JP6229457B2

JP6229457B2 - Vibration actuator and optical device

Info

Publication number: JP6229457B2
Application number: JP2013244403A
Authority: JP
Inventors: 光輝日野
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 2013-11-26
Filing date: 2013-11-26
Publication date: 2017-11-15
Anticipated expiration: 2033-11-26
Also published as: JP2015104265A

Description

本発明は、振動アクチュエータ及び光学機器に関するものである。 The present invention relates to a vibration actuator and an optical apparatus.

電気機械素子を用いて移動子を動かす振動アクチュエータを締結するために、バヨネット機構を用いるものがある。また、バネの芯がずれることにより性能が劣化し、また静寂性が損なわれる点に対して、バヨネット機構に新たに芯補正機能を設けたものもある（特許文献１参照）。 Some use a bayonet mechanism to fasten a vibration actuator that moves a moving element using an electromechanical element. In addition, there is a bayonet mechanism provided with a new core correction function in view of the point that the performance is deteriorated due to the spring core being displaced and the quietness is impaired (see Patent Document 1).

特開２００５−１８４９６３号公報JP 2005-184963 A

しかし、従来技術においては、他部材とバネとの干渉によって音が発生し、さらに、部品点数が多いため、全長および径方向の振動アクチュエータのスペースが大きく、組立が困難という課題があった。 However, in the prior art, there is a problem that sound is generated due to interference between the other members and the spring, and the number of parts is large, so that the space for the vibration actuator in the full length and the radial direction is large and assembly is difficult.

本発明の課題は、より良好な振動アクチュエータ及び光学機器を提供することである。 An object of the present invention is to provide a better vibration actuator and optical apparatus.

本発明は、以下のような解決手段により前記課題を解決する。
請求項１に記載の発明は、円筒状のベース部と、前記ベース部の外周に配置されるアクチュエータ部と、を具備し、前記アクチュエータ部は、電気機械変換素子を含む振動部と、前記振動部に対して相対的に回転する回転部と、前記振動部と前記回転部とを圧接するための加圧部と、を備え、前記加圧部は複数の爪部を有し、前記ベース部は、前記爪部とバヨネット結合する係合部を有すること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の振動アクチュエータであって、前記加圧部は円環形状で、前記爪部は、前記加圧部の内径側に設けられていること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の振動アクチュエータであって、前記電気機械変換素子と接する吸振材を有し、前記加圧部は、前記吸振材を介して前記電気機械変換素子を押圧すること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項４に記載の発明は、請求項１から３のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、前記回転部を保持するロータ保持部材を備え、前記加圧部は、前記ロータ保持部材を介して前記回転部を押圧すること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項５に記載の発明は、請求項１から４のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、前記爪部の数は３以上の整数であること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項６に記載の発明は、請求項１から５のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、前記加圧部は、ウェーブの一方が他部材との接触部で、他方が非接触部であるウェーブワッシャであり、前記爪部は前記非接触部に設けられていること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項７に記載の発明は、請求項６に記載の振動アクチュエータであって、前記ウェーブワッシャの前記接触部は、前記爪部の整数倍であること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項８に記載の発明は、請求項６または７に記載の振動アクチュエータであって、前記接触部は、前記振動部に発生する振動波の数の整数倍であること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項９に記載の発明は、請求項１から５のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、前記加圧部は皿バネであること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項１０に記載の発明は、請求項１から５のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、前記加圧部は、前記爪部の整数倍以上の歯部を有する歯付バネであること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項１１に記載の発明は、請求項９または１０に記載の振動アクチュエータであって、前記加圧部の歯数は、前記爪部の数をｍ、前記振動部に発生する振動波の数をｎとしたときの、ｍとｎの最小公倍数の１以上の整数倍であること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項１２に記載の発明は、請求項１から１１のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、前記加圧部と前記ベース部の径方向は、前記爪部の径方向端面と前記ベース部の前記係合部の径方向端面によって位置決めされていること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項１３に記載の発明は、請求項１から１２のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、前記ベース部は、樹脂であること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項１４に記載の発明は、請求項１から１３のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、前記ベース部は、段付きバヨネット結合によって、前記回転部の回転方向への前記加圧部の移動を制限していること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項１５に記載の発明は、請求項１から１４のいずれか１項に記載の振動アクチュエータを備える光学機器である。
なお、上記構成は、適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替してもよい。 The present invention solves the above problems by the following means.
The invention according to claim 1 includes a cylindrical base portion and an actuator portion disposed on an outer periphery of the base portion, and the actuator portion includes a vibrating portion including an electromechanical transducer, and the vibration. A rotating part that rotates relative to the part, and a pressing part that presses the vibrating part and the rotating part, the pressing part having a plurality of claw parts, and the base part Is an oscillating actuator characterized by having an engaging part that is bayonet-coupled to the claw part.
Invention of Claim 2 is a vibration actuator of Claim 1, Comprising: The said pressurization part is a ring shape, The said nail | claw part is provided in the internal-diameter side of the said pressurization part, Is a vibration actuator characterized by
A third aspect of the present invention is the vibration actuator according to the first or second aspect, wherein the vibration actuator includes a vibration absorbing material in contact with the electromechanical conversion element, and the pressurizing portion is connected to the electric actuator via the vibration absorbing material. The vibration actuator is characterized by pressing a mechanical conversion element.
A fourth aspect of the present invention is the vibration actuator according to any one of the first to third aspects, further comprising a rotor holding member that holds the rotating portion, and the pressurizing portion includes the rotor holding member. The vibration actuator is characterized in that the rotating part is pressed through the actuator.
A fifth aspect of the present invention is the vibration actuator according to any one of the first to fourth aspects, wherein the number of the claw portions is an integer of 3 or more. .
Invention of Claim 6 is a vibration actuator of any one of Claim 1 to 5, Comprising: As for the said pressurization part, one side of a wave is a contact part with another member, and the other is non-contact It is a wave washer which is a part, and the claw part is provided in the non-contact part.
The invention according to claim 7 is the vibration actuator according to claim 6, wherein the contact portion of the wave washer is an integral multiple of the claw portion.
The invention according to claim 8 is the vibration actuator according to claim 6 or 7, wherein the contact portion is an integral multiple of the number of vibration waves generated in the vibration portion. Actuator.
A ninth aspect of the present invention is the vibration actuator according to any one of the first to fifth aspects, wherein the pressurizing portion is a disc spring.
A tenth aspect of the present invention is the vibration actuator according to any one of the first to fifth aspects, wherein the pressurizing portion is a toothed spring having a tooth portion that is an integral multiple of the claw portion. It is a vibration actuator characterized by being.
Invention of Claim 11 is a vibration actuator of Claim 9 or 10, Comprising: The number of teeth of the said pressurization part is the number of the claw parts, and the number of the vibration waves which generate | occur | produce in the said vibration part The vibration actuator is characterized by being an integer multiple of 1 or more of the least common multiple of m and n, where n is n.
A twelfth aspect of the present invention is the vibration actuator according to any one of the first to eleventh aspects, wherein a radial direction of the pressing portion and the base portion is a radial end surface of the claw portion and the radial direction of the claw portion. The vibration actuator is characterized by being positioned by a radial end face of the engaging portion of the base portion.
A thirteenth aspect of the present invention is the vibration actuator according to any one of the first to twelfth aspects, wherein the base portion is a resin.
A fourteenth aspect of the present invention is the vibration actuator according to any one of the first to thirteenth aspects, wherein the base portion is pressed in the rotation direction of the rotating portion by a stepped bayonet connection. This is a vibration actuator characterized in that the movement of the part is restricted.
A fifteenth aspect of the invention is an optical apparatus including the vibration actuator according to any one of the first to fourteenth aspects.
In addition, the said structure may be improved suitably, and at least one part may substitute for another structure.

