JP2010234518A - ガラス基板およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】生産性を向上させた上で、ガラス基板の研磨後の端面と表面および/または裏面との境界部に適正な面取り部を確実に形成すると共に、ガラス基板の端面の面性状と、当該端面の表面側および/または裏面側の境界部の面性状との関係を適切化して、ガラス基板の欠損や破損を効果的に抑止し、且つ、ガラスパーティクル等の問題をも回避する。
【解決手段】ガラス基板1の研磨処理後の端面3と表面2aおよび裏面2bとのそれぞれの境界部zの少なくとも一方に、上記の研磨処理とは異なる特定研磨処理を施すことにより面取り部4を形成すると共に、面取り部4の特定研磨面の十点平均粗さRz2が、端面3の研磨面の十点平均粗さRz1よりも小さく、且つ、面取り部4の特定研磨面の粗さ曲線要素の平均長さRSm2が、端面3の研磨面の粗さ曲線要素の平均長さRSm1よりも大きく設定する。
【選択図】図2
【解決手段】ガラス基板1の研磨処理後の端面3と表面2aおよび裏面2bとのそれぞれの境界部zの少なくとも一方に、上記の研磨処理とは異なる特定研磨処理を施すことにより面取り部4を形成すると共に、面取り部4の特定研磨面の十点平均粗さRz2が、端面3の研磨面の十点平均粗さRz1よりも小さく、且つ、面取り部4の特定研磨面の粗さ曲線要素の平均長さRSm2が、端面3の研磨面の粗さ曲線要素の平均長さRSm1よりも大きく設定する。
【選択図】図2
Description
本発明は、表面および裏面の外周端相互間に存する端面に、表面および裏面のそれぞれの外周端から板厚方向中央部にかけて外方に突出する研磨面が形成された後、さらに適所に研磨処理が施されてなるガラス基板およびその製造方法に関する。
周知のように、液晶ディスプレイ(LCD)用やプラズマディスプレイ(PDP)用に代表されるフラットパネルディスプレイ(FPD)用などのガラス基板は、FPDの大画面化などに伴って大板化が推進されているのが現状である。この種のFPD用等のガラス基板は、ダウンドロー法やフロート法等を用いてガラスメーカーで成形した後、所定の寸法に切断されて出荷されるが、そのガラス基板における表面と裏面との外周端相互間に存する切断後の端面は、破面である。そのため、後工程において欠損や破損が生じ易く、これを防止することを目的として、その端面に対して研磨による面取り加工を施すのが通例である。
この切断後のガラス基板の端面に対する面取り加工は、複数回(例えば2回)にわたる研磨処理により行われるのが有利とされている。その一例として、特許文献1(段落[0005]、[0009]等)によれば、先ず、回転軸と平行な外周面が粗度の大きい研磨面とされた補助研磨砥石を用いて、当該ガラス基板の端面の予備的な粗研磨(一次研磨)を行い、然る後、回転軸と平行な外周面が粗度の小さい凹状の研磨面とされた研磨砥石を用いて、前記粗研磨処理部の仕上げ研磨(二次研磨)を行うことが開示されている。
そして、同文献の段落[0005]に記載された研磨手法は、一次研磨および二次研磨の双方共に、ガラス基板の端面に、外方に凸状となる断面円弧形状の研磨面が形成されるように研磨処理を行うものであるのに対し、同文献の段落[0009]に記載された研磨手法は、一次研磨により、ガラス基板の端面に、外方に凸状となる断面円弧形状の研磨面が形成されるように粗研磨処理を行った後、二次研磨により、当該端面の両側角部(当該端面と表面および裏面とのそれぞれの境部)を仕上げ研磨するものである。また、同文献の段落[0009]には、二次研磨として、上下一対の仕上げ研磨用の回転砥石を、一次研磨処理後のガラス基板の端面に、45°の角度で傾斜させて圧接させることが記載されている。
一方、特許文献2によれば、熱強化処理が施された熱強化ガラス板の表面と裏面との外周端相互間に存する端面に、外方に凸状となる断面円弧形状の研磨面を形成するための研磨処理(一次研磨)を施した後、その研磨処理後の端面と表面および裏面とのそれぞれの境部に、さらに45°程度の傾斜をもって平面状の研磨面を形成するための研磨処理(二次研磨)を施すことが開示されている。また、同文献には、上記の断面円弧形状の端面の表面最大凹凸は0.05mm以下となるように仕上げられると共に、当該端面と表面および裏面との境部の表面凹凸は0.007mm以下となるように仕上げられることも開示されている。
ところで、上記の特許文献1、2に開示された研磨手法のうち、先ず、ガラス基板の端面に、外方に凸状となる断面円弧形状の研磨面を形成すべく一次研磨処理を施した後、当該端面と表面および裏面とのそれぞれの境部に、平面状の研磨面を形成すべく二次研磨処理を施す手法によれば、以下に示すような問題を有していた。
すなわち、一次研磨処理を施してガラス基板の端面に、外方に凸状となる断面円弧状の研磨面を形成した場合には、表面および裏面と、研磨後の端面との境界は、長手方向に直線状に延びる形態とはならない。具体的には、図7に平面視で示すように、一次研磨後の断面円弧状の端面3b1と、表面(または裏面)2a1との境界部z1が、凹凸形状になると共に、この境界部z1は、本来ならば直線zxで示す位置に存在するものであるが、実際には表面(または裏面)2a1の中央側に偏倚して存在することになる。
このような現象は、ガラス基板11の端面3b1の研磨時に、砥石の砥粒が、本来の境界となるべき直線zxよりも、表面(または裏面)2a1側に食い込むこと、および砥石の砥粒が、表面(または裏面)2a1側部分を剥離させることなどによって生じるものである。このような事態は、生産性の向上を図るべく、砥石をガラス基板の端面の長手方向に対して高速度で相対移動させる必要性があることによって一層顕著となって現れる。
