JP2010267387A - 成膜方法及び発光装置の作製方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の面に複数の凹部を有する第1の基板上に、光吸収層、第1の有機物層を形成し、第2の基板の第1の面に、陽極または陰極の一方である第1の電極及び絶縁物を形成し、前記第1の基板の第1の面に、前記第2の基板の第1の面を対向させ、前記第1の面と反対側の第2の面から、光を照射し、前記光を照射することにより、前記第1の基板上の第1の有機物層を飛ばして、前記第1の電極及び絶縁物上に、第2の有機物層を成膜し、前記第2の有機物層上に、陽極または陰極の他方である第2の電極を形成する発光装置の作製方法に関する。
【選択図】図1
Description
本実施の形態の形態を図1(A)〜図1(C)、図8(A)〜図8(C)を用いて説明する。
102 下地膜
103 光吸収層
104 有機材料層
105 光
107 有機材料層
107a 有機材料層
107b 有機材料層
108 反射層
111 基板
121 電極
125 絶縁物
122 電極
Claims (6)
- 第1の面に複数の凹部を有する第1の基板上に、光吸収層、第1の有機物層を形成し、
前記第1の基板の第1の面に、第2の基板を対向させ、
前記第1の面と反対側の第2の面から、光を照射し、
前記光を照射することにより、前記第1の基板上の第1の有機物層を飛ばして、前記第2の基板上に第2の有機物層を成膜することを特徴とする成膜方法。 - 請求項1において、
前記第1の面に複数の凹部を有する第1の基板は、凹シリンドリカルアレイ面を持つ透光性基板であることを特徴とする成膜方法。 - 請求項1または請求項2において、
前記有機物層は、発光層、正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、電子注入層のいずれか1つ、あるいは2つ以上であることを特徴とする成膜方法。 - 第1の面に複数の凹部を有する第1の基板上に、光吸収層、第1の有機物層を形成し、
第2の基板の第1の面に、陽極または陰極の一方である第1の電極及び絶縁物を形成し、
前記第1の基板の第1の面に、前記第2の基板の第1の面を対向させ、
前記第1の面と反対側の第2の面から、光を照射し、
前記光を照射することにより、前記第1の基板上の第1の有機物層を飛ばして、前記第1の電極及び絶縁物上に、第2の有機物層を成膜し、
前記第2の有機物層上に、陽極または陰極の他方である第2の電極を形成することを特徴とする発光装置の作製方法。 - 請求項4において、
前記第1の面に複数の凹部を有する第1の基板は、凹シリンドリカルアレイ面を持つ透光性基板であることを特徴とする発光装置の作製方法。 - 請求項4または請求項5において、
前記有機物層は、発光層を含むことを特徴とする発光装置の作製方法。
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