本発明によれば、より良好な振動アクチュエータ及び光学機器を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a better vibration actuator and optical apparatus.

本発明の一実施形態である振動アクチュエータを備えるカメラを示す図である。It is a figure which shows a camera provided with the vibration actuator which is one Embodiment of this invention. 第１実施形態における振動アクチュエータの外観斜視図である。It is an external appearance perspective view of the vibration actuator in 1st Embodiment. 振動アクチュエータの部分縦断面図である。It is a fragmentary longitudinal cross-sectional view of a vibration actuator. ウェーブワッシャの中筒への装着構造を説明する図である。It is a figure explaining the mounting structure to the inner cylinder of a wave washer. ウェーブワッシャの斜視図である。It is a perspective view of a wave washer. ウェーブワッシャの爪部と中筒の係合溝との関係を説明する図である。It is a figure explaining the relationship between the nail | claw part of a wave washer, and the engaging groove of an inner cylinder. 変形例のウェーブワッシャの斜視図である。It is a perspective view of the wave washer of a modification. 加圧部材の変形例としての皿バネの斜視図である。It is a perspective view of a disc spring as a modification of a pressurizing member. 加圧部材の変形例としての歯付バネの斜視図である。It is a perspective view of a toothed spring as a modification of a pressurizing member. 加圧部材としてウェーブワッシャを用いた第２実施形態における振動アクチュエータの外観斜視図である。It is an external appearance perspective view of the vibration actuator in 2nd Embodiment using the wave washer as a pressurization member. 図１０に示す振動アクチュエータの縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of the vibration actuator shown in FIG. 加圧部材として皿バネを用いた第２実施形態における振動アクチュエータの外観斜視図である。It is an external appearance perspective view of the vibration actuator in 2nd Embodiment using a disc spring as a pressurizing member. 図１２に示す振動アクチュエータの縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of the vibration actuator shown in FIG.

（第１実施形態）
以下、図面等を参照して、本発明の実施形態について説明する。なお、以下に示す各図において、光軸に沿った被写体側をＺプラス側、像側をＺマイナス側として説明する。光軸は振動アクチュエータ１０の中心の軸線方向でもある。 (First embodiment)
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In each figure shown below, the subject side along the optical axis is described as the Z plus side, and the image side is described as the Z minus side. The optical axis is also the axial direction of the center of the vibration actuator 10.

図１は、本発明の一実施形態である振動アクチュエータ１０を備えるカメラ１を示す図である。
本実施形態のカメラ１は、撮像素子６を有するカメラボディ２と、レンズ鏡筒３とを備える。レンズ鏡筒３は、カメラボディ２に着脱可能な交換レンズである。なお、本実施形態のカメラ１は、レンズ鏡筒３が交換レンズである例を示すが、これに限らず、例えば、カメラボディと一体型のレンズ鏡筒であってもよい。 FIG. 1 is a diagram illustrating a camera 1 including a vibration actuator 10 according to an embodiment of the present invention.
The camera 1 of the present embodiment includes a camera body 2 having an image sensor 6 and a lens barrel 3. The lens barrel 3 is an interchangeable lens that can be attached to and detached from the camera body 2. In addition, although the camera 1 of the present embodiment shows an example in which the lens barrel 3 is an interchangeable lens, the present invention is not limited thereto, and may be a lens barrel integrated with the camera body, for example.

レンズ鏡筒３は、レンズ４、カム筒５、振動アクチュエータ１０等を備えている。
振動アクチュエータ１０は、略円環形状であり、その軸線方向が光軸方向（Ｚ方向）と略一致するようにレンズ鏡筒３内に配置されている。この振動アクチュエータ１０は、カメラ１のフォーカス動作時にレンズ４を駆動する駆動源として用いられている。
振動アクチュエータ１０から得られた駆動力は、カム筒５に伝えられる。レンズ４のレンズ枠４ａは、カム筒５とカム係合しており、振動アクチュエータ１０の駆動力によってカム筒５が光軸回りに回転すると、レンズ４は、光軸方向へ移動して焦点調節が行なわれる。 The lens barrel 3 includes a lens 4, a cam barrel 5, a vibration actuator 10, and the like.
The vibration actuator 10 has a substantially annular shape, and is disposed in the lens barrel 3 so that the axial direction thereof substantially coincides with the optical axis direction (Z direction). The vibration actuator 10 is used as a drive source that drives the lens 4 during the focusing operation of the camera 1.
The driving force obtained from the vibration actuator 10 is transmitted to the cam cylinder 5. The lens frame 4a of the lens 4 is cam-engaged with the cam cylinder 5. When the cam cylinder 5 rotates around the optical axis by the driving force of the vibration actuator 10, the lens 4 moves in the optical axis direction to adjust the focus. Is done.

そして、カメラ１は、レンズ鏡筒３内に設けられた不図示のレンズ群（レンズ４を含む）によって撮像素子６の撮像面に結像された被写体像を、撮像素子６によって電気信号に変換すると共にその信号をＡ／Ｄ変換して画像データとして記録する。 The camera 1 converts the subject image formed on the imaging surface of the image sensor 6 by an unillustrated lens group (including the lens 4) provided in the lens barrel 3 into an electrical signal by the image sensor 6. At the same time, the signal is A / D converted and recorded as image data.

つぎに、図２および図３を参照して、振動アクチュエータ１０について説明する。
図２は、振動アクチュエータ１０の外観斜視図である。図３は、振動アクチュエータ１０の部分（環状の一方の）縦断面図である。
振動アクチュエータ１０は、ベース部となる中筒１１の外周に、アクチュエータ部１００が配置されたものである。アクチュエータ部１００は、ロータ部２０と、ステータ３０と、両者を圧接させる加圧部４０とが、Ｚ軸マイナス方向に向かって直列に配設されて構成されている。本実施形態の振動アクチュエータ１０は、Ｚ軸方向に移動不能なロータ部２０に、ステータ３０を加圧部４０によって圧接させるいわゆるステータ加圧構造である。 Next, the vibration actuator 10 will be described with reference to FIGS. 2 and 3.
FIG. 2 is an external perspective view of the vibration actuator 10. FIG. 3 is a longitudinal sectional view of a portion (one annular shape) of the vibration actuator 10.
The vibration actuator 10 is configured such that an actuator unit 100 is disposed on the outer periphery of an intermediate cylinder 11 serving as a base unit. The actuator unit 100 includes a rotor unit 20, a stator 30, and a pressurizing unit 40 that presses the rotor unit 20 in series toward the negative Z-axis direction. The vibration actuator 10 of the present embodiment has a so-called stator pressurizing structure in which the stator 30 is press-contacted by the pressurizing unit 40 to the rotor unit 20 that is not movable in the Z-axis direction.