然るに、特許文献1、2によれば、図8に縦断面で示すように、ガラス基板11の表面(または裏面)2aと端面3b1との本来的に境界となるべき上記の直線zx近辺に、砥石の砥面6b1が45°程度の傾斜をもって接触したのでは、実際の境界部z1に砥石の砥面6b1が非接触となる。そのため、砥石が、この凹凸状の境界部z1を研磨できなかったり、或いは境界部z1の一部のみを研磨できるに留まるなどして、結果的には凹凸状の境界部zが完全に研磨されず、この境界部に特定の研磨面からなる面取り部を形成できないという事態を招く。このような事態は、生産性の向上を図るべく、砥石を本来的に境界となるべき上記の直線zx近辺の長手方向に対して高速度で相対移動させる必要性がある故に、研磨量を多くすることができない場合に一層顕著となって現れる。
そして、本発明者等は、鋭意努力を重ねた結果、上記の端面に対する研磨後のガラス基板に欠損や破損が発生するのは、上記の境界部z1を起点として欠けやクラック等が発生し或いはそのクラック等が進展することに由来するものであることを知見した。そのため、特許文献1、2に開示された研磨手法では、端面研磨後の後処理工程において、ガラス基板の欠損や破損を回避することが極めて困難となる。
しかも、ガラス基板の端面研磨後に、当該端面と表面または裏面との実際の境界部が凹凸状になっていると、その部分からガラスチッピング或いはガラスパーティクルが剥離除去して、ガラス基板の有効面(ディスプレイ製造工程でパターン等の膜が形成される面)となるべき領域を有する表面に付着し、洗浄工程を経てもそれを除去できないという不具合を招く。また、端面の研磨時に発生してガラス基板の表面に付着したガラスパーティクル等が、洗浄工程において、端面と表面との凹凸状の境界部に滞留し易いと不具合をも招く。そして、これらが原因となって、乾燥工程において、ガラスパーティクル等が、ガラス基板の表面に付着した状態となり、ガラス基板の品位低下という致命的な欠陥をも招来する。
一方、特許文献2には、既述のように、端面の表面最大凹凸が0.05mm以下となるように仕上げられ、当該端面と表面および裏面との境界部の表面凹凸が0.007mm以下となるように仕上げられると記載されている。しかしながら、仮に、生産性を無視して境界部の研磨量を極めて多くして面取り部を形成したとしても、図9に示すように、端面が、粗さ曲線Y(実線)で示すような粗面状態であり、境界部(面取り部)が、粗さ曲線Z(破線)で示すような粗面状態であったのでは、後述するように意義のないものとなる。
この場合において、同文献に開示された研磨手法によれば、境界部の粗面状態を示す粗さ曲線Zが、端面の粗面状態を示す粗さ曲線Yよりも高低差が小さくなることは予測できるものの、その周期については、砥石の砥面の粗度、砥粒の軌道列数や軌道方向、その他の要素が複雑に影響を与えるものである。そのため、このような研磨手法では、境界部の粗面状態を示す粗さ曲線Zの周期は不明であって、端面の粗面状態を示す粗さ曲線Yの周期と図示のように同等、またはそれよりも短くなる可能性がある。
そのため、ガラス基板は、依然として本発明者等の知見に則して、この境界部を起点として欠けやクラック等が発生し、ガラス基板を欠損或いは破損に至らしめるおそれがあるという問題が残存すると共に、ガラスパーティクル等も依然として境界部に滞留等してガラス基板の品位を低下させるおそれがあるという問題が残存する。
本発明は、上記事情に鑑み、生産性を向上させた上で、ガラス基板の研磨後の端面と表面および/または裏面との境界部に適正な面取り部を確実に形成すると共に、ガラス基板の端面の面性状と、当該端面の表面側および/または裏面側の境界部の面性状との関係を適切なものとして、ガラス基板の欠損や破損を効果的に抑止し、且つ、ガラスパーティクル等の問題をも回避してガラス基板の品位向上を図ることを技術的課題とする。
上記技術的課題を解決するために創案された本発明に係る装置は、表面と、裏面と、表面および裏面の外周端相互間に存する端面とを有し、該端面に対して研磨処理を施すことにより表面および裏面のそれぞれの外周端から板厚方向中央部にかけて外方に突出する研磨面が形成されたガラス基板に対して、前記研磨処理後の端面と前記表面および前記裏面とのそれぞれの境界部の少なくとも一方に、前記研磨処理とは異なる特定研磨処理を施すことにより特定研磨面からなる面取り部が形成されると共に、前記面取り部の特定研磨面の十点平均粗さRz2が、前記特定研磨処理が施されていない前記端面の研磨面の十点平均粗さRz1よりも小さく、且つ、前記面取り部の特定研磨面の粗さ曲線要素の平均長さRSm2が、前記特定研磨処理が施されていない前記端面の研磨面の粗さ曲線要素の平均長さRSm1よりも大きいことに特徴づけられる。ここで、上記の「表面および裏面のそれぞれの外周端から板厚方向中央部にかけて外方に突出する研磨面」としては、断面が略円弧状の研磨面(端面)や、端面の一部としてC面取り部が形成されている場合を挙げることができる。なお、表面粗さについては、東京精密社製サーフコム590Aを用いて測定を行い、JIS B0601:2001にて、十点平均粗さRzjis(Rz1、Rz2)、および粗さ曲線要素の平均長さRSm(RSm1、RSm2)を算出するものとする(以下、同様)。
このような構成によれば、先ずガラス基板の端面のみを研磨処理することによって、当該端面と表面および裏面とのそれぞれの境界部が、平面視で凹凸状をなし且つ表面の中央側および裏面の中央側に偏倚して形成されていても、これらの少なくとも一方の境界部、すなわち必要とされる境界部には、特定研磨処理が施されることにより特定研磨面からなる面取り部が完全な態様で形成されている。したがって、従来のように実際の境界部が平面視で凹凸状をなし且つ表面および裏面の中央側に偏倚しているにも拘わらず、本来存在すべき境界部の位置に45°程度の傾斜をもって砥石を接触させていたが故に、実際の境界部に特定研磨面からなる面取り部を形成できないという不具合、特に生産性を高めた場合の当該不具合が効果的に回避される。詳述すると、境界部を起点として欠けやクラックが発生してガラス基板が欠損或いは破損すること、境界部からガラス片やガラスパーティクルが剥離除去すること、洗浄工程で境界部にガラスパーティクル等が滞留すること、および、乾燥工程でガラスパーティクル等がガラス基板の表面に付着して品位低下を招くこと等の不具合が回避される。しかも、境界部に形成された特定研磨面からなる面取り部の十点平均粗さが、特定研磨処理が施されていない端面の十点平均粗さよりも小さいのみならず、その面取り部の粗さ曲線要素の平均長さが、当該端面の粗さ曲線要素の平均長さよりも大きくされているので、上記と同様に、境界部を起点としてガラス基板が破損することや、境界部が原因となってガラスパーティクル等がガラス基板の品位を低下させる等の問題が回避される。
