JP2010246272A

JP2010246272A - Vibration actuator, lens barrel, camera, and method of manufacturing vibration actuator

Info

Publication number: JP2010246272A
Application number: JP2009092377A
Authority: JP
Inventors: Masamitsu Kimura; 将光木村; Takatoshi Ashizawa; 隆利芦沢
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 2009-04-06
Filing date: 2009-04-06
Publication date: 2010-10-28

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vibration actuator which prevents excessive grinding when a film formed on the surface of a vibrator is lapped, and also to provide a method of manufacturing the same. <P>SOLUTION: The vibration actuator (10) is provided with: a vibrator (11) which produces an oscillatory wave; and a relative movement member (15) which is driven by the oscillatory wave when it comes into pressure contact with the vibrator (11). A contact part (32) having a film (31) formed on the surface and comes into contact with the relative movement member (15) of the vibrator (11) through the film (31), and a non-contact part (33) which is provided with a part (34) projecting further to the relative movement member (15) side than the contact part (32) and does not come into contact with the relative movement member (15), are provided on the surface (30) of the vibrator (11) on the side of the relative movement member (15). <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、振動体に振動波を生じさせることにより相対移動部材を駆動する振動アクチュエータ、レンズ鏡筒、カメラおよび振動アクチュエータの製造方法に関する。 The present invention relates to a vibration actuator, a lens barrel, a camera, and a method for manufacturing a vibration actuator that drive a relative movement member by generating a vibration wave in a vibrating body.

振動アクチュエータは、圧電体の伸縮を利用して振動子の駆動面に進行性振動波（以下、進行波という）を発生させ、この進行波によって駆動面に楕円運動を生じさせ、楕円運動の波頭に加圧接触した移動子を摩擦により駆動するものである。 The vibration actuator generates a progressive vibration wave (hereinafter referred to as a traveling wave) on the driving surface of the vibrator by using the expansion and contraction of the piezoelectric body, and the traveling wave generates an elliptical motion on the driving surface, thereby causing a wavefront of the elliptical motion. The movable element that is in pressure contact is driven by friction.

この振動アクチュエータにおける振動子の表面には、摩擦接触面の摩擦低減等の理由により、高分子材料の潤滑塗装膜が形成されている（特許文献１参照）。この潤滑塗装膜は、塗装しただけでは凹凸が残り、伝達効率の低下や振動の原因となるため、表面にラッピング処理が施され、表面が平らにされている。 A lubricating coating film made of a polymer material is formed on the surface of the vibrator in this vibration actuator for reasons such as reducing friction on the friction contact surface (see Patent Document 1). Since this lubrication coating film has irregularities that remain only when it is coated, which causes a reduction in transmission efficiency and vibration, the surface is lapped and the surface is flattened.

特開平４−１１７１８２号公報JP-A-4-117182

しかし、潤滑塗装膜は柔らかいため、ラッピング処理時に過度な研削により下地の材料が表面に出てしまうことがある。 However, since the lubricating coating film is soft, the ground material may come out on the surface due to excessive grinding during the lapping process.

本発明の課題は、振動体の表面に形成された膜のラッピング時における過度な研削が防止される振動アクチュエータ、レンズ鏡筒、カメラ及び振動アクチュエータの製造方法を提供することである。 An object of the present invention is to provide a vibration actuator, a lens barrel, a camera, and a method for manufacturing the vibration actuator that prevent excessive grinding during lapping of a film formed on the surface of the vibration body.

