesive depend on the properties of the adhesive.

これに対して、本実施形態では、回転部Rの保持部22と、磁石部材Mとが線膨張係数が異なる材料により形成され、この線膨張係数の差異を利用して回転部Rと磁石部材Mとが締まり嵌めされて一体化されている。したがって、接着剤を用いることなく回転部と磁石部とを一体化することができ、エンコーダECの使用温度における接着剤の選定や評価を行う必要がない。また、接着剤の特性によって剥離強度やせん断強度が左右されない。   On the other hand, in this embodiment, the holding part 22 of the rotating part R and the magnet member M are formed of materials having different linear expansion coefficients, and the rotating part R and the magnet member are utilized by utilizing the difference in the linear expansion coefficient. M is integrated with an interference fit. Therefore, the rotating part and the magnet part can be integrated without using an adhesive, and it is not necessary to select or evaluate the adhesive at the operating temperature of the encoder EC. Also, the peel strength and shear strength are not affected by the properties of the adhesive.

また、回転部Rと磁石部材Mとは、−40℃よりも低温の第1の温度で分離可能であり、且つ−40℃以上の第2の温度で互いに締まり嵌めされて一体化されるように、保持部22の外径dと内周部Maの内径dとが調整されている。したがって、回転部Rと磁石部材Mとを第1の温度で組合せ、これらの温度を第1の温度と異なる第2の温度に変化させることで、回転部Rと磁石部材Mとを接着剤を用いることなく容易に一体化することができる。 Further, the rotating part R and the magnet member M are separable at a first temperature lower than −40 ° C., and are fitted and integrated with each other at a second temperature of −40 ° C. or higher. to, the inner diameter d M of the outer diameter d R and the inner peripheral portion Ma of the holding portion 22 is adjusted. Therefore, by combining the rotating part R and the magnet member M at the first temperature and changing these temperatures to a second temperature different from the first temperature, the rotating part R and the magnet member M are bonded with an adhesive. It can be easily integrated without using it.

また、回転部Rの保持部22は、磁石部材Mよりも線膨張係数の大きな材料により形成されている。これにより、保持部22の変形量を磁石部材Mの変形量よりも大きくすることができる。また、保持部22は磁石部材Mの開口部Oに挿入され、内周部Maの内側に配置されている。したがって、−40℃よりも低温の第1の温度で回転部Rと磁石部材Mとを組合せ、これらの温度を第1の温度よりも高温の第2の温度に上昇させることで、保持部22の変形量が磁石部材Mの変形量よりも大きくなり、保持部22と磁石部材Mとを締まり嵌めさせて一体化させることができる。   Further, the holding portion 22 of the rotating portion R is formed of a material having a larger linear expansion coefficient than the magnet member M. Thereby, the deformation amount of the holding part 22 can be made larger than the deformation amount of the magnet member M. The holding portion 22 is inserted into the opening O of the magnet member M, and is disposed inside the inner peripheral portion Ma. Therefore, the holding part 22 is obtained by combining the rotating part R and the magnet member M at a first temperature lower than −40 ° C. and raising these temperatures to a second temperature higher than the first temperature. The deformation amount becomes larger than the deformation amount of the magnet member M, and the holding portion 22 and the magnet member M can be tightly fitted and integrated.

また、エンコーダECの使用温度の下限である−40℃よりも低温の第1の温度において回転部Rと磁石部材Mとを組合せ、温度を上昇させることで回転部Rと磁石部材Mとで締まり嵌めさせて一体化させている。したがって、エンコーダECの使用温度範囲においては、回転部Rと磁石部材Mとは常により強固に締まり嵌めされた状態が維持され、回転部Rと磁石部材Mとが分離することが防止される。   Further, the rotating portion R and the magnet member M are combined at the first temperature lower than −40 ° C. which is the lower limit of the operating temperature of the encoder EC, and the rotating portion R and the magnet member M are tightened by increasing the temperature. It is fitted and integrated. Therefore, in the operating temperature range of the encoder EC, the rotating portion R and the magnet member M are always maintained in a more tightly fitted state, and the rotating portion R and the magnet member M are prevented from being separated.

また、磁石部材Mは中央部に開口部Oが形成され、磁石部材Mの内周部Maが回転部Rの保持部22の保持面22aによって保持されている。したがって、回転部Rによって磁石部材Mの外周部を保持する場合と比較して、エンコーダECを小型化させることができる。   In addition, the magnet member M has an opening O at the center, and the inner peripheral portion Ma of the magnet member M is held by the holding surface 22a of the holding portion 22 of the rotating portion R. Therefore, compared with the case where the outer peripheral part of the magnet member M is held by the rotating part R, the encoder EC can be reduced in size.

