JP2010251618A - Wiring board, wiring board assembly, and methods of manufacturing the wiring board and the wiring board assembly - Google Patents

Wiring board, wiring board assembly, and methods of manufacturing the wiring board and the wiring board assembly Download PDF

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JP2010251618A JP2009101383A JP2009101383A JP2010251618A JP 2010251618 A JP2010251618 A JP 2010251618A JP 2009101383 A JP2009101383 A JP 2009101383A JP 2009101383 A JP2009101383 A JP 2009101383A JP 2010251618 A JP2010251618 A JP 2010251618A
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Takashi Kasuga
隆 春日
Yoshio Oka
良雄 岡
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  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a wiring board and an assembly of the wiring board, capable of suppressing formation of gas reservoirs at the bottom of a via hole without causing any large-scale investment in facilities. <P>SOLUTION: The wiring board includes a groove 6 for allowing the via hole 4 to communicate with the outside within a range of a land 5, where the groove guides gas residing in the via hole 4 to the outside of the via hole 4 when filling a conductor. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、配線基板または配線基板接合体に係り、詳しくは形状に特徴を有するビアホールを備える配線基板または板配線基板接合体に関する。また、係る配線基板または配線基板接合体の製造方法に関する。   The present invention relates to a wiring board or a wiring board joined body, and more particularly to a wiring board or a board wiring board joined body provided with a via hole having a feature in shape. The present invention also relates to a method for manufacturing such a wiring board or a wiring board assembly.

多層構造の配線基板(以下、単に「多層板」とする)の層間における電気的接続を確保するためには、ビアホールと呼ばれる層間貫通孔を設け、かかる貫通孔に導電体を充填することにより、層間の導通を確保することが一般的に行われている。   In order to ensure electrical connection between the layers of a multilayered wiring board (hereinafter simply referred to as “multilayer board”), by providing interlayer through holes called via holes and filling the through holes with a conductor, It is common practice to ensure conduction between layers.

このビアホールに導電体を充填する方法としてめっき技術を用いてビアホール内に導電体を充填するめっき法が、従来広く行われている(例えば、特許文献1)。しかし、めっき法によるとスルーホールビア、ブラインドビアのように基板の表面の導電層に開口部を有するビアにめっきを行うと、この導電層の開口部周辺部にもめっきが行われてしまうため、かかる部分の導電層の層厚が大きくなる。層厚が大きくなった部分は通常のエッチングで除去することは困難であるため、ビアホール間やビアホールと他の配線との間のピッチを一定以上小さくすることが困難となる。従って、めっき法により導電体を充填した場合には、一般的に40〜50μmのピッチが限界とされている。しかし、配線基板の集積度が上がるにつれ、更にピッチを小さくすること、即ちファインピッチ化が求められている。   As a method for filling the via hole with a conductor, a plating method for filling the via hole with a conductor using a plating technique has been widely used (for example, Patent Document 1). However, according to the plating method, if plating is performed on a via having an opening in the conductive layer on the surface of the substrate, such as a through-hole via or a blind via, plating is also performed on the periphery of the opening of the conductive layer. , The layer thickness of the conductive layer in such a portion is increased. Since it is difficult to remove the portion where the layer thickness is increased by normal etching, it is difficult to reduce the pitch between the via holes or between the via holes and another wiring more than a certain value. Therefore, when a conductor is filled by a plating method, a pitch of 40 to 50 μm is generally the limit. However, as the integration density of the wiring board increases, it is required to further reduce the pitch, that is, to make the pitch finer.

そこで、ファインピッチ化を求められる配線基板においては、印刷技術を用いて、ペースト状の導電体である導電性ペーストをビアホールに充填する印刷法を用いることが考えられている(例えば、特許文献2)。印刷法によれば、めっき法のように層間接続形成過程で銅のめっき層の厚みが増加することが無く、めっき法に比べファインピッチ化に対応することが容易である。   Therefore, in a wiring board that requires fine pitch, it is considered to use a printing method in which via holes are filled with a conductive paste, which is a paste-like conductor, using a printing technique (for example, Patent Document 2). ). According to the printing method, the thickness of the copper plating layer does not increase in the process of forming the interlayer connection unlike the plating method, and it is easy to cope with the fine pitch compared with the plating method.

特開2008−103548JP2008-103548 特開2001−345555JP 2001-345555 A

ところが、印刷法は、例えば、図9に示すような樹脂層101の両面に導電層102および103を備えた配線基板において、ビアホール104の開口部から導電性ペーストを圧力をかけて押し込むことにより充填する方法であるため、ビアホール104の底部に気体が残留しやすいという問題がある。ビアホール内部に気体が残留すると、例えば半田を溶解させるために260℃程度の高熱を掛けるリフロー工程において、残留気体が熱膨張し、接続品質を損ねる可能性があった。かかる問題を解消するために、例えば真空雰囲気下で印刷法を行うという方法も考えられるが、かかる処理を行うためには大規模な設備投資が必要であり、イニシャルコストが大きくなるという問題がある。   However, in the printing method, for example, in a wiring board provided with conductive layers 102 and 103 on both sides of a resin layer 101 as shown in FIG. 9, the conductive paste is filled by pressing the conductive paste from the opening of the via hole 104 under pressure. Therefore, there is a problem that gas tends to remain at the bottom of the via hole 104. If the gas remains in the via hole, for example, in the reflow process in which high heat of about 260 ° C. is applied to dissolve the solder, the residual gas may thermally expand, which may impair the connection quality. In order to solve such a problem, for example, a method of performing a printing method in a vacuum atmosphere is also conceivable. However, in order to perform such a process, a large-scale capital investment is required, and there is a problem that an initial cost is increased. .