本発明は、以下のような解決手段により前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。
請求項１に記載の発明は、振動波を生じる振動体（１１）と、前記振動体（１１）と加圧接触することにより前記振動波によって駆動される相対移動部材（１５）と、を備える振動アクチュエータ（１０）であって、前記振動体（１１）の前記相対移動部材（１５）側の面（３０）は、表面に膜（３１）が形成され、前記膜（３１）を介して前記相対移動部材（１５）と接触する接触部（３２）と、前記接触部（３２）よりも前記相対移動部材（１５）側へ突き出した突出部（３４）が設けられ、前記相対移動部材（１５）と接触しない非接触部（３３）と、を備えること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０）である。
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の振動アクチュエータ（１０）であって、前記振動体（１１）の前記相対移動部材（１５）側は櫛歯状になっており、前記面（３０）は前記櫛歯の最も前記相対移動部材（１５）側の部分であること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０）である。
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の振動アクチュエータ（１０）であって、前記振動体（１１）は円環形状であり、前記非接触部（３３）は前記円環と同軸の円周に沿って複数設けられていること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０）である。
請求項４に記載の発明は、請求項１〜３のいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（１０）であって、前記非接触部（３３）において、前記突出部（３４）が設けられている部分の面積は前記非接触部（３３）が設けられていない部分の面積より小さいこと、を特徴とする振動アクチュエータ（１０）である。
請求項５に記載の発明は、振動体（１１）の面（３０）上に、第１の部分（３２）と該第１の部分(３２)よりも突き出した第２の部分（３３）を形成するステップと、前記第１の部分（３２）と前記第２の部分（３３）とに膜（３１）を形成するステップと、前記膜（３１）が形成された前記第１の部分（３２）と前記第２の部分（３３）とを研磨して前記膜（３１）を平坦にするステップと、前記振動体（１１）の前記第１の部分（２２）に相対移動部材（１５）を接触させるステップとを有し、前記平坦にするステップにおいて前記膜（３１）は、前記第２の部分（３３）により前記第２の部分（３３）の高さを超えて研磨されることが防止されていること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０）の製造方法である。
請求項６に記載の発明は、請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（１０）を有するレンズ鏡筒（３）である。
請求項７に記載の発明は、請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（１０）を有するカメラ（１）である。
なお、符号を付して説明した構成は、適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替してもよい。 The present invention solves the above problems by the following means. In addition, in order to make an understanding easy, although the code | symbol corresponding to embodiment of this invention is attached | subjected and demonstrated, it is not limited to this.
The invention according to claim 1 includes a vibrating body (11) that generates a vibration wave, and a relative movement member (15) that is driven by the vibration wave by being in pressure contact with the vibration body (11). The surface (30) of the vibration body (11) on the side of the relative movement member (15) is a vibration actuator (10), and a film (31) is formed on a surface thereof, and the surface (30) is interposed through the film (31). A contact portion (32) that comes into contact with the relative movement member (15) and a protrusion (34) that protrudes toward the relative movement member (15) with respect to the contact portion (32) are provided, and the relative movement member (15 And a non-contact portion (33) that does not come into contact with the vibration actuator (10).
Invention of Claim 2 is a vibration actuator (10) of Claim 1, Comprising: The said relative displacement member (15) side of the said vibration body (11) is comb-tooth shape, The said surface (30) is the vibration actuator (10) characterized in that it is the portion of the comb teeth closest to the relative movement member (15).
The invention according to claim 3 is the vibration actuator (10) according to claim 1 or 2, wherein the vibrating body (11) has an annular shape, and the non-contact portion (33) has the annular shape. A vibration actuator (10) characterized in that a plurality of the actuators are provided along a coaxial circumference.
Invention of Claim 4 is a vibration actuator (10) of any one of Claims 1-3, Comprising: The said protrusion part (34) is provided in the said non-contact part (33). The vibration actuator (10) is characterized in that the area of the portion is smaller than the area of the portion where the non-contact portion (33) is not provided.
According to a fifth aspect of the present invention, the first portion (32) and the second portion (33) protruding from the first portion (32) are provided on the surface (30) of the vibrating body (11). Forming, forming a film (31) on the first part (32) and the second part (33), and forming the first part (32) on which the film (31) is formed. ) And the second portion (33) to flatten the film (31), and a relative movement member (15) to the first portion (22) of the vibrator (11). Preventing the film (31) from being polished beyond the height of the second portion (33) by the second portion (33) in the step of flattening. It is the manufacturing method of the vibration actuator (10) characterized by the above-mentioned.
The invention described in claim 6 is a lens barrel (3) having the vibration actuator (10) according to any one of claims 1 to 4.
The invention described in claim 7 is a camera (1) having the vibration actuator (10) according to any one of claims 1 to 4.
Note that the configuration described with reference numerals may be improved as appropriate, or at least a part thereof may be replaced with another component.

