JP2010242207A - Dcアークプラズマcvd装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】均一な成膜を行うことができるDCアークプラズマCVD装置を提供する。
【解決手段】DCアークプラズマCVD装置1は、プラズマガン4及び陽極部5と、反応容器3と、を備え、プラズマガン4及び陽極部5は、プラズマPを発生させ、反応容器3は、プラズマガン4及び陽極部5が互いに対向するように取り付けられると共に発生させたプラズマPをその内部で囲うように設けられた反応室6と、反応室6に隣接しその内部に基板2が配置される成膜室7と、を含んでいる。反応室6と成膜室7との間の対向壁部8cには、プラズマPによって活性化させた原料ガスが通過する孔が複数形成され、反応室6の壁部8は、絶縁体で構成されている。このDCアークプラズマCVD装置1によれば、反応室6の壁部8に電流が流れ込んで放電空間内の電流密度が不均一になるのを抑制でき、成膜速度のばらつきを防止できる。
【選択図】図1
【解決手段】DCアークプラズマCVD装置1は、プラズマガン4及び陽極部5と、反応容器3と、を備え、プラズマガン4及び陽極部5は、プラズマPを発生させ、反応容器3は、プラズマガン4及び陽極部5が互いに対向するように取り付けられると共に発生させたプラズマPをその内部で囲うように設けられた反応室6と、反応室6に隣接しその内部に基板2が配置される成膜室7と、を含んでいる。反応室6と成膜室7との間の対向壁部8cには、プラズマPによって活性化させた原料ガスが通過する孔が複数形成され、反応室6の壁部8は、絶縁体で構成されている。このDCアークプラズマCVD装置1によれば、反応室6の壁部8に電流が流れ込んで放電空間内の電流密度が不均一になるのを抑制でき、成膜速度のばらつきを防止できる。
【選択図】図1
Description
本発明は、DCアーク放電を利用したプラズマを利用するDCアークプラズマCVD装置に関する。
従来のDCアークプラズマCVD装置としては、例えば特許文献1記載のものが知られている。このようなDCアークプラズマCVD装置においては、金属等の導体で構成された反応容器内に基板が配置され、この反応容器の壁部に互いに対向するよう取り付けられた陰極部及び陽極部によってプラズマが発生される。そして、このプラズマで活性化された原料ガスが基板上に堆積され、その結果、基板上に成膜が行われる。
しかしながら、上記のDCアークプラズマCVD装置では、陰極部から放出された電子が反応容器へ移動する、すなわち、該反応容器に電流が流れ込む場合があり、放電空間において陰極部側と陽極部側とで電流密度に差が生じてしまうおそれがある。その結果、基板上において成膜速度が陰極部側と陽極部側とでばらついてしまい、均一な成膜を行うことが困難となるという問題がある。特に、陰極部と陽極部との放電距離が長くなるほど電流密度の差が大きくなり易いため、かかる問題は顕著となる。
そこで、本発明は、均一な成膜を行うことができるDCアークプラズマCVD装置を提供することを課題とする。
上記課題を解決するため、本発明に係るDCアークプラズマCVD装置は、DCアーク放電を利用したプラズマによって原料ガスを活性化させ、基板上に成膜を行うためのDCアークプラズマCVD装置であって、プラズマを発生させるための陰極部及び陽極部と、陰極部及び陽極部が互いに対向するように取り付けられると共に、発生するプラズマをその内部で囲うように設けられた反応室と、反応室に隣接しその内部に基板が配置される成膜室と、を含む反応容器と、を備え、反応室と成膜室との間の壁部には、プラズマによって活性化された原料ガスが通過する孔が複数形成されており、反応室の壁部において内面を含む少なくとも一部は、絶縁体で構成されていることを特徴とする。
このDCアークプラズマCVD装置では、反応室がプラズマをその内部で囲うように設けられている。そして、この反応室の壁部において内面を含む少なくとも一部は、絶縁体で構成されている。よって、反応室の壁部に電流が流れ込んで放電空間内の電流密度が不均一になるのを抑制することができ、成膜速度のばらつきを防止することが可能となる。その結果、基板上に均一な成膜を行うことができる。
ここで、反応室には、陰極部及び陽極部が複数対設けられていることが好ましい。この場合、陰極部及び陽極部の各対で発生させたプラズマのそれぞれが反応室にて1つに混合され、各プラズマの特性が平均化されることになる。
また、反応室は、複数設けられていることが好ましい。このように反応室が複数設けられていると、発生させるプラズマの特性を反応室ごとに個別制御することが可能となる。
本発明によれば、均一な成膜を行うことが可能となる。