本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。
上記実施形態では、第1の温度が第2の温度よりも低温である場合について説明したが、第1の温度が第2の温度よりも高温であってもよい。この場合には、線膨張係数の大きい第1の部材を外側に配置し、線膨張係数の小さい第2の部材をその内側に配置することができる。これにより、第1の温度で第1の部材と第2の部材とを組合せて、第2の温度に冷却することで、第1の部材と第2の部材とを締まり嵌めさせて一体化させることが可能になる。
The technical scope of the present invention is not limited to the above-described embodiment, and appropriate modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.
In the above embodiment, the case where the first temperature is lower than the second temperature has been described, but the first temperature may be higher than the second temperature. In this case, the first member having a large linear expansion coefficient can be disposed on the outside, and the second member having a small linear expansion coefficient can be disposed on the inside. Accordingly, the first member and the second member are combined at the first temperature and cooled to the second temperature, so that the first member and the second member are tightly fitted and integrated. It becomes possible.

また、上記実施形態では、磁石部の開口部の内側に回転部の保持部が配置される構成としたが、磁石部の外周部を回転部によって保持する構成であってもよい。
また、上記実施形態では、円盤部Sの図中下側の円盤面Saに磁石部材Mが保持された構成を例に挙げて説明したが、これに限られることはなく、例えば図3に示すように、円盤部Sの図中上側の円盤面Sbに磁石部材Mが保持された構成であっても構わない。この場合、磁石部材Mを保持する保持部22についても円盤面Sb側に形成されることになる。
Moreover, in the said embodiment, although it was set as the structure by which the holding | maintenance part of a rotation part is arrange | positioned inside the opening part of a magnet part, the structure which hold | maintains the outer peripheral part of a magnet part by a rotation part may be sufficient.
Moreover, in the said embodiment, although demonstrated taking the example of the structure by which the magnet member M was hold | maintained at the disk surface Sa of the lower side in the figure of the disk part S, it is not restricted to this, For example, it shows in FIG. As described above, the magnet member M may be held on the upper disk surface Sb of the disk portion S in the drawing. In this case, the holding portion 22 that holds the magnet member M is also formed on the disk surface Sb side.

なお、上記実施形態では、光反射パターン24に限らず、光透過パターンであっても構わない。   In the above embodiment, not only the light reflection pattern 24 but also a light transmission pattern may be used.

D 検出部、EC エンコーダ、M 磁石部材(磁石部)、O 開口部、Ma 内周部(被保持部)、R 回転部、22 保持部 D detection part, EC encoder, M magnet member (magnet part), O opening, Ma inner peripheral part (held part), R rotating part, 22 holding part

Claims (13)

