JP2010264405A - Degassing device - Google Patents

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vacuum chamber
connection port
deaeration
joining piece
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JP2009118967A
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Hajime Otani
肇 大谷
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Nitto Denko Corp
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Nitto Denko Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To surely fix a degassing element to a vacuum chamber. <P>SOLUTION: The degassing device 100 is provided with the vacuum chamber 3, the degassing element 4, a connector 9 and a locking member 14. The connector 9 includes a first part 9a engaged with a connection port 2 of the vacuum chamber 3 and a second part 9b projected from the connection port 2. The outer peripheral surface of the second part 9b has a non-circular cross-sectional profile. The degassing element 4 has a gas permeating tube 6 and a connection piece 8 covering the end part of the gas permeating tube 6. A welded part 20 is formed to be astride the connection piece 8 and the connector 9. The locking member 14 has a holding hole 18 having a shape corresponding to the second part 9b of the connector 9. The locking member 14 is fixed to the vacuum chamber 3 while inserting the second part 9b into the holding hole 18. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、脱気装置に関する。   The present invention relates to a deaeration device.

液体中の溶存ガスは、配管の腐食、圧力損失の増大、熱交換率の低下、液体の塗布ムラなどの原因になる。そのため、液体の使用方法や使用目的に応じて、液体から溶存ガスを除去する必要がある。液体から溶存ガスを除去する脱気装置として、例えば、図9に示すものが存在する。脱気装置101によれば、真空チャンバ102内に配置した脱気エレメント103に液体を流す。これにより、液体から溶存ガスを除去できる。   The dissolved gas in the liquid causes piping corrosion, an increase in pressure loss, a decrease in heat exchange rate, and uneven application of liquid. Therefore, it is necessary to remove dissolved gas from the liquid according to the usage method and purpose of the liquid. As a degassing device for removing dissolved gas from a liquid, for example, there is the one shown in FIG. According to the deaeration device 101, a liquid is caused to flow through the deaeration element 103 disposed in the vacuum chamber 102. Thereby, the dissolved gas can be removed from the liquid.

脱気エレメント103は、典型的には、気体透過性を有する多数の中空糸で作られている。脱気エレメント103の両端部には、それぞれ、接合片106が設けられている。真空チャンバ102の上蓋には、接続部材104が固定されている。フェルール107を介して、接続部材104に脱気エレメント103の接合片106が嵌められている。接合片106が接続部材104から外れないように、接続部材104、フェルール107および接合片106をナット108で一体的に締め付けている。このような構造により、接続部材104を介して、脱気エレメント103が真空チャンバ102に固定されている。   The deaeration element 103 is typically made of a number of hollow fibers that are gas permeable. Joining pieces 106 are respectively provided at both ends of the deaeration element 103. A connection member 104 is fixed to the upper lid of the vacuum chamber 102. A joining piece 106 of the deaeration element 103 is fitted to the connection member 104 via the ferrule 107. The connecting member 104, the ferrule 107, and the joining piece 106 are integrally tightened with a nut 108 so that the joining piece 106 does not come off from the connecting member 104. With such a structure, the deaeration element 103 is fixed to the vacuum chamber 102 via the connection member 104.

ナット108の締め付け力(トルク)が弱すぎると、脱気エレメント103が接続部材104から外れるおそれがある。逆に、ナット108の締め付け力が強すぎると、ナット108が破損するおそれがある。また、フェルール107およびナット108を使用したいわゆるカシメ構造で脱気エレメント103と接続部材104とが締結されているため、接合片106や接続部材104に高い寸法精度が要求される。このことは、部品コストの削減や製品歩留まりの向上の妨げとなる。   If the tightening force (torque) of the nut 108 is too weak, the deaeration element 103 may be detached from the connection member 104. Conversely, if the tightening force of the nut 108 is too strong, the nut 108 may be damaged. Further, since the deaeration element 103 and the connection member 104 are fastened in a so-called caulking structure using the ferrule 107 and the nut 108, high dimensional accuracy is required for the joining piece 106 and the connection member 104. This hinders reduction of component costs and improvement of product yield.

一方、特許文献2には、熱融着性を有する樹脂粉末を用いて接続部材と接合片とを接合するとともに、接続部材を真空チャンバに熱溶着して、脱気エレメントを真空チャンバに固定する技術が記載されている。この技術によると、カシメ構造を採用せずに、脱気エレメント、接続部材および真空チャンバを相互に固定できる。各部品に要求される精度も、カシメ構造で要求されるほど高くはない。   On the other hand, in Patent Document 2, a connecting member and a joining piece are joined using resin powder having heat-fusibility, and the connecting member is thermally welded to a vacuum chamber to fix the deaeration element to the vacuum chamber. The technology is described. According to this technique, the deaeration element, the connection member, and the vacuum chamber can be fixed to each other without adopting a caulking structure. The accuracy required for each part is not as high as required for the caulking structure.

特許第3585077号公報Japanese Patent No. 3585077 特開2007−319854号公報JP 2007-319854 A

ただし、特許文献2に記載された脱気装置の接続構造には、更なる改良の余地がある。本発明は、脱気エレメントを真空チャンバに確実に固定することを目的とする。   However, the connection structure of the deaeration device described in Patent Document 2 has room for further improvement. An object of the present invention is to securely fix a deaeration element to a vacuum chamber.