この場合、前記特定研磨面の十点平均粗さRz2およびRz1は、Rz2≦1.5μmであり、且つ、1.5≦Rz1/Rz2≦10.0の関係を満たすことが好ましい。
このようにすれば、上記の境界部に形成された面取り部の特定研磨面に、研磨前に存在していた微小な欠けやクラック等が残存することを効率よく排除することができ、当該境界部を起点とするガラス基板の破損等がより確実に抑止されて端面周辺の破壊強度が上昇すると共に、当該境界部でのガラスパーティクルの発生や滞留等の問題もより一層効果的に回避される。特に、Rz2≦1.5μmとして当該面取り部を略鏡面とすることにより、端面の研磨処理後に残存した凹凸の大きい部分が除去され、応力集中が生じ易い境界部の特定研磨面からなる面取り部が平坦化される。そして、端面は面取り部に比して粗面であるため、端面から面取り部を経て表面および/または裏面に至る部位の面性状は、端面側から順に、粗面、研磨鏡面、成形面等の完全鏡面となって、徐々に粗さおよび平滑度が変化することから、効果的に応力集中が抑制され、端面周辺の破壊強度が著しく向上する。そして、Rz1/Rz2が1.5未満であると、面取り部の研磨が不十分であり、面取り部を形成したことによる端面周辺の破壊強度の上昇効果が少なくなる。これに対して、Rz1/Rz2が10.0を超えると、面取り部の特定研磨処理に要する時間が長期化され、生産性が低下すると共に、面取り部と端面との粗さの差が大きくなり、この両面の境界に新たな応力集中による破損が誘起されるおそれがある。したがって、Rz1/Rz2が上記の数値範囲内にあれば、これらの不具合は生じない。
また、前記特定研磨面の粗さ曲線要素の平均長さRSm2は、RSm2≧100μmの関係を満たすことが好ましい。
このようにした場合にも、上記と同様に、当該境界部に形成された面取り部の特定研磨面には、研磨前に存在していた微小な欠けやクラック等が適切に除去され、当該境界部を起点とするガラス基板の破損等、および当該境界部でのガラスパーティクルの発生や滞留等の問題がより一層効果的に回避される。特に、RSm2≧100μmであることにより、面取り部のうねりの凹凸の間隔(周期)が大きくなり、表面積が抑えられるため、ガラスパーティクルを多く含んだ研削液の残存量が減少し、後工程でガラスパーティクルが有効面(表面)に付着するという不具合が効果的に回避される。この場合、粗さ曲線要素の平均長さの比つまりRSm1/RSm2は、0.1以上で且つ0.7以下であることが好ましい。すなわち、RSm1/RSm2が、0.1未満であると、うねりの凹凸の間隔が極めて小さい端面と、それが極めて大きい面取り部とが隣接した状態となり、両者の面性状の差が大きくなって、その両者の境界で面性状が急激に変化するため、その境界に新たな破損起点が発生する。これに対して、RSm1/RSm2が、0.7を超えると、端面と面取り部との間で、うねりの凹凸の間隔の差が小さくなり、結論的には特定研磨処理によって凹凸が効率よく除去されていないことになり、破壊強度の上昇効果が不十分となる。したがって、RSm1/RSm2が上記の数値範囲内にあれば、これらの不具合は生じない。
さらに、前記端面の長手方向と直交する断面において、表面側の境界部に形成される前記特定研磨面の表面側への接線と、前記表面とのなす角度α、および、裏面側の境界部に形成される前記特定研磨面の裏面側への接線と、前記裏面とのなす角度βは、それぞれ、10°≦α≦30°および10°≦β≦30°の関係を満たすことが好ましい。
すなわち、既述の図7および図8に示すように、端面の研磨処理のみを行うことにより、当該端面と表面および裏面とのそれぞれの境界部が、平面視で凹凸状をなし且つ表面の中央側および裏面の中央側に偏倚して形成されていても、上記の角度α、βが10°以上で且つ30°以下であれば、生産性を高めるべく僅かな研磨量で確実に特定研磨面からなる面取り部を形成することができる。この場合、上記の角度α、βが10°よりも小さいと、面取り部における当該端面側の研磨領域が狭くなり、当該端面部と表面および裏面とのそれぞれの境界部に残存している欠けやクラック或いはチッピングの特定研磨による除去が不十分となる。これに対して、上記の角度α、βが30°を超えると、境界部を含む態様で特定研磨処理を施すことが困難になる。したがって、角度α、βが上記の数値範囲内にあれば、このような不具合は生じない。このような観点から、角度α、βの下限値は15°であって、上限値は20°であることがより好ましい。
また、板厚Tおよび前記面取り部の長手方向と直交する方向の幅Wは、200μm≦T≦1500μmおよび0.07≦W/T≦0.30の関係を満たすことが好ましい。
すなわち、例えばFPD用のガラス基板は、表示面の要求品位が高く、特にガラスパーティクルは表示画像形成時の表示不良を誘起するので、数μm〜数十μmのガラスパーティクルの付着が問題となる。そのため、特に洗浄時にガラスパーティクルが発生し易い研磨後の端面と表裏面とのそれぞれの境界部の面取りによる微細化が重要となる。一方、本発明者等は、ガラス基板が端面周辺から破損する場合に、その破損起点(オリジン)が、端面のみを研磨した場合の当該端面と表裏面とのそれぞれの境界部周辺、特に境界部より端面側に100μm以内(さらには50μm以内)に集中していることを知見した。これは、その範囲内に欠けやクラック或いはチッピングが集中しているためであり、したがってこの範囲を優先的に特定研磨により除去する必要がある。その場合、W/Tが0.07未満であると、面取り部の特定研磨が不十分であり、面取り部の形成による端面強度の上昇効果が少なくなる。これに対して、W/Tが0.30を超えると、面取り部の形成に要する時間が長期化され、生産性が低下する。したがって、W/Tが上記の数値範囲内にあれば、このような不具合は生じない。このような観点から、より好ましくは、例えば板厚Tが700μmのFPD用(特にLCD用)のガラス基板の場合、上記の面取り部の幅Wは70〜140μm(0.10≦W/T≦0.20)となる。さらに、端面のみを研磨した場合の当該端面と表裏面とのそれぞれの境界部を基準位置として、その後に形成される面取り部の長手方向と直交する方向の両端の位置関係は、その基準位置から端面側の面取り端までの寸法をW1とし、その基準位置から表裏面の中央側の面取り端までの寸法をW2とした場合、W1>W2>0とすることが好ましい。このようにすれば、上記の境界部を含み且つ破損を誘起し易い端面側の研磨量が増加することになるため、効率よく端面周辺の強度を上昇させることができる。このような観点から、より好ましくは、1.3≦W1/W2≦9.0とされる。