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、以下の説明においては同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。
まず、本発明の第1実施形態について説明する。図1は本発明の第1実施形態に係るDCアークプラズマCVD装置を示す概略断面図、図2は図1のII−II線に沿っての断面図、図3は図1のIII−III線に沿っての断面図である。
図1〜3に示すように、本実施形態のDCアークプラズマCVD装置1は、DCアーク放電を利用したプラズマによって原料ガスを活性化させ、基板2上に成膜を行うためのCVD(Chemical Vapor Deposition:化学的気相成長法)装置である。ここでは、基板2として、平板状のガラス基板を用い、原料ガスとして、SiH4(モノシラン)を用いている。なお、上記の「DC」とは、電流方式が直流(Direct Current)であることを意味しており、また、ここでの「原料ガス」には、プロセスガス(希釈ガス)であるH2を含むものを意図している。
このDCアークプラズマCVD装置1は、直方体形状の反応容器3と、プラズマPを発生させるためのプラズマガン(陰極部)4及び陽極部5と、を備えている。反応容器3は、例えばステンレス等で形成され、グランドに接地されている。この反応容器3は、その内部が反応室6と成膜室7とに画成されて構成されている。
図1に示すように、反応室6は、プラズマPを生成するための空間を構成するものであって、反応容器3内の略中央において長手方向(図1の左右方向)の一端から他端に亘る四角筒状の区画である。この反応室6は、壁部8で画成されている。反応室6の壁部8は、例えばガラスやセラミック等の絶縁体で構成されている。
成膜室7は、基板2の主面2a上に成膜を行うための空間を構成するものであって、反応容器3内において反応室6に隣接する該反応室6以外の区画である。この成膜室7は、反応容器3の外壁部9と反応室6の壁部8とで画成されている。成膜室7の内部には、成膜条件を制御するものとして平板状のヒータ10が配置されている。成膜室7の内部においては、基板2の主面2aが反応室6の壁部8に対向するようにして、基板2がヒータ10上に配置されている。また、反応容器3における基板2側の外壁部9aには、反応容器3内を真空引きするための真空ポンプ12が設けられている。
プラズマガン4及び陽極部5は、例えば、圧力勾配型のプラズマ源等が用いられ、水素(H2)ガスを放電ガスとしている。プラズマガン4及び陽極部5は、反応室6における一端側の壁部8a及び他端側の壁部8bにて互いに対向するようそれぞれ取り付けられている。また、ここでは、プラズマガン4及び陽極部5は、基板2の主面2aに沿う方向に並ぶように2対設けられている(図2参照)。
これらプラズマガン4及び陽極部5は、互いの間で放電することで、プラズマPを反応室6の壁部8で囲われるよう発生させる。つまり、反応室6は、発生させたプラズマPをその内部で囲うように構成されている。また、プラズマガン4及び陽極部5は、直流電源13に接続され該直流電源13から直流電流が印加されるようになっている。
なお、プラズマガン4及び陽極部5それぞれの周辺には、磁場を発生させるための磁場発生コイル14が配置されている。この磁場発生コイル14では、プラズマガン4から放出された電子が反応室6の壁部8に到達しないように電子の進行方向が制御され、放電維持及び安定化が図られている。ちなみに、プラズマガン4及び陽極部5は、反応容器3の外壁部9に対しては絶縁された状態とされている。
図4は、図1のDCアークプラズマCVD装置における対向壁部を示す拡大断面図である。反応室6の壁部8において基板2に対向する対向壁部(壁部)8cは、図4に示すように、所定の隙間を有して互いに積層された積層構造を有している。具体的には、対向壁部8cは、内側から外側に向かって、内側対向壁部8c1、中間対向壁部8c2及び外側対向壁部8c3をこの順に含んで構成されている。内側対向壁部8c1、中間対向壁部8c2及び外側対向壁部8c3のそれぞれには、互いに連通しないように互い違いに設けられた内孔h1、中孔h2及び外孔h3が、それぞれ複数設けられている。また、内側対向壁部8c1と中間対向壁部8c2との間には、原料ガス供給手段としてのガス供給管15(図1参照)が接続されている。
このような対向壁部8cでは、内側対向壁部8c1と中間対向壁部8c2との間に供給された原料ガスが成膜室7に向けて中孔h2及び外孔h3を段階的に通過する間に、内孔h1を通るプラズマPによって確実に活性化させることができ、よって、供給された原料ガスがそのまま成膜室7へ流入するのが防止されることになる。