本発明は、係る問題点を解決するために成されたものであり、大規模な設備投資を伴うことなく、ビアホールの底部に気体溜まりができることを抑制することができる配線基板および配線基板の接合体を提供することにある。   The present invention has been made to solve such a problem, and it is possible to suppress the formation of gas accumulation at the bottom of the via hole without involving a large-scale capital investment, and the bonding of the wiring substrate. To provide a body.

本発明に係る配線基板は、絶縁層により互いに電気的に隔離された複数の導電層と、前記複数の導電層を電気的に接続する導電体を内部に充填するためのビアホールと、前記導電体の充填時に前記ビアホール内部に残留する気体を該ビアホールの外部に誘導するための、該ビアホールと外部とを連通する溝とを備える。   A wiring board according to the present invention includes a plurality of conductive layers electrically isolated from each other by an insulating layer, a via hole for filling a conductor electrically connecting the plurality of conductive layers, and the conductor And a groove that communicates the via hole with the outside for guiding the gas remaining inside the via hole to the outside of the via hole.

上記構成によると、導電体の充填時にビアホール内部に残留する気体をビアホールの外部に誘導するための、ビアホールと外部とを連通する溝とを備えるため、導電体がビアホール内に押し込まれる際に、この溝を経由して、ビアホール外に気体が容易に押し出される。従って、ビアホール内に気体が残留することを抑制できる配線基板である。   According to the above configuration, when the conductor is pushed into the via hole because the via hole and the groove communicating with the outside are provided to guide the gas remaining inside the via hole to the outside of the via hole when the conductor is filled, The gas is easily pushed out of the via hole via this groove. Therefore, the wiring board can suppress the gas from remaining in the via hole.

本発明に係る配線基板接合体は、複数の配線基板が各々備える導電層が、互いに電気的に接続される配線基板接合体である。また、前記導電層を互いに電気的に接続するために、内部に導電体を充填するためのビアホールと、前記導電体の充填時に前記ビアホール内部に残留する気体を該ビアホールの外部に誘導するための、該ビアホールと外部とを連通する溝とを備える。   The wiring board assembly according to the present invention is a wiring board assembly in which the conductive layers provided in each of the plurality of wiring boards are electrically connected to each other. In order to electrically connect the conductive layers to each other, a via hole for filling a conductor therein, and a gas remaining inside the via hole when the conductor is filled are guided outside the via hole. And a groove communicating the via hole and the outside.

上記構成によると、電体の充填時にビアホール内部に残留する気体をビアホールの外部に誘導するための、ビアホールと外部とを連通する溝とを備えるため、導電体がビアホール内に押し込まれる際に、この溝を経由して、ビアホール外に気体が押し出される。従って、ビアホール内に気体が残留することが抑制できる配線基板接合体である。   According to the above configuration, when the conductor is pushed into the via hole because the via hole and the groove communicating with the outside are provided to guide the gas remaining inside the via hole to the outside of the via hole when filling the electric body, Gas is pushed out of the via hole via this groove. Therefore, it is a wiring board joined body which can suppress that gas remains in a via hole.

本発明に係る配線基板または配線基板接合体は、前記ビアホールの周辺部にはランドが更に形成されており、前記溝は前記ランドの範囲内に備えられていることが好ましい。
上記構成によると、溝はランドの範囲内に備えられているため、導電体が溝を介してランド外部に滲み出し、他の回路と導電することを防止できる。ここで、ランドとは、電気的接続を確実とするためにビアホールの周りに設けられた導通部分を示す概念であり、半田付けのために設けられたものを含む。
In the wiring board or the wiring board assembly according to the present invention, it is preferable that a land is further formed in the peripheral portion of the via hole, and the groove is provided within the range of the land.
According to the above configuration, since the groove is provided in the range of the land, it is possible to prevent the conductor from oozing out of the land through the groove and conducting with other circuits. Here, the land is a concept indicating a conductive portion provided around the via hole in order to ensure electrical connection, and includes a land provided for soldering.

本発明に係る配線基板または配線基板接合体は、前記溝は前記ビアホールの外周部から外方に延設されていることが好ましい。
上記構成によると、溝はビアホールの外周部から外方に延設されているため、導電体がビアホール内に押し込まれる際に、この溝を経由して、ビアホールの外周部から外向に気体が押し出される。従って、ビアホール内に気体が残留することが抑制される。
In the wiring board or the wiring board assembly according to the present invention, it is preferable that the groove is extended outward from the outer peripheral portion of the via hole.
According to the above configuration, since the groove extends outward from the outer peripheral portion of the via hole, when the conductor is pushed into the via hole, the gas is pushed outward from the outer peripheral portion of the via hole through the groove. It is. Accordingly, the gas is suppressed from remaining in the via hole.

本発明に係る配線基板または配線基板接合体は、前記溝が複数設けられており、複数の前記溝が互いに前記ビアホールを挟んで、対峙する位置に設けられていることが好ましい。   In the wiring board or the wiring board assembly according to the present invention, it is preferable that a plurality of the grooves are provided, and the plurality of the grooves are provided at positions facing each other across the via hole.

上記構成によると、複数の溝が互いにビアホールを挟んで、対峙する位置に設けられているため、印刷法により導電体がビアホール内に押し込まれる際に、印刷位置がずれることにより、導電体により1つの溝が埋まった場合であっても、他の溝は導電体によって埋まることがなく、ビアホールと外部とを連通することができる。そのため、対峙する位置にあるいずれかの溝を介して、ビアホールの外周部から外向に気体が押し出される。従って、ビアホール内に気体が残留することが抑制される。   According to the above configuration, since the plurality of grooves are provided at positions facing each other across the via hole, when the conductor is pushed into the via hole by the printing method, the printing position is shifted, so that the conductor 1 Even when one groove is filled, the other groove is not filled with the conductor, and the via hole can communicate with the outside. Therefore, the gas is pushed outward from the outer peripheral portion of the via hole through one of the grooves at the facing position. Accordingly, the gas is suppressed from remaining in the via hole.