本発明によれば、振動体の表面に形成された膜のラッピング時における過度な研削が防止される振動アクチュエータ、レンズ鏡筒、カメラ及び振動アクチュエータの製造方法を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a vibration actuator, a lens barrel, a camera, and a method for manufacturing the vibration actuator that can prevent excessive grinding during lapping of the film formed on the surface of the vibration body.

実施形態の超音波モータの断面図である。It is sectional drawing of the ultrasonic motor of embodiment. 弾性体の上面図である。It is a top view of an elastic body. 潤滑塗装膜の形成方法を示す図である。It is a figure which shows the formation method of a lubricous coating film. 変形形態の弾性体を示す図である。It is a figure which shows the elastic body of a deformation | transformation form. 本実施形態の超音波モータを備えるカメラを説明する図である。It is a figure explaining a camera provided with the ultrasonic motor of this embodiment.

以下、本発明にかかる振動アクチュエータの実施形態について、添付図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下の実施形態では、振動アクチュエータとして、超音波の振動域を利用した超音波モータを例にして説明する。
（実施形態） DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of a vibration actuator according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following embodiments, an ultrasonic motor using an ultrasonic vibration region will be described as an example of the vibration actuator.
(Embodiment)

図１は、第１実施形態の超音波モータ１０の断面図である。超音波モータ１０は、振動子１１、移動子１５、出力軸１８、加圧部材１９等を備え、振動子１１側を固定とし、移動子１５を回転駆動する形態となっている。 FIG. 1 is a cross-sectional view of the ultrasonic motor 10 of the first embodiment. The ultrasonic motor 10 includes a vibrator 11, a mover 15, an output shaft 18, a pressure member 19, and the like, and the vibrator 11 side is fixed and the mover 15 is rotationally driven.

振動子１１は、後述するように、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する圧電素子や電歪素子等の電気−機械変換素子（以下、圧電体と称する）１３と、圧電体１３が接合された弾性体１２とを有する略円環形状の部材である。 As will be described later, the vibrator 11 is an elastic material in which an electro-mechanical conversion element (hereinafter referred to as a piezoelectric body) 13 such as a piezoelectric element or an electrostrictive element that converts electrical energy into mechanical energy and a piezoelectric body 13 are joined. It is a substantially annular member having a body 12.

弾性体１２は、後述するが、高弾性材料、例えば鉄系やステンレス鋼の金属材料によって形成され、その形状は、略円環形状である。この弾性体１２は、櫛歯部１２ａ、ベース部１２ｂ、フランジ部１２ｃを有する。 As will be described later, the elastic body 12 is formed of a highly elastic material, for example, a metal material such as iron or stainless steel, and has a substantially annular shape. The elastic body 12 includes a comb tooth portion 12a, a base portion 12b, and a flange portion 12c.

ベース部１２ｂは、弾性体１２の周方向に連続した部分であり、ベース部１２ｂの櫛歯部１２ａとは反対側の面である接合面１２ｅに、圧電体１３が接合されている。フランジ部１２ｃは、弾性体１２の内径方向に突出した鍔状の部分である。このフランジ部１２ｃにより、振動子１１は、固定部材１６に固定されている。 The base portion 12b is a portion that is continuous in the circumferential direction of the elastic body 12, and the piezoelectric body 13 is bonded to a bonding surface 12e that is the surface of the base portion 12b opposite to the comb teeth portion 12a. The flange portion 12 c is a bowl-shaped portion protruding in the inner diameter direction of the elastic body 12. The vibrator 11 is fixed to the fixing member 16 by the flange portion 12c.