中筒１１は、軸線を中心とした円筒状の部材であって、ポリカーボネート等の機械的強度の高い樹脂により、射出成形によって形成されている。中筒１１は、前後方向（Ｚ軸方向）に前部１１Ｆと後部１１Ｒとに分割形成され、この２つの部材はネジ結合で一体化されている。
中筒１１の前端（Ｚ軸プラス側の端）には、大径のフランジ部１１Ａが形成されている。また、中筒１１の後端（Ｚ軸マイナス側の端）の周囲には加圧部４０における後述するウェーブワッシャ４１が係合する係合溝（係合部）１２が形成されている。 The middle cylinder 11 is a cylindrical member centered on the axis, and is formed by injection molding with a resin having high mechanical strength such as polycarbonate. The middle cylinder 11 is divided into a front part 11F and a rear part 11R in the front-rear direction (Z-axis direction), and these two members are integrated by screw connection.
A large-diameter flange portion 11 A is formed at the front end (end on the Z-axis plus side) of the middle cylinder 11. Further, an engagement groove (engagement portion) 12 that engages a wave washer 41 (described later) in the pressurizing portion 40 is formed around the rear end (end on the negative side of the Z axis) of the middle cylinder 11.

ロータ部２０は、ロータ保持部材２１と、当該ロータ保持部材２１によってそのＺ軸マイナス側に保持されたロータ（回転部）２２と、両者の間に介設された防振材２３および接触圧均等化のためのシート２４と、により構成されている。
ロータ保持部材２１は、円環状の基部２１ＡのＺ軸マイナス側に小径の円環状の嵌合部２１Ｂを備え、その基部２１Ａで軸受け１１Ｃを介して中筒１１に回転自在に装着されている。
嵌合部２１Ｂは、ロータ２２の基部２２Ａに嵌合し、ロータ２２をその径方向の位置を規定して（同芯に）保持する。また、ロータ保持部材２１における基部２１Ａの外周には、出力ピン２５が径方向に突設されている。
ロータ２２は、アルミニウム合金等によって、略円環状に形成されている。ロータ２２は、基部２２ＡのＺ軸マイナス側に突設された肉薄の被駆動部２２Ｂを備えている。 The rotor portion 20 includes a rotor holding member 21, a rotor (rotating portion) 22 held on the negative side of the Z-axis by the rotor holding member 21, a vibration isolating material 23 interposed between them, and an equal contact pressure. And a sheet 24 for the purpose of conversion.
The rotor holding member 21 is provided with a small-diameter annular fitting portion 21B on the negative side of the Z-axis of the annular base portion 21A, and is rotatably mounted on the middle cylinder 11 via the bearing 11C at the base portion 21A.
The fitting portion 21B is fitted to the base portion 22A of the rotor 22 to hold the rotor 22 with its radial position (concentric). In addition, an output pin 25 projects radially from the outer periphery of the base 21 A of the rotor holding member 21.
The rotor 22 is formed in a substantially annular shape from an aluminum alloy or the like. The rotor 22 includes a thin driven portion 22B that protrudes on the negative side of the Z-axis of the base portion 22A.

防振材２３は、ゴムまたはゲル等によって形成されている。防振材２３は、ロータ保持部材２１における基部２１ＡのＺ軸マイナス側の端面に接して配置されている。防振材２３は、移動子１５の縦方向の振動を吸収するように作用する。
シート２４は、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）等の低摩擦の部材によって形成されている。シート２４は、防振材２３とロータ２２の基部２２ＡのＺ軸プラス側の端面との間に介設されている。シート２４は、ロータ２２のロータ保持部材２１に対する接触圧を周方向において均一化させるように作用する。 The vibration isolator 23 is made of rubber or gel. The vibration isolator 23 is disposed in contact with the end surface of the base 21A of the rotor holding member 21 on the negative side of the Z axis. The vibration isolator 23 acts to absorb the vibration in the vertical direction of the mover 15.
The sheet 24 is formed of a low friction member such as PTFE (polytetrafluoroethylene). The sheet 24 is interposed between the vibration isolator 23 and the end surface on the Z-axis plus side of the base portion 22 A of the rotor 22. The sheet 24 acts to make the contact pressure of the rotor 22 with respect to the rotor holding member 21 uniform in the circumferential direction.

また、ロータ部２０の外周には、ロータ保持部材２１とロータ２２とに跨がって、連結テープ２６が周方向３カ所に貼付されている。この連結テープ２６は、ロータ２２とロータ保持部材２１とがシート２４の作用で相対回転してしまうことを防ぎ、ロータ２２とロータ保持部材２１とを同期回転させる。 Further, on the outer periphery of the rotor portion 20, connecting tapes 26 are stuck at three places in the circumferential direction across the rotor holding member 21 and the rotor 22. The connecting tape 26 prevents the rotor 22 and the rotor holding member 21 from rotating relative to each other due to the action of the sheet 24, and rotates the rotor 22 and the rotor holding member 21 synchronously.

ステータ（振動部）３０は、弾性体３１に圧電体３２が接着されて構成されている。
弾性体３１は、高弾性率を有するステンレス鋼またはインバー鋼等の鉄合金により略円環状に形成されている。弾性体３１のＺ軸プラス側は、複数のスリットが形成された櫛歯部３１Ａとなっている。弾性体３１のＺ軸マイナス側の端面には、圧電体３２が導電性を有する接着剤等によって接着されている。 The stator (vibrating part) 30 is configured by bonding a piezoelectric body 32 to an elastic body 31.
The elastic body 31 is formed in a substantially annular shape from an iron alloy such as stainless steel or Invar steel having a high elastic modulus. The Z axis plus side of the elastic body 31 is a comb tooth portion 31A in which a plurality of slits are formed. The piezoelectric body 32 is bonded to the end face on the negative side of the Z axis of the elastic body 31 with a conductive adhesive or the like.

圧電体３２は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する機能を有する圧電素子である。圧電体３２は、図示しない電極部が形成されており、この電極部にフレキシブルプリント基板が電気的に接続されて駆動信号が供給されるようになっている。圧電体３２は、フレキシブルプリント基板を介して供給される駆動信号によって伸縮し、弾性体３１を振動させる。なお、圧電体３２は、電歪素子を用いてもよい。 The piezoelectric body 32 is a piezoelectric element having a function of converting electrical energy into mechanical energy. The piezoelectric body 32 is formed with an electrode portion (not shown), and a flexible printed circuit board is electrically connected to the electrode portion to supply a drive signal. The piezoelectric body 32 expands and contracts by a drive signal supplied via the flexible printed board, and vibrates the elastic body 31. The piezoelectric body 32 may be an electrostrictive element.

ステータ３０は、中筒１１におけるロータ部２０のＺ軸マイナス側に、後述する加圧部４０によってロータ部２０に向けて押圧付勢されて配設され、その櫛歯部３１Ａの先端面がロータ部２０におけるロータ２２の被駆動部２２Ｂの端面に圧接している。
そして、ステータ３０は、圧電体３２の伸縮によって弾性体３１における櫛歯部３１Ａの先端面に進行波を生じ、櫛歯部３１Ａの先端面が加圧接触しているロータ２２を回転駆動する。 The stator 30 is disposed on the Z axis minus side of the rotor portion 20 in the middle cylinder 11 by being pressed and urged toward the rotor portion 20 by a pressurizing portion 40 which will be described later, and the tip surface of the comb tooth portion 31A is the rotor. The portion 20 is in pressure contact with the end face of the driven portion 22B of the rotor 22.
Then, the stator 30 generates a traveling wave on the tip surface of the comb tooth portion 31A of the elastic body 31 by the expansion and contraction of the piezoelectric body 32, and rotationally drives the rotor 22 in which the tip surface of the comb tooth portion 31A is in pressure contact.