すなわち、本発明は、
接続口を有する真空チャンバと、
前記接続口に嵌め込まれた第1部分と、前記真空チャンバの外側で前記接続口から突出している第2部分とを含み、前記第2部分の外周面が非円形の断面プロファイルを有している、前記接続口に取り付けられた筒状のコネクタと、
気体透過性チューブと、前記気体透過性チューブの端部を被覆しているとともに前記コネクタを介して前記真空チャンバに固定された接合片とを有し、前記真空チャンバ内に配置された脱気エレメントと、
前記接合片と前記コネクタとに跨る形で形成された溶着部と、
前記非円形の断面プロファイルに対応した形状の保持孔を有し、前記接続口に対する前記第1部分の姿勢の変化を阻止するように前記保持孔に前記第2部分を差し込んだ状態で前記真空チャンバに固定された緩み止め部材と、
を備えた、脱気装置を提供する。
That is, the present invention
A vacuum chamber having a connection port;
A first portion fitted in the connection port; and a second portion protruding from the connection port outside the vacuum chamber, wherein the outer peripheral surface of the second portion has a non-circular cross-sectional profile. A cylindrical connector attached to the connection port;
A deaeration element disposed in the vacuum chamber, having a gas permeable tube and a joining piece that covers an end of the gas permeable tube and is fixed to the vacuum chamber via the connector When,
A welded portion formed in a manner straddling the joining piece and the connector;
The vacuum chamber has a holding hole having a shape corresponding to the non-circular cross-sectional profile, and the second part is inserted into the holding hole so as to prevent a change in posture of the first part with respect to the connection port. A locking member fixed to
A deaeration device is provided.

上記本発明によれば、脱気エレメントの接合片を保持しているコネクタが、真空チャンバの接続口に嵌め込まれている。脱気エレメントの接合片は、コネクタに溶着されている。コネクタは、真空チャンバの接続口に嵌め込まれた第1部分と、接続口から突出している第2部分とを含む。第2部分の外周面は、非円形の断面プロファイルを有している。コネクタが真空チャンバから外れないように、真空チャンバの外側に緩み止め部材が設けられている。この緩み止め部材は、非円形の断面プロファイルに対応した形状の保持孔を有している。保持孔にコネクタの第2部分を差し込んだ状態で、緩み止め部材が真空チャンバに固定されている。これにより、接続口に対する第1部分の姿勢の変化を阻止する、つまり、コネクタが接続口から外れるのを防止する。このような構造によれば、カシメ構造を用いることなく、脱気エレメントを真空チャンバに確実に固定できる。   According to the present invention, the connector holding the joining piece of the deaeration element is fitted into the connection port of the vacuum chamber. The joining piece of the deaeration element is welded to the connector. The connector includes a first part fitted in the connection port of the vacuum chamber and a second part protruding from the connection port. The outer peripheral surface of the second portion has a non-circular cross-sectional profile. A locking member is provided outside the vacuum chamber so that the connector does not come off the vacuum chamber. The locking member has a holding hole having a shape corresponding to a non-circular cross-sectional profile. With the second part of the connector inserted into the holding hole, the locking member is fixed to the vacuum chamber. Thereby, the change of the attitude | position of the 1st part with respect to a connection port is blocked, ie, it prevents that a connector remove | deviates from a connection port. According to such a structure, the deaeration element can be reliably fixed to the vacuum chamber without using a caulking structure.

本発明の一実施形態にかかる脱気装置の縦断面図The longitudinal cross-sectional view of the deaeration apparatus concerning one Embodiment of this invention 真空チャンバの上蓋の平面図Top view of the vacuum chamber top lid 上蓋の縦断面図Longitudinal section of the upper lid 上蓋の側面図Side view of upper lid 第1コネクタの側面図Side view of the first connector 第1コネクタの横断面図Cross section of the first connector 緩み止め部材の平面図Top view of the locking member 緩み止め部材の縦断面図Longitudinal sectional view of the locking member 脱気エレメントの接合片の斜視図Perspective view of the deaeration element joint piece 溶着部の概略拡大図Schematic enlarged view of weld 第2コネクタの側面図Side view of the second connector 溶着方法を示す工程図Process diagram showing welding method 従来の脱気装置の縦断面図Longitudinal section of a conventional deaerator

以下、添付の図面を参照しつつ本発明の一実施形態を説明する。   Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

図1に示すように、本実施形態の脱気装置100は、真空チャンバ3、脱気エレメント4、第1コネクタ9、第2コネクタ12および緩み止め部材14を備えている。脱気エレメント4の端部が第1コネクタ9に溶着されており、第1コネクタ9を介して、脱気エレメント4が真空チャンバ3に固定されている。真空チャンバ3に対する第1コネクタ9の取り付け状態を維持するために、緩み止め部材14が設けられている。真空ポンプ等の減圧装置で真空チャンバ3内を排気しながら脱気エレメント4に液体を流す。これにより、液体から溶存ガスを除去できる。   As shown in FIG. 1, the deaeration device 100 of this embodiment includes a vacuum chamber 3, a deaeration element 4, a first connector 9, a second connector 12, and a locking member 14. An end of the deaeration element 4 is welded to the first connector 9, and the deaeration element 4 is fixed to the vacuum chamber 3 via the first connector 9. In order to maintain the attachment state of the first connector 9 to the vacuum chamber 3, a locking member 14 is provided. A liquid is allowed to flow through the deaeration element 4 while evacuating the vacuum chamber 3 with a decompression device such as a vacuum pump. Thereby, the dissolved gas can be removed from the liquid.