圧電体１３は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する電気機械変換素子である。本実施形態では、圧電体１３として圧電素子を用いたが、電歪素子等を用いてもよい。圧電体１３は、略円環形状の部材であり、弾性体１２の周方向に沿って２つの相（Ａ相、Ｂ相）の電気信号が入力される範囲に分かれている。各相には、１／２波長毎に分極が交互となった要素が並べられている。Ａ相とＢ相との間には、１／４波長分の間隔が空けられている。この圧電体１３は、接着材等を用いて弾性体１２と接合されている。 The piezoelectric body 13 is an electromechanical conversion element that converts electrical energy into mechanical energy. In this embodiment, a piezoelectric element is used as the piezoelectric body 13, but an electrostrictive element or the like may be used. The piezoelectric body 13 is a substantially ring-shaped member, and is divided into ranges in which electric signals of two phases (A phase and B phase) are input along the circumferential direction of the elastic body 12. In each phase, elements in which polarization is alternated every ½ wavelength are arranged. An interval corresponding to a quarter wavelength is provided between the A phase and the B phase. The piezoelectric body 13 is joined to the elastic body 12 using an adhesive or the like.

フレキシブルプリント基板１４は、その配線が圧電体１３の各相の電極に接続されている。フレキシブルプリント基板１４には、後述の増幅部１０４，１０５（図３参照）から駆動信号が供給され、この駆動信号によって、圧電体１３が伸縮する。振動子１１には、この圧電体１３の伸縮により、弾性体１２の駆動面に進行波が発生する。本実施形態では、４波の進行波が発生している。 The flexible printed circuit board 14 is connected to the electrodes of each phase of the piezoelectric body 13. A drive signal is supplied to the flexible printed circuit board 14 from amplifiers 104 and 105 (see FIG. 3) described later, and the piezoelectric body 13 expands and contracts by the drive signal. In the vibrator 11, a traveling wave is generated on the drive surface of the elastic body 12 by the expansion and contraction of the piezoelectric body 13. In the present embodiment, four traveling waves are generated.

移動子１５は、例えばアルミニウム、表面処理アルマイトで製造され、弾性体１２の駆動面３０に生じる進行波によって回転駆動される部材である。
出力軸１８は、略円柱形状の部材である。出力軸１８は、一方の端部がゴム部材２３を介して移動子１５に接しており、移動子１５と一体に回転するように設けられている。
ゴム部材２３は、ゴムにより形成された略円環形状の部材である。このゴム部材２３は、ゴムによる粘弾性で移動子１５と出力軸１８とを一体に回転可能とする機能と、移動子１５からの振動を出力軸１８へ伝えないように振動を吸収する機能とを有しており、ブチルゴム、シリコンゴム、プロピレンゴム等が用いられている。 The mover 15 is a member that is made of, for example, aluminum or surface-treated alumite and is rotationally driven by a traveling wave generated on the drive surface 30 of the elastic body 12.
The output shaft 18 is a substantially cylindrical member. One end of the output shaft 18 is in contact with the moving element 15 via the rubber member 23, and is provided so as to rotate integrally with the moving element 15.
The rubber member 23 is a substantially ring-shaped member made of rubber. The rubber member 23 has a function of allowing the mover 15 and the output shaft 18 to rotate integrally with rubber viscoelasticity, and a function of absorbing vibration so as not to transmit vibration from the mover 15 to the output shaft 18. And butyl rubber, silicon rubber, propylene rubber and the like are used.