加圧部４０は、加圧部材としてのウェーブワッシャ４１と、振動吸収材４２と、加圧板４３と、によって構成されている。
ウェーブワッシャ４１は、円環状で中心軸方向に波打った形状に弾性を有する薄板素材によって形成され、中心軸方向（Ｚ軸方向）の弾性変形で復帰力を生ずるものである。ウェーブワッシャ４１は、中筒１１に外挿されてその係合溝１２にＺ軸方向に移動不能に係合し、これによって中筒１１に装着されている。なお、その中筒１１への装着構造については、後に詳述する。 The pressure unit 40 includes a wave washer 41 as a pressure member, a vibration absorbing material 42, and a pressure plate 43.
The wave washer 41 is formed of a thin plate material having an annular shape and undulating in the central axis direction, and generates a restoring force by elastic deformation in the central axis direction (Z-axis direction). The wave washer 41 is externally inserted into the middle cylinder 11 and engaged with the engagement groove 12 so as to be immovable in the Z-axis direction, thereby being attached to the middle cylinder 11. The mounting structure to the inner cylinder 11 will be described in detail later.

振動吸収材４２は、フェルト等の不織布によって形成された円環状の部材であって、ステータ３０のＺ軸マイナス側の面（圧電体３２）に当接するように配設されている。この振動吸収材４２は、ステータ３０の振動を吸収して後述する加圧板４３やウェーブワッシャ４１に伝達することを抑制する。
加圧板４３は、金属薄板による円環状の部材であって、振動吸収材４２とウェーブワッシャ４１との間に配設されている。加圧板４３は、ウェーブワッシャ４１の押圧力を周方向において均等化して振動吸収材４２に作用させる。 The vibration absorbing material 42 is an annular member formed of a non-woven fabric such as felt, and is disposed so as to contact the Z-axis negative side surface (piezoelectric body 32) of the stator 30. The vibration absorber 42 absorbs vibrations of the stator 30 and suppresses transmission to a pressure plate 43 and a wave washer 41 described later.
The pressure plate 43 is an annular member made of a thin metal plate, and is disposed between the vibration absorbing material 42 and the wave washer 41. The pressure plate 43 equalizes the pressing force of the wave washer 41 in the circumferential direction and acts on the vibration absorbing material 42.

そして、加圧部４０は、Ｚ軸方向に弾性変形して中筒１１に装着されたウェーブワッシャ４１が、その弾性復帰力で加圧板４３および振動吸収材４２を介してステータ３０をＺ軸プラス方向に押圧する。これにより、ステータ３０の櫛歯部３１Ａの先端面が、ロータ部２０におけるロータ２２の被駆動部２２Ｂの端面に圧接する。 The pressurizing unit 40 includes a wave washer 41 that is elastically deformed in the Z-axis direction and is attached to the middle cylinder 11. Press in the direction. Thereby, the front end surface of the comb tooth portion 31 A of the stator 30 is in pressure contact with the end surface of the driven portion 22 B of the rotor 22 in the rotor portion 20.

上記のように構成された振動アクチュエータ１０は、ステータ３０における圧電体３２への駆動信号の供給によって弾性体３１の櫛歯部３１Ａの先端面に進行波を生じさせ、この進行波によってロータ２２を回転駆動する。ロータ２２はロータ保持部材２１と共に回転し（すなわちロータ部２０が回転し）、その回転力はロータ保持部材２１に植設された出力ピン２５から図１に示したカム筒５に伝達される（カム筒５を回転駆動する）。 The vibration actuator 10 configured as described above generates a traveling wave on the front end surface of the comb tooth portion 31A of the elastic body 31 by supplying a driving signal to the piezoelectric body 32 in the stator 30, and the traveling wave causes the rotor 22 to move. Rotation drive. The rotor 22 rotates together with the rotor holding member 21 (that is, the rotor portion 20 rotates), and the rotational force is transmitted from the output pin 25 implanted in the rotor holding member 21 to the cam cylinder 5 shown in FIG. The cam cylinder 5 is driven to rotate).

つぎに、図４〜図６を参照して、加圧部４０におけるウェーブワッシャ４１の中筒１１への装着構造について説明する。
図４は、ウェーブワッシャ４１の中筒１１への装着構造を説明する図である。図５は、ウェーブワッシャ４１の斜視図である。図６は、ウェーブワッシャ４１の爪部４１Ａと中筒１１の係合溝１２との関係を説明する図であって、（ａ）はウェーブワッシャ４１の平面図、（ｂ）は中筒１１を背面側（Ｚ軸マイナス側）から見た図である。 Next, with reference to FIGS. 4 to 6, a structure for mounting the wave washer 41 on the middle cylinder 11 in the pressurizing unit 40 will be described.
FIG. 4 is a view for explaining a mounting structure of the wave washer 41 to the middle cylinder 11. FIG. 5 is a perspective view of the wave washer 41. 6A and 6B are views for explaining the relationship between the claw portion 41A of the wave washer 41 and the engaging groove 12 of the middle cylinder 11, wherein FIG. 6A is a plan view of the wave washer 41, and FIG. It is the figure seen from the back side (Z-axis minus side).

ウェーブワッシャ４１の中筒１１への装着構造は、ウェーブワッシャ４１の後述する爪部４１Ａを、中筒１１に形成された係合溝１２に合致させ、ウェーブワッシャ４１を回転させることで中筒１１に装着する、いわゆるバヨネット構造である。 The mounting structure of the wave washer 41 to the middle cylinder 11 is such that a later-described claw portion 41A of the wave washer 41 is aligned with an engagement groove 12 formed in the middle cylinder 11 and the wave washer 41 is rotated to rotate the middle cylinder 11. This is a so-called bayonet structure to be attached to the sword.

ウェーブワッシャ４１は、たとえば、ＳＵＳ３０１、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ６３１、Ｃ５２１０、Ｃ１７２０等の、バネ性を有する金属薄板によって、前述したように、円環状で中心軸方向に波打った形状に形成されている。
ウェーブワッシャ４１の内周部には、中筒１１における係合溝１２に係合する爪部４１Ａが突設されている。本実施形態では、図５および図６に示すように、爪部４１Ａは、周方向に３カ所、等角度間隔（１２０°間隔）で設けられている。
爪部４１Ａは、所定幅でウェーブワッシャ４１の内径側に所定量突出している。図６（ａ）に示す爪部４１Ａの先端の径（内径：φＤ）は、図６（ｂ）に示す中筒１１における係合溝１２の底（φｄ）に対して、ガタ無く嵌合する公差に設定されている。 As described above, the wave washer 41 is formed into a ring-like shape undulating in the central axis direction by using a metal thin plate having spring properties such as SUS301, SUS304, SUS631, C5210, and C1720.
A claw portion 41 A that engages with the engagement groove 12 in the middle cylinder 11 protrudes from the inner peripheral portion of the wave washer 41. In the present embodiment, as shown in FIGS. 5 and 6, the claw portions 41A are provided at three equiangular intervals (120 ° intervals) in the circumferential direction.
The claw portion 41A has a predetermined width and protrudes by a predetermined amount toward the inner diameter side of the wave washer 41. The diameter (inner diameter: φD) of the tip of the claw portion 41A shown in FIG. 6A is fitted to the bottom (φd) of the engaging groove 12 in the middle cylinder 11 shown in FIG. Tolerance is set.