真空チャンバ3は、円筒状の本体3a、下蓋3bおよび上蓋3cで構成されている。真空チャンバ3内の気密を保持しうるように、下蓋3bおよび上蓋3cによって、本体3aの両端の開口部が閉じられている。図2Aおよび2Bに示すように、上蓋3cには、当該上蓋3cを厚み方向に貫通している接続口2が2箇所に設けられている。一方の接続口2が脱気すべき液体の流入口であり、他方の接続口2が脱気された液体の流出口である。これらの接続口2には、それぞれ、真空チャンバ3の内部側から脱気エレメント4の一端と他端とが接続されている。   The vacuum chamber 3 includes a cylindrical main body 3a, a lower lid 3b, and an upper lid 3c. The openings at both ends of the main body 3a are closed by the lower lid 3b and the upper lid 3c so that the airtightness in the vacuum chamber 3 can be maintained. As shown in FIGS. 2A and 2B, the upper lid 3c is provided with two connection ports 2 penetrating the upper lid 3c in the thickness direction. One connection port 2 is an inlet for liquid to be degassed, and the other connection port 2 is an outlet for liquid that has been degassed. One end and the other end of the deaeration element 4 are connected to these connection ports 2 from the inside of the vacuum chamber 3, respectively.

上蓋3cには、さらに、吸引口5、凹部11およびねじ孔16が設けられている。吸引口5には、真空引きのための減圧装置が接続される。凹部11は、緩み止め部材14を収容するための部分であり、2つの接続口2のそれぞれに対応して設けられている。ねじ孔16は、緩み止め部材14を上蓋3cにねじ止めするのに使用される。図2Cに示すように、上蓋3cの外周面には、おねじ17(テーパーねじ)が形成されている。真空チャンバ3内の気密が保持されるように、本体3aに上蓋3cが螺合している。この構造は、下蓋3bに関しても同様である。なお、蓋3bおよび3cを本体3aに固定するための構造に限定はなく、例えば蓋3bおよび3cが本体3aに溶着されていてもよい。   The upper lid 3c is further provided with a suction port 5, a recess 11 and a screw hole 16. The suction port 5 is connected to a decompression device for evacuation. The recess 11 is a part for accommodating the locking member 14 and is provided corresponding to each of the two connection ports 2. The screw hole 16 is used to screw the locking member 14 to the upper lid 3c. As shown in FIG. 2C, a male screw 17 (taper screw) is formed on the outer peripheral surface of the upper lid 3c. An upper lid 3c is screwed to the main body 3a so that the airtightness in the vacuum chamber 3 is maintained. This structure is the same for the lower lid 3b. The structure for fixing the lids 3b and 3c to the main body 3a is not limited. For example, the lids 3b and 3c may be welded to the main body 3a.

真空チャンバ3の材料として、樹脂、好適にはフッ素樹脂やポリオレフィンなどの熱可塑性樹脂を使用できる。真空チャンバ3の一部または全部が他の材料、例えば金属やガラスでできていてもよい。好適な金属としては、ステンレスが挙げられる。   As a material of the vacuum chamber 3, a resin, preferably a thermoplastic resin such as a fluororesin or a polyolefin can be used. Part or all of the vacuum chamber 3 may be made of other materials, such as metal or glass. Suitable metals include stainless steel.

図1および5に示すように、脱気エレメント4は、チューブ束10および接合片8を有する。チューブ束10は、複数の気体透過性チューブ6で構成されている。接合片8は、チューブ束10の端部を被覆している。チューブ束10における気体透過性チューブ6の本数は、通常、数本〜数百本程度の範囲である。液体は、各気体透過性チューブ6の中を流れる。図1では、脱気エレメント4がU字の形状を有しているが、脱気エレメント4が他の形状を有していてもよい。例えば、脱気エレメント4がコイル状に巻かれていてもよい。   As shown in FIGS. 1 and 5, the deaeration element 4 has a tube bundle 10 and a joining piece 8. The tube bundle 10 is composed of a plurality of gas permeable tubes 6. The joining piece 8 covers the end of the tube bundle 10. The number of gas permeable tubes 6 in the tube bundle 10 is usually in the range of several to several hundreds. The liquid flows through each gas permeable tube 6. In FIG. 1, the deaeration element 4 has a U-shape, but the deaeration element 4 may have another shape. For example, the deaeration element 4 may be wound in a coil shape.

気体透過性チューブ6には、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体(PFA)、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体(ETFE)、ポリクロロトリフルオロエチレンなどのフッ素樹脂でできたチューブや、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィンでできたチューブを使用できる。典型的には、気体透過性チューブ6として、樹脂多孔質膜でできた中空糸が用いられる。気体透過性チューブ6は、通常、数十μm〜数mmの範囲の内径を有する。なお、脱気エレメント4は、少なくとも1本の気体透過性チューブ6を備えていればよい。   The gas permeable tube 6 includes polytetrafluoroethylene (PTFE), tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer (PFA), ethylene-tetrafluoroethylene copolymer (ETFE), polychlorotrifluoroethylene, and the like. A tube made of fluororesin or a tube made of polyolefin such as polyethylene or polypropylene can be used. Typically, as the gas permeable tube 6, a hollow fiber made of a resin porous membrane is used. The gas permeable tube 6 usually has an inner diameter in the range of several tens of μm to several mm. The deaeration element 4 only needs to include at least one gas permeable tube 6.

複数の気体透過性チューブ6は、公知の方法に従って束ねることができる。例えば、熱融着性を有する熱可塑性樹脂を用いて、気体透過性チューブ6の端部を互いに結着すれば、チューブ束10を形成できる。熱融着性を有する熱可塑性樹脂として、PFA、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体(FEP)、ETFEなどのフッ素樹脂を使用できる。   The plurality of gas permeable tubes 6 can be bundled according to a known method. For example, the tube bundle 10 can be formed if the ends of the gas permeable tubes 6 are bound to each other using a thermoplastic resin having heat-fusibility. As the thermoplastic resin having heat-fusibility, fluororesins such as PFA, tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer (FEP), ETFE and the like can be used.