なお、以上の構成を備えたガラス基板は、面取り部が全辺に亘って形成されていることが好ましいが、板厚の薄いガラス基板等については、面取り部の特定研磨処理の困難性を考慮して、コーナー部近傍を面取り部の形成箇所から除外してもよい。そして、端面の研磨後に面取り部の特定研磨処理を終えたガラス基板は、その後、搬送を伴って洗浄工程および検査工程に送られ、ガラスメーカーでは最終的に梱包される。また、梱包されたガラス基板は、例えばディスプレイメーカー等でFPDを製造するパネル製造工程に移送されるが、この工程においてもガラス基板の搬送を伴う。これらの搬送過程においては、ガラス基板の端面と裏面との間に上記所定の面取り部を形成しておけば、当該ガラス基板が搬送ローラ等に載せられて搬送される際に、裏面と端面との境界部を起点として欠損や破損が生じるという事態が有効に回避される。
さらに、ガラス基板の端面と裏面との間のみならず、端面と表面との間にも上記所定の面取り部を形成しておくことが、既述のガラスパーティクル対策以外に、搬送の観点からも好ましい。すなわち、搬送過程においては、複数のフォークやピン等を用いてガラス基板を持ち上げ、移載することが行われるが、特に大板の場合には、ガラス基板が重量により撓み、端面の表面側および裏面側の双方に応力集中が生じて破損に至るおそれがある。また、ガラス基板が高温になる場合には、熱応力に起因して、最も強度が小さい端面周辺、特に端面と表裏面とのそれぞれの境界部に熱応力集中が生じ易く、破損の原因となり得る。これらの事情を勘案すれば、ガラス基板の端面と表面および裏面との双方の間に上記所定の面取り部を形成することの意義が大きくなる。
一方、上記技術的課題を解決するために創案された本発明に係る方法は、上述の本発明に係るガラス基板を製造する方法であって、ガラス基板の端面に対して粗研磨処理を施した後に仕上げ研磨処理を施すことにより表面および裏面のそれぞれの外周端から板厚方向中央部にかけて外方に突出する研磨面を形成し、然る後、前記端面と前記表面および前記裏面とのそれぞれの境界部の少なくとも一方に、前記仕上げ研磨処理よりも細かい粒度を有する研磨具を用いて特定研磨処理を施すことに特徴づけられる。
このような方法によれば、ガラス基板の端面を粗研磨と仕上げ研磨とによって効率よく短時間で例えば断面略円弧状等に研磨できると共に、その後の研磨として、さらにその端面をより細かい粒度の研磨具で同形状に研磨するのではなく、その端面と表面および裏面とのそれぞれの境界部の少なくとも一方に、より細かい粒度の研磨具で面取り部を形成するものである。そのため、端面と、面取り部と、表面および/または裏面との3種の面性状を、最適なものとして、端面強度を効率よく向上させることができる。そして、好ましくは、端面の粗研磨処理を行う研磨具と、端面の仕上げ研磨処理を行う研磨具と、特定研磨処理を行う研磨具とを、同一の経路上に配設しておくことにより、各研磨具が連続して相対的に直線移動しながら各研磨処理を行っていくことができ、各面取り処理を別々に行う場合と比較して、処理時間を大幅に短縮して生産性の向上を図ることが可能となる。さらに、好ましくは、特定研磨処理を行う研磨具をスプリング等の弾性体を用いて弾性支持した状態で、上述のガラス基板の境界部に圧接させることにより、面取り部の面性状を好適なものとすることができる。
さらに、上記技術的課題を解決するために創案された本発明に係る方法は、上述の本発明に係るガラス基板を製造する方法であって、前記特定研磨処理用の研磨具として、回転軸と直交する研磨面を有する回転研磨具を使用し、且つ前記研磨面の外周部の粗度を内周部の粗度よりも小さく形成すると共に、研磨処理後の端面とガラス基板の表面および裏面とのそれぞれの境界部の少なくとも一方に対して、前記回転研磨具がその長手方向に相対的に直線移動しながら前記回転軸廻りに回転することにより、前記研磨面の外周部および内周部の双方によって前記特定研磨面からなる面取り部を形成することに特徴づけられる。
このような方法によれば、回転研磨具の研磨面(砥面)が回転軸と直交し且つ該研磨面の外周部の粗度が内周部の粗度よりも小さくされているので、この回転研磨具を上述のガラス基板の境界部に対して相対的に直線移動させつつ回転軸廻りに回転させて該境界部の特定研磨処理を行う場合には、先ず研磨面における粗度の小さい外周部によって、当該境界部の微細削り(微細研磨)が行われていわゆる「ならし」効果が得られる。これにより、ガラス基板の境界部に対する特定面取り処理の初期段階において、不当な応力集中が抑制され、且つガラス基板のばたつきに起因する欠け(初期チッピング)やクラック等の発生が抑制された上で、当該境界部に初期段階に相当する面取り面が形成される。この後、次段階として、回転研磨具が相対的に直線移動することにより、研磨面における粗度の大きい内周部が、上記の初期段階に相当する面取り面に当接して、相対的な粗研磨が行われる。この相対的粗研磨によって、研磨の進行速度が高められるため、面取り処理時間が短縮されると共に、相対的粗研磨の開始時には当該境界部が微細研磨されて上述の「ならし」が行われていることから、欠けやクラック等の発生或いはそれらの伸展を招くことなく、円滑に相対的粗研磨が開始されて進行していく。