ここで、爪部４１Ａは、ウェーブワッシャ４１における波形状の谷の部位に設けられている。換言すると、ウェーブワッシャ４１は、爪部４１Ａが形成されている部位を谷として、波の山４１Ｂが形成されている。爪部４１Ａが周方向に３カ所設けられている本実施形態におけるウェーブワッシャ４１は、谷と山がそれぞれ３カ所ある３波長の波形状である。 Here, the claw portion 41 A is provided in a corrugated valley portion of the wave washer 41. In other words, the wave washer 41 has a wave peak 41 B with the region where the claw portion 41 A is formed as a valley. The wave washer 41 in the present embodiment in which three claw portions 41A are provided in the circumferential direction has a three-waveform waveform having three valleys and three peaks.

中筒１１における係合溝１２は、ウェーブワッシャ４１の爪部４１Ａと対応して、周方向に等角度間隔（１２０°間隔）で３カ所設けられている。係合溝１２は、図４に示すように、嵌入部１２Ａと、係合ロータ部１２Ｂと、係合凹部１２Ｃと、を備えている。 Three engaging grooves 12 in the middle cylinder 11 are provided at equiangular intervals (120 ° intervals) in the circumferential direction corresponding to the claw portions 41 A of the wave washer 41. As shown in FIG. 4, the engagement groove 12 includes a fitting portion 12A, an engagement rotor portion 12B, and an engagement recess 12C.

嵌入部１２Ａは、ウェーブワッシャ４１の爪部４１Ａが嵌入可能な幅で、中筒１１のＺ軸マイナス側の端面側に開放し、Ｚ軸方向プラス側には所定量入り込んで形成されている。
係合ロータ部１２Ｂは、嵌入部１２Ａの奥端から中筒１１を背面側（Ｚ軸マイナス側）から見て時計回り方向所定角度に延設されている。 12 A of insertion parts are the width | variety in which the nail | claw part 41A of the wave washer 41 can be inserted, open | release to the end surface side of the Z axis | shaft minus side of the middle cylinder 11, and are formed so that predetermined amount may enter in the Z axis direction plus side.
The engagement rotor portion 12B extends from the inner end of the insertion portion 12A at a predetermined angle in the clockwise direction when the middle cylinder 11 is viewed from the back side (Z-axis minus side).

係合凹部１２Ｃは、係合ロータ部１２Ｂにおける周方向先端部のＺ軸マイナス側の面が、Ｚ軸マイナス側に凹状に抉られて形成されている。その周方向における幅は、ウェーブワッシャ４１の爪部４１Ａが嵌入可能に設定されている。この係合凹部１２ＣのＺ軸マイナス側の面が、中筒１１に対するウェーブワッシャ４１のＺ軸方向における位置を規定する面となる。 12 C of engagement recessed parts are formed so that the surface of the front-end | tip part of the circumferential direction in the engagement rotor part 12B may be rolled concavely by the Z-axis minus side. The width in the circumferential direction is set so that the claw portion 41A of the wave washer 41 can be inserted. The surface on the negative side of the Z-axis of the engaging recess 12C is a surface that defines the position of the wave washer 41 in the Z-axis direction with respect to the middle cylinder 11.

そして、上記のような装着構造では、ウェーブワッシャ４１は、以下のようにして中筒１１に装着される。なお、ウェーブワッシャ４１の装着時には、上述したロータ部２０、ステータ３０および加圧部４０の他の構成要素は中筒１１に組み付けられている。
図４中矢印で示すように、ウェーブワッシャ４１の爪部４１Ａを中筒１１の背面側の端部からその嵌入部１２Ａに嵌め込み、係合ロータ部１２Ｂに沿って図中時計回りに回転させる。爪部４１Ａが係合凹部１２Ｃに対応する位置に至ると、爪部４１Ａは係合凹部１２Ｃに嵌まり、これによってウェーブワッシャ４１は中筒１１に回転不能として装着される。 In the mounting structure as described above, the wave washer 41 is mounted on the middle cylinder 11 as follows. When the wave washer 41 is attached, the other components of the rotor unit 20, the stator 30, and the pressurizing unit 40 described above are assembled to the middle cylinder 11.
As indicated by an arrow in FIG. 4, the claw portion 41A of the wave washer 41 is fitted into the fitting portion 12A from the rear side end portion of the middle cylinder 11, and is rotated clockwise in the drawing along the engaging rotor portion 12B. When the claw portion 41A reaches a position corresponding to the engagement recess 12C, the claw portion 41A is fitted into the engagement recess 12C, whereby the wave washer 41 is attached to the middle cylinder 11 so as not to rotate.

ここで、中筒１１に装着されたウェーブワッシャ４１のＺ軸方向における位置は、その波の山４１Ｂが加圧板４３と接触して、ウェーブワッシャ４１がＺ軸方向に所定量弾性変形するように設定されている。これにより、このウェーブワッシャ４１の弾性復帰力は、爪部４１Ａを係合凹部１２Ｃに嵌合させると共に、加圧板４３をＺ軸プラス側に押圧するように作用する。加圧板４３に作用する押圧力は、前述したように、ステータ３０をロータ部２０におけるロータ２２に圧接させる力となる。 Here, the position of the wave washer 41 attached to the middle cylinder 11 in the Z-axis direction is such that the wave crest 41B contacts the pressure plate 43 and the wave washer 41 is elastically deformed by a predetermined amount in the Z-axis direction. Is set. Thereby, the elastic restoring force of the wave washer 41 acts to fit the claw portion 41A into the engagement recess 12C and to press the pressure plate 43 to the Z-axis plus side. The pressing force acting on the pressure plate 43 is a force that presses the stator 30 against the rotor 22 in the rotor unit 20 as described above.

上記のようなウェーブワッシャ４１の中筒１１への装着構造では、ウェーブワッシャ４１の備える爪部４１Ａが中筒１１の係合溝１２に係合し、これによってウェーブワッシャ４１が中筒１１に装着される。つまり、ウェーブワッシャ４１はそれ自体で中筒１１に固定される。このため、ウェーブワッシャ４１を中筒１１に固定するための部材は不要となる。 In the mounting structure of the wave washer 41 to the middle cylinder 11 as described above, the claw portion 41A provided in the wave washer 41 engages with the engagement groove 12 of the middle cylinder 11, whereby the wave washer 41 is mounted to the middle cylinder 11. Is done. That is, the wave washer 41 is fixed to the middle cylinder 11 by itself. For this reason, the member for fixing the wave washer 41 to the middle cylinder 11 becomes unnecessary.

なお、上記実施形態では、加圧部４０における加圧部材としてのウェーブワッシャ４１は、３つの波形状を有し、その波の谷に相当する３カ所に中筒１１と係合する爪部４１Ａが設けられているものを例示している。しかし、ウェーブワッシャにおける波の数（波長）および爪部の数は、この例に限るものではない。 In the above-described embodiment, the wave washer 41 as a pressurizing member in the pressurizing unit 40 has three wave shapes, and the claw portions 41A that engage with the middle cylinder 11 at three locations corresponding to the wave valleys. Is provided. However, the number of waves (wavelength) and the number of claw portions in the wave washer are not limited to this example.