接合片8は、チューブ束10の端部を被覆する役割と、脱気エレメント4を第1コネクタ9に固定する役割とを担う。本実施形態では、接合片8として、円筒の形状を有する部材が使用されている。接合片8の材料として、熱可塑性樹脂を好適に使用できる。熱可塑性樹脂としては、PTFE、PFA、ETFE、ポリクロロトリフルオロエチレン(PCTFE)などのフッ素樹脂が挙げられる。熱収縮性を有するためにチューブ束10の被覆が容易であり、かつ、チューブ束10を確実に保持できることから、PFAが推奨される。   The joining piece 8 plays a role of covering the end of the tube bundle 10 and a role of fixing the deaeration element 4 to the first connector 9. In the present embodiment, a member having a cylindrical shape is used as the joining piece 8. As the material of the joining piece 8, a thermoplastic resin can be suitably used. Examples of the thermoplastic resin include fluororesins such as PTFE, PFA, ETFE, and polychlorotrifluoroethylene (PCTFE). PFA is recommended because it is easy to cover the tube bundle 10 due to its heat shrinkability and can hold the tube bundle 10 reliably.

図1に示すように、第1コネクタ9は、円筒状の内周面を有する部材である。脱気エレメント4の接合片8は、第1コネクタ9に差し込まれ、第1コネクタ9によって保持されている。第1コネクタ9には、真空チャンバ3の内部側から接合片8が差し込まれている。接合片8は、熱溶着により第1コネクタ9に固定されている。接合片8が差し込まれた状態を維持しながら、第1コネクタ9は接続口2に取り付けられている。つまり、第1コネクタ9を介して、脱気エレメント4が真空チャンバ3に固定されている。このような構造によれば、カシメ構造やO−リングを使用せずに、脱気エレメント4を真空チャンバ3に確実に固定できる。なお、カシメ構造やO−リングが必須でないだけで、これらが設けられていてもよい。   As shown in FIG. 1, the first connector 9 is a member having a cylindrical inner peripheral surface. The joining piece 8 of the deaeration element 4 is inserted into the first connector 9 and is held by the first connector 9. A joining piece 8 is inserted into the first connector 9 from the inside of the vacuum chamber 3. The joining piece 8 is fixed to the first connector 9 by heat welding. The first connector 9 is attached to the connection port 2 while maintaining the state where the joining piece 8 is inserted. That is, the deaeration element 4 is fixed to the vacuum chamber 3 via the first connector 9. According to such a structure, the deaeration element 4 can be reliably fixed to the vacuum chamber 3 without using a caulking structure or an O-ring. The caulking structure and the O-ring are not essential and may be provided.

具体的に、第1コネクタ9は、第1部分9aおよび第2部分9bを含む。第1部分9aは接続口2に嵌め込まれた部分であり、第2部分9bは真空チャンバ3の外側で接続口2から突出している部分である。詳細には、第2部分9bは、緩み止め部材14を突き抜けて、緩み止め部材14よりも上に突出している。図3Aに示すように、第1部分9aの外周面にはおねじが形成されている。このおねじに対応するめねじが上蓋3cの接続口2の内周面13(図2B参照)に形成されている。つまり、第1コネクタ9が接続口2に螺合されており、これにより、第1コネクタ9が上蓋3cに固定されている。   Specifically, the first connector 9 includes a first portion 9a and a second portion 9b. The first portion 9 a is a portion fitted into the connection port 2, and the second portion 9 b is a portion protruding from the connection port 2 outside the vacuum chamber 3. Specifically, the second portion 9 b penetrates the locking member 14 and protrudes above the locking member 14. As shown to FIG. 3A, the external thread is formed in the outer peripheral surface of the 1st part 9a. A female screw corresponding to the male screw is formed on the inner peripheral surface 13 (see FIG. 2B) of the connection port 2 of the upper lid 3c. That is, the first connector 9 is screwed into the connection port 2, whereby the first connector 9 is fixed to the upper lid 3 c.

本実施形態において、第1部分9aの外周面に形成されたおねじ、および、上蓋3cの接続口2の内周面13に形成されためねじは、それぞれ、テーパーねじである。第1コネクタ9の第1部分9aと接続口2との間に、フッ素樹脂製のシールテープが介在していてもよい。テーパーねじとシールテープとを組み合わせて使用すれば、より確実に空気漏れを防げる。また、テーパーねじはストレートねじよりも緩み易いので、緩み止め部材14を設ける意義が増す。   In the present embodiment, the male screw formed on the outer peripheral surface of the first portion 9a and the screw formed on the inner peripheral surface 13 of the connection port 2 of the upper lid 3c are each a tapered screw. A fluororesin seal tape may be interposed between the first portion 9 a of the first connector 9 and the connection port 2. If a taper screw and seal tape are used in combination, air leakage can be prevented more reliably. Further, since the taper screw is easier to loosen than the straight screw, the significance of providing the locking member 14 increases.

他方、図3Bに示すように、第2部分9bの外周面は、非円形の断面プロファイルを有する。第2部分9bがこのような形状を有している場合、緩み止め部材14の保持孔18に第2部分9bを嵌め込むだけで、第1コネクタ9の回転を阻止できる。つまり、第1コネクタ9が回転して第1部分9aが緩むのを防止できる。   On the other hand, as shown in FIG. 3B, the outer peripheral surface of the second portion 9b has a non-circular cross-sectional profile. When the second portion 9b has such a shape, the first connector 9 can be prevented from rotating only by fitting the second portion 9b into the holding hole 18 of the locking member 14. That is, it can prevent that the 1st connector 9 rotates and the 1st part 9a loosens.