この後、最終段階として、回転研磨具がさらに相対的に直線移動することにより、研磨面における上述の粗度の小さい外周部が、相対的粗研磨を施された面取り面に当接して、仕上げ研磨が行われる。これにより、回転研磨具の振動が研磨面の移動方向後端から面取り面に作用することによる該面取り面の後端への欠けやクラック等の発生が抑止されると共に、相対的粗研磨に起因して面取り面に残存した微小な研削粉或いはガラス粉が除去されることになる。このように、単一の回転研磨具の相対的な直線移動に伴って、微細研磨(ならし)と、相対的粗研磨と、仕上げ研磨とからなる一連の研磨処理が、ガラス基板の境界部に対して順次施されることにより、欠けやクラック等の発生を抑止しつつ短時間で特定面取り処理を行うことが可能となるため、装置の簡素化および面取り部周辺の良好な品位を確保した上で、大幅な生産性の向上が図られる。なお、回転研磨具とガラス基板とは、何れか一方または双方が直線移動すればよいが、ガラス基板の境界部の長手方向の寸法が、1000mm以上という大型のガラス基板の場合には、ガラス基板を作業台上等に固定した状態で回転研磨具をその境界部の長手方向に移動させるのが有利であり、その逆の小型のガラス基板の場合には、回転研磨具を定置設置してガラス基板が研磨面を横切るように直線移動させるのが有利である。そして、好ましくは、回転研磨具をスプリング等の弾性体を用いて弾性支持した状態で、上述のガラス基板の境界部に圧接させることにより、面取り部の面性状を好適なものとすることができる。
以上のように本発明によれば、生産性の向上が図られた上で、ガラス基板の研磨後の端面と表面および/または裏面との境界部に適正な面取り部が確実に形成されると共に、ガラス基板の端面の面性状と、当該端面の表面側および/または裏面側の境界部に形成された面取り部の面性状との関係が適切化されて、ガラス基板の欠損や破損が効果的に抑止され、且つ、ガラスパーティクル等の問題も回避されてガラス基板の品位向上が図られる。
以下、本発明の実施形態を添付図面を参照して説明する。なお、以下の実施形態においては、LCD用に代表されるFPD用のガラス基板を対象とする。
図1は、本実施形態に係るガラス基板1の要部を拡大した縦断面図である。なお、同図は、ガラス基板1の表面2a側部分の形態のみを図示しているが、裏面側部分も板厚方向中心線Xを挟んで対称となる形態をなしている。同図に示すように、このガラス基板1は、平面状の表面2aと、縦断面が凸状の円弧形状をなす端面3と、表面2aと端面3との間に形成された平面状の面取り部4とを有する。
ガラス基板1の端面3は、本実施形態では粗研磨処理が施された後に仕上げ研磨処理が施された研磨面であると共に、表面2aは、成形面つまり未研磨面であり、且つ、面取り部4は、端面3の仕上げ研磨処理後に特定研磨処理が施された特定研磨面である。そして、面取り部4の特定研磨面の十点平均粗さRz2は、端面3の十点平均粗さRz1よりも小さく、且つ、面取り部4の特定研磨面の粗さ曲線要素の平均長さRSm2は、端面3の研磨面の粗さ曲線要素の平均長さRSm1よりも大きくされている。なお、表面2aは、鏡面であることから、その十点平均粗さは、面取り部4の特定研磨面の十点平均粗さRz2よりも小さく、且つ、その粗さ曲線要素の平均長さは、面取り部4の特定研磨面の粗さ曲線要素の平均長さRSm2よりも大きい。
この場合、面取り部4の特定研磨面の十点平均粗さRz2は、1.5μm以下であると共に、端面3の研磨面の十点平均粗さRz1との比であるRz1/Rz2は、1.5以上で且つ10.0以下である。また、面取り部4の特定研磨面の粗さ曲線要素の平均長さRSm2は、100μm以上であると共に、端面3の研磨面の粗さ曲線要素の平均長さRSm1との比であるRSm1/RSm2は、0.1以上で且つ0.7以下である。
さらに、図1に示す断面(端面3の長手方向と直交する断面)においては、面取り部4の表面2a側への接線Aと表面2aとのなす角度αは、10°以上で且つ30°以下(本実施形態では18°)であると共に、図示しないが、裏面側の面取り部も、その裏面側への接線と裏面とのなす角度が、10°以上で且つ30°以下(本実施形態では18°)である。
この場合、面取り部4は、端面3の研磨処理が行われたのみの状態での表面2aと端面3との境界部z周辺(図1に破線で示す部位)を、特定研磨処理により除去してなるものであり、その除去部は、境界部zから端面3側への幅W1が70μmで且つ境界部zから表面2a側への幅W2が30μmの領域である。なお、この境界部zの接線Bと表面2aとのなす角度γは、本実施形態では25°である。
さらに、このガラス基板1は、その板厚Tが、200μm以上で且つ1500μm以下であると共に、面取り部4の幅W(面取り部4の長手方向(辺に沿う方向)と直交する方向の寸法)と板厚Tとの比であるW/Tは、0.07以上で且つ0.30以下となるように設定されている。
以上のような構成を備えたガラス基板1は、以下のようにして製造される。
図2は、成形後におけるガラス原板の表面の四箇所にスクライブを入れ、且つそのスクライブ痕を起点としてガラス原板を折り割ることにより得られた略矩形のガラス基板1と、そのガラス基板1の折り割られた端面部3aを研磨処理する研磨具5とを例示している。このガラス基板1の端面部3aは、先ず第1の研磨具により粗研磨処理が行われ、次いで第2の研磨具により仕上げ研磨処理が行われる。第1の研磨具は、図2に示すように、正面視で凹状の略円弧形状をなす外周面に、メタルボンドで保持されたダイヤモンド砥粒層を取り付けてなる粗研磨用回転砥石ホイール(メタルボンドダイヤモンドホイール)である。そして、この第1研磨具を、ガラス基板1の端面部3aに押し当てた状態で、第1研磨具をガラス基板1の端面部3aの長手方向(辺に沿う方向)に相対移動させることにより粗研磨処理を行う。第2研磨具は、第1研磨具と同形状をなし、その外周面に、炭化珪素等の細かい砥粒をポリウレタン樹脂等で結合した仕上げ研磨用回転砥石ホイール(レジンボンドホイール)である。この第2研磨具は、ガラス基板1の粗研磨処理した端面部に押し当てられた状態で、上記と同様に相対移動することにより仕上げ研磨処理が行われ、その結果として図3に示すように、ガラス基板1に十点平均粗さRzjisが約1〜3μmの断面略円弧状の端面3が形成される。なお、ガラス基板1の端面3の形成は、上記のように二段階に亘る研磨処理に限らず、三段階以上に亘る研磨処理により行うようにしてもよい。