本発明に係る配線基板または配線基板接合体は、前記溝が4本設けられていることが好ましい。
上記構成によると、溝が4本設けられているため、印刷法により導電体がビアホール内に押し込まれる際に、印刷位置がずれることにより、導電体により1つの溝が埋まった場合であっても、他の溝は導電体によって埋まる確率が更に低くなる。言い換えれば、印刷のずれの方向がどの方向であっても、埋まらずに残る溝の数が多くなる。従って、残った溝によって、ビアホールと外部とを連通することができる。そのため、対峙する位置にあるいずれかの溝を介して、ビアホールの外周部から外向に気体が押し出される。従って、ビアホール内に気体が残留することが抑制される。
The wiring board or the wiring board assembly according to the present invention is preferably provided with four grooves.
According to the above configuration, since the four grooves are provided, even when the conductor is pushed into the via hole by the printing method, even if one groove is filled with the conductor due to the shift of the printing position. The probability that the other grooves are filled with the conductor is further reduced. In other words, the number of grooves remaining without being filled increases regardless of the direction of printing misalignment. Therefore, the via hole can be communicated with the outside by the remaining groove. Therefore, the gas is pushed outward from the outer peripheral portion of the via hole through one of the grooves at the facing position. Accordingly, the gas is suppressed from remaining in the via hole.

本発明に係る配線基板または配線基板接合体は、前記溝の幅の最小部分の大きさが、前記ビアホールの最小部分の径の大きさより小さいことが好ましい。
上記構成によると、溝の幅の最小部分の大きさが、ビアホールの最小部分の径の大きさより小さいため、ビアホールおよび溝のうち、溝の幅の最小部分が、最も幅の小さい部分となる。従って、導電体がビアホール内に押し込まれる際に、ビアホール内に気体が残留した場合、溝の幅の最小部分に最も圧力が掛かる結果となり、この溝の幅の最小部分から残留気体が抜けることとなる。従って、溝を介して、ビアホール外に気体が押し出される効果が一層大きくなる。
In the wiring board or the wiring board assembly according to the present invention, it is preferable that the size of the minimum portion of the width of the groove is smaller than the size of the diameter of the minimum portion of the via hole.
According to the above configuration, since the size of the minimum part of the width of the groove is smaller than the size of the diameter of the minimum part of the via hole, the minimum part of the width of the groove is the smallest part of the via hole and the groove. Therefore, if gas remains in the via hole when the conductor is pushed into the via hole, the result is that pressure is most applied to the smallest part of the width of the groove, and the residual gas escapes from the smallest part of the width of the groove. Become. Therefore, the effect that the gas is pushed out of the via hole through the groove is further increased.

本発明に係る配線基板または配線基板接合体は、前記ビアホールおよび前記溝がレーザー光線により作成されることが好ましい。
上記構成によると、ビアホールおよび溝をレーザー光線により作成されるため、エッチングなどで形成する場合に比べ簡便かつ正確な形状に形成できる。
In the wiring board or wiring board assembly according to the present invention, it is preferable that the via hole and the groove are formed by a laser beam.
According to the above configuration, since the via hole and the groove are formed by the laser beam, it can be formed in a simple and accurate shape as compared with the case of forming by etching or the like.

本発明に係る配線基板または配線基板接合体は、前記レーザー光線がビーム素子を用いて前記ビアホールおよび前記溝の形状に予め形成されたレーザー光線であることも好ましい。   In the wiring board or wiring board assembly according to the present invention, it is also preferable that the laser beam is a laser beam previously formed in the shape of the via hole and the groove using a beam element.

上記構成によると、レーザー光線がビーム素子を用いてビアホールおよび溝の形状に予め形成されたレーザー光線であるため、かかるレーザー光を照射することで、ビアホールおよび溝の形状の形状を配線基板上に容易に形成することができる。   According to the above configuration, since the laser beam is a laser beam pre-formed in the shape of the via hole and the groove using the beam element, the shape of the via hole and the groove shape can be easily formed on the wiring board by irradiating the laser beam. Can be formed.

本発明によれば、大規模な設備投資を伴うことなく、ビアホールの底部に気体溜まりができることを抑制することができる配線基板および配線基板の接合体を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a wiring board and a bonded body of the wiring board that can prevent gas accumulation at the bottom of the via hole without large-scale capital investment.