加圧部材１９は、振動子１１と移動子１５とを加圧接触させる加圧力を発生する部材であり、ギア部材４とベアリング受け部材２１との間に設けられている。本実施形態では、加圧部材１９は、圧縮コイルバネを用いているが、これに限定されるものではない。ギア部材４は、出力軸１８のＤカットに嵌まるように挿入され、Ｅリング等のストッパ２２で固定され、回転方向及び軸方向に出力軸１８と一体となるように設けられている。ギア部材４は、出力軸１８の回転とともに回転する。 The pressing member 19 is a member that generates a pressing force that pressurizes and contacts the vibrator 11 and the moving element 15, and is provided between the gear member 4 and the bearing receiving member 21. In the present embodiment, the pressure member 19 uses a compression coil spring, but is not limited thereto. The gear member 4 is inserted so as to fit in the D cut of the output shaft 18, is fixed by a stopper 22 such as an E ring, and is provided so as to be integrated with the output shaft 18 in the rotation direction and the axial direction. The gear member 4 rotates with the rotation of the output shaft 18.

また、ベアリング受け部材２１は、ベアリング１７の内径側に配置され、ベアリング１７は、固定部材１６の内径側に配置された構造となっている。加圧部材１９は、振動子１１を移動子１５側へ、出力軸１８の軸方向に加圧しており、この加圧力によって、移動子１５は、振動子１１の駆動面に加圧接触し、回転駆動される。なお、加圧部材１９とベアリング受け部材２１との間には、加圧力調整ワッシャーを設けて、超音波モータ１０の駆動に適正な加圧力が得られるようにしてもよい。 Further, the bearing receiving member 21 is arranged on the inner diameter side of the bearing 17, and the bearing 17 is arranged on the inner diameter side of the fixed member 16. The pressurizing member 19 pressurizes the vibrator 11 toward the moving element 15 in the axial direction of the output shaft 18. With this applied pressure, the moving element 15 comes into pressure contact with the drive surface of the vibrator 11, Driven by rotation. A pressure adjusting washer may be provided between the pressure member 19 and the bearing receiving member 21 so that an appropriate pressure for driving the ultrasonic motor 10 can be obtained.

図２は弾性体１２の上面図である。図２に示すように、櫛歯部１２ａは、圧電体１３が接合される面とは反対側の面に、複数の溝１２ｆが形成されている。この櫛歯部１２ａの先端面は、移動子１５に加圧接触され、移動子１５を駆動する駆動面３０となる。櫛歯部１２ａを設ける理由は、圧電体１３の伸縮により駆動面３０に生じる進行波の中立面をできる限り圧電体１３側へ近づけ、これにより駆動面３０の進行波の振幅を増幅させるためである。 FIG. 2 is a top view of the elastic body 12. As shown in FIG. 2, the comb-tooth portion 12a has a plurality of grooves 12f formed on the surface opposite to the surface to which the piezoelectric body 13 is bonded. The tip surface of the comb tooth portion 12 a is in pressure contact with the moving element 15 and becomes a driving surface 30 that drives the moving element 15. The reason for providing the comb tooth portion 12a is that the neutral surface of the traveling wave generated on the driving surface 30 due to the expansion and contraction of the piezoelectric body 13 is as close as possible to the piezoelectric body 13 side, thereby amplifying the amplitude of the traveling wave on the driving surface 30. It is.

また、櫛歯部１２ａの駆動面３０における内周側には、円周に沿って均等に３箇所に（図２においては２箇所のみ図示）突出部３４が形成されている。この突出部３４が設けられている領域は、駆動面３０における移動子１５と接触しない非接触部３３である。また、この突出部３４の高さは、必要な潤滑塗装膜３１の厚さと同程度とする。 Further, on the inner peripheral side of the driving surface 30 of the comb tooth portion 12a, protruding portions 34 are formed at three locations (only two locations are shown in FIG. 2) equally along the circumference. The region where the protruding portion 34 is provided is a non-contact portion 33 that does not contact the moving element 15 on the driving surface 30. Further, the height of the protruding portion 34 is set to be approximately the same as the required thickness of the lubricating coating film 31.