第1コネクタ9の回転を阻止できる限りにおいて、第2部分9bの外周面の形状は特に限定されない。具体的には、「非円形」として、多角形、楕円形、互いに異なる曲率半径を有する複数の曲線の組み合わせによる形状、および、直線と曲線の組み合わせによる形状からなる群より選ばれる1つの形状を採用しうる。本実施形態では、第2部分9bの外周面が、小判形の断面プロファイルを有している。小判形は、直線と曲線の組み合わせによる形状の一例であり、円筒状の部材の一部を切削して簡単に形成できる利点がある。   As long as the rotation of the first connector 9 can be prevented, the shape of the outer peripheral surface of the second portion 9b is not particularly limited. Specifically, as “non-circular”, one shape selected from the group consisting of a polygon, an ellipse, a combination of a plurality of curves having different curvature radii, and a combination of a straight line and a curve is used. Can be adopted. In the present embodiment, the outer peripheral surface of the second portion 9b has an oval cross-sectional profile. The oval shape is an example of a shape formed by a combination of a straight line and a curved line, and has an advantage that it can be easily formed by cutting a part of a cylindrical member.

図4Aおよび4Bに示すように、緩み止め部材14は、円板状の部材で構成されている。緩み止め部材14には、第1コネクタ9の第2部分9bにおける非円形の断面プロファイルに対応した形状の保持孔18が形成されている。保持孔18の大きさは、第1コネクタ9の第2部分9bを差し込めるように、第2部分9bよりも僅かに大きく調整されている。図1に示すように、接続口2に対する第1部分9aの姿勢の変化を阻止するように保持孔18に第2部分9bを差し込んだ状態で、緩み止め部材14が真空チャンバ3に固定されている。ねじ7で緩み止め部材14を上蓋3cに固定できるように、緩み止め部材14にもねじ孔19が形成されている。ねじ7に代えて、ボルト、キーなどの他の止め具も使用できる。また、緩み止め部材14が上蓋3cに溶着されていてもよい。   As shown in FIGS. 4A and 4B, the locking member 14 is a disc-shaped member. The locking member 14 is formed with a holding hole 18 having a shape corresponding to a non-circular cross-sectional profile in the second portion 9 b of the first connector 9. The size of the holding hole 18 is adjusted to be slightly larger than that of the second portion 9b so that the second portion 9b of the first connector 9 can be inserted. As shown in FIG. 1, the locking member 14 is fixed to the vacuum chamber 3 with the second portion 9 b inserted into the holding hole 18 so as to prevent a change in the posture of the first portion 9 a with respect to the connection port 2. Yes. A screw hole 19 is also formed in the locking member 14 so that the locking member 14 can be fixed to the upper lid 3c with the screw 7. Instead of the screws 7, other stoppers such as bolts and keys can be used. Further, the locking member 14 may be welded to the upper lid 3c.

図1に示すように、第2コネクタ12は、径大部12aと径小部12bとを含む。径大部12aは、第1コネクタ9に接合された部分である。径小部12bは、脱気するべき液体を脱気エレメント4に供給するための管、または、脱気された液体を脱気エレメント4から回収するための管を接続するための部分である。径大部12aは、第1コネクタ9の端面に熱溶着されている。詳細には、第2コネクタ12は、第1コネクタ9の第2部分9bに突き合わせ溶着されている。このようにすれば、カシメ構造やO−リングを使用せずに、第2コネクタ12を第1コネクタ9に容易に接合できる。なお、第2コネクタ12を省略して、上述の管を第1コネクタ9に直接接続することも可能である。   As shown in FIG. 1, the second connector 12 includes a large-diameter portion 12a and a small-diameter portion 12b. The large diameter portion 12 a is a portion joined to the first connector 9. The small diameter portion 12 b is a portion for connecting a tube for supplying the liquid to be deaerated to the deaeration element 4 or a tube for recovering the degassed liquid from the deaeration element 4. The large diameter portion 12 a is thermally welded to the end face of the first connector 9. Specifically, the second connector 12 is butt welded to the second portion 9 b of the first connector 9. In this way, the second connector 12 can be easily joined to the first connector 9 without using a caulking structure or an O-ring. It is also possible to omit the second connector 12 and connect the above-mentioned tube directly to the first connector 9.

本実施形態では、脱気エレメント4が第1コネクタ9に熱溶着されるとともに、第2コネクタ12も第1コネクタ9に熱溶着されている。詳細には、図6に示すように、脱気エレメント4は、第2部分9bの端面と接合片8の端面とが面一となる位置まで、第1コネクタ9に差し込まれている。そして、第1コネクタ9の径方向に関して、脱気エレメント4の接合片8と第1コネクタ9の第2部分9bとに跨る形で、溶着部20が形成されている。さらに、溶着部20は、第1コネクタ9の軸方向(長手方向)に関して、第1コネクタ9と第2コネクタ12との間にも跨っている。つまり、溶着部20が、第2部分9bの端面、接合片8の端面および第2コネクタ12の端面に跨っている。このようにすれば、脱気エレメント4、第1コネクタ9および第2コネクタ12を互いに強固に接合できる。   In the present embodiment, the deaeration element 4 is thermally welded to the first connector 9, and the second connector 12 is also thermally welded to the first connector 9. Specifically, as shown in FIG. 6, the deaeration element 4 is inserted into the first connector 9 until the end surface of the second portion 9 b and the end surface of the joining piece 8 are flush with each other. And the welding part 20 is formed in the form straddling the joining piece 8 of the deaeration element 4 and the 2nd part 9b of the 1st connector 9 regarding the radial direction of the 1st connector 9. As shown in FIG. Further, the welded portion 20 extends between the first connector 9 and the second connector 12 in the axial direction (longitudinal direction) of the first connector 9. That is, the welded portion 20 straddles the end surface of the second portion 9 b, the end surface of the joining piece 8, and the end surface of the second connector 12. If it does in this way, deaeration element 4, the 1st connector 9, and the 2nd connector 12 can be joined firmly mutually.