本発明にかかる配線基板を具体化した配線基板の一実施形態を示す図面であり、(a)は平面図であり、(b)はA―A断面図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is drawing which shows one Embodiment of the wiring board which actualized the wiring board concerning this invention, (a) is a top view, (b) is AA sectional drawing. 本発明にかかる配線基板を具体化した配線基板の一実施形態を示す図面であり、その製造工程中の一工程を示す図面である。(a)は平面図であり、(b)は断面図である。It is drawing which shows one Embodiment of the wiring board which actualized the wiring board concerning this invention, and is drawing which shows 1 process in the manufacturing process. (A) is a top view, (b) is sectional drawing. 本発明にかかる配線基板を具体化した配線基板の一実施形態を示す図面であり、その製造工程中の一工程を示す図面である。(a)は平面図であり、(b)は断面図である。It is drawing which shows one Embodiment of the wiring board which actualized the wiring board concerning this invention, and is drawing which shows 1 process in the manufacturing process. (A) is a top view, (b) is sectional drawing. 本発明にかかる配線基板を具体化した配線基板の一実施形態を示す図面であり、その製造工程中の一工程を示す図面である。(a)は平面図であり、(b)は断面図である。It is drawing which shows one Embodiment of the wiring board which actualized the wiring board concerning this invention, and is drawing which shows 1 process in the manufacturing process. (A) is a top view, (b) is sectional drawing. 本発明にかかる配線基板を具体化した配線基板の一実施形態を示す図面であり、その製造工程中の一工程を示す図面である。(a)は平面図であり、(b)は断面図である。It is drawing which shows one Embodiment of the wiring board which actualized the wiring board concerning this invention, and is drawing which shows 1 process in the manufacturing process. (A) is a top view, (b) is sectional drawing. 本発明にかかる配線基板を具体化した配線基板の一実施形態を示す図面であり、その製造工程中の一工程を示す図面である。(a)は平面図であり、(b)は断面図である。It is drawing which shows one Embodiment of the wiring board which actualized the wiring board concerning this invention, and is drawing which shows 1 process in the manufacturing process. (A) is a top view, (b) is sectional drawing. 本発明にかかる配線基板を具体化した配線基板の一実施形態を示す図面であり、導電層の接続状態を示す断面図である。It is drawing which shows one Embodiment of the wiring board which actualized the wiring board concerning this invention, and is sectional drawing which shows the connection state of a conductive layer. 本発明にかかる配線基板接合体を具体化した配線基板接合体の第2の実施形態を示す図面であり、導電層の接続状態を示す断面図である。It is drawing which shows 2nd Embodiment of the wiring board assembly which actualized the wiring board assembly concerning this invention, and is sectional drawing which shows the connection state of a conductive layer. 従来の配線基板の一実施形態を示す図面であり、(a)は平面図であり、(b)はA―A断面図である。It is drawing which shows one Embodiment of the conventional wiring board, (a) is a top view, (b) is AA sectional drawing.

(第1の実施形態)
以下、本発明を具体化した配線基板の一実施形態を図1〜図6にしたがって説明する。図1(a)および(b)に示す配線基板は、樹脂で形成された絶縁層である樹脂層1の両面に導電層2および導電層3を備えた、多層式の配線基板であって、断面がほぼ円形のビアホール4を介して、必要に応じて導電層2と導電層3とが電気的に接続される。このビアホール4の周りには、ランド5と呼ばれる円形領域が導電層2により形成され、電気的接続の確実性を向上させる。なお、ランドとは、狭義には半田付けのため導電層で形成された領域をさすが、本明細書においては、かかる領域も含め、上述の目的のために導電層により形成された領域を広くランドと称する。
(First embodiment)
Hereinafter, an embodiment of a wiring board embodying the present invention will be described with reference to FIGS. The wiring board shown in FIGS. 1A and 1B is a multilayer wiring board having a conductive layer 2 and a conductive layer 3 on both surfaces of a resin layer 1 that is an insulating layer formed of a resin. The conductive layer 2 and the conductive layer 3 are electrically connected as necessary via the via hole 4 having a substantially circular cross section. A circular region called a land 5 is formed around the via hole 4 by the conductive layer 2 to improve the reliability of electrical connection. Note that a land refers to a region formed of a conductive layer for soldering in a narrow sense, but in this specification, a region formed of a conductive layer for the above-described purpose including such a region is widely used. Called.

この配線基板は導電体の充填時に前記ビアホール4内部に残留する気体をビアホール4の外部に誘導するためのビアホール4と外部とを連通する溝6を、ランド5の範囲内に備えることを特徴としている。溝6はビアホール4の外周部41から外方に延設されているため、導電体である導電性ペーストがビアホール4内に押し込まれる際に、この溝6を経由して、ビアホール4の外周部から外向に気体が押し出される。従って、ビアホール4内に気体が残留することが抑制される。また、溝6がランド5の範囲内に設けられているため、導電体が溝6を介してランド5外部に滲み出し、他の回路と導通することを防止することができる。   This wiring board is provided with a groove 6 in the range of the land 5 for communicating the via hole 4 and the outside for guiding the gas remaining inside the via hole 4 to the outside of the via hole 4 when the conductor is filled. Yes. Since the groove 6 extends outward from the outer peripheral portion 41 of the via hole 4, when the conductive paste as a conductor is pushed into the via hole 4, the outer peripheral portion of the via hole 4 passes through the groove 6. Gas is pushed out from the outside. Accordingly, the gas is suppressed from remaining in the via hole 4. Further, since the groove 6 is provided within the range of the land 5, it is possible to prevent the conductor from seeping out to the outside of the land 5 through the groove 6 and conducting with other circuits.

また、ビアホール4の径が100μmであるところ、この溝6は30μmの一定幅に形成されている。そのため、導電性ペーストがビアホール4内に押し込まれる際に、ビアホール4内に気体が残留した場合、溝6にはビアホール4に比べて強い圧力が掛かる。そのため残留気体は溝6の方に押しやられ、ビアホール4外に押し出される効果が一層大きくなる。   Further, when the diameter of the via hole 4 is 100 μm, the groove 6 is formed with a constant width of 30 μm. Therefore, when the conductive paste is pushed into the via hole 4, if a gas remains in the via hole 4, a stronger pressure is applied to the groove 6 than the via hole 4. Therefore, the residual gas is pushed toward the groove 6 and the effect of being pushed out of the via hole 4 is further increased.