櫛歯部１２ａにおける駆動面３０の非接触部３３以外の領域は、非接触部３３より面積の広い接触部３２である。この接触部３２の表面には、潤滑塗装膜３１が形成されている。潤滑塗装膜３１の材料は、エポキシウレタン、エポキシフェノール、ポリアミドイミド、ポリイミドなどの高分子材料である。このように潤滑塗装膜３１を設けることにより、駆動面３０の著しい損傷と磨耗分発生が防止され、振動アクチュエータ１０の駆動時における異音の発生や駆動効率の低下が抑えられ、高付加での使用に耐えられるようになり、長寿命で安定した駆動性能が供給される。 A region other than the non-contact portion 33 of the drive surface 30 in the comb tooth portion 12 a is a contact portion 32 having a larger area than the non-contact portion 33. A lubricating coating film 31 is formed on the surface of the contact portion 32. The material of the lubricating coating film 31 is a polymer material such as epoxy urethane, epoxy phenol, polyamide imide, or polyimide. By providing the lubricating coating film 31 in this way, significant damage and wear generation of the drive surface 30 are prevented, generation of abnormal noise and reduction in drive efficiency during driving of the vibration actuator 10 can be suppressed, and high addition can be achieved. It will be able to withstand use, and a long life and stable driving performance will be supplied.

図３は潤滑塗装膜３１の形成方法を示す図である。
まず、振動子１１（櫛歯部１２ａ）の表面３０上に、平坦な接触部３２と、接触部３２よりも突き出した非接触部３３（突出部３４）を形成する。
次に、接触部３２と非接触部３３上に潤滑塗装膜３１を塗布する。 FIG. 3 is a diagram showing a method for forming the lubricating coating film 31.
First, a flat contact portion 32 and a non-contact portion 33 (protrusion portion 34) protruding from the contact portion 32 are formed on the surface 30 of the vibrator 11 (comb portion 12a).
Next, the lubricating coating film 31 is applied on the contact portion 32 and the non-contact portion 33.

この際、図３（ａ）に示すように、潤滑塗装膜３１は接触部３２と非接触部３３上に塗布されるが、表面には凹凸が発生している。この凹凸を除去して移動子と振動子との間の摩擦駆動を円滑にするため、次に、この凹凸を除去するラッピング処理を行う。なお、このラッピング処理は、機械または手動のいずれであってもよい。 At this time, as shown in FIG. 3A, the lubricating coating film 31 is applied on the contact portion 32 and the non-contact portion 33, but unevenness is generated on the surface. In order to remove the unevenness and smooth the friction drive between the moving element and the vibrator, a wrapping process for removing the unevenness is performed next. Note that this wrapping process may be either mechanical or manual.

ここで、潤滑塗装膜３１の材料は高分子材料であって柔らかい。このためラッピング処理を行う際に、ラップのしすぎで潤滑塗装膜３１が過度に研削される可能性がある。そして過度の研削が行われると移動子１５と櫛歯部１２ａとの間の表面３０における接触部３２おいて櫛歯部１２ａの下地の金属が露出し、潤滑効果が得られない可能性がある。 Here, the material of the lubricating coating film 31 is a polymer material and is soft. For this reason, when performing the lapping process, the lubricating coating film 31 may be excessively ground due to excessive lapping. If excessive grinding is performed, the underlying metal of the comb tooth portion 12a may be exposed at the contact portion 32 on the surface 30 between the moving element 15 and the comb tooth portion 12a, and a lubricating effect may not be obtained. .

しかし、本実施形態によると、櫛歯部１２ａの表面３０の非接触部３３に突出部３４を設けた。この突出部３４の高さは、必要とする潤滑塗装膜３１の厚さと同程度である。これにより、ラッピングを行っていくと研磨部材は突出部３４に接触し、潤滑塗装膜３１が突出部３４の高さを超えて研磨されることが防止される。 However, according to this embodiment, the protrusion part 34 was provided in the non-contact part 33 of the surface 30 of the comb-tooth part 12a. The height of the protrusion 34 is approximately the same as the required thickness of the lubricating coating film 31. Thereby, when lapping is performed, the polishing member comes into contact with the protruding portion 34, and the lubricating coating film 31 is prevented from being polished beyond the height of the protruding portion 34.