本実施形態において、第1コネクタ9および第2コネクタ12は、それぞれ、樹脂(詳細には熱可塑性樹脂)でできている。溶着部20を形成できる限り、第1コネクタ9および第2コネクタ12に樹脂以外の材料が含まれていてもよい。第1コネクタ9および第2コネクタ12を構成する樹脂の種類は特に限定されず、接合片8の樹脂として先に列挙したものの中から選んで使用できる。例えば、第1コネクタ9および第2コネクタ12の材料として、フッ素樹脂を好適に使用できる。   In the present embodiment, each of the first connector 9 and the second connector 12 is made of a resin (specifically, a thermoplastic resin). As long as the weld 20 can be formed, the first connector 9 and the second connector 12 may contain materials other than resin. The type of resin constituting the first connector 9 and the second connector 12 is not particularly limited, and can be selected from those listed above as the resin of the joining piece 8. For example, as a material for the first connector 9 and the second connector 12, a fluororesin can be suitably used.

すなわち、第1コネクタ9を構成する樹脂、第2コネクタ12を構成する樹脂、および、接合片8を構成する樹脂からなる群より選ばれる少なくとも1つとして、フッ素樹脂を好適に使用できる。これらの樹脂は、互いに異なっていても構わないが、同一の樹脂(例えばPFA)を使用することにより、熱溶着による強固な接合が可能となる。   That is, a fluororesin can be suitably used as at least one selected from the group consisting of a resin that constitutes the first connector 9, a resin that constitutes the second connector 12, and a resin that constitutes the joining piece 8. These resins may be different from each other, but by using the same resin (for example, PFA), strong bonding by heat welding becomes possible.

本実施形態では、第1コネクタ9の内径および外径は、それぞれ、第2コネクタ12の径大部12bの内径および外径に等しい。このようにすれば、精度の高い突き合わせ溶着が可能となる。ただし、これらが互いに相違していてもよい。例えば、第2コネクタ12の径大部12bの内径を第1コネクタ9の内径よりも大きくしうる。   In the present embodiment, the inner diameter and the outer diameter of the first connector 9 are equal to the inner diameter and the outer diameter of the large-diameter portion 12b of the second connector 12, respectively. In this way, butt welding with high accuracy becomes possible. However, these may be different from each other. For example, the inner diameter of the large-diameter portion 12 b of the second connector 12 can be made larger than the inner diameter of the first connector 9.

なお、図7に示すように、溶着前の第2コネクタ12の端面に凸部12cを設けておくと、第2コネクタ12を第1コネクタ9に突き合わせ溶着しやすくなる。さらに、凸部12cを設けておくと、図6に示すように、その凸部12cが溶融および固化することに基づき、厚肉の溶着部20(いわゆる肉盛溶着部)を形成できるので、接合強度が向上する。   In addition, as shown in FIG. 7, if the convex part 12c is provided in the end surface of the 2nd connector 12 before welding, it will become easy to abut the 2nd connector 12 to the 1st connector 9, and to weld. Further, if the convex portion 12c is provided, a thick welded portion 20 (so-called build-up welded portion) can be formed based on the fact that the convex portion 12c is melted and solidified as shown in FIG. Strength is improved.

以下、実施例により本発明をより具体的に説明する。本発明は、以下に示す実施例に限定されない。   Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. The present invention is not limited to the examples shown below.

まず、気体透過性チューブ6として、内径0.95mm、厚み0.11mm、長さ300mmのPTFEチューブを4本準備した。4本のPETFチューブの両端部の外周面にPFA粉末を塗布した後、両端部を金型で挟んで370℃で5分間加熱および加圧した。これにより、4本のPTFEチューブを相互に接着してチューブ束10を得た。次に、接合片8として、熱収縮性を有する円筒形のPFAパイプ(外径6mm)を準備した。PFAパイプの内周面にPFA粉末を塗布した後、このPFAパイプをチューブ束10の端部に取り付けた。チューブ束10の端部およびPFAパイプを加熱して、チューブ束10にPFAパイプを一体化させた。このようにして、外径6mm、有効長さ200mmの脱気エレメント4を得た。   First, as the gas permeable tube 6, four PTFE tubes having an inner diameter of 0.95 mm, a thickness of 0.11 mm, and a length of 300 mm were prepared. After applying PFA powder to the outer peripheral surfaces of both ends of the four PETF tubes, both ends were sandwiched between molds and heated and pressurized at 370 ° C. for 5 minutes. As a result, four PTFE tubes were bonded to each other to obtain a tube bundle 10. Next, a cylindrical PFA pipe (outer diameter 6 mm) having heat shrinkability was prepared as the joining piece 8. After applying PFA powder to the inner peripheral surface of the PFA pipe, the PFA pipe was attached to the end of the tube bundle 10. The end of the tube bundle 10 and the PFA pipe were heated to integrate the PFA pipe with the tube bundle 10. Thus, the deaeration element 4 having an outer diameter of 6 mm and an effective length of 200 mm was obtained.

図3Aおよび3Bを参照して説明した第1コネクタ9(内径6mm)を作製した。第1コネクタ9の材料には、PFAを用いた。第1部分9aの外周面には、PT1/8のテーパーおねじを形成した。外周面の断面プロファイルが小判形になるように、第2部分9bを形成した。   The first connector 9 (inner diameter 6 mm) described with reference to FIGS. 3A and 3B was produced. PFA was used as the material for the first connector 9. A PT1 / 8 taper male screw was formed on the outer peripheral surface of the first portion 9a. The second portion 9b was formed so that the cross-sectional profile of the outer peripheral surface was oval.