更に、溝6はビアホール4の周辺部から外方に向けて周方向において等間隔に4本延設されている。そのため、各溝6は互いにビアホール4を挟んで、対峙する位置に配されている。仮に、導電性ペーストを挿入するための印刷位置がずれたために、1つの溝6が全部導電性ペーストで埋まった場合であっても、対峙する溝6に隙間が残るため、残留気体は残った溝6の方に押しやられ、ビアホール4外に押し出される。つまり、多少の印刷位置のずれにかかわらず、ビアホール4に気体溜りが生じること抑制する効果を維持することができる。また、4方向に延設されているため、ずれの方向の如何にかかわらず、同様の効果を示すことが可能である。   Further, four grooves 6 are provided at equal intervals in the circumferential direction from the peripheral portion of the via hole 4 to the outside. Therefore, the grooves 6 are arranged at positions facing each other across the via hole 4. Since the printing position for inserting the conductive paste is shifted, even when one groove 6 is entirely filled with the conductive paste, a gap remains in the facing groove 6, so that residual gas remains. It is pushed toward the groove 6 and pushed out of the via hole 4. That is, the effect of suppressing the occurrence of gas accumulation in the via hole 4 can be maintained regardless of some printing position shift. Moreover, since it is extended in four directions, it is possible to show the same effect regardless of the direction of deviation.

このビアホール4および溝6を備える配線基板の製造方法を以下に詳説する。
図2(a),(b)に示すように、ビアホールを形成する配線基板は、非導電層である樹脂層1の両面に導電層2および3を有する多層板である。この導電層2および3が必要に応じて部分的に取り除かれることにより配線がおこなわれ、配線基板として機能する。なお、以下簡便のため、図中の導電層2側を表面とし、導電層3側を裏面とする。
A method of manufacturing a wiring board including the via hole 4 and the groove 6 will be described in detail below.
As shown in FIGS. 2A and 2B, the wiring board for forming the via hole is a multilayer board having conductive layers 2 and 3 on both surfaces of a resin layer 1 which is a non-conductive layer. Wiring is performed by partially removing the conductive layers 2 and 3 as necessary, and functions as a wiring board. In the following, for the sake of simplicity, the conductive layer 2 side in the figure is the front surface, and the conductive layer 3 side is the back surface.

次に、図3(a),(b)に示すように、表面の一部を取り除き、樹脂層を露出させることにより、ランド5と、後にビアホール4および同ビアホール4の外周部41から外方に延設された溝6となる部分を形成する。かかる処理は通常のエッチング等で行ってもよいが、レーザー光線の照射により形成しても良い。   Next, as shown in FIGS. 3A and 3B, by removing a part of the surface and exposing the resin layer, the land 5 and the via hole 4 and the outer peripheral portion 41 of the via hole 4 are exposed outward. The part which becomes the groove | channel 6 extended in this is formed. Such treatment may be performed by ordinary etching or the like, but may be formed by laser beam irradiation.

図4(a),(b)に示すように、ビアホール4および溝6となる部分の樹脂層1を取り除き、裏面の導電層3に達するビアホール4および溝6を形成する。かかる処理についても通常のエッチング等で行ってもよいが、レーザー光線の照射により形成しても良い。その後、スミア残渣を除去するとともにビアホール4および溝6に露出する導電層3表面を微細孔のある構造とし、後工程において充填する導電性ペーストの接続信頼性を向上させるためのデスミア処理を行う。   As shown in FIGS. 4A and 4B, portions of the resin layer 1 that become the via holes 4 and the grooves 6 are removed, and the via holes 4 and the grooves 6 reaching the conductive layer 3 on the back surface are formed. Such treatment may be performed by ordinary etching or the like, but may be formed by laser beam irradiation. Thereafter, the smear residue is removed and the surface of the conductive layer 3 exposed in the via hole 4 and the groove 6 is formed with a fine hole, and a desmear process is performed to improve the connection reliability of the conductive paste filled in a subsequent process.

図5(a),(b)に示すように、デスミア処理後のビアホール4に導電性ペースト7を充填することにより、表側の導電層2と裏側の導電層3とを電気的に接合する。より具体的には、導電性ペースト7として導電性フィラーおよびエポキシ樹脂等のバインダー樹脂を含む導電性ペーストを用い、公知のスクリーン印刷法によりビアホール4に充填する。導電性ペースト7がビアホール4内に押し込まれる際に、ビアホール4内に残留した気体は溝6を介して外部に押し出される。このとき、導電性ペースト7の一部も溝6に入り込むが、溝6はランド5内に設けられているため、導電性ペーストがランド5の外部にまで漏れ出し、他の配線等と電気的接触が生ずることはない。即ち、溝6は導電性ペースト7がビアホール外部の配線と電気的に接触することを抑制している。   As shown in FIGS. 5A and 5B, the conductive layer 7 on the front side and the conductive layer 3 on the back side are electrically joined by filling the via hole 4 after the desmear treatment with the conductive paste 7. More specifically, a conductive paste containing a conductive filler and a binder resin such as an epoxy resin is used as the conductive paste 7, and the via hole 4 is filled by a known screen printing method. When the conductive paste 7 is pushed into the via hole 4, the gas remaining in the via hole 4 is pushed out through the groove 6. At this time, a part of the conductive paste 7 also enters the groove 6. However, since the groove 6 is provided in the land 5, the conductive paste leaks to the outside of the land 5 and is electrically connected to other wirings and the like. Contact does not occur. That is, the groove 6 prevents the conductive paste 7 from being in electrical contact with the wiring outside the via hole.

図6に示すようにカバーレイと呼ばれる保護膜8が接着層9を介して表側および裏側に貼り付けられることにより導電層2および導電層3が保護された状態で、真空プレス機等により180〜240℃、50〜40kg/cmで配線基板が加熱および加圧される。かかる処理によりビアホール4内の導電性ペーストが圧縮され、導電層2および導電層3と一部融着することにより、導電層2と導電層3とが導電性ペースト7を介して電気的に接続される。また、かかる過熱および圧縮は真空雰囲気下で行われるため、溝6内に残留した気体が吸引され、接着層9と置換される。 As shown in FIG. 6, a protective film 8 called a cover lay is attached to the front side and the back side through the adhesive layer 9 so that the conductive layer 2 and the conductive layer 3 are protected. The wiring board is heated and pressurized at 240 ° C. and 50 to 40 kg / cm 2 . By such treatment, the conductive paste in the via hole 4 is compressed, and partly fused with the conductive layer 2 and the conductive layer 3, whereby the conductive layer 2 and the conductive layer 3 are electrically connected via the conductive paste 7. Is done. Further, since such overheating and compression are performed in a vacuum atmosphere, the gas remaining in the groove 6 is sucked and replaced with the adhesive layer 9.