以上のようにして、ガラス基板1に断面略円弧状の端面3bが形成された場合には、その端面3bと表面2aとの境界部z、および端面3bと裏面2bとの境界部zが、平面視で既述の図7に符号z1で示すような凹凸形状となる。このような形態となった後は、ガラス基板1の境界部zに、第3研磨具6を用いて特定研磨処理を施すことにより面取り部4を形成する。この第3研磨具6は、図4に示すように、回転軸6aと直交する平面状の研磨面(砥面)6bを有し、この研磨面6bは、上記の第2研磨具よりも細かい砥粒で形成されている。なお、ガラス基板1は、端面3の周辺がせり出した状態で、作業台(定盤)7の上面にセットされる。
そして、ガラス基板1の表面2a側の境界部zと裏面2b側の境界部zとに対して、同時に2つの第3研磨具6の研磨面6bを押し当てて回転させながら、第3研磨具6をガラス基板1の境界部zの長手方向に相対移動させることにより特定研磨処理が行われる。これにより、ガラス基板1の境界部zに残存していた多数のガラスチッピング等が除去される。この場合、2つの第3研磨具6の研磨面6bと、ガラス基板1の表面2aおよび裏面2bとなす角度はそれぞれ10°以上で且つ30°以下(本実施形態では18°)に設定される。好ましくは、第3研磨具6は、図5に示すように、中央部が円形の凹部であり、その凹部を取り囲むように、粗度が相対的に小さい内周側研磨部6baと、粗度が相対的に大きい外周側研磨部6bbとが配列され、この双方の研磨部6ba、6bbによってガラス基板1の境界部zが特定研磨処理を受ける。なお、2つの第3研磨具6は、相対移動方向に対して離隔して配置される。
そして、この特定研磨処理を終えることにより、図6(および図1)に示すように、ガラス基板1の表面2aと端面3との間に境界部zを完全に除去してなる面取り部4が形成される。この面取り部4が形成されることにより、端面3の破壊強度が上昇すると共に、ガラスパーティクル或いはガラスチッピング等の問題も回避される。
本発明者等は、上述の図1に例示したガラス基板についての効果を確認すべく、本発明の実施例1〜5と比較例1〜3との対比を、以下に示すようにして行った。これらの実施例および比較例は何れについても、ガラス原板として、オーバーフローダウンドロー法で成形された日本電気硝子株式会社製OA−10を用いた。
下記の表1に示す本発明の実施例1〜3および比較例1、2については、用いる試料として、板厚が700μmのガラス原板をスクライブ痕に沿って折り割り分割することにより、短辺寸法が1500mmおよび長辺寸法が1800mmのガラス基板を得た。また、同様に、実施例4、5および比較例3については、用いる試料として、板厚が500μmのガラス原板をスクライブ痕に沿って折り割り分割することにより、短辺寸法が550mmおよび長辺寸法が670mmのガラス基板を得た。そして、これらのガラス基板の端面部に対して、断面が凸状の円弧形状をなす端面を形成するための研磨処理と、その研磨後の端面と表面および裏面とのそれぞれの境界部に面取り部を形成するための特定研磨処理とを、以下に示す手順で行った。
本発明の実施例1〜3および比較例1、2については、先ず、ガラス基板を定盤上に載置して吸着固定した状態で、図2に示す形態をなす第1研磨具としての粗研磨用回転砥石(砥粒#400)の外周面を、ガラス基板の端面部に圧接させると共に、表1に示す研削速度で直線移動させることにより、断面略円弧形状の粗面である端面部を形成した。次いで、同様に、図2に示す形態をなす第2研磨具としての仕上げ研磨用回転砥石(砥粒#1000)の外周面を、ガラス基板の粗研磨後の端面部に圧接させると共に、表1に示す研削速度で直線移動させることにより、断面略円弧形状に仕上げ研磨された端面を形成した。また、本発明の実施例4、5および比較例3については、先ず、ガラス基板を表2に示す研削速度で直線移動させながら、定位置に固定配置された図2に示す形態をなす第1研磨具としての粗研磨用回転砥石(砥粒#400)の外周面を、ガラス基板の端面部に圧接させることにより、断面略円弧形状の粗面である端面部を形成した。次いで、同様に、ガラス基板を表2に示す研削速度で直線移動させながら、定位置に固定設置された図2に示す形態をなす第2研磨具としての仕上げ研磨用回転砥石(砥粒#1000)の外周面を、ガラス基板の粗研磨後の端面部に圧接させることにより、断面略円弧形状に仕上げ研磨された端面を形成した。
この後、ガラス基板の端面と表面および裏面とのそれぞれの境界部に対して、第3研磨具で特定研磨処理を行った。第3研磨具としては、円形の基盤上に、樹脂材料にダイヤモンド砥粒を分散させてなる平板状のダイヤモンド研磨板を固定したものを使用した。なお、上記の砥粒の大きさおよび表1、2に示す砥粒の大きさは、JIS R6001:1998に準拠している。
特定研磨処理の実行に際しては、ガラス基板の表面および裏面と面取り部の接線とのそれぞれがなす角度(図1の角度α:裏面側も同様)が18°〜22°になるように、適宜第3研磨具の角度を調整した上で、第3研磨具とガラス基板との接触面に研削液(研削水)を供給した。そして、所望の面取り寸法が得られるように、第3研磨具(研磨板)を周速2000m/minで回転させながら、表1、2に示すように異なる研削速度で直線移動させ、コーナー部近傍を除くガラス基板の全外周に亘り、特定研磨処理を行った。以上のようにして、実施例1〜3および実施例4、5のガラス基板を得た。
実施例1、2、4では、第3研磨具の砥粒が#3000、実施例3、5では、第3研磨具の砥粒が#2000であるのに対して、比較例1〜3では、第3研磨具による特定研磨処理を行わずに、ガラス基板の端面部に、第1研磨具による粗研磨処理および第2研磨具による仕上げ研磨処理を行うに留めた。また、全ての実施例においては、面取り寸法(面取り幅)が60〜200μmの範囲内になるように、第3研磨具の移動速度や研削条件を選定し、試料であるガラス基板の全ての端面の表面および裏面との境界部に略平坦な面取り部を形成した。