以上のように構成されたDCアークプラズマCVD装置1においては、図1に示すように、直流電源13によりプラズマガン4及び陽極部5に直流電流を印加して放電を行い、反応室6内にてプラズマPを発生させる。併せて、ガス供給管15から原料ガスが供給する共に、真空ポンプ12を稼動する。これにより、プラズマPによって原料ガスが活性化し、この活性化ガス(ここでは、SiH3)が外孔(孔)h3を介して成膜室7へと流入し、基板2の主面2aに到達して堆積する。その結果、基板2の主面2a上に、薄膜としての膜Fが形成されることになる。
ところで、図8に示すように、従来のDCアークプラズマCVD装置50では、反応容器3内に基板2を配置し、反応容器3の壁部9に互いに対向するように取り付けられたプラズマガン4及び陽極部5によってプラズマを発生させる。そして、反応容器3内に原料ガスを供給し、この原料ガスをプラズマで活性化することで、基板2上に成膜が行われる。ここで、DCアークプラズマCVD装置50では、プラズマガン4から放出された電子が反応容器3へ移動するために該反応容器3に通電されてしまい、反応容器3内においてプラズマガン4側と陽極部5側とで電流密度に差が生じることがある。
この点、本実施形態のDCアークプラズマCVD装置1では、上述したように、プラズマを反応室6で囲い、且つ、この反応室6の壁部8を絶縁体で構成している。つまり、放電空間が、絶縁体からなる反応室6で囲まれている。そのため、反応室6の壁部8ひいては反応容器3の外壁部9に通電されるのを抑制することができ、放電空間内においてプラズマガン4側と陽極部5側とで電流密度に差が生じるのを抑制する(換言すると、電子密度を一様化する)ことが可能となる。
その結果、本実施形態によれば、基板2上にてプラズマガン4側と陽極部5側とで成膜速度がばらつくのを防止でき、基板2上に均一な成膜を行うことができる。かかる効果は、DCアークプラズマCVD装置1が大型化し放電距離が長くなればなるほど顕著となる。
また、従来のDCアークプラズマCVD装置50では、高速成膜を行うべくプラズマガン4及び陽極部5に大電力を印加すると、前述のように反応容器3の外壁部9に通電されることから、異常放電が生じてしまう。これに対し、本実施形態では、反応室6の壁部8ひいては反応容器3の外壁部9に通電されるのを抑制できることから、異常放電の発生を抑制することが可能となる。その結果、異常放電に起因した印加電力の上限値を解除でき、高速成膜が可能となる。
また、図2に示すように、本実施形態では、上述のように、プラズマガン4及び陽極部5が反応室6に2対(複数対)設けられているため、プラズマガン4及び陽極部5の各対で発生させたプラズマP1,P2のそれぞれを反応室6にて1つに混合することができ、各プラズマP1,P2の特性を容易に平均化することが可能となる。
また、本実施形態では、反応室6の壁部8によってプラズマP及びイオン種を基板2に対し効果的に遮蔽できるため、膜Fへのダメージを低減することができ、膜Fの高品質化が可能となる。
なお、本実施形態では、放電維持及び安定化のため、プラズマガン4及び陽極部5それぞれの周辺に磁場発生コイル14を配置しているが、上述したように、電気的に絶縁化された空間内である反応室6内で放電が行われるため、DCアークプラズマCVD装置1を磁場発生コイル14を備えない構成にすることも可能である。
ちなみに、一般的な高周波プラズマCVD装置については、以下のことが言える。すなわち、例えば反応容器3自体が電極部として取り扱われることから、本実施形態に対して構成・作用・効果が異なる(相容れない)だけでなく、反応容器3に通電するのを防ぐという本実施形態の課題と両立しない技術思想が前提にされている。さらに、上述した電流密度差を低減する課題も有し得ないこととなる。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。なお、本実施形態の説明においては、上記第1実施形態と異なる点について主に説明する。
図5は、本発明の第2実施形態に係るDCアークプラズマCVD装置を示す図3に対応する概略断面図である。図5に示すように、本実施形態のDCアークプラズマCVD装置20は、基板21及びヒータ22をさらに備えている。基板21及びヒータ22は、成膜室7内において反応室6を介して基板2及びヒータ10に対向するように配置されている。また、成膜室7内では、基板2及び壁部8間の距離と基板21及び壁部8間の距離とが互いに等しくなるように、基板2,21がそれぞれ配置されている。
反応室6の壁部8は、基板21に対向し且つ上記対向壁部8cと同様に構成された対向壁部28cを含んでいる。また、プラズマガン4及び陽極部5(図1参照)は、基板2,21の主面2a,21aに沿う方向に並ぶように3対設けられており、プラズマガン4及び陽極部5の各対でプラズマP1,P2,P3それぞれが発生される。反応容器3における基板21側の外壁部9bには、反応容器3内を真空引きするための真空ポンプ12がさらに設けられている。