上記実施形態の配線基板によれば、以下のような効果を得ることができる。
(1)上記実施形態では、導電性ペースト7の充填時にビアホール4内部に残留する気体をビアホール4の外部に誘導するためのビアホール4と外部とを連通する溝6を備えるため、導電体がビアホール内に押し込まれる際に、この溝を経由して、ビアホール外に気体が容易に押し出される。従って、ビアホール内に気体が残留することを抑制できる配線基板である。
According to the wiring board of the above embodiment, the following effects can be obtained.
(1) In the above embodiment, since the via hole 4 for guiding the gas remaining inside the via hole 4 when the conductive paste 7 is filled to the outside of the via hole 4 and the groove 6 communicating the outside are provided, the conductor is the via hole. When pushed in, the gas is easily pushed out of the via hole through this groove. Therefore, the wiring board can suppress the gas from remaining in the via hole.

(2)上記実施形態では、溝6はランド5の範囲内に備えられているため、導電性ペースト7が溝6を介してランド5外部に滲み出し、他の回路と導通することを防止できる。
(3)上記実施形態では、溝6はビアホール4の外周部から外向に延設されているため、導電性ペースト7がビアホール4内に押し込まれる際に、この溝6を経由して、ビアホール4の外周部から外向に気体が押し出される。従って、ビアホール4内に気体が残留することが抑制される。
(2) In the above embodiment, since the groove 6 is provided in the range of the land 5, it is possible to prevent the conductive paste 7 from seeping out of the land 5 through the groove 6 and conducting with other circuits. .
(3) In the above embodiment, since the groove 6 extends outward from the outer peripheral portion of the via hole 4, when the conductive paste 7 is pushed into the via hole 4, the via hole 4 passes through the groove 6. Gas is pushed outward from the outer periphery of the. Accordingly, the gas is suppressed from remaining in the via hole 4.

(4)上記実施形態では、複数の溝6が互いにビアホールを挟んで、対峙する位置に設けられているため、印刷法により導電体がビアホール内に押し込まれる際に、印刷位置がずれることにより、導電体により1つの溝6が埋まった場合であっても、他の溝6は導電体によって埋まることがなく、ビアホールと外部とを連通することができる。そのため、対峙する位置にあるいずれかの溝6を介して、ビアホール4の外周部から外向に気体が押し出される。従って、ビアホール内に気体が残留することが抑制される。   (4) In the above embodiment, since the plurality of grooves 6 are provided at positions facing each other across the via hole, when the conductor is pushed into the via hole by a printing method, the printing position is shifted, Even when one groove 6 is filled with the conductor, the other groove 6 is not filled with the conductor, and the via hole can be communicated with the outside. Therefore, the gas is pushed outward from the outer peripheral portion of the via hole 4 through any one of the grooves 6 at the facing position. Accordingly, the gas is suppressed from remaining in the via hole.

(5)上記実施形態では、溝6の幅の幅が、ビアホール4の径100μmより小さい30μmの一定幅に形成されている。従って、導電性ペースト7がビアホール4内に押し込まれる際に、ビアホール4内に気体が残留した場合、溝6に最も圧力が掛かる結果となり、かかる部分から残理由気体が抜けることとなる。従って、溝6を経由して、ビアホール4外に気体が押し出される効果が一層大きくなる。   (5) In the above embodiment, the width of the groove 6 is a constant width of 30 μm, which is smaller than the diameter of the via hole 4 of 100 μm. Therefore, when the conductive paste 7 is pushed into the via hole 4, if the gas remains in the via hole 4, the result is that the groove 6 is most pressurized, and the residual reason gas is released from this portion. Therefore, the effect that the gas is pushed out of the via hole 4 via the groove 6 is further increased.

(6)上記実施形態では、ビアホール4および溝6をレーザー光線により作成してもよい。溝6をレーザー光線により作成すると、エッチングなどで形成する場合に比べ簡便かつ正確な形状に形成できる。   (6) In the above embodiment, the via hole 4 and the groove 6 may be formed by a laser beam. When the groove 6 is formed by a laser beam, it can be formed in a simple and accurate shape as compared with the case where it is formed by etching or the like.

(第2の実施形態)
次に、本発明を具体化した配線基板の接合体の1実施形態を第2の実施形態として図7および図8にしたがって説明する。なお、第1の実施形態は配線基板における実施形態であるのに対し、第2の実施形態は、配線基板の接合体における実施形態であり、基本構成は同様であるため、同様の部分についてはその詳細な説明を省略する。
(Second Embodiment)
Next, an embodiment of a bonded assembly of wiring boards embodying the present invention will be described as a second embodiment with reference to FIGS. The first embodiment is an embodiment in a wiring board, whereas the second embodiment is an embodiment in a bonded body of a wiring board, and the basic configuration is the same, and therefore the same parts are not described. Detailed description thereof is omitted.

図7に示すように、第1の実施形態においては配線基板内の導電層2および3を電気的に接続していた。一方、第2の実施形態においては図8に示すように、複数の配線基板を電気的に接続した配線基板の接合体に本発明を適用した実施形態である。なお、図7および図8において、簡便のためカバーレイは記載を省略した。   As shown in FIG. 7, in the first embodiment, the conductive layers 2 and 3 in the wiring board are electrically connected. On the other hand, as shown in FIG. 8, the second embodiment is an embodiment in which the present invention is applied to a joined body of wiring boards in which a plurality of wiring boards are electrically connected. In FIG. 7 and FIG. 8, the coverlay is omitted for the sake of simplicity.