磁気パターンが形成された磁石部と、前記磁石部を保持する回転部と、前記磁石部による磁場を検出する検出部とを備え、
前記回転部と前記磁石部とは、互いに線膨張係数が異なる材料を含んで形成されていること
を特徴とするエンコーダ。
A magnet unit on which a magnetic pattern is formed, a rotating unit that holds the magnet unit, and a detection unit that detects a magnetic field by the magnet unit;
The encoder characterized in that the rotating part and the magnet part are formed to include materials having different linear expansion coefficients.
請求項1に記載のエンコーダにおいて、
前記回転部と前記磁石部とは、第1の温度において分離可能であり、且つ、第2の温度で互いに締まり嵌めされて一体化されていること
を特徴とするエンコーダ。
The encoder according to claim 1, wherein
The encoder is characterized in that the rotating portion and the magnet portion are separable at a first temperature and are integrated with each other by interference fitting at a second temperature.
請求項2に記載のエンコーダにおいて、
前記第1の温度は前記第2の温度よりも低温であり、
前記回転部は前記磁石部よりも前記線膨張係数が大きい材料により形成されていること
を特徴とするエンコーダ。
The encoder according to claim 2,
The first temperature is lower than the second temperature;
The encoder is characterized in that the rotating part is made of a material having a larger linear expansion coefficient than the magnet part.
請求項2又は請求項3に記載のエンコーダにおいて、
前記第1の温度は使用温度範囲よりも低温であること
を特徴とするエンコーダ。
The encoder according to claim 2 or claim 3,
The encoder according to claim 1, wherein the first temperature is lower than a use temperature range.
請求項1から請求項4のうちいずれか一項に記載のエンコーダにおいて、
前記回転部は前記磁石部を保持する保持部を有し、
前記磁石部は前記保持部によって保持される被保持部を有し、
前記被保持部の内側に前記保持部が配置されていること
を特徴とするエンコーダ。
In the encoder according to any one of claims 1 to 4,
The rotating part has a holding part for holding the magnet part,
The magnet part has a held part held by the holding part,
The encoder, wherein the holding portion is disposed inside the held portion.
請求項5に記載のエンコーダにおいて、
前記被保持部は前記磁石部に設けられた開口部であること
を特徴とするエンコーダ。
The encoder according to claim 5, wherein
The encoder according to claim 1, wherein the held portion is an opening provided in the magnet portion.
請求項6に記載のエンコーダにおいて、
前記開口部は前記磁石部の中央部に設けられていること
を特徴とするエンコーダ。
The encoder according to claim 6, wherein
The encoder is characterized in that the opening is provided in a central part of the magnet part.
磁気パターンが形成された磁石部と、前記磁石部を保持する回転部と、前記磁石部による磁場を検出する検出部とを備えたエンコーダの製造方法において、
第1の温度において前記回転部と前記磁石部とを組み合わせる工程と、
第2の温度において前記磁石部と前記回転部とを一体化する工程と、を有すること
を特徴とするエンコーダの製造方法。
In a method of manufacturing an encoder comprising a magnet part on which a magnetic pattern is formed, a rotating part that holds the magnet part, and a detection part that detects a magnetic field by the magnet part,
Combining the rotating part and the magnet part at a first temperature;
And a step of integrating the magnet part and the rotating part at a second temperature.
請求項8に記載のエンコーダの製造方法において、
少なくとも前記第1の温度と前記第2の温度との温度範囲で温度を調整する工程を有することを特徴とするエンコーダの製造方法。
In the manufacturing method of the encoder according to claim 8,
A method of manufacturing an encoder, comprising a step of adjusting a temperature in a temperature range of at least the first temperature and the second temperature.
請求項8又は請求項9に記載のエンコーダの製造方法において、
前記第1の温度は、前記第2の温度よりも低温であることを特徴とするエンコーダの製造方法。
In the manufacturing method of the encoder according to claim 8 or 9,
The encoder manufacturing method, wherein the first temperature is lower than the second temperature.
磁気パターンが形成された磁石部と、前記磁石部を保持する回転部と、前記磁石部による磁場を検出する検出部とを備えたエンコーダの製造方法において、
少なくとも第1の温度と第2の温度との温度範囲における前記磁石部と前記回転部との温度変化による変形を用いて、前記磁石部と前記回転部とを一体化させる工程を有すること
を特徴とするエンコーダの製造方法。
In a method of manufacturing an encoder comprising a magnet part on which a magnetic pattern is formed, a rotating part that holds the magnet part, and a detection part that detects a magnetic field by the magnet part,
And a step of integrating the magnet unit and the rotating unit by using deformation due to temperature change between the magnet unit and the rotating unit in a temperature range of at least the first temperature and the second temperature. A method for manufacturing an encoder.
請求項11に記載のエンコーダの製造方法において、
前記温度範囲において、前記回転部の変形量は、前記磁石部の変形量よりも大きいこと
を特徴とするエンコーダの製造方法。
In the manufacturing method of the encoder according to claim 11,
In the temperature range, the amount of deformation of the rotating part is larger than the amount of deformation of the magnet part.
請求項11又は請求項12に記載のエンコーダの製造方法において、
前記工程は、前記第1の温度において前記回転部と前記磁石部とを組み合わせる工程と、前記第2の温度において前記磁石部と前記回転部とを一体化する工程と、を有すること
を特徴とするエンコーダの製造方法。
In the manufacturing method of the encoder according to claim 11 or 12,
The step includes combining the rotating portion and the magnet portion at the first temperature, and integrating the magnet portion and the rotating portion at the second temperature. A method for manufacturing an encoder.
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012225677A (en) * 2011-04-15 2012-11-15 Nikon Corp Encoder, driving device, and robot device
JP2012225669A (en) * 2011-04-15 2012-11-15 Nikon Corp Position information detection sensor, manufacturing method for position information detection sensor, encoder, motor device, and robot device
JP2012225676A (en) * 2011-04-15 2012-11-15 Nikon Corp Encoder, driving device, and robot device
JP2012225674A (en) * 2011-04-15 2012-11-15 Nikon Corp Position information detection sensor, manufacturing method for position information detection sensor, encoder, motor device, and robot device
JP2014064471A (en) * 2014-01-17 2014-04-10 Nippon Soken Inc Rotary electric machine
WO2015050109A1 (en) * 2013-10-02 2015-04-09 株式会社ニコン Encoder scale, encoder, drive apparatus, and stage apparatus

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012225677A (en) * 2011-04-15 2012-11-15 Nikon Corp Encoder, driving device, and robot device
JP2012225669A (en) * 2011-04-15 2012-11-15 Nikon Corp Position information detection sensor, manufacturing method for position information detection sensor, encoder, motor device, and robot device
JP2012225676A (en) * 2011-04-15 2012-11-15 Nikon Corp Encoder, driving device, and robot device
JP2012225674A (en) * 2011-04-15 2012-11-15 Nikon Corp Position information detection sensor, manufacturing method for position information detection sensor, encoder, motor device, and robot device
WO2015050109A1 (en) * 2013-10-02 2015-04-09 株式会社ニコン Encoder scale, encoder, drive apparatus, and stage apparatus
CN105593644A (en) * 2013-10-02 2016-05-18 株式会社尼康 Sensing system for absolute angular position
JPWO2015050109A1 (en) * 2013-10-02 2017-03-09 株式会社ニコン Encoder scale, encoder, drive device and stage device
CN105593644B (en) * 2013-10-02 2018-11-13 株式会社尼康 Scale for encoder, encoder, driving device and bearing table device
US10444036B2 (en) 2013-10-02 2019-10-15 Nikon Corporation Encoder scale, encoder, drive apparatus, and stage apparatus
JP2014064471A (en) * 2014-01-17 2014-04-10 Nippon Soken Inc Rotary electric machine

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