内径52mm、長さ130mmのポリプロピレン製の円筒パイプを本体3aとして準備した。本体3aの開口部の近傍の内周面に、テーパー角度60°、ピッチ2.0mmのテーパーめねじを形成した。次に、ポリプロピレン製の板を押出成形および切削加工し、下蓋3bおよび上蓋3cを作製した。各蓋の外周面には、本体3aと同じテーパー角度およびねじピッチを有するテーパーおねじを形成した。上蓋3cには、図2Aおよび2Bを参照して説明したように、接続口2、吸引口5、凹部11およびねじ孔16を設けた。接続口2の内周面には、Rc1/8のテーパーめねじを形成した。吸引口5の内周面にも、Rc1/8のテーパーめねじを形成した。   A polypropylene cylindrical pipe having an inner diameter of 52 mm and a length of 130 mm was prepared as the main body 3a. Tapered female screws having a taper angle of 60 ° and a pitch of 2.0 mm were formed on the inner peripheral surface in the vicinity of the opening of the main body 3a. Next, a polypropylene plate was extruded and cut to produce a lower lid 3b and an upper lid 3c. A tapered male screw having the same taper angle and screw pitch as the main body 3a was formed on the outer peripheral surface of each lid. As described with reference to FIGS. 2A and 2B, the upper lid 3 c is provided with the connection port 2, the suction port 5, the recess 11, and the screw hole 16. An Rc1 / 8 taper female thread was formed on the inner peripheral surface of the connection port 2. An Rc1 / 8 taper female thread was also formed on the inner peripheral surface of the suction port 5.

図7を参照して説明した第2コネクタ12を作製した。第2コネクタ12の材料には、PFAを使用した。径大部12aの内径を6mmに設定した。   The 2nd connector 12 demonstrated with reference to FIG. 7 was produced. PFA was used as the material for the second connector 12. The inner diameter of the large diameter portion 12a was set to 6 mm.

ポリプロピレン製の板を用いて、切削加工により、図4Aおよび4Bを参照して説明した緩み止め部材14(固定板)を作製した。   Using a polypropylene plate, the locking member 14 (fixed plate) described with reference to FIGS. 4A and 4B was produced by cutting.

第1コネクタ9にシールテープ(日東電工社製No.95)を巻き付けて上蓋3cに螺合させた。真空チャンバの内部側から脱気エレメント4の接合片8を第1コネクタ9に差し込んだ後、上蓋3cおよび下蓋3bを本体3aに組み付けた。接合片8の端面と第1コネクタ9の端面とを面一とした。次に、第1コネクタ9が緩まないように、緩み止め部材14を上蓋3cに嵌め込み、ステンレス製のねじ7で固定した。   A seal tape (No. 95 manufactured by Nitto Denko Corporation) was wound around the first connector 9 and screwed into the upper lid 3c. After the joining piece 8 of the deaeration element 4 was inserted into the first connector 9 from the inside of the vacuum chamber, the upper lid 3c and the lower lid 3b were assembled to the main body 3a. The end face of the joining piece 8 and the end face of the first connector 9 were flush with each other. Next, the locking member 14 was fitted into the upper lid 3c so that the first connector 9 was not loosened, and was fixed with a stainless steel screw 7.

次に、図8に示すように、板状の遠赤外線ヒータ24を介して、第1コネクタ9と第2コネクタ12とを向かい合わせに配置した。ヒータ24に通電して、第1コネクタ9、接合片8および第2コネクタ12の各端面を2分間かけて溶融させた。なお、通電時には、真空チャンバ3および緩み止め部材14を断熱材22で被覆した。その後、ヒータ24を外して、第1コネクタ9に第2コネクタ12を突き当てた。室温で2分間徐冷し、第1コネクタ9、脱気エレメント4の接合片8および第2コネクタ12を相互に接合した。このようにして、図1に示す構造の脱気装置100を製造した。   Next, as shown in FIG. 8, the first connector 9 and the second connector 12 are disposed to face each other via a plate-like far infrared heater 24. The heater 24 was energized to melt the end faces of the first connector 9, the joining piece 8, and the second connector 12 over 2 minutes. During energization, the vacuum chamber 3 and the locking member 14 were covered with the heat insulating material 22. Thereafter, the heater 24 was removed, and the second connector 12 was abutted against the first connector 9. The first connector 9, the joining piece 8 of the deaeration element 4, and the second connector 12 were joined to each other by slow cooling at room temperature for 2 minutes. In this way, the deaerator 100 having the structure shown in FIG. 1 was manufactured.

製造した脱気装置100を用いて脱気実験を行った。まず、脱気装置100の真空チャンバ3内を真空ポンプにより4kPaの圧力まで排気した。この圧力を維持しつつ、第2コネクタ12を通じて脱気エレメント4に水圧0.3MPaで水を10秒間供給した後に、水の供給を60秒間停止するサイクルを10万回繰り返した。10万回のサイクルの後、真空ポンプを停止し、真空チャンバ3の内部の真空度の変化を調べた。真空ポンプの停止後も真空チャンバ3内の真空度は殆ど変化せず、第1コネクタ9と真空チャンバ3との接合状態は良好であった。さらに、真空チャンバ3を開いて水漏れの有無を調べた。その結果、真空チャンバ3内に水は漏れていなかった。   A degassing experiment was performed using the manufactured degassing apparatus 100. First, the inside of the vacuum chamber 3 of the deaerator 100 was evacuated to a pressure of 4 kPa by a vacuum pump. While maintaining this pressure, a cycle of stopping water supply for 60 seconds after supplying water to the deaeration element 4 through the second connector 12 at a water pressure of 0.3 MPa for 10 seconds was repeated 100,000 times. After 100,000 cycles, the vacuum pump was stopped and the change in the degree of vacuum inside the vacuum chamber 3 was examined. Even after the vacuum pump was stopped, the degree of vacuum in the vacuum chamber 3 hardly changed, and the bonding state between the first connector 9 and the vacuum chamber 3 was good. Further, the vacuum chamber 3 was opened to check for water leakage. As a result, water did not leak into the vacuum chamber 3.