なお、以上の実施例では、ガラス基板の端面部に略円弧状の研磨面を形成した後に、第3研磨具を使用して、端面の表面および裏面との境界部に面取り部を形成する方法を用いたが、ガラス基板を定盤上に吸着固定した状態で、同一の走行レール上に、第1研磨具、第2研磨具および第3研磨具を設置し、その走行レールに沿って同時に三種の研磨具を走行させることにより、連続的に研磨動作を完了させるようにしてもよい。このようにすれば、より短時間で全ての研磨処理が完了するため、加工効率を著しく上昇させることができ、且つ、各辺の寸法が1000mm以上である大型サイズのガラス基板の研磨処理工程において、その取り扱いが容易となる。また、サイズの小さなガラス基板については、3種の研磨具をガラス基板の辺と平行になるように設置し、ガラス基板を搬送ベルト等の搬送手段を用いて搬送させながら連続して各研磨処理を行う方法を用いてもよい。
一方、実施例1〜5および比較例1〜3の各ガラス基板については、東京精密社製サーフコム590Aを用いて、測定長5.0mmにて粗さ測定を行い、JIS B0601:2001にてガラス基板の端面および面取り部の十点平均粗さRzjis(Rz1、Rz2)、および粗さ曲線要素の平均長さRSm(RSm1、RSm2)値の各粗さパラメータを算出した。この十点平均粗さRz1、Rz2および粗さ曲線要素の平均長さRSm1、RSm2については、同一の条件で面取り処理を10枚のガラス基板に施した上で、それぞれについて10回測定し、その平均値を算出することによって評価した。その結果を下記の表1、2に示す。
研磨後のガラス基板の強度については、Orientec社製Tensilon RTA−250を用いた三点曲げ試験法により破壊強度を測定した。曲げ試験のサンプルには、ガラス基板の端面部の辺の中央部を80×15mmのサイズに切り出した試験片を用い、さらに、端面部の頂点(断面略円弧の頂点)を上にして荷重を負荷し、その破損時の荷重を測定し、下記の数1で示される式で計算することにより、破壊応力(端面強度)σを測定した。
なお、上記の数1で示される式中、Pは破壊荷重、Lは支点間距離、Bはサンプル幅、hはガラス厚みである。
下記の表1、2には、ガラス基板の破壊応力を記載しているが、これらは各実施例および各比較例のそれぞれの破壊応力を10枚測定し、その最小値(最も強度が小さいもの)を示すものである。さらに、ガラス基板の表面に付着または残存したガラスパーティクルの付着特性を評価するために、各実施例および各比較例のそれぞれのガラス基板を洗浄および乾燥させた後に、ガラス基板の表面に残存したガラスシートあたりの表面のパーティクル値を測定した。パーティクル値は、日立ハイテクノロジーズ社製パーティクル測定装置GI−7200を用いて1μm以上の粒子数の測定を行い、その数値を1平方メートル当りの個数に換算した。その結果を下記の表1、2に示す。また、各実施例および各比較例のそれぞれのガラス基板について、端面の表面および裏面との境界部分におけるチッピングによる段差の残存状態を、顕微鏡にて拡大観察した。その結果を下記の表1、2に示す。この場合、表1、2中、『○』はチッピング段差の存在が認められないものを示し、『△』は微小の段差の残存が観察されるものを示し、『×』は大きな段差の残存が観察されるものを示している。
なお、面取り部の特定研磨処理時におけるガラス基板の表面とこれに隣接する面取り部の表面側への接線とのなす角度α(図1参照)、およびガラス基板の裏面とこれに隣接する面取り部の裏面側への接線とのなす角βの実測値と、面取り部の幅Wの測定値とを、下記の表3に示す。
上記の表1、2によれば、本発明の実施例1〜5の何れもが、ガラス基板の端面の表面および裏面との境界部に、十点平均粗さが小さく鏡面に近いのは勿論のこと、十分な幅を有する面取り部が形成されており、比較例の場合のように面取り部を形成していないガラス基板に比して、著しく高い破壊強度(すなわち端面強度が160MPa超)を有することが確認された。また、各実施例の面取り部においては、チッピングによる研磨境界部の段差や微小クラックが確認されず、さらにはガラスパーティクルの付着等の全てにおいて良好または極めて良好な結果を示すことが確認された。
したがって、本発明の実施例に係るガラス基板は、後工程での破損を誘起し難く、極めて高強度なものになると共に、端面に起因するガラスパーティクルの発生が極めて少なく、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイさらには有機EL等のように、高解像度の表示ディスプレイに使用される場合でも、ガラス基板上に表示素子やデバイスを形成する際に発生する断線不良等を効果的に抑制することができる。
また、本発明の実施例の場合、研削速度を100mm/minから400mm/minまで増大させても、適宜研磨具の研磨板を選択して研削条件を設定すれば、同様の面取り部を効率よく得ることができ、工程の高効率化が可能となる。
一方、比較例では、研磨具の移動速度が200mm/secや400mm/secである場合のみならず、100mm/secまで低速にしても、端面部の最低破壊強度は比較的低く、強度の低い端面部への搬送手段の接触や熱応力集中に起因して、破損を誘発するおそれがある。また、何れの比較例についても、パーティクル値は比較的高く、しかも境界部のチッピング段差が大きいため、例えば洗浄時および乾燥時や搬送時および梱包時等の工程において、境界部のチッピング部よりガラスパーティクルがガラス基板上に剥離付着して、表示素子やデバイスを形成する際に断線不良を起こすおそれがある。したがって、本発明の各実施例に係るガラス基板は、これらの比較例に係るガラス基板に比して、破壊強度とガラスパーティクルとの何れの点においても極めて優れていることが確認された。
1 ガラス基板
2a 表面
2b 裏面
3 端面
4 面取り部
5 研磨具(第1、第2研磨具)
6 第3研磨具
6a 第3研磨具の回転軸
6b 第3研磨具の研磨面(砥面)