このように、第2の実施形態おいても、配線基板の導電層2,3,2a,3aが互いに電気的に接続される配線基板接合体にビアホール4および溝6が形成されている他は、第1の実施形態の場合と同様であるため、第1の実施形態の場合と同様の効果を得ることができる。   Thus, also in the second embodiment, except that the via hole 4 and the groove 6 are formed in the wiring board assembly in which the conductive layers 2, 3, 2a, 3a of the wiring board are electrically connected to each other. Since it is the same as that of the case of 1st Embodiment, the effect similar to the case of 1st Embodiment can be acquired.

なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、ビアホール4および溝6をレーザー光線により作成してもよいが、レーザー光線として、ビーム整形素子を用いてビアホールおよび溝の形状に予め形成されたレーザー光線を用いてもよい。この場合、レーザー光を照射するだけで、ビアホール4および溝6の形状の形状を配線基板上に形成することができる。ビーム整形素子としては、例えば、DOE(Diffractive Optical Elements:回折光学素子)が好適に用いられる。
In addition, you may change the said embodiment as follows.
In the above embodiment, the via hole 4 and the groove 6 may be created by a laser beam, but a laser beam previously formed in the shape of the via hole and the groove using a beam shaping element may be used as the laser beam. In this case, the shape of the via hole 4 and the groove 6 can be formed on the wiring board simply by irradiating the laser beam. For example, DOE (Diffractive Optical Elements) is preferably used as the beam shaping element.

・上記実施形態では、溝6を4本形成しているが、他の構成であっても良い。例えば、印刷の精度が十分に高く、印刷のずれにより、溝6が埋まることが問題とならなければ、溝6の本数は2本ないしは1本でも良い。溝6の本数を減らすことにより、製造コストを低減しうる。   In the above embodiment, four grooves 6 are formed, but other configurations may be used. For example, the number of the grooves 6 may be two or one as long as the printing accuracy is sufficiently high and it is not a problem that the grooves 6 are filled due to printing misalignment. By reducing the number of grooves 6, the manufacturing cost can be reduced.

・また、印刷の精度が十分でなく、印刷のずれにより、溝6が埋まる可能性が一層高い場合には、溝6の本数を多くしても良い。この場合には、印刷ずれにより全ての溝6が埋まる確率を小さくすることができ、一層確実に気体溜りの発生を抑制しうる。   If the printing accuracy is not sufficient and there is a higher possibility that the groove 6 will be filled due to printing deviation, the number of the grooves 6 may be increased. In this case, the probability that all the grooves 6 are filled due to printing misalignment can be reduced, and the occurrence of gas accumulation can be suppressed more reliably.

・また上記実施形態において、溝6の幅は一定の幅で形成されているが、他の構成であっても良い。例えば、ビアホール4の外周部から外向に向って順に溝幅が漸減する形状であっても良い。また、ビアホール4と一体的に形成されていても良い。例えば、ビアホール4と溝6とを合わせた形状が星型になっていても良い。   -Moreover, in the said embodiment, although the width | variety of the groove | channel 6 is formed with the fixed width | variety, another structure may be sufficient. For example, the groove width may be gradually reduced from the outer peripheral portion of the via hole 4 toward the outside. Further, it may be formed integrally with the via hole 4. For example, the combined shape of the via hole 4 and the groove 6 may be a star shape.

・上記実施形態において、溝6は一定の深さに形成されているが、他の構成であっても良い。例えば、ビアホール4の外周部から外向に向って順に溝の深さが漸減する形状であっても良い。要は、ビアホール4の底部に残留しやすい気体を溝6を介して排気できれば良いのであり、溝の形状は特に限定されない。   In the above embodiment, the groove 6 is formed at a certain depth, but may have other configurations. For example, a shape in which the depth of the groove gradually decreases from the outer periphery of the via hole 4 toward the outside may be used. In short, it is only necessary that the gas that tends to remain at the bottom of the via hole 4 can be exhausted through the groove 6, and the shape of the groove is not particularly limited.

・上記実施形態において、配線基板の材質に特に制限はない。例えば、ガラス基板、硬質樹脂基板などのように変形しにくいものであっても良いし、軟質樹脂基板のように、柔軟性を有するものであっても良い。   -In the said embodiment, there is no restriction | limiting in particular in the material of a wiring board. For example, it may be difficult to deform such as a glass substrate or a hard resin substrate, or may be flexible such as a soft resin substrate.

・同様に、配線基板接合体においても、構成する配線基板の材質に特に制限はない。例えば、ガラス基板、硬質樹脂基板などのように変形しにくい配線基板同士を接合したものであっても良いし、軟質樹脂基板のように、柔軟性を有する配線基板同士を接合したものであっても良い。また、変形しにくい配線基板と柔軟性を有する配線基板とを接合したものでも良い。   Similarly, in the wiring board assembly, there is no particular limitation on the material of the wiring board to be configured. For example, wiring substrates that are difficult to deform, such as glass substrates and hard resin substrates, may be joined together, or flexible wiring substrates, such as soft resin substrates, that are joined together. Also good. Moreover, what joined the wiring board which cannot change easily, and the flexible wiring board may be used.