以上、本実施形態のDCアークプラズマCVD装置20においても、基板2,21上に均一な成膜を行うという上記作用効果が奏される。さらに、本実施形態では、複数の基板2,21上に成膜を同時に行うことができる。
次に、本発明の第3実施形態について説明する。なお、本実施形態の説明においては、上記第2実施形態と異なる点について主に説明する。
図6は、本発明の第3実施形態に係るDCアークプラズマCVD装置を示す図3に対応する概略断面図である。図6に示すように、本実施形態のDCアークプラズマCVD装置30は、反応室6(図5参照)に代えて、3つ(複数)の反応室31〜33を備えている。
反応室31〜33のそれぞれは、壁部34〜36で画成され、反応容器3内の略中央において図中の紙面垂直方向の一端から他端に亘る四角筒状の区画である。反応室31〜33は、壁部34,35が互いに当接し且つ壁部35,36が互いに当接するように並設されている。
これら反応室31〜33の壁部34〜36は、例えばガラスやセラミック等の絶縁体で構成されている。反応室31〜33のそれぞれには、上記プラズマガン4及び陽極部5と同様なプラズマガン及び陽極部が、互いに対向するように一対ずつ取り付けられている。
以上、本実施形態のDCアークプラズマCVD装置30においても、基板2,21上に均一な成膜を行うという上記作用効果が奏される。さらに、本実施形態では、複数の反応室31〜33が設けられているため、例えばプラズマガン及び陽極部に印加する電力を反応室31〜33ごとに制御することで、発生させるプラズマP1,P2,P3の特性を反応室31〜33ごとに個別制御することが可能となる。
なお、本実施形態では、図7に示すように、反応室31〜33のそれぞれが円筒状の区画とされている場合もある。図7に示す例では、反応室31〜33は、壁部34〜36が互いに離間するように並設されている。このように反応室31〜33の形状を適宜構成すると、様々な形状の基板2,21に精度よく成膜を行うことができる。例えば、湾曲した主面を有する基板に対して精度よく成膜を行う場合には、反応室の壁部を主面に対応する湾曲形状とされる。
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明に係るDCアークプラズマCVD装置は、実施形態に係る上記DCアークプラズマCVD装置1,20,30に限られるものではなく、各請求項に記載した要旨を変更しない範囲で変形し、又は他のものに適用したものであってもよい。
例えば、上記実施形態は、基板2,21としてガラス基板を採用したが、基板としてシリコン基板等の半導体ウェハを採用してもよい。また、上記実施形態では、対向壁部8a,28aに原料ガスを供給したが、反応室内に原料ガスを直接供給しても勿論よい。この場合、対向壁部8a,28aは、活性化させた原料ガスが通過する孔が複数形成されていれば、積層構造を有さなくてもよい。
また、上記実施形態では、反応室6,31〜33の壁部8,34〜36全域を絶縁体で構成したが、反応室の壁部において内面を含む少なくなくとも一部が絶縁体で構成されていればよい。なお、「絶縁体」は、ほぼ絶縁体を含んでおり、上記のものに限定されず、電気(電流)を通し難い性質を有する物体を広く意味している。
1,20,30…DCアークプラズマCVD装置、2,21…基板、3…反応容器、4…プラズマガン(陰極部)、5…陽極部、6,31〜33…反応室、7…成膜室、8,34〜36…壁部、8c,28c…対向壁部(壁部)、h3…孔、P,P1,P2,P3…プラズマ。
Claims (3)
- DCアーク放電を利用したプラズマによって原料ガスを活性化させ、基板上に成膜を行うためのDCアークプラズマCVD装置であって、
前記プラズマを発生させるための陰極部及び陽極部と、
前記陰極部及び前記陽極部が互いに対向するように取り付けられると共に、発生させた前記プラズマをその内部で囲うように設けられた反応室と、前記反応室に隣接しその内部に前記基板が配置される成膜室と、を含む反応容器と、を備え、
前記反応室と前記成膜室との間の壁部には、前記プラズマによって活性化させた前記原料ガスが通過する孔が複数形成されており、
前記反応室の壁部において内面を含む少なくとも一部は、絶縁体で構成されていることを特徴とするDCアークプラズマCVD装置。 - 前記反応室には、前記陰極部及び前記陽極部が複数対設けられていることを特徴とする請求項1記載のDCアークプラズマCVD装置。
- 前記反応室は、複数設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載のDCアークプラズマCVD装置。
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