図５は、本実施形態にかかる超音波モータ１０を備えるカメラ１を説明する図である。カメラ１は、撮像素子を有するカメラボディ２と、レンズ７を有するレンズ鏡筒３とを備える。レンズ鏡筒３は、カメラボディ２に着脱可能な交換レンズである。なお、本実施形態では、レンズ鏡筒３は、交換レンズである例を示すが、これに限らず、例えば、カメラボディと一体型のレンズ鏡筒であってもよい。
レンズ鏡筒３は、レンズ７、カム筒６、ギア４，５、超音波モータ１０等を備える。本実施形態では、超音波モータ１０はφ１５以下の小型振動波モータである。超音波モータ１０は、カメラ１のフォーカス動作時にレンズ７を駆動する駆動源として用いられており、超音波モータ１０から得られた駆動力は、ギア４，５を介してカム筒６に伝えられる。レンズ７は、カム筒６に保持されており、超音波モータ１０の駆動力により、光軸方向Ｌに略平行に移動して、焦点調節を行うフォーカスレンズである。
図５において、レンズ鏡筒３内に設けられたレンズ群（レンズ７を含む）によって、撮像素子８の撮像面に被写体像が結像される。撮像素子８によって、結像された被写体像は電気信号に変換され、その信号をＡ／Ｄ変換することによって、画像データが得られる。 FIG. 5 is a diagram illustrating the camera 1 including the ultrasonic motor 10 according to the present embodiment. The camera 1 includes a camera body 2 having an image sensor and a lens barrel 3 having a lens 7. The lens barrel 3 is an interchangeable lens that can be attached to and detached from the camera body 2. In this embodiment, an example in which the lens barrel 3 is an interchangeable lens is shown. However, the present invention is not limited to this. For example, the lens barrel 3 may be a lens barrel integrated with a camera body.
The lens barrel 3 includes a lens 7, a cam barrel 6, gears 4 and 5, an ultrasonic motor 10, and the like. In the present embodiment, the ultrasonic motor 10 is a small vibration wave motor having a diameter of 15 or less. The ultrasonic motor 10 is used as a driving source for driving the lens 7 during the focusing operation of the camera 1, and the driving force obtained from the ultrasonic motor 10 is transmitted to the cam cylinder 6 through the gears 4 and 5. . The lens 7 is a focus lens that is held by the cam cylinder 6 and moves in substantially parallel to the optical axis direction L by the driving force of the ultrasonic motor 10 to adjust the focus.
In FIG. 5, a subject image is formed on the imaging surface of the imaging device 8 by a lens group (including the lens 7) provided in the lens barrel 3. The imaged subject image is converted into an electrical signal by the image sensor 8, and image data is obtained by A / D converting the signal.

以上、本実施形態によると以下の効果を有する。
（１）上述のように、本実施形態によると、ラッピングを行っていくと研磨部材は突出部３４に接触し、潤滑塗装膜３１が突出部３４の高さを超えて研磨されることが防止される。従って、潤滑塗装膜３１の厚さを適切な厚さにすることができる。
（２）櫛歯部１２ａの駆動面３０において、円周に沿って均等に３箇所に突出部３４が形成されているため、ラッピング時において、研磨部材の過度の研削を均等に防止することができ、潤滑塗装膜３１の厚さを均等にすることができる。
（３）本実施形態では、突出部３４を櫛歯部１２ａと一体的に形成する形態について説明したがこれに限定されず、例えば、別部材を櫛歯部１２ａの表面に取り付けても良い。
（４）突出部３４は円柱形状としたがこの形状に限定されない。例えば、矩形のピン等であってもよい。 As described above, this embodiment has the following effects.
(1) As described above, according to the present embodiment, when lapping is performed, the polishing member comes into contact with the protruding portion 34 and the lubricating coating film 31 is prevented from being polished beyond the height of the protruding portion 34. Is done. Therefore, the thickness of the lubricating coating film 31 can be set to an appropriate thickness.
(2) Since the protrusions 34 are formed evenly at three locations along the circumference of the drive surface 30 of the comb tooth portion 12a, excessive grinding of the polishing member can be prevented evenly during lapping. The thickness of the lubricating coating film 31 can be made uniform.
(3) In this embodiment, although the form which forms the protrusion part 34 integrally with the comb-tooth part 12a was demonstrated, it is not limited to this, For example, you may attach another member to the surface of the comb-tooth part 12a.
(4) Although the protruding portion 34 has a cylindrical shape, it is not limited to this shape. For example, a rectangular pin or the like may be used.