爪部は、ウェーブワッシャが中筒に安定的に装着されるためには３カ所以上、周方向に等角度間隔で配置されることが好ましく、これに対して波の数は爪部の数と同じか２倍、３倍等の整数倍とする。つまり、爪部の間に１以上の波の山が存在するように設定する。これにより、バネ力を円周方向に均一化することができる。
図７に示すウェーブワッシャ４１１は、爪部４１１Ａが６カ所周方向に等角度間隔（６０°間隔）で設けられ、波の数（波長）が６波長の例である。爪部４１１Ａは、各波長の谷の位置に設けられている。
また、接触部となる山の部分は、弾性体３１に発生する振動波の整数倍である。 The claw portions are preferably arranged at equal angular intervals in the circumferential direction in order to stably attach the wave washer to the inner cylinder, whereas the number of waves is equal to the number of claw portions. Same or an integer multiple such as 2 or 3 times. That is, it is set so that one or more wave peaks exist between the claws. Thereby, the spring force can be made uniform in the circumferential direction.
A wave washer 411 shown in FIG. 7 is an example in which claw portions 411A are provided at six angular intervals (60 ° intervals) in the circumferential direction, and the number of waves (wavelength) is six wavelengths. The claw portion 411A is provided at the valley position of each wavelength.
Further, the peak portion that becomes the contact portion is an integral multiple of the vibration wave generated in the elastic body 31.

また、加圧部４０における加圧部材は、ウェーブワッシャに限らず、皿バネや歯付バネを用いても良い。図８は、皿バネの例を示す。図９は、歯付バネの例であって、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）は平面図である。
図８に示す皿バネ４１２は、爪部４１２Ａが６カ所の例である。爪部４１２Ａは、周方向に等角度間隔（６０°間隔）で設けられる。このような皿バネ４１２を用いれば、相手部材（加圧板４３）を円周状に押圧することができるため、一層均質的な押圧力を得ることができる。 Further, the pressure member in the pressure unit 40 is not limited to a wave washer, and a disc spring or a toothed spring may be used. FIG. 8 shows an example of a disc spring. FIG. 9 is an example of a toothed spring, where (A) is a perspective view and (B) is a plan view.
The disc spring 412 shown in FIG. 8 is an example having six claw portions 412A. The claw portions 412A are provided at equiangular intervals (60 ° intervals) in the circumferential direction. If such a disc spring 412 is used, the mating member (pressure plate 43) can be pressed circumferentially, so that a more uniform pressing force can be obtained.

図９に示すような歯付バネでは、歯は周方向に等角度間隔に配置され、その数は爪部の整数倍であることが、変形が均質化できるため好ましい。また、歯の数はステータの進行波の波数の整数倍であるとどの進行波も同じように波頭がロータに接することができるので効果的である。
最適の歯数は、爪部の数ｍ、進行波の波数ｎ、としたときのｍとｎの最小公倍数およびその整数倍である。図９に示す歯付バネ４１３は、爪部４１３Ａの数ｍ＝６、進行波の波数ｎ＝８、の場合であって、歯４１３Ｂの数を２４としたものである。
爪部４１３Ａは、周方向に等角度間隔（６０°間隔）で設けられる。また、歯４１３Ｂは、周方向に等角度間隔（１５°間隔）で設けられる。 In the toothed spring as shown in FIG. 9, it is preferable that the teeth are arranged at equiangular intervals in the circumferential direction, and the number thereof is an integral multiple of the claw portion, since the deformation can be homogenized. Further, if the number of teeth is an integral multiple of the number of traveling waves of the stator, any traveling wave can be effectively contacted with the rotor in the same way.
The optimum number of teeth is the least common multiple of m and n and an integer multiple thereof, where n is the number of nail portions and n is the number of traveling waves. The toothed spring 413 shown in FIG. 9 is a case where the number of claw portions 413A is m = 6 and the number of traveling waves is n = 8, and the number of teeth 413B is 24.
The claw portions 413A are provided at equiangular intervals (60 ° intervals) in the circumferential direction. The teeth 413B are provided at equiangular intervals (15 ° intervals) in the circumferential direction.

（第２実施形態）
つぎに、本発明をロータ加圧構造の振動アクチュエータ適用した第２実施形態を、図１０〜図１３を参照して説明する。
図１０は、加圧部材としてウェーブワッシャ４１０を用いた第２実施形態における振動アクチュエータ１１０の外観斜視図である。
図１１は、図１０に示す振動アクチュエータ１１０の縦断面図である。
図１２は、加圧部材として皿バネ４２０を用いた第２実施形態における振動アクチュエータ１２０の外観斜視図である。
図１３は、図１２に示す振動アクチュエータ１２０の縦断面図である。 (Second Embodiment)
Next, a second embodiment in which the present invention is applied to a vibration actuator having a rotor pressure structure will be described with reference to FIGS.
FIG. 10 is an external perspective view of the vibration actuator 110 in the second embodiment using the wave washer 410 as the pressure member.
FIG. 11 is a longitudinal sectional view of the vibration actuator 110 shown in FIG.
FIG. 12 is an external perspective view of the vibration actuator 120 according to the second embodiment using a disc spring 420 as a pressure member.
FIG. 13 is a longitudinal sectional view of the vibration actuator 120 shown in FIG.

なお、前述した第１実施形態における振動アクチュエータ１０と同機能の構成要素には、同符号を付して説明は省略する。また、振動アクチュエータ１０のカメラ１およびレンズ鏡筒３への適用は、第１実施形態と同様である。 In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the component of the function same as the vibration actuator 10 in 1st Embodiment mentioned above, and description is abbreviate | omitted. The application of the vibration actuator 10 to the camera 1 and the lens barrel 3 is the same as in the first embodiment.

図１０および図１１に示す振動アクチュエータ１１０は、中筒１１の外周に、加圧部材としてウェーブワッシャ４１０と、ロータ部２０と、ステータ３０とが、Ｚ軸マイナス方向に向かって直列に配設されている。本構成の振動アクチュエータ１１０は、Ｚ軸方向に移動不能なステータ３０に、ロータ部２０を加圧部４００によって圧接させる。
中筒１１のＺ軸マイナス側の端部には、大径のフランジ部１１Ｂが形成されている。
中筒１１のＺ軸プラス側の端部には、ウェーブワッシャ４１０が装着される係合溝１２が形成されている。係合溝１２は、ウェーブワッシャ４１０の爪部４１０Ａと対応して周方向に等角度間隔で６カ所設けられている。 In the vibration actuator 110 shown in FIGS. 10 and 11, a wave washer 410, a rotor unit 20, and a stator 30 as pressure members are arranged in series on the outer periphery of the middle cylinder 11 in the negative direction of the Z axis. ing. The vibration actuator 110 having this configuration brings the rotor portion 20 into pressure contact with the stator 30 immovable in the Z-axis direction by the pressurizing portion 400.
A large-diameter flange portion 11 B is formed at the end on the negative side of the Z axis of the middle cylinder 11.
An engagement groove 12 in which the wave washer 410 is mounted is formed at the end on the Z axis plus side of the middle cylinder 11. The engagement grooves 12 are provided at six locations at equal angular intervals in the circumferential direction corresponding to the claw portions 410A of the wave washer 410.

