JP2010232002A - 電子顕微鏡の自動歪み測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】作製した試料を透過型電子顕微鏡に挿入して観察に適したレンズ状態にし、この状態でデジタルカメラから画像を取り込み、リアルタイム表示された試料の像を元に、歪みの自動測定が可能な、コントラストが平坦で明るい位置に試料を移動させ、所定の演算式により歪みを計算して歪みの中心と歪みの大きさを求め、求めた歪みの中心と歪みの大きさを記憶するように構成する。
【選択図】図2
Description
S1:操作者は試料を作製し、TEM1に挿入して観察に適したレンズ状態にする。
S2:操作者はコンピュータ3において、本発明のソフトウェァを起動する。
S3:デジタルカメラから画像取り込み
本発明のソフトウェァは、画像取り込み用ケーブル2を介してデジタルカメラ4から画像を取り込み、取り込んだ画像をリアルタイム表示する。同時にステージを移動させるためのソフトウェァ部品を表示する。図5は本発明で表示される画面の例を示す図である。図において、10は表示画面、11は操作表示部である。
S4:測定位置に移動
操作者はリアルタイム処理された試料の像を見ながら、歪みの自動測定を行なうための位置を探してそこに試料ステージを移動させる。ここで、自動歪み測定を行なうための位置とは、試料の支持膜に何も試料が載っていないか、支持膜自体が破れて何もないなど、コントラストが平坦で明るい場所である。
S5:歪みの計算
歪みの中心を(x0,y0),歪みの大きさをκとして画像に歪みを加えると、画像上の位置(x1,y1)にある部分は以下の式で示される(x2,y2)に移動する。
上の式を極座標で表すと
i・Δs=I・ΔS
であるから、
i=I・ΔS/Δs
となる。ところで、Δs及びΔSは図6より
Δs=r・Δr・Δθ
ΔS=R・ΔR・ΔΘ
と表される。これらの式を用いて、本来輝度iであるべき場所が糸巻き歪みによって位置(x2,y2)に輝度Iで観測されたとすると、その関係は次式で表される。
q(p+1)≦q(p)である。なお、Qについては漸次小さくなっていくのではなく、ずっと一定の値とする場合もある。
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、歪みを自動的に測定できるようになった。測定して記憶した歪みパラメータ(歪みの中心x0,y0と歪みの程度κ)を用いて歪みを補正することにより、歪みのない画像を生成することができる。歪みのない画像を用いれば、精密な計測や正確なステージ移動、試料のコントラストの正確な評価が可能となる。
2 画像取り込み用ケーブル
3 コンピュータ
4 デジタルカメラ
Claims (2)
- 作製した試料を透過型電子顕微鏡に挿入して観察に適したレンズ状態にし、
この状態でデジタルカメラから画像を取り込み、
リアルタイム表示された試料の像を元に、歪みの自動測定が可能な、コントラストが平坦で明るい位置に試料を移動させ、
該位置における画像の歪みと輝度との関係に基づいて所定の演算式により歪みを計算して歪みの中心と歪みの大きさを求め、
求めた歪みの中心と歪みの大きさを記憶する、
ことを特徴とする電子顕微鏡の自動歪み測定方法。 - 試料上のどこにも、コントラストが平坦で明るい位置が見つからない場合、移動平均法による2値化処理で画像内の孔の部分だけを抽出し、その抽出された孔の部分だけについて請求項1記載の処理を行なうことを特徴とする電子顕微鏡の自動歪み測定方法。
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Citations (3)
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---|---|---|---|---|
JPH10253544A (ja) * | 1997-01-10 | 1998-09-25 | Hitachi Ltd | 外観検査方法及びその装置 |
JP2008054817A (ja) * | 2006-08-30 | 2008-03-13 | Nagasaki Prefecture | 超音波診断装置を用いた家畜の生体時肉判定法 |
JP2008171756A (ja) * | 2007-01-15 | 2008-07-24 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡の歪み測定方法及び輝度補正方法 |
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- 2009-03-27 JP JP2009078024A patent/JP5420289B2/ja active Active
Patent Citations (3)
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JPH10253544A (ja) * | 1997-01-10 | 1998-09-25 | Hitachi Ltd | 外観検査方法及びその装置 |
JP2008054817A (ja) * | 2006-08-30 | 2008-03-13 | Nagasaki Prefecture | 超音波診断装置を用いた家畜の生体時肉判定法 |
JP2008171756A (ja) * | 2007-01-15 | 2008-07-24 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡の歪み測定方法及び輝度補正方法 |
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