2 接続口
3 真空チャンバ
3c 上蓋
4 脱気エレメント
6 気体透過性チューブ
7 ねじ
8 接合片
9 第1コネクタ
9a 第1部分
9b 第2部分
10 チューブ束
12 第2コネクタ
14 緩み止め部材
18 保持孔
20 溶着部
100 脱気装置
2 Connection port 3 Vacuum chamber 3c Upper cover 4 Deaeration element 6 Gas permeable tube 7 Screw 8 Joint piece 9 First connector 9a First part 9b Second part 10 Tube bundle 12 Second connector 14 Loosening prevention member 18 Holding hole 20 Welding Part 100 deaerator

Claims (9)

接続口を有する真空チャンバと、
前記接続口に嵌め込まれた第1部分と、前記真空チャンバの外側で前記接続口から突出している第2部分とを含み、前記第2部分の外周面が非円形の断面プロファイルを有している、前記接続口に取り付けられた筒状のコネクタと、
気体透過性チューブと、前記気体透過性チューブの端部を被覆しているとともに前記コネクタを介して前記真空チャンバに固定された接合片とを有し、前記真空チャンバ内に配置された脱気エレメントと、
前記接合片と前記コネクタとに跨る形で形成された溶着部と、
前記非円形の断面プロファイルに対応した形状の保持孔を有し、前記接続口に対する前記第1部分の姿勢の変化を阻止するように前記保持孔に前記第2部分を差し込んだ状態で前記真空チャンバに固定された緩み止め部材と、
を備えた、脱気装置。
A vacuum chamber having a connection port;
A first portion fitted in the connection port; and a second portion protruding from the connection port outside the vacuum chamber, wherein the outer peripheral surface of the second portion has a non-circular cross-sectional profile. A cylindrical connector attached to the connection port;
A deaeration element disposed in the vacuum chamber, having a gas permeable tube and a joining piece that covers an end of the gas permeable tube and is fixed to the vacuum chamber via the connector When,
A welded portion formed in a manner straddling the joining piece and the connector;
The vacuum chamber has a holding hole having a shape corresponding to the non-circular cross-sectional profile, and the second part is inserted into the holding hole so as to prevent a change in posture of the first part with respect to the connection port. A locking member fixed to
A degassing device.
前記第1部分の外周面におねじ、前記接続口の内周面にめねじが形成されており、
前記コネクタが前記接続口に螺合されている、請求項1に記載の脱気装置。
A screw is formed on the outer peripheral surface of the first part, and a female screw is formed on the inner peripheral surface of the connection port,
The deaeration device according to claim 1, wherein the connector is screwed into the connection port.
前記おねじおよび前記めねじが、それぞれ、テーパーねじであり、
前記第1部分と前記接続口との間にフッ素樹脂製のシールテープが介在している、請求項2に記載の脱気装置。
The male screw and the female screw are each a tapered screw,
The deaeration apparatus according to claim 2, wherein a seal tape made of a fluororesin is interposed between the first part and the connection port.
前記真空チャンバが、筒状の本体と、前記本体の開口部を閉じている蓋とを含み、
前記接続口が前記蓋に設けられており、
前記緩み止め部材が円板状の部材で構成されるとともに、ボルト、ねじ等の止め具によって前記蓋に固定されている、請求項1〜3のいずれか1項に記載の脱気装置。
The vacuum chamber includes a cylindrical main body and a lid that closes an opening of the main body,
The connection port is provided in the lid;
The deaeration device according to any one of claims 1 to 3, wherein the loosening prevention member is constituted by a disk-like member and is fixed to the lid by a stopper such as a bolt or a screw.
前記コネクタの前記第2部分に突き合わせ溶着された第2コネクタをさらに備えた、請求項1〜4のいずれか1項に記載の脱気装置。   The deaeration device according to any one of claims 1 to 4, further comprising a second connector that is butt welded to the second portion of the connector. 前記第2部分の端面と前記接合片の端面とが面一であり、
前記溶着部が、前記第2部分の端面、前記接合片の端面および前記第2コネクタの端面に跨っている、請求項5に記載の脱気装置。
The end surface of the second part and the end surface of the joining piece are flush with each other,
The deaeration apparatus according to claim 5, wherein the welded portion straddles an end surface of the second portion, an end surface of the joining piece, and an end surface of the second connector.
前記非円形の断面プロファイルが、多角形、楕円形、互いに異なる曲率半径を有する複数の曲線の組み合わせによる形状、および、直線と曲線の組み合わせによる形状からなる群より選ばれる1つの形状の断面プロファイルである、請求項1〜6のいずれか1項に記載の脱気装置。   The non-circular cross-sectional profile is a cross-sectional profile of one shape selected from the group consisting of a polygon, an ellipse, a combination of a plurality of curves having different radii of curvature, and a combination of a straight line and a curve. The deaeration device according to any one of claims 1 to 6. 前記接合片および前記コネクタが、それぞれ、熱可塑性樹脂でできている、請求項1〜7のいずれか1項に記載の脱気装置。   The deaeration apparatus according to claim 1, wherein the joining piece and the connector are each made of a thermoplastic resin. 前記熱可塑性樹脂がテトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体である、請求項8に記載の脱気装置。   The deaeration apparatus according to claim 8, wherein the thermoplastic resin is a tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer.
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