ステータ３０は、中筒１１におけるフランジ部１１ＢのＺ軸プラス側に振動吸収材１３を挟んで配置され、Ｚ軸マイナス側には移動不能となっている。
ロータ部２０は、軸受け２７を介して中筒１１に回転自在に装着されたロータ保持部材２１と、当該ロータ保持部材２１のＺ軸マイナス側に保持されたロータ２２と、両者の間に介設された防振材２３と、により構成されている。 The stator 30 is disposed with the vibration absorbing material 13 sandwiched between the Z axis plus side of the flange portion 11B of the middle cylinder 11 and cannot move to the Z axis minus side.
The rotor unit 20 includes a rotor holding member 21 that is rotatably attached to the middle cylinder 11 via a bearing 27, a rotor 22 that is held on the Z axis minus side of the rotor holding member 21, and an intervening portion therebetween. The anti-vibration material 23 is made up of.

加圧部材としてウェーブワッシャ４１０は、前述した第１実施形態において説明した図７に示すウェーブワッシャ４１１と同様に、爪部４１０Ａ（図１０には表れていない）が６カ所周方向に等角度間隔（６０°間隔）で設けられ、波の数（波長）が６波長のものである。爪部４１０Ａは、各波長の谷の位置に設けられている。 The wave washer 410 as a pressing member is provided with six claw portions 410A (not shown in FIG. 10) at equiangular intervals in the circumferential direction, similarly to the wave washer 411 shown in FIG. 7 described in the first embodiment. The number of waves (wavelength) is 6 wavelengths. The claw portion 410A is provided at the valley position of each wavelength.

ウェーブワッシャ４１０は、その爪部４１０Ａが中筒１１のＺ軸プラス側の端部に形成された係合溝１２に係合して中筒１１に装着され、図１１中矢印で示すように、軸受け２７を押圧するように設けられている。ウェーブワッシャ４１０の押圧力は、軸受け２７を介してロータ２２に作用し、ロータ２２をステータ３０に圧接させる。 The wave washer 410 is attached to the middle cylinder 11 with its claw portion 410A engaging with the engagement groove 12 formed at the end on the Z axis plus side of the middle cylinder 11, as indicated by the arrow in FIG. It is provided so as to press the bearing 27. The pressing force of the wave washer 410 acts on the rotor 22 via the bearing 27 to bring the rotor 22 into pressure contact with the stator 30.

図１２および図１３に示す振動アクチュエータ１２０は、加圧部材として皿バネ４２０を用いたものである。
皿バネ４２０は、前述した第１実施形態において説明した図８に示す皿バネ４１２と同様に、爪部４２０Ａ（図１２には表れていない）が６カ所周方向に等角度間隔（６０°間隔）で設けられたものである。 The vibration actuator 120 shown in FIGS. 12 and 13 uses a disc spring 420 as a pressure member.
The disc spring 420 has six claw portions 420A (not shown in FIG. 12) at equal angular intervals (60 ° intervals) in the same manner as the disc spring 412 shown in FIG. 8 described in the first embodiment. ).

皿バネ４２０は、その爪部４２０Ａが中筒１１のＺ軸プラス側の端部に形成された係合溝１２に係合して中筒１１に装着され、図１３中矢印で示すように、軸受け２７を押圧するように設けられている。ウェーブワッシャ４１０の押圧力は、軸受け２７を介してロータ２２に作用し、ロータ２２をステータ３０に圧接させる。 The disc spring 420 is attached to the middle cylinder 11 with its claw portion 420A engaging with the engagement groove 12 formed at the end on the Z-axis plus side of the middle cylinder 11, as shown by the arrow in FIG. It is provided so as to press the bearing 27. The pressing force of the wave washer 410 acts on the rotor 22 via the bearing 27 to bring the rotor 22 into pressure contact with the stator 30.

以上、本実施形態によると、以下の効果を有する。
（１）本実施形態に係る振動アクチュエータ１０では、ロータ２２とステータ３０とを圧接させる加圧部材としてのウェーブワッシャ４１は、その備える爪部４１Ａが中筒１１に形成された係合溝１２に係合することで、中筒１１に装着される。これにより、ウェーブワッシャ４１を固定するための部材が不要となり、部品点数の削減によってコストを低減できると共に、小型化も可能となる。 As described above, this embodiment has the following effects.
(1) In the vibration actuator 10 according to the present embodiment, the wave washer 41 as a pressurizing member that press-contacts the rotor 22 and the stator 30 is provided in the engagement groove 12 in which the claw portion 41 A is provided in the middle cylinder 11. By being engaged, it is attached to the middle cylinder 11. As a result, a member for fixing the wave washer 41 is not required, the cost can be reduced by reducing the number of parts, and the size can be reduced.

（２）ウェーブワッシャ４１の爪部４１Ａの先端の径と、中筒１１における係合溝１２の底の径とは、ガタ無く嵌合する所定の嵌合公差に設定されている。このため、ウェーブワッシャ４１は治具等を要することなく中筒１１の中心と芯が合った状態で装着される。これにより、組み立てが簡単となり、組み立て工数の削減によるコスト低減が可能となる。 (2) The diameter of the tip of the claw portion 41A of the wave washer 41 and the diameter of the bottom of the engagement groove 12 in the middle cylinder 11 are set to a predetermined fitting tolerance for fitting without play. For this reason, the wave washer 41 is mounted in a state where the center of the middle cylinder 11 is aligned with the core without requiring a jig or the like. As a result, the assembly is simplified and the cost can be reduced by reducing the number of assembly steps.

（３）ウェーブワッシャ４１は中筒１１の中心と芯が合った状態で装着されるため、ウェーブワッシャ４１によって加圧する径位置が周方向すべての点で一致する。これにより、ステータ３０とロータ２２の摩擦が円周方向のどの位置でも均質化し、回転ムラが小さくなる。また、ステータ３０の進行波がロータ２２に均質に伝わるため電力が下がり、効率が改善する。さらに、低速での進行波の伝達が効率的に行われるため、起動性が向上する。 (3) Since the wave washer 41 is mounted in a state where the center of the middle cylinder 11 is aligned with the core, the radial position of pressure applied by the wave washer 41 coincides at all points in the circumferential direction. Thereby, the friction between the stator 30 and the rotor 22 is homogenized at any position in the circumferential direction, and the rotation unevenness is reduced. Further, since the traveling wave of the stator 30 is uniformly transmitted to the rotor 22, the power is reduced and the efficiency is improved. Furthermore, since the traveling wave is efficiently transmitted at a low speed, the startability is improved.

（４）ウェーブワッシャ４１は中筒１１の中心と芯が合った状態で装着されて、爪部１４Ａ以外の部位が中筒１１と接触することがない。このため、駆動時にステータ３０の振動が伝達されて振動するウェーブワッシャ４１の内周が中筒１１の外周面と干渉することによる音の発生がなく、静寂性を向上できる。また、音発生を防ぐための余計な部品やその組立工程も不要となり、コスト低減が可能となる。
（５）中筒１１は、ポリカーボネート等の樹脂によって形成されているため、万一振動するウェーブワッシャ４１の内周が当接しても、音の発生を抑制できる。 (4) The wave washer 41 is mounted in a state where the center of the middle cylinder 11 is aligned with the core, and parts other than the claw portions 14A do not come into contact with the middle cylinder 11. For this reason, no noise is generated due to the inner circumference of the wave washer 41 that vibrates when the vibration of the stator 30 is transmitted during driving, and the silence can be improved. In addition, unnecessary parts and assembly processes for preventing the generation of sound are not required, and the cost can be reduced.
(5) Since the middle cylinder 11 is formed of a resin such as polycarbonate, the generation of sound can be suppressed even if the inner periphery of the wave washer 41 that vibrates is in contact.