・上記実施形態において、配線基板接合体は2枚の配線基板を接合したものであるが、他の構成であっても良い。即ち、3枚以上の配線基板接合体であってもよい。
・上記実施形態において、配線基板は樹脂層1を挟んで表側と裏側にそれぞれ導電層2および3を有する3層基板であるが、3層以上の基板を有する多層基板であってもよい。係る場合にはビアホール4および溝6の深さも電気的に接合したい導電層に応じて異なるものとなる。
In the above embodiment, the wiring board assembly is obtained by joining two wiring boards, but may have other configurations. That is, three or more wiring board assemblies may be used.
In the above embodiment, the wiring board is a three-layer board having the conductive layers 2 and 3 on the front side and the back side with the resin layer 1 interposed therebetween, but may be a multilayer board having three or more layers. In such a case, the depths of the via holes 4 and the grooves 6 also differ depending on the conductive layers to be electrically joined.

・また同様に、配線基板接合体を構成する配線基板も、導電層を1層有する配線基板であっても、2層以上有する多層基板であってもよい。多層基板である場合にはビアホール4および溝6の深さも電気的に接続したい導電層に応じて異なるものとなる。   Similarly, the wiring board constituting the wiring board assembly may be a wiring board having one conductive layer or a multilayer board having two or more layers. In the case of a multilayer substrate, the depths of the via holes 4 and the grooves 6 also differ depending on the conductive layer to be electrically connected.

本発明は、配線基板または配線基板接合体に係り、詳しくは形状に特徴を有するビアホールを備える配線基または板配線基板接合体に関する。また、係る配線基板または配線基板接合体の製造方法に関する。従って配線基板を備える電気機器に広く利用することができる。   The present invention relates to a wiring board or a wiring board joined body, and more particularly to a wiring base or a board wiring board joined body provided with a via hole having a feature in shape. The present invention also relates to a method for manufacturing such a wiring board or a wiring board assembly. Therefore, it can be widely used for electric devices including a wiring board.

1…樹脂層(絶縁層)、2,2a,3,3a…導電層、4…ビアホール、5…ランド、6…溝、7…導電性ペースト(導電体)、8…保護膜、9…接着層、41…外周部、101…樹脂層、102,103…導電層、104…ビアホール。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Resin layer (insulating layer) 2, 2a, 3, 3a ... Conductive layer, 4 ... Via hole, 5 ... Land, 6 ... Groove, 7 ... Conductive paste (conductor), 8 ... Protective film, 9 ... Adhesion 41, outer periphery, 101 ... resin layer, 102, 103 ... conductive layer, 104 ... via hole.

Claims (9)

絶縁層により互いに電気的に隔離された複数の導電層と、
前記複数の導電層を電気的に接続する導電体を内部に充填するためのビアホールと、
前記導電体の充填時に前記ビアホール内部に残留する気体を該ビアホールの外部に誘導するための、該ビアホールと外部とを連通する溝とを備える配線基板。
A plurality of conductive layers electrically isolated from each other by an insulating layer;
A via hole for filling the inside with a conductor electrically connecting the plurality of conductive layers;
A wiring board comprising: a groove that communicates the via hole and the outside for guiding a gas remaining inside the via hole to the outside of the via hole when the conductor is filled.
複数の配線基板が各々備える導電層が、互いに電気的に接続される配線基板接合体であって、
前記導電層を互いに電気的に接続するために、内部に導電体を充填するためのビアホールと、
前記導電体の充填時に前記ビアホール内部に残留する気体を該ビアホールの外部に誘導するための、該ビアホールと外部とを連通する溝とを備える配線基板接合体。
The conductive layer provided in each of the plurality of wiring boards is a wiring board assembly electrically connected to each other,
In order to electrically connect the conductive layers to each other, a via hole for filling a conductor inside,
A wiring board joined body comprising a groove that communicates the via hole and the outside for guiding the gas remaining inside the via hole to the outside of the via hole when the conductor is filled.
前記ビアホールの周辺部にはランドが更に形成されており、
前記溝は前記ランドの範囲内に備えられている請求項1に記載の配線基板または請求項2に記載の配線基板接合体。
A land is further formed around the via hole,
The wiring board according to claim 1, or the wiring board assembly according to claim 2, wherein the groove is provided within the range of the land.
前記溝は前記ビアホールの外周部から外方に延設されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の配線基板または配線基板接合体。   4. The wiring board or wiring board assembly according to claim 1, wherein the groove extends outward from an outer peripheral portion of the via hole. 5. 前記溝が複数設けられており、複数の前記溝が互いに前記ビアホールを挟んで、対峙する位置に設けられている請求項1〜4のいずれか1項に記載の配線基板または配線基板接合体。   The wiring board or the wiring board assembly according to claim 1, wherein a plurality of the grooves are provided, and the plurality of grooves are provided at positions facing each other across the via hole. 前記溝が4本設けられていることを特徴とする請求項5に記載の配線基板または配線基板接合体。   The wiring board or wiring board assembly according to claim 5, wherein four grooves are provided. 前記溝の幅の最小部分の大きさが、前記ビアホールの最小部分の径の大きさより小さいことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の配線基板または配線基板接合体。   7. The wiring board or wiring board assembly according to claim 1, wherein a size of a minimum part of the width of the groove is smaller than a size of a diameter of the minimum part of the via hole. 前記ビアホールおよび前記溝がレーザー光線により作成されることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか1項に記載の配線基板または配線基板接合体の製造方法。   The method for manufacturing a wiring board or a wiring board assembly according to claim 1, wherein the via hole and the groove are formed by a laser beam. 前記レーザー光線が前記ビアホールおよび前記溝の形状に予め形成されたレーザー光線であることを特徴とする、請求項8に記載の配線基板または配線基板接合体の製造方法。   9. The method for manufacturing a wiring board or a wiring board assembly according to claim 8, wherein the laser beam is a laser beam previously formed in the shape of the via hole and the groove.
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CN112739075A (en) * 2020-12-08 2021-04-30 深圳市祺利电子有限公司 Manufacturing method for preventing tin spraying and explosion of circuit board

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