JP2010237205A - 光センサ向けの自己較正式問合わせシステム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光学式圧力センサ問合わせシステム(40)を提供する。本システムは、光学式圧力センサ(42)に光信号(46)を提供するための光源(44)と、光学式圧力センサ(42)から反射された信号(50)を受け取るための光結合器(54)と、を含む。光結合器(54)は、反射された信号(50)を分割し、かつ反射信号(50)の第1の部分(56)を第1の光検出器(60)に提供している。本システムはさらに、反射信号(50)の第2の部分(58)を受け取りかつフィルタ処理済み信号(68)を第2の光検出器(62)に提供するためのフィルタ(64)と、第1及び第2の光検出器出力信号の光強度同士の除算又は減算に基づいて圧力を取得するように構成された処理回路(70)と、を含む。処理回路(70)はさらに、光信号の波長を制御するために光源に対してフィードバック信号を提供するように構成される。
【選択図】図2
Description
Claims (10)
- 光学式圧力センサ(42)に光信号(46)を提供するための光源(44)と、
光学式圧力センサ(42)から反射された信号(50)を受け取り、該反射信号を分割し、かつ該反射信号(50)の第1の部分(56)を第1の光検出器(60)に提供するための光結合器(54)と、
前記反射信号(50)の第2の部分(58)を受け取り、フィルタ処理済み信号(68)を第2の光検出器(62)に提供するためのフィルタ(64)と、
前記第1及び第2の光検出器出力信号の光強度同士の除算又は減算に基づいて圧力を取得するように構成された処理回路(70)と、
を備える光学式圧力センサ問合わせシステム(40)であって、
該処理回路(70)はさらに光信号の波長を制御するために光源に対してフィードバック信号を提供するように構成される、光学式圧力センサ問合わせシステム(40)。 - 前記光学式圧力センサは、縞の約1/3未満の小さいキャビティギャップで動作するように構成される、請求項1記載のシステム。
- 光学式圧力センサ(42)に光信号(46)を提供するための光源(44)と、
光学式圧力センサ(42)から反射された信号(50)を受け取り、該反射信号を分割し、かつ該反射信号(50)の第1の部分(56)は高域通過フィルタ(102)にまた該反射信号(50)の第2の部分(58)は低域通過フィルタ(104)に提供するための光結合器(54)と、
前記高域通過フィルタ(102)から第1のフィルタ処理済み信号(56)を受け取るための第1の光検出器(60)と、
前記低域通過フィルタ(104)から第2のフィルタ処理済み信号(58)を受け取るための第2の光検出器(62)と、
前記第1及び第2の光検出器出力信号の光強度同士の関係に基づいて圧力を取得するように構成された処理回路(70)と、
を備える光学式圧力センサ問合わせシステム(100)。 - 前記高域通過フィルタ及び低域通過フィルタは光源のピーク波長の両側に中心をもつ周波数に設定される、請求項3記載のシステム。
- 第1と第2の光検出器の光強度同士の前記関係は減算を含む、請求項3記載のシステム。
- 光学式圧力センサ(42)に光信号(46)を提供するための光源(44)と、
光学式圧力センサ(42)から反射された信号(50)を受け取り、該反射信号を分割してフィルタ処理し、かつ該反射信号の低域通過フィルタ処理済み信号(134)を第1の光検出器(62)に提供するための3ポートフィルタ(132)と、
前記3ポートフィルタ(132)から前記反射信号(50)の高域フィルタ処理済み信号(136)を受け取るための第2の光検出器(60)と、
前記第1及び第2の光検出器出力信号の光強度同士の関係に基づいて圧力を取得するように構成された処理(70)回路と、
を備える光学式圧力センサ問合わせシステム(130)。 - 第1の光信号(168)及び第2の光信号(170)を提供するための第1の光源(162)及び第2の光源(164)と、
前記第1の光信号(168)及び第2の光信号(171)を受け取りかつ結合させた信号(172)を光学式圧力センサ(42)に提供するための第1の光結合器(166)と、
光学式圧力センサ(42)から反射された信号(50)を受け取り、該反射信号(50)を分割し、かつ該反射信号の第1の部分(56)は第1の光検出器(60)にまた該反射信号の第2の部分(58)は第2の光検出器(62)に提供するための第2の光結合器(54)と、
前記第1及び第2の光検出器出力信号の光強度同士の関係に基づいて圧力を取得するように構成された処理回路(70)と、
を備える光学式圧力センサ問合わせシステム(160)であって、
該処理回路(70)はさらに、第1及び第2の光信号の波長を制御するために第1及び第2の光源にフィードバック信号を提供するように構成される、光学式圧力センサ問合わせシステム(160)。 - 前記処理回路は基準光信号に基づいてフィードバック信号を提供するように構成される、請求項7記載のシステム。
- 前記基準光信号は前記結合させた信号を分割することによって生成される、請求項7記載のシステム。
- 光学式圧力センサに光信号を提供する工程(222)と、
前記光学式圧力センサから反射された信号を第1の信号と第2の信号に分割する工程(226)と、
第1及び第2の光検出器出力信号の光強度同士の減算に基づいて圧力を取得するためにフィルタ処理した第1の信号と第2の信号とを解析する工程(230)と
を含む光学式圧力センサを問合わせる方法(220)。
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