6ba 第3研磨具の研磨面(砥面)の内周部
6bb 第3研磨具の研磨面(砥面)の外周部
A 面取り部の表面側への接線
z 境界部
2a 表面
2b 裏面
3 端面
4 面取り部
5 研磨具(第1、第2研磨具)
6 第3研磨具
6a 第3研磨具の回転軸
6b 第3研磨具の研磨面(砥面)
6ba 第3研磨具の研磨面(砥面)の内周部
6bb 第3研磨具の研磨面(砥面)の外周部
A 面取り部の表面側への接線
z 境界部
Claims (7)
- 表面と、裏面と、表面および裏面の外周端相互間に存する端面とを有し、該端面に対して研磨処理を施すことにより表面および裏面のそれぞれの外周端から板厚方向中央部にかけて外方に突出する研磨面が形成されたガラス基板に対して、
前記研磨処理後の端面と前記表面および前記裏面とのそれぞれの境界部の少なくとも一方に、前記研磨処理とは異なる特定研磨処理を施すことにより特定研磨面からなる面取り部が形成されると共に、
前記面取り部の特定研磨面の十点平均粗さRz2が、前記特定研磨処理が施されていない前記端面の研磨面の十点平均粗さRz1よりも小さく、且つ、
前記面取り部の特定研磨面の粗さ曲線要素の平均長さRSm2が、前記特定研磨処理が施されていない前記端面の研磨面の粗さ曲線要素の平均長さRSm1よりも大きい
ことを特徴とするガラス基板。 - 前記特定研磨面の十点平均粗さRz2およびRz1は、Rz2≦1.5μmであり、且つ、1.5≦Rz1/Rz2≦10.0の関係を満たすことを特徴とする請求項1に記載のガラス基板。
- 前記特定研磨面の粗さ曲線要素の平均長さRSm2は、RSm2≧100μmの関係を満たすことを特徴とする請求項1または2に記載のガラス基板。
- 前記端面の長手方向と直交する断面において、表面側の境界部に形成される前記特定研磨面の表面側への接線と、前記表面とのなす角度α、および、裏面側の境界部に形成される前記特定研磨面の裏面側への接線と、前記裏面とのなす角度βは、それぞれ、10°≦α≦30°および10°≦β≦30°の関係を満たすことを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載のガラス基板。
- 板厚Tおよび前記面取り部の長手方向と直交する方向の幅Wは、200μm≦T≦1500μmおよび0.07≦W/T≦0.30の関係を満たすことを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載のガラス基板。
- 請求項1〜5の何れかに記載のガラス基板を製造する方法であって、ガラス基板の端面に対して粗研磨処理を施した後に仕上げ研磨処理を施すことにより表面および裏面のそれぞれの外周端から板厚方向中央部にかけて外方に突出する研磨面を形成し、然る後、前記端面と前記表面および前記裏面とのそれぞれの境界部の少なくとも一方に、前記仕上げ研磨処理よりも細かい粒度を有する研磨具を用いて特定研磨処理を施すことを特徴とするガラス基板の製造方法。
- 請求項1〜5の何れかに記載のガラス基板を製造する方法であって、前記特定研磨処理用の研磨具として、回転軸と直交する研磨面を有する回転研磨具を使用し、且つ前記研磨面の外周部の粗度を内周部の粗度よりも小さく形成すると共に、研磨処理後の端面とガラス基板の表面および裏面とのそれぞれの境界部の少なくとも一方に対して、前記回転研磨具がその長手方向に相対的に直線移動しながら前記回転軸廻りに回転することにより、前記研磨面の外周部および内周部の双方によって前記特定研磨面からなる面取り部を形成することを特徴とするガラス基板の製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010022112A JP5440786B2 (ja) | 2009-03-10 | 2010-02-03 | ガラス基板およびその製造方法 |
KR1020117014792A KR101707056B1 (ko) | 2009-03-10 | 2010-03-08 | 유리 기판 및 그 제조 방법 |
PCT/JP2010/053800 WO2010104039A1 (ja) | 2009-03-10 | 2010-03-08 | ガラス基板およびその製造方法 |
CN201080010281.9A CN102341214B (zh) | 2009-03-10 | 2010-03-08 | 玻璃基板及其制造方法 |
TW099106957A TWI480127B (zh) | 2009-03-10 | 2010-03-10 | 玻璃基板及其製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009056939 | 2009-03-10 | ||
JP2009056939 | 2009-03-10 | ||
JP2010022112A JP5440786B2 (ja) | 2009-03-10 | 2010-02-03 | ガラス基板およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010234518A true JP2010234518A (ja) | 2010-10-21 |
JP5440786B2 JP5440786B2 (ja) | 2014-03-12 |
Family
ID=43089357
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010022112A Expired - Fee Related JP5440786B2 (ja) | 2009-03-10 | 2010-02-03 | ガラス基板およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5440786B2 (ja) |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP5440786B2 (ja) | 2014-03-12 |
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