（変形形態）
以上、説明した実施形態に限定されることなく、以下に示すような種々の変形や変更が可能であり、それらも本発明の範囲内である。 (Deformation)
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications and changes as described below are possible, and these are also within the scope of the present invention.

（１）図４は、上述の実施形態の変形形態を示す図である。上述の実施形態では、櫛歯部１２ａの駆動面３０における内周側に突出部３４を形成したが、これに限定されない。例えば、外周側が、駆動面３０における移動子１５と接触しない非接触部３４である場合は、図４に示すように、外周側に突出部３４を設けてもよい。
（２）また、櫛歯部１２ａの駆動面３０の３箇所に突出部３４を設けたがこれに限定されず、３以上であってもよく、それ以下でもよい。 (1) FIG. 4 is a diagram showing a modification of the above-described embodiment. In the above-mentioned embodiment, although the protrusion part 34 was formed in the inner peripheral side in the drive surface 30 of the comb-tooth part 12a, it is not limited to this. For example, when the outer peripheral side is a non-contact part 34 that does not come into contact with the moving element 15 on the drive surface 30, as shown in FIG. 4, a protruding part 34 may be provided on the outer peripheral side.
(2) Moreover, although the protrusion part 34 was provided in three places of the drive surface 30 of the comb-tooth part 12a, it is not limited to this, Three or more may be sufficient.

１：カメラ、３：レンズ鏡筒、１０:超音波モータ、１１：振動子、１５：移動子、３０：駆動面、３１:潤滑塗装膜、３２：接触部、３３:非接触部、３４：突出部 1: camera, 3: lens barrel, 10: ultrasonic motor, 11: vibrator, 15: moving element, 30: driving surface, 31: lubricating coating film, 32: contact portion, 33: non-contact portion, 34: Protrusion

Claims

A vibration actuator comprising: a vibration body that generates a vibration wave; and a relative movement member that is driven by the vibration wave by being in pressure contact with the vibration body,
The surface of the vibrating body on the side of the relative movement member is
A film is formed on the surface, and a contact portion that contacts the relative movement member via the film;
A protrusion that protrudes toward the relative movement member from the contact portion is provided, and a non-contact portion that does not contact the relative movement member;
Vibration actuator characterized by

The vibration actuator according to claim 1,
The relative movement member side of the vibrating body has a comb-tooth shape, and the surface is a portion of the comb tooth closest to the relative movement member;
Vibration actuator characterized by

The vibration actuator according to claim 1 or 2,
The vibrating body has an annular shape, and a plurality of the protrusions are provided along a circumference coaxial with the annular ring;
Vibration actuator characterized by

The vibration actuator according to any one of claims 1 to 3,
In the non-contact portion, the area of the portion where the protrusion is provided is smaller than the area of the portion where the protrusion is not provided,
Vibration actuator characterized by

Forming a first portion and a second portion protruding from the first portion on the surface of the vibrating body;
Forming a film on the first portion and the second portion;
Polishing the first part and the second part on which the film is formed to flatten the film;
Bringing a relative movement member into contact with the first portion of the vibrating body,
In the step of flattening, the film is prevented from being polished by the second portion beyond the height of the second portion;
A manufacturing method of a vibration actuator characterized by the above.

A lens barrel having the vibration actuator according to any one of claims 1 to 4.

The camera which has a vibration actuator of any one of Claim 1- Claim 4.