（変形形態）
以上、説明した実施形態に限定されることなく、以下に示すような種々の変形や変更が可能であり、それらも本発明の範囲内である。
（１）本実施形態では、ウェーブワッシャ４１の爪部４１Ａが係合する中筒１１の係合溝１２は、爪部４１Ａが嵌入することでその周方向移動を規制する係合凹部１２Ｃを備えている。しかし、爪部４１Ａは、ウェーブワッシャ４１の弾性復帰力で係合ロータ部１２Ｂの壁面に圧接されて、その摩擦力が回転方向の移動を規制するため、この係合凹部１２Ｃを設けない構成も可能である。 (Deformation)
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications and changes as described below are possible, and these are also within the scope of the present invention.
(1) In this embodiment, the engagement groove 12 of the middle cylinder 11 with which the claw portion 41A of the wave washer 41 engages is provided with an engagement recess 12C that restricts the circumferential movement of the claw portion 41A. ing. However, the claw portion 41A is pressed against the wall surface of the engagement rotor portion 12B by the elastic return force of the wave washer 41, and the frictional force restricts the movement in the rotation direction. Is possible.

（２）また、中筒１１とウェーブワッシャ４１とを接着剤によって接着し、ウェーブワッシャ４１の回転を規制する構成としても良い。
（３）ウェーブワッシャ４１には、外周部に突起または切り欠きを設けたり穴を形成し、中筒１１への装着時に工具による回転操作を可能とする構成としても良い。これにより、組立性を向上させることができる。 (2) The middle cylinder 11 and the wave washer 41 may be bonded with an adhesive to restrict the rotation of the wave washer 41.
(3) The wave washer 41 may have a configuration in which a protrusion or a cutout is formed on the outer peripheral portion or a hole is formed so that a rotation operation with a tool can be performed when the wave washer 41 is attached to the middle cylinder 11. Thereby, assembly property can be improved.

（４）上記実施形態は、中空状の中筒を中心とする振動アクチュエータについて説明したが、本発明はこれに限らず、中心軸が回転する振動アクチュエータにも適用可能なものである。
なお、実施形態及び変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。また、本発明は以上説明した実施形態によって限定されることはない。 (4) In the above-described embodiment, the vibration actuator centered on the hollow inner cylinder has been described. However, the present invention is not limited to this and can be applied to a vibration actuator whose center axis rotates.
In addition, although embodiment and a deformation | transformation form can also be used in combination as appropriate, detailed description is abbreviate | omitted. Further, the present invention is not limited to the embodiment described above.

１：カメラ、１０：振動アクチュエータ、１１：中筒、１２：係合溝、１２Ｃ：係合凹部、２０：ロータ部、２１：ロータ保持部材、２２：ロータ、３０：ステータ、３１：弾性体、３２：圧電体、４０：加圧部、４１：ウェーブワッシャ、４１Ａ：爪部、４１Ｂ：波の山、４２：振動吸収材、１１０：振動アクチュエータ、１２０：振動アクチュエータ、４１０：ウェーブワッシャ、４１０Ａ：爪部、４１１：ウェーブワッシャ、４１１Ａ：爪部、４１２：皿バネ、４１２Ａ：爪部、４１３：歯付バネ、４１３Ａ：爪部、４１３Ｂ：歯、４２０：皿バネ、４２０Ａ：爪部 1: camera, 10: vibration actuator, 11: middle cylinder, 12: engagement groove, 12C: engagement recess, 20: rotor portion, 21: rotor holding member, 22: rotor, 30: stator, 31: elastic body, 32: Piezoelectric body, 40: Pressurizing part, 41: Wave washer, 41A: Claw part, 41B: Crest of wave, 42: Vibration absorber, 110: Vibration actuator, 120: Vibration actuator, 410: Wave washer, 410A: Claw part, 411: Wave washer, 411A: Claw part, 412: Disc spring, 412A: Claw part, 413: Toothed spring, 413A: Claw part, 413B: Teeth, 420: Disc spring, 420A: Claw part

Claims

A cylindrical base,
An actuator portion disposed on an outer periphery of the base portion,
The actuator part is
A vibrating portion including an electromechanical transducer;
A rotating part that rotates relative to the vibrating part;
A pressurizing unit for press-contacting the vibrating unit and the rotating unit;
With
The pressure part has a plurality of claw parts,
The base portion has an engaging portion that bayonet-couples to the claw portion;
Vibration actuator characterized by

The vibration actuator according to claim 1,
The pressurizing part has an annular shape, and the claw part is provided on the inner diameter side of the pressurizing part;
Vibration actuator characterized by

The vibration actuator according to claim 1 or 2,
Having a vibration-absorbing material in contact with the electromechanical transducer,
The pressurizing part presses the electromechanical transducer through the vibration-absorbing material;
Vibration actuator characterized by

The vibration actuator according to any one of claims 1 to 3,
A rotor holding member for holding the rotating part;
The pressurizing unit presses the rotating unit via the rotor holding member;
Vibration actuator characterized by

The vibration actuator according to any one of claims 1 to 4,
The number of the claw portions is an integer of 3 or more;
Vibration actuator characterized by

The vibration actuator according to any one of claims 1 to 5,
The pressure part is a wave washer in which one of the waves is a contact part with another member and the other is a non-contact part,
The claw portion is provided in the non-contact portion;
Vibration actuator characterized by

The vibration actuator according to claim 6,
The contact portion of the wave washer is an integral multiple of the claw portion;
Vibration actuator characterized by

The vibration actuator according to claim 6 or 7,
The contact portion is an integral multiple of the number of vibration waves generated in the vibration portion;
Vibration actuator characterized by

The vibration actuator according to any one of claims 1 to 5,
The pressure part is a disc spring;
Vibration actuator characterized by

The vibration actuator according to any one of claims 1 to 5,
The pressure part is a toothed spring having a tooth part that is an integral multiple of the claw part;
Vibration actuator characterized by

The vibration actuator according to claim 9 or 10,
The number of teeth of the pressure part is an integer multiple of 1 or more of the least common multiple of m and n, where m is the number of the claw parts and n is the number of vibration waves generated in the vibration part,
Vibration actuator characterized by

The vibration actuator according to any one of claims 1 to 11,
The radial direction of the pressurizing part and the base part is positioned by the radial end face of the claw part and the radial end face of the engaging part of the base part,
Vibration actuator characterized by

The vibration actuator according to any one of claims 1 to 12, wherein the base portion is a resin.
Vibration actuator characterized by

The vibration actuator according to any one of claims 1 to 13,
The base portion restricts movement of the pressurizing portion in the rotation direction of the rotating portion by stepped bayonet coupling;
Vibration actuator characterized by

An optical apparatus comprising the vibration actuator according to claim 1.